Optics & Optical Coatings 近紫外対物レンズアプリケーションシステム光学素子 PAL カタログコード W3087 YAGレーザの３倍波（355nm）で使われる加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。可視域の収差を抑える設計をしているので、レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。 ◦作動距離（WD）が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。 ◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。 ◦近紫外光の観察用としてもお使いいただけます。 ◦対物レンズは可視光（532nm）においてもパルスレーザで使用できます。ホルダーご案内 ▶固定式の対物レンズホルダー（LHO-26）をご用意しています。　C046 ▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。とレーザ導入 ▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット（OUCI-2）用ダイクロブロック（DIMC）をご用意しています。　A018、 A019 ▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業までご相談ください。ベース手動ステージアクチュエータ注意 ▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径（1/e 2 ）を瞳径の約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、小さな集光スポットが得られません。また、レーザのエネルギー密度が高くなると、対物レンズを損傷させる可能性があります。 ▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、加工された飛まつによって対物レンズのレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離（WD）を確保するか、薄い保護ガラスを挿入して、対物レンズが汚れないようしてご使用ください。 ▶倍率は結像レンズf＝200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡鏡筒でご使用される場合、倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、結像レンズの焦点距離と対物レンズの焦点距離の比からお求めください。自動ステージ光源索引ガイダンス PAL-20-NUV PAL-50-NUV φ32.2 M26 P0.706 φ34 レンズ 3.5 （作動距離） 17.1 （作動距離） φ36 偏光素子（単位：mm） φ32 ビームスプリッター外形図 M26 P0.706 ミラー MEオプティクス 77.9 フィルター 5 91.6 95 （同焦距離） 95 （同焦距離） 5 プリズム基板/窓光学データメンテナンスセレクションガイドアクロマート集光レンズ fθレンズ対物レンズ仕様品番価格〔￥〕タイプ倍率〔倍〕 NA 作動距離 WD 〔mm〕焦点距離分解能焦点深度瞳径 f （λ=550nm）〔μm〕〔mm〕〔mm〕〔μm〕カメラ視野（1/2型）〔mm〕レーザ耐力※ 〔J/cm2〕質量〔kg〕 PAL-20-NUV 355,000 近紫外 20 0.40 17.1 10 0.7 ±1.7 φ8.0 0.24×0.32 0.05 （355nm） 0.30 PAL-50-NUV 427,000 近紫外 50 0.70 3.5 4 0.4 ±0.6 φ5.6 0.10×0.13 0.05 （355nm） 0.34 ※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz エキスパンダー透過率波長特性（参考データ）その他 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 300 B192 T：透過率 PAL-20-NUV PAL-50-NUV 400 500 600 λ 〔nm〕 700 800 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 近赤外対物レンズ LMPAL W3087 カタログコードフェムト秒レーザ（770～790nm）、およびYAGレーザ（1064nm）加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。可視域の収差を抑える設計をしているので、レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。アプリケーションシステム ◦作動距離（WD）が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。 ◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。 ◦近赤外用対物レンズ（LMPAL-20-NIR/LMPAL-50-NIR）は、LCDの加工を想定し、ガラス基板（0.7mm）を透過した状態で最も高い性能を発揮します。 ◦赤外光の観察用としてもお使いいただけます。 ◦LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは保護ガラスユニット（ガラス厚1.8mm）が付属されています。レーザ加工によって飛散する飛まつから、対物レンズを保護することができます。保護ガラスユニットの保護ガラスは交換することが可能です。 ◦各種の対物レンズは可視光（532nm）においてもパルスレーザで使用できます。各レンズとも波長532nmのレーザ耐力（参考値）は 0.1J/cm2です。（ただし、レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz）光学素子ホルダーベースご案内手動ステージ ▶固定式の対物レンズホルダー（LHO-26）をご用意しています。　C046 ▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。とレーザ導入 ▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット（OUCI-2）用ダイクロブロック（DIMC）をご用意しています。　A018、A019 ▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業までご相談ください。アクチュエータ自動ステージ注意 ▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径（1/e 2 ）を瞳径の約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、小さな集光スポットが得られません。また、レーザのエネルギー密度が高くなると、対物レンズを損傷させる可能性があります。 ▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、加工された飛まつによって対物レンズのレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離（WD）を確保するか、薄い保護ガラスを挿入して、対物レンズが汚れないようしてご使用ください。 ▶100ｆｓ以下のフェムト秒レーザビームを入射させた場合、パルス幅が広がる可能性があります。 ▶倍率は結像レンズf＝200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡鏡筒でご使用される場合、倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、結像レンズの焦点距離と対物レンズの焦点距離の比からお求めください。 ▶LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは付属された保護ガラスの厚さを考慮して設計されています。保護ガラスを外して使用すると、仕様通りの性能が得られません。 LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRの保護ガラスユニットの交換方法保護ガラスユニット取付けネジ保護ガラスユニット光源索引ガイダンスミラービームスプリッター偏光素子レンズ外形図（単位：mm）ガラス 77.6 68.5 95 （同焦距離） 6.7 ９５（同焦点距離）５保護ガラス 1.8 （ガラス厚）基板/窓 φ３９．３ φ36.5 ガラス 91 5.7 79.3 95 （同焦距離）５フィルタープリズム φ３９．５ 0.7（ガラス厚） 10 （作動距離） M２６ P０．７０６ 4（作動距離） 5 MEオプティクス LMPAL-50-NIR-Y-HR φ38 φ38 φ36.5 φ３９．５ 0.7（ガラス厚） 5 20 （作動距離） 1.8 （ガラス厚） φ３９．４ 17.4（作動距離） LMPAL-50-NIR M26 P0.706 LMPAL-20-NIR-Y M２６ P０．７０６ M26 P0.706 LMPAL-20-NIR ９５（同焦距離）保護ガラス光学データメンテナンス仕様価格〔￥〕品番倍率〔倍〕タイプ NA 作動距離 WD 〔mm〕焦点距離分解能カメラ視野焦点深度瞳径 f （λ=550nm）（1/2型）〔μm〕〔mm〕〔mm〕〔μm〕〔mm〕レーザ耐力※ 〔J/cm2〕質量〔kg〕 LMPAL-20-NIR 270,000 近赤外 20 0.45 空気換算17.2 10 0.6 ±1.4 φ9.0 0.24×0.32 0.1 （780nm） LMPAL-20-NIR-Y 200,000 近赤外 20 0.45 20 10 0.6 ±1.4 φ9.0 0.24×0.32 0.2 （1064nm） 0.44 LMPAL-50-NIR 324,000 近赤外 50 0.80 空気換算3.8 4 0.3 ±0.4 φ6.4 0.10×0.13 0.1 （780nm） LMPAL-50-NIR-Y-HR 550,000 近赤外 50 0.67 10 4 0.4 ±0.6 φ5.4 0.10×0.13 0.2 （1064nm） 0.48 0.34 0.44 ※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz 集光レンズ fθレンズ対物レンズ T：透過率その他 LMPAL-NIR-Y LMPAL-NIR LMPAL-20-NIR LMPAL-50-NIR 500 アクロマートエキスパンダー透過率波長特性（参考データ） 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 400 セレクションガイド 600 700 800 λ 〔nm〕 900 1000 1100 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 400 LMPAL-20-NIR-Y LMPAL-50-NIR-Y-HR 500 600 700 800 λ 〔nm〕 900 1000 1100 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 B193