精密ステージシリーズ

精密ステージシリーズ
Precisio n Stage Seri es
Model: A/AX
DX
EX
CMX
CHX
1軸／XYステージ
中抜きXYステージ
高応答XYステージ
アライメントステージ
小型アライメントステージ
A/AX
EX
CMX
493
アクチュ各扉.indd 493
10.3.15 7:23:50 AM
C ONTENTS
A/AX
特長
精度、仕様
寸法図
P.495
P.497
P.501
DX
特長、仕様
寸法図
P.511
P.512
EX
特長
仕様、寸法図
P.513
P.514
CMX
DX
特長
形番、仕様
寸法図
P.515
P.516
P.519
CHX
特長
CHX
形番、仕様
寸法図
P.529
P.530
P.534
494
アクチュ各扉.indd 494
10.3.23 6:54:55 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
精密ステージシリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
A/AX
1軸／XYステージ
クリーン
シリーズ
F
A
トップテーブル
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
精密ボールねじ
LMガイドSR
形番
サドル
A/AX
ベース
DX
AX 構造
EX
特長
CMX
CHX
1 高精度
精密ステージA/AXは精密研削された断面高さの低いLMガイドSRを使用し、多重拘束構造による高精度案内が
得られます。
2 ビルトアップタイプ
従来の専用サドルを使用したXYの組合わせでなく、
１軸ステージの組合わせでストロークが自由に選択可能です。
495
P495-514_AX.indd 495
A/AX
10.3.15 1:11:56 PM
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
案内部は信頼性に優れたLMガイドを使用し、長期間、精度寿命が得られます。また、送りねじには精密ボールねじ
を使用し、ガタのない正確な位置決め送りが可能です。
コンパクト
シリーズ
3 長期間高精度を維持
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
4 豊富なバリエーション
標準で50mmから500mmストロークまで用意しています。
また、
ジャバラタイプも用意しています。
※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。
F
A
クリーン
シリーズ
5 用途に合わせてステージ精度の選択可能
A/AXテーブルは、
さまざまな用途に合わせて３種類のステージ精度を選択できます。
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
A/AX
P495-514_AX.indd 496
496
10.3.15 1:12:46 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
高精度ステージの精度評価方法とシステム
繰り返し位置決め精度
位置決め精度
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
（＋）
t1
実移動距離
ΔA
（誤差）
F
A
t2
クリーン
シリーズ
t3
ΔA
0
ストローク
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
ΔA = 実移動距離−指令値の移動距離
= t1 t2……t7の最大差の1/2
（−）
有効ストロークを基準長さとしストローク開始位置から
実際に移動した距離と指令値との最大誤差を絶対値で表
示します。
走り真直度A
走り平行度A
テーブル上面中央部に直定規を置き、ステージを取付け
た定盤上に設置したテストインジケータを、両端がゼロ
ゼロになるよう芯出しをした直定規に当て、テーブルの
移動距離のほぼ全域にわたり測定し、移動距離内の読み
の最大差を測定値とします。
ステージを取付けた定盤上にテストインジケータを固定
し、テーブル上面のほぼ中央にテストインジケータを位
置させ、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたり測定し、
移動距離内の読みの最大差を測定値とします。
形番
任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返して、
停止位置を測定し、読みの最大差の1/2を求めます。この
測定を原則として、移動距離の中央および、
ほぼ両端のそ
れぞれの位置で行い、
求めた値のうちの最大のものを測定
値とし、
その値の1/2に±の符号を付けて表示します。
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
497
P495-514_AX.indd 497
A/AX
10.3.19 6:52:26 PM
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
バックラッシ
コンパクト
シリーズ
その他の評価方法
走り真直度B
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
もどり
バックラッシ
送りねじ送り
クリーン
シリーズ
F
A
荷重変位
（含弾性変位）
←負荷
テーブルに送りをかけて、わずかに動かした時のテスト
インジケータの読みを基準とし、その状態から送り装置
によらず、テーブルに同方向から負荷を加え、その後解放
した時の基準と、
戻りとの差を求めます。
この測定を動きの中央およびほぼ両端のそれぞれの位置
で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
ステージを取付けた定盤上に直定規を置き、
テーブルに設
置したテストインジケータを両端がゼロゼロになるよう
芯出しをした直定規に当て、
テーブルの移動距離のほぼ全
域にわたり測定し、
移動距離内の読みの最大差を測定値と
します。
直角度B
直角定規
形番
A/AX
直角度A
直角定規
DX
ステージを取付けた定盤上にどちらかの移動方向を基準
に芯出しをした直角定規を置き、
テーブルに設置したテス
トインジケータを、
直角定規の基準の移動軸と直角に当て、
その軸の移動距離内の読みの最大差を測定値とします。
EX
CMX
CHX
例）精密位置決めテーブル精度評価システム
直角定規
プリンタ
パソコン
テーブルの上に直角定規をどちらかの移動方向を基準に
設置し、
基準の移動軸と直角にテストインジケータを当て、
その軸の移動距離内の読みの最大差を測定値とします。
コントローラ
ドライバ
レーザ干渉測長器
モータ
モータ
ドライバ
※ 検査仕様項目は、JIS規格に定められた評価項目に準じて設定しています。
A/AX
P495-514_AX.indd 498
498
10.3.15 1:14:03 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
基本仕様
1軸ステージ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
ストローク
［mm］
形番
クリーン
シリーズ
F
A
メカストッパ間ストローク
［mm］
搭載質量
［kg］
ステージ総質量※
［kg］
30
精度等級
繰り返し位置決め精度
［mm］
10
P6
±0.003
12.5
P5
±0.002
A05
50
60
A10
100
110
A15
150
160
14.5
P4
±0.001
A20
200
220
40.0
P6
±0.003
A25
250
270
42.0
P5
±0.002
A30
300
320
45.0
P4
±0.001
A40
400
420
145.0
P6
±0.003
P5
±0.002
155.0
P4
±0.001
ステージ総質量※
［kg］
精度等級
繰り返し位置決め精度
［mm］
P6
P5
P4
±0.003
±0.002
±0.001
P6
P5
P4
±0.003
±0.002
±0.001
257
P6
±0.003
267
P5
±0.002
277
P4
±0.001
100
250
A50
500
520
ストローク
［mm］
メカストッパ間ストローク
［mm］
※ モータ、
ジャバラを除く
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
XYステージ
形番
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
搭載質量
［kg］
AX0505
50×50
60×60
17.5
AX0510
50×100
60×110
20.0
AX0515
50×150
60×160
AX1010
100×100
110×110
AX1015
100×150
110×160
24.5
AX1515
150×150
160×160
26.5
AX2020
200×200
220×220
71.5
AX2025
200×250
220×270
73.5
AX2030
200×300
220×320
AX2525
250×250
270×270
AX2530
250×300
270×320
78.5
AX3030
300×300
320×320
81.5
AX4040
400×400
420×420
AX4050
400×500
420×520
AX5050
500×500
520×520
15
50
100
22.0
22.5
76.5
75.5
※ モータ、
ジャバラを除く
499
P495-514_AX.indd 499
A/AX
10.3.15 1:15:00 PM
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
バックラッシ
［mm］
0.005
走り真直度A
上下左右
［mm］
0.008
走り平行度A
［mm］
0.015
0.015
0.003
0.004
0.007
0.006
0.002
0.002
0.003
0.030
0.005
0.010
0.020
0.020
0.003
0.005
0.010
0.008
0.002
0.003
0.005
0.050
0.005
0.015
0.030
0.025
0.003
0.007
0.015
0.013
0.002
0.004
0.007
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
位置決め精度
［mm］
0.025
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
○ボールねじリード
標準品は5mmを使用しています。
その他のボールねじリードについては、
THKまでお問い合わせください。
○モータ分解能
ステッピングモータ：500pulse/rev
（フルステップ）、
1000pulse/rev
（ハーフステップ）
ACサーボモータ：各サーボモータの分解能に準じます。
バックラッシ
［mm］
走り真直度A
上下左右
［mm］
走り平行度A
［mm］
直角度A
［mm］
0.030
0.015
0.007
0.005
0.003
0.002
0.010
0.005
0.003
0.025
0.012
0.006
0.010
0.005
0.003
形番
位置決め精度
［mm］
A/AX
0.040
0.020
0.010
0.005
0.003
0.002
0.025
0.007
0.004
0.030
0.015
0.007
0.020
0.010
0.005
DX
EX
0.060
0.005
0.040
0.050
0.030
0.030
0.003
0.010
0.025
0.015
0.015
0.002
0.005
0.012
0.007
CMX
CHX
形番構成
1軸ステージ
XYステージ
A 25 P4 A E
①
②
③
AX 25 30 P4 A E
④ ⑤
①
②
③
④
⑤ ⑥
①形番
A
①形番
AX
②ストローク
25：250mm
②X・上軸ストローク
25：250mm
③精度等級
P6, P5, P4
③Y・下軸ストローク
30：300mm
④モータ種類
Ａ：ステッピングモータ（山洋電気㈱製）、ドライバ付き（ケーブル無し）
Ｓ：貴社指定モータ、ドライバ付き
④精度等級
P6, P5, P4
⑤モータ種類
Ａ：ステッピングモータ（山洋電気㈱製）、ドライバ付き（ケーブル無し）
Ｓ：貴社指定モータ、ドライバ付き
⑤特殊仕様
E：トップテーブル等追加工
J：ジャバラ付き
⑥特殊仕様
E：トップテーブル等追加工
J：ジャバラ付き
A/AX
P495-514_AX.indd 500
500
10.3.15 1:15:44 PM
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
ストローク：50∼150袢
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図
4‒M8通シ
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
W2
B2
SR15V
B1
B3
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
H1
クリーン
シリーズ
BIF1205
W
コンパクト
シリーズ
A05∼A15
1軸ステージ
W1
エコノミー
シリーズ
F
A
特長
EE‒SX670
（オムロン㈱製）
原点用×1
G
F×N
G
L3
L1
EE‒SX671（オムロン㈱製）OT用×2，近原点用×1
T
L2
M2
M
L
形番
A/AX
Ｓ
̶ ストローク
２
1.5
Ｓ
̶ ストローク
２
DX
H2
