Lam Research at a glance Innovative Technology Trusted Productivity Fast Solutions lamresearch.com 概要ラムリサーチは全世界の半導体産業にウエハー加工装置とサービスを提供するトップ企業であり、お客様がより微細な、高速な、そして電力効率の良い電子デバイスを作れるように革新的なソリューションを開発しています。そして私たちの日々の暮らしの中へのテクノロジーの普及に努めています。半導体メーカーは、携帯電話、コンピュータ機器、そしてエンターテイメント機器で使用する小さくて複雑なチップを生産しますが、そのために非常に洗練されたプロセスと製造装置が必要となります。そして半導体メーカーが作る、砂の1000分の1より小さいデバイス製造のために、ラムリサーチの装置は大きな役割を果たしているのです。実際に今日では、ほとんどすべての最先端のICの製造過程でラムリサーチの装置は使用されています。ラムリサーチは、薄膜デポジション、プラズマエッチ、フォトレジストリップ、そしてウエハー洗浄装置の市場のトップ企業として、前工程およびアドバンス・パッケージ・アプリケーションで幅広い製品群を提供しています。また、包括的なカスタマーサポートはシステムのライフサイクルに至る間ずっと価値をお届けいたします。それは装置の立ち上げ、生産量増加対応、新技術のアップグレードなどを通じての資産管理終了までとなります。協業、継続的なイノベーション、そしてその確約を通して、ラムリサーチは原子スケールでの技術をお届けし、お客様の未来の技術形成を可能にしていきます。製品紹介 Deposition Dielectric & hardmask films: VECTOR® PECVD/ALD family, SPEED® gapfill HDP-CVD family Metal films: SABRE® ECD family, ALTUS® tungsten ALD/CVD family Film treatment: SOLA® UV thermal processing family Etch Conductor etch: 2300® Kiyo® family, 2300® Versys® Metal family Dielectric etch: 2300® Flex™ family Through-silicon via etch: 2300® Syndion® family MEMS & deep silicon etch: TCP® 9400DSiE™ family Strip Standalone strip: GxT®, G400®, G3D® Integrated strip: Strip45™, Microwave Stripper Clean Spin wet clean: DV-Prime®, Da Vinci®, SP Series Plasma bevel clean: 2300® Coronus® family Support Service, spares, upgrades, technical training Reliant™ Systems – refurbished and newly built legacy products Key Facts Headquarters Contact Information 設立 : 1980 Lam Research Corporation 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 (510) 572-0200 (800) 526-7678 [email protected] 売上 : ~$4 Billion USD in 2013 従業員 : ~6,500 拠点 : 16 か国 NASDAQ Symbol: LRCX [email protected] [email protected] [email protected] The Lam Research logo, Lam Research, and all product names listed herein are either registered trademarks or trademarks of Lam Research Corporation or its subsidiaries. © 2014 Lam Research Corporation. All rights reserved. 201403-01204A