XT Hシリーズ 産業用X線／CTシステム NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION 産業用マイクロフォーカスX線/CTとは システム内部の仕組み X線撮影技術 X線によって複雑な工業用部品の内部の画 幅広い用途で活躍 像を取得。その後CT機能を使用して、スム マイクロフォーカスX線/CT技術は過去10年で進化を遂げ、い まや主流の計測技術となりました。プラスチックや金属、新素材 を扱う自動車、航空宇宙、 エネルギー、医療さらには消費材まで、 その活用範囲は常に広がり続けています。 ーズかつ非破壊的プロセスであらゆる内 寸、外寸を定性、定量化します。 X線撮影（レントゲン写真）は基本的には簡単です。X線源とディ テクタの間の回転ステージに物体を置きます。高精度マイクロフ ォーカス源が発生させたX線が試料を透過すると、デジタルフラ ットパネルディテクタがX線のパターンを2D画像として取り込み ます。このとき、試料の材質や形状に応じて、異なるグレーレベル で表示されます。厚い物質や高密度の物質 (鉄、銅、鉛など) は濃 いグレーに、 プラスチックや紙、空気などの薄いものや軽いもの は明るめのグレーになります。 X線/CT技術への貢献 産業用X線/CTシステムは、高い精度と、非破壊で部品の内寸、 外寸を同時に測定する機能を兼ね備えた装置です。三次元寸法 に物質密度を加えた4つのデータによる検査が、 品質の維持・ 向上に大きく貢献します。 Nikon Metrologyは産業用マイクロフォーカスX線/CT検査に 力を注いでおり、すでに数百セットの検査システムの導入実績 を築いています。イギリスのTringでCT専門家が開発するシス テム一式には、Nikon Metrology独自のマイクロフォーカスX 線源、5軸すべてがプログラム可能な高精度5軸マニピュレータ、 そして産業用コンピュータ向け高速画像構築ソフトウェアが組み 込まれています。 断層撮影 (CT) 試料をX線源に近付けると画像の倍率が上がります。 これまでキャビネット型システムからカスタム仕様による50 トン、450kVのウォークイン検査室まで、さまざまな大きさの X線/CTシステムを納入してきました。小型部品内部の微細な 形状から大型土壌サンプルの内容物まで、多様なデジタル三次 元画像の構築に活用されています。もし、ニーズに合うシステム が見つからない場合は、Nikon Metrologyはお客様に合わせた システムを開発いたします。 三次元CT画像撮影では、 まず物体を360° 回転させながら2D のX線画像を連続して撮影します。この連続画像を三次元再構築 ソフトウェアで処理して、外表面に加えて部品内部の形状、 さらに 密度の情報までを持つ完全な内部構造画像を構築します。まる で試料の内部を歩き回るかのように三次元CT画像の内部を探 査できるため、他の方法では見ることができない組立エラーや構 造の欠陥の発見が容易です。 多用途に活用 通常、X線は手動または自動でのすばやい目視検査に用いら れ、CTスキャンは綿密な解析に用いられます。 • 欠陥検査 • 空隙率解析 部品を回転軸上で回転させながらX線画像を撮影し、正確な三次元CT画像を作成。 • 組立検査 • ダメージ解析 • 材料検査 • 寸法計測 • リバースエンジニアリング • 幾何形状比較 CTスキャンの用途 2mm • 複雑な内部構造の測定、評価 • 内包された部品を独立して検査 • 試料を切断することなく測定 • 内部のボイドや立体形状を自動的に検出、測定 ディーゼル噴射装置部品のCT画像と解析 • 表面形状をはがした画像表示 3 XT H 160/XT H 225シリーズ XT H 320/XT H 450システム 万能型のX線/CT検査装置 大型、高密度試料の検査用 内部部品や組立部品形状の詳細な取り込みや測定は、品質管理、故障解析、材料研究などに欠かせません。入門機のXT H160および万 Nikon Metrologyが誇る、強力なマイクロ 能タイプのXT H 225は、マイクロフォーカスX線源、大型部品検査、高解像度画像を提供し、超高速CT画像構築が可能です。どちらも、 フォーカスX線源搭載システムです。高エ 小型鋳物、 プラスチック部品、複雑なメカニズムの検査、材料や自然試料の研究などの幅広い用途に対応しています。 ネルギーのマイクロフォーカスX線源が、 大型鋳物や単結晶合金タービンブレードと いった高密度産業用部品の高精度検査に 威力を発揮します。 