EX
h
M1
CMX
CHX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
形番
全長
L
ストローク
全高
S
A
B
A05
50
326
339
A10
100
376
389
A15
150
426
439
A20
200
566
542
A25
250
616
592
A30
300
666
642
550
A40
400
916
912
800
A50
500
1016
1012
501
P495-514_AX.indd 501
M
ベース寸法
L1
トップテーブル寸法
W
W1
W2
B1
B2
T
150
160
150
124
100
12
250
260
250
210
140
16
400
420
400
350
270
20
200
64
250
300
450
82
500
100
900
A/AX
10.3.15 1:16:01 PM
形番
寸法図
モータ
1軸ステージ
コンパクト
シリーズ
A20∼A50
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：200∼500袢
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図
DIF1605
DIF2005
（A40以上）
W2
B2
F
A
クリーン
シリーズ
SR25W
SR30W
（A40以上）
W1
H1
B3
EE‒SX670
（オムロン㈱製）
原点用×1
G
F×N
G
L3
T
L1
M2
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
W
4‒M10通シ
B1
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
L2
Ｍ
L
形番
EE‒SX671
（オムロン㈱製）OT用×2，近原点用×1
Ｓ
̶ ストローク
２
Ｓ
̶ ストローク
２
A/AX
H2
DX
h
M1
EX
CMX
CHX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
単位：mm
モータブラケット寸法
ベース取付穴寸法
B3
72
G
25
F×N
Z
150×1
4
200×1
4
125×2
6
L3
その他の外形寸法
H1
H2
L2
d1
d2
d3
A
B
A/B
A/B
M1
M2
h
A
B
7
11
5
72
82
65
65
33
32
10
126
144
6
11
17.5
5
30
30
80
80
41
38
13
116
97
10
14
20
12
30
30
92
80
52
46
22
116
107
200×2
150
25
225×2
250×2
270
50
175×4
200×4
A/AX
P495-514_AX.indd 502
502
10.3.15 1:16:37 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
AX0505∼AX1515
寸法図
XYステージ
ストローク：50袢×50袢∼150袢×150袢
H2
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
LX2
H1
LX3
1.5
ＳX
̶ ストローク
２
BIF1205
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
F
A
SR15W
B2
W2
B3
LX1
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
W
LX
クリーン
シリーズ
４‒Ｍ８通シ
B1
ＳX
̶ ストローク
２
EE‒SX670
（オムロン㈱製）
原点用×１
EE‒SX671（オムロン㈱製）
ＯＴ用×２，近原点用×１
W
F×N
G
G
LY3
LY1
M3
LY2
M4
LY
ＳY
̶ ストローク
２
W1
T
ＳY
̶ ストローク
２
形番
M1
H2
A/AX
h
DX
EX
M2
M
SR15V
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
CMX
CHX
形番
全長
ストローク
全高
A
ベース寸法
SX×SY
LX
LY
LX
LY
LX1
LY1
AX0505
50×50
326
326
339
339
200
200
AX0510
50×100
326
376
339
389
200
250
AX0515
50×150
326
426
339
439
200
300
AX1010
100×100
376
376
389
389
250
250
AX1015
100×150
376
426
389
439
250
300
AX1515
150×150
426
426
439
439
300
300
AX2020
200×200
566
566
542
542
450
450
AX2025
200×250
566
616
542
592
450
500
AX2030
200×300
566
666
542
642
450
550
AX2525
250×250
616
616
592
592
500
500
AX2530
250×300
616
666
592
642
500
550
AX3030
300×300
666
666
642
642
550
550
AX4040
400×400
916
916
912
912
AX4050
400×500
916
1016
912
1012
AX5050
500×500
1016
1016
1012
1012
503
P495-514_AX.indd 503
トップテーブル寸法
B
M
116
148
180
800
800
800
900
900
900
W
W1
W2
B1
B2
T
150
160
150
124
100
12
250
260
250
210
140
16
400
420
400
350
270
20
A/AX
10.3.15 1:17:20 PM
寸法図
形番
寸法図
モータ
XYステージ
コンパクト
シリーズ
AX2020∼AX5050
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：200袢×200袢∼500袢×500袢
H１
H2
LX3
LX2
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
ＳX
̶ ストローク
２
DIF1605
DIF2005
（AX4040以上）
SR25W
SR30W
（AX4040以上）
F
A
クリーン
シリーズ
LX
４‒Ｍ10通シ
W2
B3
ＳX
̶ ストローク
２
B2
W
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
LX１
B１
ＥＥ‒ＳＸ670
（オムロン㈱製）
原点用×１
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
ＥＥ‒ＳＸ６７１
（オムロン㈱製）
ＯＴ用×２，近原点用×１
M3
W
G
G LY3
F×N
LY1
M4
LY2
LY
ＳY
̶ ストローク
２
ＳY
̶ ストローク
２
形番
T
W1
M1
H2
M2
M
A/AX
h
DX
EX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
単位：mm
モータブラケット寸法
ベース取付穴寸法
B3
72
G
25
F×N
Z
150×1
4
200×1
4
125×2
6
200×1
4
125×2
6
125×2
6
その他の外形寸法
LX3
LY3
H1
H2
CMX
CHX
LX2
LY2
d1
d2
d3
A
B
A/B
A/B
M1
M2
M3
M4
h
A
B
7
11
5
72
82
65
65
33
85
32
52
10
126
144
6
11
17.5
5
30
30
80
80
41
107
38
66
13
116
97
10
14
20
12
30
30
92
80
52
132
46
80
22
116
107
200×2
225×2
150
25
250×2
225×2
250×2
250×2
175×4
270
50
200×4
200×4
A/AX
P495-514_AX.indd 504
504
10.3.15 1:18:07 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
A05…J∼A15…J
1軸ステージ
ストローク：50∼150袢ジャバラ付き
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図（ジャバラ付き）
W2
４‒Ｍ８通シ
SR15V
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
B2
J3
Ｂ
Ｉ
Ｆ１２０５
H1
B1
B3
W
JW
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
W1
クリーン
シリーズ
F
A
原点用×１
ＥＥ‒ＳＸ６７０
（オムロン㈱製）
ジャバラ
（ネオプレン）
J2
J1
G
F×N
G
L3
ＥＥ‒ＳＸ６７１
（オムロン㈱製）
ＯＴ用×２，近原点用×１
M2
T
L2
L1
M
L
形番
Ｓ
̶ ストローク
２
M1
H2
M3
A/AX
Ｓ
̶ ストローク
２
h
DX
EX
CMX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
CHX
形番
全長
L
ストローク
全高
S
A
B
A05…J
50
388
401
A10…J
100
438
451
A15…J
150
488
501
A20…J
200
628
604
A25…J
250
678
654
A30…J
300
728
704
A40…J
400
999
995
A50…J
500
1099
1095
505
P495-514_AX.indd 505
M
ベース寸法
L1
W
トップテーブル寸法
W1
W2
B1
B2
ベース取付穴寸法
T
B3
G
64
250
150
160
150
124
100
12
72
25
200×2
450
500
250
260
250
210
140
16
150
25
800
400
900
225×2
250×2
550
100
200×1
125×2
300
82
F×N
150×1
200
420
400
350
270
20
270
50
175×4
200×4
A/AX
10.3.15 1:18:58 PM
形番
寸法図
モータ
1軸ステージ
コンパクト
シリーズ
A20…J∼A50…J
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：200∼500袢ジャバラ付き
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図（ジャバラ付き）
ＤＩ
Ｆ１６０５
ＤＩ
Ｆ２００５
（Ａ４０以上）
ＳＲ２５Ｗ
ＳＲ３０Ｗ
（Ａ４０以上）
W2
B2
4‒M10通シ
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
J3
H1
B1
W
B3
W1
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
JW
クリーン
シリーズ
F
A
ＥＥ‒ＳＸ６７０
（オムロン㈱製）
原点用×１
L3
ジャバラ
（ネオプレン）
J1
G
G
F×N
J2
T
L1
M2
L2
Ｍ
L
ＯＴ用×２，近原点用×１
ＥＥ‒ＳＸ６７１
（オムロン㈱製）
Ｓ
̶ ストローク
２
形番
Ｓ
̶ ストローク
２
H2
DX
h
M1
M3
A/AX
EX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
CMX
CHX
単位：mm
モータブラケット寸法
L3
Z
その他の外形寸法
H1
H2
L2
J2
d1
d2
d3
A
B
A/B
A/B
M1
M2
M3
h
A
B
JW
J1
A
B
J3
7
11
5
72
82
65
65
33
32
67
10
126
144
188
62
62
72
50
6
11
17.5
5
30
30
80
80
41
38
105
13
116
97
300
62
62
87
10
14
20
12
30
30
92
80
52
46
120
22
116
107
470
83
83
103
4
4
6
A/AX
P495-514_AX.indd 506
506
10.3.15 1:19:43 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
AX0505…J∼AX1515…J
XYステージ
ストローク：50袢×50袢∼150袢×150袢ジャバラ付き
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図（ジャバラ付き）
JW
H1
クリーン
シリーズ
LX3
F
A
J2
LX2
H2
４‒Ｍ８通シ
ＳX
̶ ストローク
２
BIF1205
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
W2
H1
B2
W
B3
JW
LX1
LX
SR15W
B1
J1
ジャバラ
（ネオプレン）
ＥＥ‒ＳＸ６７１
（オムロン㈱製）
ＯＴ用×２，近原点用×１
ＳX
̶ ストローク
２
ＥＥ‒ＳＸ６７０
（オムロン㈱製）
原点用×１
M3
M4
J2
W
G
F×N
J1
G
LY3
LY1
LY2
形番
LY
ＳY
̶̶ ストローク
２
ＳY
̶̶ ストローク
２
T
W1
A/AX
M
M2
h
M1
H2
J3
EX
M5
SR15V
DX
CMX
CHX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
