M Plan Apo NIR

光学機器
Catalog No.4208 ⑯
独自開発の光学技術と長年蓄積した精密加工技術を融合させ、ミツトヨは特色あるさまざまな顕微鏡ユニットや
対物レンズをシリーズ化しております。半導体・電子・液晶関連などの生産および品質管理システム・実験研究装置
の光学系・外観検査システムの組込光学ユニット・微生物などの動体観察など、これまで世界中のお客様にご利用
いただいております。本カタログに掲載されていない仕様でも光学設計製作を検討致しますのでご相談ください。
微小生物図鑑 “ Microbio-World　Ver.7 ”
より
>（http://elfe.miyakyo-u.ac.jp/opac/2008/03/cd_2.html）
1
2
システム展開例
デジタル顕微鏡システム
赤外解析検査システム
VMU-V + イメージクロス PRO3000
顕微鏡用デジタルカメラを装着して、撮影や外部モニタによる同時観察が可能
です。コンパクトで置く場所を選ばない手軽な顕微鏡システムとしてお使い
いただけ、顕微鏡本体の固定方向も横水平・上下逆など向きを選びません。
可視域から赤外域まで幅広い波長に対応する弊社製 M Plan Apo NIR
シリーズを用いた光学系は生産・研究現場で多くのソリューションを提供して
います。光源に赤外光を用い、可視光では不可能な非破壊検査が可能です。
★金属・樹脂・印刷面等の表面観察撮影
★微量な流体分析用の光学系
★細胞・微生物等の観察・分析を目的とした光学系
★液晶薄膜厚やシリコン基板膜厚の測定
★ MEMS デバイス内部の評価検査・3 次元実装評価
★半導体パッケージ
（IC ）内部観察・ウエハ接合ボイド評価検査・
赤外光による分光特性解析など
★フェムト秒レーザ対応
標準仕様以外にも 2 カメラ搭載、2 種倍率
（低倍率・高倍率）
観察、微分干渉
観察などご要望に応じて対応致します。
レーザ加工システム
２カメラ・２種倍率顕微鏡システム
2/3インチカメラ
（低倍率側）
1/2インチカメラ
（高倍率側）
ポリイミド膜の剥離
VMU-L と定倍率観察用カメラマウント
の組合せで、各々の C マウント部に
低倍率側カメラ（2/3 インチ）と
高倍率側カメラ（1/2 インチ）を装着
することにより同一箇所を異なる倍率
で観察が可能です。
VMU-L4B による UV レーザ加工
上層レイヤーの撤去後の IC 表面 SEM 写真
解析評価システム
カラーフィルターの加工
FS70L4 による UVレーザ加工（測定顕微鏡ベース）
YAGレーザ（1064nm・532nm・355nm・266nm）対応の顕微鏡および対物
レンズによる高精度・高品位加工が可能です。
★保護膜・有機薄膜等の剥離
★金・アルミ等の IC 金属配線カット、下層パターンの露出
★ FPD の各種欠陥修正
★フォトマスク修正
★マーキング、トリミング、パターニング、スポットアニール、スクライビング
ポジショナー先端の
プローブ
長作動距離の特長を活かした対物レンズを使うことによって、半導体集積
回路等の不良解析を目的とした光学システムを構築でき、YAG レーザを
搭載することにより、部分的な微細修正を行うことも可能です。
また、ガラス越しや真空内外観検査を目的とした光学システムも提供します。
写真提供：㈱ブイ・テクノロジー
3
Contents
ビデオマイクロスコープユニット
VMU ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5
ファインスコープユニット
FS70・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 9
ビデオマイクロズームユニット
VM-ZOOM40 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 13
明視野用対物レンズ（長作動距離）
M Plan Apo/M Plan Apo HR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 15
明視野用対物レンズ（超長作動距離）
M Plan Apo SL・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 16
明視野用対物レンズ（ガラス厚補正）
G Plan Apo ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 16
明暗視野対物レンズ（長作動距離）
BD Plan Apo/BD Plan Apo HR ・・・・・・・・・・・・・・・・ 17
明暗視野対物レンズ（超長作動距離）
BD Plan Apo SL・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 18
明視野用対物レンズ（近赤外域）
M Plan Apo NIR/M Plan Apo NIR HR・・・・・・・・ 19
明視野用対物レンズ（液晶ガラス厚補正近赤外域）
LCD Plan Apo NIR・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 19
明視野用対物レンズ（近紫外域）
M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR ・・・・・ 20
明視野用対物レンズ（液晶ガラス厚補正近紫外域）
LCD Plan Apo NUV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 20
明視野用対物レンズ（紫外域）
M Plan UV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 21
結像（チューブ）レンズ
MT ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 22
測定顕微鏡・心出し顕微鏡用対物レンズ
ML/CF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 23
広視野接眼レンズ / レチクル
WF/UWF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 24
顕微鏡用各種オプション
スタンド・ステージ・照明装置
外観寸法
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
25
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
26
解説：光学用語
4
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
29
ビデオマイクロスコープユニット
VMU
VMU-V
VMU-H
VMU-LB
VMU-L4B
（対物レンズは、オプションです）
■特長
・コンパクトかつ軽量なカメラ観察専用顕微鏡
金属・樹脂・印刷面・微小な動体など観察対象はさまざまです
・YAGレーザ（近赤外・可視・近紫外・紫外）
による微細加工に対応 ※　※レーザ発振器搭載システムの総合性能および安全性は保証いたしかねます。
半導体回路のカット・トリミング・修正・マーキング、薄膜
（絶縁膜）
の除去・加工、液晶カラーフィルタ等のリペア
（欠陥修正）
など
・赤外光学系に対応※
シリコン系の内部観察、赤外光による分光特性解析など　※赤外光源や赤外カメラ等が別途必要になります。
・反射照明光学系に開口絞り付テレセントリック照明を標準装備
均一照明を必要とする画像処理に最適です。寸法測定・形状検査・位置決めなどに利用できます
・ VMU-LB および VMU-L4B は顕微鏡本体の剛性や総合性能を強化（従来比）
・標準仕様以外にも 2 カメラ搭載、2 種倍率
（低倍率・高倍率）
などご要望に応じた設計製作が可能
■仕様
VMU-V
378-505
符号
コード No.
カメラ取付方向
観察像
VMU-H
378-506
垂直方向
水平方向
明視野 / 正立像
明視野 / 反転像
光学系
カメラ
ポート
明視野 / 正立像
C マウント
（同焦・調芯独立調整機構）
グリーンフィルタ切換機能付
1×（近赤外～可視～近紫外補正）内蔵 1 ×（紫外～近赤外補正）内蔵
倍率：１×
倍率：１×
波長：355/532/1064nm
波長：266/355/532/1064nm
YAG レーザ発振器
YAG レーザ発振器
（基本・第 2・3 高調波）搭載可（基本・第 2・3・4 高調波）
搭載可
同焦調整機構付
1 ×（可視～近赤外補正）内蔵
－
マウント部
偏光ユニット※ 1
装着可
装着可（レーザ加工可）
M Plan Apo 、M Plan Apo HR 、M Plan Apo SL 、G Plan Apo
観察用
対物レンズ
（必須オプション）レーザ
加工用
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
－
※レーザ発振器の使用波長から選択
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
M Plan UV
※レーザ発振器の使用波長から選択
2/3 インチ以下カメラ（C マウント仕様）
適用カメラ
反射照明光学系
開口絞り付テレセントリック照明
照明装置（オプション）
本体質量
垂直方向（回転可能）
C マウント（同焦・調芯独立調整機構）
マウント部
光学系
レーザ
ポート
VMU-L4B
378-514
倍率：１×　可視光
結像
（チューブ）
レンズ
鏡筒
VMU-LB
378-513
650g
12V100W ファイバ照明装置（No.378-700）/ 12V150W ファイバ照明装置（No.176-316）
750g
1270g
1300g
※ 1：対物レンズ M Plan Apo 1 ×をご使用の際は偏光ユニット
（No. 378-710 または 378-715）の併用をお奨めします。
注）VMU-LB、L4B に YAGレーザ発振器を取付けてご使用される際、・レーザ入力値やエネルギー密度等にご注意ください。光学系に損傷を与えるおそれがあります。
・レーザ発振器の重量をご確認ください。また、高速・高加減速装置に搭載の際はご相談ください。
5
■システム構成
C マウント対応のアナログカメラまたはデジタルカメラ
例）ImageX PRO 3000
各社 YAGレーザ発振器※5
定倍観察用カメラマウント
2×TVアダプタユニット
（378-703）
VMU-V
（378-505）
偏光ユニット
（378-710）
P.7
（378-087）P.7 ※4
0.5×TVアダプタユニット※1
（378-704）
P.7
VMU-H
（378-506）
VMU-LB
VMU-L4B
（378-513）
※2
マニュアルレボルバ
（明視野用）
調心電動レボルバ（明視野用）※3
（378-707）
（378-713）
P.7
P.7
4穴
（378-514）
偏光ユニット
（378-715）
P.7
5穴
ファイバ照明装置
100W（378-700）
対物レンズ
150W（176-316）
M Plan Apo シリーズ
（観察用）
：全機種 P.15 ∼16
P.25
G Plan Apo シリーズ
（観察用）
：全機種 P.16
フィルタ
（ファイバ照明
装置 No.378-700用）
12AAB251
12AAB252
12BAA583
12BAA584
ND2
ND8
GIF
LB80
フォーカシング
ユニットA
（378-705） P.7
M/LCD Plan Apo NIR シリーズ P.19
（基本波・第2高調波レーザ加工用）
：LB用
（近赤外観察用）
：V・H・L 用
M/LCD Plan Apo NUV シリーズ P.20
（第2・第3高調波レーザ加工用）
：LB用
M Plan UV シリーズ P.21
（第2・第4高調波レーザ加工用）
：L4B用
透過照明ユニット
（378-736）
ファイバ照明装置
100W（378-700）
※1 1/2インチ以下のCマウントカメラに対応します。
※2 フォーカシングユニットB（378-706）は取付け位置とVMU本体との間隔を極力小さくしたい時に 150W（176-316）
ご使用ください。
レボルバはVMU本体の正面方向に取付けて
マニュアルレボルバ（378-707）を併用する場合、
P.25
ください。取付については、P.8 をご参照ください。
との併用はできません。
※3 フォーカシングユニットB（378-706）
フィルタ
（ファイバ照明
取付方法については、P.8 をご参照ください。
装置 No.378-700用）
※4 レーザポートを使って、Cマウントカメラを取り付ける際に使用します。
2/3インチ以下のカメラでご使用ください。
12AAB251
ND2
※5 弊社では扱っておりませんのでご相談ください。
12AAB252
ND8
※6 取付時に別途アダプタが必要になる場合がありますのでご相談ください。
6
簡易スタンド
（378-730）
P.25
P.25
12BAA583
12BAA584
フォーカシング
ユニットB ※2
（378-706） P.7
GIF
LB80
X-Yステージ（50×50mm）各社X-Y 電動ステージ
（378-020）
（50×50mm）※6
P.25
VMUシリーズ共通オプション
■マニュアルレボルバ
■調心電動レボルバ
対物レンズを 4 本まで装着でき、レボルバの向きは取付面に対して
自由に設定できます。
対物レンズを 5 本まで装着でき、レボルバの向きは取付面に対して
自由に設定できます。
コンソールボックス　写真：VMU-V への装着例
（レボルバ・対物レンズはオプションです）
写真：VMU-V への装着例
（レボルバ・対物レンズはオプションです）
コード No.
