TH シリーズ

ほとんどのガス流量測定に使用できる
TH シリーズ
サーマルフローメータ
概要
THシリーズサーマルフローメータは熱伝達理論にもとづいた
東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。
従来の気体用の流量計にない数多くの特長で、幅広いご支持
をいただいております。
センサ、コンバータとも各種用途に合わせてラインアップさ
れており、最適な組み合わせを選択できます。
特長
（1）高精度
独自の計測理論で各種ガスの流量を± 1.0%F.S.*1 の高
精度で計測します。
（2）ワイドレンジアビリティ
0.5m/sの低流速域でも十分な実用計測精度があります。
従来のオリフィス式や渦式流量計での気体流量計測の問
題点をクリアしました。
（3）低圧力損失
流路には金属細管センサがあるだけです。圧力損失はほ
とんどありません。
（4）高耐久
可動部のないセンサ構造で長期的安定性に優れます。
（5）圧力変化の影響が非常に小さい
計測理論上、ガスの圧力変化は流量精度に影響しずら
い。
（6）温度変化の影響が非常に小さい
ガスの温度変化にもほとんど影響されません。温度が大
きく変化するプロセスでは温度信号による自動補正も可
能です。
（7）質量流量計測
温度補正機能（オプション）を付加することにより、温
度の影響を受けない質量流量計測を行うことができま
す。
（8）ガス種類を選ばない
理論的分析の確立した計測理論で各種ガスの計測ができ
ます。
（9）コストパフォーマンス
挿入型センサも準備されています。大口径でも手軽に流
量計測できます。
（10）豊富なコンバータユニット
目的、用途に合わせて選択できる3種類のコンバータが
用意されています。
（11）高、低温タイプ
最低− 196℃、最高＋ 550℃までカバーできる高・低温
タイプもあります。従来の流量計では困難であったアプ
リケーションも OK。
主な用途
・半導体製造設備ガスライン
・医療用酸素供給ライン、システム
・空調設備
・一般工業プロセス、ユーティリティライン
・高温乾燥空気ライン
・燃焼ガスライン
・低圧気体ライン
・ごみ焼却設備ライン
・電力プラントライン
・自動車関連計測ライン
・その他各種気体流量計測ライン
*1 一部コンバータでは± 2.0%F.S. となります。
TG-ES395-13
改訂 2014.07 K
５版 2007.12
TH
THERMAL FLOWMETER
製品ラインアップ
各種用途に合わせて選択できるセンサ、コンバータをラインアップしました。
■一般用途センサ
空調、一般ユーティリティライン、医療用酸素ライン
…各種用途にあった各種センサがあります。
TH-1100
挿入形
TH-1700
小口径形
TH-1200
フランジ形
TH-1400
挿入長可変形
TH-1800
整流器組込み形
■パージ機能付センサ
ゴミ焼却プラントの各ラインやその他ダスト環境下の
流量計測に最適です。
TH-1100-SP
挿入形
（最高温度：240℃）
TH-3200-SP
挿入形
（最高温度：550℃）
■高、低温タイプセンサ
低温用はマイナス196℃まで、高温用は550℃まで計測
できます。いままでの流量計ではカバーできなかった
アプリケーションもお任せ下さい。
TH-3100, TH-3200, TH-3300
挿入形
■高品位センサ（HQシリーズ）
半導体製造プロセスのガスラインでは、ノンパーティ
クル、超低リークが流量計に求められる条件です。HQ
シリーズ高品位センサはこの厳しい要求に応えます。
接ガス金属部には複合電解研磨処理を施し、シールは
金属シールを採用。配管挿入形TH-1100-HQと配管溶
接形TH-1500-HQがあります。
TH-1100-HQ
挿入形
TH-1500-HQ
配管溶接形
■一般用途、高品位センサ用コンバータ
目的、用途に合わせて3タイプのコンバータから選択で
きます。
TRX-600
一般、防水フィールドマウント
TRX-700
インテリジェント、パネル取付け
TRX-900
インテリジェント、防水フィールドマウント
2
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
組み合わせ使用例
コンバータ
形式
機能
流量表示積算表示
○
○
温度補正
アナログスケールドデジタル
流量警報
機能
出力パルス出力出力
○
○
○
精度
％F.S.
△
△
±2.0％
○
○
±1.0％
○
○
±1.0％
（RS-485）
TRX-600
○
○
○
○
○
（RS-485）
TRX-700
○
○
○
○
○
（RS-485）
TRX-900
○：標準装備 △：オプション ×：不可
TH-3100
TH-3200
TH-3300
TH-1100
TH-1200
TH-1400
TH-1100-SP
TH-1700
TH-3200-SP
TH-1800
TH-1100-HQ
TH-1500-HQ
測定原理
温度差△T
加熱した金属細管を気流中におくとき、単位時間に金属細管が失う熱
加熱電流Ｉ
量 H は質量流速ρ U と加熱された金属細管と気体の温度差△ T の関
数となります。
H ＝ f（ρ U･△ T）
ρ：密度
クロメル
アルメル
一方、金属細管がジュール熱により発生する熱量 W は金属細管電圧
V、電流Ｉの積の関数で表されます。
W ＝ f（V･Ｉ）
金属細管が熱的に平衡状態にあるとき、発熱量と流体により奪われる
熱量は等しいので△Tを電子回路により一定となるように制御すれば
質量流速ρ U は電圧 V、電流Ｉより求められます。
ρ U ＝ f（V･Ｉ）
流速
流量 Q は配管またはダクトの断面積を A とし、平均質量流速をρ U
とすれば、
Q ＝ρ U･A
非加熱細管
熱電対
加熱細管
となります。
TG-ES395-13
TOKYO KEISO CO., LTD.
3
TH
THERMAL FLOWMETER
一般用途センサ
TH-1100
アウトライン
TH-1100は、軽量、コンパクトな配管挿入形のセンサです。大口径プ
ロセスでも比較的低コストで流量計測ができます。一般配管のほか、
角ダクトの流量計測も可能です。
形式コード
選択項目
形式コード
TH−11
① ② − ③ ④ ⑤
50A（2B）
5
① プロセス
配管口径
内容
6
65A（2-1/2B）
7
80A（3B）
8
100A（4B）
9
125A（5B）
A
150A（6B）
B
200A（8B）
C
250A（10B）
D
300A（12B）
E
350A（14B）
F
その他
② 検出器材質
1
SUS304
2
SUS316
3
SUS316L
配線接続口
φ84
G1/2
特殊
F
32A JIS10K フランジ
1
③ 接続規格
外形寸法
2
1-1/4"ANSI 150 # フランジ
F
その他
1
④ Ｌ寸法
F
標準
特殊
W 標準（端子箱タイプ）
E EPグレード：電解研磨処理（センサー部除く）
⑤ 特殊仕様
B BAグレード：BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）
L
C
C コネクタタイプ
標準仕様
配管挿入形
タイプ
φd
φD
（標準32A JIS10Kフランジ）
50A（2B）∼1500A（60B）
製作口径
※1500A以上の口径につきましては
FLOW
お問い合わせ願います。
計測範囲
最小
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
空気：0∼130 m/s（nor）
最高使用温度区分
80℃／180℃／240℃
センサ
材質
検出器
シール
SUS316
SUS304, SUS316, SUS316L
フッ素ゴム, その他
防水構造
IP65相当
上流側直管長（推奨）
約20D（Ｄ：配管内径）
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
4
プロセス配管口径
1.0MPa
最高使用圧力
TOKYO KEISO CO., LTD.
