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油回転真空ポンプ - 株式会社ユーアイ

アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<油回転真空ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
2002年製
備考
排気速度：150L/ｍ　吸気口：φ 28×φ 19
ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽなし）
RS12-1063
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PVD-180
ULVAC
1-73468
RS13-2195
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
D-650D
ULVAC
1-03054
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
ﾎﾟﾝﾌﾟ部分のみ（ﾓｰﾀｰ及びﾍﾞｰｽ無し）
RS13-1012
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
NB63A-52474
排気速度：500L/m　吸気口　KF40変換ﾎﾟｰﾄﾞ付き
排気口：VG-40　ｵｲﾙｲｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付き　未整備
☆
RS13-8116-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-01354
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8117-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-01713
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8118-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-02017
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8119-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-01749
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8120-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-01728
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8121-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-02016
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8122-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
VD-301
ULVAC
A63A-01357
排気速度：500L/m　吸気口：VG-40
排気口：VG-40
☆
RS13-8123-0A ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
EC-803
ULVAC
A22A-01694
排気速度：1340L/m　吸気口：VG-50
排気口：VG-40
RS10-2018
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-00854
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
油回収機構D付
RS10-2061
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-03120
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
RS10-2159
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
-
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
（2台、要無害化洗浄整備）
RS13-2013
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-05463
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
TCO装置のｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ。ITO付着
RS13-2016
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-03834
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
TCO装置のｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ。ITO付着
RS13-2017
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-03250
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
TCO装置のｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ。ITO付着
RS13-2020
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
VS-2401
ULVAC
A36A-04866
排気速度：4000L/m　吸気口：VG80　排気口：VG50
TCO装置のｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ。ITO付着
RS04-8052
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
2010C1
ｱﾙｶﾃﾙ
334781
無害化処理が必要
RS11-1250
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
DW-720
佐藤真空製
1108091
2011年製
排気速度：720L/min　到達圧力：6.7×10-2　Pa
吸気口径：VG-40A
新規購入後、一般空気を1day排気しただけのほぼ新古品
RS12-1441
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
SV-300
Leybold
NSS59
2010年製
未使用品。　排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、
電源：AC200V、重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)
RS12-1442
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
SV-300
Leybold
NSS58
2010年製
未使用品。　排気速度：240m3/h、到達圧力：８Pa、
電源：AC200V、重量：200ｋｇ、排気口：2"G(BPS)
<油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
品名
RS11-1259
RS09-1573
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
RS12-1067
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ【4個】
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
ｺﾝﾃﾞﾝｻｰﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
型式
TM-2
TMX-2
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
製造年
備考
ｼﾘｱﾙ無し
2009年製
PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全4台】
-
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
状態良好
1
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<油拡散ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS12-1247
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1248
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01965
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1249
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01508
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1250
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01507
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1251
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1252
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01509
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1253
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01338
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1254
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01333
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1255
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01580
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1256
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01504
2000年製
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、
200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS13-2004
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
CDP-3700
ANELVA
1539
スパッタ装置SPC-530Hに使用。（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
<メカニカルブースターポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS10-2170
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-012CM
ULVAC
A17A-01174
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
大気駆動型　ﾌｫﾝﾌﾞﾘﾝ仕様（要無害化処理）
RS12-1443
RS09-1418
RS09-1419
RS10-2112
RS10-2114
RS10-2117
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-012CM
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
-
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　大気駆動型
A69A-01742
A69A-01732
A69A-01172
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
RS10-2118
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01173
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS10-2120
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01177
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS10-2121
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01171
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS10-2123
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01750
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS10-2126
RS10-2128
RS10-2616
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A69A-01748
A69A-01749
A69A-00815
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
RS11-3125
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01774
2004年製
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-3127
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01775
2004年製
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-3128
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A69A-01745
2004年製
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-3129
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A68A-01022
2004年製
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-3130
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
ULVAC
A68A-00960
2004年製
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　ｲﾝﾊﾞｰﾀ付
大気駆動型
RS11-8069
RS13-3083
RS13-3084
RS13-3085
RS13-3086
RS11-2064
RS11-2065
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012A
PRC-012AS
PRC-012AS
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A69A-02252
A69A-02711
A69A-02714
A69A-02718
A69A-02723
RS12-1430
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-024CM
ULVAC
A19A-00535
RS12-1223
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
EH500
EDWARDS
006700640
備考
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　美品
排気速度：16700L/m　吸気口VG100　美品
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
2
排気速度：33300L/m　吸気口VG200　未整備
ﾓｰﾀｰ380V
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<クライオポンプ　ULVAC製>
中古品番号
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS13-8112-0A
RS13-8115-0A
RS13-3058
RS13-3059
RS13-3061
RS13-3062
RS13-3063
RS13-3064
RS13-3065
RS13-3066
RS13-3067
RS13-3068
RS13-3069
RS13-3070
RS13-3071
RS13-3072
RS13-3073
RS13-3074
RS13-3075
RS13-3076
RS13-3077
RS13-3078
RS12-1172
RS12-1173
RS11-8089-0A
RS11-8135-0A
RS04-8067
RS07-2659
RS07-2682
RS08-2099
RS08-2699
RS09-1023
RS09-2785
RS11-2375
RS11-2519
RS11-2546
RS11-8001
RS13-8099-0A
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾌﾚｷﾎｰｽ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
C15R
C15V
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
C30VR
Ｃ30ＺＲ
Ｃ30ＺＲ
C30ZR
C30Z
10m×2本
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-6H
U-8H
U8H
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
DE1401
XC1312G
XC1313G
XC1315G
XC1316G
XC1317G
XC1319G
XC1320G
XC1326G
XC1329G
XC1331G
XC1332G
XC1333G
XC1334G
XC1335G
XC1336G
XC1337G
XC1338G
XC1339G
XC1344G
XC1359G
ＣＳ1243
ＣＳ1237
CS1013
97-008(CJ1033)
0512140D
0101098D
排気速度：1700L/S　吸気口：ICF253　温度計：MBS
RS04-8001
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-8H-U
ULVAC
703506
排気速度：1700L/S　吸気口：VG200
温度計：H2VP　無害化洗浄必要
RS04-8062
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-8H-U
ULVAC
9012074
RS10-8057
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
ULVAC
9803129
RS07-2727
RS09-1005
RS13-8100-0A
RS13-3035
RS13-3036
RS13-3037
RS13-3038
RS13-3039
RS13-3040
RS13-3041
RS13-3042
RS13-3043
RS13-3044
RS13-3045
RS13-3046
RS13-3047
RS13-3048
RS13-3049
RS13-3050
RS13-3051
RS13-3052
RS13-3053
RS13-3054
RS13-3055
RS13-3056
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PUS
U-10PUS
U10PUS
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
排気速度：1700L/S　吸気口：VG200　温度計：H2VP
MBS付、空きﾎﾟｰﾄに電磁弁+VLP-U１S付、
空きﾎﾟｰﾄに大気確認器付。
排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP
0101221
0609014
0609015
0609017
0609018
0609019
0809025
0609026
0609027
0609028
0609029
0609030
0609031
0609032
0609033
0609034
0609036
0609040
0609041
0609019
0811539
0811540
0811542
RS08-2698
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
RS10-2231
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
RS07-3001
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-22H
ULVAC
排気速度：17000L/S　吸気口：VG550
ﾌﾚｷﾎｰｽ2本のみ付属　MBS付き
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
U-22H
U-26H
STC-1（INV)
MBD
MBD
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
排気速度：17000L/S　吸気口：VG550　本体のみ
RS07-3002
RS11-2502
RS11-8035
RS13-8104-0A
RS13-8105-0A
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
付属品：電源、冷凍機ｹｰﾌﾞﾙ・ﾘﾓｰﾄ入出力ｺﾈｸﾀ
0003095D
9612407D
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
排気速度：750L/S　吸気口：VG150　未使用品
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
9801623D
98046830
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
排気速度：750L/S　吸気口：VG150　急速再生仕様
LGﾓｰﾀｰ
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
U-6H用バンドヒータ　【2式】
付属品：ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式RBH-8）
排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　MBS付き　LGﾓｰﾀｰ
付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10)
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ
低振動ﾓｰﾀｰ
0007333/0009377
2003年製
排気速度：4100L/S　吸気口：UVG300　美品【2台】
排気速度：17000L/S　吸気口：VG550
S-0823A
00121836N
00121837N
3
2005年製
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<クライオポンプ　他社製>
中古品番号
RS11-2238
RS11-2237
RS11-2235
RS11-2236
RS11-2233
RS11-2231
RS11-2232
RS11-2230
RS11-2240
RS11-8108
RS11-8109
品名
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
型式
CRYO-T8C
ONBOAD　WATER　PUMP
ONBOAD10Ｆ
ONBOAD10Ｆ
ONBOAD8
Torr8F
Torr8F
Torr8F
NETWORK　K　TERMINAL
T8SN
T8SN
メーカー
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
HELIX
UCI
UCI
製造番号
製造年
S/N9912441
S/N：MK9709651
S/NK07686623
S/NQK9709711
S/NG10898859
S/N70Ｃ9529467
S/N70C9530128
S/N:70H9638328
S/N95H9703096
0706582
0103767
備考
付属品S/N:RFB220LG
UFC-253
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2149
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A ULVAC
1001F0081
RS13-2150
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A ULVAC
1001F0083
☆
RS13-2226-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FW/D3BULVAC
2300F 0359
2008年製
☆
RS13-2227-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FW/D3BULVAC
2300F 0360
2008年製
☆
RS13-2228-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FW/D3BULVAC
2300F　0370
2008年製
☆
RS13-2229-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FW/D3BULVAC
2300F　0368
2008年製
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
ｺﾝﾄﾛｰﾗ無し、ｹｰﾌﾞﾙ無し
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
RS13-2141
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0453
RS13-2142
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
RS13-2143
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0451
RS13-2144
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0450
RS13-2145
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
RS13-2146
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0428
RS13-2147
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
RS13-2148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
RS13-2022
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0206
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2023
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0205
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2024
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0222
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2025
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0219
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2026
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0220
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2027
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0221
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2028
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0207
