2015年度 ご予算申請用カタログ 試料作製装置 ■精密切断機 ■研磨装置 ■断面研磨装置 ■ＣＰ，イオンミリング装置 真空装置 ■スパッタリング装置 ■蒸着装置 ■ヘリウムリークディテクター ■四重極質量分析 ■ガス分析装置 光学顕微鏡 ■光学顕微鏡 ■実体顕微鏡、マクロズームスコープ ■デジタルマイクロスコープ 電子顕微鏡 ■卓上走査電子顕微鏡 ■走査型電子顕微鏡 表面形状計測装置 ■レーザー顕微鏡 ■干渉顕微鏡 ■微細形状測定機 ■原子間力顕微鏡ＡＦＭ 分析・試験装置 ■蛍光X線分析装置 ■質量分析装置 ■Ｘ線ＣＴ検査システム ■硬度計 周辺機器ほか ■マイクロマニピュレータシステム ■純水装置 ■クリーンユニット ■高速度カメラ ■光学定盤、除振台 ■加熱冷却ステージ 光学・測定・画像機器総合商社 本社営業部 産業機器部 [email protected] 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ TEL 03（5665）0515 FAX 03（5665）0520 営業所 筑波・横浜・静岡・名古屋・大阪 ご予算申請カタログ 試料作製装置 精密切断機 メカトームシリーズ T210 ¥3,380,000 T180 ¥1,570,000 高機能自動研磨装置 メカテックシリーズ ￥1,780,000～ 最大試料サイズ T210 : φ55mm T180 : φ30mm ■ ダッチパネル操作で自動及び手動切断 ■ プログラムをメモリでき、一台で多様試料に対応した自動精密切断です。 アキュラ 精密切断機 プレシソーシリーズ ■ 個別荷重、全耐荷重、どちらも対応可能なヘッドを選択できます ■ダイヤモンドサスペンション用自動供給機内臓 ■ 研磨盤サイズ φ250mm、φ300mm 手動研磨機 プラトシリーズ F ¥570,000～ FR ¥720,000～ FRD ¥990,000～ CL50 ¥1,500,000 CL40 ¥760,000 ■試料のゆがみの発生を最小にとどめて切断しますのでデリケートな サンプルに有効です。 ■最大試料サイズ φ50mm（CL50),φ40mm（CL40) 精密試料作製システム IS-POLISHER ￥3,000,000～ ■角度補正、荷重コントロール、スイ ング機能などを搭載し難しい試料の 研磨や平面を出す必要のあるものに 最適 ■研磨条件を数値で設定できノウハ ウの蓄積が可能 ■研磨しながら顕微鏡で加工状態が 観察できます。 ターゲット断面試料作製装置 Leica EM TXP ￥6,700,000～ 微小領域のターゲットサンプリング が短時間で簡単に行えます ■微小ターゲットの正確な配置と調製 ■高性能実体顕微鏡による観察 ■多機能、セミ・オート機械式システム による処理 ■断面の鏡面研磨工程は、自動制御に より行うことが可能 ■ 単式のF、二連式のFR、モーターを 2 個搭載した研磨盤が独立駆動 するFRD の3 タイプを用意 ■ 研磨盤の回転方向は反時計方向と時計方向に切り換えできます。 ■ FM タイプは試料ホルダーを付けた手研磨もできます。 クロスセクションポリッシャー（CP） ￥8,500,000～ ￥9,800,000～ （モニタリングカメラ付） ■新開発イオンソース搭載により高速加工を実現 ■仕上げ加工&間欠モードにより試料ダメージを軽減 ■クイックスタート機能により時間短縮 ■帯電防止コーティング機能 (オプション) トリプルイオンミリング装置 Leica EM TIC 3X ￥12,000,000～ ■最大50x50x10mmまでの試 料が固定できます ■加工状態は顕微鏡または CCDカメラで観察できます 3本のイオンビーム（個別に制御可能）に加え、冷却ステージ、マ ルチサンプルステージなど新機能を搭載。試料を高速かつ広く深 くミリングを行い、高品質な断面を作製します。 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 真空装置 スパッタリング装置 ＥＢ１０００ ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ無 ￥21,000,000～ ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ付 ￥24,000,000～ 研究開発用に最適なスパッタリング装置 特長 φ２”小型カソード３基搭載、排気操作の自動化を標準装備したコンパクト設計 ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ、基板高温加熱、３元同時スパッタリング等のオプションを用意 蒸着装置 ＥＢ１９００ ヘリウムリークディテクタ HELENｼﾘｰｽﾞ ￥21,000,000～ ｺﾝﾊﾟｸﾄ ターボ分子ポンプ排気系を標準 装備した高真空排気システムに、 Ｅ型電子銃や抵抗加熱蒸発源を 搭載可能な研究開発に最適な蒸 着装置です。 