低圧用真鍮製 S-LABO BLシリーズ仕様入口側(P1）使用圧力範囲 MPa 本体/C3604、ダイヤフラム/SUS316L 他/C3604・フッ素樹脂安全弁無 0.05∼1 安全弁付 0.05∼5 0.3MPa計：0.02∼0.2 出口側(P2) 0.6MPa計：0.02∼0.4 1.0MPa計：0.02∼0.6 約1.2kg 重量 (BL-1XX-5X8G-1414) 常用流量 L/min(nor) N2ガス 260 P1=1MPa、P2=0.6MPaの時 ※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。 ※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。 BL-1XX-5X8G-1414 ステンレス製 S-LABO SLシリーズ標準ガス・高純度ガス用圧力調整器接ガス主要部材質仕様接ガス主要部材質入口側(P1）使用圧力範囲 MPa 本体/SUS316L、ダイヤフラム/SUS316L 他/SUS316・フッ素樹脂安全弁無 0.05∼1 安全弁付 0.05∼5 0.3MPa計：0.02∼0.2 出口側(P2) 0.6MPa計：0.02∼0.4 1.0MPa計：0.02∼0.6 重量常用流量 L/min(nor) N2ガス約1.5kg (SL-1XX-5X6G-1414) 260 P1=1MPa、P2=0.6MPaの時 ※入口側圧力計付の場合は、最大目盛の2/3または60%に相当する圧力が使用圧力範囲の上限です。 ※入口側の最高使用圧力が0.6MPaを超える場合は、お問い合わせください。 SL-1XX-5X6G-1414 特長 ● 多種類のガスに対応するため、本体材質に真鍮製とSUS製をラインアップ。 ● 外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用。 ● 純度保持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産。(真鍮製を除く) ● 純度保持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用。 ● 出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵。 B-2 品名構成 L 1 出口接続 ※3 本体材質 B S Bs SUS E H N V X O リング材質 ( 右記選定表参照 ) EPDM NBR( ハイカ ) CR( ネオプレン ) FKM( バイトン ) O リング無し排出弁 R X 排出弁有未加工 3 4 5 6 7 8 入口側圧力計最大目盛 ※1 ※2 5.0MPa 2.5MPa 1.5MPa 1.0MPa 0.6MPa 0.3MPa 入口側圧力計 G C X 圧力計付連成計付未加工出口側圧力計最大目盛 5 6 7 8 1.5MPa 1.0MPa 0.6MPa 0.3MPa 出口側圧力計 G C 圧力計付連成計付 P1 P2 P3 B1 B2 B3 B7 10 11 12 13 14 16 17 18 19 1A PV 付 W22-14 右メス PV 付 W22-14 左メス PV 付 W26-14 右メス W22-14 右メス W22-14 左メス W26-14 右メスＷ22.5-14 左オス NPT1/4 メス M16×1.5 右オス M16×1.5 左オス 1/8 スウェージロック 1/4 スウェージロック 6mm スウェージロック 1/4 VCR オス 1/4 VCR メス Rc1/4（アダプタ） 3/8 スウェージロック入口接続 ※3 10 11 12 13 14 16 17 18 19 1A N0 N1 N2 N3 N4 N6 N7 N8 N9 NA NPT1/4 メス M16×1.5 右オス M16×1.5 左オス 1/8 スウェージロック 1/4 スウェージロック 6mm スウェージロック 1/4 VCR オス 1/4 VCR メス Rc1/4（アダプタ） 3/8 スウェージロック NV 付 NPT1/4 メス NV 付 M16×1.5 右オス NV 付 M16×1.5 左オス NV 付 1/8 スウェージロック NV 付 1/4 スウェージロック NV 付 6mm スウェージロック