O p t i c s & O p t i c a l 低散乱基板 C o a t i n g s WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] OPSQSP/OPCFSP/OPMFSP/WSSQSP/WSCFSP/WSMFSP カタログ コード 干渉計 平行平面基板及びウェッジ基板に特殊な研磨を行うことで、表面粗さを0.2nm（Ra）以下にしました。 基板の散乱の影響が気になる高出力レーザ用ミラーやX線用のミラーの基板として使用できます。 アプリケーション システム ◦ウェッジタイプはビームスプリッターなどの裏面反射の影響が気になる場合に使用します。 光学素子 ◦表面粗さ （ミクロな凸凹） と同時に面精度 （面全体の平坦さ） も高く加工されている理想に近い基板です。 W3140 ◦CaF（フ ッ化カルシウム） 、MgF（フ ッ化マグネシウム） は紫外域及び赤外域で高い透過性があります。 2 2 共通仕様 ホルダー 光源 材質 合成石英 紫外用CaF2 MgF2 表面粗さ ＜0.2nm （Ra） 有効径 外径の90％ ご案内 ベース ▶低散乱基板にご要望のコーティングを付けたものの製作も承ります。 特注コーティングの費用は光学データの特注コーティング費用をご参照くだ さい。 C281 ▶ウェッジ基板は最も厚さが厚いところに表面向き矢印が印されています。 手動ステージ アクチュエータ 注意 ▶低散乱基板の両面ともコーティングされていません。 ガラス表面には2.5％ ～4％の反射があります。 ▶ウェッジタイプを透過で使用した場合、 ビームが0.5度程度傾斜します。 ▶CaF2は表面に傷がつきやすく、 紙で拭くことはできません。 ゴミや埃はエアー ブロアーを使って取り除いてください。 ▶CaF2やMgF2は高湿の環境下で長時間放置すると、表面が荒れてきます。 使用しない場合はオートドライなどの湿度が少ない環境で保管ください。 自動ステージ 機能説明図 索引 表面 研磨面 （低散乱面） 裏面 研磨面 （低散乱面） 表面粗さ測定装置と測定データ （例） ガイダンス ミラー ビームスプリッター 偏光素子 外形図 （単位：mm） ●公差 外径 D ＋0 −0.1 厚さ t ±0.1 t レンズ MEオプティクス 表面 フィルター 裏面 ■表面粗さRa D 表面粗さを示す定義は、JIS Ｂ0601に規定されています。中でも頻繁に使用 プリズム される表面粗さの定義がRaです。Raはよく、 Å （オングストローグ：0.1nm） の単位 基板/窓 で表されます。測定値から平均値を W t 求め、測定値から平均値を引いた値 の絶対値を取り、 絶対値の平均がRa 光学データ になります。平均二乗偏差 （RMS） と メンテナンス 似ていますが、RMSより少し大きな 値になります。 セレクションガイド 平面基板 平行平面 価格 〔￥〕 外径 D 〔mm〕 厚さ t 〔mm〕 材質 面精度 平行度 〔″〕 スクラッチ ディグ OPSQSP-25.4C05-10-5 25,000 φ25.4 5 合成石英 λ/10 ＜5 10−5 ウエッジ基板 OPSQSP-30C03-10-5 28,000 φ30 3 合成石英 λ/10 ＜5 10−5 凹面ミラー基板 OPSQSP-30C05-10-5 30,000 φ30 5 合成石英 λ/10 ＜5 10−5 OPSQSP-50C05-10-5 50,000 φ50 5 合成石英 λ/10 ＜5 10−5 OPCFSP-25.4C05-10-5 48,000 φ25.4 5 CaF2 λ/10 ＜5 20−10 OPCFSP-30C05-10-5 53,000 φ30 5 CaF2 λ/10 ＜5 20−10 OPMFSP-25.4C05-10-5 70,000 φ25.4 5 MgF2 λ/10 ＜5 20−10 OPMFSP-30C05-10-5 80,000 φ30 5 MgF2 λ/10 ＜5 20−10 価格 〔￥〕 外径 D 〔mm〕 厚さ t 〔mm〕 材質 面精度 ウェッジ角度 W スクラッチ ディグ WSSQSP-30C05-10-1 40,000 φ30 5 合成石英 λ/10 1° ±5′ WSSQSP-50C08-10-1 87,000 φ50 8 合成石英 λ/10 1° ±5′ 10−5 WSCFSP-30C05-10-1 62,000 φ30 5 CaF2 λ/10 1° ±5′ 20−10 WSMFSP-30C05-10-1 92,000 φ30 5 MgF2 λ/10 1° ±5′ 20−10 平行平面基板 品番 低散乱基板 マスターオプティクス 窓 納期の目安 ウェッジ 品番 C244 10−5 納期の目安
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