ISKUSTVA U PRIMJENI PA CVD TEHNOLOGIJE U PRAKSI

ISKUSTVA U PRIMJENI PA CVD
TEHNOLOGIJE U PRAKSI
23. travnja 2014.
Prof. dr. sc. Božidar Matijević
Fakultet strojarstva i brodogradnje
UVOD
Surface Engineering
“Surface engineering is the design of surface and substrate
together as a system to give a cost effective performance of which
neither is capable on its own.”
D.A.Melford [1991]
Postupci modificiranja
(cementiranje, nitriranje,
boriranje, površinsko kaljenje,...)
Postupci prevlačenja (npr. PVD,
CVD, PACVD), ...
POSTUPCI PREVLAČENJA ČELIKA
Oksidna keramika
- oksidi: Al2O3, TiO2, ZrO2, …
Metaloorganski spojevi
- Me:CH (W97C3,...
- Čelici (nakon kaljenja i
popuštanja)
- Tvrdi metal
- Čelici (nakon kaljenja i
popuštanja)
- Tvrdi metal
CVD (Chemical Vapour Deposition) postupci
800  1000 °C
PVD (Physical Vapour Deposition) postupci
MTCVD (Medium Temperature CVD) 700  900 °C
200  500 °C
PA CVD (Plasma Assisted CVD) 480  580 °C
Spojevi
- karbidi: TiC, B4C, SiC, …
Neoksidna keramika
- nitridi: TiN, TiAlN, CrN, …
- karbonitridi: TiCN, TiAlCN, …
Dijamantu slični ugljik
- DLC (Diamond like Carbide)
Svojstva: visoka tvrdoća, visoka otpornost trošenju (abraziji, adheziji, tribokoroziji) otpornost
koroziji, dekorativni izgleg
BROJ SLOJEVA: - jedan sloj, više slojeva, gradijentni slojevi
VRSTE SLOJEVA: - homogeni, npr. TiC, TiN, Ti(C,N) mješanac
- heterogeni, npr. B4C + Al2O3 (istovremeno dvije faze!)
TiN
Al2O3
TiCN
10 m
Osnova
Jedno slojna, glatka i kompaktna prevlaka
Nano slojna prevlaka (2 m)
(32 sloja po  90 nm)
NANOKOMPOZITNI SLOJEVI:
(nanokristalna zrna (AlTiN, AlCrN,...) usađena u
amorfnu matricu (Si3N4)): HV, OVT, OT
TVRDI TANKI SLOJEVI ZA STROJNE DIJELOVE I ALATE
U CILJU POVEĆAVANJA OTPORNOSTI TROŠENJA
TiCl4 + CH4
TiC + 4HCl
(TiC: 3500 – 5000 HV)
2TiCl4 + N2 + 4H2
2TiN + 8HCl
(TiN: 2000 – 3000 HV)
2AlCl3 + 3CO2 + 3H2
Al2O3 + 3CO + 6HCl
(Al2O3: ≈ 2500 HV)
CH3SiCl3
SiC + 3HCl
(SiC: ≈ 4500 HV)
Stabilni spojevi; najčešće kubična rešetka B1 tipa NaCl (karbidi, nitridi...)
PVD
CVD
PA CVD
200 - 500
800 - 1000
470 - 580
Kaljenje poslije prevlačenja
ne
potrebno
ne
„line of sight” postupak
da
ne
ne
potrebno
ne
ne
Površina
glatka
gruba
vrlo glatka
Poliranje poslije prevlačenja
ovisno
potrebno
ne
ne
ne
moguće
Prionjivost na tvrde metale
vrlo dobra
vrlo dobra
prosječno
Troškovi održavanja
vrlo visoki
niski
niski
Troškovi pogona
visoki
niski
niski
Troškovi ulaganja
visoki
niski
prosječni
reznim
alatima, TC
dijelovima
gdje su
prihvatljive
deformacije
veliki alati i
kalupi
Temperatura (°C)
Pomicanje šarže
Duplex proces
Uglavnom primjenjivo na…
PA CVD je kombinacija prednosti PVD i CVD postupka
Nsika temperatura postupka