NV 付 1/4 VCR オス NV 付 1/4 VCR メス NV 付 Rc1/4（アダプタ） NV 付 3/8 スウェージロック Bs SUS F80 F61 F81 F62 F82 F63 F64 F83 F84 F85 F65 F66 F67 F86 F68 F87 F69 F88 F70 F89 F71 F90 F72 F91 F73 F74 F92 F93 F94 F76 F95 F77 F96 F97 F98 00 01 02 03 流量計 (オプション) レンジ(L/min(nor)) 使用ガス 0.05∼0.5 アルゴン 0.1∼1 アルゴン 0.5∼5 アルゴン 1.5∼15 アルゴン 2.5∼25 アルゴンアンモニア 0.05∼0.5 アンモニア 0.1∼1 アンモニア 0.5∼5 1∼10 酸素 2.5∼25 酸素 0.1∼1 水素 0.5∼5 水素 1∼10 水素 0.05∼0.5 窒素 0.05∼0.5 窒素 0.1∼1 窒素 0.5∼5 窒素 1∼10 窒素 2.5∼25 窒素二酸化硫黄 0.05∼0.5 二酸化硫黄 0.1∼1 二酸化硫黄 0.5∼5 0.3∼3 ヘリウム 1∼10 ヘリウム 0.1∼1 硫化水素 0.5∼5 硫化水素その他仕様オプションヘリウムリークテスト実施（オプション）ステンレス圧力計（Bsのみ。アセチレン用）亜酸化窒素ガス用硫化水素ガス用(SUSのみ) ご注意 ※1 2.5MPa 以上の圧力計は連成計として製作は出来ません。 ※2 入口側の圧力計が「未加工」かつ「排出弁付」の場合、④⑤の選定は「3X」となります。なお、この時の最高使用圧力は 5MPa となります。 ※3『PV』はパージバルブ ( オプション )、『NV』は二一ドルバルブを意味しています。流量計付きの湯合は流量計の出口にニードルバルブがついておりますので NV 付の記号を選択してください。出口継手が M16×1.5 の時は、ナットとホースロ (1/4" パイプ形状と JIS2 号形状の 2 種類 ) が付属します。 ● 出入口継手材質、及び圧力計ブルドン管の材質は基本的には、本体材質と同じです。但し、本カタログに記した『スウエージロック継手』『VCR 継手』は、本体材質に関係無くステンレス製となります。 ● 真鍮製のスウェージロック継手をご要望の場合は、別途お問い合わせください。 ● 二次側圧力を 1.0MPa 以上でご使用する場合、高圧ガス製造設備に該当します。高圧ガス保安法への対応をお願いします。 ● 圧力調整器に取り付けてある排出弁は製品保護のためのものであり、高圧ガス保安法で規定する安全弁ではありません。高圧ガス保安法に規定する安全弁は必要に応じて別途設置してください。 ⑥-⑦ 出口側圧力計 ④-⑤ 入口側圧力計 ⑨ 出口継手 ⑧ 入口継手 ②-③ 排出弁ガス別選定表シリーズ名 BL O リング SL 記号 H N E N V ガス化学式分子量亜酸化窒素 44.01 ●3 ●3 N2O ● アセチレン C2H 2 26.04 ●3 ● Ar アルゴン 39.95 ● NH3 ● アンモニア 17.03 CO 一酸化炭素 28.01 ● NO 一酸化窒素 30.01 ● C2H6 エタン 30.07 ● ● C2H4 エチレン 28.05 ●3 ● C2H5Cl 塩化エチル混合ガス 54.52 ● HCl 塩化水素 36.47 M シリーズをご使用ください。 CH2=CHCl 塩化ビニル混合ガス 62.50 ● CH3Cl 塩化メチル混合ガス 50.49 ● Cl2 塩素 70.91 M シリーズをご使用ください。 ● Xe キセノン 131.29 ● ● 空気 28.97 ● ● Kr クリプトン 83.80 ● ● C2H4O 酸化エチレン 44.05 O2 ● ● 酸素 32.00 ● シクロプロパン混合ガス C3H6 ● 42.08 臭化エチル混合ガス C2H5Br ●2 108.97 臭化水素混合ガス HBr 90.91 M シリーズをご使用ください。