中古機ｶﾀﾛｸﾞ
プラズマCVD装置 CME-200J
装置概要
メーカー
： ＵＬＶＡＣ
問合番号 ： ＲＳ１３－２０１００Ａ
製造年月 ： ２００８年製
装置状態 ： 生産用途に使用
装置初期仕様
ﾁｬﾝﾊﾞｰ構成： L/L室、搬送室、プロセス２室
適用基板 ： □156㎜基板
排気系
： ドライポンプ LR60×2台、HR-60×2台
ターボポンプ TMP-203LMC×2台 TMP-1003LM×1
メカニカルブースターポンプ PMB-001CM×3台
ガス種
： シラン、ホスフィン、ジボラン、水素（P3，4共通）
ＲＦ電源 : RFS-2710A×2台、 MBX-2710A3×2台
加熱電源 ： PSH－700F-TRｼﾘｰｽﾞ×2台
操作系
：タッチパネル+シーケンサー
※装置詳細仕様は、ｱﾙﾊﾞｯｸﾃｸﾉ株式会社ﾘｾｰﾙ本部までお問い合わせ下さい。

管理番号 機器名称 メーカー モデル番号 製造番号 年式 仕様 価格 円 1