小形流量センサラピフローFSMシリーズ

超小形サイズで、高速応答
小形流量センサ
ラピフローⓇFSMシリーズ
SMALL SIZE FLOW SENSOR RAPIFLOWⓇ FSM SERIES
CC-687 10
超小形＆ハイレスポンス。
さまざまな用途に応える小形流量センサ3シリーズ。
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ、
新提案の整流機構により、従来にないコンパクト・高速応答を実現。
測定部直近の可動部先端への取付が可能となり、システムとしての
電子部品の吸着確認や漏れ検査などに活用できる熱式流量センサ・ラピフローⓇ
超小形・軽量・高速応答
流量スイッチ
センサヘッドを分離することにより
超小型化を実現。
従来体積比52％減、軽量4ｇ
最薄8mmを実現しました。
流量レンジ
±0.5、±1、±5、±10、 0.5、1、5、10ℓ/min
超小形・超高速応答
流量センサ
常識破りの驚異的小形化と、
5msの高速応答が、
あきらめていた
設計を可能にします。
流量レンジ
±0.05、±0.1、±0.５、
±1、±5、±10ℓ/min
表示器/FSM‐V‐D
□30×32
センサヘッド単品対応
超小形・軽量
狭いスペースの中や、可動部に設置でき、
設備の小形化、軽量化に貢献します。
従来品との体積比
（FSM-X）
お客様の装置において、測定部の近くで
検出することによりタクトタイムの向上
に貢献します。
高速応答
シリコンマイクロマシニングを応用し
た、白金センサチップの採用で、高速応答
を実現。実装機の吸着確認等、タクトタ
イムの短い装置に適用できます。
FSM-X、FSM－V
FSM-V・FSM-X
FSM-H
センサヘッド単品
5msec
FSM-H
流路ブロック付
50msec
真空でも使える
自由な取り付け姿勢
以下
FSM-X（±10、10L/minタイプ）
8msec
以下
以下
（FSM-X、FSM-V）
上下左右どの方向にも取り付けることが
できます。
正・負圧両用タイプ
実装機の吸着確認等、真空用途でも使用
できます。
●表示器/FSM‐H‐D
□30×32
流量の管理可能
（FSM-V、FSM-H）
●流量表示部（テジタル3桁）
出力方式には、アナログ出力タイプと、
目視＆スイッチで異常を検知できる
デジタル表示＆スイッチ出力タイプを用意。
用途により選べます。
●スイッチ出力
（アラーム）ランブ
小形・高速・微少流量
●取付け2方向（側面、底面）
1mℓ/min以下の微少流量を高速検知。
漏れ検査・ピンホール検査に最適。
流量レンジ
5、10、50、100mℓ/min
豊富なバリエーション
シリーズ
サイズ
応答速度
表示器
超小型・軽量　瞬時応答
小型・軽量　高速応答
分離型
瞬時応答
分離型
超小形・軽量
材質
出力方式
ボディ材質
一体型
双方向検知
流量レンジ
アナログ
出力
双方向検知
低流量タイプ
双方向検知
微少流量タイプ
ボディ材質
スイッチ
出力
アナログ
出力
ボディ材質
スイッチ
出力
アナログ
出力
ページ
低流量タイプ
技術資料
分離表示器
ラピフロー専用超小形インラインフィルタを用意
センサ性能を維持しトラブルを未然防止。
用途例・シリーズ体系は次ページへ
ラピフロー用途例
多様な分野で活躍
ラピフローは機械、自動車、計測器、精密機器等の分野、半導体、バイオ等の先端分野、
医療、食品分野など多様な用途で利用が可能です。
■適用流体
（注）
（注）
食品・医療
（注）Ar、CO2はFSM2シリーズにて対応
検査のタクトタイムを短縮できます。
（容器充填後すぐに測定できます）
微圧の場合でもピンホールに比例した出力が出るため、
良否判定、状態確認に使用できます。
■センサー用途
各種漏れ検査
ピンホール検査
イオナイザのパージガス確認
溶接ガス管理
パージガスの流量管理
着座確認
吸着確認
液　晶
各種漏れ検査
イオナイザのパージガス確認
豊富な流量レンジで対応。
インラインスピコン付（特別注文品）は簡易的な
流量コントロールができます。
自動車,他
溶接用アルゴン、炭酸ガスの流量管理
豊富な流量レンジで対応。
レーザー発振器、半導体製造装置での
Ｎ2ガス管理。
半導体
パージガスの流量管理
パージガスの管理は装置の性能維持に不可欠。
超小形ですから装置内蔵が容易です。
機械製造
着座確認
圧力センサでは差力が小さく判別できないものも、
流量の有無により確実に判別できます。
電子部品
吸着確認
①圧力センサと変わらぬ高速応答（応答は配管の内容積、圧力等で決まります）
②流量検出のため、圧力の変動による調整、誤検出がなくなります。
③ノズルやフィルタの目詰まり検出ができます。
④流量検出により、斜め吸着等の吸着ミスを管理できます。
圧力センサとの比較（ノズル径：φ0.3、真空圧力： -70kPaの時）
■ラピフロー（FSM-N-010使用時）
（mℓ/min）
流量差：830mℓ/min
830
■圧力センサ
（kPa）
圧力差：2kPa
70
はっきり分かる!
0
吸着
0
吸着
ラピフローシリーズ体系
超小形・超高速応答
微小流量
デ
接
センサヘッド単品（継手なし） ●
φ1.8　エアファイバ
φ4　ワンタッチ
●
φ6　ワンタッチ
M5
●
Rc１/８
Rc１/４
G１/８
材
続
口
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
ル
ス
ケ
ー
FSM-H-A-100ML
FSM-H-A-050ML
FSM-H-A-010ML
示
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
径
●
ル
流
量
●
mℓ/min
●
●
●
●
●
●
●
●
ℓ/min
●
●
●
●
精度（直線性）%F.S.
●
●
●
●
●
ノンリニア
MPa
負圧
使用圧力範囲
±５％
正圧
±３％
負圧
正圧
負圧
正圧
‐0.09
0.2
‐0.09
1.0
負圧正圧
‐0.09
0～＋FULL
アナログ出力
（1～5Ｖ）
5V
1V
0
注1：ARタイプのみ対応となります。
FULL流量
+0.2
－FULL～＋FULL
5V
5V
3V
3V
1V
－FULL流量
5V
1V
FULL流量
-FULL
0
+FULL
型
表
質
●
●
フ
5
10
50
100
500
1
5
10
20
50
100
ィ
●
離
FSM-H-N/P-100ML
●
FSM-V-N/P-R1000
●
FSM-V-N/P-R0500
FSM-X-AR050*
●
FSM-V-N/P-R0100
FSM-X-AR010*
●
FSM-V- N/P-R0050
FSM-X-AR005*
●
FSM-V-N/P-R0010
FSM-X-AF100*
●
FSM-V-N/P-R0005
FSM-X-AF050*
●
ボ
樹脂ボディ
ステンレスボディ
アルミボディ
FSM-X-AR100*
FSM-X-AF010*
項目
FSM-X-AF005*
プ
分
FSM-H-N/P-050ML
イ
表
示
FSM-H-N/P-010ML
タ
FSM-V-A-R1000
力
FSM-V-A-R0500
出
FSM-V-A-R0100
グ
FSM-V-A-R0050
ロ
スイッチ出力タイプ
流路ブロック
FSM-V-A-R0005
FSM-X-AR100
FSM-X-AR050
FSM-X-AR010
FSM-X-AR005
FSM-X-AF100
FSM-X-AF050
FSM-X-AF010
FSM-X-AF005
ナ
FSM-V-A-R0010
ア
H
FSM-H-A-005ML
センサヘッド単品
ア
ナ
ロ
グ
出
力
タ
イ
プ
FSM-H-N/P-005ML
超小形・超高速応答
1V
0
FS流量
一
体
型
超小形流量スイッチ
ラピフロー
FSM-X Series
（空気・窒素ガス用）
● 流量範囲：±0.5、±1、±5、±10、0～0.5、0～1、
0～5、0～10ℓ/min
仕様
形番
アナログ出力タイプ
FSM-XAR005
項目
流量レンジ（ℓ/min）（注1）
−0.5〜＋0.5 −1〜＋1
適用流体（注2）
FSM-XAR050
FSM-XAR100
FSM-XAF005
FSM-XAF010
FSM-XAF050
FSM-XAF100
0～0.5
0～1
0～5
0～10
−5〜＋5 −10〜＋10
清浄空気（JIS B 8392-１：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1～1.6.2）、窒素
使用条件
最高使用圧力
MPa
0.2
最低使用圧力
MPa
−0.09
耐圧力
MPa
0.3
周囲温度・湿度
℃
0～50、80%RH以下
使用流体温度
℃
0～50（結露なきこと）
保存周囲温度
℃
出力
精度（注
直線性
圧力特性
）
再現性（くり返し性）（注5）
片方向タイプ：±10%F.S.以下（−0.09～0.2MPa、0.1MPa基準）
双方向タイプ：±0.3%F.S.／℃以下（0～50℃、25℃基準）
片方向タイプ：±0.6%F.S.／℃以下（0～50℃、25℃基準）
±2％F.S.以下
5ms以下（10ℓ/minは8ms以下）
外部漏れ（注7）
1mℓ/min以下（センサヘッド単品）、2mℓ/min（流路ブロック付）
消費電流（注8）
30mA以下
電源電圧
DC24V（DC21.6～26.4V）リップル1%以下
適合コネクタ
電源電圧変動
±2%F.S.以下（21.6～26.4V）
リード線
φ2.9mm 3芯（φ0.38mm 絶縁体外径φ0.8mm）
ハウジング
コネクタピン
取付姿勢
導入直管部
SM03B-SRSS-TB（JST製）、ロック機構無し
SHR-03V-S（JST製）
SSH-003T-P0.2-H（JST製）
縦・横自在
不要
耐振動
10〜150Hz、複振幅1.5mm、最大10G、XYZ各方向2時間
EMC指令
EN61000-6-4、EN61000-6-2
無記号
質量
双方向タイプ：±5%F.S.以下（−0.09～0.2MPa、0.1MPa基準）
応答時間（注6）
コネクタ製品側
取付
−20～60（結露なきこと）
アナログ出力１点（1-5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注3
ノンリニア特性
4 温度特性
1
FSM-XAR010
約4（ケーブルは含みません）
g H04
約17（ケーブルは含みません）
M05
約17（ケーブルは含みません）
FSM-X Series
仕様
注1：20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算した流量。
注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない空気をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）等級 1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。
コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれています。本製品の機能を維持するために本製品の一次側（上流）にフィ
ルタ、エアードライヤ及びオイルミストフィルタを取付けて使用ください。
本製品を吸着確認でご使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノズルと本製品との間に必ずエアフィルタを取り付けてください。
元圧
エアー
ドライヤ
フィルタ
レギュレータ
オイルミスト
流量センサ
フィルタ
FSM-Xシリーズ
（マイクロエレッサ）
注3：本製品の流量出力は流量の絶対値を示すものではありません。
※接続負荷について
アナログ出力部の出力インピーダンスは1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値の誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダン
スでの誤差を確認の上ご使用ください。
■ 計算例
・FSM-Xの出力インピーダンス Ro=1kΩ
・負荷内部インピーダンス Rx=1MΩ
・出力値＝（1-Ro／(Ro+Rx)）×100%＝（1-（1kΩ／(1kΩ+1MΩ)）×100%
⇒出力値の誤差＝約0.1%
※配線抵抗について
本製品は、コネクタ部における電圧となります。オプションケーブル（FSM-X-C33）をご使用の場合、ケーブルの配線抵抗（0.23Ω/m以下）により
電圧が変化しますので、ご注意ください。
■ 計算例
・オプションケーブル（FSM-X-C33）（3m）の配線抵抗：0.23Ω/m×3m＝0.69Ω
・電源－線に発生する電圧＝製品消費電流（＝30mA）×配線抵抗0.69Ω＝約0.02V
・出力値の誤差＝0.02V／4V（フルスケール）＝0.5%F.S.