特長 ■全面扉式を採用し、基盤交換、蒸着試料交換が容易 ■ターボ分子ポンプ、ドライポンプの組み合わせでドラ イ化が可能（オプション） ■各種電子銃、抵抗加熱などの蒸発源、膜厚モニタ蒸 着制御器の組み合わせで幅広い仕様に対応 四重極型質量分析計 ﾊｲﾊﾟﾜｰ ¥2,800,000 ﾊｲﾊﾟﾜｰﾄﾞﾗｲ ¥3,400,000 ｽﾆﾌｧｰ ¥2,580,000 HELENｼﾘｰｽﾞは、小型、軽量、可搬性、使いやすさをコンセ プトに開発したポータブル型ヘリウムリークディテクタです。 用途に合わせたモデルをラインアップして、真空装置の検査 や各種配管部品、バルブ、各種容器・パッケージなどの漏れ 試験などに幅広い業界でご使用いただいております。 ガス分析装置 測定質量数 測定質量数 増倍管 1~70 ¥2,300,000 無 ¥860,000 1~70 ¥2,440,000 1~100 無 ¥1,200,000 1~100 ¥3,700,000 1~100 有 ¥1,600,000 1~200 1~200 有 ¥1,800,000 1~400 有 ¥3,450,000 ¥4,500,000 Cシリーズ シンプル＆コンパクトでありながら、あらかじめ設定されたオプショ ンを必要に応じて、選択・取り付けによって各種用途に対応可能な 新しいコンセプトのガス分析装置です。 ￥6,000,000～ 各種真空装置の残留ガスモニタから各種ガス分析用途まで カバーする高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御 専用の四重極型質量分析計のシリーズです。 Dシリーズ ご用途に合わせ最適なシステムを設計し、目的の測定 を実現するシステムです。各種真空装置のプロセスモ ニタから、管球やパッケージの破壊分析、発生ガス分 析など長年にわたる豊富な実績を誇るガス分析システ ムです。 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 光学顕微鏡 工業用顕微鏡 ECLIPSEｼﾘｰｽﾞ 顕微鏡デジタルカメラ DSｼﾘｰｽﾞ 「ECLIPSE LVシリーズ」が、新しい光学系と新機能 を得てさらに進化 ■電動タイプ／手動タイプを 用途に応じてお選びいただけ ます ■反射型の明視野／暗視野 ／微分干渉／蛍光／偏光／ 二光束干渉観察が可能なの に加えて、透過型の微分干渉 ／暗視野／偏光／位相差観 察にも対応しています。 電動顕微鏡システム AxioImagerｼﾘｰｽﾞ 高いコントラストと分解能を可能にしたカールツァ イス社製ハイグレード光学顕微鏡システム ■波長の短い散乱光を捉える暗視野観察 ■サンプル上の構造の向きに依存せず、微細な構造を表現する C-DIC（円偏光微分干渉）を採用 ■画像解析システムや共焦点レーザー顕微鏡システムへのアッ プグレード可能なアプリケーションを用意 LV150N 反射 ¥1,300,000~ AxioImager.A2m 手動ﾀｲﾌﾟ ¥2,500,000~ LV100DN 反射･透過 AxioImager.M2m 電動ﾀｲﾌﾟ ¥3,500,000~ ¥1,650,000~ ﾃﾞｼﾞﾀﾙｶﾒﾗ DS-Fi2-L3(PCﾚｽ） ¥600,000~ ﾃﾞｼﾞﾀﾙｶﾒﾗｼｽﾃﾑ AxioCamｼﾘｰｽﾞ ¥1,500,000~ 高精細ﾃﾞｼﾞﾀﾙｶﾒﾗ DS-Ri2 共焦点ﾚｰｻﾞｰ顕微鏡ｼｽﾃﾑ ¥1,380,000~ システム実体顕微鏡 Mシリーズ 忠実な色再現性と高解像力・高ｺﾝﾄﾗｽﾄの立体像 を得ることができる信頼性の高い光学ｼｽﾃﾑ 観察倍率や開口絞りの値は顕微鏡 システムに記録。専用ソフトウェアと 組み合わせて、PCから観察倍率な どの情報を読み取り計測が簡便に できます。 