形番
全長
ストローク
A
全高
B
トップテーブル寸法
ベース取付穴寸法
SX×SY
LX
LY
LX
LY
LX1
LY1
AX0505…J
50×50
388
388
401
401
200
200
150×1
AX0510…J
50×100
388
438
401
451
200
250
200×1
AX0515…J
50×150
388
488
401
501
200
300
AX1010…J
100×100
438
438
451
451
250
250
AX1015…J
100×150
438
488
451
501
250
300
125×2
AX1515…J
150×150
488
488
501
501
300
300
125×2
AX2020…J
200×200
628
628
604
604
450
450
200×2
AX2025…J
200×250
628
678
604
654
450
500
225×2
AX2030…J
200×300
628
728
604
704
450
550
AX2525…J
250×250
678
678
654
654
500
500
AX2530…J
250×300
678
728
654
704
500
550
250×2
AX3030…J
300×300
728
728
704
704
550
550
250×2
AX4040…J
400×400
999
999
995
995
800
800
AX4050…J
400×500
999
1099
995
1095
800
900
AX5050…J
500×500
1099
1099
1095
1095
900
900
507
P495-514_AX.indd 507
M
ベース寸法
116
148
180
W
150
250
W1
160
260
W2
150
250
B1
124
210
B2
100
140
T
12
16
B3
72
150
G
25
25
F×N
125×2
200×1
250×2
225×2
175×4
400
420
400
350
270
20
270
50
200×4
200×4
A/AX
10.3.15 1:20:07 PM
形番
寸法図
モータ
XYステージ
コンパクト
シリーズ
AX2020…J∼AX5050…J
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：200袢×200袢∼500袢×500袢ジャバラ付き
JW
H1
LX2
ＳX
̶ ストローク
２
ＳＲ２５Ｗ
ＳＲ３０Ｗ
（ＡＸ４０４０以上）
LX3
J2
H2
ジャバラ
（ネオプレン）
F
A
クリーン
シリーズ
ＤＩ
Ｆ１６０５
ＤＩ
Ｆ２００５
（ＡＸ４０４０以上）
４‒Ｍ10通シ
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
W2
H1
ＳX
̶ ストローク
２
B2
W
B3
JW
B1
LX1
LX
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図（ジャバラ付き）
ＥＥ‒ＳＸ６７０
（オムロン㈱製）
原点用×１
M3
J1
Z‒d１キリ通シ∅d2ザグリ深サd3
M4
ＥＥ‒ＳＸ６７１
（オムロン㈱製）
ＯＴ用×２，近原点用×１
LY3
W
G
G
F×N
J1
J2
LY2
LY1
ＳY
̶ ストローク
２
形番
LY
ＳY
̶ ストローク
２
A/AX
h
M5
DX
M2
H2
M1
J3
M
T
W1
EX
CMX
注1）原点用センサは、
サーボモータ仕様には付属しません。
CHX
注2）下表のA, Bは A：ステッピングモータ使用時 B：サーボモータ：SGMPS
（㈱安川電機製）
使用時の寸法を示します。
単位：mm
モータブラケット寸法
その他の外形寸法
LX3
LY3
H1
H2
LX2
LY2
d1
d2
d3
A
B
A/B
A/B
M1
M2
M3
M4
M5
h
A
B
JW
J1
A
B
J3
7
11
5
72
82
65
65
33
85
32
52
119
10
126
144
188
62
62
72
67
6
11
17.5
5
30
30
80
80
41
107
38
66
174
13
116
97
300
62
62
105
10
14
20
12
30
30
92
80
52
132
46
80
200
22
116
107
470
83
83
120
Z
J2
4
4
6
4
6
6
A/AX
P495-514_AX.indd 508
508
10.3.15 1:20:57 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
モータ仕様
A/AXは、
ステッピングモータとサーボモータが標準で取付けられます。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
ステッピングモータ仕様
形番項目
クリーン
シリーズ
F
A
A05/A10/A15
AX0505/AX0510/AX0515
AX1010/AX1015/AX1515
A20/A25/A30/A40/A50
AX2020/AX2025/AX2030/AX2525/AX2530
AX3030/AX4040/AX4050/AX5050
モータ形式
103H7522‒7051
（山洋電気㈱製）
103H7523‒7051
（山洋電気㈱製）
ホールディングトルク
［N・m］
0.735
1.568
ロータ慣性モーメントJ
［g・cm2］
180
423
外部接続方式
端子台
単相 AC100∼115V+10 15％（50/60Hz）
入力電源
4A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
電源電流
使用周囲温度
0∼+50℃
（凍結なきこと）
環境
基本仕様
保存温度
（凍結なきこと）
‒20∼+70℃
使用周囲湿度
35∼85％RH
（結露なきこと）
保存湿度
10∼90％RH
（結露なきこと）
耐振動
4.9m/s 周波数範囲10∼55Hz X. Y. Z各方向2Hにて試験
2
耐衝撃
“C”
により異常なきこと
NDS‒C‒0110規格3.2.2項区分
絶縁耐圧
電源入力端子‒筺体間にAC1500Vを1分間印加し異常なきこと
絶縁抵抗
電源入力端子‒筺体間にDC500V仕様の絶縁抵抗計で測定した値が10MΩ以上
機能
質量
［kg］
0.8
保護機能
PMドライバ過熱
選択機能
オートカレントダウン、
励磁モード、
パルス入力方式、
運転電流、低振動
入・出力信号
LED表示
電源モニタ、
相原点モニタ、
パルスモニタ、
アラームモニタ
指令パルス入力信号
フォトカプラ入力方式、
入力抵抗330Ω 入力信号電圧
“H”
レベル：4.0∼5.5V、
“L”
レベル：0∼0.5V 最大入力周波数100kHz
パワーダウン入力信号
“H”
レベル：4.0∼5.5V、
“L”
レベル：0∼0.5V
フォトカプラ入力方式、入力抵抗330Ω 入力信号電圧
アラーム出力信号
リレー接点出力
（N.O.）
接点容量：DC24V 1A以下、
またはAC120V 0.5A以下
PMM‒BA‒5603‒1
形番
ドライバ形式
モータ質量
［kg］
0.6
1.1
A/AX
DX
入力回路および規格
EX
入力信号回路
CMX
出力回路および規格
アラーム出力回路
+ 330Ω
1
入力信号
CHX
リレー
–
フォトカプラ
入力信号仕様
4.0∼5.5V
2
5μs以上
［H］
90％
50％
+5V
+
約15mA
–
10％
［H］
0∼0.5V
1μs以下
1μs以下
1μs以下
1μs以下
4.0∼5.5V
※ パルスデューティー50％以下
［H］
90％
50％
接点形式…… N.O.接点
接点容量…… DC24V
1Aまたは120V 0.5A
+
約15mA
–
0∼0.5V
509
P495-514_AX.indd 509
5μs以上
10％
［H］
A/AX
10.3.15 1:21:32 PM
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
ステッピングモータ用ドライバ・外部接続図
TB
CCW入力
パワーダウン入力
CW
−
TB
＋
CCW
−
黒
BLACK
＋
−
＋
−
PD
RED
ORANGE
AL
YELLOW
BLUE
赤
橙
F
A
黄
青
クリーン
シリーズ
アラーム出力
＋
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
CW入力
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
TB
∼
AC100/115V入力
∼
フレーム・グランド出力
（FG）
AC
注）使用電線
FG
線種
型式
PMM‒BA5603‒1
0.5mm2以上
（シールド線）
0.2mm2以上
ドライバ外形寸法
39
4以下
10以下
170
形番
A/AX
表示用LED
機能選択用スイッチ
DX
運転電流選択スイッチ
EX
135
STP
CMX
低振動用選択スイッチ
MAX7※
CHX
2‒M4×0.7
（取付穴）
105±0.5
9
8
外部配線用端子台
15±0.2
（配線用ビス M3×L6）
※ 駆動装置内に入るビスの長さは7mm以下としてください。
注）その他詳細な仕様・寸法等は5相ステッピングドライバ：PMM‒BA‒5603‒1
（山洋電気㈱製）
をご参照ください。
サーボモータ仕様
サーボモータについては、
THKまでお問い合わせください。
A/AX
P495-514_AX.indd 510
510
10.3.15 1:22:17 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
精密ステージシリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
DX
中抜きXYステージ
クリーン
シリーズ
F
A
クロスLMガイドCSR
中抜きトップテーブル
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
中抜きベース
ボールねじ
DX 構造
形番
特長
1 中抜き構造
3 高精度位置決め構造
DX
中央を中抜き構造とするため、案内部にクロスLMガ
イドCSRを使用し、駆動ボールねじを外側に配置しま
●案内部に高精度加工された、クロスLMガイドCSR
を採用しているため、高精度なXY構造が得られます。
EX
した。テーブル上のワークを、上面および下面から測
定、加工が可能で、様々なアプリケーションに応用で
●各軸の案内中心と送りボールねじの駆動中心を、ほ
ぼ同一高さに配置した理想的な構造です。これにより
姿勢変化の少ない送りが可能となり、高精度な位置決
めができます。また、リニアスケールを容易に取付け
A/AX
CMX
CHX
きます。
2 サドルレスXYステージ
クロスLMガイドCSRを高剛性中抜きフレームの四隅
に配置し、シンプル・高剛性で高さの低い構造としま
した。
できる構造のため、より高精度なクローズドループ制
御も可能です。
※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。
基本仕様
単位：mm
形番項目
DX2525F
DX2525A
DX3535F
DX3535A
ストローク
250×250
350×350
メカストッパ間ストローク
260×260
360×360
DX5555F
DX5555A
550×550
560×560
繰り返し位置決め精度
±0.002
±0.002
±0.002
±0.002
±0.002
±0.002
位置決め精度
0.015
0.020
0.017
0.025
0.025
0.030
バックラッシ
0.003
0.003
0.004
0.004
0.005
0.005
走り真直度A 上下・左右
0.005
0.007
0.007
0.010
0.010
0.015
走り平行度A
0.010
0.015
0.010
0.020
0.020
0.025
直角度A
0.010
0.015
0.012
0.020
0.020
0.025
75
410
190
ボールねじリード
4
搭載質量
［㎏］
ステージ総質量
［㎏］
センサ形式
（オムロン㈱製）
511
P495-514_AX.indd 511
10
105
58
150
EE‒SX671A
DX
10.3.15 1:23:12 PM
形番
寸法図
モータ
サドルレスXYステージ
コンパクト
シリーズ
DX
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：250袢×250袢∼550袢×550袢 G3
G2
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図
G3
F2
F2
W2
4‒MJ通シ
（吊りボルト用）
W1
W2
Y
2 ストローク
F1
TF4
※F 3
※
TF’
※
TF
TF
TF1
TF3
※F 4
※
TF’
TF
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
※
TF
TF1
TW2
G1
Z‒M6深サ12
TF2
F
A
クリーン
シリーズ
※F1
2×C‒dキリ通シ∅eザグリ深サf
TF2
D
※F4
D
Wℓ
TW
TF3
Y
YℓMAX
TW1
F×N
G
※N
D
ボールねじ
ボールねじ
Y
2 ストローク
F1
G1
モータ
形番
※F1
K
TW2
TF4
※F3
X
モータ
XℓMAX
X
2 ストローク
A/AX
X
2 ストローク
Tℓ
センサ
DX
h1
h2
H
EX
CMX
D
センサ
CHX
W
注）※印寸法は、DX5555のみの寸法を示します。
単位：mm
形番
ストローク
SX×SY
ステージ
高さ寸法
h2
H
h1
中抜
寸法
D
W
Wℓ
W1
85
