ビューイングポート

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ビューイングポート
窓材が、ホウケイ酸グラス、溶融石英、サファイヤ等、又用途として、ブロードバンド、レーザー等各種
波長のビューイングポートがあります。基本的には、超高真空、高真空用のものですが、高圧タイプ
( ∼ 10MPa) の製作も出来ます。特注製作も行っておりますので、詳細はお問合せ下さい。 He リーク:2 × 10^-11 Pa・m3/sec 以下 温度:-100℃∼ +450℃ ឬ᭗Ⴧᆰဇ⇹∋∞⇊∙⇖∃∞⇮ ‹⁞⁓⁥⁥‒
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コーニング社の Glass 7056 ( ホウケイ酸グラス ) を使用し、最新のグラス - メタ
ル接合技術を使用した、超高真空用ビューイングポート。
真空:1 × 10^-10 Torr
温度:∼ 350℃
> 90% Transmission
at 375nm ∼ 1,900nm
窓有効径
フランジ
ICF 34
ICF 70
ICF 114
NW 16
NW 40
NW 50
LF 63
ガラス厚
窓有効径
15.7mm
35.6mm
68.3mm
15.7mm
15.7mm
35.6mm
35.6mm
ガラス厚
1.8mm
2.7mm
4.3mm
1.8mm
1.8mm
2.7mm
2.7mm
型番
VPG16-133
VPG36-275
VPG68-450
VPG16-N16
VPG16-N40
VPG36-N50
VPG36-L63
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交換式ホウケイ酸グラスを使用した、O リング式の高真空用ビューイングポー
トです。窓材を簡単に交換できます。窓材のみの販売、コーティング、クリー
ニングのみも行います。
真空:1 × 10^-8 Torr
温度:∼ 350℃
> 90% Transmission
at 375nm ∼ 1,900nm
03
ガラス厚
窓有効径
窓有効径
ガラス厚
http://www.tecsam.co.jp
フランジ
ICF 34
ICF 70
NW 16
NW 40
TEL: 072-973-4020
窓有効径
14.2 mm
30.2 mm
14.2 mm
30.2 mm
フランジ厚
13.0 mm
16.0 mm
21.3 mm
21.0 mm
FAX: 072-973-4032
ガラス厚
4.0 mm
型番
VPD14-133
VPD30-275
VPD14-N16
VPD30-N40
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標準窓サイズは䃥 9.6mm ∼ 76mm、伝送レンジは 0.17 μ∼ 5 μ
です。温度:-100 ∼ +450℃
溶接タイプ、ICF タイプ、NW タイプが標準であります。
本カタログには ICF タイプのみ記載。
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ビューイングポート
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フランジ
窓有効径
窓有効径
11.7mm
15.0mm
17.5mm
23.9mm
36.6mm
36.6mm
49.3mm
ICF34
ICF70
ガラス厚
ICF114
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型番
A1858-1-CF
A0808-1-CF
A0810-1-CF
A0810-2-CF
A6944-1-CF
A0810-3-CF
A0810-4-CF
1.6mm
2.0mm
2.4mm
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ήᴾᵲᶐᵿᶌᶑᶋᶇᶑᶑᶇᶍᶌ
ガラス厚
AR Coated ZnSe
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広範囲の波長をカバーする、ビューイングポートです。 ジンクセレンについては AR コート品も標準です。標準フ
ランジは ICF70、ICF114 です。
温度:-100 ∼ +200℃(AR コート品:-100 ∼ +150℃)
ήᴾᵲᶐᵿᶌᶑᶋᶇᶑᶑᶇᶍᶌ
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[ レギュラーグレード ]
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窓材
窓有効径
ガラス厚
ジンクセレン
カルシウムフロイド
マグネシウムフロイド
ジンクセレン AR コート
http://www.tecsam.co.jp
フランジ
ICF70
ICF114
ICF70
ICF114
ICF70
ICF114
ICF70
ICF114
TEL: 072-973-4020
窓有効径
22.9mm
47.8mm
22.9mm
47.8mm
22.9mm
47.8mm
22.9mm
47.8mm
ガラス厚
2.5mm
3.8mm
2.5mm
3.8mm
2.5mm
3.8mm
2.5mm
3.8mm
FAX: 072-973-4032
型番
A3982-1-CF
A4548-1-CF
A4531-1-CF
A4594-1-CF
A4530-1-CF
A4595-1-CF
A4539-1-CF
A4297-1-CF
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ビューイングポート