標準L寸法（mm）
50A∼150A
182
200A∼250A
200
300A∼350A
250
400A以上
ご相談下さい
（注）
・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。
・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
TH-1200
アウトライン
TH-1200はセンサ部分をT管に取付け、フランジでプロセスラインに
取付けるタイプです。
プロセス配管口径 50A ∼ 150A まで製作いたします。
温度計取付座付で電解研磨の場合、保護管付になります。
形式コード
選択項目
形式コード
TH−12
① ② − ③ ④
① プロセス
配管口径
内容
5
50A（2B）
6
65A（2-1/2B）
7
80A（3B）
8
100A（4B）
9
125A（5B）
A
150A（6B）
② 検出器材質
1
SUS304
2
SUS316
3
SUS316L
F
特殊
③ 接続規格
標準仕様
配管フランジ接続形
製作口径
50A（2B）∼150A（6B）
最小
計測範囲
JIS10K フランジ
4
ANSI 150 # フランジ
最高使用圧力
80℃／180℃
W 標準品（端子箱タイプ）
④ 特殊仕様※
S
整流器付属
E
EPグレード：電解研磨処理（センサー部除く）
B
BAグレード：BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）
T
温度計取付座付（Rc1/8タップ）
空気：0∼40 m/s（nor）
［整流器付属の場合］
1.0MPa
最高使用温度区分
その他
空気：0∼0.5 m/s（nor）
空気：0∼130 m/s（nor）
［整流器なしの場合］
最大
3
F
タイプ
材質
センサ
SUS316
検出器
SUS304, SUS316, SUS316L
シール
フッ素ゴム, その他
防水構造
IP65相当
約20D［整流器なしの場合］（Ｄ：配管内径）
C コネクタタイプ
上流側直管長（推奨）
約3D∼5D［整流器ありの場合］
※ 例）整流付EPグレード、温度計取付座付の場合
形式コード TH-12□□-□WSET となります。
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
外形寸法
配線接続口
φ84
標準
φ84
温度計取付座付き
16
Rc1/8
182
(378)
180
G1/2
FLOW
FLOW
400
300
整流器
プロセス配管口径
L
50A
65A
80A
100A
125A
150A
80
90
100
130
150
190
L
TG-ES395-13
TOKYO KEISO CO., LTD.
5
TH
THERMAL FLOWMETER
TH-1400
アウトライン
TH-1400は挿入長可変形の挿入タイプセンサです。ゲートバルブ
（お
客先所掌）
を設置することにより、運転、加圧中でもセンサを取り外
すことができ、メンテナンスが容易です。
形式コード
選択項目
形式コード
TH−14
① ② − ③ ④ ⑤
50A（2B）
5
① プロセス
配管口径
内容
6
65A（2-1/2B）
7
80A（3B）
8
100A（4B）
9
125A（5B）
A
150A（6B）
B
200A（8B）
C
250A（10B）
D
300A（12B）
E
350A（14B）
F
その他
② 検出器材質
1
SUS304
2
SUS316
3
SUS316L
ハンドル
40A JIS10K フランジ
1
2
1-1/2"ANSI 150 # フランジ
F
その他
標準
1
④ Ｌ寸法
G1/2
特殊
F
③ 接続規格
外形寸法
特殊
F
W 標準（端子箱タイプ）
⑤ 特殊仕様
E
EPグレード：電解研磨処理（センサー部除く）
B
BAグレード：BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）
V
C コネクタタイプ
標準仕様
配管挿入形
L
タイプ
（標準40A JIS 10Kフランジ）
プロセス配管
C
50A（2B）∼1500A（60B）
製作口径
※1500A以上の口径につきましては
空気：0∼130 m/s（nor）
最高使用圧力
1.0MPa
最高使用温度区分
材質
φd
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
80℃／180℃
センサ
SUS316
検出器
SUS304, SUS316, SUS316L
シール
フッ素ゴム／PTFE, その他
防水構造
IP65相当
上流側直管長（推奨）
約20D（Ｄ：配管内径）
φD
計測範囲
105
お問い合わせ願います。
最小
FLOW
プロセス配管口径
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
標準L寸法（mm）
50A∼150A
182
200A∼250A
200
300A∼350A
250
400A以上
ご相談下さい
（注）
・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。
・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。
・バルブご使用の際はバルブ面間寸法（Ⅴ）をお知らせ下さい。
6
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
TH-1700
アウトライン
TH-1700 シリーズは一般小口径形検出器で呼び口径 15A ∼ 50A まで
製作します。
プロセス接続はフランジ接続のみとなります。
形式コード
形式コード
内容
① ② − ③ ④ ⑤
１
15A（1/2B）
２
20A（3/4B）
① プロセス
25A（1B）
配管口径３
４
40A（11/2B）
５
50A（2B）
１
標準／温度区分（0∼80℃）
② 仕様温度区分２
高温／温度区分（0∼180℃）
７
低温／結露対策品（−20∼80℃）
４
SUS304/SCS14
５
SUS316/SCS14
③ 検出器材質
6
SUS316L/SCS16
選択項目
TH−17
④ 接続規格
⑤ 特殊仕様
１
Ｆ
注
E
B
T
C
標準仕様
配管フランジ接続形
タイプ
15A（1/2B）∼50A（2B）
製作口径
計測範囲
最小
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
空気：0∼130 m/s（nor）
1.0MPa
最大使用圧力
80℃／180℃
最高使用温度区分
センサ
JIS 10K フランジ
その他
注）標準品は未記入
EPグレード：電解研磨処理
BAグレード：BA相当の電解研磨処理
温度計取付座付（Rc1/8タップ付）
コネクタータイプ（機器組込用）
材質
SUS316
検出器
SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L
シール
フッ素ゴム, その他
防水構造
IP65相当
上流側直管長（推奨）
約20D（Ｄ：配管内径）
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
外形寸法
G1/2
φ82
φ82
L2
L2
L1
L1
φ82
φ82
G1/2
Rc1/8
J
(140)
(182)
温度計取付座付き
標準
L2
L2
L1
L1
標準タイプの場合
寸法 L1
L2
口径
15A
180 90
20A
25A
40A
300 150
50A
TG-ES395-13
J
(182)
Rc1/8
(140)
温度計取付座付き
標準
J
15A JIS10Kフランジ
20A JIS10Kフランジ
25A JIS10Kフランジ
40A JIS10Kフランジ
50A JIS10Kフランジ
温度計取付座付きタイプの場合
寸法 L1
J
L2
口径
15A
15A JIS10Kフランジ
270
90 20A JIS10Kフランジ
20A
25A
25A JIS10Kフランジ
40A
330 150 40A JIS10Kフランジ
50A
50A JIS10Kフランジ
TOKYO KEISO CO., LTD.
7
TH
THERMAL FLOWMETER
TH-1800
アウトライン
TH-1800シリーズ検出器は整流機構を内蔵しているため上流側配管影
響を受けず、上流直管部をほとんど必要としません。尚、整流器内蔵
のため若干圧力損失が発生致します。
（ライン圧力が低い場合、お問
い合わせ願います）
形式コード
選択項目
形式コード
TH−18
① ② − ③ ④ ⑤
① プロセス
配管口径
内容
１
15A（1/2B）
２
20A（3/4B）
３
25A（1B）
４
40A（11/2B）
50A（2B）
５
標準／温度区分（0∼80℃）
１
高温／温度区分（0∼180℃）
② 仕様温度区分２
低温／結露対策品（−20∼80℃）
７
③ 検出器材質
４
SUS304/SCS14
５
SUS316/SCS14
SUS316L/SCS16
6
１
④ 接続規格
JIS 10Kフランジ
２
JIS Rcネジ
（3/8B）
３
JIS Rcネジ
（1/2B）
４
JIS Rcネジ
（3/4B）
５
JIS Rcネジ
（1B）
Ｆ
その他
標準仕様
注注）標準品は未記入
E EPグレード：電解研磨処理
B BAグレード：BA相当の電解研磨処理
⑤ 特殊仕様
T 温度計取付座付（Rc1/8タップ付）
C コネクタータイプ（機器組込用）
タイプ
配管接続形
製作口径
15A（1/2B）∼50A（2B）
計測範囲
最小
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
空気：0∼45 m/s（nor）
1.0MPa
最大使用圧力
※口径別製作可能接続規格
最高使用温度区分
呼び径
接続
フランジ
Rc3/8
Rc1/2
Rc3/4
Rc1
15A
○
○
○
×
×
20A
○
×
○
○
×
25A
○
×
×
○
○
40A
○
×
×
×
×
50A
○
×
×
×
×
80℃／180℃
センサ
材質
SUS316
検出器
SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L
シール
フッ素ゴム, その他
防水構造
IP65相当
上流側直管長（推奨）
約3D∼5D（Ｄ：配管内径）
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
注）○：製作可能 ×：製作不可
8
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
外形寸法
φ82
L2
L2
L1
L1
φ82
φ82
L1
φ82
φ82
温度計取付座付き
(182)
L1
標準タイプの場合
TG-ES395-13
(140)
L2
L1
40A
50A
J
Rc1/8
L2
25A
G1/2
標準
呼び口径
40A∼50A
20A
J
L2
L1
15A
(140)
Rc1/8
(182)
温度計取付座付き
L2
口径
G1/2
標準
呼び口径
15A∼25A
寸法
(182)
φD
Rc1/8
J
φD
J
温度計取付座付き
(140)
標準
呼び口径
15A∼25A
W
G1/2
φ82
L1
L2
210
180
250
220
280
240
280
320
105
90
145
130
170
150
170
210
温度計取付座付きタイプの場合
J
φD
W
Rc3/8・Rc1/2
φ36
15A JIS10Kフランジ −
Rc1/2・Rc3/4
φ36
20A JIS10Kフランジ −
Rc3/4・Rc1
φ46
25A JIS10Kフランジ −
40A JIS10Kフランジ −
50A JIS10Kフランジ −
32
−
32
−
41
−
−
−
寸法
口径
15A
20A
25A
40A
50A
L1
L2
300
270
340
310
370
330
350
390
105
90
145
130
170
150
170
210
J
φD
W
Rc3/8・Rc1/2
φ36
15A JIS10Kフランジ −
Rc1/2・Rc3/4
φ36
20A JIS10Kフランジ −
Rc3/4・Rc1
φ46
25A JIS10Kフランジ −
40A JIS10Kフランジ −
50A JIS10Kフランジ −
32
−
32
−
41
−
−
−
TOKYO KEISO CO., LTD.
