全自動ウェーハマウンター概要ダイシング前工程として、専用フレームへのウェーハマウントを全自動で行う装置です。装置サイズは世界最小で真空チャンバーの採用により、極薄ウェーハ（厚み：175μm／Φ8インチ）にも対応できます。特長 ●世界最小サイズのΦ4・5・6・8インチ対応の全自動ウェーハマウンターです。 ●テープにウェーハを真空中で貼付けますので、気泡の発生が無く、貼付けローラーの荷重も少なくてすみ、ウェーハダメージを与えません。 ●特殊テーブルの使用により、外周3mmを除くウェーハ表面は完全にノーコンタクトで、且つ、吸着によるウェーハ固定を行いませんので、ウェーハへダメージを与えません。 ●専用フレームにテープを貼付けるステージとテープにウェーハを貼付けるステージを別に設けていますので、テープの使用量が低減され、且つ、どの様なテープにも対応が出来ます。 ●操作は見やすいタッチパネル式で、トラブル時の状況も表示します。 ●非接触オリフラ合わせを標準装備しています。オプション ●IDリーダー・バーコードシステムの装置内蔵 ●ウェーハマウント用ヒーターユニット ●SECS等各種通信システムに対応 ●その他特別仕様にも対応化合物（割れ・カケ）・ガラスウェーハ・BGA基板にも姉妹機種にて、対応できます。〉仕様 ATM-8200 スループット 95枚/h（ご使用条件により異なります）対応ウェーハサイズ 4インチ、5インチ、6インチ、8インチ使用フレーム 2―6―1、2―8―1 使用テープ幅 6インチ：幅 230mm 8インチ：幅 300mm ウェーハ貼付精度ユーティリティ X・Y方向±0.5mm θ方向±0.5°以内（フレーム位置決めに対して）電源 AC100V 単相 50／60Hz 2.0KVA 空気源圧力 0.5Mpa 300Nl/min 真空源コンバム使用装置寸法 D 1,150 × W 1,326 × H 1,800mm 重量 700kg ※ 外観・仕様は改良の為、予告なく変更する場合があります。本社／〒634-8580 奈良県橿原市新堂町313-1 九州営業所／〒869-1101 熊本県菊池郡菊陽町津久礼字平の上65 TEL.0744-24-6608 FAX.0744-24-8352 TEL.096-232-2700 FAX.096-232-2891 URL http://www.takatori-g.co.jp E-mail [email protected] 2001.11改