M205C ｽﾞｰﾑ比20.5 7.8~160x ¥1,300,000~ M165C ｽﾞｰﾑ比16.5 7.3~120x ﾃﾞｼﾞﾀﾙｶﾒﾗ DFCｼﾘｰｽﾞ ¥1,000,000~ ¥1,000,000~ マクロスコープ Ｚシリーズ ■業界最大クラスのワイドズーム ■１００％アポクロマートの光学系 ■多様なニーズに 対応 Z16APO 7.1~115x ¥1,300,000~ Z6APO 7.1~45x ¥1,000,000~ ¥15,000,000~ デジタルマイクロスコープ 観察・計測・撮影などのオペレー ションをより正確に思いのまま操 作できます。また、平面観察では 高低差が大きい被写体でも全焦 点ピントを合わせた立体観察する ことで被写体のディテールまでも 表現することができます。 KH-8700 ｵｰﾙｲﾝﾜﾝﾓﾃﾞﾙ KH-1300 ｽﾀﾝﾀﾞｰﾄﾞﾓﾃﾞﾙ ¥5,500,000~ ¥3,000,000~ デジタル顕微鏡システム DMS100/DMS300 ■8倍の光学ｽﾞｰﾑを搭載 ■PCレスで画面を見ながら快適操作 ■ｵｰﾄｽｹｰﾙで計測も可能 （DSM1000のみ） DMS1000 500万画素 ¥1,000,000~ DMS300 250万画素 ¥600,000~ 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 電子顕微鏡 卓上走査型電子顕微鏡 ¥5,800,000~ ¥12,500,000~ （EDS付） 倍 率 ： x10～x60,000 観 察 ： 二次電子像、反射電子像 加速電圧 ： 5kV,10kV,15kV（三段切り替え） 試料サイズ ： 70mmφxH50 ■より直感的な走査を操作を実現 わかりやすい操作画面に加え、タッチパネル操作でさらに直感的に ■クイックレスポンス 迅速な装置の立ち上がり 高真空／低真空モードの切り替えもワンタッチ ■Easyメンテナンス 電子銃フィラメントはウェーネルト 一体型で交換も簡単 オートガンアライメント機能付 ■豊富な機能 高真空／低真空モードの切り替えが可能 傾斜回転モーター駆動ホルダー（オプション） 使用で様々な角度から試料を観察 走査型電子顕微鏡 JSM-6010PLUS オールインワンパッケージﾞの本格的な分析走査電子顕微鏡です。 二次電子／反射電子・高真空／低真空・EDS(LAのみ）)が標準装備 さらにナビゲーション機能（オプション）により今どこを見ているか瞬時に 確認が可能 タッチパネル操作で１００V（１５A）があれば設置が可能です。 LV（低真空） ¥9,000,000～ LA (EDS付） ¥18,000,000～ 最大分解能 ： 4nm（高真空ﾓｰﾄﾞ,20kV時） 倍 率 ： x5～x300,000 観 察 ： 二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像 加速電圧 ： 0.5kV～20kV 試料サイズ ： 150mmφxH50 EDS ： Ｂ～Ｕ＜オプション＞ 走査電子顕微鏡 JSM-IT300 シリーズ ￥15,000,000～ JSM-IT３００シリーズは従来の電子顕微鏡のデザインから大きくイメージチェ ンジした最新鋭の走査電子顕微鏡です。新設計の電子光学系により画質 を向上、また定評のあるタッチパネル操作系もさらに操作性を向上させまし た。高速・高精度モータ駆動ステージと高速真空排気システムハイスルー プットを実現。試料室も新設計のマルチパーパスチャンバーを搭載し、多数 のポートを利用して様々なアタッチメントを最適な配置で装備でき、拡張性 にも優れます。 IT300 分解能 加速電圧 倍率 高真空 低真空 - IT300LV IT300A IT300LA 3.0nm 4.0nm 4.0nm 0.3～30kV x5～x300,000 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 表面形状計測装置 レーザーマイクロスコープ OPTELICS®HYBRID ￥15,000,000～ 405nmレーザーとカラーコンフォーカル光学系の融合 それぞれの長所を1台に集約 ■高分解能：405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超 微細構造も鮮明に可視化 ■広視野観察：一般的なレーザー顕微鏡に比べて約1.6倍の広視 野観察による作業効率の向上 ■ナノオーダー測定：光干渉測定、反射分光膜厚測定、AFMによる ナノレベル構造の測定（AFMはオプション） ■波長選択：6波長からサンプルに最適な波長を選択し、様々なニ ーズに対応した観察・測定を実現 ■高精細カラー観察：カラーコンフォーカルの特長である焦点深度 の深い高精細カラー画像の取得 微細形状測定機 ETシリーズ ET200 ¥5,000,000～ 最大試料サイズ ：160mmφx48mmH 再現性 ： 1σ 1nm以内 測定範囲 ： Z600μm X100mm 分解能 ： Z0.1nm X0.1μm 測定力 ： 10μN～500μN 二次元表面粗さ解析及び段差測定に最適で、高精度・ 高分解能・優れた安定性を実現、また、微少測定力で 軟質試料面にも対応しています。 