高真空 ポンプ チタンゲッタポンプ【GGT-3、PGT シリーズ】 チ タ ン ゲ ッ タ ポ ン プ（ GGT-3 、 PGT シ リ ー ズ ） は、 チ タ ン 合 金 を 真 空 中 で 直 接 通 電 し て チ タ ン を 昇 華 さ せ る た め の ユ ニ ッ ト で す。 昇 華 し た チ タ ン は 周 囲 の 壁 面 に 大 量 の 活 性 金 属 表 面 を 作 り、 化 学 的 に 活 性 な ガ ス（ H 2 、 N 2 、 O 2 、 H 2 O 、CO 、CO 2 ）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（ He 、Ne 、Ar 、CH 4 、C 2 H 6 、その他 有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用 します。 GGT-3 特 PGT-3F 用 長 長寿命フィラメント： チタン合金フィラメントは、1 本当たり定格連続運転（ 30 秒通電 ／ 60 秒 休 止 ）で 約 75 時 間、連 続 通 電 で 約 25 時 間と長 寿 命 です。 ハードベークに対応： 接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（ UFC ）で、最 高 250 ℃までのベークアウトが可能です。 UHV 対応： 構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されています。 超高真空の排気系 各種成膜装置（蒸着・スパッタリングなど）において、高真空 ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして 各種実験・研究用装置において、高真空ポンプの到達圧力向上 のための補助ポンプとして 付 属 品 出力ケーブル： 3m（単芯）×2 本 入力ケーブル： 5 ｍ（ 3 芯）×1 本 取扱説明書： 1 部 オ プ シ ョ ン チタンフィラメント： 6 本セット（ PGT-3F/6F 共通） 電極カバー： SUS 製 出力ケーブル： 5 ｍ、10 ｍ 250˚C 耐熱出力ケーブル： 3 ｍ、5 ｍ、10 ｍ（ PFA 電線） 高真空ポンプ 排気速度の設計が自由で到達圧力が向上： システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べ ば、大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上します。 途 チタンゲッタポンプ【GGT-3、PGT シリーズ】 仕 様 型 式 PGT-3F PGT-6F 型式 GGT-3 排気速度 ＊1 3 s・m2） ＜20˚C＞ ／ 64m（ ＜-196˚C＞ 24m3（ / s・m2） 出力 AC0 ∼ 6V 可変、最大 60A 使用圧力範囲 10-1 ∼ 10-9Pa 程度の超高真空領域 制御方法 タイマーによるON/OFF 制御 0.05 秒∼ 300 時間（ON/OFF 共） 排気可能ガス H2、N2、O2、H2O、CO、O2 タイマー設定時間範囲 排気不可能ガス He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス 出力表示 出力電流表示 リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s 以下 出力表示目盛 アナログ表示 ／ 60Aフルスケール 1点 ベーキング温度 250˚C インターロック入力 所要電力 270W 許容周囲温度 5 ∼ 40˚C フィラメント材質 チタン合金 入力電圧・周波数 単相 AC200 ∼ 220V 50/60Hz 切り替え フィラメント寿命 定格連続運転 ＊2：約 75 時間、連続通電：約 25 時間 入力電流 最大 3.5A フィラメント本数 3本 6本 質量 12kg 接続フランジ ＊3 UFC070-FH UFC114-FH 質量 1.0kg 2.5Kg ＊1 超高真空圧力領域、 20℃、窒素における計算値 ＊2 270W で 30 秒通電、 60 秒休止 ＊3 ULVAC 規格のステンレス鋼製ナイフエッジ型メタルシールフランジ（ICF 相当） 外 形 寸 法 図 単位：mm 6 25 5 GGT-3 FUSE （ 5A ） R5 S5 140 150 100 INTERLOCK OUTPUT 25 6 AC200V 8-φ8.4 5 20 φ50.4 M5 200 φ34 M5 φ113.5 PGT-6F 6-φ6.8 φ69.3 PGT-3F 20 100以上 400 φ55 220 240 89 281 89 370 新 鮮な チ タ ン 蒸 着 膜 面 の 固 有 排 気 速 度 N2 O2 CO CO2 H 2O CH4 Ar He 室温（20 ˚C） 24 24 16 48 40 32 なし なし なし 液体窒素温度 （−196 ˚C） 64 64 データ なし 110 92 140 なし なし なし / s・m2） 単位：m3（ ■東日本営業統括部 TEL 03-5218-6011 （代） ■西日本営業統括部 TEL 06-6397-2281 （代） 度 曲 線 1 0.1 株式会社アルバック 規格品事業部 速 A A：連続通電運転 B：30 秒通電／ 60 秒休止の繰返し運転 ゲッタ面面積：2000cm2 ガス：N2 温度：20℃ 0.01 1.00E-07 国内販売： アルバック販売株式会社 気 m3/s 10 排気速度 ガス種 排 H2 ゲッタ面温度 288 377 1.00E-06 1.00E-05 1.00E-04 圧力 B 1.00E-03 1.00E-02 Pa w w w. u l va c. c o. j p お問い合わせ 海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL +81-467-89-2261 当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。 1550N/2013101500TL
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