9
TH
THERMAL FLOWMETER
パージ機能付センサ
TH-1100-SP ／ TH-3200-SP
アウトライン
TH-1100-SP/TH-3200-SPは、パージ機能付センサです。パージガス
により、センサ部へのダスト付着防止、付着したダストの除去を行い
ます。これにより、安定した流量計測が行えます。
（注）
粘着性のダストに対しては十分な効果が得られない場合がありま
すのでご注意願います。
形式コード
標準仕様
形式コード
選択項目
内容
TH−11
① ② − ③ ④ ⑤ −SP
TH−32
① プロセス
配管口径
150A（6B）
B
200A（8B）
C
250A（10B）
D
300A（12B）
E
350A（14B）
F
② 検出器材質
③ 接続規格
④ Ｌ寸法
TH-1100-SP
SUS316
3
SUS316L
F
特殊
1
65A JIS10K フランジ
F
その他
1
標準
F
特殊
配管挿入形
（標準65A JIS10K フランジ）
150A
（6B）∼1500A
（60B）
※1500A以上の口径につ
（6B）∼1500A
（60B）
きましてはお問い合わ 150A
せ願います。
製作口径
最小
計測範囲
空気：0∼0.5m/s(nor)
空気：0∼5m/s(nor)
空気：0∼75m/s(nor)
最大
最高使用圧力
1.0MPa
最高使用温度区分
材質
注）標準品は未記入のこと。
C
TH-3200-SP
タイプ
その他
2
注
⑤ 特殊仕様
形式
A
コネクタータイプ（端子箱タイプの場合は未記入）
0.1MPa
80℃／240℃
550℃
センサ
SUS316
検出器
SUS304, SUS316, SUS316L
シール
フッ素ゴム, その他
IP65相当
防水構造
約20D（D：配管内径）
上流側直管長（推奨）
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
外形寸法
TH-1100-SP
TH-3200-SP
G1/2
(180)
(250)
G1/2
Rc1/4
プロセス配管口径
150A
200A∼250A
300A∼350A
400A以上
10
TOKYO KEISO CO., LTD.
φd
φD
(41)
φd
φD
(38)
L
L
C
C
Rc1/4
標準L寸法(mm)
182
200
250
ご相談下さい
（注）
・弊社標準寸法以外の場合は、Lまたは
C 寸法をお知らせ下さい。
・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
高、低温タイプ
TH-3100/ TH-3200/ TH-3300
アウトライン
THサーマルフローメータには従来の流量計では計測が困難な高、低
温域をカバーする高、低温タイプが用意されています。低温用はマイ
ナス196℃まで、高温用はプラス550℃までの気体流量を計測するこ
とができます。
TRX-600 専用コンバータと組み合わせて使用します。
形式コード
形式コード
選択項目
内容
① ② ③ − ０ ④ ⑤
1
高温用1.0MPaまで
2
高温用0.1MPaまで
低温用0.1MPaまで
3
65A（2-1/2B）※TH-3200/TH-3300のみ
6
80A（3B）
8
100A（4B）
9
125A（5B）
A
150A（6B）
B
200A（8B）
C
250A（10B）
D
300A（12B）
E
350A（14B）
● TH-3200, TH-3300
G1/2
G1/2
SUS316
3
SUS316L
(280)
SUS304
2
標準
C
特殊
標準
F
特殊
L
115
1
L
特殊
F
φD
φd
1
⑤ Ｌ寸法
● TH-3100
(280)
1
F
④ 接続規格
●センサ
その他
F
③ 検出器材質
外形寸法
C
② プロセス
配管口径
7
φD
φd
① タイプ
126
TH−3
φ57
φ34
FLOW
FLOW
標準仕様
TH-3100
形式
プロセス配管口径
配管挿入形
タイプ
製作口径
計測範囲
標準65A JIS10K フランジ
標準32A JIS10K フランジ
80A（3B）∼1500A（60B）
65A（2-1/2B）∼1500A（60B）
最小
空気：0∼ 5m/s（nor）
最大
空気：0∼75m/s（nor）
最高使用圧力
0∼550℃
（高温用）
標準L寸法（mm）
80∼150
182
200∼250
200
300∼350
250
400A以上
ご相談下さい
TH-3200, TH-3300
0.1MPa
1.0MPa
使用温度範囲
材質
TH-3300
TH-3200
TH-3100
プロセス配管口径
−196∼0℃
（低温用）
標準L寸法（mm）
65∼150
182
センサ
SUS316
200∼250
200
検出器
SUS304, SUS316, SUS316L
300∼350
250
400A以上
ご相談下さい
防水構造
上流側直管長（推奨）
IP65相当
約20D （D：配管内径）
（注）ケーブルグランドは付属いたしません。
ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。
TG-ES395-13
（注）
・弊社標準寸法以外の場合は、L または C 寸法をお知らせ下さい。
・φd、φD 寸法をお知らせ下さい。
TOKYO KEISO CO., LTD.
11
TH
THERMAL FLOWMETER
高品位タイプセンサ
TH-1100-HQ
アウトライン
TH-1100-HQは配管挿入形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部
に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半
導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リー
クを達成しました。
形式コード
形式コード
内容
TH-11 ① ② −HQ
① プロセス配管口径
② 検出器材質
5
50A
6
65A
7
80A
8
100A
1
標準
F
特殊
外形寸法
標準仕様
タイプ
高品位センサ（配管挿入形）
（特殊専用フランジノズル）
製作口径
50A（2B）∼100A（4B）
最小
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
空気：0∼75 m/s（nor）
計測範囲
最大使用圧力
1.0MPa
最高使用温度
120℃
（特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。）
本体
材質
センサ
シール
検出器
SUS316L, 複合電解研磨（EP）
表面粗度Rmax.≦0.7μm
特殊専用フランジ
SUS316, KOVAR（Ni, Co合金）, アルミナセラミック,
金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理（BA）
本体部
PTFE被覆メタルOリング
センサ部
SUS316
プロセス配管
-10
Heリーク性能
1×10 Pa･m3/s（He）以下
構造
防水構造（IP65相当）
標準品では
1）
センサ
2）特殊フランジピース
（配管溶接用）
所掌範囲
3）
メタルOリング
のセットで納入いたします。ご指定により配管へ直接
溶接で設置する短管取付けを行い納入も致します。
メータサイズ
50A
65A
80A
100A
12
TOKYO KEISO CO., LTD.