378-707
コード No.
378-713
観察方法
明視野観察
観察方法
明視野観察
対物レンズ取付け穴数
4（固定穴）
780g
質量
5（基準穴 1、調心機構付き穴 4）
± 0.5mm
位置決め精度
（繰返し停止精度） 2σ＝ 3µm
駆動寿命（耐久性）
100 万ポジション
駆動方式
DC モータ
入力電源
AC100V ～ 240V　最大消費電力約 10W
外部入出力インターフェース※
RS-232C（パソコンによる外部制御に使用）
付属ケーブル長
3m（電動レボルバ部とコンソールボックスの接続）
本体部：130 × 47 × 186、約 1.8kg
外観寸法：W×H×D
（mm）
、質量
コンソールボックス：108 × 63 × 176 、約 810g
※接続の際は【RS-232C ケーブル
（12AAA807）
】をご利用ください。
対物レンズ取付け穴数
視野調整範囲
■フォーカシングユニット A・B
VMUのマニュアルフォーカシング用。
A を簡易スタンドに装着した場合、簡易
スタンドのステージ中央と光軸が
一致し、レボルバの向きを 360 度自由に
設定できます。電動フォーカシングの場
合は、P.11の電動フォーカスユニットを
お使いください。
■偏光ユニット
写真：VMU-V との装着例（フォーカシングユニット A）
（対物レンズはオプションです）
名称
フォーカシングユニット A
フォーカシングユニット B
（薄形タイプ）
378-705
378-706
コード No.
簡易偏光観察時に使用しますが、低倍率対物レンズ使用時にコント
ラストを高める場合にもお奨めします。
50mm
全移動範囲
ハンドル移動量
粗動：3.8mm/1 回転　微動：0.1mm/1 回転
鏡筒部積載可能質量
質量
約 17.4kg
約 17.7kg
2.9kg
2.7kg
No.378-710
■ T V アダプタユニット
C マウント部に組み入れることで、結像倍率を変更できます。
No.378-715
コード No.
コード No.
2× TV アダプタユニット
名称
コード No.
結像倍率
適応カメラ
質量
378-710
378-715
VMU-V・VMU-H 用
VMU-LB・VMU-L4B 用
0.5× TV アダプタユニット
2× TV アダプタユニット
378-703
2×
2/3 インチ以下
約 25g
■定倍観察用カメラマウント
0.5× TV アダプタユニット
378-704
0.5×
1/2 インチ以下
約 25g
レーザ発振器搭載仕様のレーザポート
マウントに取付ければ 2 カメラポート仕様に
なり、同一箇所を 2 カメラで観察できます。
2/3 インチ以下カメラ（C マウント仕様）に対応
しています。
コード No. 378-087　質量：180g
7
共通オプション外観寸法図
■調心電動レボルバ
27
M20×0.5
32
95（同焦距離）
76
マウント部
95
95
（同焦距離）
76
（同焦距離） 32
※M Plan Apo 100×（378-815）使用時
物体面
88.6
136
MAX78※
物体面
※M Plan Apo 100×（378-815）使用時
注 1：レボルバを取付ける際、マウント部を外して使用してください。
注 2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能 VMU-V・H の場合
※
MAX 77
87
MAX130※
VMU-V・H の場合
注 1：レボルバを取付ける際、マウント部を外して使用してください。
注 2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能 VMU-V・H の場合
MAX 126
78
物体面
物体面
VMU-V・H の場合
※
27
76
76
27 27
27 27
27
27 27
27 27
MAX 78※
95（同焦距離）
MAX 130※
76.5
53.7
■マニュアルレボルバ
108
27
27
27
物体面
※M Plan Apo NIR HR100×（378-864-5）使用時
2×TVアダプタユニット装着時 0.5×TVアダプタユニット装着時
152.5
27 27
本体部
76
41.5 27
27 27
開口絞り付
落斜照明
ユニット
ポラライザ
ユニット
95
中間像位置
（同焦距離）
75
68.5
20.5
カバー
リング
■定倍観察用
カメラマウント
VMU-LB・L4B の場合
64.2
17.5
152.5
170.7
レンズユニット
トを
（アダプタレンズユニッ
使用しない時との寸法差：0mm）
トを
（アダプタレンズユニッ
使用しない時との寸法差：18.2mm）
17.5
中間像位置
アナライザ
ユニット
17.5
■ T V アダプタユニット
60.5
フォーカシングユニットB
（4）
7.5
63.5
94
102
1
Cマウント
0.5×アダプタ
76
95
注：アナライザユニットは、本体鏡頭部を 2 分割して間に挿入。
ポラライザユニットは、落射照明鏡筒部をはずして装着します。
126.5
140
144
ø70
ø69
149
89.5
73
247.5
41.5 15
VMU-V・H の場合
56
25 25
27 27 4.5
物体面
5-M4深8
（4）
229
63.5
照明鏡筒部
（同焦距離）
本体取付穴位置
ポラライザ
ユニット
7.5
（4）
本体部
アナライザ
ユニット
126.5
140
144
（37）
上下移動量
23.5 26.5
50
95
開口絞り付
落斜照明
ユニット
56
ø70
ø69
149
89.5
63.5
94
102
1
フォーカシングユニットA
87.6
（同焦距離）
※M Plan Apo NIR HR100×（378-864-5）使用時
28
5-M4深8
（4）
229
63.5
73
物体面
136
MAX77※
20.5
本体取付穴位置
上下移動量
23.5 56.5
80
76
41.5 27
87
MAX126※
■偏光ユニット
（37）
25 25
27 27 4.5
物体面
注 1：レボルバを取付ける際、物体面からVMU 本体の取付ねじまでの距離を
一定とするため、中間鏡筒とマウント部を外して装着してください。
注 2：レボルバの光軸に対する向きは 45˚ ピッチで設定可能
■フォーカシングユニット A・B
2×アダプタ
レンズユニット
マウント部
VMU-LB・L4B の場合
注 1：レボルバを取付ける際、物体面からVMU 本体の取付ねじまでの距離を
一定とするため、中間鏡筒とマウント部を外して装着してください。
注 2：レボルバの光軸に対する向きは自由に設定可能
中間像位置
Cマウント
中間鏡筒
88.6
VMU-LB・L4B の場合
117
27 27
27 27
95
マウント部
95
95（同焦距離） 76
32
53.7
76
中間鏡筒
物体面
M20×0.5
（同焦距離）
（同焦距離） 32
76
41.5 27
27
27 27
27
27
物体面
注：アナライザユニットは、カバーリングをゆるめて装着します。
ポラライザユニットは、落射照明鏡筒部をはずして装着します。
ø38 +0.05
0
ø56
8
ファインスコープユニット
FS70
FS70Z
■特長
FS70L
FS70L4
※接眼レンズ・レボルバ・対物レンズは、オプションです。
・接眼観察部をもつコンパクトな顕微鏡ユニット
金属表面や半導体・液晶・樹脂などの多種多様な観察対象
・YAGレーザ（近赤外・可視・近紫外・紫外）
による微細加工に対応※　※レーザ搭載システム商品の性能および安全性は保証いたしかねます。
半導体回路のカット・トリミング・修正・マーキング、薄膜
（絶縁膜）
の除去・加工、液晶カラーフィルタ等のリペア
（欠陥修正）
など
半導体不良解析用プローバ等の光学観察部としても最適
・赤外光学系に対応※
シリコン系の内部観察、赤外光による分光特性解析など　※赤外光源や赤外カメラ等が別途必要になります。
・明視野・暗視野・簡易偏光・微分干渉観察に対応した機種をラインアップ
・反射照明光学系に開口絞り付ケーラ照明を標準装備
・インワードレボルバと長作動距離対物レンズにより顕微鏡下での高い操作性を確保
■仕様
標準接眼仕様
ティルティング
接眼仕様
符号
コード N0.
符号
コード No.
視野数
眼幅調整
ティルト角度
三眼鏡筒光路
カメラポート
マウント部
防護フィルタ
レンズ
結像
（チューブ）
レーザ
ポート
合焦部
FS70ZD
FS70L
378-166-1
FS70L-TH
378-166-3
お問い合わせください
FS70ZD-TH
お問い合わせください
FS70L4
378-167-1
FS70L4-TH
378-167-3
明視野・簡易偏光・微分干渉 / 正立像明暗視野・簡易偏光・微分干渉 / 正立像
観察像
接眼レンズ（必須オプション）
鏡筒
FS70Z
378-165-1
FS70Z-TH
378-165-3
光学系
マウント部
粗微動
移動量
明視野・簡易偏光 / 正立像
・15 ×
（視野数 16）
・20 ×
（視野数 12）
10 ×（視野数 24）
24
ジーデントップ型、調整範囲：51 ～ 76mm
°-TH のみ）
、アイポイント移動量約 114mm
0 ～ 20（
固定式（接眼 / TV ＝ 50% / 50%）
切換式（接眼 / 直筒＝ 100% / 0%：0% / 100%）
C マウント仕様（グリーンフィルタ
※1
C マウント（アダプタ B 使用）アダプタ B で同焦調整
C マウント仕様（同焦調整機構）切換機構付）
（同焦調整機構）
－
レーザ光カットフィルタ内蔵
1 ～ 2 ×（可視補正）ズーム内蔵
（近赤外～可視～近紫外補正）
内蔵
1×
倍率：1×波長：355/532/1064nm
YAG レーザ発振器
（基本・第 2・3 高調波）搭載可
一軸粗微動（粗動：3.8mm/ 1 回転、微動：0.1mm/ 1 回転）
50mm、左右ハンドル
1 ×（可視・紫外補正）内蔵
－
倍率：1× 波長：266/532nm
YAG レーザ発振器
（第 2・4 高調波）搭載可
反射照明光学系
明視野落射照明（ケーラ照明・開口絞り付）
照明装置（オプション）
レボルバ（必須オプション）
対物レンズ
（必須オプション）
観察用
レーザ
加工用
鏡筒部積載可能質量※ 2
12V100W ファイバ照明装置（No.378-700）/15V150W ファイバ照明装置（No.176-316）いずれも無段階ボリューム調光式、ライトガイド長 =1500mm
調心同焦マニュアルレボルバ 4 穴
マニュアルレボルバ 4 穴
調心同焦マニュアルレボルバ 4 穴
/ 調心電動レボルバ 5 穴
/ 電動レボルバ 4 穴
/ 調心電動レボルバ 5 穴
M Plan Apo
M Plan Apo
BD
Plan
Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo HR
BD Plan Apo HR
M Plan Apo SL
M
Plan Apo SL
BD Plan Apo SL
G Plan Apo
G Plan Apo
M/LCD Plan Apo NIR
－
M Plan UV
M/LCD Plan Apo NUV
※レーザ発振器の使用波長から選択
約 14kg（-TH：約 13.2kg）
約 13.9kg（-TH：約 13.1kg）
P.27 参照
外観寸法
本体質量
6.6kg（-TH：7.4kg）
6.7kg（-TH：7.5kg）
※ 1：オプション装着になります。　※ 2：レボルバ・対物レンズ・接眼レンズの各々の質量は含まれません。
注）対物レンズ M Plan Apo 1 ×をご使用の際は偏光装置（No. 378-092 または 378-094）の併用をお奨めします。
注）FS70L 、FS70L4 に YAG レーザ発振器を取付けてご使用される際、
・レーザ入力値やエネルギー密度等にご注意ください。光学系に損傷を与えるおそれがあります。
・レーザ発振器の重量をご確認ください。また、高速・高加減速装置に搭載の際はご相談ください。
9
■システム構成
C マウント対応のアナログカメラまたはデジタルカメラ
例）ImageX PRO 3000
微分干渉装置
（378-076、
378-078、
378-079、
378-080） P.11
0.5×TVアダプタユニット
（375-054）
P.11
接眼レンズ P.24
WF10×/ 24（378-856）
WF15×/ 16（378-857）
WF20×/ 12（378-858）
各社YAGレーザ発振器※3
アダプタB
（378-042）P.11
偏光装置※2
（378-092）
偏光装置※1
（378-094）
P.11
FS70ZD
P.11
FS70Z
FS70L
（378-165-1）
FS70ZD-TH
FS70L4
（378-166-1）
FS70Z-TH
（378-167-1）
FS70L-TH
（378-165-3）
FS70L4-TH
（378-166-3）
（378-167-3）
電動フォーカスユニット
（378-061） P.11
簡易スタンド
（378-730）
P.25
マニュアルレボルバ
（明暗視野用）
（176-211）
対物レンズ
BD Plan Apo シリーズ
（観察用）
：P.17 ∼18
M Plan Apo シリーズ
（観察用）
：P.15 ∼16
E
対物レンズ
フィルタ
（ファイバ照明
装置 No.378-700用）
ND2
ND8
GIF
LB80
5穴
D
4穴
リンクケーブル 0.6m
（12AAB283）
G Plan Apo シリーズ
（観察用）
：P.16
M/LCD Plan Apo NIR シリーズ P.19
（基本波・第2高調波レーザ加工用）
：L 用
（近赤外観察用）
：L 用
P.25
12AAB251
12AAB252
12BAA583
12BAA584
C
150W（176-316）
4穴
B
C D
ファイバ照明装置
100W（378-700）
P.11
調心電動レボルバ（明視野用）
（378-016）
4穴
（378-116）
5穴
P.11
A
4穴
A B
P.11
電動レボルバ
（明暗視野用）調心電動マニュアルレボルバ
（176-210）
（明視野用）
（378-018）
P.11
M/LCD Plan Apo NUV シリーズ P.20
（第2・第3高調波レーザ加工用）
：L 用
M Plan UV シリーズ P.21
（第2・第4高調波レーザ加工用）
：L4 用
※1 ご使用の場合は、1/2インチ以下のCCDカメラに限られます。
※2 フォーカシングユニットA（378-705）は簡易スタンド（378-730）へ取付けが可能です。
※3 弊社では扱っておりませんのでご相談ください。
※4 取付時に別途アダプタが必要になる場合がありますのでご相談ください。
10
ファイバ照明装置
100W（378-700）
150W（176-316）
P.25
X-Yステージ（50×50mm）各社X-Y
電動ステージ
（378-020）
（50×50mm）※4
P.25
P.25
フィルタ
（ファイバ照明
装置 No.378-700用）
12AAB251
12AAB252
12BAA583
12BAA584
透過照明ユニット
（378-736）
ND2
ND8
GIF
LB80
FS70シリーズ共通オプション
■マニュアルレボルバ
■電動レボルバ
コンソールボックス
写真：No.378-016　コード No.