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2021
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B ULVAC
2300F0148
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
4
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
RS13-2101
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD3B ULVAC
2300F0412
CVD非ガス雰囲気で使用。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、
電源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
RS13-2103
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD3B ULVAC
2300F0396
CVD非ガス雰囲気で使用。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、
電源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
RS13-2029
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3301FW/D1ZULVAC
3301F0201
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2030
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3301FW/D1ZULVAC
3301F0243
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS13-2032
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3301FW/D1ZULVAC
3301F0274
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6。
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-3301W)、ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
RS11-3036
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0282
コントローラ付属なし　ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3037
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0284
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付（故障中・
茅ヶ崎保管）コントローラ用電源ケーブル付(1m)
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3039
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0326
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3040
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0268
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3041
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0269
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0290
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
RS11-3044
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1AULVAC
3302H0289
RS11-3047
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3302FH/D1A ULVAC
3302H0272
☆
RS13-2221-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3303FH/D3AULVAC
3303H 0452
2008年製
☆
RS13-2222-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3303FH/D3AULVAC
3303H　0626
2008年製
☆
RS13-2223-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-3303FH/D3AULVAC
3303H　0701
2008年製
☆
RS13-8101-0A
RS13-2179
RS13-2224-0A
RS13-2225-0A
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM500
UTM-500FW
FTI-3301WーD3
FTI-3301WーD3
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
O5OPS20
050F016
3301F 0374
3301F 0373
2008年製
2008年製
RS11-2535
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM-1200FW
ULVAC
☆
☆
2004年製
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG350　付属品：　コントローラ：FTI-3302W付　コントロー
ラ用電源ケーブル付（1ｍ）
履歴　：　MgOインライン蒸着装置（ECH-150）で使用
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
ｺﾝﾄﾛｰﾗ無し、ｹｰﾌﾞﾙ無し
CVD使用品。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ付き、ｹｰﾌﾞﾙ無し
本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）
排気口：NW40
付属品：ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
付属品：ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
動作未確認。軸ｵｲﾙは入っていない。　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きフルセット
5
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ターボ分子ポンプ　他社製>
中古品番号
型式
メーカー
製造番号
製造年
STP-300
ｴﾄﾞﾜｰｽﾞ
1084A
RS13-2181
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG1810VM
大阪真空
G1810-1292
本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、
ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し
RS13-2186
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG200
大阪真空
G200-966
空冷式。　吸気口：VG100　排気口：NW25、
取扱説明書無し
コントローラ：ＴＣ－２００付き　ターボ／電源間ｹｰﾌﾞﾙ付き、電源ｹｰﾌﾞﾙ
切断、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断
CVD装置の予備ポンプ
RS09-1474
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-202LM
島津製作所
RS13-2182
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP280
島津製作所
406134
本体のみ、空冷式、吸気口：ICF152 排気口：NW25、
ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し
RS13-2183
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP280
島津製作所
222
本体のみ、空冷式、吸気口：ICF152
排気口：NW25、ｵｲﾙ・Cuｶﾞｽｹｯﾄ付き、取説無し
RS13-2184
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP280LC
島津製作所
6309
本体のみ、水冷式、吸気口：VG100　排気口：NW25、
ｵｲﾙ付き、取説無し
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ　TMP-403LM
TMP-403LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-1003LM
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
HZL026
FZL182
O-ring　本体のみ
TMP-2203-LM(O) 島津製作所
UZG035
RS13-8015-0A ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
MZM092
FZM214
MZM457
DZM031
NZM230
RS11-2253
RS11-2254
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TPU1501PC
TPU1501PC
PFEIFFER
PFEIFFER
S/N：13882198
S/N：14072840
RS13-2180
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
RS09-1199
RS09-1487
RS11-8131
RS11-8127
RS11-8128
RS11-8130
RS11-8132
RS13-2191
RS13-2193
RS11-2246
RS10-2660
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　TURBOVAC361C
EI-1003M
EI-202M
EI-303M
EI-303M
EI-303M
EI-D303M
TC200
TC200
TCP380
EI-D1303M
ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
大阪真空
大阪真空
PFEIFFER
島津製作所
AH60
FZR138
FZR118
FZR044
LKB254
A058678-47
A058678-58
S/N：7007900
1997年製
備考
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
RS08-8010
RS08-8011
RS09-1475
RS09-1477
RS10-8003
RS11-8094
RS11-8095
RS13-1011
RS10-8002-0A
RS11-8124
☆
品名
RS11-1202
※UTM-50　VULP-65付属
※良好
O-ring　本体のみ
2006年製
ICF
ICF　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（EI-1003M)S/N:ZGA109　ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ
ICF　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（EI-1003M)S/N:GZS160　ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　EI-R04M（S/N:URA458)、ｹｰﾌﾞﾙ（10ｍ）。
ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。
吸引ｶﾞｽ：Ar
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
本体のみ、水冷式、吸気口：VG150　排気口：NW25、
取扱説明書無し
コントローラ：TC-400付き。電源ｹｰﾌﾞﾙ切断、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断
CVD装置の予備ポンプ
ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し
ｺﾝﾄﾛｰﾗｰのみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、取扱説明書無し
本体のみ　M/N：PMC01490
【2台】
6
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ドライポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS11-1256
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ER-150
ULVAC
A96A-00016
排気速度 2500L/m　吸気口；NW50　排気口；NW40
RS12-1288
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00657
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
ｹｰﾌﾞﾙ切断／ｻｲﾚﾝｻ・ｺﾈｸﾀ付属　取扱説明書無し
RS13-2049
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2050
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00372
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2051
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00422
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2052
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2053
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00485
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2054
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2055
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2056
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2105
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00887
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
RS13-2106
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00924
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
RS13-2125
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6。
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
☆
RS13-2216-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-01068
2008年製
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
☆
RS13-2217-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-01067
2008年製
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
☆
RS13-2218-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00878
2008年製
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
☆
RS13-2219-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00886
2008年製
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
☆
RS13-2220-0A ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00908
2008年製
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品 非プロセス室に使用
RS13-2033
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2034
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2036
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
CK04-6031-2
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2041
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2042
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
RS13-2043
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2045
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2046
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2047
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2048
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
7
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
RS13-2037
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2038
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2039
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2040
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150
CVD使用品。使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2172
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
排気速度：28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2173
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
排気速度：　28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2133
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2135
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
CVD使用品。
付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS11-8146
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
ULVAC
-
排気速度 1800L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
本体のみ
RS08-8029
RS08-8030
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
A30W
EBARA
EBARA
C60132
C61435
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
RS12-1126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
CA0200
2000年製
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。
使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C70771
2000年製
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。
使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C80285
2000年製
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。
使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1130
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
CA0191
2000年製
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。
使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C40290
2000年製
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用。
使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1336
RS08-8032
ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑ
ﾀﾞｲｱﾌﾗﾑﾎﾟﾝﾌﾟ
DA-120D
DA-241S
ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 72315
ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 00153
RS12-1284
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
DVS-321
ｱﾙﾊﾞｯｸ機工 563532
RS11-2527
RS09-1478
RS09-1480
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
DVSL-500B
QDP80
QDP80
ｱﾈｽﾄ岩田
EBARA
EBARA
RS12-1134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RD90-1
樫山
02I0673
2002年製
排気速度：1300Ｌ/min　到達圧力：2.7Pa　吸気口：NW50
半導体、液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。
RS12-1139
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RD90-1
樫山
01B0410
2002年製
排気速度：1300Ｌ/min　到達圧力：2.7Pa　吸気口：NW50
半導体、液晶製造装置の軽負荷ﾌﾟﾛｾｽ排気用ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾊｰﾄﾞﾌﾟﾛｾｽ不向き。
RS12-1325
RS12-1326
RS12-1327
RS12-1328
RS12-1329
RS12-1330
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡ
SD60VⅡ
SD60VⅡ
SD60VⅡ
SD60VⅡ
SD60VⅡ
樫山
樫山
樫山
樫山
樫山
樫山
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
排気速度：240L/min　吸気口：Odφ 16×Idφ 12
排気速度：240L/min　吸気口：Odφ 16×Idφ 12
作動時間；12382.3hr
吸気口；KF25　排気口；KF16
ｹｰﾌﾞﾙ切断　取扱説明書無し
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
<排気セット>
中古品番号
RS11-1156
RS09-2124
品名
超高真空排気装置
排気ｾｯﾄ
型式
XYZｽﾃｰｼﾞ
DP40+EH250
メーカー
ULVAC
EDWARDS
製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
5274A/7270FF
8
製造年
備考
CR（解放）保管。
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<真空バルブ　ULVAC製>
中古品番号
RS07-2852
RS08-2050
RS12-1077
RS12-1078
RS09-8077-0A
RS09-8026-0A
RS09-8027-0A
RS11-2153
RS11-2154
RS11-2073
RS11-2074
RS11-2155
RS11-2156
RS12-1295
RS09-8028-0A
RS09-8029-0A
RS09-8030-0A
RS09-8032-0A
RS09-8033-0A
RS12-1274
RS09-8038-0A
RS09-8041-0A
RS09-8042-0A
RS09-8043-0A
RS09-8044-0A
RS09-8045-0A
RS09-8046-0A
RS12-1263
RS12-1264
RS12-1257
RS12-1258
RS12-1259
RS12-1260
RS12-1262
RS12-1108
RS12-1275
RS09-8047-0A
RS09-8048-0A
RS09-8049-0A
RS09-8050-0A
RS09-8051-0A
RS11-3142
RS09-8052-0A
RS09-8053-0A
RS09-8054-0A
RS09-8055-0A
RS09-8056-0A
RS09-8057-0A
RS09-8058-0A
RS09-8059-0A
RS09-8060-0A
RS12-1273
RS09-8061-0A
RS09-8062-0A
RS09-8063-0A
RS09-8064-0A
RS09-8065-0A
RS09-8066-0A
RS12-1265
RS12-1266
RS12-1267
RS12-1268
RS12-1269
RS12-1270
RS12-1271
RS12-1272
RS11-1217
RS11-2534
RS09-8075-0A
RS11-1215
RS11-1216
RS09-8076-0A
RS09-1150
RS09-8069-0A
RS09-8070-0A
RS09-8071-0A
RS09-8072-0A
RS09-8073-0A
RS09-8074-0A
RS11-1014
RS11-1015
RS11-1016
RS11-1017
品名
ｵﾘﾌｨｽﾊﾞﾙﾌﾞ
仕切弁
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
12in
70×430
VLP-01
VLP-01
VLP-8R
VLPA-50KF
VLPA-50KF
VLP-U06AW
VLP-U06AW
VLP-U06SW-R
VLP-U06SW-R
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1 1/2S
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U10S
VLP-U10S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U1S
VLP-U1S
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U6Ｓ
VLP-U6Ｓ
VLP-U6S
VLP-U6S
VLP-U6S
VLP-U6S
VLP-U6S
VLP-U6S
VULP-100CM
VULP-150F
VULP-200CM
VULP-25（旧型）
VULP-25（旧型）
VULP-250CM
VULP-25CM
VULP-25F
VULP-25F
VULP-25F
VULP-65CM
VULP-65F
VULP-65F
