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1000シリーズ - エフコン株式会社

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エフコン株式会社
製品紹介資料
エフコン株式会社
H27.3.3 Ver.3
0
製品ラインナップ
■アナログMFC
1000シリーズ
■アクセサリ:制御電源
PA01/PA01Pシリーズ
■アクセサリ:電源ケーブル
SC-**(長さで型番決定)
各製品のカタログは、弊社HPの製品詳細ページよりダウンロードできます。
エフコン株式会社
1
1000シリーズ│外観図
アナログMFC 1000シリーズ
現状5SLMまで対応、50SLMモデル開発中(今年中旬ごろ完成予定)
エフコン株式会社
1000シリーズ
1000シリーズ
5SLMモデル
50SLMモデル(開発中)
2
1000シリーズ│外形寸法図
1000シリーズ
5SLMモデル
エフコン株式会社
3
1000シリーズ│製品仕様
型式
C1000 / M1000
流量レンジ
10SCCM~5SLM
バルブ型式
サーマルバルブ
流量制御範囲
5~100% F.S.
使用可能温度
5~50℃ 85%RH 以下
応答性
6sec
流量精度
±2% F.S.(精度保証範囲 15~35℃)
再現性
±0.2% F.S.
動作圧力範囲
50~300kPa
耐圧
1MPa(G)
外部リークレート
1×10-7Pa・m3/sec (He) 以下
接ガス部材質
SUS316、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質
フッ素ゴム
駆動電源
+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
通信方式
アナログ 0~5VDC(D-Sub9Pin コネクタ)
標準継手
1/4in.SWL, 1/4in.V-lok, 1/4in.F900, 1/4in.UJR,その他も対応可
エフコン株式会社
※今年中旬頃50SLMモデル完成予定
N/O:ノーマルオープン
4
ターゲット層・セールスポイント
【ターゲット層】
 大学・研究機関・一般産業など、産業や分野を問わず、
高精度で安定した流量計測制御を行いたいお客様。
【セールスポイント】
 他社のローコストモデルよりさらに、低価格を実現。
【他社MFCからの置き換え対応】
 コネクター形状に応じて、信号ケーブルや変換ケーブル等を自社
で制作し、置き換えに対応。
表:他社ローコストMFCとの価格比較
エフコン株式会社
会社名
弊社
他社
各社製品名
1000シリーズ
ローコストモデル
参考標準価格
(税抜)
¥69,000
¥98,500~
¥11,000
5
1000シリーズ│流量精度 参考値
参考値:±0.5% F.S.
■測定方法
0.3
0.2
0.1
0
40
60
-0.2
40
60
80
100
80
100
Sample4(10->100)
Sample4(10->100)
0.3
0.2
0.1
0
-0.1
10
20
40
60
80
100
-0.2
-0.3
-0.4
-0.4
SET POINT(%F.S)
流量精度 Sample4(N2,5slm)
0.4
-0.3
エフコン株式会社
20
SET POINT(%F.S)
0.5
0.2
-0.5
10
-0.5
ERROR(%F.S)
0.3
ERROR(%F.S)
-0.1
-0.4
Sample3(100->10)
Sample3(10->100)
0.4
20
0
-0.3
流量精度 Sample3(N2,1slm)
10
0.1
-0.2
流量域ごとにサンプルMFCを用意し、
100% F.S.>10%F.S.>100% F.S. の順で
上下各六点のデータを取得。
-0.1
Sample2(100->10)
Sample2(10->100)
0.4
ERROR(%F.S)
→ ローコスト志向のため、
精度保証範囲を広くとり±2%F.S. 表記
(工数の短縮→コストの削減)
0.5
流量精度 Sample2(N2,100sccm)
0.5
-0.5
SET POINT(%F.S)
6
1000シリーズ│繰り返し性 参考値
参考値:±0.2% F.S.
■測定方法
圧力50kPa, 300kPaの測定点において、
100% F.S.>10%F.S.>100% F.S. の順で
上下各六点のデータを取得。
繰り返し性 Sample5(N2,2SLM, 300kPa)
0.2
0.15
0.15
0.1
0.1
0.05
0
-0.05
100
80
60
40
20
10
-0.1
50kPa (100>10)
-0.15
50kPa (10>100)
-0.2
エフコン株式会社
SET POINT[% F.S.]
ERROR [% F.S.]
ERROR [% F.S.]
