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B1500A 半導体デバイス・アナライザ

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Keysight B1500A
半導体デバイス・アナライザ
最先端研究のオール・イン・ワン・ソリューション
超微小電流測定
容量測定
高速電流電圧測定
高速パルス機能
WindowsベースGUI
自動IV-CV測定切替
最先端研究に対応する
測定モジュール類
精度を損なうことなく、
IV-CV測定を
自動切替するアダプタ
230種以上の
テストを内蔵
測定チャンスを
無駄にしない
測定データ
自動保存機能
使い慣れた
Windows®環境
オンウェハ上で高精度測定を実現
特長その1
PCでの解析を容易にする
測定データ保存用USBポート、
LANポート
高速IV測定を実現するモジュール
最先端研究の測定ニーズに対応する測定機能と精度
超微小電流・電圧測定(最小0.1fA、0.5uV分解能)
からQSCV測定を含む容量測定、高速パルス印加機能、パルス
IV測定や過渡応答特性等の評価を高精度にする高速電流電圧測定機能(5nsecサンプリング)を1台で実現します。
特長その2
使い勝手の良いソフトウェアにより、すぐに評価を開始
内蔵ソフトウェア
(EasyEXPERT)
には、230種類以上のアプリケーション・テストを標準装備しており、テスト・プロ
グラムを作成することなく、すぐにご希望の測定を開始することができます。
特長その3
IV-CV測定自動切替機能やオンウェハ測定により研究・開発の効率アップ
高精度なIV-CV測定を自動切替するアダプタ
(SCUU)
により、スイッチング・マトリックスなどの外部機器を使わず
に、簡単かつ高精度なIV-CV測定の自動切替を実現します。また、オンウェハ測定サポートにより大幅に評価効率
を向上します。
B1500A デバイス・アナライザ 仕様
B1500A 追加パッケージ オーダー情報
メインフレームの特徴
B1500A-A10
HPSMU 追加(HPSMUx 1 & ケーブル)
¥900,602
B1500A-A11
MPSMU 追加(MPSMUx1 & ケーブル)
¥613,665
グランド・ユニットのシンク性能 4.2 A
B1500A-A17
HRSMU 追加(HRSMUx1 & ケーブル)
¥762,930
使用可能なスロット数
10
USB 2.0ポート
前面に2個、背面に2個
B1500A-A20
MFCMU 追加(MFCMU & ケーブル)
¥1,603,772
測定機制御
GPIB
B1500A-A25
HVSPGU 追加(HVSPGUx1 & ケーブル)
¥1,223,906
ネットワーク
100 BASE-TX/10 BASE-T LAN ポート
B1500A-A28
ASU(Atto Sense Unit)追加(ASUx1 & ケーブル)
1xBNCトリガ入力、1xBNCトリガ出力、
トリガ入出力
8xプログラミング・
B1500A-A30
WGFMU 追加(WGFMUx1、RSUx2 & ケーブル) ¥2,863,879
B1500A-A31
WGFMU/コネクタ・アダプタ追加(WGFMUx1、
¥2,989,890
RSUx2、ケーブル & コネクタ・アダプタ)
B1500A-A3P
WGFMU プローブ・ケーブル・セット
¥424,665
(プローブ・ケーブル 8 本含む、WGFMUは含まず)
B1500A-A5F
パッケージ・デバイス用テスト・フィクスチャ
(16442Bx1)
外部トリガ入出力
モジュール情報
HPSMU
MPSMU
HRSMU
ASU
必要スロット数
2
1
1
NA
最大出力電圧
±200 V
±100 V
±100 V
±100 V
最大出力電流
±1 A
±100 mA
±100 mA
±100 mA
電圧測定分解能 2 µV
0.5 µV
0.5 µV
0.5 µV
電流測定分解能 10 fA
10 fA
1 fA
0.1 fA
モジュール
(B1510A) (B1511A) (B1517A) (E5288A)
N1301A
CMU アクセサリ
主要仕様
N1301A-100
SMU CMU ユニファイ・ユニット(SCUU)
¥555,808
1
1kHz to 5MHz、
最大100V DCバイアス印加
N1301A-102
SCUU ケーブル(3 m)
¥222,748
N1301A-110
SCUU マグネット スタンド
1
最小12.5ns パルス幅、最小遷移時間
10ns、最大40Vパルス(3値レベル)
N1301A-200 ガード・スイッチ・ユニット(GSWU)
N1301A-201
GSWU ケーブル(1 m)
¥11,212
1
最小100ns パルス幅、最大10V出力、
最小電流・電圧サンプリングスピード 5ns
N1301A-202
GSWU ケーブル(3 m)
¥16,817
B1540A
EasyEXPERT ソフトウェア及び測定ライブラリ
B1540A-001
EasyEXPERT 標準バージョン使用ライセンス付き
必要スロット数
MFCMU
(B1520A)
HV-SPGU
(B1525A)
WGFMU
(B1530A)
B1500A オーダー情報
B1541A
B1500A
半導体デバイス・アナライザ・メインフレーム ¥3,401,265
B1500A-A6J
校正証明書(校正データ付き)、ANSI Z540 準拠
B1500A-UK6 校正および校正証明書(校正データ付き)
¥34,728
B1541A-001
¥0
¥53,816
カスタム・ソリューション用空パッケージ
B1500A-A01
スタンダード・パッケージ
(MPSMUx4 & ケーブル)¥2,449,980
B1500A-A02
高分解能パッケージ
(HRSMUx4 & ケーブル)
¥0
¥3,045,894
B1500A-A03
高出力パッケージ
(HPSMUx2、
MPSMUx2 & ケーブル)
¥3,022,755
B1500A-A04
フラッシュ・メモリー・セル基本パッケージ
(MPSMUx4、
SPGU、ケーブル、アクセサリ類)
¥4,255,024
B1542A
¥61,664
¥1,121
¥0
Desktop EasyEXPERT ソフトウェア
¥1,121
及び測定ライブラリ
Desktop EasyEXPERT、
¥0
標準バージョン使用ライセンス付き
¥28,940
B1500A-A00
お問い合せ先
¥806,666
B1500A アクセサリ オーダー情報
その他モジュール
モジュール
¥298,528
パルスIVソリューション・パッケージ
お問い合せ
ください
※製品価格は、2014 年 7 月現在のもので消費税は含まれません。
キーサイト・テクノロジー合同会社
本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1
受付時間 9:00-18:00(土・日・祭日を除く)
TEL
0120-421-345 (042-656-7832)
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Email [email protected]
www.keysight.co.jp
© Keysight Technologies, 2014
Published in Japan, July 18, 2014
5990-6312JAJP
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