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
831734
000002
000004
068772
068771
070277
070276
800456
800361
800111
010427
017451
021755
021311
021702
517253
518203
518215
518244
518246
518249
518250
510332
102579
102581
147210
147231
174278
174281
147232
021415
0170001
0170002
0170004
0170019
0170034
028891
027242
028933
028935
028942
028953
028995
029006
029022
029065
020626
021536
021537
021544
021551
021552
221041
068673
068671
068672
068674
067358
067357
067811
067359
P951302
製造年
2002年製
2002年製
備考
状態良好　圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
状態良好　圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000年製
動作未確認　圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ　ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
2000年製
動作未確認　圧空式　JIS規格 1.5 inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
1989年製
2000年製
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
2004年製
圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000年製
動作未確認　圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
2000年製
1997年製
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
良好。
未使用品
P200075
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
P250036
1997年製
1997年製
良好。
良好。
P250774
P252851
P252855
P651125
P650867
P650887
美品 動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
美品 動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
美品 動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
美品 動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
9
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
RS12-1432
RS12-1433
RS12-1434
RS12-1435
RS12-1438
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-250Ⅱ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
MN03-0347-8
MN03-0347-3
MN03-0347-4
MN03-0347-5
000102
RS12-1437
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-250Ⅱ
ULVAC
000098
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-250Ⅱ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VUGP-40
VULH-65C
VLH-2
VLH-2
VLHC-3
VUH-251C
VUH-251C
VUH-251C
VUH-651
VULH-40
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
000103
000186
000183
000188
000189
000185
000184
P400182
H650189
-
RS12-1439
RS11-2147
RS11-2148
RS11-2149
RS11-2150
RS11-2151
RS11-2152
RS09-8067-0A
RS09-8068-0A
RS12-1075
RS12-1076
RS12-1074
RS12-1068
RS12-1069
RS12-1070
RS12-1071
RS12-1072
RS09-2648
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
圧空式 未使用　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 未使用　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 未使用　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 未使用　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 未使用　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧搾空気動作式真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ　未使用
仕様書：無し
取説：無し
圧空式 未使用　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
圧空式 未使用　取扱説明書：なし
UFC114　手動
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
2002年製
要無害化処理。
要無害化処理。
ICF-070
ICF-070
ICF-070 整備後、引渡し
状態良好。
要無害化処理。
ICF070
10
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<真空バルブ　他社製>
中古品番号
☆
☆
☆
☆
☆
RS13-8009-0A
RS13-8012-0A
RS13-8010-0A
RS13-8011-0A
RS10-8024
RS10-8025
RS09-8009-0A
RS09-8010-0A
RS09-8011-0A
RS09-8012-0A
RS09-8013-0A
RS09-8014-0A
RS09-8015-0A
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
MKS
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
12146-JA14
VAT
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）14048-JE44
VAT
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）14048-JE44
VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
1-800-345-1967 MKS
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
1-800-345-1967 MKS
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001VAT
017067580　+　017669753
不明
不明
不明
9928670041
9928670044
0158
0241
0247
0250
0251
0252
0253
RS10-2762
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KA21
-
RS09-8016-0A
RS09-8017-0A
RS09-8018-0A
RS09-8019-0A
RS09-8020-0A
RS09-8021-0A
RS09-8023-0A
RS11-2163
RS11-2164
RS11-2165
RS11-2166
RS09-8024-0A
RS11-2082
RS11-2084
RS09-8025-0A
RS09-8008-0A
RS11-2226
RS11-2227
RS11-2222
RS11-2067
RS11-2068
RS11-2072
RS11-2070
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2071
RS11-1160
RS11-1158
RS06-2823
RS11-2229
RS07-2961
RS11-2223
RS11-2224
RS11-8017
RS07-2931
RS09-8006-0A
RS09-8007-0A
RS11-2257
RS11-2077
RS11-2078
RS11-2171
RS11-2172
RS11-2173
RS11-2174
RS09-1149
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
APCﾊﾞﾙﾌﾞ
Series　24（KF-25) VAT
Series　24（KF-25）VAT
Series　26（KF-16）VAT
Series　26（KF-16）VAT
Series　26（KF-40）VAT
Series　26（KF-40）VAT
XLC-40-X559
SMC
XLG25
SMC
XLG25
SMC
XLG25
SMC
XLG25
SMC
XLG-25
SMC
XLG25-M9NC
SMC
XLG63-M9NC
SMC
XLG-80
SMC
10836-CE01-0004VAT
14036-CE44-AAC1 VAT
14046-CE34-0005 VAT
14048-CE34-0005 VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
16250-JA28
VAT
48240-CE01
VAT
48244-CE01
VAT
64048-JE28-0006 VAT
64246-CE52-0101 VAT
64246-JE52-0101 VAT
64250-CE52-1101 VAT
64250-CE52-2202 VAT
64252-JE52-ANZ1+PM5 VAT
VAT
11210-0159
HVA
11220-0150X
HVA
1641431
ﾌｼﾞ精機
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT KITS-SCT
XLH40
SMC
XLH40
SMC
XLH40
SMC
XLH40
SMC
253A-11792
MKS
F-24-60045-1077
F-24-60045-1078
F-26-60049-893
F-26-60049-894
F-26-60317-200
F-26-60317-201
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
-
RS11-2157
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
SCV 316L 10K-3/8 STD
（N.C 0.4～0.7Mpa）
BENKAN（KITZ-SCT）
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO
MAX500L/min)付き
RS11-2158
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
SCV 316L 10K-3/8 STD
（N.C 0.4～0.7Mpa）
BENKAN（KITZ-SCT）
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO
MAX500L/min)付き
VAT
VAT
ﾌｼﾞ精機
ﾌｼﾞ精機
VAT
VAT
VAT
VAT
不明
A-249751
100003
150006
RS13-8013-0A
RS10-8026
RS09-8004-0A
RS09-8005-0A
RS11-2216
RS11-2217
RS11-2220
RS11-2460
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
12146-JA14
20044-CE24-1001/0006
1021001
1021002
PM-5
PM-5
PM-5
PM-5
VAT
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
2000年製
未使用品
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、
26124-KA21（NW16）2個
NW25
NW25
NW25
NW25
NW25
ｼﾘｱﾙ無し
0692
F14-109375/3
F14-96835/3
F14-104723/2
不明
不明
不明
不明
不明
不明
不明
不明
不明
NW63
F64-90562/0002
F64-10866　1/1
F64-105808/1
F64-105808/2
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF253、ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
ICF114 手動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（ｸﾗﾝｸﾊﾝﾄﾞﾙ式）
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF114、圧空駆動式
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF253、圧空駆動式
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
CR（解放）保管。ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF152、手動式
CR（解放）保管。ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF203、手動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
（ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
95-01971
01-17156
000012
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
2004年製
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ
NW40
NW40
NW40
NW40
Zi　LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（ﾎﾟｼﾞｼｮﾝ付き）
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（故障表示有）
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/160
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/220
102532-R1
11
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ピラニ真空計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS11-3073
RS11-3074
RS11-3076
RS11-3077
RS11-3083
RS11-3090
RS11-3112
RS11-3113
RS11-3114
RS11-3116
RS11-3117
RS08-2158
RS08-2159
RS08-2160
RS08-2161
RS11-3081
RS11-3082
RS11-3088
RS11-3089
RS11-3091
RS11-3092
RS11-3093
RS11-3095
RS11-3096
RS11-3097
RS11-3098
RS11-3100
RS11-3101
RS11-3102
RS11-3103
RS11-3104
RS11-3105
RS11-3106
RS11-3107
RS11-3108
RS11-3109
RS11-3110
RS11-3111
RS11-3118
RS11-8031
RS11-8073
RS11-8074
RS11-8075
RS11-2326
RS11-2327
RS11-2328
ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
G-TRAN　BMR2
G-TRAN　BMR2
G-TRAN　BMR2
G-TRAN　BMR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
G-TRAN　BRP2
DV-6200
DV-6200
DV-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
15001
15497
15004
15005
15804
15797
15810
15811
15812
15819
15820
3363
3364
3365
3366
15803
15802
15795
15796
15798
15488
15047
15814
15815
15816
15817
15822
15823
15048
15045
15290
15291
15805
15806
15807
15808
15041
15809
15046
04284
04285
04286
04287
07240212184
006760116373
006740115388
RS13-2123
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8601
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS13-2124
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8602
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
非表示式（ホットカソードゲージ）
非表示式（ホットカソードゲージ）
非表示式（ホットカソードゲージ）
非表示式（ホットカソードゲージ）
2004年製
2004年製
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR　CABLE　35m
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR　CABLE　40m
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR　CABLE　40m
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
2004年製
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無し。SENSOR　CABLE　40m
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
ｹｰﾌﾞﾙ：30M校正
30M校正
30M校正
30M校正
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
☆
RS13-2230-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301
ULVAC
-
2008年製
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
☆
RS13-2231-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301
ULVAC
-
2008年製
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、
付属品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS11-2102
RS11-2103
RS11-2188
RS11-2189
RS13-1082-0A
RS13-1083-0A
RS13-1084-0A
RS13-1085-0A
RS13-1086-0A
RS13-1087-0A
RS13-1088-0A
RS13-1089-0A
RS13-1090-0A
RS12-1112
EM-301　8CH
EM-301　8CH
EM-301　8CH
EM-301　8CH
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1SRY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
PH7302
PH7301
14646
4049
14645
4048
14684
4047
14683
9174
11840
52780
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
2000年製
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
2000年製
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
2000年製
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、ｾﾝｻｰｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
2000年製
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
1999年製
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）、電源ﾃﾞｰﾌﾞﾙ。
アナログ表示　定温度型　ＳＥＴPOINT　2点　（ﾒｰﾀ：Aﾀｲﾌﾟ）
☆
RS13-1091-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
53610
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220937）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1092-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
53611
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220936）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1093-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60317
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220933）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
12
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
☆
RS13-1094-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60391
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99E211921）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1095-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
44611
1996年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99E211909）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1096-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60393
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220929）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1097-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60318
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99E211916）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1098-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60392
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220909）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WP-01　10mにて校正品
☆
RS13-1099-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60389
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220923）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WPB-10　10mにて校正品
☆
RS13-1100-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
ULVAC
60390
1999年製
付属品：ﾒｰﾀｰ型式：GP-1SRY-C（S/N:99H220907）、ﾒｰﾀｰ⇔真空計間
ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ/WPB-10　10mにて校正品
☆
☆
GP-1SRY-C
GP-1SRY-C
GP-2001
GP-2A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
001283446
001283423
☆
RS13-8102-0A
RS13-8103-0A
RS11-1063
RS13-1079-0A
2003年製
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、/WP-01　4ｍにて校正品。
☆
RS13-1078-0A ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-2ARY
ULVAC
00398
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）/WP-01　4ｍにて校正品。
G-TRAN　ISP
G-TRAN　ISP
G-TRAN　ISP
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
00382
00265
00270
センサーユニット
RS07-2783
RS07-2791
RS07-2792
RS11-2529
RS11-2303
RS11-2304
RS11-2305
RS11-2306
RS11-2307
RS11-2308
RS11-2309
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
RS11-2314
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
RS11-2323
RS11-2325
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
G-TRAN　SP1ｾﾝﾀｰﾕﾆｯﾄ
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
8495
センサーユニット
センサーユニット
センサーユニット
2131 0212188
01 376 9017382
2837 04191737
2128 0212185
2831 1418377
1813 0116195
2127 0212184
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ｼﾘｱﾙ無し
018140116196
018110116193
018080116190
ｼﾘｱﾙ無し
018370116197
ｼﾘｱﾙ無し
018070116199
018090116191
018100116192
018120116194
018390116199
28400419176
13
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<電離真空計>
中古品番号
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS11-8076
RS13-1070-0A
RS13-1071-0A
RS13-1072-0A
RS13-1064-0A
RS13-1065-0A
RS13-1066-0A
RS13-1067-0A
RS13-1068-0A
RS13-1069-0A
RS13-2232-0A
RS13-2233-0A
RS13-2234-0A
RS13-2235-0A
RS13-2236-0A