378-018
176-211
コード No.
観察方法
対物レンズ
取付け穴数
明視野観察
明暗視野観察
観察方法
4
4
（基準穴 1、調心・同焦機構穴 3）
視野調整範囲
± 0.5mm
同焦調整範囲
± 0.5mm
－
1.9kg
1.2kg
質量
対物レンズ取付け穴数
－
視野調整範囲
位置決め精度
（繰返し停止精度）
駆動寿命（耐久性）
駆動方式
入力電源
外部入出力インターフェース※
付属ケーブル長
378-116
378-016
明視野観察
5（基準穴 1、調心機
構穴 4）
176-210
明暗視野観察
4（基準穴１、
調心機構穴
3）
4
± 0.5mm
－
－
－
2σ＝ 3µm
－
100 万ポジション
100 万ポジション
DC モータ
AC100V ～ 240V　最大消費電力約 10W
RS-232C（パソコンによる外部制御に使用）
3m（電動レボルバ部とコンソールボックスの接続）
本体部：
外観寸法：W×H×D
（mm）
、 130×47×186、約 1.7kg
コンソールボックス
：
質量
108×63×176 、約 810g
本体部：
164× 65 ×137、約 1.4kg
コンソールボックス：
108×72×193 、約 810g
※接続の際は【RS-232C ケーブル
（12AAA807）
】をご利用ください。
■偏光装置
■微分干渉装置
簡易偏光観察時に使用しますが、
低倍率対物レンズ使用時にコント
ラストを高める場合にもお奨めし
ます。
微分干渉観察時に使用しますが、
偏光装置と併用使用します。
■電動フォーカスユニット
フォーカスハンドルまで手を伸ばすことなく、手元でフォーカ
シングできるユニットで、パソコンからの外部制御にも対応して
います。レトロフィット対応。VMU の電動フォーカシングにも
使用できます。
FS70Z 用
コード No.378-092
FS70L・FS70L4 用
コード No.378-094
コード No.
倍率
378-076
378-078
378-079
378-080
100×、SL80×、SL50×用
50×、SL20×用
20×用
10×、5×用
コンソールボックス
■アダプタ B
■ 0.5×TV アダプタ
C マウント仕様のカメラを装着する
0.5×縮小リレー光学系により、
場合に使用します。
コード No.378-042
コード No.378-054
ø45
23
最大移動速度
質量：300g
駆動方式
67.3
＋0.05
0 ø38
ø54
74.1
入力電源
122.6
注）アダプタ B と
併用使用します。
コード No.
最小送り量
像視野：ø11mm 対応
62.1
質量：170g
ø45
中間像位置
17.5
像視野：ø11mm 対応
モニタ上において広視野観察
できます。
（実視野 2 倍）
写真：FS70Z への装着例
（接眼レンズ・対物レンズ・
レボルバはオプションです）
外部入出力インターフェース※
付属ケーブル長
378-061
0.2µm（ジョグダイヤル 1 クリック）
1.6mm/sec
ステッピングモータ
（ジョグシャトル/ ジョグダイヤル）
AC100V ～ 240V　最大消費電力約 6W
RS-232C（パソコンによる外部制御に使用）
3m（モータユニット部とコンソールボックスとを
接続するケーブル長さ）
外観寸法：W×H×D
（mm）
、本体部：ø 69 × L99、約 620g
質量
コンソールボックス：108 × 87 × 201、約 2.4kg
※接続の際は【RS-232Cケーブル
（12AAA807）
】をご利用ください。
11
共通オプション外観寸法図
■電動レボルバ
コード No.378-018
コード No.378-116
ø111
■マニュアルレボルバ
B
C
D
（47）
ø50
A
E
（50.7）
（130）
コード No.176-211
ø108
コード No.176-210
UR R E T
S T AT US
A B
POWER
（65）
ø50
POWER T
C D
（48）
■対物レンズ変換アダプタ
（164）
明暗視野用レボルバに明視野用対物レンズが装着できるねじ変換
アダプタです。明暗視野用対物レンズと併用した場合も同焦点に
なります。
378-026-1
コード No.
用途
詳細
明暗視野用マニュアルレボルバまたは
電動レボルバを搭載した顕微鏡
（MF-U・HyperMF-U・FS300・FS110）
M Plan Apo、M Plan Apo SL 、
G Plan Apo、M Plan Apo NIR、
M Plan Apo NUV、M Plan UV
378-089
明視野レボルバ用
378-090
明暗視野レボルバ用
50µm・30µm・20µm 厚の
SUS リング各 5 枚で構成。
対応対物レンズ
■手動フォーカスユニットS（工場オプション）
手動フォーカスユニット S は標準フォーカスユニットに比べ、アイ
ポイント位置を変えずに 68mm 上方に取り付けることができるユニット
です。下記コード No. は、本フォーカスユニットがあらかじめ組み
込まれた FS70 本体となります。
■ FS70 ティルティングヘッド（工場オプション）
顕微鏡の接眼レンズを覗く際、体格が違う場合でも最適なアイポイント
に接眼レンズを調整できるティルティング接眼仕様をラインアップして
います。
中間像位置
324
154
上下移動量
212
355
153
82
95
（同焦距離）
対物レンズ取付面
写真：FS70Z-TH
（接眼レンズ・対物レンズ・レボルバはオプションです）
154
89.5 126.5
293.5
93.4
25
25
324
154
31.5
79.6
451
弊社製レボルバに対応。
68 （89.5）
（157.5）（126.5）
（293.5）
コード No.
対応機種
■同焦調整シムセット
153
1
1
標準フォーカスユニット　手動フォーカスユニット S 取付時
MAX130
153（取付面） 1
154
符号
コード No.
FS70Z-S
378-165-2
全移動量
ハンドル移動量
鏡筒部積載可能質量※
本体質量
FS70L-S
378-166-2
50mm
粗動：3.8mm / 1回転　微動：0.1mm / 1回転
約 14.0kg
約 13.9kg
約 13.9kg
6.6kg
6.7kg
6.7kg
※レボルバ、対物レンズ及び接眼レンズの質量は含まれません。
12
FS70L4-S
378-167-2
ビデオマイクロズームユニット
VM-ZOOM40
■特長
・ズーム光学系をもった顕微鏡ユニット
高ズーム比 40で 100 ～ 4000×の連続ズーム観察が可能（15インチモニタの場合）
・独自の直進スライドレボルバに標準10×対物レンズ
（高分解能）
と
レーザ加工に対応した長作動距離対物レンズを装着
・YAGレーザ
（近赤外・可視・近紫外・紫外）
による微細加工に対応※
※レーザ搭載システム商品の総合性能および安全性は保証いたしかねます。
半導体回路のカット・
トリミング・修正・マーキング、薄膜
（絶縁膜）
の除去・
加工、液晶カラーフィルタ等のリペア
（欠陥修正）など半導体不良
解析用プローバ等の光学観察部として
・赤外光学系に対応※
シリコン系の内部観察、赤外光による分光特性解析など
※赤外光源や赤外カメラ等が別途必要になります。
・偏光観察可、微分干渉観察（特注対応可）
簡易スタンド、X-Y ステージ
（マイクロメータヘッド付）
はオプションです（注）
・シリーズ全 12 機種（双眼接眼・電動ズーム・波長対応など選択）
■仕様
近赤外～可視～近紫外補正
タイプ
可視・紫外補正
手動ズームタイプ
電動ズームタイプ
電動ズームタイプ
符号
VMZ40M
VMZ40M-L
VMZ40M-B
VMZ40M-BL
VMZ40R
VMZ40R-L
VMZ40R-B
VMZ40R-BL
VMZ40R-L4
VMZ40R-BL4
コード No.
