A p p l i c a t i o n S y s t e m s 反射率測定装置 干渉計 アプリケーション システム WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] SGRM-200 微小領域、局率面の分光反射率測定を実現します。 局率を持ったレンズや機能性シートなどの極薄試料も裏面反射光の影響を受けずに高速、高精度な分光反射率測定が 可能です。 光学素子 ホルダー 光源 ベース 手動ステージ アクチュエータ 自動ステージ 索引 バイオフォトニクス 検査/観察系 測定 光通信系 レーザ加工 ◦特殊ハーフミラーにより試料からの反射光を効率良く分光器に取り 込み、低反射試料でも短時間測定が可能となりました。 ◦特殊ハーフミラーで裏面からの反射を阻止していますので、 試料裏面 の処理無しで正確な測定が可能です。 ◦512素子のリニアPDA、 16bit A/Dコンバータ内蔵、 USB2.0インター フェイスで高速演算。 ◦ファイバからスリッ トへの集光系とアライメント機構により光量の利用率 を最大限に高めており、 スピーディで再現性の高い測定ができます。 ◦試料面の微小領域 （φ50μm） を測定するため、 レンズ曲面及びコー ティングむらも測定可能です。 ◦Excel形式でのデータ保存が可能です。 ◦同一画面上に複数の測定結果の表示 （重ね書き） が可能ですので、 測定結果の比較が容易です。 仕様 品番 4,500,000 測定波長 360〜800nm 試料側N.A 試料の測定範囲 試料の曲率半径 測定再現性 表示分解能 測定時間 外径寸法 （本体） 使用温度範囲 使用湿度 納期の目安 反射率グラフイメージ B026 SGRM-200 価格 〔￥〕 0.13 （10×対物レンズ使用時） 約φ50μm （10×対物レンズ使用時） －2R〜−∞、 ＋2R〜∞ ±0.1％ （360〜450nm） ±0.01％（450〜750nm） ±0.1％ （750〜800nm） 1nm 数秒 （サンプリング時間による） （W） 230× （H） 530× （D） 460mm 18〜28℃ 60％以下 （結露なきこと） TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 カタログ コード W2019 干渉計 対物レンズ 1.25倍対物レンズ PLAPON1.25× 標準白色板 10倍対物レンズ UPLFLN10× 波長校正板 アプリケーション システム 光学素子 20倍対物レンズ UPLFLN20× ホルダー 光源 WS-3 ※色の測定時の基準 測定範囲：φ400μm 測定範囲：φ50μm 薄板：0.4mm 測定範囲：φ25μm 薄板：0.3mm V-30 ※キャリブレーションデータ付 分光器 ベース 手動ステージ ①標準仕様 ：波長360 ～ 800nm 200万画素 USBカメラ ②赤外仕様 ：波長370 ～ 960nm ③近紫外仕様：波長330 ～ 800nm アクチュエータ 自動ステージ （参考） 検査用自動XYステージ SKDCE-3 索引 B022 バイオフォトニクス W.D.=10mm スーパーCマウント ズームアダプター 検査/観察系 サンプルの厚み t≦20mm 測定 NY-CZ （×0.35〜×0.7） 保守部品 ハロゲンランプ（10個パック） SGRM-200-64607(OSRM) ￥45,000 低反射率リファレンス板 SGRM-G03-09001A OFB-25C05 （裏面砂掛け） 光通信系 レーザ加工 コントローラ 高反射率リファレンス板 TFAN-25C05-1-Rdata （規格品の測定データ付） ※330～1100nm、入射角5° 、 1nm刻み電子データ付 2軸ステージコントローラ SHOT-302GS Ⅰ095 反射率計測ソフトウエア ◦薄型ターゲットの高精度測定 （ソフト＋ハード） ◦測定データの重ね書き （MAX64回） ◦自動ステージとの連動機能標準組込 ◦カメラ連動ソフト組込 ◦エクセルシートへのデータ落とし込み機能 ◦合否判定機能組込 （波長1nm毎に判定基準設定可能） ◦膜厚測定機能追加 2軸ステージコントローラ GSC-02 ＋ ジョイスティックターミナル SJT-02 Ⅰ092、 Ⅰ097 B027
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