寸法（mm）
L
94
94
120
120
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
TH-1500-HQ
アウトライン
TH-1500-HQは配管溶接形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部
に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半
導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リー
クを達成しました。
形式コード
形式コード
内容
TH-15 ① ② − ③ HQ
① プロセス配管口径
1
15A
2
20A
3
25A
1
② 検出器材質
標準
F
特殊
③ 接続規格
1
溶接タイプ（Ｉ開先）
F
その他
外形寸法
標準仕様
タイプ
高品位センサ（プロセス配管溶接形）
製作口径
15A（1/2B）∼25A（1B）
最小
空気：0∼0.5 m/s（nor）
最大
空気：0∼75 m/s（nor）
計測範囲
最大使用圧力
1.0MPa
最高使用温度
120℃
（特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。）
本体
センサ
材質
シール
SUS316L, 複合電解研磨（EP）
表面粗度Rmax.≦0.7μm
SUS316, KOVAR（Ni, Co合金）, アルミナセラミック,
金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理（BA）
本体部
メタルOリング
（PTFE被覆）
センサ部
SUS316
-10
Heリーク性能
1×10 Pa･m3/s（He）以下
構造
防水構造（IP65相当）
メータサイズ
15A
20A
25A
TG-ES395-13
J
φ21.7×1.65t
φ27.2×1.65t
φ34.0×1.65t
L
350
寸法（mm）
H1
H2
H3
20
95
115
PB1
PB2
BH
30
40
4-M4
（深 6）
TOKYO KEISO CO., LTD.
13
TH
THERMAL FLOWMETER
TRX-600
アウトライン
TRX-600 は防水構造のフィールド設置形のサーマルフローメータ用
コンバータです。搭載 CPU の性能向上により高精度・高機能を達成
しました。ほとんどのオペレーションファクターはフロントパネル上
のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能です。ま
た、最大7種類までのデータをあらかじめプログラミングすることが
できます。さらにオプション基板により種々の機能拡張することが可
能です。
形式コード
形式コード
−
−
0
温度補正 1
（入力信号）2
3
1
2
3
電源
4
5
6
1
2
3
4
ケーブル長
5
6
7
8
F
1
配線接続口
2
0
2Ｂパイプ取付金具
1
0
パージ制御入力 1
2
オプション基板
（注）
パージ出力
オプション機能が
無い場合は空欄
標準仕様
内容
TRXー6
0
1
2
1
2
3
4
接点出力
高電流タイプ仕様
補正なし
Pt100Ω測温抵抗体
DC4∼20mA温度信号
DC1∼5V温度信号
AC100V±10%
AC110V±10%
AC115V±10%
AC200V±10%
AC220V±10%
AC240V±10%
5m
10m
15m
20m
25m
30m
40m
50m
その他
G1/2
その他
なし
あり
パージ制御なし
オープンコレクタ
（標準）
接点入力
パージ制御なし
接点出力
AC電源出力
フロースイッチ（H-L）
フロースイッチ（H）
フロースイッチ（L）
異常警報出力
TH-3100, 3200, 3300,
-H 3200-SPと組合せて使用の
場合
外形寸法
24
取付け
保護構造
精度
表示
表示
出力
積算
12
φ9
瞬時流量・温度より選択表示
流量：6桁LED（0.000∼99999.9）
温度：4桁LED（-25.0∼550.0）
（※1）
下段
積算流量・温度より選択表示
積算：8桁LED（0.000∼99999999）
温度：4桁LED（-25.0∼550.0）
（※1）
右下
DC4∼20mA/許容負荷抵抗500Ω以下
パルス出力
オープンコレクタ出力 PhotoMOS relay, DC30V/100mA (max)
デジタル出力
RS-485
2400/4800/9600bps（選択可能）
IDアドレス：0∼99
プロトコル：8N1
出力：瞬時流量・積算流量・温度
エラーコード
温度補正機能
Pt100Ω測温抵抗体（3導線式）
アナログ出力付き温度計（別途必要）
（DC4-20mAまたはDC1-5V温度信号）
警報出力
（オプション）
【H】&【L】,【H】上限,【L】下限
【E】異常のうち1点（任意に設定可能）
SPDTリレー接点出力
AC240V/0.4A (DC30V/2A)
応答速度
電気接続
消費電力
280
パネル【Alarm】に表示
【H】上限【L】下限【E】異常
アナログ出力
電源
300
TH-1100（-HQ）/1200/1400/1500-HQ
/1700/1800/3000/1100-SP/3200-SP
壁取付けまたは2Bパイプ取付け（オプション）
防噴流形（IP65相当）
±2.0%F.S.±1digit
±2.0%F.S.
±2.0%F.S.
上段
パージ制御機能
（オプション）
110
234
222
組合せ検出器
ハウジング
寸法
質量
周囲温度
周囲湿度
AC240V/0.4A (DC30V/2A)
パージ動作用バルブ制御出力機能
パージ周期・時間等の設定が可能。
出力：AC（入力電源同一）または接点
3∼5秒（63%ステップ応答）
棒状差込端子
AC100, 110, 115, 200, 220, 240V±10%
50/60Hz
約30VA
アルミダイキャスト/コバルトブルーorシルバー
234W×300H×110D(mm)
5.4kg（壁取付） 7.4kg（2Bパイプ取付）
-10∼60℃
10∼90%RH（結露しないこと）
※1：温度表示は別途温度計が必要です。
9
36
110
30
160
56
110
14
配線接続口 G1/2
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
標準仕様
TRX-700 ／ TRX-900
アウトライン
組合せ検出器
TRX-700/TRX-900はインテリジェントタイプのサーマルフローメー
取付け
タ用コンバータです。ダブル CPU 搭載の信号処理回路で高精度、高
ネル上のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能で
能を標準搭載。さらにシリアル通信RS-485により上位でのデータ処
TRX-700：IP20相当（屋内仕様）TRX-900：IP54相当（屋外仕様）
瞬時流量
± 1%F.S. ± 1digit
積算流量
± 1.05%F.S. ± 1digit
精度
す。瞬時流量、積算流量、警報などのプロセス監視、制御に必要な機
1400/1500-HQ/1700/1800
TRX-700：パネル取付（DIN96×96）TRX-900：壁または2Bパイプ
保護構造
機能を達成しました。すべてのオペレーションファクタはフロントパ
TH-1100/1100-HQ/1200/
アナログ出力
DC4 ∼ 20mA / 許容負荷抵抗 500Ω以下
オープンコレクタ出力
理も可能になります。
パルス出力
自己診断機能でメンテナンスも簡単。
DC35V/50mA（max.）
SPDTリレー接点（上限・下限）
警報接点出力
AC250V/5A（DC24V/5A）
DIN96×96、パネルマウントタイプのTRX-700形、防水ハウジング、
1200/2400/4800/9600bps（選択可能）
フィールド設置形の TRX-900 があります。
デジタル出力
形式コード
（RS-485）
形式コード
7
DIN96×96 パネルマウント
9
防水ハウジング、
フィールド設置形
② 温度・
圧力補正
③ ケーブル長
TG-ES395-13
0
補正なし
1
温度補正
4
温度補正＋圧力補正
1
5m
2
10m
3
15m
4
20m
5
25m
6
30m
7
35m
8
40m
9
45m
A
50m
F
50m∼100m ※ケーブル長ご指示下さい。
出力：瞬時流量 , 積算流量 , バーグラフ ,
温度 , 圧力 , 加熱電流 , ファーム
ウェアバージョン , シリアル No.
内容
TRX− ① ② ③
① タイプ
ID アドレス：00 ∼ 99
プロトコル：8N1
エラーメッセージなど
ディスプレイ
ドットマトリクス LCD 16 文字× 2 段
バックライト付
瞬時流量、積算流量、温度、圧力、
上段
表示
下段
桁数
加熱電圧、内部温度、SPSリップル
より1 つ選択またはエラーメッセージ
バーグラフ、瞬時流量、積算流量、温度、
圧力、加熱電流より1 つ選択またはエラーメッセージ
瞬時流量
5 桁（0.000 ∼ 99999）
積算流量
7 桁（0.00 ∼ 9999999）
温度補正機能
圧力補正機能
Pt100Ω測温抵抗体（3 導線式）
※別途必要
アナログ出力（DC4-20mA）付圧力計
※別途必要（主に状況下流量表示用）
応答速度
3 秒（63% ステップ応答）
寸法
96H × 96W × 243D［mm］
質量
約 1.95kg
ケーブル長さ
最大 100m
電源
AC90 ∼ 264V 50/60Hz
消費電力
最大 60W
電気接続
棒状差込端子
周囲温度
0 ∼ 50℃
周囲湿度
10 ∼ 90%RH（結露しないこと）
TOKYO KEISO CO., LTD.