378-171
378-173
378-172
378-174
378-175
378-177
378-176
378-178
378-181
378-182
―
（標準付属）
、
10×
15×、20×
明視野 / 正立像
観察像
本体倍率
0.25 ×～ 10 ×（ズーム比 40）
総合倍率
100 ×～ 4000 ×（対物レンズ：10 ×、カメラ：1/2 インチ、TV モニタ：15 型組合わせによる）
1/2 インチカメラ：2.56 × 1.92 ～ 0.064 × 0.048mm
接眼レンズ 10 ×（視野数 24）：ø3.2 ～ ø 0.08mm
（* 対物レンズ 10 × 使用時の場合による）
観察範囲
接眼レンズ
（オプション）
（標準付属）
、15×、20×
10×
―
観察用
対物
レンズ ※ 1 レーザ
（オプション）加工用
M/LCD Plan
Apo NIR
シリーズ
―
M Plan Apo HR10 ×（NA0.42 WD15mm）標準付属、M Plan Apo シリーズ、G Plan Apo シリーズ
M/LCD Plan
M/LCD Plan
M/LCD Plan
Apo NIR
Apo NIR
Apo NIR
M/LCD Plan
Apo NUV
シリーズ
M/LCD Plan
ApoNUV
―
シリーズ
照明装置
レボルバ
TV アダプタ
適用カメラ
電源
本体質量
（リモートコントローラ、
ジョグシャトルは除く）
M/LCD Plan
Apo NUV
シリーズ
―
シリーズ
注）
レーザ発振器の
使用波長より選択
M/LCD Plan
Apo NUV
M Plan UV シリーズ
シリーズ
注）
レーザ発振器の
使用波長より選択
注）
レーザ発振器の
使用波長より選択
手動式一軸粗微動ハンドル（粗動：3.8mm/ 回転、微動：0.1mm/ 回転）
焦準方式
移動量
シリーズ
―
シリーズ
注）
レーザ発振器の
使用波長より選択
合焦部
（標準付属）
、15×、20×
10×
―
50mm
：オプション
12V100W ファイバ照明装置（No.378-700）
リモートコントローラ内蔵 / 自動調光機能あり、ライトガイド長さ＝ 2m
：オプション
15V150W ファイバ照明装置（No.176-316）
明視野 1 穴直進スライド切換式（明視野 2 穴、調心付）明視野 1 穴
直進スライド切換式（明視野 2 穴、調心付）
C マウント及び調心・同焦調整付
C マウント及び調心・同焦調整付
（グリーンフィルタ切換機能付）
1/2 インチ以下のカメラ（C マウント形状）
AC100V ～ 120V/200V ～ 240V 50/60Hz 消費電力 150W
AC100V ～ 240V 50/60Hz 消費電力 200W
（ファイバ照明装置 No.378-700 による）
6.5kg
7.0kg
7.5kg
8.0kg
7.0kg
7.5kg
8.0kg
8.5kg
7.5kg
8.5kg
※ 1 標準付属対物レンズ
（ HR10×）以外の対物レンズをご使用のとき、被検物によっては観察像の明るさが不足することもあります。倍率は 2 ×～ 50 ×を推奨します。
（注）上記写真の簡易スタンド・X-Y ステージは販売終了しております。
13
■システム構成
VMZ40Rシリーズ
近赤外∼可視∼近紫外補正
照明装置なし
（オプション）
対物レンズ
M Plan Apo HR 10×
双眼装置
（接眼レンズ WF10×/24付）
レーザポート
本体
本体
（レーザポート付）
リモートコントローラ
（照明光源内蔵）
75
コード No.378-087
質量：180g
対物レンズ
M Plan Apo HR 10×
双眼装置
（接眼レンズ WF10×/24付）
（レーザ発振器搭載形）
VMZ40□-□Lタイプ
のレーザポートマウントに取付けることに
より、ズーム側カメラで観察している
被検物の現在位置が確認できます。
2/3インチ以下C マウント対応カメラをご
使用ください。
コード No.378-069
質量：115g
リモートコントローラ
（照明光源内蔵）
対物レンズ
VM-ZOOM40シリーズ
で偏光観察のとき使
用します。
M Plan Apo HR 10×
中間像位置
双眼装置
（接眼レンズ WF10×/24付）
60.5
本体
可視・紫外補正
■定倍観察用カメラマウント
17.5
VMZ40Mシリーズ
■偏光装置
64.2
VM-ZOOM40
レーザポート
ø38 ＋0.05
0 ø56
対物レンズ
M Plan Apoシリーズ
WF15×/ 16 ※1
378-857 P.24
G Plan Apoシリーズ
WF20×/ 12 ※1
378-858 P.24
（観察用）※全機種対応 P.15∼16
（観察用）※全機種対応 P.16
ファイバ照明装置
接眼レンズ
100W 378-700
150W 176-316 P.25
（VMZ40Mシリーズ）
Cマウント対応
アナログまたは
デジタルカメラ
定倍観察用
カメラマウント ※3
378-087
12AAB251
12AAB252
12BAA583
12BAA584
M/LCD Plan Apo NUVシリーズ ※2
（第2・第3高調波レーザ加工用）P.20
378-069
簡易スタンド
378-730 P.25
X-Yステージ
（50×50mm）
378-020 P.25
フィルタ
（ファイバ照明
装置 No.378-700用）
M/LCD Plan Apo NIRシリーズ ※2
（基本波・第2高調波レーザ加工用）P.19
偏光装置
ND2
ND8
GIF
LB80
は共通仕様
M Plan UVシリーズ（40R-L4/BL4用）※2
（第2・第4高調波レーザ加工用）P.21
は機種別仕様
はオプション
※1：双眼装置付き機種に対応。
※2：VMZ40□-□ L □タイプ（YAGレーザ発振器搭載可能機種）に適応。対物レンズの倍率は20×、50×を推奨します。
ズーム側カメラで観察している被検物の現在位置が確認可能。
※3：レーザ光学系（1×チューブレンズ内蔵）利用により、
（YAGレーザ発振器搭載可能機種）
に適応。2/3インチ以下のアナログまたはデジタルカメラ
（Cマウント形状）
をご使用ください。
※0：VMZ40□-□ L □タイプ
VMZ40 □ - □ □
R ：電動ズーム
M：手動ズーム
無し：アナログまたは
デジタルカメラ
（いずれも C マウント仕様）取付可
B ：アナログまたは
デジタルカメラ
（いずれも C マウント仕様）取付可
及び双眼付き
無し： YAGレーザ発振器
搭載不可
L ：YAGレーザ発振器
（基本波・2・3 高調波）
搭載可
L4 ：YAGレーザ発振器
（第 2・4 高調波）
搭載可
手動ズームタイプ
双眼無し
双眼付き
符号
コード No.
符号
コード No.
電動ズームタイプ
レーザ搭載不可
近赤外～可視～近紫外
レーザ搭載可
レーザ搭載不可
近赤外～可視～近紫外
レーザ搭載可
可視・紫外
レーザ搭載可
VMZ40M
378-171
VMZ40M-L
378-173
VMZ40R
378-175
VMZ40R-L
378-177
VMZ40R-L4
378-181
VMZ40M-B
VMZ40M-BL
VMZ40R-B
VMZ40R-BL
VMZ40R-BL4
378-172
378-174
378-176
378-178
378-182
14
明視野用対物レンズ
M Plan Apo / M Plan Apo HR
VMU
FS70
■特長
MF-U
Hyper MF-U
FS300
FS110
VM-ZOOM40
・無限遠補正
・明視野観察用
・長作動距離
・プラン・アポクロマート仕様
■外観寸法図
5
5
ø26
ø19
ø32.2
ø34
ø10.4
ø32.2
ø34
1.3
93.7
95（同焦距離）
（作動距離）
6
ø17.5
60
95（同焦距離）
ø37
ø39
ø25
ø32.2
ø24
ø23.8
4.5
ø34
35
1.2
ø25.2
ø32.2
ø21.5
M Plan Apo 100×
（作動距離）
5
ø22
ø25
ø32.2
ø34
1.6
（作動距離）
13
82
95（同焦距離）
5
M Plan Apo 7.5×
M Plan Apo HR 100×
（作動距離）
4.6
5.2
89.8
95（同焦距離）
5
ø25
ø32.2
ø22
ø34
34
（作動距離）
1
ø25.2
ø32.2
ø34
ø24.5
ø27.5
ø32.2
ø34
ø34
M Plan Apo 50×
（特許登録済）
（作動距離）
61
95（同焦距離）
5
75
95（同焦距離）
5
M Plan Apo 5×
1.6
20
4.4
15
M Plan Apo HR 50×
（作動距離）
34
（作動距離）
80
95（同焦距離）
5
M Plan Apo 20×
（作動距離）
61
95（同焦距離）
5
33.5
61.5
95（同焦距離）
5
M Plan Apo 2×
1.6
（作動距離）
ø25.2
ø32.2
ø38
ø34
84
95（同焦距離）
5
2.2
ø34
1/4波長板
11
M Plan Apo HR 10×
M Plan Apo 10×
（作動距離）
ø41
M Plan Apo 1×
89
95（同焦距離）
■仕様
コード No.
品　名
M Plan Apo 1 ×
M Plan Apo 2 ×
M Plan Apo 5 ×
M Plan Apo 7.5 ×
M Plan Apo 10 ×
M Plan Apo 20 ×
M Plan Apo 50 ×
M Plan Apo 100 ×
M Plan Apo HR 10 ×
M Plan Apo HR 50 ×
M Plan Apo HR 100 ×
レンズセット B1
レンズセット B2
レンズセット B3
※1
※2
※3
378-800-3
378-801-6
378-802-6
378-807-3
378-803-3
378-804-3
378-805-3
378-806-3
378-788-4
378-814-4
378-815-4
378-911
378-912
378-913
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
（
f mm）
R（µm）
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
0.025
11.0
200
11.0
0.055
34.0
100
5.0
0.14
34.0
40
2.0
0.21
35.0
26.67
1.3
0.28
34.0
20
1.0
0.42
20.0
10
0.7
0.55
13.0
4
0.5
0.70
6.0
2
0.4
0.42
15.0
20
0.7
0.75
5.2
4
0.4
0.90
1.3
2
0.3
M Plan Apo 10 ×、20 ×、50 ×、100 × の 4 本セット
M Plan Apo 2 ×、5 ×、10 ×、SL20 × の 4 本セット
M Plan Apo 5 ×、10 ×、20 ×、50 × の 4 本セット
440
91
14
6.2
3.5
1.6
0.9
0.6
1.60
0.49
0.34
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
カメラ
（縦×横）
24
4.8 × 6.4
300
ø24 接眼
12
4.8
3.6
2.4
1.2
0.48
0.24
2.4
0.48
0.24
2.4 × 3.2
0.96 × 1.28
0.64 × 0.85
0.48 × 0.64
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
0.48 × 0.64
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
220
230
240
240
270
290
320
460
400
410
をもとに算出した値になります。
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
※ 1 ご使用になる顕微鏡に対応した偏光装置を併用してください。
作動距離が4mm 短くなります。
※ 2 反射率が低い被検物を観察する場合は 1/4波長板 A と偏光装置の併用をお奨めします。注）
※ 3対物レンズ単体またはVM-ZOOM40 装着時の仕様となります
（装着する顕微鏡によっては表記仕様を満たさない場合があります）
。
単体で垂直反射照明でご使用の際は、対物レンズへの入射照明光束を 16.8mm（対物レンズ瞳径）以上としてください。
受注生産
15
明視野用対物レンズ
M Plan Apo SL
VMU
FS70
■特長
MF-U
Hyper MF-U
FS300
FS110
VM-ZOOM40
・無限遠補正　・明視野観察用
・超長作動距離（スーパーロング仕様）
・プラン・アポクロマート仕様　■外観寸法図
M Plan Apo SL20×
M Plan Apo SL80×
ø39
ø27
ø29.4
ø37
82
95（同焦距離）
（作動距離）
13
4.6
ø34
20.5
ø22
ø24.2
5
ø25.2
ø32.2
ø34
13
M Plan Apo SL100×
（作動距離）
74.5
95（同焦距離）
5
ø25.2
ø32.2
ø21.6
M Plan Apo SL50×
3.9
80
95（同焦距離）
5
（作動距離）
0.5
ø25.2
ø32.2
ø23.5
ø25.2
ø32.2
ø34
64.5
95（同焦距離）
5
15
2.5
ø34
30.5
1.2
M Plan Apo SL200×
（作動距離）
（作動距離）
82
95（同焦距離）
5
■仕様
品　名
コード No.