注4：本センサの校正は、片方向タイプアナログ出力1～5V、双方向タイプアナログ出力3～5Vで行います。
精度条件：温度25±3℃、電源電圧DC24±0.01V
F.S.とはアナログ出力1～5Vとして定義します。
注5：流量ON時、0.5msのサンプリング周期で20秒間取り込んだデータの平均値を1回の測定値とし、流量ON－OFF連続10回の繰り返し性とします。
経時変化は含みません。
注6：流量検出後、出力がフルスケール流量の80%に到達するまでの時間です。配管条件により応答時間は変化します。
注7：25℃±3℃の環境下で、0.2MPaの内部加圧した時の値です。初期の値であり、経時変化は含みません。
注8：DC24V接続、負荷未接続の電流です。負荷の接続状態などによって消費電流が変わりますのでご注意ください。
2
FSM-X Series
形番表示方法
● 本体
FSM-X
A F 005
H04
3
記号
機種形番
イ
イ
出力タイプ
ロ
A
ロ
流れ方向
ハ
ハ
流量レンジ
ニ
継手種類
ホ
ケーブル
FSM-X
C33
ケーブル
C33
3
コネクタ付ケーブル（3芯、3ｍ）
アナログ出力
流れ方向
F
片方向
R
双方向
流量レンジ
005
フルスケール：0.5ℓ/min
010
フルスケール：1ℓ/min
050
フルスケール：5ℓ/min
100
フルスケール：10ℓ/min
ニ
継手種類
無記号センサヘッド単品(継手なし)
H04
流路ブロック(φ4mmワンタッチ継手)付
M05
流路ブロック(M5)付
ホ
ケーブル
無記号ケーブルなし
3
● オプション
内容
出力タイプ
コネクタ付ケーブル(3芯、3ｍ）
FSM-X Series
外形寸法図
外形寸法図
● センサヘッド単品
6
4.5
8
27±0.1
FSM-X
2-φ2.3貫通（M2ネジ用）
31.4
コネクタ
SM03B-SRSS-TB（JST製）
26 +0.2
0
22.4
4
15
2-1.5±0.1
MADE IN JAPAN
φ
21貫
通
ガスケット
（取付添付）
流体入口（順方向時）
● 流路ブロック付
・φ4ワンタッチ継手付
流体出口（順方向時）
・M5付
46.4
49.4
31.4
31.4
5
24.9
8.3
13.9
2-M5
5
1.6
13.9
24.9
2-φ4カートリッジ継手
2-φ2貫通
14.8
8.3
14.8
10
10
＋４０
3000 ０
3-φ0.6以下（導体部外形）
● オプションケーブル
25±3
(45)
熱収縮チューブ
半田仕上げ
3
リード線 AWG#28
ハウジング
SHR-03V-S（JST製）
コンタクト
SSH-003T-P0.2-H（JST製）
φ2.9以下
1
7
3～6
（半田上げ代）
ピンNo. 線色
信号の種類
1
茶
電源＋ DC24V
2
青
電源－GND
3
黒アナログ出力（１～５Ｖ）
4
FSM-X Series
アナログ出力特性（参考値）
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AR005
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AF005
5.5
5.5
5.0
5.0
4.5
4.0
出力電圧(V)
出力電圧(V)
4.5
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
0
0.1
0.2
0.3
流量(ℓ/min)
0.4
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
－0.5 －0.4 －0.3 －0.2 －0.1 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5
流量(ℓ/min)
1.0
0.5
4.0
3.5
0.5
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AR010
5.5
5.5
5.0
5.0
4.5
4.5
4.0
4.0
出力電圧(V)
出力電圧(V)
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AF010
3.5
3.0
2.5
2.0
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.5
1.0
1.0
0.5
0
0.2
0.4
0.6
流量(ℓ/min)
0.8
0.5
－1 －0.8 －0.6 －0.4 －0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8
流量(ℓ/min)
1
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AR050
5.5
5.5
5.0
5.0
4.5
4.5
4.0
4.0
出力電圧(V)
出力電圧(V)
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AF050
3.5
3.0
2.5
2.0
3.5
3.0
2.5
2.0
1.5
1.5
1.0
1.0
0.5
0
1
2
3
流量(ℓ/min)
4
0.5
－5 －4 －3 －2 －1 0
1
流量(ℓ/min)
5
5.5
5.5
5.0
5.0
4.5
4.5
4.0
4.0
3.5
3.0
2.5
2.0
4
6
8
10
2.0
1.0
8
10
※使用圧力や配管条件などにより出力電圧が変化する場合があります。
5
5
2.5
1.5
4
6
流量(ℓ/min)
4
3.0
1.0
2
3
3.5
1.5
0
2
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AR010
出力電圧(V)
出力電圧(V)
流量-出力特性（代表値）
FSM-X-AF100
0.5
1
0.5
－10 －8 －6 －4 －2
0
2
流量(ℓ/min)
FSM-X Series
圧力損失特性
圧力損失特性
● FSM-AF005-H04
● FSM-AF010-H04
0.8
0.25
0.7
0.20
−0.09MPa
0.15
0.1MPa
0.10
圧力損失(kPa)
圧力損失(kPa)
0.6
0.2MPa
0.05
−0.09MPa
0.5
0.4
0.3
0.1MPa
0.2
0.2MPa
0.1
0.00
0.0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.0
0.5
0.0
流量(ℓ/min)
0.4
0.6
0.8
1.0
流量(ℓ/min)
● FSM-AF050-H04
● FSM-AF100-H04
20
5.0
18
4.5
−0.09MPa
4.0
−0.09MPa
16
14
3.0
2.5
0.1MPa
2.0
1.5
0.2MPa
圧力損失(kPa)
3.5
圧力損失(kPa)
0.2
12
10
8
6
1.0
4
0.5
2
0.0
0
0
1
2
3
4
0.1MPa
0.2MPa
0
5
2
流量(ℓ/min)
4
6
8
10
流量(ℓ/min)
※配管条件により圧力損失が大きくなる場合があります。
内部回路および負荷接続例
● FSM-X（アナログ出力）
茶
主回路
1kΩ
＋
黒
－
負荷
青
線色
内容
茶
電源DC24V
青
0V（GND）
黒
アナログ出力（1～5V）
接続負荷インピーダンス50kΩ以上
6
超小形流量センサ
ラピフロー
アナログ出力タイプ／スイッチ出力タイプ
FSM-V Series
（空気・窒素ガス用）
● 流量範囲：±0.05、±0.1、±0.5、±1、±5、±10ℓ/min
センサ本体仕様
形番
アナログ出力タイプ
スイッチ出力タイプ
FSM-V-A FSM-V-A FSM-V-A FSM-V-A FSM-V-A FSM-V-A FSM-V-N／P FSM-V-N／P FSM-V-N／P FSM-V-N／P FSM-V-N／P FSM-V-N／P
-R0005 -R0010 -R0050 -R0100 -R0500 -R1000 -R0005 -R0010 -R0050 -R0100 -R0500 -R1000
項目
流量レンジ（ℓ/min）注7 −0.05〜＋0.05 −0.1〜＋0.1 −0.5〜＋0.5 −1〜＋1 −5〜＋5 −10〜＋10 −0.05〜＋0.05 −0.1〜＋0.1 −0.5〜＋0.5 −1〜＋1 −5〜＋5 −10〜＋10
（参考）吸脱着用途の適用ノズル
φ0.1ノズル
コレットノズル
φ0.1ノズル
使用条件
最高使用圧力MPa
0.2
最低使用圧力MPa
−0.09
耐圧力
MPa
周囲温度・湿度
℃
使用流体温度
℃
0.3
0〜50
電源表示（緑色）
アナログ出力1点
力
出
電源表示（緑色）、スイッチ出力表示（黄色）
スイッチ出力2点
注2
精度
±5％ F.S.以下（0.1MPa、流量範囲± 100％ F.S.）
―
圧力特性
±5％ F.S.以下（−0.09〜0.2MPa、0.1MPa基準）
―
温度特性
±0.2％F.S./℃以下（15〜35℃、25℃基準）
再現性（くり返し精度）
±1％F.S.以下
応答時間
±2％F.S.以下
5ms以下（センサ単体・最終到達出力電圧の90％到達時）
注5
DC12/24V（10.8〜26.4V）
消費電流
30mA以下
取付
φ2.6 3芯（0.15mm 絶縁体外径φ0.81）3m
リード線
φ2.6 4芯（0.15mm2 絶縁体外径φ0.81）3m
2
取付姿勢
縦・横自在
導入直管部
不要
保護構造
IEC規格 IP40
動
10〜150Hz、複振幅1.5mm、最大10G、XYZ各方向2時間
EMC指令
質
―
±2％F.S.以下
電源電圧
振
注3
（1−5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、PLC・リレー対応）
直線性
耐
コレットノズル
0〜50、90％RH以下（ただし、結露なきこと）
示
表
φ0.2ノズル φ0.3ノズル
清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜1.6.2）注1、窒素ガス
適用流体
注4
φ0.2ノズル φ0.3ノズル
量
EN55011、EN61000ー6ー2、EN61000ー4ー2/3/4/6/8
g
約8（リード線、継手のぞく）
注1：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない空気をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）等級 1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。
コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれています。本製品の機能を維持するために本製品の一次側（上流）にフィ
ルタ、エアードライヤ及びオイルミストフィルタを取付けて使用ください。
本製品を吸着確認でご使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノズルと本製品との間に必ずエアフィルタを取り付けてください。
元圧
エアー
ドライヤ
フィルタ
レギュレータ
オイルミスト
流量センサ
フィルタ
FSM-Vシリーズ
（マイクロエレッサ）
注2：アナログ出力は、流量0の時3Vを示し、リード線を右側にし本体を見て流体を右へ流した場合、5V側に変化します。また、逆の流れの場合1V側に変化します。
注3：スイッチ出力は応差固定の1境界値判別方式でトリマを回すことにより全流量範囲で設定できます。また、OUT1とOUT2の動作モードは反対となっています。
注4：本センサの校正は1～5Vで行います。
精度条件：温度25±3℃、電源電圧DC24±0.01V
本仕様のF.S.（フルスケール）は流量範囲を示します。例えば流量範囲：−10〜＋10ℓ/minのF.S.は20ℓ/minとなります。
注5：配管条件により、応答時間は変化します。
注6：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルを含まない清浄気体をご使用ください。
圧縮空気をご使用の場合はJIS B 8392-1：2003等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気にはドレン（水、酸化
オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオ
イルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。本製品を吸着確認で使用の場合は、異物の吸入を防止するために、吸着ノ
ズルと本製品との間に必ずエアフィルタを入れてください。
注7：20℃ 1気圧（101Kpa）での体積流量に換算。
7
FSM-V Series
仕様
分離表示器仕様（アナログ出力タイプ専用）注8
形番
項目
分離表示器
N
N
N
N
N
N
P-R0005 FSM-V-D／P-R0010 FSM-V-D／P-R0050 FSM-V-D／P-R0100 FSM-V-D／P-R0500 FSM-V-D／P-R1000
FSM-V-D／
表示
接続可能アナログ出力タイプ形番 FSM-V-A-R0005 FSM-V-A-R0010 FSM-V-A-R0050 FSM-V-A-R0100 FSM-V-A-R0500 FSM-V-A-R1000
表示の種類
流量表示（7セグメント3桁橙色）、運転およびスイッチ出力表示（橙色）
表示最小単位注9
0.1mL/min注7
1mL/min注7
0.01L/min注7
出力
電源電圧
DC12/24V（10.8〜26.4V）
消費電流
50mA以下（表示器のみ）
リード線
φ3.7 5芯（0.2mm2 絶縁体外径φ1.0）1m
保有機能
流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
使用周囲温度・湿度
0〜50℃、85％RH以下（ただし、結露なきこと）
保護構造
IEC規格 IP40
EMC指令
EN55011、EN61000ー6ー2、EN61000ー4ー2/3/4/6/8
質量
0.1L/min注7
スイッチ出力2点
（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、電圧降下2.4V、PLC・リレー対応）
アナログ出力1点
（1−5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）
g
約70（リード線1m含む）
注8：分離表示器はアナログ出力タイプ専用です。スイッチ出力タイプは接続できませんので、ご注意ください。
注9：流量の最小表示単位を示すものであり、表示精度を保証するものではありません。
8
FSM-V Series
形番表示方法
● センサ本体
FSM
V
A H 3
R0005
H2
記号
機種形番
イ
イ
出力形式
ロ
ロ
リード線引出し方向
ハ
ハ
リード線長さ
ニ
A
アナログ出力
N
スイッチ出力（NPN）
P
スイッチ出力（PNP）
リード線引出し方向
H
ストレートタイプ
V
L字タイプ
リード線長さ
3
ニ
流量レンジ
内容
出力形式
3m
流量レンジ
R0005 ±0.05ℓ/min
R0010 ±0.1ℓ/min
R0050 ±0.5ℓ/min
R0100 ±1ℓ/min
R0500 ±5ℓ/min
R1000 ±10ℓ/min
ホ
継手種類
ホ
継手種類
H2
ストレート形φ1.8 エアファイバ（ニ R1000 タイプは選択できません）
H4
ストレート形φ4ワンタッチ
HL4
L字形φ4ワンタッチ
M5
ポート径M5
● 分離表示器（アナログ出力タイプ専用）
FSM
V
D N
R0050
記号
機種形番
イ
スイッチ出力形式
ロ
流量レンジ
イ
ロ
内容
スイッチ出力形式
N
NPN出力
P
PNP出力
流量レンジ
R0005 ±0.05ℓ/min
R0010 ±0.1ℓ/min
R0050 ±0.5ℓ/min
R0100 ±1ℓ/min
R0500 ±5ℓ/min
R1000 ±10ℓ/min
※操作方法外形寸法等については29〜34ページをご覧ください。
● 分離表示器用取付金具
PPD3
KL-D
記号
イ
取付金具キット
イ
内容
取付金具キット
KL-D
片側取付フート（L字取付）
KD-D 両側取付フート（平行取付）
KHS-D パネル取付金具一式カバー付
KC
操作保護カバー
※取付金具外形寸法および取付寸法については29、30ページをご覧
ください。
9
FSM-V Series
形番表示方法・内部構造および部品リスト
内部構造および部品リスト
● FSM-V-□□3-R□-M5/アナログ出力タイプの場合
（スイッチ出力タイプも内部構造は同じです）
16
10
13
5
4
3
15
14
12
11
6
品番
1
質
8
9
7
1
2
部品名称
材
品番
部品名称
材
ボディ
ポリブチレンテレフタレート
9
電子基板
ガラスエポキシ樹脂
質
2
ケース
ポリブチレンテレフタレート
10
リード線
ノンハロゲンポリエチレン樹脂混合物
3
リード線ホルダ
ポリブチレンテレフタレート
11
整流ユニット
