研修コースの種類及び内容 ［対象］ ［到達目標］ 入門コース 初級コース 中級コース 上級コース 電顕に関し知識のない学生・研 究者 入門コース修了程度の知識を有 するが、各自の研究課題に関し TEMでの研究方針が定まってい ない学生・研究者 初級コース修得程度の知識を有 し、各自の研究課題に関しTEMで の研究方針がある程度定まってい る学生・研究者 中級コース修得程度の知識を有 し、各自の課題解決のために特殊 なＴＥＭ法での研究方針が定って いる学生・研究者 SEM,TEMの役割を理解・修得 SEM,TEMの操作が出来、 SEM,TEM法での課題解決方針を 見通す能力を修得 有効な操作・データの取得方法を 修得し、データの解釈をする能力、 並びに研究課題にTEM法を有効 に適用できる能力を習得 特化したTEM法を修得すると共 に、自律的に研究を進める能力を 習得 ［カリキュラム］※１ 入門科目 初級科目 中級科目 上級科目 ［年間受講人数］ １００名 ５０名 ５名 若干名 ［コース日程］ ※2 １日/コース ※２ 4日/コース ※３ 5日/コース 不定 ［年間実施コース回数］ １０回／年程度 １０回／年程度 5回／年程度 随時（相談） ［受講対象者］ 学内及びフォーラム会員 学内及びフォーラム会員 学内及びフォーラム会員 学内及びフォーラム会員 ※１：入門、初級、中級及び上級科目の内容は次ページ以降に示 ※２：１日当り６時間の講義・ 実習。 ※３：当分の間次のコースを予定： ①分析電顕法、②高分解能電顕法、③電子回折法、④先端電顕法（STEM、トモグラフィ等） 研修科目・内容等 時間 科目名 電子顕微鏡法概論 ー 入 門 コ ス 講義 見学・ シミュ e-ラー ビデオ レーター ニング 内 容 実習 1.電子顕微鏡による情報 2.電子顕微鏡の調整・操作 3.電子回折 4.電顕像 5.高分解能像 6.超高圧電子顕微鏡 7.分析電子顕微鏡 8.試料作製 9.記録 1.光学顕微鏡と電顕の差異 2.電子の性質・加速電圧と波長，相対論効果 3.電子銃 4.陰極材料 冷陰極、熱陰極 電子放射 仕事関数 5.電子源の輝度と干渉性 6.電子レンズと収差 分解能と有効倍率 7.集束レンズ 明るさとビームの平行性 8.対物レンズの役割 焦点合わせ・焦点深度と視野深度 9.中間レンズの役割 倍率設定、回折／像モード切替 1.レプリカ法 2.粉末試料法 3.電解／化学研磨法 4.真空蒸着法 1.試料固定脱水・包理 2.ガラスナイフ作成 3.ウルトラミクロトーム法 4.クライオミクロトーム法 5.電子染色法 6.ネガティブ染色法 7.シャドゥイング法 1.コントラストの成因 2.走査電子顕微鏡の構造 3.走査電子顕微鏡の操作法 1.光解析と電子解析 2.原子による散乱 電子とＸ線の散乱能 3.単位胞による散乱 結晶構造因子 4.結晶による回折 5.Bragg反射 結晶の方位と面の表し方 6.逆格子 晶体軸 サイズ効果 10.回折パターンと拡大像の関係 11.絞りの役割 ビームの平行性、非弾性散乱 12.TEM用試料 加速電圧と電子の試料透過能 13.像コントラスト 散乱・吸収コントラスト 回折コントラスト 位相コントラスト 14.画像記録 フィルム、イメージングプレート、CCDカメラ 電顕観察例 電顕室利用手続き 透過電子顕微鏡基礎 ー 初 級 コ ス 電子顕微鏡試料作製技術 （非生物系初級） 電子顕微鏡試料作製技術 （生物系初級） 走査電子顕微鏡法 (初級） ー 中 級 コ ス 電子線回折とその解析法 (中級） 5.