RS13-2237-0A
RS13-1080-0A
RS13-1077-0A
RS13-8098-0A
RS13-1073-0A
RS13-1074-0A
RS13-1075-0A
RS13-1076-0A
RS11-2332
RS11-2333
RS11-2334
RS11-2335
RS11-2336
RS11-2337
RS11-2338
RS11-2339
RS11-2340
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
型式
BMR2
GI-D7
GI-D7
GI-D7
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-N7
GI-N8
GI-TL3
GI-TL3RY
GI-TL3RY
GI-TL3RY
GI-TL3RY
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
IG-6200
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
10207
00026
00028
00027
10491
22140
22134
22147
22139
22136
3215
01052
0262
5018
4602
5017
4601
014120116347
013900115378
013910115379
014100116345
013880115376
15630123381
15650123381
15660123381
0267
製造年
備考
非表示式（ホットカソードゲージ）
2001年製
2001年製
2001年製
2004年製
2006年製
2006年製
2006年製
2006年製
2006年製
2008年製
2008年製
2008年製
2008年製
2008年製
2008年製
付属品無し。
付属品無し。
付属品無し。
付属品無し。
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。
付属品：I/Oｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ、測定子ｹｰﾌﾞﾙ（14m）。
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ付き
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
2005年製
付属品無し。
本体のみ
1999年製
1999年製
1999年製
1999年製
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、　I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ。
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ。
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品、本体のみ
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
<バラトロン真空計>
中古品番号
☆
☆
☆
☆
☆
RS10-8044
RS11-3007
RS10-2727
RS11-2105
RS08-8015
RS08-8016
RS08-8017
RS13-2238-0A
RS13-2239-0A
RS13-2240-0A
RS13-2241-0A
RS13-2242-0A
RS13-2175
RS13-2176
RS13-2177
RS13-2178
RS10-2219
RS09-1421
品名
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計電源
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子
型式
メーカー
186B-BOJOAANV MKS
628A1TBF-S
MKS-127
PDR-CJ1C-BCD
PDR-CJ1C-BCD
PDR-CJ1C-BCD
PDR-CJ1C-BCD
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
PDR-C1-C（-BCD） MKS
CMX-1110
CELERITY
製造番号
製造年
000,206,023
000065664
外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無。ﾚﾝｼﾞ：1Pa
000759408
001240828J
001240829J
001240830J
016293679
016293683
016293684
016293833
000094997
備考
Ver1.20.15X
本体のみ、故障
本体のみ
本体のみ
2008年製
2008年製
2008年製
2008年製
2008年製
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
<成膜コントローラー>
中古品番号
RS11-1057
RS11-2012
品名
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ
水晶振動式膜厚計
型式
CRTM-7000
MDC-260
メーカー
製造番号
製造年
ULVAC
0977
MAXTEK,INC 121
備考
本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
<ガス分析計>
中古品番号
品名
RS13-1030-0A 残留ｶﾞｽﾓﾆﾀｰ
RS11-1169
質量ｶﾞｽ分析計
RS11-1170
質量ｶﾞｽ分析計
型式
OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C
Transpector　2
Transpector　2
メーカー
HORIBA
-
製造番号
製造年
LOTT23B02800
70003237
備考
（OL-PS01-1A&SMPA7-5-2100C）
Transpector　2（911-242-G1U　H100M)
<リークテスト計>
中古品番号
RS11-2208
品名
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
型式
メーカー
HELIOT　302s特 ULVAC
製造番号
3198
14
製造年
備考
スニファー専用機器
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<表面検査装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS12-1340
RS13-3018
触針式表面形状測定器
ｳｪｰﾊ異物検査装置
DAKTAK3030
-
ULVAC
ﾀｲﾖｰ電機
ｼﾘｱﾙ無し
-
RS12-1422
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
01250019
1997年製
2013/4まで稼動し特に問題なく動作。
型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応。仕様書：なし　取説：なし
RS12-1423
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
90670026
1997年製
2013/4まで稼動し特に問題なく動作。
型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応。仕様書：なし　取説：なし
RS12-1424
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
00370032
1997年製
2013/4まで稼動し特に問題なく動作。
型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応。仕様書：なし　取説：なし
RS12-1087
RS12-1088
RS12-1396
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-2500
WM-2500
WM-300FOUP
TOPCON
TOPCON
TOPCON
00110021
00110022
00350074
2001年製
2001年製
RS13-3032
ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ検査装置
WM3
TOPCON
80873023
保守不能機器　部品取り用
Smif200mmｳｴﾊ専用　0.079μ mﾊﾟｰﾃｨｸﾙの測定が可能
正常動作確認済み。
仕様書・取説・図面無し。
<EB電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS11-8009
RS11-8010
RS11-8048
EB電源
EB電源
EB電源
HPS-1600F
HPS-1600F
HPS-1600F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
20020014
20020012
20020011
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
RS11-8049
EB電源
HPS-1600F
ULVAC
20020013
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し
RS11-8050
EB電源
HPS-1600F
ULVAC
20020010
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX・ﾛｰｶﾙBOX付属
無し
PSG-004S
PSG-004S
ULVAC
ULVAC
19912145
19912146
JST-10F
JEOL
BS101108-74AEZ372
2003年製
製造番号
製造年
RS10-8060-0A ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
RS10-8061-0A ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
RS12-1122
EB電源
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し
EB電源：JST-10F　(ｱｰｸｽﾌﾟﾚｯｻｰ付属)
EB蒸発源：EBG-203UB4H（4るつぼ仕様)
電圧導入端子：ﾌｨﾗﾒﾝﾄ用　EBG-HV025G02　/　偏向ｺｲﾙ用　EBGLV025G01
高圧ｹｰﾌﾞﾙ(3m)
<RF電源>
中古品番号
品名
RS13-8026-0A RF電源
型式
AX-1000LFⅢ
メーカー
AD-TEC
備考
1ｋｗ、400KHｚ
M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800003)
RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m)
M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)
RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)
RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m)
※RF　CONT無し。
10154000085
1ｋｗ、400KHｚ
M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004）
RS13-8027-0A RF電源
RS13-8024-0A RF電源
☆
☆
AX-1000LFⅢ
AX-2000Ⅲ
AD-TEC
AD-TEC
RS13-8025-0A RF電源
AX-2000Ⅲ
AD-TEC
RS09-1042
RS11-2212
RS09-1152
RS13-8106-0A
RS11-2266
RS11-2267
RS13-8108-0A
RS11-2288
LF-10
MCP-1010E
RF-50
RFK05ZFSW2
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
RFK50Z-SW1
RFS-005
AMAT
ULVAC
日本高周波
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m)
M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)
RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)
RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m)
※RF　CONT無し。
10154000084
10155100518
２ｋｗ、13.56MHｚ
M/BOX:AMVG-2000-DI（S/N:10224300003）
RF　CONT：AMVG-RCM1-D1（S/N:10225800003）
RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m)
M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)
RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（5m)
RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m)
RF　CONT　I/Oｹｰﾌﾞﾙ(3m)
10155100519
２ｋｗ、13.56MHｚ
M/BOX:AMVG-2000-DI（S/N:10224300002）
RF　CONT：AMVG-RCM1-D1（S/N:10225800002）
RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m)
M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)
RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)
RF電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m)
RF　CONT　I/Oｹｰﾌﾞﾙ(3m)
1032
エッチング電源
0103037
0107014
0107015
0104039
88004
2004年製
2004年製
本体のみ(1kw）
本体のみ(1kw）
☆
RS13-1043-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595181
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1044-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595179
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1045-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594036
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1046-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594039
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
15
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
付属品無し。
200W、13.56MHｚ　ﾄﾘｶﾞｰｽｲｯﾁｶﾊﾞｰ無し。
付属品無し。
200W、13.56MHｚ　RF　ON⇔OFFｽｲｯﾁｶﾊﾞｰ無し。
☆
RS13-1047-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595137
☆
RS13-1048-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595167
☆
RS13-1049-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
597139
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1050-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595046
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1101-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595136
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1102-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595188
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
☆
RS13-1103-0A RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595168
付属品無し。
200W、13.56MHｚ
RS09-1302
RS11-8119
RF電源
RF電源
RFS-1205S
RFS-1305A
ULVAC
ULVAC
RS13-2060
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
202065
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2061
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
205001
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2062
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
203038
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2063
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
204019
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2066
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
203043
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2067
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
204021
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2068
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
203004
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2069
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
203041
出力；500W 13.56MHz
付属品なし、本体のみ
RS13-2107
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
207050
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RS13-2108
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
207051
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RS13-2109
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
207052
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RS13-2110
RF電源
RFS-1305A
ULVAC
207053
出力；500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2243-0A RF電源
RFS-1305A
ULVAC
-
2008年製
出力:500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2244-0A RF電源
RFS-1305A
ULVAC
-
2008年製
出力:500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2245-0A RF電源
RFS-1305A
ULVAC
-
2008年製
出力:500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2246-0A RF電源
RFS-1305A
ULVAC
-
2008年製
出力:500W 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1305A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
出力:500W　12.56MHz
出力：500W　13.56MHz
RS13-2071
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
202006
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2073
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
205007
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ20m
RS13-2074
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
204005
出力；1KW 13.56MHz
付属品なし、本体のみ
RS13-2111
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207004
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RS13-2112
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207005
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RS13-2113
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207006
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A)　欠品：ｹｰﾌﾞﾙ
RS13-2114
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207007
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A)　欠品：ｹｰﾌﾞﾙ
RS13-2115
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207008
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A)　欠品：ｹｰﾌﾞﾙ
RS13-2116
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207009
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A)　欠品：ｹｰﾌﾞﾙ
RS12-8047
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
201006/302007
出力：１ＫＷ　13.56MHz　MBX-10EA付き
付属ｹｰﾌﾞﾙ：　EXT.CONT　2ｍ/RF OUT 12ｍ/
VPP-VPP 8ｍ/AC100V 入力１ｍ
☆
RS13-2247-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
-
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2248-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
-
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
16
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
☆
RS13-2249-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
-
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2250-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
-
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2251-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
☆
RS13-2252-0A RF電源
RFS-1310A
ULVAC
-
2008年製
出力；1KW 13.56MHz
付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
RFS-1310L
RFS-13200F
RFS-1330L
ULVAC
ULVAC
ULVAC
209009
210006
209017
RS13-2158
RS13-2154
RS13-2157
RF電源
RF電源
RF電源
出力:1KW 13.56MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:20KW 13.56MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:3KW 13.56MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力：５ＫＷ　13.56MHz　MBX-1350U付き
付属ｹｰﾌﾞﾙ：　AC POW（RFS)-POW　IN（AMC)　4m/AMC(AMC)AMC(RFS) 4m/CONT（MBX)-CONT（AMC)8m/POW　OUT(AMC)POW　IN（MBX)8m/VDC（MBX)-VDC　IN（VDC)12ｍ/AC100（MBX)3ｍ
/ｱｰｽ50ｃｍ
RS12-8048
RF電源
RFS-1350U
ULVAC
RS09-1471
RF電源
RFS-20CB
ULVAC
RS06-2704
RF電源
RFS-2712K
ULVAC
306001
RS13-2153
RS13-2151
RS13-2152
RF電源
RF電源
RF電源
RFS-27200L
RFS-27400F
RFS-27400F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
208005
210001
210002
RS07-3026
RF電源
RFS-30CB
ULVAC
出力；3kW 13.56MHz
付属品：M/BOX (ｹｰﾌﾞﾙ無し)
ULVAC
出力：５ＫＷ　13.56MHz　MBX-50EA付き
１付属ｹｰﾌﾞﾙ：　CONT（RFP)-CONT（RFS)　4m/CONT（MBX）-CONT
（AMC)　8m/POW OUT（AMC)-POW　IN（MBX)12m/VPP　IN-VPP
MBX　8m/VDC　IN-VDC　MBX　8m/ｱｰｽｘ2本(3m、1m）
■Power Control　Monitorｹｰﾌﾞﾙ：　VDC　8m/MBX　8m/ﾄﾘｶﾞｰ
8m/CONT　4m
RS12-1294
RF電源
RFS-50C
RF電源
RF電源ｺﾝﾄﾛｰﾗ
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFXⅡ-3000
RFP-1A
SP-RKC
SP-RKC
AMC-1AR
AMC-1AR
207004/306030
出力；2kW 13.56MHz
付属品：M/BOX (ｹｰﾌﾞﾙ無し)
出力：1KW　27.12MHz、
付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し
出力:20KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
200003/300004
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS07-2652
RS11-2287
RS11-2268
RS11-2269
RS11-2289
RS11-2290
RS09-1502
RS11-2272
RS11-2270
RS11-2271
RS13-1058-0A
RS13-1059-0A
RS13-1060-0A
RS13-1061-0A
RS13-1081-0A
RS13-1109-0A
RS13-1110-0A
RS13-1111-0A
☆
RS13-1051-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395079
付属品無し
200W
☆
RS13-1052-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
398039
付属品無し
200W
☆
RS13-1053-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
397035
付属品無し
200W
