Optics & Optical Coatings 近紫外対物レンズ アプリケーション システム 光学素子 PAL カタログ コード W3087 YAGレーザの3倍波(355nm) で使われる加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。 可視域の収差を抑える設計をしているので、 レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。 ◦作動距離 (WD) が長く、像面湾曲が補正されていて、 視野周辺部まで自然な観察像が得られます。 ◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、 無限遠補正の対物レンズです。 ◦近紫外光の観察用としてもお使いいただけます。 ◦対物レンズは可視光 (532nm) においてもパルスレーザで使用できます。 ホルダー ご案内 ▶固定式の対物レンズホルダー (LHO-26) をご用意しています。 C046 ▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。 とレーザ導入 ▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット (OUCI-2) 用ダイクロブロック (DIMC) をご用意しています。 A018、 A019 ▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業まで ご相談ください。 ベース 手動ステージ アクチュエータ 注意 ▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径(1/e 2 ) を瞳径の 約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、 小さな 集光スポットが得られません。 また、 レーザのエネルギー密度が高くなると、対物 レンズを損傷させる可能性があります。 ▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、 加工された飛まつによって対物レンズ のレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離 (WD) を確保する か、 薄い保護ガラスを挿入して、 対物レンズが汚れないようしてご使用ください。 ▶倍率は結像レンズf=200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡 鏡筒でご使用される場合、 倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用 になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、 結像レンズの焦点距離と対物 レンズの焦点距離の比からお求めください。 自動ステージ 光源 索引 ガイダンス PAL-20-NUV PAL-50-NUV φ32.2 M26 P0.706 φ34 レンズ 3.5 (作動距離) 17.1 (作動距離) φ36 偏光素子 (単位:mm) φ32 ビームスプリッター 外形図 M26 P0.706 ミラー MEオプティクス 77.9 フィルター 5 91.6 95 (同焦距離) 95 (同焦距離) 5 プリズム 基板/窓 光学データ メンテナンス セレクションガイド アクロマート 集光レンズ fθレンズ 対物レンズ 仕様 品番 価格 〔¥〕 タイプ 倍率 〔倍〕 NA 作動距離 WD 〔mm〕 焦点距離 分解能 焦点深度 瞳径 f (λ=550nm) 〔μm〕 〔mm〕 〔mm〕 〔μm〕 カメラ視野 (1/2型) 〔mm〕 レーザ耐力※ 〔J/cm2〕 質量 〔kg〕 PAL-20-NUV 355,000 近紫外 20 0.40 17.1 10 0.7 ±1.7 φ8.0 0.24×0.32 0.05 (355nm) 0.30 PAL-50-NUV 427,000 近紫外 50 0.70 3.5 4 0.4 ±0.6 φ5.6 0.10×0.13 0.05 (355nm) 0.34 ※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz エキスパンダー 透過率波長特性(参考データ) その他 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 300 B192 T:透過率 PAL-20-NUV PAL-50-NUV 400 500 600 λ 〔nm〕 700 800 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 近赤外対物レンズ LMPAL W3087 カタログ コード フェムト秒レーザ(770~790nm)、およびYAGレーザ(1064nm)加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。 可視域の収差を抑える設計をしているので、 レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。 アプリケーション システム ◦作動距離 (WD) が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。 ◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。 ◦近赤外用対物レンズ (LMPAL-20-NIR/LMPAL-50-NIR) は、LCDの加工を想定し、 ガラス基板 (0.7mm) を透過した状態で最も高い 性能を発揮します。 ◦赤外光の観察用としてもお使いいただけます。 ◦LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは保護ガラスユニット (ガラス厚1.8mm) が付属されています。 レーザ加工によって飛散する 飛まつから、対物レンズを保護することができます。