480 °C – 580°C (uobičajeno)
Omogućuje obradu:
 Kaljenih alata
 Završenih (na konačnu
mjeru) alata
Nije potrebna rotacija šarže



Jedan proces



Duplex postupak
potporni sloj ispod tvrdog
sloja
avoids the „egg skin effect“
Veliki
Teški
Komplicirani alati
Nije potreban visoki vakuum



Niski troškovi za rad
vakuum pumpe
Kratko vrijeme rada pumpe
Otpadni plinovi se obrađuju
(ekološki prihvatljiv
postupak bez zagađenja)
Sputtering


Prvi korak procesa
Prevlačenje cijele šarže u
istim uvjetima
ZAŠTO PREVLAČIMO REZNE ALATE?
NE PREVUČENA REZNA
OŠTRICA
PREVUČENA REZNA
OŠTRICA
ZAŠTO PREVLAČIMO ALATE?
• NIŽE TROŠENJE
• SPRIJEČAVANJE DIREKTNOG KONTAKTA IZMEĐU
MATERIJALA I ALATA
• NIŽA ADHEZIJA NA POVŠINI SLOJA
• LAKŠE IZBACIVANJE IZRATKA IZ ALATA/ KALUPA
• SMANJENA UPOTREBA SREDSTAVA ZA PODMAZIVANJE
• NIŽA KOROZIJA
• SKRAĆENJE CIKLUSA
• DEKORATIVNI RAZLOZI
PACVD- SHEMATSKI PRIKAZ POSTUPKA
Vakuum retorta
(Anoda)
El. grijači
PC
PLC
ventilator
Dijelovi- šarža
(Katoda)
ProcesParameter
MICROPULS ®
PLASMA
GENERATOR
H2, N2, Ar, CH4
TiCl4, BCl3
PACVD- POSTROJENJE INSTALIRANO NA FSB-U
DUPLEX POSTUPAK
KOEFICIJENT TRENJA PA CVD SLOJEVA
Ball on disc test
Reduction
of friction
about 70% !!!
PRIMJERI
PRIMJENE
PRIMJENA TiBN SLOJA
ALAT ZA DUBOKO VUČENJE
ALATNI ČELIK ZA TOPLI RAD
ALAT ZA DUBOKO VUČENJE
TVRDI METAL
3
2
2
1
1
NE PREVUČEN
TiBN
Nitr.
Nitr. + TiBN
TLAČNI LIJEV ALUMINIJA
ALATNI ČELIK ZA TOPLI RAD
ALAT ZA LIJEVANJE
6
3
5
4
2
3
2
1
1
CrN
TiBN
NE PREVUČEN
TiN – TiB2
VIŠESLOJNA
PREVLAKA
TLAČNI LIJEV AlUMINIJA
TLAČNI LIJEV AlUMINIJA
TLAČNI LIJEV AlUMINIJA
TLAČNI LIJEV AlUMINIJA
Alat za tlačno lijevanje Al
W 300
550 x 550 mm
200 kg
TLAČNI LIJEV AlUMINIJAMAGNEZIJA
•
Boron Nanocomp PLASTIT®
– Improvement in easy demoulding
– Increase of service life by resistance of the layer against assault through liquid AlMg alloy
– decrease of separating agent
EXTRUDIRANJE AlUMINIJA
•
•
•
•
Diminished abrasion
Lower friction
Less adhesion propensity
Avoidance of chemical corrosion
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
Material: SKH51
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
Material: SKH51
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE

POVEĆAVA TRAJNOST ALAT

SMANJUJE UPOTREBU SREDSTAVA ZA
ODVAJANJE IZRAĐEVINE

SMANJUJE VRIJEME CIKLUSA
100000
89000
90000
80000
70000
60000
50000
40000
30000
20000
10000
2000
0
unbeschichtet
TiCN
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
Material: WC
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE
Material: SKH51
PRIMJERI
PRIMJENE
HLADNO OBLIKOVANJE