255
430
670
270
W2
トップテーブル
寸法
TW
Tℓ TW1 TW2
F
N
F1
F2
F3
F4
80
430
5
100
85
15
−
−
ベース寸法
ベース取付穴寸法
DX2525F/A
250×250
120
35
DX3535F/A
350×350
120
35
85
355
540
870
350
95
540
870
350
95
5
150
60
15
−
−
DX5555F/A
550×550
160
44
116
560
810
1320
570
120
810
1320
570
120
ー
300
110
20
215
185
形番
670
トップテーブル取付穴寸法
270
80
その他の寸法
TF
TF’
TF1
TF2
TF3
TF4
Xℓ
Yℓ
G
G1
G2
G3
K
J
C
d
e
f
z
DX2525F/A
160
−
120
55
170
45
930
757.5
530
70
390
20
67.5
12
6
9
14
8.6
12
DX3535F/A
210
−
150
75
220
50
1230 967.5
710
80
500
15
67.5
12
6
9
14
8.6
12
DX5555F/A
175
150
150
185
330
75
1880
910
205
770
20
90
16
6
11
17.5
15
16
1460
注1）形番の末尾の記号はベース、
テーブルの材質を示します。
F：鉄 A：アルミ
注2）モータは指定モータを取付けます。
DX
P495-514_AX.indd 512
512
10.3.19 6:54:25 PM
エコノミー
シリーズ
特長
仕様
形番
寸法図
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
精密ステージシリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
EX
高応答XYステージ
クリーン
シリーズ
F
A
テーブル
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
LMガイドHSR
クロスLMガイドCSR
コンパクトシリーズKR
ボールねじ
ベース
形番
EX 構造
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
特長
1 シンプルなXY構造
3 高剛性XYステージ
案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XY
ステージのようにサドルを使用しない構造のシンプ
ルなXYステージです。
XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを
使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラー
ガイドを使用したステージに比べ高剛性です。
2 すぐれた応答性
4 ガタのない連結機構
クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サ
X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボール
ドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特
殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限
まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応
答性を実現しました。
ねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを
採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイ
ドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構
造です。
※ 特殊仕様も製作いたしますのでTHKまでお問い合わせください。
〔モータ軸換算負荷：慣性モーメントJ〕
EX0505：X軸 0.026［kg・cm2］, Y軸 0.027［kg・cm2］
EX0808：X軸 0.029［kg・cm2］, Y軸 0.030［kg・cm2］
注）カップリング、
および搭載質量の慣性モーメントは考慮していません。
513
P495-514_AX.indd 513
EX
10.3.15 1:50:37 PM
形番
寸法図
XYステージ
コンパクト
シリーズ
EX
仕様
エコノミー
シリーズ
特長
ストローク：50袢×50袢∼75袢×75袢ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
寸法図
WX1
dx1
dx2
50
45
50
45
dx1
dx2
dy1
dy2
WY1
10
6‒M10通シ
35
50
BY
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
WY
W
LY
35
50
W1
クリーン
シリーズ
F
A
dy1
dy2
WY1
8‒M6深サ10
Y
10
BX
BX
10
75
X
38
59
90
形番
103.5
WX
67
L
A/AX
DX
LX2
LX1
LX
EX
単位：mm
ベース寸法
トップテーブル
寸法
全長
ベース
取付穴寸法
トップテーブル
取付穴寸法
形番
ストローク
L
W
W1
LX
LX1
LX2
LY
WX
WY
WX1
WY1
BX
BY
dx1
dx2
dy1
dy2
EX0505
50×50
300
187
93.5
389
367
22
198.5
192
125
125
31
140
167
12.5
17.5
27.5
12.5
EX0808
75×75
320
213
106.5
428
393
35
224.5
218
125
125
44
150
193
12.5
17.5
27.5
12.5
基本仕様
CHX
形番構成
EX 0505 A Y
単位：mm
形番 EX0505
EX0808
ストローク
50×50
75×75
メカストッパ間ストローク
54×54
80×80
繰り返し位置決め精度
±0.001
±0.001
位置決め精度
0.005
0.008
項目
バックラッシ
0.001
0.001
走り真直度A 上下・左右
0.004
0.005
走り平行度A
0.015
0.015
直角度A
0.005
0.005
ボールねじリード
4
4
搭載質量
［kg］
5
センサ形式
（オムロン㈱製）
5
EE‒SX671A
①
②
③ ④
①形番
EX
②ストローク
0505：50×50mm
0808：75×75mm
③モータ記号
Ａ：モータ無し
（標準）
Ｂ※：モータ・ドライバ付き
④特殊仕様
Y
※ モータ記号が「B」の場合、低慣性のモータを選定する必要があります。
詳しくはTHKまでお問い合わせください。
EX
P495-514_AX.indd 514
CMX
514
10.3.15 1:51:43 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
精密ステージシリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
CMX
アライメントステージ
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
Y
X
トップテーブル
ベース
形番
クロスローラーリング
クロスLMガイド
CMX 構造
DX
特長
EX
CHX
モジュール
ボールねじ
A/AX
CMX
モータ
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ
（特許取得済）
ベース・トップテーブル間の四隅に、
クロスＬＭガイドCSRとクロスローラーリングRUを組合わせたモジュールを平面
配置する独特の構造を採用し、
超薄形構造を実現しました。
1 大型ワークに対応
3 中抜き構造
トップテーブルサイズ1500mm×1500mmまでの
大型ステージを標準化。モジュールを必要数配置する
トップテーブル、ベース中央部に大きな空間が得ら
れ、
光学式検査装置や導通テスタとしての使用が可能
ことで、
更なる大型化への対応も可能です。
です。
2 超薄形・軽量
4 高剛性・高精度
XYθモジュールを採用したため、サドルのない薄くて
モジュールを構成しているクロスLMガイドとクロスロ
軽い機構を実現しました。
ーラーリングには予圧を与えてあり、高精度で剛性の
高い構造です。
主な用途
●FPD製造装置・検査装置
●半導体製造装置・検査装置
●スクリーン印刷機・マスク検査装置
515
P515-528_CMX.indd 515
●プリント基板製造装置・検査装置
●太陽電池製造装置・検査装置
CMX
10.3.15 2:01:01 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
形番構成
CMX2 − 040
②
①形番
CMX＊
②トップテーブル寸法
例：040=400mm×400mm
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
①
F
A
項目
CMX1
形番
トップテーブル
［mm］
CMX3
025
035
040
050
075
100
150
250×250
350×350
400×400
500×500
750×750
1000×1000
1500×1500
±5×±5×±3°±5×±5×±2°±10×±10×±3.5°±10×±10×±2.5°±10×±10×±1.5°±15×±15×±2°±15×±15×±1°
エンコーダ分解能
［pulse/rev］
8192
（13ビットシリアルエンコーダ）
2048
繰り返し位置決め精度
［μm］
平行度
［μm］
±1
30
ボールねじリード
［mm］
40
50
80
1
2
搭載質量
［kg］
20
50
静定格荷重
［kN］
34.1
54
本体質量
［kg］
18
23
37
180
300
700
4
150
44
63
127.0
254.1
600
1150
3
モータ形式※2※（㈱安川電機製）
SGMM‒A2C312
（20W）
SGMAH‒01BAA21
（100W）
SGMAH‒02BAA21
（200W）
3
ドライバ形式※2※（㈱安川電機製）
SGDF‒A2CP
（20W）
SGDM‒01BDA
（100W）
SGDM‒02BDA
（200W）
4
フォトマイクロセンサ形式※（オムロ
ン㈱製）
EE‒SX672
（コネクタ：EE‒1001）
使用グリース
THK AFFグリース
ト処理
トップテーブル・ベースの材質／表面処理 A5052／黒色アルマイ
A2017／黒色アルマイト処理
※1 θストロークはトップテーブルがX軸、Y軸のストローク中央時の値です。
※2 CMX1用のモータドライバの供給電源はDC24Vとなります
（他はAC100V）
。
※3 モータ∼ドライバ間の接続ケーブル
（3m）
は本体に付属します。
※4 フォトマイクロセンサの位置は貴社にて最終調整を行ってください。
注1）本アライメントステージの仕様は20±2℃時の値です。
注2）精度評価方法は、THK基準によります。
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
1
最大ストローク※［mm］
CMX2
クリーン
シリーズ
基本仕様
SS400／THK AP‒C処理
各軸の分解能
X軸
［μm］ Y軸
［μm］
形番
形番
θ軸
［s］
CMX1‒025
0.12
0.12
0.29
CMX1‒035
0.12
0.12
0.19
CMX2‒040
0.24
0.24
0.34
CMX2‒050
0.24
0.24
0.25
CMX2‒075
0.24
0.24
0.15
CMX3‒100
0.49
0.49
0.25
CMX3‒150
0.49
0.49
0.16
A/AX
DX
EX
注）CMX１の分解能は4てい倍時の値です。
CMX
精度評価方法
CHX
繰り返し位置決め精度
平行度
レーザ干渉測長器
任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰り返
して、停止位置を測定します。この測定を移動距離
定盤上にステージを乗せ、テストインジケータをト
ップテーブルのほぼ全域にわたり滑らせ測定しま
の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、
求めた値のうちの最大のものを測定値とし、その値
の1/2に±の符号をつけて表示します。
す。その際トップテーブルはストローク中央に配置
します。トップテーブル測定域の最大差を測定値と
します。
CMX
P515-528_CMX.indd 516
516
10.3.19 6:56:06 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
動作原理
アライメントステージ CMXは３軸の駆動モジュールの動作の組合わせにより、
様々なステージの動作が可能です。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
基準位置
X方向移動
駆動モジュール１
（X１軸）
X1駆動
駆動モジュール３
（Y軸）
クリーン
シリーズ
F
A
Y停止
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
駆動モジュール2
（X２軸）
X2駆動
Y方向移動
斜め方向移動
X1停止
X1駆動
形番
Y駆動
A/AX
Y駆動
DX
EX
CMX
CHX
X2駆動
X2停止
ステージ中心回転移動
旋回移動
X1駆動
X1駆動
Y駆動
X2駆動
517
P515-528_CMX.indd 517
