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200
Sources lumineuses
DOCUMENTATION
TECHNIQUE
Simulateurs solaires Oriel 1600 W
• Simulateurs solaires Oriel de la plus haute intensité
• Faisceau de sortie hautement collimaté, de grande taille
(jusqu'à 254 x 254 cm)
• Filtres à masse d'air optionnels permettant de modifier les
spectres de sortie
• Diverses configurations de faisceau sont possibles
Ce sont nos simulateurs solaires de plus haute intensité. Ils produisent un faisceau de sortie très uniforme, hautement collimaté, de
diverses tailles allant de 51 x 51 mm à 254 x 254 mm, proche du rayonnement solaire. Ajoutez un filtre de masse d'air (cf. page 206) à ces
sources et vous pourrez simuler un large éventail de conditions
solaires. Nous proposons des simulateurs à spectre complet et des
simulateurs solaires à UV. La figure 1 montre la sortie spectrale des
deux types de simulateurs.
35
SIMULATEURS
SOLAIRES
ILLUMINATEURS DE FIBRES
& DE MONOCHROMATEURS
Simulateurs solaires UV
Ces modèles produisent des UV très haute intensité et peu de VIS et
d'IR. Soyez très prudent quand vous travaillez avec ces sources. Le
tableau 2 montre la sortie typique (W·m-2) du simulateur solaire UV
92291, de taille 50,8 x 50,8 mm.
Tableau 2 : Sortie typique du simulateur solaire UV
92291
Sortie classique (W·m-2)
30
25
Irradiance (W.m-2.nm-1)
SOURCES
INCANDESCENTES
LAMPES À ARC
SOURCES
AU DEUTÉRIUM
SOURCES
D’ÉTALONNAGE
Simulateur solaire 92193.
20
Simulateur
solaire
ultraviolet
Simulateur solaire
spectre complet
15
10
5
0
250
Avec ces filtres UV
optionnels
UVC
inférieur à 280 nm
UVB
entre 280 et 320 nm
UVA
entre 320 et 400 nm
Filtre d'atténuation
atmosphérique
0
48
1040
Filtre d'atténuation
0
atmosphérique + filtre
de blocage passebande VIS-IR
40
660
Filtre de blocage UVC
0
142
1063
Filtre de blocage UVB/C 0
0,43
836
Éclairement non filtré
369
1150
70
Composants d'un simulateur solaire
750
1250
1750
2250
Boîtier de l'illuminateur
Longueur d’onde (nm)
Figure 1 : Comparaison des sorties spectrales d'un simulateur solaire 1600 W à
spectre complet et d'un simulateur solaire UV 1600 W.
Simulateurs solaires à spectre complet
Nous proposons 6 modèles de simulateurs solaires à spectre complet
1600 W : cinq produisent des faisceaux de sortie collimatés et le dernier produit un faisceau divergent d'une taille allant jusqu'à 305 x 305
mm. Pour ce modèle, nous avons remplacé la lentille de collimation
par une fenêtre de sortie. Le tableau 1 montre la sortie typique de nos
modèles collimatés, dans le plan éclairé de départ.
Le boîtier de l'illuminateur est un étui à température contrôlée, équipé
d'un dispositif de verrouillage de sécurité et d'un système d'inhibition
thermique afin d'assurer la sécurité de l'opérateur et la sûreté du système. Un ventilateur intégral et un flux d'air sur le filtre fournissent le
refroidissement forcé permettant de garder la lampe, le système
optique et le boîtier à une température de fonctionnement sûre.
Lampe à arc au xénon 1000 W
Les deux familles de simulateurs solaires utilisent une lampe sans
ozone dont la sortie en dessous de 260 nm est négligeable. Même sans
la sortie UV profond, ces sources émettent des niveaux dangereux de
rayonnement UV.