15
TH
THERMAL FLOWMETER
TRX-700
TRX-900
外形寸法
●TRX-700
（パネル取付用）
●TRX-900
（壁取付用）
96
390
92
340
96
92
THERMAL FLOW CONVERTOR
正面
10
400
200
TOKYO KEISO CO.,LTD
背面
215
18
φ14
200
300
●TRX-900（2Bパイプ取付用）
400
側面
300
200
パネルカット
16
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
流量範囲（フルスケール）
■TH-1100/TH-1400
ガス
口径
AIR
空気
単位：m3/h(nor)
CO2
二酸化炭素
N2
窒素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
545
905
CH4
メタン
50A
65A
45∼ 840
60∼ 1395
45∼ 840
60∼ 1395
25∼ 1135
30∼ 1885
45∼ 820
60∼ 1360
40∼ 1675
50∼ 2775
40∼
50∼
50∼
65∼
550
915
80A
100A
70∼ 1965
90∼ 3385
70∼ 1965
90∼ 3380
35∼ 2655
50∼ 4570
70∼ 1915
90∼ 3295
60∼ 3915
80∼ 6735
60∼ 1275 75∼ 1290
80∼ 2195 100∼ 2220
C3 H8
プロパン
15∼
20∼
540
895
C4H10
ブタン
10∼
10∼
NH3
He
アンモニアヘリウム
H2
水素
440
735
40∼ 800
55∼ 1330
5∼
7∼
34
45
5∼
7∼
30
39
20∼ 1260
25∼ 2170
15∼ 1035
20∼ 1785
65∼ 1875
85∼ 3225
10∼
17∼
53
69
10∼
17∼
47
62
26∼
37∼
65∼
78
89
109
125A
150A
200A
115∼ 5155 115∼ 5145
135∼ 7360 135∼ 7345
175∼ 12650 175∼ 12625
60∼ 6955 115∼ 5020 100∼ 10250 100∼ 3340 120∼ 3380
70∼ 9940 135∼ 7170 120∼ 14640 120∼ 4775 145∼ 4830
90∼ 17080 175∼ 12325 155∼ 25160 155∼ 8205 190∼ 8300
35∼ 3305
40∼ 4720
50∼ 8115
20∼ 2715 105∼ 4910 26∼
85
25∼ 3880 125∼ 7010 37∼
98
35∼ 6670 160∼ 12050 1200∼ 1584
250A
300A
220∼ 19685 220∼ 19650 115∼ 26580 220∼ 19180 190∼ 39160 190∼ 12770 235∼ 12920
260∼ 28145 260∼ 28090 150∼ 37995 260∼ 27415 230∼ 55980 230∼ 18255 280∼ 18465
60∼ 12630
75∼ 18060
40∼ 10380 200∼ 18750 1460∼ 2457 1330∼ 1537
60∼ 14835 240∼ 26810 1780∼ 3498 1620∼ 2189
350A
400A
450A
295∼ 35190 295∼ 35125 185∼ 47510 295∼ 34280 270∼ 69995 255∼ 22825 315∼ 23090 90∼ 22580 75∼ 18550 265∼ 33520 2170∼ 4058 1930∼ 2539
335∼ 46460 335∼ 46375 245∼ 62725 335∼ 45260 355∼ 92405 295∼ 30130 360∼ 30485 115∼ 29810 95∼ 24490 305∼ 44255
380∼ 59310 380∼ 59200 310∼ 80070 380∼ 57775 455∼117960 335∼ 38465 410∼ 38915 150∼ 38055 120∼ 31265 345∼ 56490
500A
550A
425∼ 73440 425∼ 73305 385∼ 99150 425∼ 71540 565∼146065 370∼ 47630 455∼ 48190 185∼ 47125 150∼ 38715 385∼ 69950
470∼ 89420 470∼ 89255 465∼120725 470∼ 87110 685∼177850 410∼ 57995 505∼ 58675 225∼ 57380 185∼ 47140 425∼ 85175
600A
650A
700A
510∼106260 510∼106060 555∼143460 510∼103510 815∼211345 445∼ 68920 550∼ 69725 265∼ 68185 215∼ 56020 465∼101215
555∼124170 555∼123940 645∼167635 555∼120960 950∼246965 485∼ 80535 595∼ 81475 310∼ 79675 255∼ 65460 500∼118275
595∼144735 595∼144465 755∼195405 595∼140995 1110∼287870 525∼ 93875 640∼ 94970 360∼ 92875 295∼ 76300 540∼137865
750A
800A
645∼166885 645∼166575 870∼225305 645∼162570 1280∼331920 560∼108240 690∼109505 415∼107090 340∼ 87980 615∼158960
735∼190610 735∼190260 990∼257340 715∼185685 1460∼379115 600∼123630 735∼125075 470∼122315 390∼100490 700∼181560
850A
900A
1000A
1100A
1200A
1300A
1400A
1500A
830∼215920
935∼242815
1155∼299520
1405∼365118
1675∼435020
1965∼511050
2280∼593200
2620∼681490
830∼215520
935∼242365
1155∼298965
1405∼364440
1675∼434215
1965∼510105
2280∼592105
2620∼680225
1125∼291510
1265∼327815
1555∼404370
1900∼492930
2260∼587310
2655∼689955
3080∼800870
3540∼920060
810∼210340
910∼236535
1125∼291775
1370∼355675
1630∼423775
1915∼497840
2225∼577870
2555∼663870
1655∼429455
1860∼482940
2295∼595725
2795∼726190
3330∼865225
640∼140045
680∼157485
755∼194265
915∼236810
1085∼282150
3910∼1016445 1275∼331465
4540∼1179850 1480∼384750
5215∼1355435 1700∼442010
785∼141685
830∼159330
925∼196540
1020∼239580
1115∼285450
1290∼335340
1500∼389250
1720∼447175
535∼138555
600∼155810
740∼192200
905∼234295
1075∼279150
1265∼327940
1460∼380660
1685∼437310
440∼113830
495∼128005
610∼157900
740∼192485
885∼229335
1040∼269420
1205∼312730
1385∼359270
CH4
メタン
C3 H8
プロパン
C4H10
ブタン
795∼205670
890∼231285
1100∼285300
1340∼347780
1600∼414365
1875∼486785
2175∼565045
2500∼649135
■TH-1200 ［整流器を付加しない場合］
ガス
口径
AIR
空気
CO2
二酸化炭素
N2
窒素
50A
65A
80A
100A
125A
45∼
60∼
70∼
90∼
115∼
840 45∼
1395 60∼
1965 70∼
3385 90∼
5155 115∼
840
1395
1965
3380
5145
150A
135∼ 7360 135∼ 7345
25∼
30∼
35∼
50∼
60∼
単位：m3/h(nor)
O2
酸素
1135 45∼
1885 60∼
2655 70∼
4570 90∼
6955 115∼
Ar
アルゴン
820 40∼
1360 50∼
1915 60∼
3295 80∼
5020 100∼
13A
都市ガス
NH3
He
アンモニアヘリウム
1675 40∼ 545 50∼ 550
2775 50∼ 905 65∼ 915
3915 60∼ 1275 75∼ 1290
6735 80∼ 2195 100∼ 2220
10250 100∼ 3340 120∼ 3380
15∼ 540
20∼ 895
20∼ 1260
25∼ 2170
35∼ 3305
10∼ 440 40∼
10∼ 735 55∼
15∼ 1035 65∼
20∼ 1785 85∼
20∼ 2715 105∼
800
1330
1875
3225
4910
5∼
7∼
10∼
17∼
26∼
34
45
53
69
85
5∼
7∼
10∼
17∼
26∼
30
39
47
62
78
70∼ 9940 135∼ 7170 120∼ 14640 120∼ 4775 145∼ 4830
40∼ 4720
25∼ 3880 125∼
701
37∼
98
37∼
89
■TH-1200 ［整流器を付加した場合］
ガス
口径
AIR
空気
CO2
二酸化炭素
N2
窒素
H2
水素
単位：m3/h(nor)
O2
酸素
Ar
アルゴン
CH4
メタン
C3 H8
プロパン
C4H10
ブタン
NH3
He
アンモニアヘリウム
H2
水素
50A
5∼
285
5∼
285
5∼
385
5∼
275
565
5∼
185
5∼
185
5∼
180
5∼
150
5∼
270
5∼
99
5∼
61
65A
80A
10∼
10∼
450
690
10∼
10∼
450
690
10∼
15∼
610
930
10∼
10∼
440
670
15∼ 895
20∼ 1375
5∼
10∼
290
445
5∼
10∼
295
450
5∼
10∼
290
440
5∼
5∼
235
365
5∼
10∼
430
655
7∼
10∼
180
254
7∼
10∼
108
159
15∼ 1170
25∼ 1760
35∼ 2540
30∼ 2390
45∼ 3600
65∼ 5185
10∼ 780
15∼ 1175
25∼ 1690
15∼ 1145
25∼ 1725
35∼ 2480
17∼
26∼
37∼
428
645
916
17∼
26∼
37∼
267
403
573
100A
125A
150A
15∼ 1200
25∼ 1810
35∼ 2605
15∼ 1200
25∼ 1810
35∼ 2605
20∼ 1625
35∼ 2445
45∼ 3520
0∼
13A
都市ガス
10∼ 790
15∼ 1185
25∼ 1710
10∼ 770
15∼ 1160
25∼ 1670
10∼ 635
15∼ 955
20∼ 1375
［注意事項］
（1）上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。
各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。
（2）使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。
TG-ES395-13
TOKYO KEISO CO., LTD.