Y駆動
X2駆動
CMX
10.3.15 2:03:42 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
送り量計算方法
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
任意のトップテーブル回転角δθを得るための各軸の相対送り量を求める式を以下に示す。
Ｘ1軸：δX1 ＝R cos
（δθ＋θX1＋θ0）
‒R cos
（θX1＋θ0）
（1式）
Ｘ2軸：δX2 ＝R cos
（δθ＋θX2＋θ0）
‒R cos
（θX2＋θ0）
（2式）
Ｙ軸：δY ＝R sin
（δθ＋θY＋θ0）
‒R sin
（θY＋θ0）
（3式）
［mm］
δX1：X1軸の相対送り量
［mm］
ボールねじの送り量
δX2：X2軸の相対送り量
δＹ：Y軸の相対送り量
［mm］
（パラメータ表をご参照ください）
］
θX1：X1軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°
（パラメータ表をご参照ください）
］
θX2：X2軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°
θY ：Y軸に連結されたクロスローラーリング中心の角度位置［°
（パラメータ表をご参照ください）
］
θO ：計算動作前のトップテーブル角度
［°
］
δθ ：トップテーブル回転角
［°
］
R ：各軸に連結されたクロスローラーリング中心を通る仮想円の半径
［mm］
（パラメータ表をご参照ください）
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
δX1
Ｙ
δY
X1軸
Ｙ
軸
θX1
δθ
θY
θX2
θ0
＋
0
X
R
形番
Ｙ
次位置
θ
X2軸
A/AX
現位置
＋
0
X
初期位置
＋
DX
δX2
EX
計算式に用いる記号の説明図
CMX
パラメータ表
形番
CMX1
CMX2
CMX3
R
025
85
035
135
040
145 2
050
195 2
075
320 2
100
400 2
150
650 2
CHX
θY
θX1
θX2
0°
90°
270°
45°
135°
225°
〔計算例〕
形番
：CMX2‒040
動作パターン：各軸ストローク中心位置を原点として、トップテーブルを次の順に動作させる場合の各軸の送り量を求
めます。
①Ｘ方向に＋1mm、
Ｙ方向に＋0.5mm平行移動
↓
②トップテーブル中央を回転中心として＋2°
回転させます
↓
③ ②の状態から−0.3°
回転させます
CMX
P515-528_CMX.indd 518
518
10.3.15 2:05:16 PM
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
クリーン
シリーズ
F
A
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
手順
まず、
X・Y方向の平行移動については、そのままの値が
各軸の送り量となります。
次に＋2°
の回転を検討します。
パラメータ表より、
CMX2‒040の各パラメータは、
Ｒ＝145・
θY ＝45°
θX1＝135°
θX2＝225°
［mm］
δX2 =＋5.14876
δY =＋4.97210
［mm］
最後にその状態から−0.3°回転させる場合の各軸の送
り量を求めます。
動作パターンの条件より、
θO=2°
δθ＝−0.3°
また動作パターンの条件より
θ0 ＝0°
（現位置が初期位置にあるため）
δθ＝2°
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
これを1式、
2式、
3式にそれぞれ代入すると、
X1軸について
（
（−0.3）
＋135＋2）
δX1 =145・・cos
（135＋2）
−145・・cos
=＋0.73431［mm］
以上を1式、2式、
3式にそれぞれ代入すると
X1軸について
δX1 =145・・cos（2＋135＋0）
（135＋0）
−145・・cos
=−4.97210
［mm］
X2軸、
Y軸について同様に次の解を得ます。
［mm］
δX2 =−0.78333
δY =−0.73431
［mm］
X2軸、Y軸について同様に次の解を得ます。
計算結果
単位：mm
相対送り量
軸
X方向に+1
Y方向に+0.5
X1
+1
（+1）
0
（0）
‒4.97210
（‒3.97210）
+0.73431
（‒3.23779）
X2
+1
（+1）
0
（0）
+5.14876
（+6.14876）
‒0.78333
（+5.36543）
Y
0
（0）
+0.5
（+0.5）
+4.97210
（+5.47210）
‒0.73431
（+4.73779）
回転方向に+2°
回転方向に‒0.3°
形番
注）
（）
内の値は原点からの絶対値
（送り量）
を示します。
A/AX
CMX1
DX
アライメントステージ
ステージ高さ：90袢テーブルサイズ：□250袢, □350袢
W
EX
寸法図
CMX
H
A
H1
C
CHX
H2
H3
W
D
L
A
R）
□Ｅ
（
B
D
B
（ベース中抜き寸法）
B
C
４‒Ｍ６深サ12
B
L
８‒７キリ通シ∅11ザグリ深サ12
単位：mm
形番
最大ストローク
CMX1‒025
±5×±5×±3°
CMX1‒035
±5×±5×±2°
519
P515-528_CMX.indd 519
高さ
H
90
H1
23
ベース寸法
H2
44
H3
23
トップテーブル寸法
L
B
E
W
D
A
C
350
160
80
250
80
160
60
450
210
180
350
180
220
80
（R）
（10）
CMX
10.3.15 2:19:41 PM
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
アライメントステージ
コンパクト
シリーズ
ステージ高さ：110袢テーブルサイズ：□400袢, □500袢, □750袢
H
H2
H3
（
B
８‒Ｍ８深サ16
H1
D
L
B
F
A
クリーン
シリーズ
A
A1
W
R）
D
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
８‒９キリ通シ∅14ザグリ深サ14
B
B
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
W
A1
A
□Ｅ
（ベース中抜き寸法）
CMX2
精度・仕様
エコノミー
シリーズ
特長
L
単位：mm
高さ
形番
最大ストローク
CMX2‒040
±10×±10×±3.5°
CMX2‒050
±10×±10×±2.5°
CMX2‒075
±10×±10×±1.5°
H
110
H1
ベース寸法
H2
27
H3
56
27
トップテーブル寸法
L
B
E
W
D
A
A1
500
235
210
400
210
180
300
600
285
310
500
310
280
400
850
410
560
750
560
530
650
（R）
（15）
形番
CMX3
A/AX
アライメントステージ
ステージ高さ：160袢テーブルサイズ：□1000袢, □1500袢
DX
EX
W
A₃
A₁
A₂
A₄
B
H₁
A₂
A₄
CMX
H₃
A₄
CHX
□Ｅ
W
A₁
A₂
B
A₄
D
A₃
A₄ A₄
D
B
A₂
（
R）
L
H
H₂
（ベース中抜き寸法）
Ｎ‒Ｍ10深サ20
B
B
B
12‒14キリ通シ∅20ザグリ深サ26
L
単位：mm
形番
最大ストローク
CMX3‒100
±15×±15×±2°
CMX3‒150
±15×±15×±1°
高さ
H
160
H1
40
ベース寸法
H2
72
H3
48
トップテーブル寸法
L
B
E
W
D
A1
A2
A3
A4
1200
380
650
1000
650
800
300
−
−
1700
540
1000
1500
1000
−
−
1300
350
CMX
P515-528_CMX.indd 520
（R）
（20）
N
12
16
520
10.3.15 2:06:12 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
サーボモータ仕様
モータ仕様
形番
項目
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
モータ形式
（㈱安川電機製）
CMX1
CMX2
CMX3
SGMM‒A2C312
SGMAH‒01BAA21
SGMAH‒02BAA21
定格出力
［W］
20
100
200
定格トルク
［N・m］
0.0637
0.318
0.637
瞬時最大トルク
［N・m］
0.191
0.955
1.91
定格回転速度
［min‒1］
3000
最高回転速度
［min‒1］
5000
ロータ慣性モーメントJ
［kg・cm2］
0.00548
0.0364
0.106
モータ質量
［kg］
0.2
0.5
1.1
クリーン
シリーズ
F
A
形番
項目
組合わせ仕様
モータ容量
［W］
モータ適用
SGDF‒A2CP
SGDM‒01BDA
SGDM‒02BDA
20
100
200
定格／最高回転数速度［min‒1］
3000／5000
連続出力電流
［Arms］
2.0
2.4
最大出力電流
［Arms］
5.7
7.2
9.0
L
許容慣性モーメントJ［kg
・cm2］
0.164
1.092
3.180
単相 AC100∼115V＋10∼‒15%（50/60Hz）
制御方法
MOSFET‒PWM方式
単相全波整流 IGBT PWM制御正弦波電流駆動方式
フィードバック
インクリメンタルエンコーダ
シリアルエンコーダ
（インクリメンタル）
使用温度
使用周囲条件
0∼＋50℃
0∼＋55℃
保存温度
（凍結なきこと）
‒20∼＋85℃
使用･保存湿度
90%RH以下
（結露なきこと）
2
4.9m/s ／19.6m/s
耐振動／耐衝撃
形番
構造
0.3
性能
0∼100％
（設定分解能 1％）
位置決め完了幅設定
0∼250指令単位
（設定分解能 1指令単位)
入・出力信号
CHX
符号＋パルス列、
CCW＋CWパルス列、
90度位相差2相パルス列
（A相＋B相）
、
オープンコレクタ
（＋5Vまたは＋12Vレベル）
ラインドライバ
（＋5Vレベル）
入力パルス形態
入力パルス周波数
CMX
1.1
‒1
0∼450min （設定分解能 1min ）
フォードフォワード補償
指令パルス
EX
0.8
‒1
バイアス設定
入力種類
DX
2
ベースマウント
概略質量
［㎏］
A/AX
3.0
DC24V±10%
4A連続、
9Aピーク
入力電源
基本仕様
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
ドライバ仕様
0∼450kHz
制御信号
出力位置
0∼500kHz、
ただしオープンコレクタは200kHz
（max）
クリア信号
（入力パルス形態は、指令パルスと同一）
出力形態
A相、
Ｂ相、
C相、
オープンコレクタ出力
分周比
（16∼2048）
/2048
シーケンス入力信号
サーボオン、
P動作、
アラームリセッ
ト、
外部電流制限
（3点）
シーケンス出力信号
電流制限検出中、TGON、位置決め
完了、
外部ブレーキインターロック及び
サーボアラーム
（2点）
A相、
B相、C相、
ラインドライバ出力
任意分周可能
サーボオン、
P動作、正転/逆転駆動禁止、
アラームリセット、正転側/逆転側電流制限
サーボアラーム、
アラームコード
（3ビット出力）
：CN1の出力端子は固定
サーボレディ、位置決め完了
（速度一致）
、
モータ回転中、電流制限中、速度制限中、
ブレーキ解放、
警告、
3種類の出力信号を選択可能
NEARの中から、
ー
ー
P‒ON、
N‒OT 動作時にDB停止、
減速停止またはフリーラン停止
保護機能
過電流、過負荷、過速度、原点異常、
暴走防止、CPU異常、
エンコーダ異常、偏差過大
過電流、過電圧、不足電圧、過負荷、
回生異常、主回路検出部異常、
ヒートシンク過熱電源欠相、
オーバーフロー、過速度、
エンコーダ異常、暴走防止、CPU異常、
パラメータ異常など
表示
Ready：緑 Alarm：赤
CHANGE、
POWER、7セグメントLED×5個
その他
ブレーキインタロック信号出力、
JOG運転、
オートチューニング、
電子ギヤ
逆回転接続、原点サーチ、
モータ自動判別機能、
電源高調波抑制DCリアクトル接続端子
内蔵機能
ダイナミックブレーキ
（DB）
機能
オーバートラベル
（OT）
防止機能
521
P515-528_CMX.indd 521
主電源オフ、
サーボアラーム、
サーボオフ時、
オーバートラベル時にDB動作
CMX
10.3.19 6:56:29 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
サーボパック外形寸法
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
（1）
SGDF‒A2CP
CN5
９２
（取付ピッチ）
CN3
CN3
RDY
ALM
CN4
CN1/IO
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
（1）
3
CN2/PG
CN4
クリーン
シリーズ
１００
（取付ねじ含む）
98
C
N
5
（35）
35
80
5
4.5
CN1
CN2
4
ヒートシンク
コネクタ符号
コネクタ型式
メーカ
CN1、CN2
52822‒4011
日本モレックス㈱
CN3
5569‒03A4‒201
日本モレックス㈱
CN4
5569‒04A2‒210
日本モレックス㈱
CN5
555153‒1
日本エー・エム・ピー㈱
形番
A/AX
5.5
SGDM‒01BDA
DX
２‒Ｍ４
EX
Ver.