☆
RS13-1054-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395075
付属品無し
200W
☆
RS13-1055-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395068
付属品無し
200W
☆
RS13-1056-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395030
付属品無し
200W
☆
RS13-1105-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
397036
1998年製
付属品無し
200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
☆
RS13-1106-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
397034
1998年製
付属品無し
200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
☆
RS13-1107-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
395073
付属品無し
200W
☆
RS13-1108-0A ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
ULVAC
394017
付属品無し
200W
MBX-1310L
MBX-13200F
MBX-1330L
MBX-27200L
MBX-27400F
MBX-27400F
MBX-50A
VDC-1A
VDC-1A
PHS-2C-SK1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
KYOSAN
309010
308001
309107
310006
310001
310002
1kw用
RS13-2167
RS13-2163
RS13-2166
RS13-2162
RS13-2160
RS13-2161
RS09-1297
RS11-2291
RS11-2292
RS11-2273
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀ
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ
AE
ULVAC
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
RFP-05CA/VDC5A ULVAC
NAK5A
KYOSAN
NAK5A
KYOSAN
NAK5A
KYOSAN
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
AMC-6D
ULVAC
140021 F/R C
89023
L/N　WB3563
L/N　WB3563
395008
92005
0107014
0107016
0107015
399006
397136
395004
397137
395041
398082
392008
392009
3kw出力
2004年製
2004年製
本体のみ
2004年製
2004年製
2004年製
1999年製
1998年製
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395040）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:397001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
1998年製
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:396035）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395025）、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
付属品：I/Oｺﾈｸﾀ
付属品無し。
付属品無し。
20kw用
3kw用
20kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
5kw用　086008
91020
L/N　WB3569
17
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<DC電源>
中古品番号
RS09-1498
RS09-1499
☆
品名
型式
メーカー
DC電源
DC電源
DCR-1502A
DCR-1502A
ULVAC
ULVAC
RS13-1063-0A DC電源
DCS-0052B
ULVAC
RS10-8036
RS10-8035
DC電源
DC電源
☆
RS13-8006-0A DC電源
☆
RS13-8007-0A DC電源
☆
RS13-8008-0A DC電源
RS13-1028
RS09-2804
RS11-2286
RS11-8086
RS13-3096
RS13-3097
RS13-3098
RS13-3099
RS13-3100
RS13-3087
RS13-3088
RS13-3089
RS13-3090
RS13-3091
RS13-3092
RS13-3093
RS13-3094
RS13-3095
RS08-2041
RS09-1162
RS09-1161
RS09-1289
RS10-2721
RS11-2029
RS13-3101
RS13-3102
RS13-3103
RS13-3104
RS13-3105
RS13-3106
RS13-3107
RS13-3108
製造番号
製造年
19922009
19922010
197193
出力：１５ｋｗ
30,000
HAR-1N100-LOL MATUSADA 52933
HAR-1P100-L0L MATUSADA 52945
DC電源（4台）
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
備考
出力：１５ｋｗ
電源ｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
出力ｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
出力1KW（800V　1.25A)
I/Oｹｰﾌﾞﾙ無し。
出力：1kv　（負極性　100mA/100W）
出力：1kv　（正極性　100mA/100W）
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
吸引ｶﾞｽ：Aｒ
出力電力：3ｋｗ
HPK-03Z
京三
WA2434
HPK-03Z他
京三製作所
京三
WA2433、2434、
4264、4265
WA4264
【4台】動作未確認、研究開発用途。
HPK-10Z
HPK-10Z
京三
WA4265
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
吸引ｶﾞｽ：Aｒ
HPK-15ZI
HPK-15ZI
HPK-15ZI
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-1001A
MDL-15
MDL-L6
MDX-L6
MDX-L6
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
AE
AE
KIKUSUI
松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ
AE
AE
AE
AE
AE
AE
AE
AE
WA0789
PAK20-18A/PAK10-70
PR-500-10LGB
Sparc-le V
Sparc-le　V
Sparｃ-le　V
Sparc-le V
Sparc-le V
Sparc-le V
Sparc-le V
Sparc-le V
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し。
吸引ｶﾞｽ：Aｒ
1998/01
ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力
ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力
WA1267＋ＷＡ6036
ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Mastor15kw）＋（Slave　15kw）=30kw出力
C609108
C609110
C611703
C612995
C612996
C356777
C440625
C442141
C582925
C582927
C586619
C586620
C609100
C609102
145679F/RC
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１０ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１５ｋｗ
※2台
045547S
C609412
C609413
C609414
C614572
C614574
C614575
C624126
C675118
2009年製
新古品　5kw　（500V／10A仕様）
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
<AC電源>
中古品番号
RS11-1189
品名
AC電源
型式
PE　Ⅱ　メーカー
製造番号
製造年
AE
備考
10KW SV-9040付属品。本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ等付属なし。
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号
RS04-8017
品名
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
型式
KS40-50S
メーカー
ULVAC
製造番号
製造年
12762
備考
中電流イオン注入装置
<マグネット電源>
中古品番号
RS11-2278
RS11-2279
RS11-2369
RS09-1496
RS10-8043
品名
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
型式
MCP-1010SX
MCP-1010SX
MCP-1010SX
MCP-1010E
MCP-1010E
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
製造年
備考
2310
2449
2253
1092
18
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<加熱電源>
中古品番号
RS13-2075
RS13-2076
RS13-2077
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
RS13-2085
RS13-2086
RS13-2087
RS13-2088
RS13-2089
RS13-2090
RS13-2091
RS13-2092
RS13-2093
RS13-2094
RS09-2665
RS09-2666
RS11-8082
品名
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
温度調節器
型式
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-072SP
PSH-072SP
メーカー
SR82-11-N-90-1166000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
型式
メーカー
製造番号
製造年
U406-024
U406-038
410052-001
U406-029
U406-018
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
U406-027
U406-026
U406-025
U406-039
U406-050
U406-056
U406-058
U406-077
U406-069
U406-071
備考
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
11304810901-002
<その他電源>
中古品番号
RS12-1020
品名
ｉｏｎ　bombard　power　supply
DCP-505
製造番号
ULVAC
製造年
備考
状態良好。要整備。
19
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<スパッタ装置　ULVAC製>
中古品番号
☆
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS10-2807
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000 ULVAC
ME00-7820
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用　2T
基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal
加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT
排気：TMP（旧型）+CryoTrap
設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
RS10-2808
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000 ULVAC
ME00-7818
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用　2T
基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：Metal
加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT
排気：TMP（旧型）+CryoTrap
設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
RS12-1062
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1101 ULVAC
ME93-5021
1994年製
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用　1E1T
基板：φ 6in　Etch：ICP　SP：Metal
加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT
排気：TMP（旧型）+CryoTrap
設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
RS12-1061
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1301 ULVAC
ME02-8012
2002年製
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用　１E3T
基板：φ 6in　Etch：ICP　SP1～3：Metal
加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT
排気：TMP（旧型）+CryoTrap
設置：階下置き仕様　※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実
RS12-1204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Zi-1000N ULVAC
ME00-5001/
SE00-5001-1
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用
4T1E1H　φ 8in ﾉｯﾁ
Etch：ICP　HEAT：Infrared Lamp
SP1：Ta　SP2：Ta　SP3：FeO　SP4：Si
排気系：TMP+CryoTrap
RS13-3017
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CS-200
ULVAC
MA07-1009
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産
ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ 12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ（誘電体用）　1元
SP電源：RF 3kwｘ1台
排気系　TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞ：φ 6in
RS12-1227
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
RS12-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用　1E2T
基板：φ 6in　Etch：2重極　SP1：Metal　SP2：Metal
加熱系：Infrared Lamp　ｶｾｯﾄ室×2
排気系：CRYO＋RP
RS13-3127-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
【枚葉式】
【バッチ式】　実験装置
処理基板　150ｍｍ　加熱：MAX300℃
4inﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ（3台）（Si、Ag、 ZnO）
ｽﾊﾟｯﾀ電源　RFS-1305A　500W　DCS-0052B　500W
逆ｽﾊﾟｯﾀ　200W
排気系：CRYO-U6H　D-330DK
MFC：Ar100ｓｃｃｍ　N2：50ｓｃｃｍ　O2:50ｓｃｃｍ
真空計　GI-M
RS13-2211
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
RS13-2209-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
RS12-1197
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
RS13-3124-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
2004年製
MPS-8000
ULVAC
MB05-5013
PME-200LE
ULVAC
MA08-3536
SBH-2206
ULVAC
SBH2306DE
ULVAC
RK92-1009
1993年製
2010年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置
動作確認済み　G-BOX付き
使用頻度尐なく良好
【枚様式】
研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、また高年式の為状
態良い。
仕様書・取説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】尐量生産
φ 6inｶｿｰﾄﾞ ×2式　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　ｽﾊﾟｯﾀUP
RS12-1001
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-5315
ULVAC
MH60-0287
1985年製
【ﾊﾞｯﾁ式 ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】 量産機
□100基板2枚取り12面ﾄﾞﾗﾑ搭載。
AC電源化、Dual ｶｿｰﾄﾞへの改造済み。
装置は古いが、機能充実。
RS12-1301
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-C10
ULVAC
MH90-5010(XW05-6514)
1990年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 4in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DC×1(2.5kW）
排気系：CRYO＋RP
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計：MKS　ｶﾞｽ系：Ar+O2
2004年度当社ﾘﾆｭｰｱﾙ販売品
RS13-2204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-D06
ULVAC
MH62-5073
【バッチ式】実験・尐量生産
φ 150mmカソード　1元　（スパッタアップ）
排気系：拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650D
スパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ
ガス：２系統
ｼｰｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
RS13-1009
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350L
ULVAC
MH62-0058
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・尐量生産
φ 4ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞｘ3式　RF/DC切替・逆ｽﾊﾟ付き。
2010年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置。　制御系ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ・ﾌﾙｵｰﾄ制御。
仕様書・取説・図面あり。
RS12-1420
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-T08
ULVAC
MA01-1045
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 3in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1
逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：TMP＋RP
RS12-1405
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C10
ULVAC
MH61-0502(NH8978)
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1
逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP
RS13-2210
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置（ﾊﾞｯﾁ式）
SH-450-C12
ULVAC
MA07-3717
20
【バッチ式】実験・尐量生産
ｽﾊﾟｯﾀｱｯﾌﾟ　6in３元　ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｽﾊﾟｯﾀ　DC電源　DCS-0402x3台
排気系：CRYO-U-12HSP　V30V　D-950D
真空計：GI-TL3　GI-TL3RY　GP-1SRY
MFC　Ar　1系統
基板4in 8枚
操作ﾊﾟﾈﾙ旧型（銀色）
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
XT07-0489BB
2008年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1
逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP
1990年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 8in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1
逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP
RS12-1051
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550
ULVAC
RS12-1391
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550
ULVAC
RS13-2001
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550-D10
ULVAC
RS11-2038
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-4545
ULVAC
MH63-0222
1988年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　尐中量生産
□5in×20in ｶｿｰﾄﾞ　3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC
ｽﾊﾟｯﾀUP 通過成膜方式
動作確認済。故障個所無し。
RS11-1022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA03-1012
2006年製
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・尐量生産
ｶﾞﾗｽ基板： □850×900 ｶｿｰﾄﾞ3元搭載
ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC 片面　縦搬送 通過成膜式
排気系：CRYO+RP
RS11-1021
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置　SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006年製
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・尐量生産
ｶﾞﾗｽ基板： □850×900 ｶｿｰﾄﾞ3元搭載
ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF 片面　縦搬送 通過成膜式
排気系：CRYO+RP
RS13-2207-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM
ULVAC
MA08-3623
2010年製
【枚様式】
研究開発で使用された設備
仕様書・取説・図面あり。
RS13-2208-0A ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM
ULVAC
MA08-3625
2010年製
【枚葉式】
研究開発で使用された設備の為、使用頻度尐なく、高年式のため状態
良い。
2004年製
【枚葉式（ｸﾗｽﾀｰﾀｲﾌﾟ）】　量産用　2C1E3T
基板：φ 8in　SP1：Metal　SP2：Metal　SP3：化合物
Etch：RIE　薄ｳｪｰﾊにも対応
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・尐量生産
φ 8in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1
逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：DP＋RP
MH63-5263
RS13-1002
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-420
ULVAC
MA04-3429
RS13-3030
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-820
ULVAC
MA00-1034
【枚葉式　静止成膜】　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ方式
基板：200φ
基板加熱室×１、基板ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ室×1、ｽﾊﾟｯﾀ室×5
ｶｿｰﾄﾞ：非磁性体金属ﾀｰｹﾞｯﾄ用×5
RS11-1186
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-9040-T14
ULVAC
MA00-1013
【ﾊﾞｯﾁ式 ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】 量産機
基板：ｶﾞﾗｽ　ｶｿｰﾄﾞ：5inｘ18in×3　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC
排気系：TMP+RP
<スパッタ装置　他社製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
【Multi_Chamber】 量産用
基板：φ 8in Etch×1　SP×３
通電・試運転 可能
RS11-1185
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ENDURA
AMAT
3843/E-No.6520
RS11-1201
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
HSR-512A
島津製作所
1M9062
1994年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）
φ 4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF
逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置