ステンレス
ステンレス
4
ブッシュ
ニトリルゴム
12
フィルタ
5
ブッシュホルダ
アルミニウム合金
13
カートリッジ継手（M5）アルミニウム合金
6
センサガスケット
フッ素ゴム
14
0リング
ニトリルゴム
7
センサチップ
シリコン
15
継手固定ピン
ステンレス
8
Pタイトねじ
鉄鋼（亜鉛めっき）
16
フロントシート
ポリエステルフィルム
注1：アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプではフロントシート部の外観が異なります。
● 分離表示器FSM-V-D□-R□
内部構造図は、29ページをご覧ください。
10
FSM-V Series
外形寸法図（アナログ出力タイプ、スイッチ出力タイプ共通）
● FSM-V-□H3-R□-H2
（リード線ストレートタイプ、ストレート形φ1.8エアファイバ）
7
2−φ3.2貫通
2.3
7
17
17
10
33
33
（45.8）
（45.8）
● FSM-V-□H3-R□-H4
（リード線ストレートタイプ、ストレート形φ4ワンタッチ）
φ2.6
7
2−φ3.2貫通
17
10
17
33
33
（51.8）
（51.8）
※アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプではフロントシート部の外観が異なります。
11
2.3
17
2.3
7
2−φ3.2貫通
φ2.6
● FSM-V-□V3-R□-H4
（リード線L字タイプ、ストレート形φ4ワンタッチ）
10
17
2.3
17
17
φ2.6
2−φ3.2貫通
φ2.6
● FSM-V-□V3-R□-H2
（リード線L字タイプ、ストレート形φ1.8エアファイバ）
10
FSM-V Series
外形寸法図
外形寸法図
● FSM-V-□H3-R□-HL4
（リード線ストレートタイプ、L字形φ4ワンタッチ）
7
2−φ3.2貫通
2.3
（21.5）
7
17
2.3
10
33
（58.6）
(58.6)
● FSM-V-□H3-R□-M5
（リード線ストレートタイプ、ポート径M5）
φ2.6
7
2−φ3.2貫通
2.3
17
2.3
7
2−φ3.2貫通
φ2.6
● FSM-V-□V3-R□-M5
（リード線L字タイプ、ポート径M5）
17
10
17
33
10
17
33
33
（45）
（45）
17
（21.5）
17
17
φ2.6
2−φ3.2貫通
φ2.6
● FSM-V-□V3-R□-HL4
（リード線L字タイプ、L字形φ4ワンタッチ）
10
※アナログ出力タイプとスイッチ出力タイプではフロントシート部の外観が異なります。
12
FSM-V Series
アナログ出力特性
● FSM-V-A-R0100
応答速度（吸脱着用途例）
4.2
〔配管径：φ4
配管長さ（ノズル〜真空源）：0.3m〕
アナログ出力データ（例）
6
ノズル径φ0.3
4.0
非吸着時
電圧レベル
ノズル径φ0.25
3.6
3.4
アナログ出力（V）
出力（V）
3.8
5
ノズル径φ0.2
3.2
吸着時
電圧レベル
3.0
2.8
0
10
時間（mS）
20
4
3
2
1
0
−1
30
−0.8 −0.6 −0.4 −0.2
0
0.2 0.4 0.6 0.8
流量（ /min）
圧力損失特性
● FSM-V-□-R0005-H4
● FSM-V-□-R0010-H4
0.05
0.1
0.09
−0.05MPa
0.04
0.08
0.035
0.07
圧力損失（kPa）
圧力損失（kPa）
0.045
0.03
0.025
0.02
0.015
0.06
0.05
0.04
0.03
0.01
0.1MPa
0.02
0.005
0.2MPa
0.01
0
0
0.01
0.02
0.03
0.04
0
0.05
−0.05MPa
0.1MPa
0.2MPa
0
0.02
● FSM-V-□-R0050-H4
0.08
0.1
0.5
−0.05MPa
0.16
0.45
−0.05MPa
0.4
0.14
0.12
圧力損失（kPa）
圧力損失（kPa）
0.06
● FSM-V-□-R0100-H4
0.18
0.1
0.08
0.06
0.04
0.1MPa
0.02
0.2MPa
0
0.04
流量（ℓ/min）
流量（ℓ/min）
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.35
0.3
0.25
0.2
0.15
0.1MPa
0.1
0.2MPa
0.05
0
0.5
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1
流量（ℓ/min）
流量（ℓ/min）
● FSM-V-□-R0500-H4
● FSM-V-□-R1000-H4
6
16
−0.05MPa
−0.05MPa
14
5
圧力損失（kPa）
圧力損失（kPa）
12
4
3
2
0.1MPa
0.2MPa
1
0
0
1
2
3
4
5
10
8
6
0.1MPa
4
0.2MPa
2
0
0
2
流量（ℓ/min）
※エアファイバをご使用の場合、配管条件によって圧力損失が大きくなる場合があります。
13
4
6
流量（ℓ/min）
8
10
1
FSM-V Series
操作部の名称・機能と設定方法
操作部の名称・機能と設定方法
● スイッチ出力タイプ
POWER表示
出力（OUT1）表示
出力（OUT2）表示
・電源ON時点灯します。
・OUT1出力ON時点灯します。
・OUT2出力ON時点灯します。
POWER
OUT1
OUT2
SET1
SET2
−
＋ −
＋
FSM-V
SET1トリマ
SET2トリマ
・OUT1のスイッチ出力動作点を設定します。
・OUT2のスイッチ出力動作点を設定します。
スイッチ設定方法（スイッチ動作と流体の流れ方向）
・SET1、SET2のトリマーを回して、スイッチ出
力2点（OUT1・OUT2）のON/OFF設定を行っ
てください。2点出力は右図のように異なるス
イッチ動作となりますのでご注意ください。
流れ方向−
流れ方向＋
トリマ設定
OUT1スイッチ動作
ON
・0ビット用（＋）ドライバをご使用ください。
（−FS）流量大
流量0
SET1
OFF
流量大（＋FS）
OUT2スイッチ動作
ON
（−FS）流量大
流量0
SET2
OFF
流量大（＋FS）
（注意事項）・スイッチ出力の応差（ヒステリシス）は固定値（10%FS以下）になっております。
・ドライバにてトリマーを強く押さえないでください。トリマーが破損します。
● 分離表示器
分離表示器の表示操作部の名称と機能および操作方法は31ページをご覧ください。
14
FSM-V Series
内部回路および負荷接続例
〈FSM-Vシリーズ〉
● FSM-V-A□（アナログ出力タイプ）
● アナログ出力タイプと分離表示器の接続方法
茶
主回路
V
黒
電源
LED（緑）
線色
＋
分離表示器
（FSM-V-D□-□）
−
負荷
青
G
電源DC12〜24V
青
0V（GND）
黒
アナログ出力（1〜5V）
● FSM-V-N□（スイッチ出力タイプ NPN出力）
青（電源−）
● FSM-V-P□（スイッチ出力タイプ PNP出力）
茶
茶
黒(OUT1)
負荷
負荷
白(OUT2)
＋
−
主回路
主回路
出力短絡
保護回路
出力短絡
保護回路
黒(OUT1)
＋
白(OUT2)
−
負荷
青
負荷
青
電源
出力1
出力2
LED（緑）LED（黄） LED（黄）
電源
出力1
出力2
LED（緑）LED（黄） LED（黄）
線色
アナログ出力タイプ
（FSM-V-A□-□）
黒（信号線）
注：スイッチ出力タイプは分離表示器と組み合わせての使用は
できません。
内容
茶
S
茶（電源＋）
内容
線色
内容
茶
電源DC12〜24V
茶
電源DC12〜24V
青
0V（GND）
青
0V（GND）
黒
OUT1（max50mA）
黒
OUT1（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
〈分離表示器〉
● FSM-V-DN-□（分離表示器 NPN出力）
● FSM-V-DP-□（分離表示器 PNP出力）
茶
出力短絡
保護回路
茶
負荷
負荷
白(OUT2)
＋
灰（アナログ出力）
青
−
主回路
主回路
黒(OUT1)
出力短絡
保護回路
負荷
青
内容
＋
負荷
負荷
−
負荷
F.G.
線色
内容
茶
電源DC12〜24V
茶
電源DC12〜24V
青
0V（GND）
青
0V（GND）
灰
アナログ出力（1〜5V）
灰
アナログ出力（1〜5V）
黒
OUT1（max50mA）
黒
OUT1（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
・短絡保護を解除するには供給電源をいったん切り、
配線ミス等修正後再投入してください。
15
白(OUT2)
灰（アナログ出力）
F.G.
線色
黒(OUT1)
・短絡保護を解除するには供給電源をいったん切り、
配線ミス等修正後再投入してください
MEMO
16
小形流量センサ
ラピフロー　微少流量タイプ
表示器タイプ／アナログ出力タイプ
FSM-H Series
（空気・窒素ガス用）
● 流量範囲：0.25～5、0.5～10、2.5～50、5～100mℓ/min
表示器タイプ仕様
表示器タイプ
FSM-H-N/P-005ML FSM-H-N/P-010ML FSM-H-N/P-050ML FSM-H-N/P-100ML
項　目
流量レンジ mℓ/min（注1）
0.25〜5
0.5〜10
2.5〜50
5〜100
清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜1.6.2）注2、窒素ガス注3
適用流体
MPa
1.0
最低使用圧力
MPa
ー0.09
耐圧力
MPa
使用条件
最高使用圧力
1.5
周囲温度・湿度
使用流体温度
0〜50℃、90％RH以下
℃
0〜50（結露なきこと）
±3％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量範囲5〜100％F.S.）
圧力特性
±3％F.S.以下（ー0.09〜1.0MPa、ただし、0.1MPa基準）
温度特性
±0.2％F.S.／℃以下（15〜35℃、ただし、25℃基準）
精度
直線性（表示・アナログ出力）
±0.5％F.S.以下
再現性（くり返し精度）
応答性
（注5）
50ms以下
表表示の種類
示表示最小単位（注6）
流量表示（7セグメント3 1/2桁　橙色）、運転及びスイッチ出力表示（橙色）
0.01mL/min 注1
0.1mL/min 注1
スイッチ出力2点
（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、電圧降下2.4V以下、PLC・リレー対応）
アナログ出力1点
（1〜5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）
出力の種類
電源電圧
DC12/24V（10.8〜26.4V）
消費電流
60mA以下
リード線
φ3.7　5芯（0.2mm2 絶縁体外径φ1.0）1m
保有機能
流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
取取付姿勢
付導入直管部
縦・横自在
不要
保護構造
IEC規格　IP40
保護回路（注4）
電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
EMC指令
EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
表示器タイプ質量
形　番
接続口径（ボディ材質）
6A
6G
（単位：g）
FSM-N/P-005
FSM-N/P-010
FSM-N/P-050
FSM-N/P-100
150
150
150
150
Rc1/8（ステンレス）
G1/8（ステンレス）
アナログ出力タイプ質量
形　番
接続口径（ボディ材質）
6A
6G
17
Rc1/8（ステンレス）
G1/8（ステンレス）
（単位：g）
FSM-A-005
FSM-A-010
FSM-A-050
FSM-A-100
140
140
140
140
FSM-H Series
仕様
アナログ出力タイプ仕様（表示なし）
項目
FSM-H-A-005ML
流量レンジ mℓ/mi（注1）
アナログ出力タイプ
FSM-H-A-010ML
FSM-H-A-050ML
0.25〜5
0.5〜10
FSM-H-A-100ML
2.5〜50
5〜100
清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜1.6.2）注2 、N2ガス注3
適用流体
MPa
1.0
MPa
ー0.09
保証耐圧力
MPa
使用条件
最高使用圧力
最低使用圧力
1.5
使用周囲温度・湿度
使用流体温度
0〜50℃、90％RH以下
℃
0〜50（結露なきこと）
±3％F.S.以下（0.1MPa、25℃、流量範囲5〜100％F.S.）
圧力特性
±3％F.S.以下（ー0.09〜1.0MPa、ただし、0.1MPa基準）
温度特性
±0.2％F.S.／℃以下（15〜35℃、ただし、25℃基準）
精度
直線性（アナログ出力）
±0.5％F.S.以下
再現性（くり返し精度）
応答性
（注5）
50ms以下
表示の種類
電源表示（緑色）
出力の種類
アナログ出力1点（1〜5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）
電源電圧
DC12/24V（10.8〜26.4V）
消費電流
50mA以下
リード線
φ3.7　3芯（0.2mm2 絶縁体外径φ1.18）1m
保有機能
アナログ出力
保護回路（注4）
電源逆接続保護
取取付姿勢
付導入直管部
縦・横自在
不要
保護構造
IEC規格　IP40
EMC指令
EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
注1：20℃　1気圧（101kPa）での体積流量に換算
注2：圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）　等級1.1.1〜1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサから
の圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ（濾過度：5μ
m）、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取付けてご使用ください。
＜推奨回路＞
フィルタ
オイルミストフィルタ
（マイクロエレッサ）
＜推奨機器＞
エアフィルタ：Fシリーズ
オイルミストフィルタ：Mシリーズ
空気圧源
エアドライヤ
レギュレータ
FSMシリーズ
注3：空気、N2以外の気体でのご使用につきましては問合せください。
注4：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
注5：配管条件により、応答時間は変化します。
注6：流量の最小表示単位を示すものであり、表示精度を保証するものではありません。
分離表示器仕様（アナログ出力タイプ専用）
形　番
項　目
接続可能
アナログ出力タイプ形番
表
示
表示の種類
表示最小単位（注6）
分離表示器
FSM-H-DN／P -005ML FSM-H-DN／P -010ML FSM-H-DN／P -050ML FSM-H-DN／P -100ML
FSM-H-A-005ML
FSM-H-A-010ML
FSM-H-A-050ML
FSM-H-A-100ML
流量表示（7セグメント3桁1/2、橙色）、運転およびスイッチ出力表示（橙色）
0.01mL/min 注1
0.1mL/min 注1
スイッチ出力2点
出力
（NPNまたはPNPオープンコレクタ出力、DC30V・50mA以下、電圧降下2.4V、PLC・リレー対応）
アナログ出力1点
（1−5V電圧出力、接続負荷インピーダンス50KΩ以上）
電源電圧
DC12/24V（10.8〜26.4V）
消費電流
50mA以下（表示器のみ）
リード線
φ3.7 0.2mm2×5芯（1m）
保有機能
流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力
使用周囲温度・湿度
0〜50℃、85％RH以下（ただし、結露なきこと）
保護構造
IEC規格 IP40
EMC指令
EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
質量　g
約70（リード線1m含む）
18
FSM-H Series
形番表示方法
FSM-H
005ML
N
6A
K
記号
イ
イ
出力形式
ロ
ロ
流量レンジ
内容
出力形式
A
アナログ出力1点
N
NPN出力2点、アナログ出力1点
P
PNP出力2点、アナログ出力1点
流量レンジ
005ML 0.25〜5mℓ/min
010ML 0.5〜10mℓ/min
050ML 2.5〜50mℓ/min
100ML 5〜100mℓ/min
ハ
ハ
接続口径
接続口径
6A
Rc1/8（ステンレスボディ）
6G
G1/8（ステンレスボディ）