保護ガラスユニットの保護ガラスは交換することが可能です。 ◦各種の対物レンズは可視光 (532nm) においてもパルスレーザで使用できます。各レンズとも波長532nmのレーザ耐力 (参考値) は 0.1J/cm2です。 (ただし、 レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz) 光学素子 ホルダー ベース ご案内 手動ステージ ▶固定式の対物レンズホルダー (LHO-26) をご用意しています。 C046 ▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。 とレーザ導入 ▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット (OUCI-2) 用ダイクロブロック (DIMC) をご用意しています。 A018、A019 ▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業まで ご相談ください。 アクチュエータ 自動ステージ 注意 ▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径(1/e 2 ) を瞳径の 約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、 小さな 集光スポットが得られません。 また、 レーザのエネルギー密度が高くなると、対物 レンズを損傷させる可能性があります。 ▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、 加工された飛まつによって対物レンズ のレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離 (WD) を確保する か、 薄い保護ガラスを挿入して、 対物レンズが汚れないようしてご使用ください。 ▶100f s以下のフェムト秒レーザビームを入射させた場合、パルス幅が広がる 可能性があります。 ▶倍率は結像レンズf=200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡 鏡筒でご使用される場合、 倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用 になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、 結像レンズの焦点距離と対物 レンズの焦点距離の比からお求めください。 ▶LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは付属された保護ガラスの厚さを 考慮して設計されています。保護ガラスを外して使用すると、仕様通りの性能 が得られません。 LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRの保護ガラスユニットの交換方法 保護ガラスユニット取付けネジ 保護ガラスユニット 光源 索引 ガイダンス ミラー ビームスプリッター 偏光素子 レンズ 外形図 (単位:mm) ガラス 77.6 68.5 95 (同焦距離) 6.7 95 (同焦点距離) 5 保護 ガラス 1.8 (ガラス厚) 基板/窓 φ39. 3 φ36.5 ガラス 91 5.7 79.3 95 (同焦距離) 5 フィルター プリズム φ39. 5 0.7(ガラス厚) 10 (作動距離) M26 P0. 706 4(作動距離) 5 MEオプティクス LMPAL-50-NIR-Y-HR φ38 φ38 φ36.5 φ39. 5 0.7(ガラス厚) 5 20 (作動距離) 1.8 (ガラス厚) φ39. 4 17.4(作動距離) LMPAL-50-NIR M26 P0.706 LMPAL-20-NIR-Y M26 P0. 706 M26 P0.706 LMPAL-20-NIR 95 (同焦距離) 保護 ガラス 光学データ メンテナンス 仕様 価格 〔¥〕 品番 倍率 〔倍〕 タイプ NA 作動距離 WD 〔mm〕 焦点距離 分解能 カメラ視野 焦点深度 瞳径 f (λ=550nm) (1/2型) 〔μm〕 〔mm〕 〔mm〕 〔μm〕 〔mm〕 レーザ耐力※ 〔J/cm2〕 質量 〔kg〕 LMPAL-20-NIR 270,000 近赤外 20 0.45 空気換算17.2 10 0.6 ±1.4 φ9.0 0.24×0.32 0.1 (780nm) LMPAL-20-NIR-Y 200,000 近赤外 20 0.45 20 10 0.6 ±1.4 φ9.0 0.24×0.32 0.2 (1064nm) 0.44 LMPAL-50-NIR 324,000 近赤外 50 0.80 空気換算3.8 4 0.3 ±0.4 φ6.4 0.10×0.13 0.1 (780nm) LMPAL-50-NIR-Y-HR 550,000 近赤外 50 0.67 10 4 0.4 ±0.6 φ5.4 0.10×0.13 0.2 (1064nm) 0.48 0.34 0.44 ※レーザパルス幅10ns、 繰り返し周波数20Hz 集光レンズ fθレンズ 対物レンズ T:透過率 その他 LMPAL-NIR-Y LMPAL-NIR LMPAL-20-NIR LMPAL-50-NIR 500 アクロマート エキスパンダー 透過率波長特性(参考データ) 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 400 セレクションガイド 600 700 800 λ 〔nm〕 900 1000 1100 100 90 80 70 T 60 〔%〕50 40 30 20 10 0 400 LMPAL-20-NIR-Y LMPAL-50-NIR-Y-HR 500 600 700 800 λ 〔nm〕 900 1000 1100 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 B193
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