CN3
端子台
（３種類）
CHX
149.5±0.5
（取付ピッチ）
160
CMX
CN1
２‒Ｍ４
（アース端子）
6
10
（75）
130
（5）
6
CN2
5
55
17
コネクタ符号
コネクタ型式
メーカ
CN1
10250‒52A2JL
住友スリーエム㈱
CN2
53460‒0611
日本モレックス㈱
CN3
10214‒52A2JL
住友スリーエム㈱
CMX
P515-528_CMX.indd 522
522
10.3.15 2:08:11 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
5.5
5.5
∅５
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
２‒Ｍ４
Ver.
CN3
149.5±0.5
（取付ピッチ）
160
端子台
（３種類）
149.5
CN1
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
6
２‒Ｍ４
（アース端子）
10
6
（5）
CN2
（5）
コンパクト
シリーズ
SGDM‒02BDA
5
12
（63）
（75）
12
130
75
17
形番
コネクタ符号
コネクタ型式
メーカ
CN1
10250‒52A2JL
住友スリーエム㈱
CN2
53460‒0611
日本モレックス㈱
CN3
10214‒52A2JL
住友スリーエム㈱
A/AX
DX
※ その他の詳細仕様・外形寸法は㈱安川電機製のACサーボドライブ「Σ‒miniシリーズ」、
「Σ‒Ⅱシリーズ」
をご参照ください。
EX
CMX
CHX
523
P515-528_CMX.indd 523
CMX
10.3.15 2:09:15 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
特殊対応
THKでは貴社の仕様に合わせた特殊アライメントステージの製作をしています。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
特殊対応品実績一例
1.大型仕様
2.小型仕様
3.ロングストローク仕様
4.高剛性センター駆動仕様
5.超高剛性高精度4軸駆動仕様
6.高負荷仕様
7.取付姿勢の注意点
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
1.大型仕様
標準品 CMX3‒150よりベースサイズ、
トップテーブルサイズを大きくしたアライメントステージです。
トップテーブル寸法
□1500mm∼□2200mm
ベース寸法
□1700mm∼□2400mm
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
モジュール数
8∼10set
CMX
P515-528_CMX.indd 524
524
10.3.19 6:56:42 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
2.小型仕様
標準品のCMX1‒025よりトップテーブルサイズを小さくしたアライメントステージです。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
トップテーブルサイズ
□230mm以下
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
3.ロングストローク仕様
アライメントステージと搬送用1軸ステージを一体化することにより、薄形でコンパクトな仕様が可能となります。
ロングストローク軸
300mmストローク以上
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
525
P515-528_CMX.indd 525
CMX
10.3.15 2:15:29 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
4.高剛性センター駆動仕様
駆動軸を中央に配置することによって、
ロストモーションが少なく、
ヨーイング方向の剛性が向上します。
また、回転中心をトップテーブルセンターに配置できるため制御が容易になります。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
5.超高剛性高精度4軸駆動仕様
各モジュールにボールねじを配置することにより、軸方向に対し高い剛性が得られ、
ロストモーションが少なく、
高精度な位置決めが可能です。
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
CMX
P515-528_CMX.indd 526
526
10.3.16 8:30:00 AM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
6.高負荷仕様
L Mガイド・ボールねじ・クロスローラーリングの形番を大きくし、モジュール1セット当たりの定格荷重を上げることにより、
高負荷荷重を受けることができます。
ご希望の搭載質量に対し、
最適なモジュールの設計、
製作を行います。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
搭載質量
150∼5000kg
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
形番
A/AX
DX
7.取付姿勢の注意点
EX
使用条件によって、
特殊対応品となります。
壁掛け姿勢、
スラント姿勢の場合、
ボールねじ・ベアリングの軸方向剛性を考慮する必要があります。
詳しくはTHKまでお問い合わせください。
CMX
CHX
壁掛け姿勢
逆さ姿勢
スラント姿勢
θ
次のような仕様の場合はTHKまでお問い合わせください。
■ P.524∼P.527の例に該当しない寸法・ストローク・搭載質量の場合。
■ モータ容量の変更が必要な場合、
または使用モータを指定する場合。
■ 特殊環境で使用する場合。
■ 材質、表面処理を変更する場合。
■ 製品仕様以外の精度が必要な場合。
527
P515-528_CMX.indd 527
CMX
10.3.15 2:12:28 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
特殊対応
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
形番
A/AX
DX
EX
CMX
CHX
CMX
P515-528_CMX.indd 528
528
10.3.15 2:16:17 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
精密ステージシリーズ
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
CHX
小型アライメントステージ
クリーン
シリーズ
F
A
トップテーブル
X
Y
駆動モジュール
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
予圧型フレキシブル平面軸受
上プレート
ケージ
ボール
中間プレート
ベース
下プレート
CHX 構造
予圧型フレキシブル平面軸受
形番
特長
DX
1超薄型
EX
予圧型フレキシブル平面軸受の採用と同一平面上に駆動モジュールを3箇所配置したことにより、超薄型アライ
メントステージを実現しました。
A/AX
CMX
CHX
2トップテーブルの小型化
トップテーブルのサイズは縦横ともに、
100∼200mmです。
従来のアライメントステージCMXよりも小型なトップテーブルが選択可能です。
3 中抜き構造の設定可能
トップテーブル・ベース中央部に、
貴社のご要望に応じて中抜き構造の選択が可能です（特殊対応）。
下面からの透過光測定、
機械・装置の配線処理の簡略化、
トップテーブルインロー穴として活用出来ます。
※ CHX‒160‒L, CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプは中抜き構造を標準対応しています。
さらに、
CHX‒125‒H, CHX‒200‒Hタイプについては、
中抜き構造の特殊対応が可能です。
4 結線作業の簡略化
モータ、
センサの接続用コネクタが一方向に集約しているため、結線作業を簡単に行うことができます。
主な用途
●光学機器、
医療機器、バイオ事業
●太陽電池、
光学レンズの貼合わせ装置
●プローブ検査装置
529
P529-538_CHX.indd 529
●チップデバイス露光、印刷、塗布装置
●微細レーザ加工機
●チップマウンタ用アライメント
CHX
10.3.15 2:22:52 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
上プレート
ケージ
ボール
中間プレート
ベース
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
下プレート
モーメント荷重
F
A
ラジアル荷重
クリーン
シリーズ
逆ラジアル荷重
予圧型フレキシブル平面軸受特長
1高剛性
適正な予圧が作用したフレキシブル平面軸受を採用したことにより、ラジアル・逆ラジアル・モーメント方向に
対して高剛性です。
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
予圧型フレキシブル平面軸受構造
2 高精度
3 超薄型構造
形番
トップテーブルに作用したラジアル荷重の大部分を上プレートを介してフレキシブル平面軸受が支持するので、
駆動モジュールで使用している案内部にはラジアル荷重がほとんど作用されません。そのため、長期的に高精度
が維持できます。
A/AX
DX
フレキシブル平面軸受はシンプルな設計になっているため、
アライメントステージ自体のコンパクト化が可能です。
EX
CMX
CHX
形番構成
CHX − 100−L − N − 02
①
②
③
④
①形番
CHX
②トップテーブルサイズ
100‒L ：100mm×100mm
（低負荷タイプ）
160‒L ：160mm×160mm
（低負荷タイプ）
125‒H ：125mm×125mm
（高負荷タイプ）
200‒H ：200mm×200mm
（高負荷タイプ）
③ケーブルタイプ
N：固定タイプケーブル
R：可動タイプケーブル
02：2m
④ケーブル長さ
05：5m
10：10m
CHX
P529-538_CHX.indd 530
530
10.3.15 2:24:01 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
基本仕様
CHX‒＊＊＊‒L
形番
項目
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
トップテーブルサイズ
［mm］
1
ストローク※［mm］
※2
｡
CHX‒＊＊＊‒H
100
160
125
200
100×100
160×160
125×125
200×200
±2×±2×±2
｡
｡
±3×±3×±3
モータの基本ステップ角［］
｡
｡
±5×±5×±3
0.72
ボールねじリード
［mm］
1
繰り返し位置決め精度
［μm］
±1
ロストモーション
［μm］
3
±0.7
2
1
平行度
［μm］
クリーン
シリーズ
F
A
±3×±3×±3
30
移動時負荷質量
［kg］
1
10
50
静止時負荷荷重
［N］
49
490
980