M Plan Apo SL 20 ×
M Plan Apo SL 50 ×
M Plan Apo SL 80 ×
M Plan Apo SL100 ×
M Plan Apo SL 200 ×
378-810-3
378-811-3
378-812-3
378-813-3
378-816-3
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
（
f mm）
R（µm）
0.28
0.42
0.50
0.55
0.62
30.5
20.5
15.0
13.0
13.0
10
4
2.5
2
1
1.0
0.7
0.6
0.5
0.4
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
3.5
1.6
1.1
0.9
0.7
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
カメラ
（縦×横）
1.2
0.24 × 0.32
240
ø24 接眼
0.48
0.3
0.24
0.12
0.10 × 0.13
0.06 × 0.08
0.05 × 0.06
0.025 × 0.03
280
280
290
490
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
明視野用対物レンズ
G Plan Apo
■特長
VMU
FS70
MF-U
Hyper MF-U
FS300
FS110
VM-ZOOM40
・無限遠補正　・明視野観察用　・超長作動距離
・プラン・アポクロマート仕様
・ガラス厚 3.5mm（材質：BK7）
で補正設計・・・ガラスを通した高倍率観察に適しています。
※ガラスの厚さ・材質
（屈折率）
をご指定頂ければ設計製作致します。
■外観寸法図
G Plan Apo 20×
G Plan Apo 50×
5
（作動距離）
：ガラス厚 3.5mm
65.59
96.19
ガラス
81.11
96.19
5
ø25
ø23
ø32.2
ガラス
ø32.2
1.6 15.08
ø34
30.6
ø25
1.58
ø24
ø34
（作動距離）
：ガラス厚 3.5mm
■仕様
品　名
コード No.
G Plan Apo 20 ×（ t3.5）
G Plan Apo 50 ×（ t3.5）
378-847
378-848-3
作動距離
焦点距離
分解能
NA
（空気換算）
（
f mm）
R（µm）
0.28
0.50
29.42
13.89
10
4
1.0
0.6
開口数
WD（mm）
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
16
3.5
1.1
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
ø24 接眼カメラ
（縦×横）
1.2
0.24 × 0.32
270
0.48
0.10 × 0.13
320
明暗視野用対物レンズ
BD Plan Apo / BD Plan Apo HR
FS70
MF-U
■特長
Hyper MF-U
FS300
FS110
・無限遠補正
・明視野観察および暗視野観察用
被検物表面の傷や凹凸などの観察に適しています。
・長作動距離
・プラン・アポクロマート仕様
■外観寸法図
BD Plan Apo 10×
34
BD Plan Apo 20×
5
（作動距離）
BD Plan Apo HR 100×
（作動距離）
4.7
61
95（同焦距離）
5
82
95（同焦距離）
（作動距離）
1.3
ø32
ø40
ø42
ø32
ø40
ø42
ø44
13
7
ø44
34
ø32
ø40
ø42
ø32
ø40
ø42
5.2
89.9
95（同焦距離）
5
BD Plan Apo 50×
（作動距離）
ø37
ø40
ø42
ø44
4
75
95（同焦距離）
5
BD Plan Apo 7.5×
4.8
ø44
20
7
ø44
34
61
95（同焦距離）
5
BD Plan Apo HR 50×
（作動距離）
（作動距離）
6
89
95（同焦距離）
5
ø37
ø40
ø42
ø44
4
61
95（同焦距離）
5
BD Plan Apo5×
（作動距離）
ø37
ø40
ø42
61
95（同焦距離）
5
8.5
ø31.5
ø40
ø42
4
BD Plan Apo 100×
（作動距離）
ø44
34
ø44
4
（作動距離）
ø37
ø40
ø42
ø44
BD Plan Apo 2×
5
93.7
95（同焦距離）
■仕様
コード No.
品　名
BD Plan Apo 2 ×
BD Plan Apo 5 ×
BD Plan Apo 7.5 ×
BD Plan Apo 10 ×
BD Plan Apo 20 ×
BD Plan Apo 50 ×
BD Plan Apo 100 ×
BD Plan Apo HR 50 ×
BD Plan Apo HR 100 ×
レンズセット D1
レンズセット D2
レンズセット D3
※1
378-831-7
378-832-7
378-830-7
378-833-7
378-834-7
378-835-7
378-836-7
378-845-7
378-846-7
378-931
378-932
378-933
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
（
f mm）
R（µm）
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
0.055
34.0
100
5.0
91
0.14
34.0
40
2.0
14
0.21
34.0
26.67
1.3
6.2
0.28
34.0
20
1.0
3.5
0.42
20.0
10
0.7
1.6
0.55
13.0
4
0.5
0.9
0.70
6.0
2
0.4
0.6
0.75
5.2
4
0.4
0.49
0.90
1.3
2
0.3
0.34
BD Plan Apo 10 ×、20 ×、50 ×、100 × の 4 本セット
BD Plan Apo 2 ×、5 ×、10 ×、SL20 × の 4 本セット
BD Plan Apo 5 ×、10 ×、20 ×、50 × の 4 本セット
をもとに算出した値になります。
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝0.55µm）
※ 1 反射率が低い被検物を観察する場合は 1/4波長板 B と偏光装置の併用をお奨めします。　注）作動距離が4mm 短くなります。
17
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
カメラ
（縦×横）
12
2.4 × 3.2
340
ø24 接眼
4.8
3.6
2.4
1.2
0.48
0.24
0.48
0.24
0.96 × 1.28
0.64 × 0.85
0.48 × 0.64
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
350
350
350
400
440
460
530
545
明暗視野用対物レンズ
BD Plan Apo SL
FS70
MF-U
■特長
Hyper MF-U
FS300
FS110
・無限遠補正
・明視野観察および暗視野観察用　被検物表面の傷や凹凸などの観察に適しています。
・超長作動距離
（スーパーロング仕様）　・プラン・アポクロマート仕様
■外観寸法図
BD Plan Apo SL20×
（作動距離）
13
8.5
ø32
ø40
ø42
ø44
30.5
ø31
ø40
ø42
ø44
7.5
BD Plan Apo SL80×
（作動距離）
64.5
95（同焦距離）
5
BD Plan Apo SL100×
BD Plan Apo SL50×
（作動距離）
（作動距離）
13
8.5
ø32
ø40
ø42
ø44
20
ø32
ø40
ø42
ø44
8
82
95（同焦距離）
5
5
75
95（同焦距離）
82
95（同焦距離）
5
■仕様
品　名
コード No.
BD Plan Apo SL 20　×
BD Plan Apo SL 50 ×
BD Plan Apo SL 80 ×
BD Plan Apo SL100 ×
378-840-7
378-841-7
378-842-7
378-843-7
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
（
f mm）
R（µm）
0.28
0.42
0.50
0.55
30.5
20.0
13.0
13.0
10
4
2.5
2
1.0
0.7
0.6
0.5
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
3.5
1.6
1.1
0.9
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
ø24 接眼カメラ
（縦×横）
1.2
0.24 × 0.32
350
0.48
0.3
0.24
0.10 × 0.13
0.06 × 0.08
0.05 × 0.06
410
430
440
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
ミツトヨ対物レンズの光学特性
弊社対物レンズは近赤外域、可視域、近紫外域、紫外域の波長ごとにシリーズ化しています。
による微細加工に対応する為、特定波長域の透過特性を向上させています。
通常の可視観察の他に赤外・紫外観察、レーザ
（YAG・フェムト秒など）
M（BD）Plan Apo
M Plan Apo N I R
M Plan Apo NUV
M Plan UV
100
波長補正範囲：436 ～ 656nm（基本波長 587nm 設計）可視観察
波長補正範囲：480 ～ 1800nm
可視観察
赤外観察
レーザ加工
波長補正範囲：355 ～ 620nm
可視観察
紫外観察
レーザ加工
波長補正：266 & 550nm
可視観察
紫外観察
レーザ加工
100×対物レンズの透過特性
100
80
透過率︵％︶
透過率︵％︶
M Plan Apo NIR 100×
M Plan Apo SL 100×
M Plan Apo NUV 100×
60
40
20
0
300
対物レンズ M Plan UV 80 ×の透過特性
80
60
40
20
600
900
1200
1500
1800
0
200 266 300
400
波長（nm）
500 550 600
波長（nm）
●対物レンズの特性に関する詳細内容につきましては、最寄りの弊社営業担当までお問い合わせください。
特定波長をご指定頂ければ、その波長の透過特性を最適化する様に設計製作致します。
注）上記透過特性のグラフ曲線につきましては、その透過率をあらゆる状況において保証するものではありません。
18
700
800
明視野用近赤外域補正対物レンズ
M Plan Apo NIR
VMU
FS70
FS300
FS110
VM-ZOOM40
■特長・無限遠補正　・明視野観察およびレーザ加工用
・長作動距離　・プラン・アポクロマート仕様　・可視域
（一般的観察波長域）
から近赤外域
（波長～1800nm）
まで補正設計されています
・NIR HR：高分解能仕様・・・解像力約 50％以上向上
（標準タイプ比）
0.4 17
品　名
コード No.
M Plan Apo NIR 5 ×
M Plan Apo NIR 10 ×
M Plan Apo NIR 20 ×
M Plan Apo NIR 50 ×
M Plan Apo NIR 100 ×
M Plan Apo NIR HR 50 ×
M Plan Apo NIR HR 100 ×
378-822-5
378-823-5
378-824-5
378-825-5
378-826-5
378-863-5
378-864-5
ø25
ø32.2
ø24.6
0.3 10
ø39
ø27.6
78
95（同焦距離）
5
（作動距離）
ø32.2
ø24.4
ø32.2
ø24.6
ø25.2
64.5
95（同焦距離）
5
M Plan Apo NIR HR 50×／100×
（作動距離）
ø34
（作動距離）
1
83
95（同焦距離）
5
85
95（同焦距離）
5
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
（
f mm）
R（µm）
0.14
0.26
0.40
0.42
0.50
0.65
0.70
37.5
30.5
20.0
17.0
12.0
10.0
10.0
40
20
10
4
2
4
2
2.0
1.1
0.7
0.7
0.6
0.4
0.4
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
ø37
M Plan Apo NIR 50×
30.5
ø34
M Plan Apo NIR 10×
0.5 12
ø34
75
95（同焦距離）
5
（作動距離）
ø32.2
ø24.4
ø25
ø32.2
20
ø24.8
0.6
ø34
37.5
M Plan Apo NIR 100×
（作動距離）
ø25
0.4
57.5
95（同焦距離）
5
■仕様
M Plan Apo NIR 20×
（作動距離）
ø24.6
ø34
M Plan Apo NIR 5×
ø28
■外観寸法図
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
カメラ
（縦×横）
4.8
0.96 × 1.28
220
ø24 接眼
14.0
4.1
1.7
1.6
1.1
0.7
0.6
2.4
1.2
0.48
0.24
0.48
0.24
0.48 × 0.64
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
250
300
315
335
450
450
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
注）使用する波長が 1100nm 以上になるとガラスの分散の変化や屈折率などの測定に誤差が生じ、可視光のピント位置より多少ずれることがあります。
明視野用液晶近赤外域補正対物レンズ
LCD Plan Apo NIR
FS70
FS110
VM-ZOOM40
・無限遠補正　・液晶ガラス越しの明視野観察およびレーザ加工用　・超長作動距離　・プラン・アポクロマート仕様
・液晶ガラス厚 1.1mm または 0.7mm で補正設計・・・ガラスを通した高倍率観察に適しています。
※ガラスの厚さ・材質
（屈折率）
をご指定頂ければ設計製作致します。
■外観寸法図
5
LCD Plan Apo NIR 50×（t1.1）／（t0.7）
LCD Plan Apo NIR 100×（t1.1）／（t0.7）
0.5 17.5
0.6/1 12.5/12
75.02
95.37
5
品　名
コード No.
