Keysight Technologies B2961Aおよび34420Aを使用した低抵抗測定 Keysight B2961A/B2962A 6.5桁低ノイズ・ソース高精度電流源とナノボルトメータの併用抵抗測定は、電気デバイスの特性を評価するために行われる最も一般的なテストの1つ測定システムのブロック図この抵抗測定方式では、B2961Aにより正確な電流が供給され、34420Aにより電圧が測定されます。B2961Aは、トリガ信号をN1294A-031 GPIO−BNCトリガ・アダプタ経由で 34420Aに出力して、電圧を測定するタイミングを知らせます。ですが、特定のタイプの抵抗測定では、テスト中のデバイスの自己発熱や損傷を防ぐため N1294A-031 GPIO - BNCトリガ・アダプタに、非常に高精度の微小レベル電流源が必要です。同軸ケーブル DIO 9 一般的に、抵抗測定の確度は、測定対象の電トリガ入力へトリガ圧／電流の大きさとともに向上します。このため、抵抗値の低いデバイス（超伝導体、カ • ーボン・ナノ・チューブ（CNT）など）では、できるだけ大きな測定電圧を使用する必要があります。Keysight B2961A 6.5桁低ノイズ・ソ lsrc ースとKeysight 34420A 7 ½桁ナノボルト／マイクロオーム・メータを組み合わせれば、こ Vmeas • れらの測定要件を満たします。 Keysight B2961A/B2962A低ノイズ・ソース 210V 10.5A 1A 1mA 1V Keysight B2961A/B2962Aは、電圧／電流を供給しながらモニタすることもできる、低ノイズ・ソースです。6.5桁の分解能で電圧／電流を供給でき、さまざまな測定アプリケーションに不可欠です。 6.5桁の分解能で電源の値を設定電圧／電流のリードバック 1mV バイポーラ 1μA バイポーラ 1nA 1μV 100nV 1pA 10fA 電圧電流 B2961A/B2962Aはバイポーラ電源なので、電圧／電流の極性を正または負にすることができます。10 fA ∼ 3 A （DC）または 10.5 A（パルスド）の電流、100 nV ∼ 210 V の電圧を供給できます。サンプル測定プログラム B2961Aと34420Aを使用して抵抗測定を行うためのサンプル・プログラムが、B2961A/B2962Aに付属しています。プログラムは、C#、 National Instruments LabVIEW、Microsoft Excel（VISA-COM使用）で動作します。また、基本的な抵抗測定に加えて、以下に示す測定誤差を低減する手法もサポートしています。小さな抵抗の測定では、オフセット電圧や熱起電力（EMF）による誤差が測定確度に大きな影響を与える可能性があります。以下の式は、電流を印加して電圧を測定する抵抗測定方法の誤差の影響を ISrc I 表しています。 t V V V V R Meas = Meas = DUT + Error = R DUT + R Error ISrc ISrc ISrc VMeas 測定 VError t このような誤差は、順方向電流と逆方向電流を印加し（I Srcと−I Src）、2つの電圧測定結果を平均することにより除去できます。これらの2つの測定結果を用いて真の抵抗値を以下の式で計算します。 R Meas = V1 − V2 = R DUT 2 × ISrc I ISrc t -ISrc V V1 前述のように、サンプル・プログラムはこの測定手法をサポートしています。 V2 t 測定 Keysight B2961A/B2962A低ノイズ・ソースの主な仕様と特性製品番号最大出力パルス B2961A DC 210 V 最大パワー電源分解能桁最小分解能ノイズ 1 測定分解能 200 V 31.8 W 6 1/2 100 nV ＜5 μVpp 4 1/2 B2962A 3.03 A 10.5 A 31.8 W 6 1/2 10 fA ＜1 pApp 4 1/2 1. 補足特性 B2961A/B2962Aの主な特長：・ 6.5桁の高分解能と広いバイポーラ・レンジ・ 10 μVrmsの超低ノイズ・ 10 kHzプレシジョン任意波形発生機能・プログラマブル出力抵抗 B2900Aシリーズプレシジョン・ www.keysight.co.jp/find/b2900a ソース・メジャー・ユニット B2900Aシリーズは、高精度電源と高精度測定の両方に対応しています。キーサイト・テクノロジー合同会社本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1 ・タイム・ドメイン電圧／電流波形ビュワー受付時間 9：00-18：00（土・日・祭日を除く） TEL 0120-421-345 (042-656-7832) FAX 0120-421-678 (042-656-7840) Email [email protected] www.keysight.co.jp © Keysight Technologies, 2014 Published in Japan, December 19, 2014 5991-1421JAJP 0000-00DEP www.keysight.co.jp