17
TH
THERMAL FLOWMETER
■TH-1700
ガス
単位：L /min(nor)
AIR
空気
口径
N2
窒素
CO2
二酸化炭素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
CH4
メタン
C 3 H8
プロパン
65∼ 870
90∼ 1560
C4H10
ブタン
NH3
He
アンモニアヘリウム
H2
水素
15A
20A
235∼ 1355 235∼ 1355 120∼ 1830 235∼ 1320 205∼ 2700 205∼ 880 250∼ 890
315∼ 2430 315∼ 2430 165∼ 3285 315∼ 2370 275∼ 4840 275∼ 1575 340∼ 1595
45∼ 715 215∼ 1290
60∼ 1280 285∼ 2315
8∼
15∼
160
280
8∼
15∼
100
170
25A
40A
400∼ 3900 400∼ 3895 210∼ 5270 400∼ 3800 350∼ 7760 350∼ 2530 430∼ 2560 115∼ 2505 75∼ 2055 365∼ 3715
620∼ 9295 620∼ 9280 320∼ 12550 620∼ 9055 545∼ 18490 545∼ 6030 665∼ 6100 175∼ 5965 115∼ 4900 565∼ 8855
20∼
50∼
350
530
20∼
50∼
260
480
50A
775∼ 14815 775∼ 14790 400∼ 20005 775∼ 14435 680∼ 29470 675∼ 9610 830∼ 9720 215∼ 9505 145∼ 7810 705∼ 14115
70∼
670
70∼
600
■TH-1800
ガス
口径
単位：L /min(nor)
AIR
空気
N2
窒素
CO2
二酸化炭素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
365
655
CH4
メタン
5∼
10∼
370
660
C 3 H8
プロパン
15A
20A
10∼ 560
15∼ 1010
10∼ 560
15∼ 1010
10∼ 760
15∼ 1365
10∼
15∼
550
985
15∼ 1120
25∼ 2010
5∼
10∼
5∼
10∼
360
645
25A
40A
20∼ 1620
40∼ 3540
20∼ 1620
40∼ 3535
25∼ 2185
55∼ 4780
20∼ 1580
40∼ 3450
40∼ 3225
80∼ 7045
15∼ 1050
30∼ 2295
15∼ 1060
30∼ 2325
15∼ 1040
25∼ 2270
50A
65∼ 5855
65∼ 5845
90∼ 7905
65∼ 5705 130∼ 11645
45∼ 3795
45∼ 3840
45∼ 3755
C4H10
ブタン
5∼
10∼
295
530
NH3
He
アンモニアヘリウム
10∼
15∼
535
960
2∼
3∼
130
240
1∼
2∼
80
150
10∼ 855
25∼ 1865
20∼ 1545
40∼ 3370
5∼
10∼
400
940
3∼
6∼
240
570
35∼ 3085
65∼ 5575
16∼ 1520
10∼
920
■TH-1100-HQ
ガス
口径
単位：m3/h(nor)
AIR
空気
N2
窒素
CO2
二酸化炭素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
50A
65A
50∼ 935
60∼ 1455
50∼ 930
60∼ 1450
25∼ 1260
30∼ 1965
50∼ 910
60∼ 1415
45∼ 1860
55∼ 2895
45∼
55∼
80A
100A
70∼ 1995
90∼ 3355
70∼ 1990
90∼ 3350
35∼ 2695
45∼ 4530
70∼ 1945
90∼ 3265
60∼ 3970
80∼ 6670
60∼ 1295
80∼ 2175
605
945
CH4
メタン
50∼
65∼
610
955
75∼ 1310
95∼ 2200
C 3 H8
プロパン
15∼
20∼
600
935
20∼ 1280
25∼ 2150
C4H10
ブタン
10∼
15∼
NH3
He
アンモニアヘリウム
口径
15A
20A
25A
45∼ 890
55∼ 1385
5∼
7∼
34
45
5∼
7∼
30
39
15∼ 1050
20∼ 1765
65∼ 1900
80∼ 3195
10∼
17∼
53
69
10∼
17∼
47
62
単位：L /min(nor)
AIR
空気
N2
窒素
CO2
二酸化炭素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
CH4
メタン
C 3 H8
プロパン
260∼ 1655 260∼ 1655 135∼ 2235 260∼ 1615 230∼ 3295 225∼ 1075 280∼ 1085 75∼ 1060
340∼ 2825 340∼ 2820 175∼ 3820 340∼ 2755 300∼ 5625 300∼ 1835 365∼ 1855 95∼ 1815
440∼ 4705 440∼ 4695 230∼ 6350 440∼ 4580 385∼ 9355 385∼ 3050 470∼ 3085 125∼ 3015
C4H10
ブタン
NH3
He
アンモニアヘリウム
50∼ 875 235∼ 1575 40∼
65∼ 1490 310∼ 2695 60∼
85∼ 2480 400∼ 4480 100∼
■TH-3100/TH-3200/TH-3300
ガス
口径
＊ 65A
80A
100A
125A
150A
200A
250A
AIR
空気
60∼
80∼
135∼
200∼
285∼
485∼
820
1140
1960
2980
4250
7245
N2
窒素
60∼
80∼
135∼
200∼
285∼
485∼
820
1140
1955
2975
4245
7230
CO2
二酸化炭素
75∼
105∼
180∼
270∼
385∼
655∼
1105
1540
2645
4020
5740
9780
O2
酸素
60∼
75∼
130∼
195∼
280∼
470∼
800
1110
1910
2900
4140
7055
Ar
アルゴン
110∼
155∼
260∼
395∼
565∼
965∼
13A
都市ガス
CH4
メタン
1630 55∼ 530 65∼
2270 60∼ 740 75∼
3900 85∼ 1270 100∼
5925 130∼ 1930 130∼
8460 185∼ 2755 190∼
14405 315∼ 4695 320∼
C 3 H8
プロパン
C4H10
ブタン
535 35∼ 525 30∼
750 50∼ 730 40∼
1285 85∼ 1255 70∼
1955 130∼ 1910 105∼
2790 185∼ 2730 150∼
4750 310∼ 4645 255∼
430
600
1030
1570
2240
3815
NH3
He
アンモニアヘリウム
55∼
75∼
125∼
190∼
270∼
460∼
780
7∼
45
1085 10∼
53
1865 17∼
69
2835 26∼
85
4050 37∼
98
6900 1200∼ 1584
500A
550A
2760∼ 41375 2755∼ 41295 3725∼ 55860 2690∼ 40305 5490∼ 82290 1790∼ 26835 1810∼ 27150 1770∼ 26550 1455∼ 21810 2630∼ 39410
3365∼ 50430 3360∼ 50335 4540∼ 68080 3275∼ 49125 6690∼100300 2185∼ 32705 2210∼ 33090 2160∼ 32360 1775∼ 26585 3205∼ 48035
600A
650A
700A
4000∼ 59985 3995∼ 59870 5400∼ 80985 3900∼ 58435 7955∼119305
4680∼ 70160 4670∼ 70030 6315∼ 94720 4560∼ 68345 9305∼139545
5460∼ 81860 5450∼ 81710 7370∼110515 5320∼ 79745 10855∼162815
6300∼ 94470 6290∼ 94295 8505∼127545 6135∼ 92030 12530∼187900
7200∼107995 7190∼107795 9720∼145805 7015∼105205 14320∼214800
1100A
1200A
1300A
1400A
1500A
24∼
40∼
80∼
120
200
300
H2
水素
7∼
10∼
17∼
26∼
37∼
65∼
39
47
62
78
89
109
745∼ 11140 745∼ 11120 1005∼ 15040 725∼ 10850 1480∼ 22155 485∼ 7225 490∼ 7310 480∼ 7145 395∼ 5870 710∼ 10610 1460∼ 2457 1330∼ 1537
1060∼
1320∼
1745∼
2230∼
850A
900A
1000A
190
250
310
H2
水素
単位：m3/h(nor)
300A
350A
400A
450A
750A
800A
H2
水素
490
765
■TH-1500-HQ
ガス
H2
水素
15855
19800
26135
33385
1060∼
1320∼
1740∼
2225∼
15825
19765
26090
33320
1430∼
1785∼
2355∼
3005∼
21400
26735
35285
45070
1030∼
1290∼
1700∼
2170∼
15445
19290
25460
32520
2105∼
2630∼
3470∼
4430∼
31535
39385
51985
66400
690∼
860∼
1130∼
1445∼
10280
12845
16950
21650
695∼
870∼
1145∼
1460∼
10400
12995
17150
21905
680∼
850∼
1120∼
1430∼
10175
12705
16770
21420
560∼
700∼
920∼
1175∼
8355
10440
13780