白色干渉顕微鏡システム BW-S500シリーズ／BW-D500シリーズ ￥12,000,000～ 非接触計測による0.1nm級表面形状評価を実現 低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測可能 ■卓抜な計測性能 0.1nm級の超平滑面を、平均化処理やフィルタ処理なしで計測することが可能 低倍率から高倍率まで、同じ高さ分解能で計測することが可能 超平滑面から粗面まで、単一のモードで、光学フィルタなどの交換なしで計測 することが可能 高さ計測と同時に、1走査で全焦点画像を取得することが可能 ■多彩な観察機能 光学顕微鏡として使用することも可能で、高さ計測対象領域において、明暗 視野観察、偏光観察、微分干渉観察、蛍光観察などを行うことが可能 原子間力顕微鏡 AFM Park NX10 ￥18,000,000～ サンプルセッティングから完全な走査イメージング、 測定と分析まで各過程においてシームレスに行うこ とができます。 スキャン範囲（XY) ： 50μmｘ50μm (Z) ： 15μm 分解能 (XY) ： 0.05nm (Z) ： 0.015nm 最大試料サイズ ： 50x50x20（mm) ET4000 ¥10,000,000～ 最大試料サイズ ： 300mmx400mm 再現性 ： 1σ 0.5nm以内 測定範囲 ： Z100μm X100mm 分解能 ： Z0.1nm X0.01μm 測定力 ： 0.5μN～500μN 精度・安定性・機能性抜群で、FPD基板・ウエハー・ハード ディスク等の微細形状、段差、粗さ測定に最適な全自動 微細形状測定機です。また、多機種の中から用途に合わ せて選択できます。 ■電気特性モード及び他の試料の特性評価 走査モードおよびNXシリーズのモジュール設計の広い範囲は、簡単に走査 型プローブ顕微鏡プロジェクトのニーズに合わせて調整することができます。 摩擦力、電気力、磁気特性、電気特性、力計測、機械特性、光学特性etc ■多彩なオプション 温度制御、液中ﾌﾟﾛｰﾌﾞﾊﾝﾄﾞ、磁界発生、液中ｾﾙ、ｸﾘｯﾌﾟ式ﾁｯﾌﾟｷｬﾘｱ 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 分析・試験装置 ｴﾈﾙｷﾞｰ分散形蛍光Ｘ線分析装置 JSX-1000S 卓上型 ＧＣ／ＱＭＳ ＪＳＭ－Ｑ１５００ＧＣ ￥9,800,000～ タッチパネルを採用した、簡単かつ迅速に元素分析が 行える蛍光Ｘ線分析装置 一般的な定性定量分析（FP法・検量線法）や、RoHS元素の スクリーニング機能を備えています。 ハードウェア・ソフトウェア両面の各種オプションにより、さら に幅広い分析が可能です。 試料室排気ユニット（オプション）を装着することにより軽元 素の検出感度が向上します。 検出元素範囲 Mg～U 、Na～U（オプション） X線発生装置 5～50kV コリメータ 0.9mm,2mm,9mm 試料サイズ 300mmφx80mmH ＣＴ検査システム ＸＴ Ｈ １６０ ￥40,000,000～ X線で取得した画像データを元に、CT機能で被検物 の寸法を定性、定量化 ￥8,500,000～ 高機能ｐｂ－ＳＩＭによる高感度測定 ■ヘッドスペースシステム トラップモードで高感度化を実現。極低濃度測定に最適です。 ■スニフィングシステム オリジナルソフトでにおい成分の定性分析が可能に ■マルチショットパイロライザー熱分析総合分析システム 室温～1050℃までの急速昇温。目的にあわせて分析法の選択 ができます ■ＴＧ熱重量分析システム 専用トランスファーラインを開発。350℃まで加熱可能。室温～ 1500℃（最大）まで 硬さ試験機 自動硬さ試験ｼｽﾃﾑ AMT/AVT ¥5,000,000~ 自動計測装置装置 PMT/PVT ¥3,000,000~ ■ニーズに合わせて様々 な段階にシステムアップ ■オートフォーカス＆自 動読み取りオプション ■お使いの硬さ試験機を 有効活用 ﾏｲｸﾛﾋﾞｯｶｰｽ試験機 MMT-T ¥1,500,000~ ﾋﾞｯｶｰｽ硬さ試験機 VMT-X ¥1,800,000~ 内部部品や組立部品形体の詳細な取り込 みや測定は、品質管理、故障解析、材料 研究などに欠かせません。