光測定器 TB100 青色光対応 光パワーメータ・3270 ᝤ٥ኳʕᙌԼ TB100青色光対応光パワーメータは、 400nm帯青色レーザの特性測定に最適な光パワーメータです。 405nmの基準波長でJQAトレーサブルな校正を行っているため、高確 度に測定できます。 また、400nm近辺でフラットな波長感度特性であるため、厳密な波長 設定を必要としません。 手のひらサイズ、重さも450gと軽いので、携帯に便利であるとともに 場所もとりません。 電源は、ACアダプタ、単三乾電池より、お使いになる状況によりお選 びいただけます。 ●400nm帯でフラットな波長感度特性 ●受光面サイズΦ18mmの大口径 ●センサ表面の低反射化により多重反射の影響を緩和 ●100mwまでのハイパワー測定 ●MAX値ホールド機能 ●RS-232通信ユニットによるデータ取り込み 3270 約205×88×43mm 約450g 400nm帯でフラットな波長感度特性 通常のシリコンセンサを用いた光パワーメータでは、 400nm近辺での波長感度変化が大きく、400nmと 400nm近辺のTB100センサ(327010)の波長感度特性 115 110 410nmでは数%の感度差があります。生産工程で個々 のドライブごとに波長を設定して感度補正を行うことは効 率が悪く、400nm付近の波長感度がフラットであること が望まれます。TB100青色光対応光パワーメータのセン サ (327010) は、波長感度補正フィルターを入れることで、 通常のシリコンセンサ 相 対 105 感 度 ︵ % ︶ 100 青色光対応光センサ 327010 400nm∼420nmでフラットな波長感度特性を実現して います。 95 400 405 410 415 波長(nm) 420 425 430 距離に依存しない安定した測定 多重反射の影響(波長:405nm, NA=0.85) 1.10 327010 通常のセンサ 1.05 受 光 パ ワ ー 1.00 変 動 率 0.95 光パワーメータセンサ 0.90 0 0.5 1.0 1.5 2.0 レンズ − センサ間 距離(mm) 2.5 3.0 センサ表面の反射が大きいと再反射した 光により、測定が不安定になる。 通常のSiセンサによる多重反射の例 通常の光パワーメータでは、 センサ表面やレーザ出射部 付近での反射により、 センサと出射部の間で多重反射 が発生します。特に高NAレンズを通ったレーザ光を測定 するときには、 センサを出射部に接近する必要があるため、 多重反射の影響が大きくなり、測定値がセンサからの距 離によって値が変わるなど、不安定になります。 青色光対応光パワーメータのセンサ327010は、 フィルタ 表面に反射防止処理を施しており、外部の反射が多い 場合でも、安定な測定が可能です。 光測定器 TB100 Φ18mmの大受光径センサ 高NA(開光率) レンズでは、入射角度が大きいため、適 正な測定を行うにはセンサを出射部に近づけなくてはな りません。例えば、NA=0.85のレンズでは最大入射角度 が約60度になるため、焦点から3mm離れた位置では受 光面積がΦ10mmになります。 327010光センサの受光径はΦ18mmなので、高NAレン ズの発散光に対しても、 センサの位置決めを厳密にしな くても、安定した測定が可能です。 NA=0.85 θ=約60度 NA=0.65 θ=約40度 3mm θ θ 約Φ10mm MAX値ホールド機能 MAX値ホールド機能は、現在の測定値と、過去の測定結 果の最大値を同時に表示する機能です。 特に高NAレンズを用いた時は、焦点からセンサまでの距 離を数mm以下に調整しなければなりません。このような 場合、MAX値ホールド機能を使用すれば、 センサを上下 左右に移動した時の最大値を読むことで、正確なレーザ パワーを容易に測定できます。 CW CW MAX値 最新測定値 mW mW MAX値表示画面例(mW固定表示時) RS-232通信ユニット (別売) 別売のRS-232通信ユニット(327020) を用いて、測定デー タをPCへ取り込めます。生産ラインなどのデータ管理に 便利です。 