構 可塑化PVCゲルを用いた リニアアクチュエータの作製 端 科 学 載 技 ・加 術 推 工 進 等 機 は （戦略基盤）ナノMEMSセンシング･研究ユニット ④ものづくり ○松本啓伸（院生）、高橋智一（システム理工学部 機械工学科 助教）、鈴木昌人（准教授）、青柳誠司（教授） 研究概要・成果 従来研究 プロセス ②パターニングした銅箔に 5%wt塩酸＋5%wt過酸化水素 水で溝を掘る レジスト ①銅箔にパターニングを 行う クリープ変形をするアクチュエータ （信州大学 橋本ら，2001年） ③銅箔鋳型をエポキシ系接着 剤でガラス基板に接着する 銅箔 （100μm） ⑤作製したPVCゲルを流し込む 接着剤 ガラス 基板 歪み：200% 電界：500V/mm 西 写 ・転 大 学 先 屈曲するアクチュエータ （信州大学 橋本ら 2001年） PVC(ポリ塩化 ビニル) +DBA（アジピ ン酸ジブチル） +THF（テトラヒ ドロフラン） ⑦5%wt塩酸＋5%wt過酸化水 素水で銅箔をエッチングする 駆動実験 Cu 可塑化PVCゲル 幅：250～450μm 接着剤 メッシュ電極を用いたアクチュエータ （信州大学 橋本ら） 複 DC600V 印加後 断 印加前 陽極 無 可塑化PVCゲル - --- - - -- - - -- - - - - 印加前 250μm す 接地電極 禁 じ ま ※ 歪み：20% 印加中 。 関 変位：80 °/min 電界：1000V/mm ⑥余分なゲルを切断する ④可塑化PVCゲル溶液を作 製する 20℃ 250 rpm 応答速度：3Hz 電界:800V/mm 最大歪み200% 応用分野、実用可能分野 ステージなどのリニアアクチュエータや人工筋肉 への利用が期待できる 問合せ先： 関西大学 システム理工学部 青柳誠司 E-mail：[email protected] 関人ORDIST 先 端 科 学 技 術 推 進 機 構 社会連携部 産学官連携センター、知財センター
© Copyright 2024 Paperzz