LCD Plan Apo NIR 20 ×（ t1.1）
LCD Plan Apo NIR 50 ×（ t1.1）
LCD Plan Apo NIR 50 ×（ t0.7）
LCD Plan Apo NIR 100 ×（ t1.1）※
LCD Plan Apo NIR 100 ×（ t0.7）
378-827-5
378-828-5
378-829-5
378-752-5
378-754-5
5
焦点距離
分解能
NA
（空気換算）
（
f mm）
R（µm）
0.40
0.42
0.42
0.50
0.50
19.98
17.13
17.26
12.13
11.76
10
3.9
3.9
2
2
0.7
0.7
0.7
0.6
0.6
WD（mm）
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
1.7
1.6
1.6
1.1
1.1
ø32.2
ø25
ø24.4
77.87/77.74
95.37/95.24
作動距離
開口数
（作動距離）
ø34
ø24.4
ø32.2
ø25
ø34
（作動距離）
ø32.2
（作動距離）
0.6 20.35
ø24.6
ø34
LCD Plan Apo NIR 20×（t1.1）
■仕様
FS300
ø25
■特長
VMU
82.87/83.24
95.37/95.24
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
ø24 接眼カメラ
（縦×横）
1.2
0.24 × 0.32
305
0.48
0.48
0.24
0.24
0.10 × 0.13
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
0.05 × 0.06
320
320
335
335
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
※受注生産
19
明視野用近紫外域補正対物レンズ
M Plan Apo NUV
VMU
FS70
VM-ZOOM40
■特長・無限遠補正　・明視野観察およびレーザ加工用
・長作動距離　・プラン・アポクロマート仕様　・近紫外域（波長 355nm）から可視域（一般的観察波長域）
まで補正設計されています
・NUV HR：高分解能仕様・・・解像力約 50％以上向上
（標準タイプ比）
■外観寸法図
（作動距離）
ø34
1.7 11
ø23.4
ø24
17
ø25
ø32.2
ø34
ø37
M Plan Apo NUV 100×
（作動距離）
78
95（同焦距離）
5
85
95（同焦距離）
5
ø24.4
ø32.2
M Plan Apo NUV 20×
1.6
80
95（同焦距離）
5
0.3 10
ø27.6
ø24.4
64.5
95（同焦距離）
5
（作動距離）
ø39
15
2.6
ø34
30.5
ø25.2
ø32.2
ø34
0.5
M Plan Apo NUV HR 50×
（作動距離）
ø28
M Plan Apo NUV 50×
（作動距離）
ø25
ø32.2
M Plan Apo NUV 10×
84
95（同焦距離）
5
■仕様
コード No.
品　名
開口数
作動距離
焦点距離
分解能
NA
WD（mm）
f（mm）
R（µm）
0.28
0.40
0.42
0.50
0.65
30.5
17.0
15.0
11.0
10.0
20
10
4
2
4
1
0.7
0.7
0.6
0.42
378-809-5
378-817-4
378-818-4
378-819-4
378-888-4
M Plan Apo NUV 10 ×
M Plan Apo NUV 20 ×
M Plan Apo NUV 50 ×
M Plan Apo NUV 100 ×
M Plan Apo NUV HR 50 ×
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
3.5
1.7
1.6
1.1
0.65
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
カメラ
（縦×横）
2.4
0.48 × 0.64
255
ø24 接眼
1.2
0.48
0.24
0.48
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
0.10 × 0.13
340
350
380
500
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
明視野用液晶近紫外域補正対物レンズ
LCD Plan Apo NUV
FS70
VM-ZOOM40
・無限遠補正　・液晶ガラス越しの明視野観察およびレーザ加工用　・超長作動距離　・プラン・アポクロマート仕様
・液晶ガラス厚 1.1mm または 0.7mm で補正設計・・・ガラスを通した高倍率観察に適しています。
■外観寸法図
※ガラスの厚さ・材質
（屈折率）
をご指定頂ければ設計製作致します。
LCD Plan Apo NUV 50×（t1.1）／（t0.7）
LCD Plan Apo NUV 100×（t1.1）
5
ø34
1.5 11.4
ø23.4
ø25
ø32.2
ø24.4
ø34
（作動距離）
2.6 14.9/15
80.47/80.2
95.37/95.2（同焦距離）
5
ø24.4
ø32.2
■特長
VMU
83.97
95.37（同焦距離）
■仕様
品　名
コード No.
LCD Plan Apo NUV 50 ×（ t1.1） ※
LCD Plan Apo NUV 50 ×（ t0.7）
LCD Plan Apo NUV 100 ×（ t1.1）※
378-753-4
378-820-4
378-751-4
作動距離
焦点距離
分解能
NA
（空気換算）
f（mm）
R（µm）
0.42
0.42
0.50
14.53
14.76
11.03
4
4
2
0.7
0.7
0.6
開口数
WD（mm）
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
※受注生産
20
1.6
1.6
1.1
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
ø24 接眼カメラ
（縦×横）
0.48
0.10 × 0.13
310
0.48
0.24
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
310
380
明視野用紫外域補正
M Plan UV
VMU
FS70
VM-ZOOM40
■特長・無限遠補正
・明視野観察およびレーザ加工用
・長作動距離
・プラン仕様
・紫外域
（波長 266nm）
と可視域
（一般的観察波長域）
で補正設計されています
特に紫外域において高い透過率を確保しています
■外観寸法図
M Plan UV 10×
M Plan UV 50×
23
15
ø32.2
ø34
15
ø32.2
ø34
23
75
95（同焦距離）
5
20（作動距離）
12（作動距離）
M Plan UV 80×
M Plan UV 20×
15
23
15
5
80
95（同焦距離）
ø32.2
ø34
ø32.2
ø34
23
83
95（同焦距離）
5
15（作動距離）
85
95（同焦距離）
5
10（作動距離）
■仕様
品　名
M Plan UV 10 ×
M Plan UV 20 ×
M Plan UV 50 ×
M Plan UV 80 ×
コード No.
378-844-5
378-837-5
378-838-5
378-839-5
焦点距離
f（mm）
分解能
開口数
作動距離
NA
WD（mm）
f 266
f 550
R（µm）
0.25
0.36
0.40
0.55
20.0
15.0
12.0
10.0
20
10
4
2.5
20.3
10.4
4.5
2.9
1.1
0.8
0.7
0.5
対物レンズ単体
の焦点深度
± D.F.（µm）
ø24 接眼
4.4
2.1
1.7
0.9
2.4
1.2
0.48
0.3
実視野（mm）
質量
1/2インチ
（g）
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.06 × 0.08
310
330
400
380
カメラ
（縦×横）
0.48 × 0.64
●顕微鏡と YAGレーザを併用し、試料上にマスク像を投影した場合、マスク像の大きさは縮小投影されて f/200（当社チューブレンズ、焦点距離 f ＝ 200mm）
倍、すなわち
f 550 ＞ f 266 であることから紫外光（波長 266nm）での加工面積は可視光（波長 550nm）でのマスク像に比べ若干小さくなります。
をもとに算出した値になります。
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
21
結像（チューブ）
レンズ
MT
MT-1,2,40 ：可視域（435.8 ～ 656.3nm）
：近紫外域（355nm）
から近赤外域
（1064nm）
まで
MT-L
：紫外域（266nm）
から可視域（620nm）
まで
MT-L4
■収差補正範囲
■外観寸法図
MT-2
16.4
MT-L
MT-L4
中間像位置
中間像位置
中間像位置
ø21
ø35
コード No. / パーツ No.
品名
970208
970209
378-010
378-008
378-009
MT-1
MT-2
MT-40
MT-L
MT-L4
焦点距離
f（mm）
結像倍率
入射レンズ径
（mm）
対物レンズ
取付部
（下記参照）
物体面
物体側焦点位置
外観寸法
（mm）
ø40 × 32.5
質量
（g）
ø24.0
43
ø18.0
ø40 × 32.0
42
ø11.2
ø34 × 27.5
45
ø22.0
ø35 × 32.0
30
ø23.0
ø35 × 30.6
30
注：MT-1,MT-2 における※寸法 76.5mm は像視野 ø30 を満足する
（ケラレがない）寸法であり、像視野 ø24 または 2/3 インチカメラの像視野 ø11 で設計されるときは、
下記の式（1）
（
に数値を代入して計算すると目的の値が求まります。
, 2）
対物レンズと
結像レンズの配置
200
400
200
200
200
1×
2×
1×
1×
1×
ø30
ø30
ø24
ø24
ø24
226.5
225.8
物体面
本体
134
ø35
物体側焦点位置
像視野
（mm）
176.4
取付リング
3.5
23.6
ø33g 6 −−0.009
0.025
3.5
3
M3 2 × 0.5
176.4
取付リング
3.5
3
本体
対物レンズ
取付部
（下記参照）
物体側焦点位置
物体側焦点位置
ø35
3.5
25
134
物体面
物体面
■仕様
170
2 6 山36
JI S B 714 1参照
15 12.5
95（同焦位置）
704.2
（下記参照）
ø35
95（同焦位置）
物体側焦点位置
対物レンズ
取付部
ø33g 6 −−0.009
0.025
ø34
95（同焦位置）
-0.01
-0.05
76.5
166.4
物体面
95（同焦位置）
76.5
対物レンズ
取付部
（下記参照）
±1.5
240.2
ø30
半透鏡
（反射照明用）
243.31
-0.01
-0.05
4.5
ø30
半透鏡
（反射照明用）
2.5
28
29.5
240.2
3-2
（12 . 4 キリ
0°
等配
）
中間像位置
M3 2 × 0.5
ø36
3-2
（12 . 4 キリ
0°
等配
）
中間像位置
2 6 山36
JI S B 714 1参照
ø36
95（同焦位置）
MT-40
16.4
MT-1
VMU・FS70・VM-ZOOM40 シリーズは対物レンズと結像（チューブ）レンズで像を作る無限遠
補正光学系を採用しています。対物レンズと結像レンズ間の光束が平行光線となり、反射照明
用ハーフミラーによるゴースト・プリズム・フィルタなどの像位置変化を抑えた光学系となります。
弊社製対物レンズを利用して光学系を設計される際は上記の結像
（チューブ）
レンズをお使いください。
弊社長作動距離対物レンズは結像レンズを指定寸法に配置した際、像視野を ø30mm（MT-1/2）
,ø24mm
（MT-40/L/L4 ）
までカバーするように設計しております。しかし、独自の照明光学系やその他の光学素子
を挿入するため、指定寸法以上でご使用の時は以下の式でおよその寸法を求めることができます。
ℓ ＝（ø2 － ø1）
・f 2 / ø〔mm〕・・・・・・・・・・・・
（1）
（2）
ø1 ＝ 2・f・N.A.〔mm〕・・・・・・・・・・・・・・・・
ø1
ø2
f2
ø
ø
像面
：対物レンズの射出瞳径〔mm〕
：結像レンズの入射レンズ径〔mm〕
：結像レンズの焦点距離〔mm〕
：像視野〔mm〕
（例）M Plan Apo 10 ×と MT-1 を像視野 ø24 で使用するとき、R をどれだけ離してもよいか？
f2
結像レンズ
（2）
より ø1 ＝ 2 × 20 × 0.28
＝ 11.2〔mm〕
ø2
※ 15 ページの仕様欄より M Plan Apo 10×の焦点距離 f ＝ 20mm、開口数 N.A. ＝ 0.28
（1）
より ℓ＝（24 － 11.2）
×200/24
＝ 106.6〔mm〕
ø1
対物レンズ
ℓ＝ 106mm 離しても像視野 ø24 ではケラレのない像を作ることができる。
f1
※上記の仕様欄より MT-1 の入射レンズ径 ø2 ＝24mm、焦点距離 f 2 ＝200mm
また逆に対物レンズと結像レンズを指定寸法以下でご使用のときは光学性能に影響はありません。
なお、その他詳細についてはお問い合わせください。
22
物体面
NA
測定顕微鏡用対物レンズ
ML
MF
Hyper MF
■特長・有限遠補正（物像間距離 280mm、同焦距離 110mm）
・明視野測定用　・長作動距離
・テレセントリック光学系採用（10×以下）
■外観寸法図
10
ML対物レンズ 3×
ø33
ø39
104
110
14.1
ø39
ø30
59
10
20
（同焦距離）
6
（同焦距離）
ML 50×
ø30
ø14.5
ø25
ø28
77
（作動距離）
110 （同焦距離）
90
110
14.5
ML対物レンズ 10×
ø30
ø18
33
10
61
110（作動距離）
（同焦距離）
（同焦距離）
ø33
ø25
ø28
49
61
110（作動距離）
ML 100×
ø33
49
10
ML 20×
ø30
ø17
ø30
ø16.5
ø31.5
ML対物レンズ 5×
ø39
ML対物レンズ 1×
51
110 （作動距離）
13
97
110
14.7
（同焦距離）
（同焦距離）
■仕様
品　名
コード No.