※専用ブラケット（別売品）の形番、外形寸法図については、
22ページをご参照ください。
ニ
〈形番表示例〉
ニ
オプション
オプション
無記号
K
FSM-H-N-005ML-6A-K
なし
検査成績書付き
T（注1）トレーサビリティ証明書付き
機種名：FSM表示器タイプ
イスイッチ出力形式：NPN出力
●
ロ流量レンジ
：0.25〜5mℓ/min
●
ハ接続口径
：Rc1/8（ステンレスボディ）
●
ニオプション
：検査成績書付き
●
注1）トレーサビリティ証明書、検査成績書、トレーサビリティ
体系図の3点が添付されます。
● 分離表示器（アナログ出力タイプ専用）
FSM
H
D N
010ML
記号
イ
スイッチ出力形式
ロ
流量レンジ
イ
ロ
内容
出力形式
N
NPN出力2点、アナログ出力1点
P
PNP出力2点、アナログ出力1点
流量レンジ
005ML 0.25〜5mℓ/min
010ML 0.5〜10mℓ/min
050ML 2.5〜50mℓ/min
100ML 5〜100mℓ/min
※操作方法、外形寸法等については29〜34ページをご覧ください。
● 分離表示器用取付金具
PPD3
KL-D
記号
イ
取付金具キット
イ
内容
取付金具キット
KL-D
片側取付フート（L字取付）
KD-D
両側取付フート（平行取付）
KHS-D
パネル取付金具一式カバー付
KC
操作保護カバー
※取付金具外形寸法および取付寸法については29、30ページをご覧ください。
19
FSM-H Series
形番表示方法・内部構造および部品リスト
内部構造および部品リスト
● FSM-H-N/P-□-□
表示器タイプステンレスボディ
1
2
3
11
4
10
5
9
品番部品名称
1
2
3
4
5
6
フロントシート
ケース
ホルダー付きリード線（5芯）
モジュール押さえ
センサ基板
ステンレスボディ
8
6
7
材　質
品番部品名称
ポリエステルフィルム
ABS樹脂
ABS樹脂・ポリ塩化ビニル
ポリアミド樹脂
アルミナ
ステンレス
7
8
9
10
11
材　質
センサチップ
整流ユニット
ポートフィルタ
センサガスケット
電子基板
シリコン
ステンレス
ステンレス
フッ素ゴム
● FSM-H-A-□-□
アナログタイプステンレスボディ
1
2
3
11
10
4
5
9
品番部品名称
1
2
3
4
5
6
フロントシート
ケース
ホルダー付きリード線（3芯）
モジュール押さえ
センサ基板
ステンレスボディ
材　質
ポリエステルフィルム
ABS樹脂
ABS樹脂・ポリ塩化ビニル
ポリアミド樹脂
アルミナ
ステンレス
8
7
6
品番部品名称
7
8
9
10
11
センサチップ
整流ユニット
ポートフィルタ
センサガスケット
電子基板
材　質
シリコン
ステンレス
ステンレス
フッ素ゴム
● 分離表示器 FSM-H-D□-□
分離表示器の内部構造図は、29ページをご覧ください。
20
FSM-H Series
φ3.7
外形寸法図（表示器タイプ）
ボディ材質：ステンレス
● FSM-H-N/P-□-□
リード線長さ　１ｍ
9
27
4.6
37
55
27
17
2−φ3.4貫通
2−Ｍ3深さ5ｍｍ
9.5
Rc1/8
※G1/8もご用意しております。
15.5
外形寸法図（アナログ出力タイプ）
φ3.7
ボディ材質：ステンレス
● FSM-H-A-□-□
リード線長さ　１ｍ
27
9
4.6
32
55
27
17
2−φ3.4貫通
2−Ｍ3深さ5ｍｍ
9.5
Rc1/8
※G1/8もご用意しております。
15.5
※分離表示器FSM-H-D□-□の外形寸法図は29ページをご覧ください。
21
FSM-H Series
外形寸法図
外形寸法図（専用ブラケット）
形番：FSM-LB1
55
4
3.5
27
8.4
1
4-R1.75
30
6
5
固定用M3（長さ6mm）ビス 4本付属
アナログ出力特性
● FSM-H-□-□
アナログ出力(V)
5
1
F.S.流量
0
流量(ℓ/min)
（注）流量範囲を超えた場合、max8Vまで出力されます。
圧力損失特性
● FSM-H-□-005ML-□
● FSM-H-□-010ML-□
4
7
3.5
6
0.1MPa
2.5
2
0.3MPa
1.5
1
4
3
0.3MPa
2
1
0.5
0
0.1MPa
5
圧力損失（Pa）
圧力損失（kPa）
3
0
1
2
3
4
0
5
0
2
● FSM-H-□-050ML-□
8
10
16
9
0.1MPa
0.1MPa
14
8
12
7
6
5
4
0.3MPa
3
圧力損失（Pa）
圧力損失（Pa）
6
● FSM-H-□-100ML-□
10
10
8
0.3MPa
6
4
2
2
1
0
4
流量（ mℓ/min）
流量（ mℓ/min）
0
10
20
30
流量（ mℓ/min）
40
50
0
0
20
40
60
80
100
流量（ mℓ/min）
表示・操作部の名称と機能、操作方法については、
表示一体形タイプについては23ページ、分離表示器については31ページをご覧ください。
22
FSM-H Series
表示・操作部の名称と機能
● 表示一体形タイプ（FSM-Hシリーズ）
オーバーフロー表示
RUN表示
出力（OUT1）表示
・3桁表示の限界を超えたときに点灯し、
を表します。
（10.00ℓ/minでは、この　が点灯し
3桁LEDで0.00を表示します。）
・流量表示時、点灯します。
・ピークホールド動作時、点滅します。
・各種設定モード時、消灯します。
・CH1出力ON時点灯します。
・過電流検出時点滅します。
出力（OUT2）表示
・CH2出力ON時点灯します。
・過電流検出時点滅します。
MODEキー
・各種設定モードに入るとき使用します。
・流量表示に戻すとき使用します。
・ピークホールド動作を解除するときに
使用します。
マイナス表示〔FSM（空気、窒素用）はのぞく〕
・逆方向に流れた場合、点灯します。
3桁LED表示
・流量表示・各種スイッチ設定値などの
表示をします。
・過流量の場合は　を表示します。
・逆方向に過流量の場合は　を表示します。
（FSM［空気、窒素用］はのぞく）
1（UP）キー
2（DOWN）キー
・流量表示時に、CH1のデータを順次表示します。
・ピークホールド動作時には、最高値の表示をします。
・モード選択時には、モードの決定をします。
・各データの設定時には、数値等のカウントアップに
使用します。
・流量表示時に、CH2のデータを順次表示します。
・ピークホールド動作時には、最低値の表示をします。
・各データの設定時には、数値等のカウントダウンに
使用します。
※FSM-Hシリーズは、フロントシートのデザインは異なります。表示・操作部の名称と機能は同じです。
● 分離表示器タイプ
表示・操作部の名称と機能および操作方法は31〜34ページをご覧ください。
23
FSM-H Series
操作方法
操作方法
スイッチ出力機能
スイッチ動作モード
動作パターン名称
LED表示
動作波形
3%F.S.以上
ON
ウインド動作1
OFF
（範囲内ON）
流量
−
ON設定値
＋
OFF設定値
3%F.S.以上
ON
ウインド動作2
（範囲外ON）
注1：ウインド動作では、二つの設定値の間で
3％F.S.以上の間隔を持たせてください。
ON側OFF側各々に、1%F.S.のヒステ
リシスが自動的に付きます。
1%F.S.
OFF
注2：ヒステリシス動作では､二つの設定値の
間で１％F.S.以上の間隔を持たせてくだ
さい｡
以上２点の設定値差がないと、動作しな
かったり動作不安定となります。
1%F.S.
流量
−
OFF設定値
＋
注3：流体の脈動等、流量が安定しない状態で
スイッチ動作を行うと、動作不安定とな
る場合があります。
この時は2つの設定値の間を十分持た
せ、スイッチ動作が安定することを確認
してからご使用ください。
ON設定値
1%F.S.以上
ON
ヒステリシス動作1
（流量小側ON）
OFF
流量
−
ON設定値
＋
注4：動作波形では、左側がマイナス側、右側
がプラス側を表します。
OFF設定値
1%F.S.以上
ヒステリシス動作2
ON
（流量大側ON）
OFF
流量
−
OFF設定値
＋
ON設定値
ON設定値・OFF設定値に関わ
らず、出力をOFFにします。
ON
スイッチ出力OFF
注5：波形パターンが決まると、ON設定値
･OFF設定値の大小関係は決まり、逆の
大小関係はあり得ないことになります。
しかし、本製品では、指定の動作パター
ンで動作させることを優先させます。
二つの設定値が入力された時点で、その
大小関係を自動判別し、各々適切にON
設定値･OFF設定値として判別処理しま
す。
つまり、ON設定値･OFF設定値を逆に入
力したとしても、正しいON設定値･OFF
設定値として認識し直し、必ず指定した
動作パターンで動作します。
OFF
−
流量
＋
設定値の確認方法
CH1データ表示
流量表示状態から各キーを押すことで、スイッチデータON設定値･OFF設定値･動作波形、
0アジャスト値、機種を表示確認できます。
この操作のとき、スイッチ動作には影響を与えません。
押し続ける
CH2データ表示
ON側
点滅
動作波形表示
ON設定値表示
OFF設定値表示
動作波形表示
OFF側
点滅
押し続ける
0点調整値・機種番号表示
（FSM［空気、窒素用］はのぞく）
0点調整値と機種番号表示は交互に表示します。
操作中でも、スイッチ動作には影響を与えません。
「AdJ」表示
0点調整値表示
機種番号表示
同時に押す
24
FSM-H Series
各機能の操作方法
ピークホールド機能
ある期間内の、流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。
瞬間的な流量変化確認などに、ご使用ください。
なおピークホールド動作は、スイッチ動作や流量表示など、本製品の基本機能には、いっさい影響しません。
ピーク値の表示
点滅
流量表示状態
「460」を表示
ピーク値「475」
押し続ける
ピークホールド動作開始
（RUNランプ点滅）
ボトム値の表示
点滅
押し続ける
同時に押す
スイッチ出力機能
ボトム値「453」
操作方法は26ページにあります。
2点のスイッチ出力を持ち、4つの動作パターンと動作の停止が設定可能です。
必要とする動作パターンと、動作点を規定する二つの設定値（ON設定値･OFF設定値）を設定することで、スイッチ機能を起動します。
設定作業に入る前にまず、使用する動作パターンと、ON設定値･OFF設定値を決めてください｡
スイッチ動作をさせるためには、次のデ−タを選択･設定します。
CH1：動作パターン
CH1：ON設定値
CH1：OFF設定値
CH2：動作パターン
CH2：ON設定値
CH2：OFF設定値
強制出力機能
操作方法は26ページにあります。
スイッチ出力を強制的にONさせ、配線接続や入力装置の初期動作確認に使用します。
（注）本テスト機能は、配線接続と入力装置の動作確認用としてご使用ください。
機械装置を稼働状態のまま、シーケンスプログラム実行用として実際の信号の代わりに使用することは、お避けください。
0点調整機能
（FSM［空気、窒素用］はのぞく）操作方法は26ページにあります。
流量のない状態で、0からの表示のズレを補正します。
（注）以上の設定およびテストは、出力信号や表示値に重大な影響を与えます。
必ず本製品を使用している機械装置を停止させ、誤作動･誤表示を発生しても安全を確保できるか確認の上で、
操作を行ってください。
稼働中の操作は、思わぬ誤作動･誤表示を発生し危険です。
25
FSM-H Series
操作方法
スイッチ出力機能・強制出力機能・0点調整機能操作
〈流量表示〉
安全のため、モ−ドを確定
する前に、約2秒以上キ−
操作が無いと、流量表示に
復帰します。
基本的なキー操作
スイッチ動作パターン設定･ON/OFF設定値設定･0点調整モードで有効です。
カウント
アップ
データ復帰
押し続ける
点滅
さらに
カウント
ダウン
データ読込み
キーを
押し続けると、流量
表示に戻ります。
同時に押す
同時に押す
スイッチ出力機能のデータ設定
スイッチCH1
動作モード切換え
点滅
スイッチCH1
ON･OFFデータ設定
ON点波形表示
チャンネル1表示
離す
点滅
1回押す
確定
1回押す
OFF点波形表示
1回押す
交互
表示
交互
表示
動作モード表示
交互
表示
設定値表示
アップ･ダウンキーで
動作モード変更
設定値表示
アップ･ダウンキーで
数値変更
1回押す
スイッチCH2
動作モード切換え
スイッチCH2
ON･OFFデータ設定
1回押す
スイッチCH1と
同様に設定します。
1回押す
流量表示へ
1回押す
1回押す
スイッチ出力強制 ONモード
確定
CH1出力ON
流量表示へ
CH2出力ON
点滅
1回押す
1回押す
押し続ける
0点調整モード（FSM［空気、窒素用］はのぞく）
FSM
（空気・窒素用）
流量表示へ
「AdJ」表示
確定
点滅
1回押す
押し続ける
調整値読込み
流量表示へ
交互
表示
0点調整値表示
1回押す
注意
1回押す
同時に押す
必ず流体が流れていない状態で0点調整を行ってください。
26
FSM-H Series
内部回路および負荷接続例
● FSM-H-N（表示器タイプ NPN出力）
● FSM-H-P（表示器タイプ PNP出力）
負荷
黒線（スイッチ出力）
白線（スイッチ出力）max50mA
青線（電源−）
負荷
＋
−
主回路
出力短絡保護回路
主回路
線色
灰線（アナログ出力）負荷
茶線（電源＋）
出力短絡保護回路
茶線（電源＋）
黒線（スイッチ出力）
白線（スイッチ出力）
線色
電源DC12〜24V
茶
電源DC12〜24V
青
0V（GND）
青
0V（GND）
灰
アナログ出力（1〜5V）
灰
アナログ出力（1〜5V）
黒
OUT1（max50mA）
黒
OUT1（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
白
OUT2（max50mA）
−
● アナログ出力タイプと分離表示器の接続方法
茶線（電源＋）
V
主回路
黒線（アナログ出力）
＋
負荷
青線（電源−）
線色
＋
内容
茶
● FSM-H-A（アナログ出力タイプ）
max50mA
max50mA
負荷
灰線（アナログ出力）
負荷
負荷
青線（電源−）
max50mA
内容
max50mA
−
分離表示器
（FSM-A-D□-□
S
/FSM-H-D□-□）
G
茶（電源＋）
黒（信号線）
青（電源−）
アナログ出力タイプ
（FSM-A-□-□
/FSM-H-A-□-□）
内容
茶
電源DC12〜24V
青
0V（GND）
黒
アナログ出力（1〜5V）
注：金属ボディ（ステンレスボディ、アルミボディ）タイプでは、電源のーまたは＋に接続された装置のF.G.と、ボディを接続してください。
また、F.G.接続状態で絶縁抵抗・耐圧試験を行わないでください。破損したり焼損する恐れがあります。
27
MEMO
28
分離表示器
FSM-V-D □ Series
FSM-H-D □ Series
（FSM-V 用）
（FSM-H 用）
内部構造および部品リスト
● FSM-V-D□-□
FSM-H-D□-□（分離表示器）
品番
部品名称
材
1
ケース上
ポリブチレンテレフタレート
2
表示基板
ガラスエポキシ樹脂
3
CPU基板
ガラスエポキシ樹脂
4
センサ基板
ガラスエポキシ樹脂
5
リード線（1ｍ）
ポリ塩化ビニル
6
ねじ
黄銅／ニッケルメッキ
7
7
背面カバー
ポリブチレンテレフタレート
8
ケース中
ポリブチレンテレフタレート
6
9
端子台
ポリアミド／銅合金（メッキ）
10
シールドシート
アルミニウム
11
表面シート
ポリエステルフィルム
11
1
10
2
9
8
3
4
5
質
外形寸法図
□30
● FSM-V-D□-□
FSM-H-D□-□
32
22
2−φ2.7深さ7
FSM
RUN OUT1 OUT2
MODE
１
V S G
２
L/min
ケーブル長さ1ｍ
φ3.7　5芯
センサ端子台
取付金具外形寸法図
32
7.5
2-M3
15
25
2−呼び3
（Pタイト）
本取付金具は、スイッチ本体に対し90°毎に取付が可能です。
取付は場所に応じて、取付方向を決めてください。
29
18
取付穴加工図
18
● 片側取付フート付（PPD3-KL-D）
※L形ブラケット、取付ねじ2ヶ
FSM- HV -D□ Series
外形寸法図
取付金具外形寸法図
● 両側取付フート付（PPD3-KD-D）
※D形ブラケット、取付ネジ2ヶ
30
32
取付穴加工図
18
8
4-M3
リード線通し穴
18
50
62
50
2−呼び3
（P タイト）
本取付金具は、90°毎に取付が可能です。
取付は場所に応じて、取付方向を決めてください。
● パネル取付金具一式カバー付（PPD3-KHS-D）
※パネルベッセル、パネルホルダ、パネルキー、パネルカバー
32
29.5
52
板厚t0.8〜6
39
（取付ピッチ40以上）
（取付ピッチ53以上）
カバー
5
パネル穴加工図
□33.5±0.3
ＶＳＧ
パネルホルダ
パネルベッセル
パネルホルダは、90°取付方向を変えられます。
● 操作保護カバー付（PPD3-KC）
※保護カバー、保護カバー押え
□37.5
保護カバー
(2.5)
保護カバー押さえ
注：PPD3-KHS-Dとの組み合わせはできません。
30
FSM- HV Series
表示・操作部の名称と機能
