波面センサ 190nm∼400nm
SID4 UV-HRは、Phasics社独自開発の技術
(4wave Lateral Shearing Interferometry）
を搭載した高分解能波面センサです。
190nm∼400nmと広くUV領域を動作領域
とした非常にユニークな波面センサとなってい
ます。
250×250測定ポイントで、深紫外で使用さ
れるリソグラフィ用途のオプティクス類や、そ
れらを目的としたサブアッセンブルモジュール
等の光学的特性、表面の検査などにご使用にな
れます。
■ 特長
■ 仕様
動作波長レンジ
190 ∼ 400nm
● 高分解能（250×250）
アパーチャサイズ
8.0 × 8.0mm²
● 広い口径（8.0×8.0mm）
空間分解能
32µm
● UV波長域をカバー
サンプリング
250 × 250
● 高感度（0.5nm）
精度（absolute)
10nm
● 優れたSN比
感度
0.5nm
● 優れた光学特性
ダイナミックレンジ
> 200µm
曲率半径
10mm ∼ +∞
曲率測定感度
< 5 × 10-4 m-1
解析レート
1fps
データ取得レート
30fps
サイズ
95 × 105 × 84mm
重量
900g
PHASICS S.A.

SID4 HR