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溶融石英(コーニング 7980)のビューイングポートです。標準窓サイズは
䃥 19mm ∼ 203mm、伝送レンジは 0.18 μ∼ 3.5 μです。
温度:-100 ∼ +200℃。
溶接タイプ、ICF タイプ、NW タイプが標準であります。
本カタログには ICF タイプのみ記載しています。
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窓有効径
[ UV グレード ]
フランジ
ICF34
ICF70
ICF114
ICF152
ICF203
ICF254
ガラス厚
窓有効径
16.0mm
35.6mm
68.3mm
98.6mm
136.7mm
197.6mm
ガラス厚
2.5mm
3.3mm
6.3mm
6.3mm
9.4mm
9.4mm
型番
A1671-1-CF
A0651-1-CF
A0651-3-CF
A0651-5-CF
A0651-7-CF
A0651-8-CF
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伝 送 レ ン ジ は 225nm-450nm、425nm-760nm、550nm-1100nm
用 の 3 種 類 が あ り ま す。 窓 サ イ ズ は ICF34 の 䃥 35.6mm、 ICF70 の䃥 68.3mm があります。 温度:-100 ∼ +200℃。
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BBAR225-450
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BBAR425-760
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BBAR550-1100
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フランジ
窓有効径
ガラス厚
05
ICF70
ICF114
http://www.tecsam.co.jp
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タイプ
225-450mm
425-760mm
550-1100mm
225-450mm
425-760mm
550-1100mm
TEL: 072-973-4020
窓有効径
ガラス厚
35.6mm
3.3mm
68.3mm
6.4mm
FAX: 072-973-4032
型番
A8000-1-CF
A8002-1-CF
A8004-1-CF
A8001-1-CF
A8003-1-CF
A8005-1-CF
⇹∋∞⇊∙⇖∃∞⇮
780nm Diode Laser
ᵲᵷᵮᵣ
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1064nm YAG Laser
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ᵃᴾᵰᵣᵤᵪᵣᵡᵲᵟᵬᵡᵣ
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193nm ArF Excimer、248 KrF Excimer、780nm Diode Laser、
1064nm YAG Laser 用の 4 種類が準備されています。窓サイ
ズは ICF34 の䃥 35.6mm、ICF70 の䃥 68.3mm があります。
温度:-100 ∼ +200℃。
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フランジ
窓有効径
ガラス厚
ICF70
35.6mm
3.2mm
ICF114
68.3mm
3.2mm
᩼ᄬࣱჽᒍ⇹∋∞⇊∙⇖∃∞⇮
ᵣᵶᵡᵧᵫᵣᵰᴾᵳᵴ
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タイプ
780nm Diode Laser
1064nm YAG Laser
193nm YAG Laser
248 KrF Excimer
780nm Diode Laser
1064nm YAG Laser
193nm YAG Laser
248 KrF Laser
型番
A4546-1-CF
A4545-1-CF
A4548-1-CF
A4547-1-CF
A5802-1-CF
A5803-1-CF
A5800-1-CF
A5801-1-CF
フランジの材質が、SUS316L の非磁性石英ビューイングポートで
す。 窓サイズは ICF34 の䃥 16mm、ICF70 の䃥 35.6m、ICF114
の䃥 68.3mm があります。 UV グレードと DUV グレードがあり
ます。 温度:-100 ∼ +200℃。
ᵳᵴᴾᵄᴾᵢᵣᵣᵮᴾᵳᵴ
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193nm ArF Excimer
ᵲᵷᵮᵣ
ᵒᵌᵎ
ᵏᵏᵓᵎ
ᵏᵏᵎᵎ
ᵵᵟᵴᵣᵪᵣᵬᵥᵲᵦᵆᶌᶋᵇ
248 KrF Excimer
ᵲᵷᵮᵣ
ビューイングポート
−∞⇜∞ဇჽᒍ⇹∋∞⇊∙⇖∃∞⇮
DEEP UV
ᵵᵿᶔᶃᶊᶃᶌᶅᶒᶆᴾᶇᶌᴾᵫᶇᶁᶐᶍᶌᶑ
グレード
窓有効径
UV
DUV
http://www.tecsam.co.jp
フランジ
ICF34
ICF70
ICF114
ICF34
ICF70
ICF114
TEL: 072-973-4020
窓有効径
16.0mm
35.6mm
68.3mm
16.0mm
35.6mm
68.3mm
FAX: 072-973-4032
型番
A7154-1-CF
A7981-1-CF
A8711-1-CF
A7154-2-CF
A7981-2-CF
A8711-2-CF
06