エッチングやレーザー加工では困難なミクロンレベルの超微細加工が可能

■エッチングやレーザー加工では困難なミクロンレベルの超微細加工が可能
■金型不要でイニシャル費が安価! 多品種・少量生産に最適
■エレクトロフォーミング加工ならではの3次元断面形状の成型が可能
Ni(ニッケル)素材の長所
エッチングやレーザー加工と比較した優位性
エレクトロフォーミングのめっき析出素材としてはNi(ニッケル)
が使用されます。Niは他の元素と比較して硬く、多少の圧力が
かかる部品として使用しても耐久性があり、バネ性も持ってい
ます。そのため、印刷用ローラーの表面やコンタクトプローブな
どでも使用されています。
削り取ったり、押し切ったりするエッチングやレーザー加工
と比較して、めっき技術は格段に高い精度を保つことが可
能です。また、パターンのトップとボトムがほぼ同じサイズ
で、テーパーのない高精度なパターンの形成が可能です。
用途例
●レーザーマスク ●蒸着マスク ●吸着マスク ●流体制御ノズル ●精密分粒フィルター ●印刷用メタルマスク
●メタルスクリーン ●プローブ ●光学スリット
平版公差表(製品有効サイズ500mm×400mm)
液状レジスト
板厚(t)
最小スリット幅
(mm)
0.02±0.003
0.005±0.003
30
0.03±0.003
0.005±0.003
50
0.05±0.005
0.010±0.003
50
0.08±0.005
0.020±0.003
0.10±0.010
0.15±0.010
ドライフィルム
最大スリット長さ 最大製品サイズ
(mm)
(mm)
最小穴径
(φ )
最小スリット幅
(mm)
最小穴径
(φ )
50×50
0.01±0.003
0.020±0.003
0.020±0.003
100×100
0.01±0.003
0.025±0.003
0.025±0.003
150×150
0.01±0.003
0.045±0.005
0.045±0.005
100
200×200
0.03±0.003
0.090±0.010
0.090±0.010
0.030±0.005
100
300×300
0.05±0.005
0.100±0.010
0.100±0.010
0.050±0.005
100
400×500
0.05±0.005
0.150±0.015
0.150±0.015
※上記数字はあくまでも目安ですので前後する場合があります。
用途例
●精密部品 ●電子部品
精密部品公差表(綴り製品有効サイズ100mm×100mm)
液状レジスト
板厚(t)
最小スリット幅
(mm)
0.02±0.003
0.005±0.003
P/5
0.03±0.003
0.005±0.003
P/5
0.05±0.005
0.010±0.003
0.08±0.005
ドライフィルム
最大スリット長さ 最小製品サイズ
(mm)
[P]個片(mm)
最小穴径
(φ )
最小スリット幅
(mm)
最小穴径
(φ )
2×2
0.01±0.003
0.020±0.003
0.020±0.003
2×2
0.01±0.003
0.025±0.003
0.025±0.003
P/4
2×2
0.01±0.003
0.045±0.005
0.045±0.005
0.020±0.003
P/3
3×3
0.03±0.003
0.090±0.010
0.090±0.010
0.10±0.010
0.030±0.005
P/2
3×3
0.05±0.005
0.100±0.010
0.100±0.010
0.15±0.010
0.050±0.005
P/2
3×3
0.05±0.005
0.150±0.015
0.150±0.015
※上記数字はあくまでも目安ですので前後する場合があります。
本カタログの記載内容は2016年6月現在のものです。改良の為、予告なく内容を変更する場合があります。
エレクトロフォーミング加工では、フォトレジストに被さるように製品を析出させるオーバーハングタイプと、
厚み方向が直線的な形状のストレートタイプ、複数の層で構成される積層タイプからお選びいただけます。
メタルマスク等の印刷版用途ではストレートタイプが最適です。
オーバーハングタイプ
ストレートタイプ
積層タイプ
穴径:5μm~
穴径:5μm~
製品(めっき金属)
フォトレジスト
フォトレジスト
ステンレスメッシュとニッケ
ルめっきの組み合わせで、
寸法精度・耐刷性に優れて
います。
製品(めっき金属)
製品(めっき金属)
ハンダボール等の微細粒
子の分粒に使用します。穴
径は5µmより加工可能です。
フォトレジスト
超微細なスリットが形成でき
光の通過性も優れています。
一般仕様
最大ワークサイズ
最小加工穴径
寸法精度
加工板厚
アスペクト比
2次めっき補強
めっき材質
電子部品実装に欠かす事の
出来ないメタルマスクをフォー
ミング加工により製造すること
でメタルの厚さによるはんだ
量の調整が可能です。
オーバーハング
タイプ
ストレート
タイプ
400mm×300mm
5µm
400mm×300mm
5µm
±2µm
5~100µm
-
±2µm
5~200µm
0.5~2
可
可
Ni,Ni-Co
Ni,Ni-Co
本カタログの記載内容は2016年6月現在のものです。改良の為、予告なく内容を変更する場合があります。