● 分離表示器タイプ（FSM-V-D/FSM-H-D共通）
RUN表示
出力（OUT1）表示
・流量表示時、点灯します。
・ピークホールド動作時、点滅します。
・CH1出力ON時点灯します。
・過電流検出時点滅します。
オーバーフロー表示（FSM-V-D□をのぞく）
・3桁表示の限界を超えたときに点灯し、
を表します。
（10.00ℓ/minでは、このが点灯し
3桁LEDで0.00を表示します。）
出力（OUT2）表示
FSM
3桁LED表示
1
マイナス表示
・逆方向に流れた場合、点灯します。
MODEキー
・各種設定モードに入るとき使用します。
・設定モードを進めるとき使用します。
・流量表示に戻すとき使用します。
・ピークホールド動作を解除するときに
使用します。
1（UP）キー
・CH2出力ON時点灯します。
・過電流検出時点滅します。
RUN □ OUT1 □ OUT2 □
MODE
1
2
ℓ/min
・流量表示・各種スイッチ設定値などの
表示や、機種状態を表示
・過流量の場合は
を表示します。
（F.S.の約10％以上でHi表示になります。）
・逆方向に過流量の場合は
を表示
します。（F.S.の約−10％以上でLo
表示になります。）
2（DOWN）キー
・流量表示時に、CH2のデータを順次表示します。
・ピークホールド動作時には、最低値の表示をします。
・モード選択時には、モードの決定をします。
・各データの設定時には、数値等のカウントダウンに
使用します。
・流量表示時に、CH1のデータを順次表示します。
・ピークホールド動作時には、最高値の表示をします。
・モード選択時には、モードの決定をします。
・各データの設定時には、数値等のカウントアップに
使用します。
※FSM-Hシリーズは、フロントシートのデザインは異なります。表示・操作部の名称と機能は同じです。
31
FSM- HV Series
操作方法
操作方法
スイッチ出力機能
スイッチ動作モード
動作パターン名称
LED表示
動作波形
3%F.S.以上
ON
ウインド動作1
OFF
（範囲内ON）
流量
−
ON設定値
＋
OFF設定値
3%F.S.以上
ON
ウインド動作2
（範囲外ON）
注1：ウインド動作では、二つの設定値の間で
3％F.S.以上の間隔を持たせてください。
ON側OFF側各々に、1%F.S.のヒステ
リシスが自動的に付きます。
1%F.S.
OFF
注2：ヒステリシス動作では､二つの設定値の
間で1％F.S.以上の間隔を持たせてくだ
さい｡
以上2点の設定値差がないと、動作しな
かったり動作不安定となります。
1%F.S.
流量
−
OFF設定値
＋
注3：流体の脈動等、流量が安定しない状態で
スイッチ動作を行うと、動作不安定とな
る場合があります。
この時は2つの設定値の間を十分持たせ、
スイッチ動作が安定することを確認して
からご使用ください。
ON設定値
1%F.S.以上
ON
ヒステリシス動作1
（流量小側ON）
OFF
流量
−
ON設定値
＋
注4：動作波形では、左側がマイナス側、右側
がプラス側を表します。
OFF設定値
1%F.S.以上
ヒステリシス動作2
ON
（流量大側ON）
OFF
流量
−
（注6）
OFF設定値
＋
ON設定値
ON設定値・OFF設定値に関わ
らず、出力をOFFにします。
ON
スイッチ出力OFF
注5：波形パターンが決まると、 O N 設定値
･OFF設定値の大小関係は決まり、逆の
大小関係はあり得ないことになります。
しかし、本製品では、指定の動作パター
ンで動作させることを優先させます。
二つの設定値が入力された時点で、その
大小関係を自動判別し、各々適切にON
設定値･OFF設定値として判別処理しま
す。
つまり、ON設定値･OFF設定値を逆に入
力したとしても、正しいON設定値･OFF
設定値として認識し直し、必ず指定した
動作パターンで動作します。
OFF
−
流量
＋
注6：Hi表示のときも出力は保持されます。
設定値の確認方法
CH1データ表示
流量表示状態から各キーを押すことで、スイッチデータON設定値･OFF設定値･動作波形、
0アジャスト値、機種を表示確認できます。
この操作のとき、スイッチ動作には影響を与えません。
押し続ける
CH2データ表示
ON側
点滅
動作波形表示
ON設定値表示
OFF設定値表示
動作波形表示
OFF側
点滅
押し続ける
0点調整値・機種番号表示
0点調整値と機種番号表示は交互に表示します。
操作中でも、スイッチ動作には影響を与えません。
「AdJ」表示
0点調整値表示
機種番号表示
同時に押す
32
FSM- HV Series
各機能の操作方法
ピークホールド機能
ある期間内の、流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。
瞬間的な流量変化確認などに、ご使用ください。
なおピークホールド動作は、スイッチ動作や流量表示など、本製品の基本機能には、いっさい影響しません。
ピーク値の表示
点滅
流量表示状態
「460」を表示
ピーク値「475」
押し続ける
ピークホールド動作開始
（RUNランプ点滅）
ボトム値の表示
点滅
押し続ける
同時に押す
スイッチ出力機能
ボトム値「453」
操作方法は34ページにあります。
2点のスイッチ出力を持ち、4つの動作パターンと動作の停止が設定可能です。
必要とする動作パターンと、動作点を規定する二つの設定値（ON設定値･OFF設定値）を設定することで、スイッチ機能を起動します。
設定作業に入る前にまず、使用する動作パターンと、ON設定値･OFF設定値を決めてください｡
スイッチ動作をさせるためには、次のデ−タを選択･設定します。
CH1：動作パターン
CH1：ON設定値
CH1：OFF設定値
CH2：動作パターン
CH2：ON設定値
CH2：OFF設定値
強制出力機能
操作方法は34ページにあります。
スイッチ出力を強制的にONさせ、配線接続や入力装置の初期動作確認に使用します。
（注）本テスト機能は、配線接続と入力装置の動作確認用としてご使用ください。
機械装置を稼働状態のまま、シーケンスプログラム実行用として実際の信号の代わりに使用することは、お避けください。
0点調整機能
操作方法は34ページにあります。
流量のない状態で、0からの表示のズレを補正します。
間違って設定してしまった場合は、流体が流れていない状態で再度調整を行ってください。
（注）以上の設定およびテストは、出力信号や表示値に重大な影響を与えます。
必ず本製品を使用している機械装置を停止させ、誤作動･誤表示を発生しても安全を確保できるか確認の上で、
操作を行ってください。
稼働中の操作は、思わぬ誤作動･誤表示を発生し危険です。
『復帰方法』
操作中（各設定モードに入っている状態）に流量表示に戻りたい場合は、一度電源を切り、再度電源を投入する
と流量表示に戻ります。
33
FSM- HV Series
操作方法
スイッチ出力機能・強制出力機能・0点調整機能操作
安全のため、モ−ドを確定
する前に、約2秒以上キ−
操作が無いと、流量表示に
復帰します。
〈流量表示〉
基本的なキー操作
スイッチ動作パターン設定･ON/OFF設定値設定･0点調整モードで有効です。
カウント
アップ
データ復帰
押し続ける
さらに
データ読込み
キーを
押し続けると、流量
表示に戻ります。
点滅
カウント
ダウン
同時に押す
同時に押す
スイッチ出力機能のデータ設定
スイッチCH1
動作モード切換え
点滅
スイッチCH1
ON･OFFデータ設定
ON点波形表示
チャンネル1表示
1回押す
確定
離す
点滅
1回押す
OFF点波形表示
1回押す
交互
表示
交互
表示
動作モード表示
交互
表示
設定値表示
アップ･ダウンキーで
動作モード変更
設定値表示
アップ･ダウンキーで
数値変更
1回押す
スイッチCH2
動作モード切換え
スイッチCH2
ON･OFFデータ設定
1回押す
スイッチCH1と
同様に設定します。
1回押す
流量表示へ
1回押す
1回押す
スイッチ出力強制 ONモード
確定
CH1出力ON
流量表示へ
CH2出力ON
点滅
1回押す
押し続ける
1回押す
押し続ける
0点調整モード
1回押す
確定
点滅
「AdJ」表示
調整値読込み
流量表示へ
交互
表示
1回押す
注意
0点調整値表示
必ず流体が流れていない状態で0点調整を行ってください。
1回押す
同時に押す
34
FSM- HV Series
FSM-V/FSM-Hシリーズの計測原理
FSM-Vシリーズでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップ（3mm×3.5mm）を採用しております。センサ部は、
シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。
センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化する、白金を用
いています。ヒータに通電加熱すると、流れの無い場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流れを受けた場合は、温度分布の
対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、
流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差）が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知
することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適しています。
〈流れあり〉
〈流れなし〉
1
温度センサ○
2
温度センサ○
FLOW
ヒータ
R1
Rh
R2
温度分布対称
温度
抵抗値
R1
5V
Rh
R2
温度分布の対称崩れる
温度
抵抗値
R2
R1
5V
電圧
R2
電圧
R1
R1
V out
V out
2.5V
R2
2.5V
R2
V out
35
R1
V out
FSM全シリーズ共通
技術資料
1
流量センサ選定方法
吸着ノズルでの吸着・離脱確認、漏れ検査等で流量センサをご使用になる場合の、流量レンジの選定の目安にお役立てください。
ノズル（ピンホール）の有効断面積とノズルの内外での圧力差により、流量を計算することができます。
● P1≧1.89P2（音速）の場合
P2：真空
P1：加圧
Q＝113.2×S×P1
● P1＜1.89P2（亜音速）の場合
Q＝226.4×S× P2（P1−P2）
Ｑ：流量 ℓ/min
P1：1次側絶対圧力 MPa
P2：2次側絶対圧力 MPa
S ：ノズル（ピンホール）の有効断面積 mm2
P1：大気圧
吸着ノズル
P2：大気圧
P1：加圧
P2：大気圧
ピンホール
■ 計算例
ノズルの径がφ0.1〜2でP2を可変した場合の流量計算値を下表に示します。
流量計算値（ℓ/min）
吸引
ブロー（漏れ検査）
1 MPa） P（
1 MPa） P（
2 MPa） P（
2 MPa）音速／
P（
絶対圧ゲージ圧絶対圧ゲージ圧亜音速
φ0.1
φ0.2
φ0.3
φ0.4
φ1
φ1.5
0.1013
0
0.0313 −0.07
音速
0.090
0.360
0.810
1.440
2.250
4.411
9.002
20.254
36.007
0.1013
0
0.0413 −0.06
音速
0.090
0.360
0.810
1.440
2.250
4.411
9.002
20.254
36.007
0.1013
0
0.0513 −0.05
音速
0.090
0.360
0.810
1.440
2.250
4.411
9.002
20.254
36.007
0.1013
0
0.0613 −0.04
亜音速
0.088
0.352
0.792
1.408
2.200
4.312
8.800
19.801
35.202
0.1013
0
0.0713 −0.03
亜音速
0.082
0.329
0.740
1.315
2.055
4.028
8.220
18.494
32.878
0.1013
0
0.0813 −0.02
亜音速
0.072
0.287
0.645
1.147
1.792
3.512
7.166
16.125
28.666
0.1013
0
0.0913 −0.01
亜音速
0.054
0.215
0.483
0.859
1.343
2.631
5.370
12.083
21.480
0.1113
0.01
0.1013
0
亜音速
0.057
0.226
0.509
0.905
1.414
2.772
5.657
12.727
22.626
0.1213
0.02
0.1013
0
亜音速
0.080
0.320
0.720
1.280
2.000
3.920
8.000
17.999
31.998
0.1413
0.04
0.1013
0
亜音速
0.113
0.453
1.018
1.810
2.828
5.543
11.313
25.454
45.252
0.1613
0.06
0.1013
0
亜音速
0.139
0.554
1.247
2.217
3.464
6.789
13.856
31.175
55.423
0.1813
0.08
0.1013
0
亜音速
0.160
0.640
1.440
2.560
4.000
7.840
15.999
35.998
63.996
0.2013
0.1
0.1013
0
音速
0.179
0.716
1.610
2.862
4.472
8.765
17.888
40.248
71.552
0.3013
0.2
0.1013
0
音速
0.268
1.071
2.410
4.284
6.694
13.119
26.774
60.242 107.096
0.4013
0.3
0.1013
0
音速
0.357
1.426
3.209
5.706
8.915
17.474
35.660
80.236 142.641
0.5013
0.4
0.1013
0
音速
0.445
1.782
4.009
7.127
11.137
21.828
44.547 100.230 178.186
0.6013
0.5
0.1013
0
音速
0.534
2.137
4.809
8.549
13.358
26.182
53.433 120.224 213.731
φ0.5
φ0.7
φ2
（注意）
・配管等に漏れがある場合、計算値より実際に流れる流量が大きくなります。流量選定時には、配管の漏れ量を考慮してください。
・配管途中で、吸着ノズル径よりも細い部分がある場合、流量が絞られてしまい、計算値より低い流量になることがあります。
また、吸着確認等ができなくなるおそれがあります。
・有効断面積は、あくまでも目安です。ノズルが細長い場合、有効断面積はノズルの開口面積よりも小さくなります。
・応答速度は、流量センサから吸着ノズル（ピンホール）までの配管の内容積によって決まります。高速検知を行う場合は、
吸着ノズルの近くに流量センサを配置するなど、極力配管の内容積を小さくしてください。
36
FSM全シリーズ共通
吸着確認について
1
応答時間について
吸着確認時の応答時間は、配管の内容積や
真空ポンプの排気能力等によって決まります。
例えば、右図のような配管の場合の応答時
間の配管依存性は下図のようになります。こ
の結果より、応答時間を短くするためには、
センサから吸着ノズルまでの配管内容積をで
きるだけ小さくすることが効果的です。
圧力センサ
3方弁
加圧源（20kPa）
FSM-V
ノズル（φ0.25）
真空源（−70kPa）
A
B
試験配管
吸引
吸着
リリース（ブロー）
吸引
アナログ電圧出力（V）
5.5
5
配管B内から
気体がぬける
0.5（ℓ/min）
4.5
4
0.5（ℓ/min）
0（ℓ/min）
3.5
3
−0.3（ℓ/min）
2.5
配管B内に気体
が充填される
2
1.5
A：φ4×40
B：φ4×40
A：φ4×40
B：φ4×1000
A：φ4×1000 B：φ4×40
1
0.5
0
100
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
1100
1200
1300
1400
時間（msec）
応答の配管依存性
2
コレットノズルをご使用の場合
コレットノズルは、吸着するワークをノズルと直接密着したくない場合によく
用いられます。コレットノズルは、内部が角錐状になっており、ワークが吸着し
たときに、四隅に隙間ができる構造であるため、吸着時に漏れが発生します。コ
レットノズルとワークの隙間(有効断面積)に対して、配管(バルブ、継手等を含む)
の有効断面積が小さいと、流量は配管の有効断面積で決まってしまい、吸着時と
非吸着時の流量差が小さくなっていまいます。このような場合は、配管の有効断
面積をコレットノズルとワークの隙間の有効断面積より極力大きくすることによ
り、確実に吸着確認ができるようになります。
ノズル
A-A断面
A
A
コレットノズル
37
ワーク
FSM全シリーズ共通
技術資料
漏れ検査について（注1）
1
漏れ量の計算方法
圧力計法からの置き換えをする場合、漏れ量の計算にご使用ください。
Q＝V×
ΔP
1.013×105
Ｑ：漏れ量（mℓ/min）
×
60
T
ΔＰ：差圧（Pa）
Ｖ：ワークの内容積(mℓ)
Ｔ：検出時間(s)
例）内容積が500mℓのワークにおいて、検出時間が5秒で20Paの差圧が発生したときの漏れ量は
