超高分解能 波面センサ 400nm∼1100nm
SID4 HRは、Phasics社独自開発の技術
(4wave Lateral Shearing Interferometry)
を搭載した超高分解能波面センサです。
400nm∼1100nmと可視波長帯を少し広く
した動作領域とした波面センサとなっていま
す。
非常に小さなボディで300×400測定ポイン
トのパフォーマンスを持ち、特にレンズ、非
球面レンズなどのオプティクス類や、サブ
アッセンブルモジュール等の光学的特性、表
面の検査、粗さなどの測定にご使用になれま
す。
■ 特長
■ 仕様
動作波長レンジ
400 ∼1100nm
● 高分解能（400×300）
アパーチャサイズ
8.9 × 11.8mm²
● 広い口径（8.9×11.8mm）
空間分解能
29.6µm
● 高いダイナミックレンジ
フェーズ/
強度サンプリング
300 × 400
● 高速測定
● マルチデバイスインターフェース
分解能（Phase）
< 2nm RMS
● 優れたSN比
精度
15nm RMS
● 優れた光学特性
ダイナミックレンジ
> 500µm
曲率半径
4mm ∼ +∞ (※)
曲率分解能
< 5 × 10-4 m-1
最大NA
0.5 (※)
データ取得レート
> 30fps
リアルタイム
プロセス周波数
3fps（full Resolution）
サイズ
54 × 46 × 79mm
重量
250g
※オプションソフトウェアが必要
PHASICS S.A.

SID4 UV HR