ML 1 ×
ML 3 ×
ML 5 ×
ML 10 ×
ML 20 ×
ML 50 ×
ML 100 ×
375-036-2
375-037-1
375-034-1
375-039
375-051
375-052
375-053
開口数
作動距離
分解能
NA
WD（mm）
（
R µm）
0.03
0.09
0.13
0.21
0.42
0.55
0.70
61.0
77.0
61.0
51.0
20.0
13.0
6.0
9.2
3.06
2.12
1.31
0.65
0.5
0.4
対物レンズ単体の
焦点深度
± D.F.（µm）
306
34
16.3
6.2
1.6
0.9
0.6
実視野（mm）
1/2インチ
ø24 接眼
カメラ
（縦×横）
24
4.8 × 6.4
8
4.8
2.4
1.2
0.48
0.24
質量
（g）
80
55
60
95
310
350
380
1.6 × 2.1
0.96 × 1.28
0.48 × 0.64
0.24 × 0.32
0.10 × 0.13
0.05 × 0.06
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
心出し顕微鏡用対物レンズ
CF
CF
■特長
・有限遠補正（物像間距離 280mm、同焦距離 110mm）
・明視野測定用　・長作動距離　・ズーム仕様をラインアップ
■外観寸法図
73.7
（作動距離）
110
（同焦距離）
18
12
92
32.2
（作動距離）
110 （同焦距離）
5
ø25
ø37.2
ø34
ø21.5
ø25
CFズーム1×∼5×
ø30
ø30
ø22
ø30
ø26
36.3
5
CF 3×
ø25
CF 2×
ø25
CF 1×
77.8
（作動距離）
110
（同焦距離）
60
11.5
（同焦距離）
■仕様
分類
品名
375-031
375-032
375-033
CF 1 ×
CF 2 ×
CF 3 ×
CF ズーム 1 ～ 5 ×
コード No.
1×
3×
5×
375-038
開口数
作動距離
分解能
NA
WD（mm）
R（µm）
0.03
0.06
0.07
0.04
0.1
0.1
73.7
92.0
77.8
9.2
4.6
3.9
6.9
2.75
2.75
50.0
対物レンズ単体の
焦点深度
± D.F.（µm）
306
76
56
171
27
27
50
110 （作動距離）
実視野（mm）
1/2インチ
カメラ
（縦×横）
4.8 × 6.4
ø24 接眼
24
12
8
24
8
4.8
2.4 × 3.2
1.6 × 2.1
4.8 × 6.4
1.6 × 2.1
0.96 × 1.28
質量
（g）
45
35
35
200
●上記仕様欄の分解能および対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝ 0.55µm）
をもとに算出した値になります。
23
広視野接眼レンズ
WF / UWF
MF
MF-U
Hyper MF
Hyper MF-U
FS70
FS300
FS110
■特長・広視野タイプの接眼レンズ WF
・超広視野 10×（視野数 30）UWF
・外焦式光学系を採用・・・目的に応じた各種レチクル装着可
※ UWF のみ内焦式のためレチクル取付不可
■外観寸法図
17
中間像位置
22.2 17
10倍接眼レンズ
10
アイポイント
14.6
15倍接眼レンズ
中間像位置
ø30
ø38
10
アイポイント
WF 20×/12
ø41.4
ø35 -0.02
-0.05
43.9
10倍接眼レンズ
中間像位置
ø32
10
アイポイント
ø30
ø38
中間像位置
WF 20×/12
WF 15×/16
10
3.5
WF 15×/16
ø30
ø38
4
アイポイント
WF 10×/ 24
WF 10×/24
視度調節範囲
ø35
UWF 10×/ 30
17
20倍接眼レンズ
■仕様
コード No.
符号
倍率
視野数
378-851
378-856
378-857
378-858
超広視野接眼レンズ UWF10 × / 30
10 ×
10 ×
15 ×
20 ×
30
24
16
12
広視野接眼レンズ WF10 × / 24
広視野接眼レンズ WF15 × / 16
広視野接眼レンズ WF20 × / 12
視度調整
ハイアイポイント
レチクル取付
－ 8D ～＋ 4D
○
不可
－ 10D ～＋ 5D
○
可
－ 8D ～＋ 5D
－
可
－ 8D ～＋ 5D
－
可
質量
（g）
250
85
40
55
●上記レンズは、
２個セット組になります。
レチクル
FS70
FS300
■特長
FS110
・接眼レンズ（中間像位置）
に挿入し、簡易的に寸法測定が可能・・・No.378-866・378-857・378-858 で対応
・レチクル線幅 10µm・・・No.516576 のみ 7µm
・外径 ø25mm、厚さ 1mm
■外観寸法図
No.516848
No.516576
No.516578
No.516577
No.516849
No.516850
No.516851
■仕様
コード No.
仕様
516848
90°実線
516576
516578
516577
516849
516850
516851
、
90°
60°鎖線
十字線付同心円
(P ＝ ø1.2/ø1.2 ～18mm)
十字線付目盛線
(P ＝ 0.1/20mm)
目盛線
(P ＝ 0.1/10mm)
目盛線
(P ＝ 0.05/5mm)
(P ＝□1mm/□10mm)
24
方眼
VMU/FS70/VM-ZOOM40 シリーズ共通オプション
■ XY ステージ
■簡易スタンド
110
70
378-730
6.7kg
質量
40
96
152
120
ジや透過照明ユニットを組み合わせると透過照明観察も可能な小形
顕微鏡としてお使いいただけます。
コード No.
4-5キリø8ザグリ
4-M4 深さ10
110
70
VMU・FS70・VM-ZOOM40 を取り付けるためのスタンド。XY ステー
32
59
13
7
346
156
移動範囲
（ X・Y 軸） 50 × 50mm
6.5
3
ハンドル送り量
約 34mm /1回転
T溝部詳細図
質量
3.3kg
※ 1軸駆動になります。
■透過照明ユニット
95
ø39
132
200
95
108
58
写真：FS70Z および XYステージ装着例
（接眼レンズ・対物レンズ・レボルバ・
照明装置はオプションです）
378-020
コード No.
47
96
180
ステージガラス上面
378-736
0.8kg
コード No.
135
質量
ファイバー差し込み口
15
328
361
114
23 25
76.4
15
437
452
44
185
簡易スタンドのベース部に装着し
て透過照明する場合に使います。
光源は下記のファイバ照明装置
をお使いください。
（100W/150W）
■ファイバ照明装置（100W）
■ファイバ照明装置（150W）
39
ø7
1500
ø10
53
25
21
10
10
ø7
ø10
245
25
76
35.2
15
9
コード No.
378-700
12V100W パラボラ式、ハロゲンランプ
定格寿命 100 時間、ランプパーツ（No.517181）
長さ 1500mm、ファイバ結束径 ø5mm
ライトガイド長：L=1500mm
光源
ライトガイド
明るさ調整
フィルタ
オプション
15
110
97
120
光量 1/8 変換フィルタ（No.12AAB252）
ライトガイド
176-316
15V150W パラボラ式、ハロゲンランプ
定格寿命 500 時間、ランプパーツ（No.12BAJ076）
15V150W パラボラ式、ハロゲンランプ
定格寿命 50 時間、ランプパーツ（No.12BAJ075）
長さ 1500mm、ファイバ結束径 ø5mm
グリーンフィルタ（No.12BAA583）
明るさ調整
ボリューム調光式
コード No.