RS12-1228
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用
ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）　ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
RS09-1008
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
NSP-17
昭和真空
96-4399
1997年製
【ﾊﾞｯﾁ式】
φ 5inｶｿｰﾄﾞ 3元
RS11-1184
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983年製
【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】
ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排気系：DP
2004年にｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
RS13-1006
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-332
ANELVA
1990年製
【バッチ式】
排気系（TMP・PR)
動作確認済み。
取説あり、図面・仕様書無し。
RS12-2027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-540H
ｱﾈﾙﾊﾞ
RS09-1024
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPS-503
ﾄｯｷ
RS10-2806
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
TDY-01298
東京電子冶金研究所
EVP-24622
【ﾊﾞｯﾁ式】
ｶｿｰﾄﾞ：φ 6in× 3元
【ｶﾙｰｾﾙ(ﾄﾞﾗﾑ)式】　小量生産
ｶｿｰﾄﾞ：3元（角ｶｿｰﾄﾞ）
不明
21
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用
ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
中古品番号
RS09-1483
RS09-1500
RS09-1501
RS09-1504
RS09-1505
RS09-1465
RS09-1484
RS12-1154
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS12-1161
RS12-1162
RS12-1151
RS12-1152
RS12-1153
RS11-8139
RS11-8140
RS11-8141
RS11-8142
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8053
RS10-8054
RS10-8052
RS10-8051
RS10-8048
RS10-8049
RS10-8050
RS10-8042
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
RS10-8040
RS10-8041
RS10-8055
品名
RYB
ｼｬｯﾀｰ
ｼｬｯﾀｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御系
制御系
制御系
制御系
制御系
制御系
通信COM
型式
RYB1
SG6100S
SG6100S
PMC-Ⅱ
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-PG
GS-PG
GS-PG
ME-Ⅱ　①
ME-Ⅱ　②
ME-Ⅱ　③
ME-Ⅱ　④
ME-ⅡA　①
ME-ⅡA　②
1420A　TKK-5
1420A　TKK-6
1608ATKK-5
KU80376
PI-30
PMC-6
PVME-387
Contunit型式001-8185-05
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
Adme
Adme
Adme
製造年
備考
P236
P237
P238
P247
P248
P249
P271
445
481
P128
P137
P197
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
96-1500-27001　PMC-1
旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ｵﾝﾃｯｸ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
980309-1　KEPB-372
9910-10099
ｽﾊﾟｯﾀ用
IPC用
ｱﾆｰﾙ用
№2
№1
SYSTEM　I/F　BOX
SYSTEM　I/F　BOX
AT-MX10
製造番号
Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI
22
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<スパッタ装置部品　AMAT　ENDURA>
中古品番号
RS09-1390
RS09-1544
RS09-1509
RS09-1510
RS09-1527
RS09-1528
RS09-1530
RS12-2091
RS12-2077
RS09-1554
RS09-1555
RS09-1552
RS09-1522
RS09-1523
RS09-1524
RS09-1525
RS09-1529
RS09-1534
RS09-1545
RS09-1546
RS09-1541
RS09-1507
RS09-1508
RS09-1550
RS09-1551
RS09-1519
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1514
RS09-1515
RS09-1516
RS09-1539
RS09-1540
RS09-1512
RS09-1526
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1513
RS09-1536
RS09-1537
RS09-1538
RS09-1506
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1518
RS09-1562
RS09-1558
RS09-1561
RS09-1557
品名
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ
BLDG TO BLDG Transfer
CH-A 天板
CH-B 天板
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式
Hearter　ASSY　Hose Push-Lok 5/8　250PSI
Hose Push-Lok 5/8　300PSI
HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI SYNTH
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
MAGNET
MFC AR100sccm
MFC AR100sccm
MFC N2200sccm　STEC
Nallow Load/Lock　LLA
Nallow Load/Lock　LLB
PVD HP LIFT
PVD HP LIFT
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
Shield 8"
Shield 8"
Shield Upper
SPACER INSULATOR LIFTER
SPLTR BOX　HELIX
STD Lifter
SYS.CONT. BULKHEAD CABLE
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
Wide Chamber
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor
ﾊﾞｯｷﾝグﾌﾟﾚｰﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管
真空配管類
水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ　中古ﾎｰｽ
型式
ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ　0010-01465
-
メーカー
AMJ
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
製造番号
製造年
備考
※改造に最適
-
NECｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
AMAT
<スパッタ装置部品>
中古品番号
RS11-2495
ｶｿｰﾄﾞ
RS07-2971
昇降機
RS09-1262-0A ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ
品名
型式
メーカー
φ 4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ
ULVAC
ULVAC
-
H-18
-
製造番号
製造年
備考
1994年製
-
23
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<蒸着装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS13-3016
蒸着重合装置
VEP-1000
ULVAC
MF06-1008
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
ULVAC
MH62-5022
RS12-1196
蒸着装置
EBV-6CA
ULVAC
SE3403-10
RS12-1224
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-0136
1983年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：□500×600H　自公転治具（JPD-050C）
蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系；CP＋RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　使用履歴；Au
RS12-1233
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：□500×600H　公転治具
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ （EGL-206M） 膜厚計：CRTM-9000
排気系：CRYO ＋ RP
RS13-2099
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5058
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：□500×600H　公転平板　□150ｶﾞﾗｽ基板
蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系；CP＋RP
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
MH59-0112
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：□500×600H　自公転治具（φ 100用）
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M)
排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 600W×800H
蒸発源:電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）
排気系：CRYO ＋ RP
RS10-2682
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
RS13-1003
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
ME90-1073
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
RS12-1419
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
RS11-2397
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH96-1051
1996年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H　自公転治具
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M） ×2式（Au、Sn成膜）
排気系：CRYO＋RP
RS11-3233
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH97-5026
1998年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H
蒸発源：未搭載（選択自由）
排気系：CRYO＋RP
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
2005年製
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
全手動操作　抵抗加熱式蒸発源　（欠品：ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ）
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
抵抗加熱式蒸発源　金属ﾍﾞﾙｼﾞｬ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGK-3）　電源：5kW(Solid)
排気系：CRYO ＋ RP
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H　自公転治具
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kW(真空管)
排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
1885年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H　治具無し
蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H　治具無し
蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用
真空槽：φ 650W×800H
蒸発源：未搭載（選択自由）
排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP
【前扉式バッチ装置】　中量生産
抵抗加熱蒸発源：３元
治具：JPD-075C
排気系：LR90+UTM-3302FH
膜厚計：CRTM-9000
RS13-2203
蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA06-3266
RS11-1194
蒸着装置
EBX-2000C
ULVAC
MH97-1045
1998/01
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産
蒸着室：750W×750D×900H　自公転治具（φ 100用)
蒸発源；電子ﾋﾞｰﾑ （EGL-406M）
排気系；蒸着室 CRYO
RS13-3131-0A 蒸着装置
EBX-2000C
ULVAC
MH97-1044
1998年製
【ﾊﾞｯﾁ式】
抵抗加熱式蒸発源
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産
真空槽：φ 750W×900H　自公転治具
蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆動）
排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
RS11-2512
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH96-1010
RS05-2068
蒸着装置
ED-60000-D14
ULVAC
MH96-5015
【ﾄﾞﾗﾑ式】　量産向き　両面同時成膜
真空槽：φ 1000×1000L　ﾄﾞﾗﾑ横回転治具
蒸発源：抵抗加熱式（内面用 10連/外面用 14連）
排気系：DP＋RP
RS11-3206
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MF95-5002
有機薄膜形成装置
有機EL 研究・生産装置
RS12-1314
蒸着装置
MC-500
ｼﾝｸﾛﾝ
960021
RS11-2022
蒸着装置
SEC-06D
昭和真空
調査中
24
1997年製
1996年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産
真空槽：φ 750W×900H　自公転治具
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-406M）
排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
φ 4ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ　JEOL電子銃（TI・Au・Pt・Ta・Cu)
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
蒸発源：抵抗2元+EGK-3M（X-Y偏向ｺｲﾙあり）
排気系：DP＋RF
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アルバックテクノ株式会社
☆
RS13-1038-0A 蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
☆
RS13-3129-0A 蒸着装置
SEC-16C
昭和真空
99-4030
☆
RS13-3131-0A 蒸着装置
EBX-2000C
ULVAC
MH97-1044
RS13-2205
RS13-2200
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式）
EBS-10A
ULVAC
1999年製
1998年製
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】
排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB-003C+D-950DK　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ
蒸発源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式）
仕様書・取説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】
ME54-0003
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ
操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：AUTO/MANUAL　成膜半自動
蒸着材料：AL・In・Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP D-650　PMB-003C
蒸発源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元
ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き　MFC Aｒ　100ｓｃｃｍ
膜厚計CRTM-6000
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用
φ 900ｘ1125H　SUS製　後方排気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻
公転ﾄﾞｰﾑ
蒸発源：EB蒸発源（JEOL)　JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F
（10Kw)
排気系：RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘ
ｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550)
その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三 / 光学膜制御（SOCS-1α ）昭和
/ CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱
真空蒸着装置
SGC-22SA-RF
昭和真空
00-4561
RS13-1035-0A 真空蒸着装置
SGC-22WA-RF
昭和真空
95-4293
1996年製
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】※要整備
φ 900ｍｍ前扉式ﾁｬﾝﾊﾞｰ、DP:SFD-22、RP:VS-2401、MBP：PMB006CM、蒸発源：JEBG-102UHO（ﾙﾂﾎﾞ15点）、　電源：JST-10F、RF印
加機構付き（３Kw)、　光学ﾓﾆﾀｰSOCS-1α 、　膜厚計：CRTM-6000、
MFC：SEC-400MK3-Aｒ-100ｓｃｃｍ、　SEC-400MK3-O2-100ｓｃｃｍ
製造年
備考
<蒸着装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1309
RS09-1576
RS11-8162
RS11-8163
RS11-8164
EBｶﾞﾝ
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EB蒸発源
EB蒸発源
EGL-35
EGO-40M
EGK-3C
EGK-3C
EGL-35
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
183100264
183100262
177100197
RS11-2558
ｲｵﾝｿｰｽ
LIS
ULVAC
579883
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほぼ未使用
RS11-2559
ｲｵﾝｿｰｽ
LIS
ULVAC
579882
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほぼ未使用
RS11-8028
RS11-8029
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
RS11-1219
RS11-1221
RS11-1222
RS10-8064
RS11-2466
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
回転導入
回転導入
回転導入
抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ
ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
TDU-08F
TDU-08F
TDU-08F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
美和製作所
134-134 Ver2.04
136-136 Ver2.04
135-135 Ver2.04
137-137 Ver2.04
252-252 Ver2.04
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
MF98-1018付属
25
2005年製
2005年製
2005年製
2005年製
2007年製
1997年製
1997年製
1997年製
良好。
良好。
良好。
1998年製
※網掛部は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<アッシング装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2079
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000
ULVAC
XS06-4604
RS11-2405
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000N
ULVAC
RE93-1003
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
P-1000
OPM2001CN
OPM2001CN
GLEN TECHNOLOGIES
10271
2000年製
1998年製
1994年製
仕様書・取説あり。
東京応化工業 C-9802050
東京応化工業 C-9401250
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
TCA3822
東京応化工業 T-9608455
1996年製
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
液晶画面が若干見にくいが、それ以外は問題なし。
RS13-3123-0A
RS10-2204
RS10-2205
RS11-1026
1992年製
備考
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz
高周波　200W　13.56MHz
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz
高周波　200W　13.56MHz
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
<ＣＶＤ装置>
中古品番号
品名
RS13-2010-0A CVD装置
型式
メーカー
製造番号
CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
ULVAC
-
RS12-1145
CVD装置
CPD-1210
RS10-2769
CVD装置
ＤＷＮＴ成膜装置 ULVAC
RS09-1003
CVD装置
PD-20N
SAMCO
RS11-1200
CVD装置
PD-240
SAMCO
RS12-1318
CVD装置
PD-270STA
ｻﾑｺ
RS12-2004
CVD装置
HR-4421
太陽日酸
RS12-2005
CVD装置
SR-6420
太陽日酸
MB03-7002
製造年
備考
【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ
156基板　《ｶﾞｽ》H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi
《不足品》　防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2枚、防着
ﾏｽｸ4ｘ2室分
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD
基板：φ 200
使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2
2003年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用
加熱系：MAX1100℃
排気系：RP　ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）
基板：200mm×600mm
【ﾊﾞｯﾁ式】　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　研究用
電極：平行平板
電源：13.56MHｚ　150W　ｼｰｹﾝ
ｻｰ故障
1996年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　TEOS CVD　研究用
電極：平行平板式
電源：13.56MHｚ　300W
2001年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD
使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar O2　N2
HN136-716
2002年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　拡散用 MO-CVD
反応管：950×φ 257　ALNﾄﾚｲ（φ 160）
加熱系：ｶｰﾎﾞﾝｻｾﾌﾟﾀ 400～1000℃　ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ付
43006001-C
2006年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　Zn拡散用 MO-CVD
反応炉：水冷箱型　φ 6in×1枚
加熱系：抵抗加熱式　400～900℃
ｼﾘｱﾙ無し
26
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<プラズマＣＶＤ装置部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
中古品番号
RS09-1267
RS09-1041
RS09-1091
RS09-1067
RS09-1194
RS09-1213
RS09-1170
RS09-1250
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
RS09-1260
RS09-1151
RS09-1048