Q＝500×
2
20
1.013×105
×
60
≒1.18（mℓ/min）
5
気体と液体の漏れ量の比について
液体用のワークに対し、エアを用いて漏れ検査を行う場合の目安としてご使用ください。
ただし、この計算式は、ハーゲンポアズィユ（Hagen Poiseuille）の式より導き、ピンホールが円管で表面がなめらかな条件と
しています。溶接不良などのピンホールは理論式にあてはまるとは限りません。
QI
＝
Qa
Qa
Ql
ηa
nl
Pa
Pl
ηa
101.3×Pl
×
（101.3＋Pa/2）×Pa
ηl
：エアー漏れ量（mℓ/s）
：液体漏れ量（mℓ/s）
：エアー粘度（Pa･s）
：液体粘度（Pa･s）
：エアーテスト圧（kPa）
：液体テスト圧（kPa）
● 粘度係数（Pa･s×10-3）
温度
空気（ηa）
水（η l）
ブレーキオイル（ηl）
20℃
0.0181
1.00
26
50℃
0.0195
0.55
10
70℃
0.0204
0.40
7
● 空気（20℃）と液体の漏れ量比
液体
水
20℃
ηl、Pa･s
空気圧 Pa
液体圧 Pl
0.001
0.4MPa
0.4MPa
0.006
Ql/Qa
ブレーキオイル 50℃
0.01
0.4MPa
0.4MPa
0.0006
ブレーキオイル 50℃
0.01
0.4MPa
15MPa
0.02
例）水のモレ量0.1mℓ/min（テスト圧0.4MPa）のワークをエア（テスト圧0.4MPa）で検査する場合のモレ量Qaは
Qℓ
＝0.006 より
Qa
Qa ＝
0.1
≒ 16.7（mℓ/min）
0.006
38
FSM、FSM-V シリーズ専用
超小形インラインフィルタ
FSM-VFM Series
おもな特長
小形流量センサラピフローFSM，FSM-Vシリーズ専用のインラインフィルタです。内容積が小さいため、吸着確認時の高速応答を
妨げません。
●
●
●
●
邪魔にならない超小形、省スペース
エレメントの交換が容易
ケース材質は耐薬品性に優れたポリアミド樹脂を使用
透明ケースなので、エレメントの汚れ具合が外部から確認可能
仕様
項目
FSM-VFM-H22
使用流体
適用チューブ外径
耐圧
MPa
使用圧力範囲
MPa
使用温度範囲
℃
ケース
材質
エレメント
ろ過度
μm
製品質量
g
推奨流量
ℓ/min
FSM-VFM-H44
FSM-VFM-M55
清浄空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）1.1.1〜1.6.2）注1
φ1.8
φ4
ポート径 M5
（エアファイバ）
（ワンタッチ）
0.75
−0.1〜0.5
0〜50
ポリアミド
ポリプロピレン、ポリエチレン
10
5.2
9.5
4.2
10 注2
注1：2ページのJIS B 8392-1：2012（ISO 8573-１：2010）による圧縮空気品質等級を参照してください。
注2：流量が10 /minを超えますと圧力損失が大きくなりますので、10 /min以下でご使用ください。
形番表示方法
FSM
VFM
H44
B
記号
機種形番
イ
チューブ外径
イ
内容
チューブ外径
H22 φ1.8（エアファイバ）
H44 φ4（ワンタッチ）
M55 ポート径 M5
ロ
添付
ロ
添付
無記号ブラケット無し
B
● ブラケット部品形番
FSM
VFM
B
（十字穴付皿タッピンネジ M2.5×6：1ケ）
● 保守部品形番
FSM
VFM
E
（エレメント：5ケ、継手固定ピン：1ケ）
39
ブラケット添付
クリーン仕様
（カタログNo.CB-033S）
● クリーンベンチ（クラス1000以上）内にて
帯電防止袋へヒートシール包装。
FSM-VFM- …………………
P70
FSM-VFM Series
外形寸法図
● FSM-VFM-H22
37.8
10
φ10
φ10
● FSM-VFM-M55
10
10
φ10
● FSM-VFM-H44
43.8
37
● FSM-VFM-B〔ブラケット〕
4
8
フィルタボディ
保持部
8.3
14
取付穴
φ2.6
16
6.8
8
4.8
6.8
6.8
13.6
質量：2g
流量特性（FSM-VFM-H44）
2.5
2
圧 1.5
力
損
1
失
0.1MPa
0.3MPa
(kPa)
0.5
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10 11
流量（ /min）
● エアファイバをご使用の場合、配管条件により圧力損失が大きくなる場合があります。ご注意ください。
注意事項
● 本フィルタには方向性があります。
吸着確認等で使用の際にゴミの流出を防止する対策として逆止め弁をお使いください。
（回路例）
切換弁
真空源
FSM
FSM
フィルタ
ノズル
加圧源
● その他注意事項、エレメントの交換方法については47ページをご参照ください。
40
本製品を安全にご使用いただくために
ご使用になる前に必ずお読みください
当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と
これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な
装置を製作する義務があります。
当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。
装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。
なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。
警告
本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。
よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。
2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。
1
製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。
なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用、および次に示すよ
うな条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。
（ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、
万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。）
❶原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･
プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。
❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。
3
装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。
ISO4414、JIS B 8370（空気圧システム通則）
JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針）
高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。
4
安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでくだ
さい。
❶機械･装置の点検や整備は、
本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。
❷運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。
❸機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム
内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。
❹空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて
いるか確認し、注意して行ってください。
5
事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。
■ここに示した注意事項では、
安全注意事項のランクを
「危険」
「警告」
「注意」
として区別してあります。
危険:
（DANGER）
警告:
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ
危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。
（WARNING）
注意:
取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じる
（CAUTION）ことが想定される場合。
なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。
いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。
ご注文に際しての注意事項
1
保証期間
当社製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。
2
保証範囲
上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の
無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。
ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。
①カタログまたは仕様書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合
②故障の原因が本製品以外の事由による場合
③製品本来の使い方以外の使用による場合
④当社が関わっていない改造または修理が原因の場合
⑤納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合
⑥天災、災害など当社の責でない原因による場合
なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については
除外させていただきます。
3
適合性の確認
お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。
41
安全性を確保するための
空圧機器：警告・注意事項
ご使用になる前に必ずお読みください。
個別注意事項：超小形流量センサ FSM-X/FSM-V/FSM-H シリーズ
設計・選定時
危険
■
引火性の流体には絶対に使用しないでください。
警告
取引用メータとしては使用できません。
計量法に適合していませんので、商取引には使用しな
いでください。
工業用センサとして使用してください。
■ 適用流体以外の流体では、精度の保証はできません
ので使用しないでください。
■ コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸
化オイル、異物等）が含まれていますので、センサ
の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ及びオ
イルミストフィルタ（マイクロエレッサ）を取付け
て使用ください。
尚、
センサ内のメッシュ（金網）は、
配管中の流れを整流するためのものです。異物を取
除くためのフィルタではありませんので、必ずフィ
ルタを設置してください。
■
〈推奨回路〉
元圧
エア
ドライヤ
フィルタ
周囲温度・流体温度
周囲温度・流体温度は 0～ 50℃の範囲内でご使用
ください。
なお、温度範囲内であっても周囲温度・流体温度が
急激に変化し結露が発生する場所では使用しないで
ください。
■ 使用圧力範囲・使用流量範囲
最高使用圧力以上又は最低使用圧力以下、使用流量
範囲外での使用は故障の原因になりますので、仕様
範囲内でご使用ください。
■ 防滴環境
本製品の保護構造はIP40相当です。水分、塩分、塵
埃及び切り粉がある場所、加圧、減圧環境下では設
置しないでください。温度変化の激しい場所や、高
湿度の環境では本体内部に結露による障害を発生
する恐れがありますので使用できません。
■
1. 使用流体について
注意
■
レギュレータオイルミスト流量センサ
条件
● 本製品の評価は、電源線と信号線が一対となったケーブ
ルを使用し、信号線として評価しています。
● サージイミュニティに対する耐性はありませんので、装
置側にて対策を実施してください。
フィルタ FSM シリーズ
（マイクロエレッサ）
センサの一次側にバルブを使用する場合は、禁油仕
様のバルブをご使用ください。グリス、オイル等の
飛散により、センサが誤作動したり破壊する恐れが
あります。なお、バルブによっては摩耗粉が発生す
る場合がありますので、センサへの流れ込みを防ぐ
ため、フィルタを取り付けてご使用ください。
■ 炭酸ガスなど液化ガスをご使用の場合は、必ず気
化させてください。液化したガスが本製品に流れ
込むと故障の原因になります。
■ 塩素、
硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、
かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体
をご使用ください。
■ 流体の質によっては、流体を長時間滞留させると性
能に悪影響を及ぼす可能性があります。配管内の流
体を長時間密封しないでください。
■
2. 使用環境について
3. 流量単位について
注意
■
防爆性環境
爆発性ガス雰囲気中では、絶対に使用しないでくだ
さい。防爆構造になっていませんので、爆発火災を
引起こす可能性があります。
警告
■
腐食性環境
亜硫酸ガス等の腐食性ガス雰囲気では使用しないで
ください。
本製品の流量は温度、圧力の影響を受けない質量流
量で計測しています。単位はℓ/min ですが、これは
質量流量を20℃ 1気圧(101kPa)での体積流量に
換算した場合の表示です。
4. 耐圧について
注意
■
危険
■
CE 適合のための使用条件
本製品は EMC 指令に適応した CE 適合製品です。
本製品に適用しているイミュニティに関する整合
規格は EN61000-6-2 ですが、この規格への適
合として下記条件が必須となります。
各シリーズで、耐圧が異なります。選定時ご注意く
ださい。
5. 過流量について
注意
■
各シリーズともに、測定範囲の2倍程度の過流量が流
れてもセンサには問題ありませんが、最大使用圧力
近くでの動圧がかかった場合（2次側開放状態で、一
次側に圧力が加わった場合）、センサに異常をきたす
恐れがあります。モレ検査のワーク充填時等、動圧
がかかる場合は、必ずバイパス回路や、しぼりを設
けてセンサに動圧がかからないようにしてください。
42
FSM-X･FSM-V ･FSM-H Series
チ継手付近のチューブに応力が加わる場合はイン
サートリングをチューブに挿入後、ワンタッチ継手
へ差し込んでご使用ください。
6. 吸着確認等でご使用の場合
注意
■
本製品を吸着確認等でご使用の場合は、使用真空圧力、吸着
ノズル径より流量レンジを選定してください。
別紙「流量理論計算方法」36ページを参照してください。
■
本製品を吸着確認等でご使用の場合は吸入側の上流
に必ずエアフィルタ（ろ過度 30 μ m 以下）
を取付
け、異物の吸入を防止してください。
（FSM、
FSM-V
専用超小形インラインフィルタのご使用をお奨めし
ます。
詳細は39 ページを参照してください。
）
■
FSM-Vシリーズにおいて±5ℓ /min、
±10ℓ/min
の流量範囲で、
エアファイバモデルをご使用の場合、
使用圧力によっては圧力損失が大きくなり、必要流
量が流れない場合があります。ご注意ください。
■
本製品を吸着確認等でご使用の場合、吸着ノズルか
ら本製品の間の配管容積によって、応答速度が遅れ
る場合があります。その場合は、配管容積を小さく
する等の対策をとってください。
吸着確認用センサを圧力センサ（スイッチ）から流
量センサ（スイッチ）へ置き換えた場合、センサ出
力（スイッチ出力）の理論が反転するイメージにな
ります（下図参照）
。
PLCのシーケンスプログラムについて変更・修正す
る必要が出ますので、ご注意ください。
特に、装置電源投入時に、元圧・真空源が供給され
ていない場合、流量センサ（スイッチ）では、
「流量
0」＝「センサ出力（スイッチ出力）ON」の状態
となりますので、PLCのシーケンスプログラム等に
て問題がでないようにしてください。
圧力センサ（スイッチ）
流量センサ（スイッチ）
設定値以上 ON
設定値以下 ON
ON
吸着確認
■
本製品を吸着確認等でご使用の場合は大気の露点と
本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない
