ナノインプリント標準スタンプ一覧表
回折格子
マルチパターン
ピラー（柱状）
1
2
3
反射防止（モスアイパターン）
ワイヤーグリッド偏光板
マイクロレンズアレイ
イメージ
リスト番号
種類別
スタンプサイズ
パターンエリア
スタンプ厚
スタンプ材質
パターン構造
構造物サイズ
構造物ﾋﾟｯﾁ
構造物高さ・深さ
2インチウエハー
（丸）
10x10mmの4エリア
500±25μ m
500±25μ m
シリコン
クオーツ又はシリコ
5種類（チェッカー
ボード、クロスバー、
ラインアレイ又は正
ピラー
ライン＆スペース、
方形ピラー
ピラー、くねくねパ
ターン）
50nm-300nm
50～300nm
125, 175, 225, 275nm
200-400nm
200, 300, 400, 500nm
80-275nm　±15nm
100nm　±15%
100-300nm
20x20mm
50nm: ±30%
100nm: ±20%
左右方向公差
上下方向公差
欠陥密度
2インチウエハー
（丸）
17x17mm
525μ m
シリコン
(推定0.1%以下)
○
○
○
5
タイプB
（高性能仕様）
6
タイプC
7
タイプD
（高性能仕様）
8
タイプA
120x120mm
70mmx70mm
300x300mm
120x120mm
2インチウエハー（丸）
100x100mm
50mmx50mm
280x280mm
100-300μ m
ニッケル
100x100mm
12x12mm
6x6mm
500±25μ m
シリコン
100x100mm
50x50mm
100-300μ m
ニッケル
ライン＆スペース
六角形/ハニカム
六角形アレイ（モスアイ）
9
タイプB
50μ m幅ライン
250nm
250nm
300nm
300nm
250nm
250nm
300nm
300nm
±　15nm
転写エリアの0.01%以下
○
○
0.9%以下
（アクリル樹脂）
0.6%以下
○
○
○
○
○
○
○
○
120x120mm
70x70mm
○
○
レンズ直径：9μ m
5.5μ m
±15％
0.1%以下
0.6%以下
11
タイプB
100nm
±　10nm
0.9%以下
（アクリル樹脂）
10
タイプD
レンズ直径：10μ m
±15％
反射率
＜オプション＞
離形表面処理
ダイシング
4
タイプA
○
○
○
○
○
○