RS09-1049
RS09-1070
RS09-1082
RS09-1095
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1556
RS09-1272
RS09-1196
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1265
RS09-1223
RS09-1065
RS09-1286
RS09-1284
RS09-1211
RS09-1212
RS09-1071
RS09-1072
RS09-1088
RS09-1164
RS09-1165
RS09-1224
RS09-1225
RS09-1227
RS09-1228
RS09-1229
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1252
RS09-1254
RS09-1258
RS09-1261
RS09-1171
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
RS09-1473
RS09-1166
RS09-1220
RS09-1044
RS09-1043
RS09-1135
RS09-1106
RS09-1075
RS09-1167
RS09-1168
RS09-1178
RS09-1177
RS09-1179
RS09-1185
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1127
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
RS09-1136
RS09-1279
RS09-1222
RS09-1214
RS09-1186
RS09-1187
RS09-1209
RS09-1269
RS09-1036
品名
15V　PWR　SUPPLY（CEN/END)
200V　DEGAS　DRIVER
200V PVD DRIVER
4,5,6,”ROBOT
5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
ALｴｯﾁｬｰ
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ASSY　RF　MATCH,ETCH
ASSY STORAGE ELEV WAFER CASSETTE HNDLR
ATP100
BASE,DOUBLE　SEALING　RING　LAMP　MODULE
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP MODULE
Blaker,MC 一式　Gen-Rack, ﾒｸﾗ数,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ
Bufferｶﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
Cable
Cable Assy Source Water Manifold Ground　ｱｰｽ線
Cable Assy Source Water Manifold Ground　ｱｰｽ線
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ﾌﾛﾝﾄﾊﾟﾈﾙ
CHOPPER　DRIVER
Cntura Buffer Lid
Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ
CRTﾓﾆﾀｰ
CRTﾓﾆﾀｰ
CVD　RF-MATCH
CVD　RF-MATCH
DC POWER SUPLY
DCPS
DCPS
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DIO
DRVER　BOX
Dry　Pump
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1
FAN
FAN　PAC
型式
REV.E
0010-20697
Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ
メーカー
P-5000
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
POWER STANDARD ELECTRONICS INC
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
POWER STANDARD ELECTRONICS INC
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ANALOG　INPUT/OUTPUT
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
K-380-02
CH1,CH2のみDRVERあり
A30W
0010-20328
0010-21206
D299-857
HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE 344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER
IG　CONT
344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER
IG　CONT
CHAMBER INTERFACE BD
INTERFACEボード
INTERLOCK　SELECT　BD
INTERLOCKボード
MAINFRAME　INTERLOCK
INTERLOCKボード
LOADLOCK　INTERLOCKS
INTERLOCKボード
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLボード
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLボード
LAMBDA　LIS　7I-15
LAMBDA　LIS-3I-12
LAMBDA　LIS-7Ｉ-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LLC A,B
Wide
LLｶﾊﾞｰ
LLﾄﾞｱｶﾊﾞｰ
LL室ｽﾃｰｼﾞ
LL室ｽﾃｰｼﾞ
MDX-12I-650
MDX-6L
MDX-L12M
MDX-L12M
製造番号
製造年
備考
※部品
GRANVILLE　PHILLIPS
GRANVILLE　PHILLIPS
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
-
※2式
※2式
ADVANCED　ENERGY
27
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アルバックテクノ株式会社
RS09-1037
RS09-1270
RS09-1169
RS09-1218
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1219
RS09-1273
RS09-1274
RS09-1039
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
RS09-1054
RS09-1079
RS09-1059
RS09-1060
RS09-1061
RS09-1078
RS09-1055
RS09-1217
RS09-1268
RS09-1105
RS09-1188
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1032
RS09-1033
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1090
RS09-1176
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1040
RS09-1259
RS09-1101
RS09-1256
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1025
RS09-1026
RS09-1027
RS09-1288
RS09-1203
RS09-1280
RS09-1281
RS09-1073
RS09-1077
RS09-1241
RS09-1326
RS09-1046
RS09-1047
RS09-1057
RS09-1058
RS09-1074
RS09-1076
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1085
RS09-1232
RS09-1206
RS09-1233
RS09-1202
RS09-1192
RS09-1193
RS09-1195
RS09-1210
RS09-1204
RS09-1278
RS09-1283
RS09-1255
RS09-1242
RS09-1246
RS09-1226
RS09-1200
RS09-1282
RS09-1287
RS09-1236
RS09-1237
RS09-1239
RS09-1240
RS09-1080
RS09-1093
RS09-1482
MDX-L12M
MDX-L18M
MODULE MFG
O/D Body
O/D Body
O/D Body
O/D Lid
O/D Lid
O/D Lid
PC1　MATCH　ASSY
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
【お客様用】中古品在庫リスト
MDX-L12M
-
2014年2月20現在
ADVANCED　ENERGY
AMAT
0010-20441
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
PCB　ASSEMBLY　ENCODER　INTERFACE AMAT
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE　MONITOR AMAT
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE　MONITOR AMAT
PCB　ASSY　AI　MUX
AMAT
PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT AMAT
PCB　ASSY,ANALOG　INPUT
AMAT
PC-I
POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源 PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ
1783
AMAT
PVD Lid
STD Lid
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
0010-20764
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
0010-20764
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
AMAT
REDUCER BOX
AMAT
RELAY　CONTROL　BD AMAT
RELAYボード
RF MATCH PHASE IV
26295-01A
AMAT
RF MATCH PHASE IV
E01-027-03A
AMAT
RF　POWER　SOURCE
CPS-1001/13
AMAT
SBC
SBC　BOARD
602599
AMAT
SEI
Slit　Valve　Assy
AMAT
Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy
AMAT
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR OEM-12A-21041-51 ENI
STD Bode
STD Body
STD Lid
STD ﾋﾝｼﾞ
SUSCEPTOR　LIFT
AMAT
SUSCEPTOR　LIFT
AMAT
TC GAUGEボード
TC GAUGE BD
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH 0010-09019
AMAT
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ AMAT
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ AMAT
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ AMAT
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ AMAT
WAFER　LIFT
AMAT
WAFER　LIFT
AMAT
wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 AMAT
wASSY LAMP DRIVER,TESTED REP0190-09009 AMAT
WMAGNET DRIVE ASSY
AMAT
ISOLATION　AMPLIFTER BD ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ
ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
wide
INTERLOCK　SELECT　BD ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD
ｴｱｵﾍﾟ
ﾌｼﾞｷﾝ
ｵﾘｴﾝﾄﾃﾞｶﾞｽ
O/D
ｵﾘｴﾝﾄﾃﾞｶﾞｽ
O/D
ｶｾｯﾄ
ｶｾｯﾄ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAT
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｺﾝﾀｰｸﾀｲﾝﾀｰﾛｯｸ
SYS　RESET/INTLK　SEL　BD ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
ｼﾘｱﾙｱｲｿﾚｰｼｮﾝ
ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ
ｽﾘｯﾄAssy
ｽﾘｯﾄAssy
ｽﾘｯﾄAssy
CHAMBER INTERFACE BD ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
CHAMBER INTERFACE BD ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
CHAMBER INTERFACE BD ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
CHAMBER INTERFACE BD ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ
AMAT
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
AMAT
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
UDK514VN
ULVAC
15V　PWR　SUPPLY（CEN/END)
28
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アルバックテクノ株式会社
RS09-1485
RS09-1094
RS09-1081
RS09-1098
RS09-1099
RS09-1100
RS09-1197
RS09-1198
RS09-1271
RS09-1089
RS09-1109
RS09-1110
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1113
RS09-1114
RS09-1115
RS09-1116
RS09-1117
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1120
RS09-1121
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1124
RS09-1125
RS09-1126
RS09-1128
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1131
RS09-1132
RS09-1133
RS09-1134
RS09-1141
RS09-1137
RS09-1138
RS09-1139
RS09-1140
RS09-1142
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1145
RS09-1146
RS09-1096
RS09-1092
RS09-1221
RS09-1247
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1238
RS09-1087
RS09-1108
RS09-1201
RS09-1104
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD）
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾓﾆﾀｰ
ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ
ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口）
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ
ﾛﾎﾞｯﾄ
信号Cable
電源
【お客様用】中古品在庫リスト
UDK514VN
0040-06421
0040-06421
0040-06421
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
LOADLOCK　INTERLOCKS
0010-20000
2014年2月20現在
ULVAC
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
29
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<プラズマＣＶＤ装置部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
中古品番号
RS09-1315
RS09-1316
RS09-1317
RS09-1374
RS09-1329
RS09-1356
RS09-1312
RS09-1348
RS09-1349
RS09-1324
RS09-1351
RS09-1352
RS09-1330
RS09-1331
RS09-1376
RS09-1386
RS09-1388
RS09-1344
RS09-1345
RS09-1346
RS09-1347
RS09-1354
RS09-1355
RS09-1389
RS09-1328
RS09-1314
RS09-1357
RS09-1358
RS09-1321
RS09-1322
RS09-1353
RS09-1381
RS09-1382
RS09-1383
RS09-1384
RS09-1323
RS09-1369
RS09-1327
RS09-1320
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
RS09-1371
RS09-1350
RS09-1336
RS09-1337
RS09-1361
RS09-1375
RS09-1387
RS09-1377
RS09-1378
RS09-1379
RS09-1380
RS09-1359
RS09-1385
RS09-1367
RS09-1368
RS09-1313
RS09-1334
RS09-1335
RS09-1338
RS09-1339
RS09-1340
RS09-1341
RS09-1342
RS09-1343
RS13-2002
RS13-2003
RS09-1332
RS09-1333
RS09-1362
RS09-1363
RS09-1364
品名
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
3連ﾌｧﾝ
ASSEMBLY BEARING
ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS AC PWRCHO
ASSY RF MATCH BW ETCHBACK
BASE,RF
BRG LEADSCR&NUT ASSY .5DX.1LEADX4TRVLX
CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34 POS
CAP, BEARING, DXZ
CLAMP, ACME LEAD SCREW
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN PACKAGE
COAXIAL RESISTOR
ELECTROSTATIC CHUCK COVER
FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM
HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD
KIT, 6" MAINTENANCE ESC
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM NITRID
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB, 150MM
PROM KIT ASSY
SERIAL SIDE BOAD ASSY
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
VACUUM VALVE
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1
VGA VIDEO CONTROLLER BOAD
WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE, DXZ
ｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ
ｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ
ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ
ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ
ｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ（絶縁ﾘﾝｸﾞ？）
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛ
ﾏｽﾌﾛｰ
ﾏｽﾌﾛｰ電源
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
電磁弁
電磁弁
型式
0190-35413
0190-35413
FSCM-03522
0010-30583
0010-05256
0150-75202
0010-09490
0020-34131
3690-03269
0150-70018
0020-34726
0020-34727
3250-01007
3250-01007
8860
AMAT部品
0021-00042
0600-01011
0600-01011
0190-09533
0190-09533
0190-09533
0190-09533
3310-01074
0140-09551
0240-32135
0090-02980
0090-02980
0100-00084
0100-00084
0010-00084
0200-36629
0020-30570
0020-30570
0020-30570
0300-09055
0100-00165
0010-09019
BENKAN
3870-01455
3870-01455
3870-01245
0100-00793
0200-09969
IV-2410AV
IV-2410AV
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
IFGG7005M-C
AMAT部品
メーカー
0190-09663
AMAT部品
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
004101117E284119423
00310117E038119423
00410117E038119423
製造年
備考
大日本ｽｸﾘｰﾝ
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
00410117E326119423
製造番号
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
TERMALINE
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
VARIAN
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
NC
NC
ｽｴｼﾞﾛｯｸ
AMAT
AMAT
STEC
STEC
ﾌｼﾞｷﾝ
ﾍﾞｰｶﾝﾕｰﾃｨﾐｰ
AMAT
AISIN
DBM-P21（DBM-K4PC) AISIN
1159B-00020RU-S MKS
SEC-4400M
STEC
SEC-4400M
STEC
SEC-4400M
STEC
SEC-4400M
STEC
SEC-4400M
STEC
SEC-400MK3
STEC
PAC-3E
STEC
3155077-003A
AE
3155094-003A
AE
SS-BNVS1-AB NUPRO
AB31-2N-2-04A OKD
AB31-2N-2-04A OKD
DBM-P21（DBM-K4PC)
-
Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付
3系統ﾀｲﾌﾟ
30
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ドライエッチング装置>
中古品番号
型式
メーカー
製造番号
RS12-1304
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CE-300I
ULVAC
MA03-1008
RS12-2047
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1000
ULVAC
RE92-1023
RS10-2784
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
RS11-2399
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1210
ULVAC
RS13-2097
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-5500
ULVAC
RS12-1208
RS12-1312
☆
品名
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NLD-500
NLD-6000
ULVAC
ULVAC
製造年
2004年製
備考
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式
電源：Antenna 1kW 13.56MHｚ
排気系：TMP・DRP・APC
基板：φ 150mm　（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）
使用ｶﾞｽ：CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式
電源：500W 13.56MHｚ
排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
基板：φ 200mm　（平置き）
1983年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式
電源：500W 13.56MHｚ
排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
基板：φ 200mm　（平置き）
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式
電源：500W 13.56MHｚ
排気系：DP＋PMB＋RP
基板：φ 200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系統
MV02-5006-0
【CtoCﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　量産用　ISM方式
電源：Antenna 1kW 13.56MHｚ／BIAS 300W 12.5MHｚ
排気系：TMP・DRP・APC
基板：φ 50mm　（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）
使用ｶﾞｽ：CF４/Cｌ２/SF6/He/Ar/O2
MV03-1022
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）
電源：Antenna 1kW ／Bias 500W　13.56MHｚ
排気系：TMP・DRP・APC
基板：φ 150mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）
使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O2
2005年製
MV99-1003
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）
電源：Antenna 2kW ／Bias 1kW　13.56MHｚ
排気系：TMP・DRP・APC
基板：φ 100mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）
使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）
電源：Antenna 2kW ／Bias 1kW　13.56MHｚ
排気系：TMP・DRP・APC