条件でご使用ください。
■
OFF
大気圧側
高真空側流量0側
ON
OFF
流量大側
FSM-X シリーズ
・流路構造によっては流量 - 出力特性が変化する場合
がありますので、流路ブロックをご用意される場合
には実際に流量 - 出力特性をご確認の上、ご使用く
ださい。
・流体の質によっては、流路内に長時間滞留させると
性能に悪影響を及ぼす可能性があります。配管内の
流体を長時間密封しないでください。
■
漏れ検査でのご使用の場合
■
本製品の使用圧力範囲は－ 0.09 ～ 1.0MPa
です。
4 4 4 4 4
特に、－0.09MPa 以下の真空下で、通電された場
合、センサの放熱性が悪くなり、センサの劣化につ
ながります。
■
吸気などの真空用途で使用する場合、ワンタッチ継
手部付近での曲げを行わないでください。ワンタッ
取付・据付・調整時
配線について
危険
■
電源電圧及び出力は、仕様電圧でご使用ください。
仕様電圧以上の電圧を印加すると、誤作動、センサ
の破損および感電や火災の原因となります。
また、出力の定格を超える負荷は、使用しないでく
ださい。出力の破損や火災の原因となります。
いない電源では、
夏のピーク値が定格を超え、
本製品
を破損させたり精度を悪化させる場合があります。
■
配線は制御装置・機械装置を停止し、電源を切っ
た状態で行ってください。急激に作動させると予
期しない動作をする場合があり、危険です。まず、
制御装置・機械装置を停止状態のまま、通電試験
を行い、目的としたスイッチデータ設定を行って
ください。作業前、作業中は人体・工具・装置に
帯電した静電気を放電させて、作業を行ってくだ
さい。可動部にはロボット用線材のように耐屈曲
性能のある線材を接続配線してください。
■
電源電圧範囲を超えて使用しないでください。使用
範囲以上の電圧を印加したり、交流電源を印加する
と、破裂したり焼損したりする恐れがあります。
■
本製品および配線は、強電線などのノイズ源から極
力離して設置してください。電源線にのるサージは
別に対策をとってください。
■
負荷を短絡しないでください。破裂したり焼損した
りする恐れがあります。
警告
■
■
■
43
配線時に線の色の確認を行ってください。
誤配線はセ
ンサの破壊・故障および誤作動につながりますので、
取
扱注意書にて、
配線の色をご確認の上、
配線ください。
配線の絶縁を確認してください。
他の回路と接触、地絡、端子間絶縁不良がないよう
にしてください。センサに過電流が流れ込み、破損
の原因となります。
本製品に使用する電源は交流電源とは絶縁された定
格内の DC 安定化電源を使用ください。絶縁されて
いない電源は、
感電の危険があります。
安定化されて
FSM-X・FSM-V･FSM-H Series
個別注意事項
取付・据付・調整時
注意
■
金属ボディ（ステンレスボディ、アルミボディ）タ
イプ用の電源は、交流 1 次側とは完全に絶縁され
たDC 安定化電源を使用し、電源側の＋側－側どち
らか一方をF.G. 接続してご使用ください。金属ボディ
タイプの内部電源回路と金属ボディの間には、セン
サの絶縁破壊防止のため、バリスタ（制限電圧約
40V）が接続されています。金属ボディタイプの内
部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験・絶縁
抵抗試験は行わないでください。これらの試験が必
要な場合には配線を外してから行ってください。電
源と金属ボディ間の過大な電位差は内部部品を焼損
させます。
なお、金属ボディタイプの設置・接続・配線後の、
装置・フレームの電気溶接や短絡事故などは、溶接
電流・溶接時の過渡的な高電圧・サージ電圧などが、
上記機器間に接続された配線・アース線や流体路を
迷走し、電線や機器を破損させる場合があります。
電気溶接などの作業は、本機や電気配線のF.G. 接続
をすべて取り外してから、行ってください。
配管について
注意
FSM-Hは、
流体の流れ方向とボディに指示された方
向を合せて、配管してください。
■ FSM-Vは、
ボディの矢印の方向を確認し、流体の流
れる向きとスイッチ動作を考慮して、配管・設置し
てください。
■
−
切換え弁
ブロー
真空フィルタ
吸着ノズル
〈配管例〉スイッチタイプ
吸着
＋
吸着側：＋側
ブロー側：−側
5V
吸着側：3〜5Ｖ
ブロー側：3〜1Ｖ
先端を 2 ～ 3 山残してシールテープを 1 ～ 2 重に巻きつけ、
爪先で押さえてねじに密着させてください。液状のシール剤
を使用するときも、ねじの先端から1 ～ 2 山残して多すぎ
ないように注意しながら塗布してください。機器のねじ側へ
塗布しないようにしてください。
シールテープ
固形・液状シール剤
固形
液状
シール剤
（良）
（悪）
（良）
固形
液状
シール剤
（悪）
金属ボディで OUT 側開放で使用の場合でも必ず継
手を接続してください。ポートフィルタがはずれる
恐れがあります。
■ ワンタッチ継手をご使用の場合、チューブは確実に
挿入し、チューブを引いて抜けないことを確認して
から、ご使用ください。また、チューブは専用カッ
タで必ず直角に切断してからご使用ください。
■ エアファイバは下記操作方法（ 1 ～ 5 ）に従って接
続してください。
■
1
流れ方向
カラーを一番奥の位置にセット
します。
4
エアファイバは最後の位置
まで挿入します。
5
カラーを手前に引きロック
します。
カラー
真空源
エアー源
流れ方向
真空源
2
エアファイバの先端は位置に
直角に切断してください。
3
カラーを通して、エアファイバ
が正常に挿入されていることを
確認しながら作業してください。
エアー源
流れ方向
センサを配管に取りつける時は、接続ポ－トに過大
なねじ込みトルクや荷重トルクが加わらないように、
下記トルクを参考にしてくだい。
〔参考値〕
接続ねじ
M5
Rc1/8（G1/8）
Rc1/4
■
切換え弁
■
真空フィルタ
吸着ノズル
ブロー
1V
ねじ部にフッ素樹脂製のシールテープを巻く場合は、ねじの
流れ方向
〈配管例〉アナログタイプ
吸着
配管の際には、金属部にスパナ掛け等を行い樹脂部
に力が加わらないようにしてください。
■ 配管の際には、シ－ルテ－プや接着剤が入らないよ
うにしてください。
■
締付けトルク N・m
0.5〜1.0
3〜5
6〜8
配管の前には、配管内の異物・切粉等を除去するた
め、
エアブロ－を行って清掃してください。異物・切
粉等が大量に混入すると整流ユニットやセンサチッ
プを破損することがあります。
FSM-X について
・リード線に繰り返しの曲げや引張り力が加わらない
ようにしてください。断線の原因となります。
・ご使用中にコネクタ部へ外力が加わらないようにし
てください。内部基板、ボディが変形して出力変化
や、外部漏れの原因になります。
・双方向タイプ（片方向タイプ）は、流量 0 の時
3V(1V) を示し、コネクタを右側にして本体を見
て流体を右に流した場合、5V に変化します。
■
44
FSM-X･FSM-V ･FSM-HSeries
■
調整時
FSM-H シリーズ
横取付（貫通穴使用）
注意
流体の脈動等、流量が安定しない状態でスイッチ動
作を行うと動作不安定となる場合があります。この
時は、2 つの設定値の間を十分持たせるか、不安定
な領域でのスイッチ設定をさけ、スイッチ動作が安
定する事を確認してから、ご使用ください。
■ FSM-V シリーズ、スイッチ出力タイプの設定の際
は、
トリマ溝（0.5W × 1.9L × 0.45D）に合った
マイナスドライバまたは、0 ビット用プラスドライ
バを使用してください。また、トリマの回転範囲は
240 度です。これ以上回そうとしたり、強く押えて
回転させようとすると、破損する恐れがあります。
縦取付（底面めねじ使用）
■
ブラケット取付（※ブラケット使用）
※専用ブラケット（別売品）
を用意しております。
（形番：FSM-LB1）
（22 ページ参照）
取付について
注意
■
■
本製品は上下左右どの方向にも取付ることができます。
FSM-X シリーズ
● センサヘッド単品の場合
2 箇所の貫通穴（φ 2.3）を利用して設置して
ください。
〔参考値〕
推奨接続ねじ
M2
締付けトルク N・m
0.2〜0.3
固定用 M3（長さ 6mm）ビス
4 本付属
分離表示器 FSM-H-D □、FSM-V-D □共用
分離表示器の設置取付け用に取付金具・キット類
（別売り）を用意しております。
■
取付金具形番：PPD3-KL-D
：片側取付フート（L 字取付け）
取付穴加工寸法
2-呼び3
Pタイト
取付金具形番：PPD3-KD-D
● 流路ブロック付の場合
2箇所の貫通穴
（φ2）
を利用して設置してください。
推奨接続ねじ
M1.6
：両側取付フート（平行取付け）
取付穴加工寸法
2-呼び3
Pタイト
4-M3
締付けトルク N・m
50
〔参考値〕
18
2-M3
0.2〜0.3
18
取付金具形番：PPD3-KHS-D
：パネル取付金具一式、パネルカバー付
取付穴加工寸法
□33.5±0.3
■
■
FSM-V シリーズ
超小形流量センサ単体の場合
側面 2 箇所の貫通穴（φ3.2）を利用して設置して
ください。
取付金具形番：PPD3-KC
：操作保護カバー
保護カバー
保護カバー押え
45
FSM-X・FSM-V･FSM-H Series
個別注意事項
使用・メンテナンス時
警告
■
■
出力精度は、温度特性の他に通電による自己発熱の
影響も受けます。ご使用時には、
スタンバイ時間
（通
電後 5 分以上）をもうけるようにしてください。
動作中に異常が発生した場合は、すぐに電源を遮断
し、使用を中止し、販売店に連絡をしてください。
■
本製品の流量は定格流量の範囲内でお使いください。
■
本製品は使用圧力の範囲内でお使いください。
■
流を防止してください。
4 流量センサの電源線－側に直列にダイオードを入れ、電
流の逆流を防止してください。
出力の設定値を変更する場合は、制御系装置が意図
しない動作をする可能性がありますので、装置を停
止してから変更してください。
精度については、お客様のご使用環境やご使用状
態において、初期から変動する場合があります。
定期的に動作確認することを推奨いたします。
故障の原因になりますので、分解・改造はしないで
ください。
ケースの材質は樹脂です。汚れ等を取るために、溶
剤・アルコール・洗浄剤などは使用しないでくださ
い。樹脂を侵す恐れがあります。薄めた中性洗剤を
堅く絞ったウエスなどで拭き取ってください。
断線
（内蔵）
電磁弁
ON
PLC
PLCの出力
サージ電流
サージ電流回り込みによる破損を防止するには下記
のような対策を行ってください。
1 電磁弁・リレーなどの誘導負荷となる出力系と流量セン
サなどの入力系の電源は分離させてください。
2 別電源とすることが出来ない場合は、すべての誘導負荷
に対して直接サージ吸収用の素子をお取り付けください。
PLCなどに接続されているサージ吸収素子はその機器のみ
を保護するものであるとお考えください。
3 さらに、下図のように電源配線の各所にサージ吸収素子
を接続し、不特定箇所での断線に備えてください。
制御盤
ＰＬＣ入力
主回路
他の機器
他の機器
からの電流
断線または非常停止
による回路遮断サージ吸収素子
入力機器
逆流防止用ダイオード
流量センサ
入力機器
流量センサ
サージ吸収素子
（後付け）
入力機器
断線・配線抵抗による逆流電流にご注意ください。
流量センサと同じ電源に流量センサを含めた他の機
器が接続されている場合、制御盤の入力装置の作動
を確認するため、スイッチ出力線と電源線－側を短
絡させたり、または電源線－側が断線すると流量セ
ンサのスイッチ出力回路に逆流電流が流れ破損する
場合があります。
サージ電流の回り込みにご注意ください。
流量センサと電磁弁・リレーなどのサージを発生す
る誘導負荷と電源を共有している場合、誘導負荷が
作動した状態で回路が遮断されると、サージ吸収素
子の取付位置によっては、サージ電流がスイッチ出
力回路に回りこみ破損する場合があります。
リレー
■
い。
3 流量センサ出力線に直列にダイオードを入れ、電流の逆
主回路
■
もに、配線を極力太くしてください。
2 流量センサと同じ電源に接続する機器を制限してくださ
■
■
■
1 電源線、
特に－側の電源線への電流の集中を避けるとと
本製品は、通電直後は、自己診断のため約2秒は、
流量検出スイッチ動作を行いません。通電後約2秒
は信号を無視する制御回路・プログラムとしてくださ
い。
注意
■
逆流電流による破損を防止するには、下記のような
対策を行ってください。
テストSW
又は、短絡
なお、機器類をコネクタ接続されている場合、通電
中にコネクタを外すと上記現象により、出力回路が
破損することもありますので、コネクタの脱着は必
ず電源を切ってから行ってください。
46
FSM-VFMSeries
流量範囲を超えた場合でも、アナログ出力されます。
表示については「Hi」表示となります。
但し、精度保証外となりますので、あらかじめご了
承ください。
また、逆方向に流れた場合もアナログ出力されます。
（精度保証外となります。FSM-V シリーズは除く。
）
正方向の信号との混同が発生する場合は、PLC の
シーケンスプログラム等にて問題がでないようにし
てください。
■
個別注意事項：超小形インラインフィルタ FSM-VFM シリーズ
使用・メンテナンス時
注意
■
■
酸、アルカリ、カルボン酸、その他有機化合物、ネ
ジロック剤、溶剤、アルコール液の付着およびこれ
らを含むエアの吸込みを目的とした真空回路で使用
しないでください。
ボディが破損する恐れがあり危険です。
■
ボディの洗浄には家庭用中性洗剤を使用後、水洗い
してください。
■
吸着時の粉塵等、粒子径の小さいものが流路に侵入
した場合、異物がろ過されずに 2 次側に流出する可
能性があります。
目的に合わせてフィルタの選定をしてください。
指定されたチューブおよびプラスチック製プラグを
ご使用ください。
チューブ外径精度
・ポリアミド管…………………± 0.1mm 以内
・ポリウレタン管
（～φ6）………………± 0.1mm 以内
エレメントの交換方法
エレメント
継手
0.1
（φ8 ～）………………＋
－ 0.15 mm 以内
3
継手固定ピン
2
CKD 推奨形番
プラスチックプラグ
ソフトナイロンチューブ
ポリウレタンチューブ
ニューウレタンチューブ
GWP ※ -B シリーズ
F15 ※※シリーズ
U95 ※※シリーズ
NU-04, 06 シリーズ
■
ワンタッチ継手に関する注意事項については、
“ジョ
イント・チューブの個別注意事項”を併せてお読み
ください。
■
ポリアミドケースのクラック、傷、その他の劣化を
確認するために定期的な点検・清掃・交換を行って
ください。
■
フィルタエレメントの目詰まりは真空源の性能低下
の原因となりますので、エレメントの定期的な点
検・清掃・交換を行ってください。
■
フィルタエレメントの清掃・交換などでボディを取
外す時は必ず容器内を大気圧にしてから行ってくだ
さい。
また、流れ方向には方向性がありますので、ボディ
の矢印表示をよく確認して、再組立を行ってくださ
い。
再組立後は回路内が必要な真空度になることを確認
してください。
47
1
4
先端が尖った治具などで、継手固定ピンを抜きま
す。（継手固定ピンは再使用しますので無くさない
ようにご注意ください）
2 継手を引抜きます。
3 エレメントを交換し、継手を差込みます。
4 継手固定ピンを差込み、継手を固定します。
1
カスタム品
特別注文品として受け賜ります。詳細は弊社営業にお問い合わせください。
フィルタ付タイプ
■ 吸着確認用に最適なフィルタ付
■ FSM-Vシリーズ対応可能。
FSM-V　一方向検知タイプ
■ 標準タイプは双方向検知ですが、
一方向のみの検知も対応可能。
（例：流量範囲±10ℓ/min→0〜10ℓ/min）
アナログ出力(V)
5
1
0
F.S.流量
流量(ℓ/min)
48
関連商品
インライン形クリーンフィルタ　FCS500･FCS1000シリーズ
カタログNo.CB-024S
各種クリーン用途のファイナルフィルタとして最適
■ 高精度ろ過0.01μm、除去効率99.99%
中空糸膜エレメントの採用で、ろ過精度0.01μm
除去効率99.99%を実現しました。
■ 長寿命
寿命も大幅に向上。平膜式と比べ、約5倍にアップしました。
■ 小形・軽量・大流量
同一容積の平膜式に比べ、3〜10倍のろ過面積を有しているため、
大流量で低圧損。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
■ 禁油仕様
部品はすべて脱脂洗浄を実施。さらに、組立から包装までを
クリーンルーム内で一貫生産しています。
■ メンテナンス容易
樹脂タイプは透明ケース採用。エレメントの汚れが目視確認できます。
■ バリエーション豊富
流量で500と1000の2シリーズ、材質で樹脂とステンレス、さらに、
取付にはワンタッチ継手、おねじ配管、めねじ配管を用意しています。
小形流量センサ（ラピフロー）FSM2シリーズ
カタログNo.CB-024S
■ 高精度・高速応答・大流量でコンパクト
■ オプションと操作性を追求した機能が充実
・ニードル弁一体型　・分離表示器　・クリーン仕様（P70・P80）
