アップ・テック・ジャパン株式会社〒261-0012 千葉県千葉市美浜区磯辺 5-7-2-202 TEL:043-270-4305 FAX:043-216-5838 http://uptechjapan.com MC50 サエスはガス精製技術において世界トップレベルのメーカーです。大部分のバルクガス、および特殊ガスに対応できるよう、様々な製品を取り揃えています。ガスと材料の相互作用に関しての豊富な経験を活かすとともに、妥協のない品質とサービスを提供することで、サエスはガス精製器のトップメーカーとなりました。当社は精製材料の開発から、お客様の施設での精製器取り付けまで、総合的な製造アプローチを通して最適な製品を提供するだけでなく、比類のないサービスとサポートを全世界で実現しています。マイクロトール®は、室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCｌ等を含めた様々なガスから不純物を除去するように設計されています。ほとんどの場合、これらのガスに含まれる不純物は、1ppb 未満にまで除去されます。マイクロトール®は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計されています。流量を基準とした各サイズに加えて、多種多様なバルブ形状およびフィルター形状も取り揃えています。 MC50 □寿命定格流量で標準的な5Nのガスを基準として１年（具体的な寿命についてはお問い合わせください。） □最大定格流量: 10 slpm □定格流量: 1.5 slpm ＊アルシンおよびホスフィンの流量については次頁をご覧ください。 □最大圧力: 0.97MPa(1,000psig) マイクロトール®は、他のサエス製品と同様に優れた品質で製造されています。最高のパフォーマンスを証明するために、APIMS を利用して分析試験を実施しています。すべて CE/PED 対応モデルです。 1.50 ［38.1］ 10.60［269.2］ □モデル番号の構成 2×2.78［70.6］モデル MC50 媒体オプション 202,203,302, F: 0.003μm 403,404,502, パーティクルフィルター 602,702,703, V:入口/出口バルブ 802,804,902, FV: 0.003μm 904,905,906 パーティクルフィルター＆バルブバルブオプション付インチ［mm］ We support your innovation 5.00［127.0］機械仕様モデル（）＝オプション最大定格流量定格流量バルブ最大作動圧力最高温度定格入口出口長さ（面間）重量外径電解研磨ヘリウム漏れ試験材質フィルター MC50-*F(V) MC50-F 10 slpm 1.5 slpm 無 1/4" 手動 40°C で 0.97MPa (1,000psig) 40°C 1/4"オスVCR 1/4"オスVCR 127.0mm±0.8 0.4 kg 1/4"メスVCR 1/4"メスVCR 269.2mm±1.3 1.3 kg 38.1mm 有 He: 1x10-9 atm cc/sec 本体 316L ステンレス製メタルフィルター・0.003μm ＊モデルNo.の3桁の数字は、下表の「媒体」の欄の数字と同じです。 †媒体502の流量: アルシン/ホスフィン最大=4.0slpm, 公称=1.5slpm MC50精製および除去性能媒体精製対象ガス除去不純物 202 Ar、CDA、H2、He、Kr、N2、Ne、O2、Xe、CO₂、N2O、D2、NO 203 Ar、CDA、H2、He、Kr、N2、Ne、O2、Xe、N2O、D2 302 B2H6 、BCl3 、BF3 、CClH3 、Cl2 、CO2 、GeCl4 、GeH4 、H2S、 H2Se 、 HBr 、 HCl 、 N2O 、NF3 、NO 、 SiCl4 、SiF4 、SiH2Cl2 、 SiHCl3、SO2、CHClF2 LED H2O、メタル 403 Aｒ、CDA、H₂、He、Kr、N₂、Ne、O2、Xe、CO₂ 揮発性有機酸*、有機物、耐火性化合物* 揮発性塩基* 502 Ar、CDA、H2、He、Kr、N₂、Ne、O2、Xe、CO2、C2H2、C3H6、 C2H4、NH3 PH3、AsH3 602 CO 702 NH3 、 C2H7N 、 C2H8N2 、 C2H4 、 C3H6 、 CH3SiH3 、 GeH4 、 H2-SiH4mix、SF6 LED 703 NH3 802 SiH4 404 804 902 904 905 906 CO2 Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe LED H2、H2-Inerts Mix、D2 LED C2F6、C2H6、C3F8、C3H8、C2F4H2、C4F8、C4H10、CCl4、CF4、 CH4、CHF3、SF6 CDA、O2、N2O H2O H2O、CO2 揮発性有機酸*、有機物、耐火性化合物* 揮発性塩基* 出口不純物濃度 < 1ppbV < 100pptV 再生の可否可立上げ方法（取扱書参照） B < 1pptV 可 B 不可 B 不可 B < 5pptV < 1ppbV < 1pptV < 5pptV 有機物 < 1ppbV 可 A H2O、O2 H2O、O2、CO2、酸、塩基、有機物、耐火性物質* < 1ppbV 不可 A < 1ppbV 不可 A H2O、O2、 CO2、メタル < 1ppbV 可 A < 1ppbV 可 A < 1ppbV 不可 A 可 A 可 B 可 B < 1ppbV 可 A < 1ppbV 可 B H2O、O2、CO2、NMHCs、メタル H2O、O2、CO、CO2、 NMHCs、硫黄化合物* H2O、O2、CO、H2 揮発性有機酸*、耐火物、凝集性有機物(>100amu)、揮発性塩基* 非凝集性有機物(>45amu) H2O、O2、CO、CO2、H2 揮発性有機酸*、有機物、耐火性化合物* 揮発性塩基* H2O、O2、CO、CO2、揮発性有機酸、有機物、耐火性化合物* 揮発性塩基* H2O、O2、CO、CO2、H2、 NMHCs* H2O、CO、CO2、NMHCs* < 1ppbV < 5pptV < 100pptV < 100pptV < 1pptV < 5pptV < 100pptV < 1pptV < 5pptV ＊NMHCs=Oraganics(C>4); Volatile Acids are compounds including SO2,NOx,HCl,H2S,etc; Volatile Bases are basic compounds including NH3 and amines; Refractories are hydrocarbons with etheroatoms such as Si,Halogens,P,B,S,or metals. その他のサイズ一覧表モデル番号最大流量公称流量モデル番号最大流量公称流量 MC1 5slpm 0.5slpm MC700 120slpm 25slpm MC50 10slpm 1.5slpm MC1500 250slpm 40slpm MC190 50slpm 5slpm MC2525 300slpm 80slpm MC200 50slpm 5slpm MC2550 500slpm 80slpm MC400 60slpm 9slpm MC3000 500slpm 80slpm FT400 75slpm 10slpm MC4500 1000slpm 200slpm MC450 75slpm 10slpm MC9000 1000slpm 300slpm MC500 100slpm 12slpm