POVEĆAVA TRAJNOST ALAT

SMANJUJE UPOTREBU SREDSTAVA ZA
ODVAJANJE IZRAĐEVINE DO 54 %

SMANJUJE VRIJEME CIKLUSA
DIN 1.2379
400000
336000
350000
300000
250000
200000
150000
100000
50000
18000
0
unbeschichtet
TiCN
300 x 200 mm
PRIMJERI
PRIMJENE
PRIMJERI
PRIMJENE
•
Easier to demould
•
Decrease of separating agent
•
Less adhesion propensity
•
More handling safety
•
Avoidance of deposits
PRERADA POLIMERA
PRIMJERI
PRIMJENE
PRIMJERI
PRIMJENE
PRERADA POLIMERA
ALAT ZA PROIZVODNJU CD-a
PRIMJERI
PRIMJENE
PRERADA POLIMERA
ALAT ZA PROSIJECANJE
Rubber cutting lines
8 x service time increase
90000
80000
70000
60000
50000
40000
30000
20000
10000
10000
83000
unbeschichtet
TiN
0
PRIMJERI
PRIMJENE
PRIMJERI
PRIMJENE
Boron Nanocomp
– increase of service time up to 70 %
PRIMJERI
PRIMJENE
Boron Nanocomp
PRIMJERI
PRIMJENE
ALATI ZA REZANJE
Alat za rezanje izrađen iz WC
Nož za rezanje izrađen iz 1.2379
PRIMJERI
PRIMJENE
KONSTRUKCIJSKI DIJELOVI
ŠTO MORA ZNATI CENTAR ZA PREVLAČENJE?
TOPLINSKA OBRADA
ČELIK

KVALITETA

DIN Nr. (e.g. 1.2343)

OPIS, STANDARDE,
TRGOVAČKO IME

POSTUPAK I PRESUDNE
TEMPERATURE

ERODIRANJE
-> post
OBRADA
treatment

TEMPERATURE
POPUŠTANJA

ZAVARIVANJE ?

KORIŠTENI DIJELOVI ?

ČIŠĆENJE PRIJE
PREVLAČENJA

POSTUPAK NITRIRANJA I
TEMPERATURA
PRIMJENJOVOST RAZLIČITIH KVALITETA ČELIKA
ŽELJENA SVOJSTVA SLOJEVA UZETI U OBZIR PRI ODABIRU ČELIKA!!!!!!!
ZNAČAJKA
BRZOREZNI
ČELICI
 High hardness
 High tempering temp.
 Chrome content about 5 %
PRIMJEDBA
 NIJE POTREBNO NITRIRATI
 MOGUĆE PREVLAČENJE PRI VIŠIM
TEMPERATURAMA, (530 °C), DOBRA ADHEZIJA
SLOJA
 VISOKI SADRŽAJ KROMA
 NE PREVLAČITI NISKO
LEGIRANE ALATNE ČELIKE
ALATNI ČELICI ZA
ZA HLADNI RAD
HLADNI RAD
 POTREBNA SPECIFIČNA TOPLINSKA OBRADA
 POTREBNO ČIŠĆENJE (Sputtering) PRIJE
PREVLAČENJA
 TEMPERATURA POPUŠTANJA> 510 °C
 TVRDOĆA JEZGRE > 60 HRC
 UOBIČAJENA TVRDOĆA (- 54
HRC) KOD TEMPERATURA
ALATNI ČELICI ZA
POPUŠTANJA > 550°C
TOPLI RAD
 SADRŽAJ KROMA OKO 5 %
 POTREBNO NITRIRANJE ZA UVJETE VISOKOG
TROŠENJA
 BEZ ZONE SPOJEVA (=Duplex Treatment)
 VISOKA TEMPERATURA PREVLAČENJA (530
°C) DOBRA ADHEZIJA SLOJA
Zahvaljujem na pozornosti