・パネルマウント可能　・ツイン表示/2色表示機能　・バー表示機能
小形流量コントローラ（ラピフロー）FCMシリーズ
■
■
■
■
■
49
小形・高速・高精度
多種流体に対応
0.5秒の高速制御が可能
制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載
マイコン搭載により多機種化を実現
カタログNo.CB-024S
圧縮空気用流量センサ(表示一体形フルーレックス）PF（F）シリーズ
カタログNo.CB-024S
■ 従来のPFシリーズに、4つの「New」を追加！
①低圧損0.005MPaを実現
②配管内に混入するドレン水滴に強い
③表示部を一体化し、扱い易さをアップ
④フィルタ・レギュレータとのユニットタイプをシリーズ追加
■ ユニット化により3つの「削減」を可能に！
①組立工数の削減
②配管スペースの削減
③発注工数の削減
圧縮空気用流量センサ(表示分離形フルーレックス）PFDシリーズ
カタログNo.CB-024S
■ 豊富な出力バリエーション
■ 補正不要、デジタルで直読可能
■ 総合精度±4%F.S.の高精度
50
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東北
〒024-0034 岩手県北上市諏訪町2-4-26
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772-3041 FAX
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北関東
〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33
（高野不動産ビル2階）
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（0258）
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25-0711 FAX
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25-1334
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（076）
421-7828 FAX
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421-8402
〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8
TEL
（076）
262-8491 FAX
（076）
262-8493
東
●さいたま営業所
●名古屋営業所
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●豊田営業所
〒331-0812 さいたま市北区宮原町3-297-2
（杉ビル6 5階）
TEL
（048）
652-3811 FAX
（048）
652-3816
〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1
（関鉄つくばビル4階C）
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（029）
841-7490 FAX
（029）
841-7495
●宇都宮営業所
〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7
（NBF宇都宮ビル3階）
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（028）
638-5770 FAX
（028）
638-5790
●太田営業所
〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2
（大槻商事ビル1階）
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（0276）
45-8935 FAX
（0276）
46-5628
南関東
●東京営業所
〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1
（文化放送メディアプラス4階）
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（03）
5402-3628 FAX
（03）
5402-0122
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〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30
（朝日生命立川錦町ビル3階）
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527-3773 FAX
（042）
527-3782
〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
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74-1371 FAX
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●浜松営業所
〒435-0016 浜松市東区和田町438
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〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10
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九
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本
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西
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TEL
（06）
4250-6333 FAX
（06）
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州
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国
●松山営業所
〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800
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339-2140 FAX
（059）
339-2144
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〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1
（文化放送メディアプラス4階）
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（03）
5402-3620 FAX
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四
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（055）
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（0835）
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〒222-0033 横浜市港北区新横浜2-17-19
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475-3470
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（くれしん広島ビル3階）
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（082）
545-5125 FAX
（082）
244-2010
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54-4755
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470-5070 FAX
（047）
493-5190
海
国
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77-1111 FAX
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77-1123
〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
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（0568）
74-1303 FAX
（0568）
77-3410
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74-1338 FAX
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お客様技術相談窓口
フリーダイヤル 0120-771060
受付時間 9:00∼12:00/13:00∼17:00
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（077）
583-4198
（土日、
休日除く）
〒612-8414 京都市伏見区竹田段川原町241
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645-1130 FAX
（075）
645-4747
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（オッシェム･ロジナ1階）
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（0743）
57-6831 FAX
（0743）
57-6821
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〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8
（西明石スポッ
トビル3階）
TEL
（078）
923-2121 FAX
（078）
923-0212
●大阪支店
〒550-0001 大阪市西区土佐堀1-3-20
TEL
（06）
6459-5770 FAX
（06）
6446-1945
Website http://www.ckd.co.jp/
□ 2-250 Ouji Komaki, Aichi 485-8551, Japan
□ PHONE +81-(0)568-74-1338 FAX +81-(0)568-77-3461
U.S.A.
Thailand
●Chicago Headquarters
●Sales Headquarters
CKD USA Corporation
4080 Winnetka Avenue, Rolling Meadows, IL 60008, USA
PHONE +1-847-368-0539 FAX +1-847-788-0575
・Cincinnati Office
・San Antonio Office
・San Jose Office
Europe
CKD Corporation Europe Branch
De Fruittuinen 28, Hoofddorp, the Netherlands
PHONE +31（0）
23-5541490 FAX +420-321-622-055
・Czech Office
・UK Office
・Germany Office
Malaysia
M-CKD Precision Sdn. Bhd.
●Head Office
Lot No. 6, Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan
MIEL,Fasa 8, 40300 Shah Alam, Selangor Darul Ehsan,
Malaysia
（0）
3-55411468 FAX +60（0）
3-55411533
PHONE +60-
・Johor Bahru Branch Office
・Melaka Branch Office
・Penang Branch Office
CKD Thai Corporation Ltd.
Suwan Tower, 14/1 Soi Saladaeng 1, North Sathorn Road,
Kwaeng Silom, Khet Bangrak, Bangkok 10500, Thailand
PHONE +66（0）
2-267-6300 FAX +66（0）
2-267-6304-5
・Rayong Office
・Navanakorn Office
・Eastern Seaboard Office
・Lamphun Office
・Korat Office
・Amatanakorn Office
Singapore
CKD Singapore Pte. Ltd.
33 Tannery Lane, #04-01 Hoesteel Industrial Building,
Singapore 347789, Singapore
PHONE +65-6744-2623 FAX +65-6744-2486
CKD Corporation Branch Office
33 Tannery Lane, #04-01 Hoesteel Industrial Building,
Singapore 347789, Singapore
PHONE +65-6744-7260 FAX +65-6744-1022
Taiwan
台灣喜開理股份有限公司
Taiwan CKD Corporation
16F-3, No. 109, Sec. 1, Zhongshan Rd., Xinzhuang Dist.,
New Taipei City 242, Taiwan
PHONE +886（0）
2-8522-8198 FAX +886（0）
2-8522-8128
・新竹営業所
（Hsinchu Office）
・台南営業所
（Tainan Office）
改訂内容
・追加機種 FSM-Xシリーズ
・削除機種 FSMシリーズ
China
喜開理
（上海）
機器有限公司
CKD
（Shanghai）
Corporation
●営業部 / 上海事務所（Sales Headquarters / Shanghai Office）
Room 601, Yuanzhongkeyan Building, No. 1905 Hongmei
Road, Xuhui District, Shanghai 200233, China
PHONE +86（0）
21-61911888 FAX +86（0）
21-60905356
・無錫事務所
（Wuxi Office）
・杭州事務所
（Hangzhou Office）
・寧波事務所
（Ningbo Office）
・南京事務所
（Nanjing Office）
・蘇州事務所
（Suzhou Office）
・昆山事務所
（Kunshan Office）
・北京事務所
（Beijing Office）
・天津事務所
（Tianjin Office）
・長春事務所
（Changchun Office）
・大連事務所
（Dalian Office）
・青島事務所
（Qingdao Office）
・済南事務所
（Jinan Office）
・瀋陽事務所
（Shenyang Office
・重慶事務所
（Chongqing Office）
・成都事務所
（Chengdu Office）
・西安事務所
（Xian Office）
・武漢事務所
（Wuhan Office）
・長沙事務所
（Changsha Office）
・広州事務所
（Guangzhou Office）
・深圳事務所
（Shenzhen Office）
・東莞事務所
（Dongguan Office）
・厦門事務所
（Xiamen Office）
Korea
CKD Korea Corporation
●Headquarters
3rd Floor, Samyoung Building, 371-20,
Sinsu-Dong, Mapo-Gu, Seoul 121-856, Korea
PHONE +82-(0)2-783-5201∼5203 FAX +82-(0)2-783-5204
・水原営業所
（Suwon Office）
・天安営業所
（Cheonan Office）
・蔚山営業所
（Ulsan Office）
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