本体質量
［kg］
2
6
15
35
モータ型式※3
PK513PA
TS3664N16E2
PK523A
PK543NAW
モータメーカ※3
オリエンタルモーター㈱
多摩川精機㈱
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
ドライバ型式※3
MC‒0514‒L
（0.35A仕様）
ドライバメーカ※3
㈲マイクロステップ
オリエンタルモーター㈱
DFC5103P
フォトマイクロセンサ型式※4
PM‒L24
（SUNX㈱製）
使用グリース
THK AFFグリース
トップテーブル・ベースの材質
S45C
トップテーブル・ベースの表面処理
低温黒色クロム処理
※1 θストロークはトップテーブルがX軸、Y軸のストローク中央時の値です。
※2 モータの基本ステップ角はフルステップ時の値です。
※3 詳しい仕様については各メーカのカタログ、
取扱説明書をご覧ください。
※4 フォトマイクロセンサは駆動モジュールごとに各3個ずつ取付けます。
DFC5107P
オリエンタルモーター㈱
注１）精度評価方法は、THK基準によります。
注2）各精度は移動時負荷質量を搭載させた状態での値です。
（搭載物重心は、
トップテーブル中央）
注3）上記以外の仕様の場合は、
THKまでお問い合わせください。
形番
精度評価方法
繰り返し位置決め精度
A/AX
任意の一点に同じ方向からの位置決めを７回繰り返して、停止
位置を測定し、読みの最大差を求めます。この測定を移動距離
の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値の
うちの最大のものを測定値とし、その値の1/2に±の符号をつ
けて表示します。
DX
EX
CMX
CHX
ロストモーション
レーザ干渉測長器
任意の一点に正と負の方向からの位置決めを各７回繰り返し
て、停止位置を測定し、正と負それぞれの測定値の平均差を求
めます。この測定を移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞ
れの位置で行い、求めた平均差のうちの最大のものを測定値と
します。
精度＝
（t1+t2+・・・+t7）
/7−
（t'1+t'2+・・・+t'7）
/7
t：正方向からの位置決め測定値
t'：負方向からの位置決め測定値
平行度
定盤上にステージを乗せ、テストインジケータをトップテー
ブルのほぼ全域にわたり滑らせ測定します。その際トップテ
ーブルはストローク中央に配置します。トップテーブル測定
域の最大差を測定値とします。
531
P529-538_CHX.indd 531
CHX
10.3.19 6:58:13 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
超薄型アライメントステージCHXは３軸の駆動モジュールの動作の組合わせにより、
様々なステージの動作が可能です。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
基準位置
X方向移動
駆動モジュール1
コンパクト
シリーズ
動作原理
駆動モジュール3
X1駆動
X1軸
クリーン
シリーズ
F
A
Y
軸
Y停止
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
X2軸
X2駆動
駆動モジュール2
Y方向移動
斜め方向移動
X1駆動
X1停止
形番
A/AX
Y
駆
動
Y
駆
動
DX
EX
CMX
X2停止
テーブル中心回転移動
旋回移動
X1駆動
X1駆動
Y
駆
動
Y
駆
動
X2駆動
CHX
X2駆動
X2駆動
CHX
P529-538_CHX.indd 532
532
10.3.15 2:25:46 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
送り量計算方法
任意のX、Y、
θを得るための各軸の相対送り量は、
下記の計算式で求めることができます。
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
X1軸：δx1=tanθ×
（Y‒X1Y）
＋X1X×
（‒1＋1/cosθ）＋X
＋X2X×
（‒1＋1/cosθ）＋X
X2軸：δx2=tanθ×
（Y‒X2Y）
（YX‒YY×sinθ‒X）＋YY×
（cosθ‒1）
＋Y
Y 軸：δY =tanθ×
δx1
δx2
δY
X1X、X1Y
X2X、X2Y
YX、YY
X
Y
θ
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
予圧型フレキシブル平面軸受
トップテーブル
：X1軸の相対送り量
［mm］
：X2軸の相対送り量
［mm］
ボールねじの送り量
：Y 軸の相対送り量
［mm］
：X1軸駆動モジュールの回転ピン中心座標
（パラメータ表をご参照ください）
：X2軸駆動モジュールの回転ピン中心座標
（パラメータ表をご参照ください）
：Y 軸駆動モジュールの回転ピン中心座標
（パラメータ表をご参照ください）
：X方向移動量
：Y方向移動量
：θ方向移動量
（Ｘ1Ｘ, Ｘ1Ｙ）
（X１Ｘ, X1Ｙ）
X1軸
Ｘ１軸
Y軸
形番
θ
θ
（０, ０）
A/AX
（0, 0）
Ｙ軸
DX
（YＸ, YＹ）
+
EX
Ｘ２軸
Y
X2軸
θ
CMX
+ 0
（X2Ｘ, X2Ｙ）
（Ｘ2Ｘ, Ｘ2Ｙ）
（ＹＸ, ＹＹ）
X
+
CHX
CHX‒100, 160
CHX‒125, 200
計算式に用いる座標系
パラメータ表
形番
X1X
X1Y
X2X
X2Y
YX
YY
CHX‒100‒L
48.5
22
48.5
‒22
‒37.5
42
CHX‒160‒L
67.5
57
67.5
‒57
‒57
‒67.5
CHX‒125‒H
13.5
90
13.5
‒90
90
‒13.5
CHX‒200‒H
24.5
130
24.5
‒130
130
‒24.5
533
P529-538_CHX.indd 533
CHX
10.3.15 2:26:20 PM
精度・仕様
寸法図
動作原理
モータ
アライメントステージ
ステージ高さ：35, 45袢テーブルサイズ：□100袢, □160袢
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
4‒P, 深サT
4‒Q, 深サT
CHX‒160‒L
ケーブル
引出し方向
寸法図
コンパクト
シリーズ
CHX–100–L, CHX–160–L
形番
エコノミー
シリーズ
特長
4‒Eキリ通シ
∅Fザグリ深サG
4‒R, 深サT
4‒S, 深サT
B
□L
A4
A3
A2
F
A
クリーン
シリーズ
A1
□W
CHX‒100‒L
ケーブル引出し方向
D
∅
H1
H2
H
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
A4
A3
A2
K
H3
A1
単位：mm
形番
高さ
ベース
トップテーブル
ベース取付穴
ねじ穴
ケーブル長さ
H
H1
H2
H3
L
B
W
A1
A2
A3
A4
D
E
F
G
P
Q
R
S
T
K
CHX‒100‒L
35
6
23
6
120
110
100
90
60
20
ー
ー
4.5
8
4.4
M4
M3
M2
ー
6
100
CHX‒160‒L
45
8
27
10
170
150
160
150
110
90
60
20
5.5
9.5
5.4
M5
M5
M4
M4
8
160
形番
CHX–125–H, CHX–200–H
アライメントステージ
ステージ高さ：60袢テーブルサイズ：□125袢, □200袢
CHX‒125‒H:25
CHX‒200‒H:30
A/AX
寸法図
４‒Ｅキリ通シ∅Ｆザグリ深サＧ
EX
ML
Ｊ‒Ｍ６, 深サＴ
DX
CMX
CHX‒125‒H:215
CHX‒200‒H:310
ML
B
□L
CHX‒125‒H:200
CHX‒200‒H:290
A
D
∅
□W
CHX
CHX‒125‒H
4‒M8通シ
（吊ボルト用）
CHX‒125‒H:25
CHX‒200‒H:30
H1 H2
H3
H
CHX‒200‒H
4‒M10通シ
（吊ボルト用）
※ 吊ボルトは製品に付属します。
単位：mm
形番
高さ
ベース
トップテーブル
ベース取付穴
ねじ穴
モータ長さ
H
H1
H2
H3
L
B
W
A
D
E
F
G
J
T
ML
CHX‒125‒H
60
24
24
12
260
230
125
100
40
6 .6
11
6.5
4
10
26
CHX‒200‒H
60
10
35
15
350
330
200
180
60
9
14
8.6
8
10
33
CHX
P529-538_CHX.indd 534
534
10.3.15 2:27:04 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
ステッピングモータ仕様
項目
形番
CHX‒＊＊＊‒L
CHX‒＊＊＊‒H
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
100
160
125
200
モータ型式
PK513PA
TS3664N16E2
PK523A
PK543NAW
モータメーカ
オリエンタルモーター㈱
多摩川精機㈱
ホールディングトルク
［N・m］
0.022
0.017
0.033
0.13
ロータ慣性モーメント
［g・cm2］
2.6
4.2
9.0
35.0
※
オリエンタルモーター㈱
※
駆動電流
［A/相］
0.35
0.75
0.35
0.75
質量
［kg］
0.05
0.07
0.10
0.21
※ CHX‒100‒LとCHX‒160‒Lでは駆動電流が異なりますので、
ご使用の際はドライバの駆動電流選択スイッチを切替えてからご使用ください。
クリーン
シリーズ
F
A
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
ドライバ仕様
項目
形番
CHX‒＊＊＊‒L
100
CHX‒＊＊＊‒H
160
ドライバ型式
※
MC‒0514‒L
（0.35A仕様）
ドライバメーカ
㈲マイクロステップ
駆動方法
DFC5107P
オリエンタルモーター㈱
入力電源
DC20∼40V
DC24∼36V±10%
入力信号
フォトカプラ入力入力抵抗300Ω
フォトカプラ入力入力抵抗220Ω
出力信号
フォトカプラ・オープンコレクタ出力
使用条件 DC30V以下、
50mA以下
フォトカプラ・オープンコレクタ出力
使用条件 DC24V以下、10mA以下
機能
パルス入力方向切替え、
自動カレントダウン、
マイクロステップ角切替え
自然冷却
形番
絶縁耐圧
常温、
常湿において、
電源入力とケース間にDC500V仕様の
絶縁抵抗計で測定した値が50MΩ以上
常温、
常湿において、
モータのコイル・ケース間をDC500V仕様の
絶縁抵抗計で測定した値が100MΩ以上
絶縁抵抗
常温、
常湿において、
電源入力とケース間にAC500Vを
1分間印加しても異状はありません。
常温、
常湿において、
モータのコイル・ケース間に50Ｈzまたは60Ｈz、
0.5kVを1分間印加しても異状はありません。
0∼40
使用周囲温度
［℃］
使用周囲湿度
［％］
質量
［kg］
DX
200
DFC5103P
マイクロステップ
冷却方法
A/AX
125
0∼85
0.17
0.2
※ MC‒0514‒L
（0.35A仕様）
はメーカ特殊仕様となります。
EX
CMX
CHX
535
P529-538_CHX.indd 535
CHX