17600
1010∼
1260∼
1660∼
2120∼
15100 1780∼ 3498 1620∼ 2189
18860 2170∼ 4058 1930∼ 2539
24895
31800
2595∼ 38905 2625∼ 39360 2570∼ 38490 2110∼ 31620 3810∼ 57135
3035∼ 45505 3070∼ 46035 3005∼ 45020 2470∼ 36985 4455∼ 66830
3540∼ 53095 3585∼ 53715 3505∼ 52530 2880∼ 43155 5200∼ 77975
4085∼ 61275 4135∼ 61990 4045∼ 60620 3320∼ 49805 6000∼ 89985
4670∼ 70045 4725∼ 70865 4620∼ 69300 3800∼ 56935 6860∼102870
8165∼122430 8150∼122205 11020∼165290 7955∼119265 16235∼243510
9185∼137780 9170∼137525 12405∼186015 8950∼134220 18270∼274035
11345∼170175 11325∼169860 15320∼229745 11055∼165775 22565∼338465
13850∼207680 13820∼207295 18695∼280385 13490∼202315 27540∼413065
16515∼247685 16480∼247225 22295∼334390 16090∼241280
19415∼291220 19380∼290685 26215∼393170 18915∼283695
22555∼338295 22515∼337665 30450∼456720 21970∼329550
25930∼388900 25880∼388180 35005∼525040 25260∼378845
5295∼ 79410 5360∼ 80335 5240∼ 78565 4305∼ 64545 7775∼116620
5960∼ 89365 6030∼ 90410 5895∼ 88410 4845∼ 72635 8750∼131240
7360∼110375 7445∼111665 7280∼109200 5985∼ 89715 10810∼162095
8980∼134700 9085∼136275 8885∼133270 7300∼109485 13190∼197820
32845∼492630 10710∼160645 10835∼162525 10600∼158940 8705∼130575 15730∼235925
38615∼579225 12595∼188885 12740∼191095 12460∼186875 10235∼153530 18495∼277395
44860∼672845 14630∼219415 14800∼221980 14475∼217080 11890∼178345 21485∼322235
51570∼773495 16820∼252240 17015∼255185 16640∼249555 13670∼205025 24700∼370435
＊TH-3200/TH-3300のみ
［注意事項］
（1）上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。
各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。
（2）使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。
18
TOKYO KEISO CO., LTD.
TG-ES395-13
TH
THERMAL FLOWMETER
■TH-1100-SP
ガス
口径
AIR
空気
単位：m3/h(nor)
N2
窒素
CO2
二酸化炭素
O2
酸素
Ar
アルゴン
13A
都市ガス
CH4
メタン
C3H8
プロパン
C4H10
ブタン
NH3
アンモニア
150A
200A
120∼ 3800 120∼ 3790
165∼ 6840 165∼ 6830
65∼ 5130 120∼ 3700 105∼ 7560 105∼ 2465 130∼ 2490
85∼ 9235 165∼ 6665 145∼ 13610 145∼ 4435 175∼ 4490
35∼ 2435
45∼ 4390
25∼ 2000 110∼ 3620
30∼ 3605 150∼ 6515
250A
300A
210∼ 10870 210∼ 10850 110∼ 14675 210∼ 10590 185∼ 21620 185∼ 7050 225∼ 7130
255∼ 15715 255∼ 15685 145∼ 21215 255∼ 15310 220∼ 31255 220∼ 10190 270∼ 10310
60∼ 6975
70∼ 10085
40∼ 5730 190∼ 10355
55∼ 8285 230∼ 14970
350A
400A
450A
285∼ 19755 285∼ 19720 180∼ 26670 285∼ 19245 265∼ 39295 250∼ 12810 305∼ 12960 85∼ 12675 70∼ 10415 260∼ 18815
330∼ 26220 330∼ 26175 240∼ 35400 330∼ 25545 350∼ 52155 290∼ 17005 355∼ 17205 115∼ 16825 95∼ 13825 300∼ 24975
375∼ 33600 375∼ 33540 305∼ 45365 375∼ 32730 450∼ 66830 330∼ 21790 400∼ 22045 145∼ 21560 120∼ 17715 340∼ 32005
500A
550A
420∼ 41720 420∼ 41640 380∼ 56325 420∼ 40640 555∼ 82980 365∼ 27060 450∼ 27375 180∼ 26770 150∼ 21995 380∼ 39740
460∼ 50905 460∼ 50810 460∼ 68725 460∼ 49590 675∼101245 405∼ 33015 495∼ 33400 220∼ 32665 180∼ 26835 420∼ 48485
600A
650A
700A
505∼ 60585 505∼ 60475 545∼ 81795 505∼ 59020 805∼120505 440∼ 39295 540∼ 39755 260∼ 38875 215∼ 31940 460∼ 57710
545∼ 70885 545∼ 70755 640∼ 95700 545∼ 69055 940∼140990 480∼ 45975 585∼ 46515 305∼ 45485 250∼ 37370 495∼ 67520
590∼ 82720 590∼ 82565 745∼111675 590∼ 80580 1100∼164520 520∼ 53650 635∼ 54275 355∼ 53080 295∼ 43605 535∼ 78790
750A
640∼ 95460 640∼ 95285 860∼128880 635∼ 92995 1270∼189870 555∼ 61915 685∼ 62640 410∼ 61255 340∼ 50325 610∼ 90930
800A
850A
900A
1000A
730∼109115
825∼123685
930∼139165
1145∼171815
730∼108915
825∼123455
930∼138905
1145∼171495
985∼147315
1115∼166985
1255∼187880
1550∼231960
710∼106295
805∼120485
905∼135565
1120∼167370
1450∼217030
1640∼246000
1845∼276790
2280∼341725
595∼ 70770
635∼ 80220
675∼ 90260
750∼111435
730∼ 71600
780∼ 81160
825∼ 91315
920∼112740
470∼ 70020
530∼ 79365
595∼ 89300
735∼110250
385∼
435∼
490∼
605∼
1100A
1400∼209585 1400∼209200 1890∼282960 1365∼204170 2780∼416855 910∼135935 1015∼137525 900∼134490 740∼110490 1335∼199635
1200A
1300A
1400A
1670∼249850 1670∼249385 2250∼337315 1625∼243390 3315∼496935 1080∼162050 1110∼163945 1070∼160325 880∼131715 1590∼237985
1960∼293645 1960∼293100 2645∼396440 1910∼286055 3895∼584040 1270∼190455 1285∼192685 1260∼188430 1035∼154805 1865∼279705
2275∼340975 2275∼340345 3070∼460340 2215∼332160 4525∼678180 1475∼221155 1495∼223740 1460∼218800 1200∼179760 2165∼324785
1500A
2615∼391840 2615∼391115 3530∼529010 2545∼381710 5200∼779345 1695∼254145 1715∼257115 1680∼251440 1380∼206575 2490∼373235
ガス
AIR
空気
345∼
615∼
975∼
1415∼
1775∼
2360∼
3025∼
3755∼
4580∼
5450∼
5150
9185
14625
21165
26620
35350
45310
56275
68675
81745
16655∼249810 16625∼249350 22485∼337265
19575∼293605 19540∼293065 26430∼396390
22730∼340940 22690∼340305 30690∼460290
26120∼391800 26075∼391075 35265∼528960
250∼
445∼
705∼
1020∼
1285∼