XT H 160は、 高解像度のX線およびCT画像を提供。小 型鋳物、プラスチック部品、材料研究など 幅広い検査用途に最適です ■リアルタイムのX線視覚化、迅速なCT画像構築 ■完全にプログラム化可能な5軸制御部品マニピュレータ ■カスタマイズ可能なマクロ測定ワークフローを自動化 ﾛｯｸｳｪﾙ硬さ試験機 RMT ¥1,300,000~ 用途に合わせ様々な硬さ試験機を用意しております。 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０ ご予算申請カタログ 周辺機器ほか マイクロマニピュレーターシステム アクシスプロSS AxisPro ￥4,800,000～ 採取・切削・吸着・吸引・切断等各種… マイクロツールで様々な用途に対応可能 ラボ用純水・超純水システム PURELAB Option-R ¥700,000~ PURELAB flex3/flex4 ¥1,000,000~ PURELABｼﾘｰｽﾞは純水を 製造すると同時に、採水ポ イントにおいて絶えず水質を モニタリングします。このシ ステムは精製プロセスの効 率に優れ、稼動のコスト効 率を格段に高めます。非常 に使いやすい定量採水機能 付です ■対象サイズ ： １μm～ ■観察倍率 ： 50～2500x ■ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀｽﾄﾛｰｸ ： 20x20x29mm ■マウスマニピュレーション 高性能マイクロスコープ・高精度マイクロマニピュレータ ー各々を一貫したデザインで融合させた事により、シー ムレスな抜群の使い勝手を実現した、微小物サンプリン グ用マイクロマニピュレーターシステムです。 オープンクリーンユニット Option-R １ℓ／分 10MΩ･cm以上 ５０ℓ／日 水道直結 flex3 2ℓ／分 18MΩ･cm以上 １０ℓ／日 水道直結 flex4 2ℓ／分 18MΩ･cm以上 １０ℓ／日 内臓タンク 高速度カメラ・ハイスピードカメラ KOACH C 900-F ¥3,800,000~ 対向させた2つのプッシュフ ードから吹き出すクリーン化 された同一ベクトル集合流 を衝突させること(対向型気 流)で周囲の空気の誘引を 抑制し，ゾーン内の清浄度 を保つことができます。 KOACH T 500-F ¥2,000,000~ テーブル上を清浄化。 スイッチON で約2分後にはISOクラス1のスー パークリーンゾーンが出現 手軽に持ち運んで卓上に設置でき るコンパクトなサイズです。 光学定盤 FASTCAM Mini UX100 ¥4,600,000~ 100万画素5,000fps 最大800,000fps FASTCAM Mini UX50 ¥3,000,000~ 100万画素2,000fps 最大160,000fps ■1.5kgの軽量コンパクト設計 ■可変周波数同期に対応 ■バリアブルフレームレート解像度機能を搭載 ■最大16GBの画像記録メモリを搭載 動画解析ソフトウェア TEMA 画像の特徴点を追跡し、座標・速度・加速度を計測するソフトウェアです。 冷却加熱ステージ ￥1,000,000～ 光学実験用除振装置、ハニカム 定盤、石定盤など、一体型卓上 タイプ等、用途により様々なも のをラインナップしております。 アクティブ除振台 採取量 採取水質 使用目安 方式 ￥1,000,000～ 光学測定機、プローブ顕微鏡、形状 測定機などの精密測定では、微少 な振動も測定に影響します。 アクティブ除振台はナノオーダーの 測定にも耐えうる環境を提供します 10002 （室温～600℃） ¥2,500,000~ 10002L （-190～600℃） ¥3,000,000～ 10073A （延伸用 ~350℃） ¥4,800,000～ 光学顕微鏡、顕微ラマン、顕 微FTIR.レーザー顕微鏡等へ 取り付けることにより顕微鏡 下の試料を温度制御しながら 、その試料の冷却・加熱によ る変化（融解・転移・結晶化・ 軟化・膨張・分解・酸化etc）の 顕微鏡観察と高精度の測温 が行えます。 特約店/取扱店 株式会社 三 啓 産業機器 第３グループ 〒136-0075 東京都江東区新砂一丁目６－３５ ＴＥＬ：０３－５６６５－０５１５ ＦＡＸ：０３－５６６５－０５２０
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