Nikon Metrology独自の160kV/225kV マイクロフォーカスX線源 XT H 225検査システムの中核となるのが225kVマイクロフォ ーカスX線源です。X線管とターゲットは、その組み合わせによっ てシステムの精度と検査性能に大きな違いが生まれます。X線源 はスポットサイズ3ミクロンの反射型ターゲットを装備していま す。オプションの透過型ターゲットは、出力は若干弱まりますがス ポットサイズをさらに小さくし、倍率を上げることができます。 ターゲットの種類にかかわらず、XT H 225システムの開放型 X線源は他社の密閉管式に比べて圧倒的に低コストです。 XT H 450 標準のXT H 225 STシステムよりも検査キャビネットを大型にしたXT H 225 LCは、 広いウォークインキャビネットを備えています。Nikon Metrologyは、 お客様のご要望 に合わせたX線/CT構成を提供することも可能です。詳細はお問い合わせください。 世界初の320/450kVマイクロフォーカス源 他社の225kV X線源が届かないところへ Nikon Metrologyは世界で唯一、225kVの回転ターゲットX線 源を製造しています。回転ターゲットを用いた場合、 回転している ターゲットに電子ビームが照射されるため、はるかに効果的に冷 却されます。このため、 スポットサイズにはほとんど影響すること なく電子ビームのエネルギーを倍増でき、X線強度も3～5倍に 増幅が可能。より短時間で測定でき、通常の225kV線源の場合 よりも高密度または大型の試料を測定できます。 • 簡単な操作 • 自動化が容易 3日あれば操作方法を習得できます。傾斜軸を増やすと、内 カスタマイズ可能なマクロで測定ワークフローの自動化が 部形状の認識がより早くなります。さらに、CTウィザードの 可能です。さらに業界標準の後処理アプリケーションに適合 ガイドに従って簡単にデータを取得できます。 しているので、意思決定プロセスも能率化できます。 • 高画質画像 • 安全第一のシステム 小さなスポットサイズと高解像度フラットパネルにより、鮮 放射線安全規格 (CEおよびDIN 54113) に準拠した 明な画像を表示。全体像は粗めに表示、関心領域は高解像 キャビネットなので、特別なフィルムバッジや防護服が不要 度で表示と、必要に応じて解像度を調節可能です。 です。システム稼働中は常時、安全についてモニターしてい • 高性能 システム全体がリアルタイムでの視覚化および処理に最適 化されています。高機能CT画像構築ソフトウェアは、市販の コンピュータで動作します。 ます。 • 低コストで導入・維持 開放型X線管なので、 フィラメント交換によるメンテナンス が可能です。特別な床工事は不要で、 キャスター3輪の移動 機構付きで簡単に移動できます。 一般にマイクロフォーカス源は最高225kVまでで、 より強力な X線源となるとミニフォーカスしかありません。Nikon Metrology は世界で唯一、320kVおよび450kVのマイクロフォーカスX線 源を提供しています。320/450kV線源のスポットサイズはミニ フォーカス源より桁違いに小さいため、測定できる部品の種類が 広く、 より高解像度、高精度での検査が可能です。 タービンブレード検査用の独自システム構成 X線は物体を透過すると吸収されるだけでなく散乱もしてしまいま す。散乱は部品の密度に比例して多くなり、 画像を乱す原因となり ます。Nikon Metrologyでは、散乱した不要なX線は逃がし、 部品を透過したX線のみを収集する独自の湾曲リニアアレイ (CLA) ディテクタを開発しました。CLAディテクタは、散乱による 画像の劣化やそれに伴うコントラストの低下を防ぎ、 きわめて鮮 明でコントラストが高いCT画像を実現します。450kVマイクロ フォーカス線源とCLAディテクタの組み合わせは小型～中型の 合金タービンブレードの検査に理想的です。 大型試料用CTスキャナー Nikon MetrologyのCTスキャナーは、 さまざまな試料サイズや 材質に対応できるキャビネットサイズとディテクタを揃えてい ます。 XT H 225 4 ウォークインタイプのXT H 320検査システム 5 高性能データ処理機能 広範な検査用途に柔軟に対応 直感的な視覚化と解析 品質管理、故障解析、材料研究 最新の視覚化、解析能力を備えた対話型でユーザーフレンド 部品の内部形状の詳細な把握、測定には、X線/CT検査技術が欠 リーなソフトウェアが複雑な内部構造の検査・解析のガイド役と かせません。