イオンミリング法 6.集束イオンビーム(FIB）法 7.薄膜断面／平面観察法 8.特殊試料作製法 8.急速割断レプリカ法 9.凍結乾燥法 10.免疫電顕法 11.真空蒸着法 12.支持膜作製法 13.分散法 7.電子回折と結晶学的情報 8.弾性散乱と非弾性散乱 9.菊池パターン 10. 回折パターンの指数付け 高次ラウエゾーン反射、多重回折 11. 回折パターンの作図 12. 入射ビームの平行性と回折スポットの拡がり 13. 収束電子回折 電子顕微鏡像とその解析法 (中級） 電子顕微鏡試料作製技術 （非生物系中級） ー 中 級 コ 走査電子顕微鏡法 (中級） ス 高分解能電子顕微鏡法 (中級） 分析電子顕微鏡法 (中級） 超高圧電子顕微鏡法 (中級） 先端電子顕微鏡法 (中級） 高分解能電子顕微鏡法 (上級） 分析電子顕微鏡法 (上級） ー 上 級 コ 超高圧電子顕微鏡法 (上級） ス 上級特殊技術 像コントラストと像の解釈（運動学的近似） 1.像コントラストの成因 2.明視野像と暗視野像 3.多波干渉像（位相物体） 4.完全結晶の像コントラスト 等厚干渉縞 等傾斜干渉縞 1.電解研磨法 2.イオンミリング法 3.薄膜断面／平面観察法 1.コントラストの成因 2.走査電子顕微鏡の構造 3.走査電子顕微鏡の操作法 1.理想的レンズによる結像 位相物体近似 2.コントラスト伝達関数 球面収差、焦点外れ量 3.理論分解能 最適焦点外れ量、シェルツァーフォーカス 1.電子と物質の相互利用 2.分析電子顕微鏡の概要 3.エネルギー分散型電子分光(EDS)法 1.超高圧電子顕微鏡の特徴と概要 2.透過能 3.分解能 4.高速電子の回折効果 1.HAADF-STEM法、Zーコントラスト 2.3Dトモグラフィー 3.その他 1.高分解能像の特徴と概要 2.高分解能像の理論 1.電子と物質の相互利用 2.分析電子顕微鏡の概要 3.XEDS 4.定性分析 1.超高圧電子顕微鏡の特徴と概要 2.透過性 3.分解能 4.高速電子の回折効果 ① ステレオ投影法 ② トレース解析法 ③ 微結晶の構造解析法 ④ 動力学理論と像シミュレーション ⑤ 転位・積層欠陥の性状決定法 ⑥ 転位ループの性状決定法 ⑦ ステレオ観察法 ⑧ ３Dトモグラフィー 5.不完全結晶の像コントラスト 積層欠陥、逆位相境界 転位、双晶、境界、析出物 4.集束イオンビーム(FIB)法 5.FIBマイクロサンプリング法 6.特殊試料作製法（磁性粉末試料等） 4.低真空SEM法 5.低加速電圧SEM法 4.加速電圧、対物レンズ電流の変動 エンベロープ関数、インフォメーションリミット 5.像シミュレーション マルチスライス法 4.定性分析 5.定量分析 6.電子エネルギー損失分光(EELS)法 5.高速電子の弾性･非弾性散乱 電子のはじき出し、照射欠陥 6.物質の電子励起 7.「その場」観察と解析 3.高分解能像の観察 4.高分解能像の解析 5.定量分析 6.電子エネルギー損失分光 7.集束電子回折 5.高速電子の弾性･非弾性 6.物質の電子 7.「その場」観察と解析 ⑨ 収束電子回折 ⑩ 「その場」実験法 ⑪ ローレンツ電子顕微鏡法 ⑫ 高角度暗視野像法 ⑬ EDXを利用した高度・特殊実験法 ⑭ EELSを利用した高度・特殊実験法 ⑮ その他
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