基板：φ 150mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）
使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O2
RS09-2186
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NLD-800
ULVAC
MV97-1003
RS10-2789
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DEM-451
ANELVA
EVP-16956
1987年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式
基板：φ 150mm　平置き
RS11-2028
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
2000年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式
使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ　CHF3　C4F8　SF8
排気系：R/P×2台　TMP×1台
RS12-2072
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-10N
SAMCO
E9302147
1993年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式
電源故障・要修理
RS12-1311
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DES-320E
YAC
RS12-1386
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
VPE-4F
ｻﾑｺ
RS10-2182
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CDE-80N
芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ WFX0013
RS13-3128-0A ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DEA-506
ANELVA
EVP-26588
FT1410GA
ULVAC
Takaoka
2004ＡＡ003634-101
RS12-1029
RS12-1030
ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
蛍光温度計
【枚葉式】　生産向け　RIE方式
基板：φ 4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室
28A2081
ＴＡ01140075
31
2006年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　卓上簡易式　XeF2用
犠牲層ｴｯﾁﾝｸﾞ（非ﾌﾟﾗｽﾞﾏ雰囲気）
【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式
電源：ﾏｲｸﾛ波 2. 45GHz　1 kW
基板：φ 200mm　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
2001年製
2001年製
NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
NE-5500付属品。ｹｰﾌﾞﾙ無し。測定部分無し。
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<イオン注入装置>
中古品番号
RS07-2983
品名
ｲｵﾝ注入装置
型式
IMX-3500
メーカー
ULVAC
製造番号
製造年
備考
中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV)
基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更可能）
MI98-0001
<イオン注入装置部品>
中古品番号
RS04-8081
RS04-8084
RS04-8092
RS04-8021
RS04-8087
RS04-8022
RS04-8088
RS04-8023
RS04-8089
RS04-8025
RS04-8091
RS04-8026
RS04-8027
RS04-8093
RS04-8034
RS04-8071
品名
ACCEL/DECEL　P/S
ARC/FIL　P/S
CPU　BOX
ＨＶ　P/S
ＨＶ P/S
HV　P/S（DEC　P/S）
ＨＶ P/S(DEC　P/S）
HV　P/S(EXT　P/S)
HV　P/S(EXT　P/S)
Q-LENS　P/S
Q-LENS　P/S
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｺｯｸﾛﾌﾄ
ｻﾌﾞﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源
型式
メーカー
MDL-2/10
製造番号
製造年
52609
110838
Ｖｅｒ.5　TAP80V/変圧器150V用
備考
ｲｵﾝｿｰｽ部
ｲｵﾝｿｰｽ部
60055
ﾌﾞﾗｳﾝ管ﾓﾆﾀｰ
PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂
高圧電源（180ｋV）
PS/UL180P5X1222 GLASSMAN/高砂 880258
PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA）
高圧電源（180ｋV）
M669040-01C　V　930630
ﾃﾞｨｾﾙ電源
S/N:99993103
ﾃﾞｨｾﾙ電源
PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA）
GLASSMAN/高砂
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
GLASSMAN/高砂 M674070-01DW930922
PS/UL-3517G1254(-35kV/17mA）
GLASSMAN/高砂
引出電源（30ｋV）
S/N:2900392
引出電源（30ｋV）
PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂
PS/UL-15-2G1255 GLASSMAN/高砂 S/N:2930099
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
CPU　BOX
DOSE　DISPLEY
DOSE　DISPLEY
-
演算制御部
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
演算制御部
60055
演算制御部
高圧電圧昇圧
ULVAC
IDZ-8000用　動作い確認
<その他真空装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS10-2602
誘導加熱式真空高温炉
FHT-75S
ULVAC
MF99-1131
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
ULVAC
ZF93-5301
RS13-2201-0A 凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
ULVAC
RS12-2056
赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱装置
RTA-6000
ｱﾙﾊﾞｯｸ理工
RS12-1044
真空ｱﾆｰﾙ炉
TYPE　BH
ｱﾕﾐ工業
RS13-1010
分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置
-
Eico
製造年
備考
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用
金属焼結等　（MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値）
排気系：RP＋PMB
1994年製
棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、
乾燥時加熱温度：常温～８０℃（打点記録計は故障中）
【円筒形棚段式前面扉開閉式】
棚面積：０．９m2
棚冷却到達温度：約－４５℃以下
棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃
MF99-5104
2010年製
【C to C】　大気ﾛﾎﾞｯﾄ搬送　量産用
加熱室：赤外線ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉（2式）
加熱温度　800℃（MAX 1000℃）　φ 100in基板用
ｶﾞｽ系　O2　N2　ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ付属
VF01-16
2002年製
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用
排気系：CRYO PumP ＋ RP
-
2009年製
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
<その他加熱装置>
中古品番号
RS12-1316
RS12-1315
RS12-1338
RS12-1339
RS12-1320
RS12-1373
品名
1連式横型管状炉
3連式横型管状炉
ﾍﾞｰｸ炉
ﾍﾞｰｸ炉
縦型ﾁｭｰﾌﾞ電気炉
電気炉
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
A-T-H
A-T-H
各種
ﾉﾘﾀｹ
ﾉﾘﾀｹ
ﾔﾏﾄ
φ 4ｲﾝﾁ　～1300℃
VF-2000
KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑ
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ ４X36枚　～1200℃
φ 4ｲﾝﾁ　～1250℃
□350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
<ＵＶ装置>
中古品番号
RS12-1379
品名
UV照射装置
型式
UV-1F
メーカー
ｻﾑｺ
製造番号
24A1643
製造年
備考
2003年製
<ディスペンサー装置>
中古品番号
品名
RS11-2027
ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
MS-1
メーカー
武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
製造番号
1M010002412
製造年
2010年製
備考
15時間程度使用後、保管状態。
<アライナー>
中古品番号
RS12-2087
RS10-2788
RS11-1245
品名
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置
型式
MPA-600Super
PLA-501
ELS7500EX
メーカー
CANON
CANON
ｴﾘｵﾆｸｽ
製造番号
UM031046
91092827
H35-019
32
製造年
備考
2004年製
1991年製
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<その他装置>
中古品番号
☆
☆
RS11-2213
RS12-1376
RS09-1021
RS12-1392
RS13-3130-0A
RS12-1310
RS12-2065
RS09-1394
RS12-1378
RS12-1317
RS12-1368
RS12-1389
RS13-3121-0A
RS13-3019
RS12-1375
RS12-1385
RS11-1036
品名
コータ－･デベロッパ
CMP
SOGｺｰﾀｰ
ｳｪﾊ洗浄装置
ごみ検査装置
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
ｽﾌﾟﾚｰ洗浄機
超臨界乾燥装置
ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置
ﾃﾞｼｹｰﾀｰ
型式
メーカー
Ｍａｒｋ-Ⅴｚ　SPP600S
TMR6100
EVG301
WM-1700
TEL
ST-270
ｾﾐﾂｰﾙ
製造番号
616540
岡本工作機械 7039
東京応化
EVGｼﾞｬﾊﾟﾝ S050012
TOPCON
207013
製造年
備考
1999年製
2005
U/A
※6ｲﾝﾁ仕様
SST-F-221-280KF SEMI-TOOL F123982
1998年製
2008年製
SCRD4
ETN-1100-110
ﾚｸﾞｻﾞﾑ
ETS
3.011
H9903-0437
凍結割断ﾚﾌﾟﾘｶ作製装置
JFD-310
日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ
JK121026-129
2002年製
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製
装置
ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置
ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ
ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫
卓上型現象装置
両面ｽｸﾗﾊﾞｰ
EVG620
EVG
S020115
2003年製
装置停止時期：2013/12/初旬
仕様書・取説あり。
2槽式(ﾌｯ素・水）
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ -
取説あり。
U/N
SANYO
ﾐｶｻ
SS-W60A-AR
大日本ｽｸﾘｰﾝ 55700-6949
2006年製
装置検品済みで状態問題なし。
<顕微鏡>
中古品番号
品名
型式
RS09-1400
RS12-1413
MM07ﾛｰﾀﾞ
ｵｰﾄﾌｧｲﾝｺｰﾀｰ
WL-300-Mac/Mic-AT
RS12-1414
RS12-1412
RS12-1323
RS13-3125-0A
RS13-3126-0A
RS12-1341
RS11-2380
RS11-2381
RS11-2382
RS09-1406
RS12-1345
RS12-1347
RS12-1322
RS09-1401
メーカー
製造番号
製造年
備考
JFC-1600
伊藤忠
日本電子
SM78250082
非導電性試料へ金属ｺｰﾃｨﾝｸﾞをするｲｵﾝｽﾊﾟｯﾀ装置
ｸﾛｽｾｸｼｮﾝﾎﾟﾘｼｬｰ
SM-09010
日本電子
SM39050050
ｲｵﾝﾋﾞｰﾑと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する
断面試料作製装置
電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-7500FA
日本電子
SM17500037
程度良好・動作確認済み。　取説あり。
付属品：透過電子検出器（74240RTED)・冷却水循環装置
（78130CWC)・ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ電源（UPS7.5KVA)・ﾊﾞｯｸｱﾌﾟ電源（UPS1.2KVA)
ﾓﾆﾀｰ付顕微鏡
簡易測定顕微鏡
簡易測定顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
顕微鏡
L-200N
ﾒｼﾞｬｰNAVI
ﾒｼﾞｬｰNAVI
AVT-45NC
NIKON
中央精機
中央精機
明立精機
BH2MJLA-10+AL-1MBL ｵﾘﾝﾊﾟｽ
BH2MJLA-10+AL-1MBL ｵﾘﾝﾊﾟｽ
BH2MJLA-10+AL-1MBL ｵﾘﾝﾊﾟｽ
ERGOLUX
ﾗｲｶ
MM-22
NIKON
OPTIPHOTO-150SNIKON
S-3000H
HITACHI
WL-300-Mac/Mic-AT 伊藤忠
ＭＭ０７　顕微鏡用
421174
GDA0110
GDA0112
2011年製
2001年製
2001年製
ECLIPSE
取説あり。
通電確認済み。
取説あり。
通電確認済み。
汎用顕微鏡
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
10031
9102843
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
電子顕微鏡（ＳＥＭ）
MM07
<その他計測器>
中古品番号
☆
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-1040-0A 飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置 TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式）
ｱﾙﾊﾞｯｸﾌｧｲ RS12-1374
FTIR
IRP　restige-21
島津製作所
FT-IR
psﾒｰﾀｰ
X線解析装置
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置
ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB)
ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ
気中ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀｰ
気中ﾊﾟｰﾃｨｸﾙｶｳﾝﾀｰ
全自動4探針装置
熱分析装置
非接触三次元測定装置
微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置
Nicolet4700
VR-120
X　ｐｅｒｔ　MRD
SS-7602(20Mｈｚ）
SS-7602（20Mhz)
NM-0402
SMI3050
Thermo
国際電気
Panalytical
IWATSU
IWATSU
明昌機工
SII
TS3700
TS3700
WS-8800
TG8120
NAFS3070P
-
日立計測ｻｰﾋﾞｽ
RS12-2062
魔境検査装置
MSI-110
ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ M-002
RS13-3020
両面位置ｽﾞﾚ測定装置
DCM60
ﾕﾆｵﾝ光学
RS12-1404
RS10-2179
RS12-2022
RS04-8096-0A
RS04-8097-0A
RS12-1387
RS12-1384
RS12-1369
RS09-1398
RS09-1399
RS12-2067
RS12-1408
RS12-1411
RS12-1410
製造年
1997年製
2004年製
AFZ0400155
52061-003
DY2576
52277869
52277872
備考
2014/1/末まで通電・使用。
欠品・不具合なし。
フーリエ変換型赤外分光光度計
別途PCあり
フーリエ変換型赤外分光光度計
付属品：電源ケーブルのみ
通電確認したところ異常なし
2001年製
状態良好。
11.100.367.000.007 2006年製
ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定
897834
日立計測ｻｰﾋﾞｽ 907939
ﾅﾌﾟｿﾝ
U/A
ﾘｶﾞｸ
ZT006809
日本技術ｾﾝﾀｰ
17591007
溝尻工学
ｼﾘｱﾙ無し
2012年製
購入後未開封で未使用の装置
2007年製
2003年製
魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えな
い凹凸を濃淡画面で表示する。
-
33
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2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ガス制御>
中古品番号
品名
型式
RS13-3013-0A
RS12-1361
RS12-1362
RS12-1363
RS12-1364
RS12-1365
RS12-1366
ｶﾞｽ処理設備一式
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
-
RS12-1033
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770AC
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ
除害装置
除害装置
除害装置
電磁弁ﾕﾆｯﾄ
FC780C
FC780C
FC780C
RS09-1028
RS09-1029
RS09-1038
RS11-2177
RS11-1168
RS11-2086
RS11-2087
RS11-2092
RS11-2093
RS11-2178
RS11-2179
RS11-2182
RS11-1166
RS11-1167
RS09-2672
RS11-2180-0A
RS11-2175
RS11-2176
RS11-2160
RS09-1304
RS11-2083
RS12-1370
RS12-1371
RS12-1372
RS11-2118
メーカー
製造番号
製造年
備考
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ -
IUCHI
IUCHI
IUCHI
IUCHI
IUCHI
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ180０H)
（1200Wｘ650Dｘ1800）
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H）
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
Aere
Aere
Aere
Aera
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-4400M
STEC
SEC-4400M（MK3) SMC
SEC-4400M（MK3) SMC
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-4400M（MK3) STEC
SEC-E440J
STEC
SEC-E440J
STEC
SEC-F740MCA1 STEC
SEC-4400M（MK3) STEC
PAC-3HS-01
STEC
PAC-3HS-01
STEC
PAC-3HS-01
STEC
PS-74DA
ｱｴﾗ
W3000
CKD
SQｼﾘｰｽﾞ
SMC
291502488
3424592121
291502493
291502489
3458018281
3422582475
291502487
291502492
291502490
3430014434
3463572997
2451023
291502486
4168320105
4168320143
4168320104
2001年製
ｹｰﾌﾞﾙ無し。電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4
50sccm(S/N:26F0358)、Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、O2
50sccm(S/N:26F0275)
2001年製
Ar 200sccm　VCR継手
CH4 10sccm　VCR継手
2001年製
2001年製
2007年製
2007年製
2001年製
2001年製
2001年製
O2 10sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 500sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
O2 5sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Co 10sccm　VCR継手
H2 10sccm　VCR継手
Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin Valve付
2001年製
2001年製
1808
ｼﾘｱﾙ無し
<搬送ロボット>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS09-2604
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
31RU8141-002-001 RORZE
RS11-2496
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ｱﾙﾌｧｰｽⅡ
ULVAC
RS09-2670
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
KEYTRANⅢ
ULVAC
-
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
RS11-1254
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ULSTA-2400
ULVAC
WD05-1001
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 SMD-2400 搭載 大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｽﾄ運転済
RS08-8028
RS10-8028
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
MAG６
MＡＧ７
ｂｒｏｏｋｓ
ｂｒｏｏｋｓ
9911-10601
型003-1600-11
RS08-8038
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
SPR-301-X501
ﾀﾞｲﾍﾝ
X1501Y3994301
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 SME-200 搭載 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
RS08-8026
RS10-8031
RS10-8029
RS10-8030
RS10-2672
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
UT0150
UT0150
UTMF5000
MECS
MECS
ASYST
UTV-UTV-F2620W ASYST
ＫＥＹＴＲＡＮ用
ULVAC
Mag7用
ｂｒｏｏｋｓ
Mag7用
ｂｒｏｏｋｓ
SPR-801-X0980 ﾀﾞｲﾍﾝ
1994年製
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
製造番号未確認
3軸
3軸
A06260950-1
502000000159
R11862-717-01
HH135074
9911-10602
X0538Y3742701B
JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用
型式001-1984-07
型式002-0015-50
<電気制御系>
中古品番号
RS04-8056
RS04-8014
RS04-8080
RS04-8012
RS04-8013
RS11-2117
RS11-8036
RS04-8053
RS04-8054
品名
ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ
ﾊﾟｿｺﾝ
ﾊﾟｿｺﾝ
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
PC9801Sの付属品
CYCMAC　C1000H ｵﾑﾛﾝ
CYCMAC　C1000H ｵﾑﾛﾝ
ＣＹＣＭＡＣ　C500-PS221
CYCMAC　C500-PS222
三菱Qｼﾘｰｽﾞ
GP2600-TC11
PC9801S
PC9801S
ｵﾑﾛﾝ
ｵﾑﾛﾝ
三菱
Pro-face
NEC
NEC
901090
053930J007499
S369148CA
S369146CA
34
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アルバックテクノ株式会社
2014年2月20現在
【お客様用】中古品在庫リスト
<ユーティリティー設備>
中古品番号
RS12-1350
RS12-1351
RS12-1352
RS12-1353
RS12-1354
RS12-1355
RS11-3162
RS08-2013
RS10-2799
RS10-2800
RS10-2801
RS10-2802
RS10-2803
RS12-1049
RS13-2095
RS13-2096
RS12-1324
RS12-1048
品名
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
超純水製造装置
型式
メーカー
明立精機
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
RKS-400V-A
ORION
CH-5500WS
ﾀｲﾃｯｸ
CS1500NR
ﾘｯｼｰ
CS1500NR-B
ﾘｯｼｰ
MMR-101
ﾘｯｼｰ
MMR-101
ﾘｯｼｰ
MMR-101
ﾘｯｼｰ
SCS-3WAT
ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ
RKE-5500A-VW ORION
RKE-5500A-VW ORION
各種
ﾘｯｼｰ
PURIC-MXⅡ-LS ｵﾙｶﾞﾉ㈱
製造番号
製造年
備考
2503011
9607002
9803021
0707467
0708575
0707466
9904132
2004年製
601003
602031
仕様書・取説・図面無し
仕様書・取説・図面無し
CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台
MLD2173321
35
2004年製
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