さまざまな業界での品質管理、故障解析、材料研究 なります。Nikon MetrologyのX線/CT検査ソフトウェアなら、 これ に最適なソリューションをお届けします。 まで何時間、何日とかかっていた量産試作品検査もわずか数分 で行えます。 • 故障検出および故障解析 • 複雑なメカニズムの組立検査 • 内部部品の寸法測定 岩石内の金脈 鋳物の後処理 • CAD対部品の比較 • 高度な材料研究 • 生物学的構造の解析 • モデルのデジタルアーカイブ リアルタイムのX線検査 幅広い業種・用途に対応 • 対話型ジョイスティック操作で直感的に位置決め • 自動車産業 • X線スキャンを超高速取り込み - 電気コネクタ • ディスプレイと解析ツールを一体化 - 噴射ノズル • スクリーン上で測定が可能 - センサー (ラムダセンサーなど) • 注釈および寸法データ対応 - 半透明ダッシュボード用LEDライトパイプ • マクロプログラムにより、繰り返し測定を自動化 - 小型高圧鋳造品 (ターボコンプレッサなど) CLAディテクタ搭載XT H 450検査システムによる、航空宇宙用単結晶合金タービン ブレードのX線およびCT断面画像 • 航空宇宙産業 - タービンブレード鋳造における鋳造コアの位置決め CT画像構築 鋳物の三次元ボリュームレンダリング • 市販のコンピュータで精密な三次元画像データセットを作成 • 迅速な全体像の画像構築 • 関心領域は詳細画像を構築 • CTスライス画像を即座に作成 - 部品のクラック解析 - ブレード検査 • プラスチック射出成形 - 複雑なプラスチック部品 (ファンなど) - 軟質、半透明で、触覚または光学的検査が不可能な材料 - プラスチック部品の超音波溶接 • 製薬業界および医学 オフラインCT解析 • CTデータはFocus Inspectionソフトウェアまたは他社製ソ フトウェアにエクスポート可能 • 外表面と内表面のCAD比較 - 薬剤ディスペンサー - 小型器具 - 小型のプラスチックまたは合成部品 - 骨構造 • 研究開発 • 内部三次元形状と幾何学形状の比較 - 材料検証および解析 (構造、空隙、欠陥など) • 専用の視覚化ステーションでオフライン解析 - 古生物学 (骨、頭蓋骨、化石など) および土壌研究 • 複雑な内部構造の動画化 - 考古学 携帯電話カバーのCAD比較解析結果 6 7 X線源(標準) X線源(オプション) 最大管電圧 最大出力 焦点サイズ 幾何倍率 XT H 160 XT H 225 XT H 225 ST XT H 225/320 LC XT H 450 3D XT H 450 2D Xi160kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 225kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 225kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 225kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 450kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 450kV マイクロ フォーカス 反射型ターゲット 225kW線源 180kV 225kV 透過型ターゲット 180kV 透過型ターゲット 225kV 回転ターゲット 320kV モジュール 225kV 回転ターゲット 450kV 反射型ターゲット HF 450kV 反射型ターゲット HF 160kV 180kV/225kV 180kV/225kV 225kV / 320kV 450kV 450kV 60W / 225W （高出力線源使用時） 225W 225W 225W (回転ターゲット)/ 320W (320kV モジュール) 450W 450W 3µm 225kV 反射型 ターゲット: 3μm 180kV 透過型 ターゲット:1μm 225kV 反射型 ターゲット: 3μm 180kV 透過型 ターゲット:1μm 225kV 反射型 ターゲット: 3μm 320kV モジュール: 30μm 80µm 80µm 150x(MAX) 150x(MAX) 150x(MAX) 150x(MAX) 17x(MAX) 24x(MAX) ディテクタ(標準) 14 bitフラットパネル ディテクタ 14 