10.3.15 2:28:01 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
CHX‒100‒L, CHX‒160‒L
コンパクト
シリーズ
ドライバ外形寸法
CHX‒125‒H, CHX‒200‒H
3.5
70
47±0.1
64
18.5
34.5
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
2‒∅3.5
CN3
駆動電流選択スイッチ
CN1
CN1
CN2
91±0.1
94
100
CN3
4.5
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
88
18
38
36
3.5
CN2
クリーン
シリーズ
F
A
93±0.1
3.5
注）ドライバの詳細寸法図とスイッチ類については、
各メーカの取扱説明書をご覧ください。
付属品
形番
・ドライバ・・・・・・・・3台
・モータケーブル・・・・1本（ケーブルタイプ、
ケーブル長さは形番にてご指示ください）
・センサケーブル・・・・2本
（ケーブルタイプ、
ケーブル長さは形番にてご指示ください）
・吊ボルト・・・・・・・・4本
（CHX‒125‒L、
CHX‒200‒Lのみ）
A/AX
※ センサケーブルは2本付属します
（Aタイプ・Bタイプ→P.538）
。
DX
EX
CMX
CHX
ケーブル形番構成
固定タイプモータケーブル
固定タイプセンサケーブル
CHX − MCN − 02
CHX − CSN − 02
①
①ケーブル長さ
02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ
可動タイプモータケーブル
①
①ケーブル長さ
可動タイプセンサケーブル
CHX − MCR − 02
CHX − CSR − 02
①
①ケーブル長さ
02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ
02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ
①
①ケーブル長さ
02：2ｍ, 05：5ｍ, 10：10ｍ
注1）ドライバ側およびコントローラ側は全てバラ線となります。
注2）固定タイプのケーブルをご使用の際は、
ケーブルが動かないよう確実にケーブルを固定してください。
注3）可動タイプのケーブルは耐屈曲ケーブルを使用しています。
注4）センサケーブルは2本で1セットとなります
（Aタイプ・Bタイプ→P.538）
。
注5）ケーブルをご注文の際は、CHX本体の形番も併せてTHKまでご連絡ください。
CHX
P529-538_CHX.indd 536
536
10.3.15 2:28:40 PM
エコノミー
シリーズ
特長
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
Precision stage series
コンパクト
シリーズ
ドライバ外部結線図
CHX‒100‒L, CHX‒160‒L
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
ドライバ
コントローラ
Ｖｏ3
ＣＮ３
ＣＷ/パルス信号
ＣＮ２
1
5
2
4
3
3
Ｒ１
F
A
クリーン
シリーズ
ＣＣＷ/回転方向信号
Ｒ１
出力電流オフ信号
4
2
5
1
黒
緑
橙
モータ
赤
青
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
Ｒ２
6
ＣＮ１
1
ＤＣ２０∼４０Ｖ
2
GND
CHX‒125‒H, CHX‒200‒H
形番
ドライバ
コントローラ
Ｖｏ1
ＣＮ３
ＣＮ２
A/AX
ＣＷ/パルス信号
DX
1
5
2
4
3
3
Ｒ１
ＣＣＷ/回転方向信号
EX
Ｒ１
CMX
出力電流オフ信号
4
2
5
1
黒
緑
橙
モータ
赤
青
Ｒ２
CHX
6
ステップ角切替え信号
9
Ｒ２
10
ＣＮ１
Ｖｏ2
励磁タイミング信号
1
ＤＣ２４∼３６Ｖ±１０％
7
2
GND
8
3
結線せず
Ｒ３
注1）Vo1の電圧がDC5Vを超える時は、
外部抵抗R1・R2を接続してください。
注2）Vo2の電流が10mAを超える時は、
外部抵抗R3を接続してください。
注3）標準タイプのドライバについては、入力方法
（フォトカプラ入力、C‒MOS入力）
によって結線方法が異なります。
注4）詳しい仕様については各メーカの取扱説明書をご覧ください。
537
P529-538_CHX.indd 537
CHX
10.3.15 2:29:41 PM
精度・仕様
形番
動作原理
寸法図
モータ
エコノミー
シリーズ
特長
コンパクト
シリーズ
ケーブル詳細図
CHX‒100‒L, CHX‒160‒L
センサケーブルA
X1軸
X2軸
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
灰
灰白
橙
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
+24V
X1 ORG
0V
+24V
X1+ELM
0V
+24V
X1‒ELM
0V
+24V
X2 ORG
0V
+24V
X2+ELM
0V
橙白
（使用しない）
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
灰
灰白
橙
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
+24V
X2‒ELM
0V
+24V
Y ORG
0V
+24V
Y‒ELM
0V
+24V
Y‒ELM
0V
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
F
A
灰（使用しない）
灰白
（使用しない）
橙白
（使用しない）
ステージ側
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
コントローラリニアモータ精密ステージ
シリーズ
シリーズ
シリーズ
Y軸
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
青
赤
橙
緑
黒
青
赤
橙
緑
黒
青
赤
橙
緑
黒
バラ出し
クリーン
シリーズ
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
センサケーブルB
バラ出し
バラ出し
ユニバーサルスーパー
シリーズ
シリーズ
モータケーブル
ドライバ側
100mm被覆無し
50mm
100mm被覆無し
50mm
100mm被覆無し
CHX‒125‒H, CHX‒200‒H
モータケーブル
センサケーブルA
X2軸
Y軸
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
灰
灰白
橙
橙白
（使用しない）
ステージ側
ドライバ側
100mm被覆無し
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
+24V
X1 ORG
0V
+24V
X1+ELM
0V
+24V
X1‒ELM
0V
+24V
X2 ORG
0V
+24V
X2+ELM
0V
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
灰
灰白
橙
橙白
（使用しない）
100mm被覆無し
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
+24V
X2‒ELM
0V
+24V
Y ORG
0V
+24V
Y‒ELM
0V
+24V
Y‒ELM
0V
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
形番
X1軸
青
赤
橙
緑
黒
青
赤
橙
緑
黒
青
赤
橙
緑
黒
バラ出し
バラ出し
バラ出し
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
センサケーブルB
黒
黒白
赤
赤白
緑
緑白
黄
黄白
茶
茶白
青
青白
A/AX
DX
EX
CMX
灰（使用しない）
灰白
（使用しない）
CHX
100mm被覆無し
※1 ステージ側への接続は、
ステージのベース部の専用コネクタへそのまま接続してください。
※2 ドライバ側
（コントローラ側）
への接続は、
全てバラ線となっています。
タイプ
ケーブル名モータケーブル
センサケーブルA
センサケーブルB
固定タイプケーブル
可動タイプケーブル
KVC36‒0.2‒8P
（倉茂電工㈱製）
NA3MF‒25‒8P
（㈱ミスミ製）
KVC36‒0.2‒7P
（倉茂電工㈱製）
NA3MF‒25‒6P
（㈱ミスミ製）
CHX
P529-538_CHX.indd 538
538
10.3.15 2:30:17 PM
ご使用上の注意点
精密ステージ
■ 安全上の注意 ■
・本製品は重量物となります。本体質量にあわせ運搬の際は2人以上または運搬器具を使用しておこなってください。けがや破損の原
因となります。
・本製品の搬送・設置時にはベースに吊ボルトを固定し、運搬用固定金具を取付けてください。また、ご使用時には吊ボルト及び運搬
用固定金具を必ず取り外してください。
・CHX−125/−200：搬送・設置時には付属の吊ボルトをご使用ください。
・ベースの取付け穴を使用して、
必ず本製品を固定してからご使用ください。
・トップテーブルのねじ穴を使用して、
必ず搭載物を固定してからご使用ください。
・本製品をむやみに分解しないでください。
ごみの侵入や機能が損失する原因となります。
・本製品を落下させたり、叩いたりしないでください。
けがや破損の原因となります。
また、衝撃を与えた場合、外観に破損が見られなくとも
機能を損失する可能性があります。
・複数の人が作業をおこなう場合は、手順・合図・異常等の措置を予め確認し、
別途作業を監視する人をおいてください。
・ステージ、
ドライバおよび接続されている関連機器の設置、
調整、点検、
保守作業をおこなう際は、
必ず全ての電源プラグをコンセントか
ら抜き、作業者以外が電源を投入復帰できないよう施錠、
または安全プラグ等をご用意ください。
また、作業中の旨を明記した物を見や
すい位置に掲示してください。
・ご使用に際しては、各モータメーカ、
ドライバメーカの「取扱説明書」
をよく読み内容を十分理解し、取扱い上の注意事項を必ず厳守し
てください。
・作業の前に、
JIS規格「産業用マニピュレーティングロボット−安全性」
（JIS B8433）
および厚生労働省「労働安全衛生規則」
を精読
し、遵守してください。
■ 使用環境 ■
本製品は、使用環境が悪いと故障の原因となりますので、次のような場所でご使用ください。
・周囲温度が0∼40℃の範囲内、周囲湿度が85％RH以下
（凍結および結露なきこと）
・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所
・鉄粉等の誘電性のある粉体、
塵埃、
オイルミスト、
切削液、
水分、塩分、
有機溶剤が飛散しない場所
・直射日光、
輻射熱が当たらない場所
・強電界、強磁界の発生しない場所
・振動や衝撃が伝わらない場所
・点検や清掃のしやすい場所
■ 保管 ■
・本製品は、
弊社の梱包および荷姿で、
高温、低温、多湿を避け、水平な状態で保管してください。
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