即時リリース投資家向け広報窓口： Ed Lockwood インベスターリレーションズ部門シニアディレクタ (408) 875-9529 [email protected] メディア向け広報窓口： Meggan Powers コーポレートコミュニケーション部門シニアディレクタ (408) 875-8733 [email protected] KLA-Tencor が新しい eS805TM 電子ビーム検査装置を発表本装置は電気的な問題と微細な物理的欠陥や歩留まりに関連する欠陥を捕捉でき、さらに高速光学ウェーハ検査装置のレシピ条件最適化を補助しますカリフォルニア州ミルピタス発(2013 年 1 月 29 日)。KLA-Tencor Corporation (NASDAQ:KLAC)は本日、最先端の半導体製造メーカ向けの新しい電子ビーム検査装置である eS805TM を発表しました。KLA-Tencor の電子ビーム検査装置の開発および製造における 20 年以上にわたる専門知識が活かされた eS805 は、きわめて微細な欠陥や、オープン、ショート、信頼性の問題などの IC の電気的な問題の原因となる欠陥の検出に必要不可欠な機能を有しています。また、eS805 は光学検査装置の感度や速度を最大限に引き出すために必要な電子ビーム検査情報を提供することができます。 KLA-Tencor のウェーハ検査グループ担当エグゼクティブ副社長 Bobby Bell は次のように述べています。「1 桁ナノメートルのデザインルールに移行するにつれ、欠陥異常を検知するのに必要十分なウェーハ枚数を検査する速度と重要欠陥に対してこれまで以上の感度を必要としています。光学検査は、今後も主要な欠陥検査方法として存続していくと考えています。十分なウェーハ検査範囲を確保するには、光学検査装置が持つ速度が不可欠であり、当社の技術者は、お客様が期待する要件を満たすよう光学感度を高めるためにいくつかの画期的なアイデアを実証しました。電子ビーム検査は、引き続き必要に応じて光学検査を補完します。当社は電子ビーム製品ラインで技術革新を続け、速度、アプリケーションの幅広さ、新規の手法を追求していきます。新しい eS805 は、KLA-Tencor の進化を続ける電子ビーム/光学欠陥ソリューションにおける大きな前進となり、業界をリードする光学欠陥検査/電子ビームレビューポートフォリオへの価値ある追加となります。」新しい eS805 の性能は、次の進化によってもたらされています。  新しいイメージコンピュータ、新しいオートフォーカスサブシステム、「電圧コントラスト(“VC”)」モードでダイの広い領域にわたって埋もれた電気的欠陥を検出可能な他の市販システムより高いビーム電流密度  FinFET や 3D フラッシュなどの高アスペクト(HAR)構造の下層にある重要な欠陥からの信号を引き出す設計  新しいイメージコンピュータやオートフォーカスシステムを併用することによってセル部のロジック領域などの非周期的な構造内で微細な欠陥を効率よく捕捉可能となった高度な検出アルゴリズム eS805 は、以前の eS3x や eS8xx シリーズの電子ビーム検査装置からアップグレード可能で、設備投資を確実に回収できます。新しい eS805 電子ビーム検査装置は、既存装置をアップグレードまたは設備増強したいロジックおよびメモリチップの大手メーカに出荷されています。高い性能と生産性を維持するために、eS805 ツールは KLA-Tencor’s global, comprehensive service network によって支えられています。KLA-Tencor の eS805 電子ビーム検査装置の詳細については、製品の Web ページ http://www.kla-tencor.com/front-end-defect-inspection/eS800-series.html を参照してください。 KLA-Tencor について： KLA-Tencor Corporation は、プロセス制御および歩留まり管理ソリューションにおけるリーディングカンパニーであり、検査および計測装置の最先端技術をお届けするパートナーとして世界中のお客様に信頼されています。これらの技術は半導体、データストレージ、 LED、その他の関連ナノエレクトロニクス業界で利用されています。業界標準の製品ポートフォリオと世界に誇る研究者チームによって、35 年以上にわたりお客様に優れたソリューションを提供してきました。KLA-Tencor は、カリフォルニア州ミルピタスに本社を置き、世界中に販売およびサービス拠点があります。詳細については、www.kla-tencor.com (KLAC-P)をご覧ください。将来の見通しに関する記述本プレスリリースに記載されている過去の事例以外の事項、すなわち eS805 に期待される性能、半導体業界における動向およびこれらに関連して予測される課題、KLA-Tencor の顧客により見込まれる eS805 の用途、eS805 と他の KLA-Tencor ツールとの予測される互換性、eS805 ツールの使用により実現可能な予想されるコストおよび運用上の利点およびその他の利点は将来の見通しであり、Private Securities Litigation Reform Act of 1995 (1995 年私募証券訴訟改革法)の Safe Harbor (セーフハーバー)条項が適用されます。これらの見通しは現時点での情報と予想によるものであり、多くのリスクと不確定要素を含んでいます。新技術の採用の遅延(コストまたは性能上の問題などの原因による)、競合他社による競合製品または代替技術の発売、当社製品の導入、性能、または使用に影響を及ぼす予期せぬ技術的な問題や限界など、さまざまな要因により、実際の結果はこれらの記述で予想された内容と著しく異なる場合があります。 ###