データは、正負符号と、小数点を除いたdBm値、 レンジ情 報(オーバーレンジやアンダーレンジ情報を含む) で構成さ れています。 RS-232 unit ブロック図 327010 センサ PD モジュール 327001 光パワーメータ BPF CHOP CW LPF SW EEPROM アナログ アウト 327020 RS-232 ユニット A/D RAM SW RS-232 インター フェース CPU ROM 表示LCD 電源回路 DC(+9V, +6V) Sensor unit 光測定器 TB100 仕 様 概 要 ●本体仕様 ●センサユニット仕様(注4) 表示 7セグメント 4桁 波長範囲 400∼850nm(注1) 単位表示 絶対値;dBm,mW,μW,nW 相対値;dB 基準波長 405nm mW単位固定機能 mWに表示単位を固定する 受光素子 Siφ18mm MAX値ホールド機能 dBm、mW(固定)の時、MAX値をホールドする機能 用 途 空間光 校正係数 センサの波長感度を補正(1nmステップ) パワーレンジ (CW光) 32nW∼100mW(-45dBm∼+20dBm) レンジ切換 自動または固定(アップ/ダウン) ノイズレベル(CW光) 100nW 測定モード CW光,チョップ光(270Hz,1kHz,2kHz) を切り替え 基準条件における確度 測定インターバル 約330ms 平均化処理 逐次加算平均方式(10/50/100回)ON/OFF切り替え可能 表示分解能 0.1/0.01切り替え可能 相対値測定 基準設定値に対する相対測定 バックライト バックライトキーを押している間、 またはキーを離してから約5秒間点灯 ±5%(1mW) (注3) ±7%(10μW以上) (注4) (注1)センサ感度補正のための波長設定可能な範囲 (注2)Ta=23±3℃,CW光,NA=0.2,基準波長にて (注3)Ta=23±5℃,CW光,NA=0.2,400∼420nmにて (注4)Ta=23±5℃,CW光,NA=0.2,420∼850nmにて キー操作をしなくなってから3分間または10分間たつと自動的に電源 オフ。(パワーオフ機能のOFFも選択可) バッテリチェック したとき) 測定確度 表示している測定値を基準に相対測定 オートパワーオフ ±4%(1mW) (注2) (±3%:本体327001 およびセンサ327010 を組み合わせて校正 ローバッテリの表示 ●通信ユニット仕様 ブザー機能 設定レベル(可変) より大きいレベルの入力時に動作 通信方式 RS - 232C 調歩同期式 レジューム機能 電源OFF時の設定条件を再現 データ長 8 bit バックアップ機能 バッテリ交換時に設定条件をバックアップ(8時間) パリティ None アナログアウト 0∼約+1.5V(レンジ自動切替のとき) ストップビット 2bit オーバーレンジのときは1.5V以上の電圧で出力される場合があります。 ビットレート 2400 bps 電源 乾電池(単3型4本), 送受信 送信のみ(取得データを定期的に送信) 環境条件 動作温度;0∼+50℃,保存温度;-25∼+70℃ 本体各種設定およびデータの送信要求などのリモート制御不可。 ACアダプタ (AC 100∼240V, 48∼63Hz) 通信コネクタ D-SUB 9ピン(オス) 湿度;85%以下 質量 約450g 外形寸法 約205(H)×88(W)×43(D)mm 付属品 DCパック;1個 乾電池パック;1個 ●センサユニット外形図 単位:mm 18 ACアダプタ;1個 アナログアウト用アダプタ;1個 電源コード(ACアダプタ用);1本、取扱説明書 30 形 名 170 品名 形名 記事 TB100 青色光対応光パワーメータ 327001 100 ∼ 240VAC 青色光対応光センサ 327010 400 ∼ 850nm、 最大 100mW RS-232 シリアル通信ユニット 327020 327001 専用 キャリングケース 327080 TB100 専用ソフトケース センサヘッド部の厚さ 4mm
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