ACCESSOIRES
INSTRUMENTS
DE PHOTOLITHOGRAPHIE
Tableau 1 : Sortie typique des simulateurs solaires à spectre complet de 51 x 51 mm à 203 x 203 mm
Sortie classique (W·m-2)
Avec ce filtre à masse
d'air optionnel
51x51 mm
de 250 à 2500 nm
de 250 à 1100 nm
de 250 à 2500 nm
101,6x101,6 mm
de 250 à 1100 nm
de 250 à 2500 nm
152,4x152,4 mm
de 250 à 1100 nm
de 250 à 2500 nm
203x203 mm
AM1 Direct
14917
10608
3978
2825
1820
1300
1105
780
AM1,5 Direct
13470
9555
3595
2548
1650
1170
985
702
de 250 à 1100 nm
AM2 Direct
12675
8840
3380
2365
1560
1092
936
650
AM1,5 Global
9295
7940
2485
2120
1138
975
683
585
AM0
17428
12740
4645
3430
2130
1560
1275
930
Éclairement non filtré
22256
17810
5935
4745
2730
2185
1625
1300
Téléphone : +33 (0)1.60.91.68.68 • Télécopie : +33 (0)1.60.91.68.69
Sources lumineuses
Spécifications
L'alimentation 69922 est hautement régulée et conserve une sortie
lumineuse très stable. Pour les applications dont la stabilité à long
terme est critique (> 8 heures), commandez le contrôleur numérique
d'exposition 68951 (cf. page 208). Le 69922 possède une interface
RS-232 pour ordinateur (et IEEE-488 en option) ; vous pouvez définir
les paramètres de la lampe, contrôler la sortie lumineuse et
allumer/éteindre la lumière à distance. Compte tenu de la très haute
intensité de ces sources, nous vous recommandons de faire fonctionner les lampes à distance.
Puissance
1600 W
Type de lampe
Arc court au xénon
<1 % RMS
Simulateur solaire entrée
220 V continu, 50/60 Hz, 15 A
Régulation en ligne
0,01 %
Références pour commander
Simulateurs solaires
Veuillez spécifier la configuration ascendante, descendante ou latérale du faisceau à la commande.
Type de simulateur
Taille du faisceau du simulateur solaire
mm
Référence
Simulateur solaire à spectre complet 51x51
92191
92192
Obturateur électronique
152x152
92193
203x203
92194
Nos simulateurs solaires comportent un obturateur électronique. Vous
pouvez le commander en externe depuis le panneau de commande
numérique sur le boîtier de l'illuminateur, ou via un commutateur
manuel, un système de fermeture par contact ou une entrée de niveau
logique. Pour le contrôle d'exposition automatisé, commandez l'horloge numérique 68945 (cf. page 208).
Divergence jusqu'à 305x305
92190
Certification
Simulateur solaire UV
51x51
92291
102x102
92292
152x152
92293
203x203
92294
254x254
92295
LAMPES À ARC
102x102
SOURCES
AU DEUTÉRIUM
Pour les simulateurs solaires UV, nous remplaçons le miroir aluminisé
par un miroir dichroïque, qui transmet la plage entre 280 et 400 nm et
réduit nettement le visible et l'IR. Vous pouvez altérer davantage la sortie du simulateur au moyen de filtres de blocage UV placés derrière le
miroir dichroïque.
±5 %
Fluctuation de l'intensité lumineuse
SOURCES
D’ÉTALONNAGE
Miroir dichroïque UVB/UVA (uniquement pour les
simulateurs solaires UV)
Uniformité du faisceau
DOCUMENTATION
TECHNIQUE
Alimentation
201
Lampe de rechange
Précautions de sécurité
Description
062711
1600 W, Xe, sans ozone
Accessoires
Référence
Description
92000
Plan de garantie étendue
68955
Commutateur à distance
Pour plus d'informations,
consultez notre site Internet.
ILLUMINATEURS DE FIBRES
& DE MONOCHROMATEURS
Les sources émettent des niveaux dangereux de rayonnement UV,
nocifs pour les yeux et la peau. Le personnel travaillant à proximité de
ces sources doit porter un masque et des gants de protection UV
(cf. page 246). Toutes les zones exposées de la peau doivent être couvertes.
Référence
SOURCES
INCANDESCENTES
Ces systèmes répondent aux exigences IEC 904 – 9 de Classe B, mais
ne sont pas livrés certifiés.
SIMULATEURS
SOLAIRES
INSTRUMENTS
DE PHOTOLITHOGRAPHIE
ACCESSOIRES
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