長寿命タイプ
ボリューム調光式
LB80
ND2
ND8
GIF
227
257
MHAB-150W
9
60
MEGALIGHT100
120
HOYA-SCHOTT
光源
色温度変換フィルタ（No.12BAA584）
高輝度タイプ
光量 1/2 変換フィルタ（No.12AAB251）
25
外観寸法図
■ VMU シリーズ外観寸法図
VMU-V
VMU-H
47
17.5
Cマウント
27
113.5
89.5
ø35
ファイバ
取付け部
対物レンズ
（オプション）
VMU-L4B
23.2
102.5
27
47
308.4
106
76
94.5
27
59.5
物体面
43
19
43.5
59.5
19
対物レンズ
（オプション）
120
物体面
物体面
ø14（他社ファイバ適合）
ø10
対物レンズ座
（当社ファイバ適合）
10
(2)
スペーサ
ファイバ端面位置
ファイバ取付け部
26
47
（エンブレム）
（エンブレム）
308.4
3
95（同焦距離）
120
19
6-M4×0.7深さ6
（反対側同位置同数）
ファイバ
取付け部
27
3
106
対物レンズ
（オプション）
12
50
49.5
76
43.5
20.5
対物レンズ座
ø43
ファイバ
Cマウント
214.5
213.4
27
213.5
27
94.5
49.5
6-M4×0.7深さ6
（反対側同位置同数）
ファイバ
取付け部
27
101.5
50
中間像位置
13.6
中間像位置
ø3
レーザマウント
213.4
Cマウント
中間像位置
ø56
ø50
17.5
23.2
95（同焦距離）
17.5
ø3
レーザマウント
13.6
ø56
中間像位置
中間像位置
中間像位置
79.6
中間像位置
79.6
VMU-LB
ø50
ø43
20.5
95（同焦距離）
20.5
ø43
対物レンズ
（オプション）
中間像位置
47
（エンブレム）
20.5
27
3
（エンブレム）
95（同焦距離）
106
27
152.5
76
247.5
50
27
27
6-M4×0.7深さ6
（反対側同位置同数）
63
Cマウント
6-M4×0.7深さ6
（反対側同位置同数）
ファイバ
取付け部
19
27
中間像位置
59.5
43.5
106
113.5
3
76
50
19
中間像位置
17.5
59.5
43.5
物体面
外観寸法図
■ FS70 シリーズ外観寸法図
FS70Z（FS70ZD）
FS70L
63.5
63.5
102
229
102
229
38
63.5
63.5
27.2
324
324
154
中間像位置
79.6
中間像位置
ø38
レーザマウント
上下移動量
93.4
353
212
93.4
212
353
MAX130
153（取付面） 1
154
MAX
78
FS70L4
82
95
82
95
（同焦距離）
対物レンズ
取付面
（同焦距離）
対物レンズ
取付面
MAX130
153（取付面） 1
154
MAX
78
27.2
126.5
109
63.5
208
102
229
30 51
38
63.5
4-M4 深さ8
レーザマウント
上下移動量
本体取付用穴位置（全機種共通）
93.4
＋
0.1
ø10 ＋0.05
ø7.5
212
353
63.5
94
31.7
25
25
79.6
ø38
14
154
中間像位置
7.5
324
ファイバ端面位置
10
82
95
（同焦距離）
14
対物レンズ
取付面
MAX
78
31.7
25
25
40.4
ø38 上下移動量
25
25
79.6
154
MAX130
153（取付面） 1
154
ファイバ取付け部（全機種共通）
27
■ VM-ZOOM40 シリーズ外観寸法図
位置
5-M4深さ8
ø7.5
M
40
ZOOM
22
Cマウント
アイポイント
M
80.6
111.5
42.5 中間像
位置
双眼装置
22
フィルタ切替機構付き
Cマウント
双眼光路
切替えノブ
111.5
42.5 中間像
位置
Cマウント
上下移動量
裏
※VMZ40R-BL とは TV マウント部のみ仕様が異なります。
30
351.4
459
レーザ取付座
レーザポート
267.4
100
｡
WF
30
20
VMZ40R-BL4（ TV マウント部のみ）※
上下移動量
145
ジョグシャトル
L=2000
50
72
（ストローク）
80
109
ステージ
250
45
74
60
VM Z
M
Remote Controller
1
2
3
4
142.5
114.5
リモートコントローラ
10
95
HR10×対物レンズ
133.5
（同焦距離）
ノーズピースノブ
（標準付属品）
80.6
78
267.4
双眼光路
切替えノブ
VM Z
74
17.5
100
80
ファイバ取付け部
（全シリーズ共通）
17.5
VMZ40R-BL
70
（4）
本体取付用穴位置
（全シリーズ共通）
25
114.5
114.5
ステージ
ファイバ
端面位置
7.5
459
145
63.5
94
102
25
95（同焦距離）
HR10×対物レンズ
レーザ
マスク位置
＋0.1
＋0.05
ø10
126.5
140
144
40
63.5
25 25
VM Z
上下移動量
（4）
111.5
42.5 中間像
17.5
Cマウント
25
100
25
VMZ40M
5
362
質量：約7kg
（リモートコントローラとジョグシャトルの合計）
28
光学用語
1. 開口数（N.A.=Numerical Aperture の略）
と倍率の関係
7. 対物レンズの焦点距離（f=Focal Lengthの略）
開口数 N.A.は対物レンズの分解能､焦点深度､像の明るさ等
を決める重要な値です。N.A. は次の式で表され､この数値が
大きいほど高解像で焦点深度の浅い像が得られます。
N.A.= n・Sinθ
主点から焦点までの距離で、f 1 は対物レンズの焦点距離、f2 は
結像
（チューブ）
レンズの焦点距離です。倍率は対物レンズの
焦点距離と結像
（チューブ）
レンズの焦点距離の比で決まります。
（無限遠補正光学系の場合）
nは対物レンズ先端と試料との間の媒質が持つ屈折率で空気
のときは n=1.0 となります。
対物レンズの倍率 =
θは対物レンズの一番外側を通る光線とレンズの中心
（光軸）
とのなす角度です。
対物レンズ
対物レンズの焦点距離
200（mm）
（例）
1 × =　（例）
10 × =
200（mm）
空気
（n=1）
θ
結像
（チューブ）
レンズの焦点距離
・実視野・モニタ表示倍率
8. 視野数（F.N.＝Field Number の略）
試料
試料面のどれくらいの範囲が観察されるかは、接眼レンズの
視野絞りの直径によって決まり、この直径をmmで表した値を
視野数といいます。実視野は実際に対物レンズで拡大観察さ
れている物体面での範囲のことをいいます。
実視野は以下の式で算出できます。
載物ガラス
2. 分解能（R=Resolving power の略）
ごくわずかに離れた点または線を見分けることができる最小の
間隔を分解能といいます。
は開口数 N.A. と波長λで決まります。
分解能
（R）
（1）
顕微鏡で観察できる被検物の範囲
（直径）
実視野
（mm）
=
λ
（基準波長）
R(µm)=　λ= 0.55µm
2・N.A.
接眼レンズの視野数
対物レンズ倍率
24（mm）
1
24（mm）
10×レンズの実視野は 2.4
（mm）
=
10
（例）1×レンズの実視野は 24
（mm）
=
3. 作動距離（W.D.=Working Distance の略）
焦点が合ったときの試料面から対物レンズ先端までの距離を
いいます。
（2）
モニタ観察範囲
4. 同焦距離
モニタ観察範囲
（mm）
=
焦点が合ったときの試料面から対物レンズの取付け位置
までの距離をいいます。
作動距離
f2
倍率 = ̶
6. 有限補正光学系
対物レンズ単独で像を有限な位置に作る光学系を有限補正
光学系といいます。
対物レンズ
L2
6.0
8.0
11.0
4.8
6.4
8.8
短辺
（縦）
3.6
4.8
6.6
モニタ上の表示対角線長
（mm）
カメラの撮像素子の対角線長（mm）
●接眼レンズ観察の場合
（Berek の式）
像点
L1
1/3 インチ
1/2 インチ
2/3 インチ
長辺
（横）
顕微鏡で焦点（ピント）を合わせたとき、その面の前後に
ピント面をずらしてもなお、
鮮明に見える範囲をいいます。
開口数が大きいほど焦点深度は浅くなり、逆に焦点深度が
深くなる（開口数が小さい）とピントの合っている範囲が
広がり、微細な段差なども同一焦点で確認できます。
人の眼の調整力には個人差があるため、人が感じる焦点
深度には個人差があります。現在では実験とよく一致する
Berek の式が一般的に使われます。実体顕微鏡などの低
倍率レンズは焦点深度が深く、カメラ用語の被写界深度と
同義となります。
f1
物点
対角長
9. 焦点深度（D.F.=Depth of Focus の略）
結像レンズ焦点
（像点）
f2
単位 mm
形式
モニタ表示倍率 = 対物レンズの倍率×
対物レンズ
結像
（チューブ）
レンズ
f1
対物レンズの倍率
モニタ表示倍率
（3 ）
対物レンズと結像
（チューブ）
レンズを使って像を作る光学系を
無限遠補正光学系といいます。
対物レンズ焦点
（物点）
カメラ撮像素子の大きさ
（縦×横）
●撮像素子の大きさ
同焦距離
5. 無限遠補正光学系
200（mm）
20（mm）
λ
ω× 250,000
2 ×（N.A.）2 λ= 0.55µm（基準波長）
±D
（µm）
＋ =　N. A × M
ω：眼の分解能 0.0014（眼の視角を 5 分とした場合）
M：総合倍率（対物レンズ倍率×接眼レンズ倍率）
L2
L1
倍率 = ̶
● TV モニタ観察の場合
λ
±D
（µm）
=　λ
= 0.55µm（基準波長）
2 ×（N.A.）2
29
10. 明視野照明と暗視野照明
16. プラン（Plan）
明視野照明は視野を明るく照明する観察方法で、
明視野落射
照明は対物レンズの中を通して垂直に照明し試料を観察
するための照明方法です。
暗視野照明は対物レンズの外周から試料を照明し
（光軸に
対して傾いた光線で試料を照明する）傷のない平らな部分
は暗黒で、凹凸や傷のある部分のみが明るく輝かせて観察
するための照明方法です。
アクロマートレンズやアポクロマートレンズの像面・画像の
湾曲を補正し、
平面な像が平面としてはっきりと映し出される
ように補正した対物レンズのことをいいます。弊社の FS
対物レンズは全て Plan 仕様です。
17. ケラレ
対物レンズを通して入る光が結像するまでの過 7 程において
何らかの障害によって周辺部で暗くなったり、陰ったりする
現象をいいます。
11. アポクロマート対物レンズとアクロマート対物レンズ
アポクロマート対物レンズは三つの色の光（赤青黄）について
色収差（色のにじみ）
補正を行ったレンズです。
アクロマート対物レンズは二つの色の光（赤青）について
色収差補正を行ったレンズです。
18. フレア
レンズ内の内面反射や鏡筒内での光の散乱により視野内に
光が重なる
（白っぽく見える）
現象をいい、像のコントラストを
落とす原因になります。
12. ケーラ照明
視野絞りと開口絞りを持つ照明光学系で、生物顕微鏡や
金属顕微鏡などの多くに採用され、照射光が観察面上に
直接結像せず光を観察範囲全体にムラなく照射されます。
視野絞りで照射される範囲の輪郭は明確となり、開口絞り
で明るさの調整を行えます。
結像系
リレーレンズ
19. 二重像
結像光学系内の光学部品による多重反射により、一つの
像が二つに重なって見える現象をいいます。
20. 対物レンズの瞳径とスポット径
視野絞り開口絞り集光レンズファイバー
●瞳径
対物レンズ
（の後側）
に入射できる軸上平行光束の最大
直径のことをいいます。瞳径は以下の式で算出できます。
ビームスプリッタ
瞳径
瞳径（ømm）
= 2 × N.A. × f
95
対物レンズ
N.A.：対物レンズの N.A.
f ：対物レンズの焦点距離（mm）
照明視野
スポット径
●スポット径
対物レンズ
（の後側）
に均一な強度分布を持ったビーム光
を入射させた際、集光された強度分布の値が 0となる
直径のことをいいます。
スポット径の目安は次式で算出できます。
13. テレセントリック
主光線が焦点を通るように設計された光学系で、焦点が
ずれても像中心の大きさが変わらない特長を持ちます。
λ
スポット径
（øµm）
= 1.22 ×　（参考値）
14. 開口絞り
N.A.
光の通る範囲を調整し、明るさ、分解能に関係する絞りで
す。特に、
透過照明を用いて円筒被検物の幅寸法測定時に
適切な絞りで回折光を抑え正確な測定・観察を行う事が
できます。
N.A.：対物レンズの N.A.
λ：使用する波長
（µm）
但し、
レーザ光のようなその断面がガウス分布を形成する
強度分布を持つ光源の場合、上式はあてはまりません。
レーザビーム径は、一般にピークの 1/e 2 になる値、
すなわち13.5% になる直径で示され、レーザ光による
スポット径は以下の式で算出できます。
15. 視野絞り
観察範囲外の光を遮断するための絞りです。余計な光を遮断
する事で鮮明な像を確保できます。
4 ×λ× f
スポット径
（øµm）
=　（参考値）
π× D
λ：使用する波長
（µm）
D：レーザ射出ビーム径（øµm）
f ：対物レンズの焦点距離（µm）
30
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●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。
●本カタログに掲載されている仕様は 2010 年 03 月現在のものです。
78 1004 ⑯ C-（PA）BU118

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