bitフラットパネル ディテクタ 14 bitフラットパネル ディテクタ 14 bitフラットパネル ディテクタ 16 bitフラットパネル ディテクタ 湾曲型直線配列ダイ オード (CLDA) ディテクタ(オプション) 16 bitフラットパネル ディテクタ、他 16 bitフラットパネル ディテクタ、他 16 bitフラットパネル ディテクタ、他 16 bitフラットパネル ディテクタ、他 CLDA、他 16 bitフラットパネル ディテクタ、他 マニピュレータ(標準) マニピュレータ移動範囲 マニピュレータ(オプション) 最大サンプル重量 CT対応 5軸 (X) 185mm (Y) 280mm (Z) 730mm (Tilt)±30° (R)連続360° 5軸 5軸 (X) 185mm (Y) 280mm (Z) 730mm (Tilt)±30° (R)連続360° (X) 300mm (Y) 350mm (Z) 750mm (Tilt)±30° (R)連続360° 4軸 (X) 500mm (Y) 500mm (Z) 600mm (R)連続360° 4軸 (X) 400mm (Y) 600mm (Z) 600mm (R)連続360° 4軸 (X) 400mm (Y) 600mm (Z) 600mm (R)連続360° ― ― ― Tilt軸 ― ― 15kg 15kg 50kg 100kg 100kg 100kg 標準 標準 標準 標準 標準(3D) 標準(2D) 装置寸法 (L×W×H) 1830mm× 875mm× 1987mm 1830mm× 875mm× 1987mm 2330mm× 1285mm× 2230mm 2500mm× 1490mm× 2350mm 3787mm× 1828mm× 2249mm 3787mm× 1828mm× 2249mm 装置重量 2,200kg 2,400kg 3,200kg 8,000kg 14,000kg 14,000kg 放射線安全性 IRR99基準に基づき製造されています 制御ソフトウェア Nikon Metrologyの社内ソフトウェアInspect-Xで管理されています 共通システムオプション 共通システムオプション 安全に関するご注意 高速CT再構築用コンピュータ メタルターゲット (ウルトラフォーカス反射型ターゲットのみ) フィルターキット (ウルトラフォーカス反射型ターゲットのみ) ■ご使用の前に 「使用説明書」 をよくお読みの上、 正しくお使いください。 Microsoft、 Windowsは、 米国MicrosoftCorporationの米国及びその他の国における登録商標です。 本カタログに記載されている会社名および商品名は、 各社の商標または登録商標です。 本カタログは2014年11月現在のものです。 仕様と製品は、 製造者／販売者側がなんら債務を被ることなく予告なしに変更されます。 ©2014 NIKON CORPORATION 注意：本カタログに記載した製品及び製品の技術 （ソフトウェアを含む） は、 「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等 （技術を含む） に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。 108-6290 東京都港区港南2-15-3（品川インターシティ C棟） www.nikon.co.jp/ www.nikon-instruments.jp/ 本 社 108-6290 東京都港区港南2-15-3（品川インターシティ C棟） 電話（03）6433-3986 札 幌 営 業 所 060-0051 札幌市中央区南1条東2-8-2（SRビル） 電話（011）281-2535 名古屋営業所465-0093名古屋市名東区一社3-86（クレストビル2F） 電話（052）709-6851 関 西 支 店 532-0003 大阪市淀川区宮原3-3-31（上村ニッセイビル） 京都営業所、金沢営業所、岡山営業所 電話（06）6394-8802 九 州 支 店 813-0034 福岡市東区多の津1-4-1 長崎営業所、大分営業所、熊本営業所、鹿児島営業所、宮崎出張所 電話（092）611-1111 2CJ-IGYH-4(1411-02)T XT_H_Family_EN_0411 – Copyright Nikon Metrology NV 2010. 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