1705∼
2180∼
2710∼
3305∼
3935∼
3715
6625
10550
15270
19205
25505
32695
40605
49550
58985
Ar
アルゴン
4725∼ 70850 4715∼ 70715 6480∼ 95650 4605∼ 69015 9395∼140915
5515∼ 82680 5505∼ 82525 7445∼111625 5370∼ 80540 10965∼164445
6365∼ 95425 6350∼ 95245 8590∼128830 6200∼ 92955 12655∼189790
7275∼109080 7260∼108875 9820∼147265 7085∼106260 14465∼216950
8245∼123645 8230∼123415 11130∼166930 8030∼120450 16395∼245925
9275∼139125 9260∼138870 12525∼187830 9035∼135530 18450∼276715
11455∼171775 11435∼171455 15465∼231910 11160∼167335 22780∼341650
13970∼209550 13945∼209160 18865∼282905 13610∼204130 27785∼416780
1300A
1400A
1500A
3805
6790
10810
15645
19680
26135
33500
41605
50770
60435
O2
酸素
650A
700A
750A
1100A
1200A
255∼
455∼
725∼
1045∼
1315∼
1745∼
2235∼
2775∼
3385∼
4030∼
CO2
二酸化炭素
255∼
455∼
725∼
1045∼
1315∼
1750∼
2240∼
2780∼
3395∼
4040∼
850A
900A
1000A
3815
6805
10830
15675
19715
26185
33560
41680
50865
60550
N2
窒素
150A
200A
250A
300A
350A
400A
450A
500A
550A
600A
800A
695∼103935
785∼117810
885∼132555
1095∼163655
単位：m3/h(nor)
■TH-3200-SP
口径
57525
65205
73365
90575
510∼ 7585
905∼ 13530
1440∼ 21545
2080∼ 31180
2615∼ 39215
3475∼ 52080
4450∼ 66755
5530∼ 82905
6745∼101170
8030∼120430
16225∼243355 33125∼496860
19070∼286015 38935∼583965
22145∼332125 45210∼678100
25445∼381675 51955∼779270
13A
都市ガス
165∼
295∼
470∼
680∼
855∼
1135∼
1455∼
1805∼
2200∼
2620∼
2475
4410
7025
10165
12785
16980
21770
27035
32990
39270
CH4
メタン
170∼
300∼
475∼
690∼
865∼
1145∼
1470∼
1825∼
2225∼
2650∼
2500
4465
7105
10285
12935
17180
22020
27350
33375
39730
C3H8
プロパン
165∼
295∼
465∼
675∼
845∼
1120∼
1440∼
1785∼
2180∼
2590∼
2445
4365
6950
10060
12650
16800
21535
26745
32640
38855
C4H10
ブタン
135∼
240∼
385∼
555∼
695∼
920∼
1180∼
1465∼
1790∼
2130∼
2010
3585
5710
8265
10395
13805
17695
21975
26815
31920
NH3
アンモニア
245∼
435∼
690∼
1000∼
1255∼
1665∼
2135∼
2650∼
3230∼
3845∼
3635
6480
10315
14930
18780
24940
31970
39700
48450
57675
3065∼ 45950 3100∼ 46490 3035∼ 45460 2490∼ 37350 4500∼ 67485
3575∼ 53625 3620∼ 54250 3540∼ 53055 2910∼ 43585 5250∼ 78755
4130∼ 61890 4175∼ 62615 4085∼ 61230 3355∼ 50305 6060∼ 90890
4720∼ 70745 4775∼ 71575 4670∼ 69995 3835∼ 57505 6930∼103900
5350∼ 80195 5410∼ 81135 5290∼ 79345 4350∼ 65185 7855∼117775
6020∼ 90235 6090∼ 91290 5955∼ 89275 4890∼ 73345 8835∼132520
7430∼111410 7515∼112715 7350∼110225 6040∼ 90555 10910∼163620
9065∼135910 9170∼137500 8965∼134465 7365∼110470 13310∼199600
10805∼162025 10930∼163920 10690∼160300 8780∼131695 15865∼237950
12700∼190430 12845∼192655 12565∼188405 10320∼154785 18645∼279665
14745∼221130 14915∼223715 14585∼218780 11985∼179735 21650∼324750
16945∼254120 17140∼257090 16765∼251415 13770∼206555 24880∼373200
※測定レンジは0∼フルスケール流量となります。
例）TH-1100 50A AIRの場合
最小測定レンジ：0∼ 45 m3/h(nor)
最大測定レンジ：0∼840 m3/h(nor)
［注意事項］
（1）上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。
各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。
（2）使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。
TG-ES395-13
TOKYO KEISO CO., LTD.
19
TH
THERMAL FLOWMETER
電気接続と専用信号ケーブル
サーマルフローメータはセンサ（検出器）∼コンバータ（変換器）間を専用信号ケーブルで接続致します。詳細は下記表を参照願います。
●電気接続と専用信号テーブル
検出器（センサ）
形式
TH-1100, 1200, 1400, 1700,
1800, 1100-SP, 3200-SP
TH-1100-HQ, 1500-HQ
TH-3100, 3200, 3300
端末処理
専用コネクタ
または
M3.5ネジ端子
形式
専用ケーブル
専用コネクタ
M3.5ネジ端子
変換器（コンバータ）
端末処理
最長ケーブル長
TRX-600
棒状差込端子
50m
TRX-700
棒状差込端子
100m
TRX-900
M3ネジ端子
100m
ご使用に際して
・一般のサーマルフローメータは、測定原理上、ダスト・ミストを含むガスや結露の可能性のあるガス計測には適しませんが、オプション仕様
としてエアーパージシステムもございますので、お問い合わせください。
・サーマルフローメータは流速検出形の流量計です。正確な計測のためには所定の上下流直管長が必要です。
詳細は納入仕様書あるいは取扱説明書をご参照下さい。
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
東京計装株式会社はホームページを開設しています。
http://www.tokyokeiso.co.jp
製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。
[email protected]
使用可否、形式選定などなんでも（Anything）ご遠慮なくどうぞ。
製造品目
流量計
● 面積式（パージメータ・パージセット含む）
● 差圧式（オリフィス・V コーン） ● 電磁式 ● 超音波式 ● コリオリ式 ● 渦式 ● 羽根車式 ● フローモニタ ● フロースイッチ ● サーマルフローメータ ● マスフローメータ・コントローラ ● 定流量弁 ● サイトグラス ● 開水路用流量計
液面計
● フロート式 ● 金属管式 ● サーボバランス式 ● スプリングバランス式 ● トルクチューブ式 ● 磁歪式 ● 電波式 ● 超音波式 ● 圧力式 ● レベルスイッチ（フロート式・ディスプレーサ式・静電容量式）
● 光ファイバ・デジタルタンクゲージシステム ● 舶用液面計システム ● 受信計
その他
● 各種表示器 ● 圧力発信器 ● 流量積算・記録計 ● 移動式定量出荷装置 ● 自動車用測定装置 ● プロペラ風速計 ● LNG／LPG 用密度計
■仙台営業所
■名古屋営業所
TEL 022-773-1451（代） TEL 052-953-4501（代）
■富山営業所
■大阪営業所
TEL 076-493-8311（代） TEL 06-6312-0471（代）
■茨城営業所
■岡山営業所
TEL 029-246-0666（代） TEL 086-421-6511（代）
■大宮営業所
■徳山営業所
TEL 048-652-0388（代） TEL 0834-21-0220（代）
■長野営業所
■北九州営業所
TEL 0263-40-0162（代） TEL 093-521-4170（代）
計量器製造事業登録事業所・高圧ガス試験製造認定事業所
本社：東京都港区芝公園1-7-24芝東宝ビル（〒105-8558）TEL 03-3434-0441
（代）
20
■厚木営業所
■熊本営業所
TEL 046-223-1141（代） TEL 096-375-7327（代）
■静岡営業所
TEL 0545-64-3551（代）
TG-ES395-13

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