繰り返し性 Sample5(N2,2SLM) 50kPa
0.2
0.05
0
-0.05
10
20
40
60
100
300kPa (100>10)
-0.1
300kPa (10>100)
-0.15
-0.2
80
SET POINT[% F.S.]
7
1000シリーズ│フローサージ抑制機能
フローサージ抑制機能
スタート時30秒のインターバル時間を設けることで、
フローサージを抑制しています。
弊社MFC
他社MFC
1秒
上流側バルブオープン
0%-100% スタート時
エフコン株式会社
上流側バルブオープン
0%-100% スタート時
0%-100% スタート時
8
1000シリーズ│フローサージ抑制機能
弊社MFC
上流側バルブオープン
0%-50% スタート時
上流側バルブオープン
エフコン株式会社
0%-80% スタート時
他社MFC
上流側バルブオープン
0%-50% スタート時
上流側バルブオープン
0%-80% スタート時
9
PA01/PA01P│外観図
制御電源 PA01/PA01Pシリーズ
据置型とパネルマウント型の2種類を用意
※信号ケーブル別売(当社販売品)
エフコン株式会社
PA01
PA01P
据置型
パネルマウント型
10
PA01/PA01P│外形寸法図
エフコン株式会社
PA01
PA01
据置型
パネルマウント型
11
PA01/PA01P│製品仕様
型式
PA01(据置型)
PA01P(パネルマウント型)
入力電源
AC100V
電源出力
設定信号:0~5VDC
+15VDC:300mA, -15VDC:200mA
流量設定
0.25~5VDC(10回転ポテンションメーターにて可変)
流量出力
0~5VDC(背面端子にて出力可)
流量設定/出力表示
0.0~100.0%
表示切替(設定/出力)
トグルスイッチ
信号ケーブル用コネクタ
D-sub9Pin コネクタ(電源側メス)
使用環境
温度:5~50℃
湿度:30~80%(結露なきこと)
出力端子(設定/出力)
0~5VDC(表示切替トグルスイッチに連動)
エフコン株式会社
12
製品ラインナップ(応用製品)
■電源一体型MFC
CUBEMFC1005シリーズ
■ガス混合器
CUBEMFC1005シリーズ
各製品のカタログは、弊社HPの製品詳細ページよりダウンロードできます。
エフコン株式会社
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CUBEMFC1005(応用製品)
制御電源一体型MFC CUBEMFC1005シリーズ
•
•
•
•
AC100V コンセントに接続するだけで計測制御が可能
流量設定/出力表示のみのシンプル設計
コンパクトサイズ:H150×D90×W127mm(1/4SWL)※突起部を含まず
入出力:アナログ(0~5VDC)背面に設定/出力電圧モニター用端子を装備
エフコン株式会社
14
CUBEMFC1005(応用製品)
エフコン株式会社
15
CUBEGM(応用製品)
ガス混合器 CUBEGMシリーズ
•
•
•
•
ユニットタイプの低価格ガス混合器
MFC・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワン
2~4種類の各ガスを流量制御し、混合ガスを供給
標準流量制御範囲:各ガス 10SCCM~50SLM(N2 換算)
エフコン株式会社
16
保証及びアフターサービスについて
製品保証について
1. 保証期間
通常のご使用において万一故障した場合は、
弊社出荷後1年以内で下記4.項以外の故障品について無償で修理を致します。
2. 保証範囲は本体に限定し、本体故障によって生じた損害の賠償は行いません。
3. 交換部品の保証
交換後90日あるいは、1.項保証期間までのどちらか長い期間とします。
4. 免責事項
①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
火災・天災等の災害など不可抗力によって生じた故障
取り扱いを誤ったため生じた故障
不適切な環境で使用あるいは保管された場合
本体の分解や改造を加えられたりした場合
定格仕様の範囲を超えて使用された場合
弊社製品1000シリーズ以外で使用された場合
その他、弊社の責任外と判断された場合。
故障時の対応について
基本的に修理対応はしますが、新規購入をお薦め致します。
(低価格品であり、多くの場合、修理費≧新規購入価格となる為)
エフコン株式会社
17
H27.2.16時点
•
•
•
•
•
•
納入実績
(株)坂本技研 様
パナソニック(株) 様
高知工科大学 様
九州大学 様
(株)グリーンテック 様
その他、国内企業数社
主に大学・研究機関様からお引き合いを頂いております。
エフコン株式会社
18
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