臭化メチル混合ガス CH3Br ●2 94.94 ● H2 水素 ● 2.02 ● N2 窒素 ● 28.01 SO2 ● 二酸化硫黄 64.06 ● CO2 二酸化炭素 ● 44.01 N2O4(NO2) 二酸化窒素混合ガス ● 46.01 ● Ne ネオン ● 20.18 ● CH2=CHCH=CH2 54.09 1,3-ブタジエン ● ● CH(CH3)3 ● iブタン 58.12 CH3(CH2)2CH3 ● nブタン 58.12 ● ● CH3CH2CH=CH2 56.11 ● ブテン ● ● プロパジエン混合ガス CH2=C=CH2 40.07 C3H8 ● プロパン 44.01 ● ● CH2=CHCH3 42.08 ● プロピレン CCl3F ● フロン11 137.40 ● ● ● CCl2F2 フロン12 120.90 ● ● CClF3 104.46 フロン13 ● ● CBrF3 148.91 フロン13B1 アセトアルデヒド混合ガス CH3CHO ● 44.10 ● メタンチオール混合ガス CH3SH 48.10 ● ジメチルエーテル混合ガス CH3OCH3 46.10 ● メチルアミン混合ガス CH3NH2 31.10 ●1 CF4 フロン14 88.00 ● ● CHCl2F フロン21 102.92 ● ● CHClF2 フロン22 86.48 ● CHF3 ● フロン23 70.01 ● C6H14 ● ヘキサン混合ガス 86.20 ● C6H12 ● ヘキセン混合ガス 84.16 ● He ● ヘリウム 4.00 CH3(CH2)2CH3 ● ペンタン混合ガス 72.15 ● ● CH4 メタン 16.04 ●1 ● メチルアセチレン混合ガス CH3C=CH 40.06 ●3 ● 硫化カルボニル混合ガス COS 60.07 ●3 硫化水素 H 2S 34.08 ●3 ●3 六フッ化硫黄 SF6 146.05 ●1 1L/min(nor)以下でご使用ください。 ●2 0.5%以下の混合ガスにご使用ください。 ●3 亜酸化窒素、アセチレン、エチレン、硫化水素、六フッ化硫黄ガスに使用する場合はお問い合わせください。流量特性 P2 MPa P2 MPa P2-Q 常用流量常用流量 GAS:N2 P1:1.0MPa P1:0.7MPa P1:0.5MPa GAS:N2 P1:1.0MPa P1:0.7MPa P1:0.5MPa Q L/min(nor) Q L/min(nor) 外観図 BLー1XXー5X□Gー1414 P2-Q SLー1XXー5X□Gー1414 アクセサリ ■ 流量計 S-LABO シリーズ専用として設計された流量計です。クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの純度保持に優れます。オプションでヘリウムリークテスト対応可能。 ■ パージバルブ毒性、腐食性ガス使用後に圧力調整器や配管内の残留ガスをパージ。容器交換時の安全性を確保します。クリーンルーム内で洗浄組み立てしており、ガスの純度保持に優れます。オプションでヘリウムリークテスト対応可能。ラインアップ分析、研究における高純度ガス供給をトータルにサポートする S-LABO 調整器ファミリー ■ B1、S1 シリーズ ■ 0 シリーズ一次側高圧用の機種で一次側機種であり、S-LABO の中であり、中で最もスタンダードな調最もスドな調整器です。整器で重量わずか 650g 以下の重量小型、軽量の調整器です。小型内容積も小さいので、デッ内容ドスペースを極限まで小ドスさく出来ます。さくボンベ直結だけでなボンベでなく、高純度ガスパネルく、高パネルやマニホールドへの組やマニへの組み込みなどにもご使用み込みご使用いただいております。いただます。 B2、S2 シリーズ ■ B2 S2 シリズ！ご注意 ■ M シリーズシリズ二段減圧構造により、二段減より、一次圧が変化しても二一次圧ても二次圧の変動はほとんど次圧のとんどありません。ありま本体材質に耐食性の高い本体材質モネルを採用し、高腐食モネルを性のガスでの仕様に対応性のガスした調整器です。した調整 0.2L/min(nor) 以下の小 0.2L/ 下の小流量供給にも最適で流量供適です。腐食性の高さから SUS で腐食性のも使用できない場合に最も使用で適です。正しくお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。本製品は改良のために、仕様など内容を予告なく変更する場合があります。 http://nissantanaka.com 産業機材事業部制御機器営業部 R-149 14.06 PAC 1000①