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SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.

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1600
800
2
3
A C22 0V
POWE R
A C220 V
P OWE R
21
4
5
AC 220 V
P OWE R
6
8
AC2 20V
PO WER
9
22
11 13 16 17
AC22 0V
POW ER
A C220 V
P OWE R
12 14
AC 220V
PO WER
AC22 0V
POW ER
18 19
AC 220 V
AC2 20V
AC22 0V
A C220 V
AC22 0V
A C22 0V
P OWE R
PO WER
POW ER
P OWE R
POW ER
POWE R
7
10
AC2 20V
PO WER
15
A C220 V
P OWE R
20
A C22 0V
POWE R
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AC 220 V
P OWE R
2150
1
800
100
23
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
DE SC RI PT ION
CONTROL
NORITAKE
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CO
O.,
., L I M I T E D
D..
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N
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N
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PROJ.
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2050
800
2150
800
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SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
DE SC RI PT ION
CONTROL
NORITAKE
PANEL (BACK)
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
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GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
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AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A3 - E 1 0 2R 6 6 4
2150
100
2050
1000
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
DE SC RI PT ION
CONTROL
NORITAKE
PANEL (SIDE)
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
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N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
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AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
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1600
NFB
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LI NE
ELB02
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LOA D
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LOAD
58H 59H 60H 61H 62H 63H 64H 65H
LI NE
T O
LI NE
LIN E
LIN E
LINE
LINE
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LINE
LOAD
LOAD
L INE
L INE
L INE
L INE
LOAD
LOAD
LOAD
LOAD
LINE
LINE
LOAD
LOAD
NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB
1
2
3
4
5
6
7
8
LINE
T R I P
LOA D
LOA D
LOA D
LOA D
LOA D
LOAD
LOAD
LOAD
NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB
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32
21
37
38
41 42
SSR
40 41 42
SSR
55
SSR
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47
SSR
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SSR
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SSR
56
INV
21
-
+
22
-
+
48
+
49
50
51
SSR
59
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-
MC MC MC MC MC MC MC MC
1 2 3 4 5 6 7 8
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-
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SSR
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+
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-
-
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SSR
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-
SSR
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+
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-
2150
P U S H
LI NE
LINE
29
+
-
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+
-
+
MC MC MC MC MC MC
37 38 39 40 41 42
INV
31
32
33
34
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
35
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
SV
1
36
M I T S U B I S H I
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
-
+
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
-
+
-
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
+
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
-
+
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
-
+
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
-
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
2
M I T S U B I S H I
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
3
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
4
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
5
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
6
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
7
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
8
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
M I T S U B I S H I
M R - J 2 S - 1 0 B
O P E N
+
F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
L 1
U
L 2
V
L 3
W
THR
23 23 23 23 25 25 25 25 32 32 32 32 34 34 34 34 34
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
DE SC RI PT ION
CONTROL PANEL LAYOUT(FRONT)
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A3 - E 1 0 4R 6 6 4
1600
CP
?
?
?
?
BK M- 2 P
?
?
?
BK M -2 P
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
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?
?
B KM - 2P
?
?
B K M- 2P
?
?
BK M- 2P
?
?
BK M- 2P
?
?
BK M- 2P
?
?
BK M- 2P
?
?
BK M- 2 P
?
?
?
BK M -2 P
X-
SLF
-1
4N
S
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O UT
3
1
ZX-
2
SL
F-1
3
4N
S
4
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2
1
3
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IN
-SL
F-
14N
S
2
1
4
3
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1
2
3
ZX
-S
4
OU T
PS
1
2
O N
4
ZX
LF-
14
IN
OUT
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
?
?
B KM -2 P
B KM -2 P
CR
1X1G
1D
CR
045044 2M 1M
SZ
?
B KM -2 P
NFB ELB
D
03
G
3C 14 1312 11 6P 5P4P3P 2P 1P 3S 2S 4F3F 2F1F 1V G2G1 D2D1 2C 1C
2G
MC
1D
1G
2D
N
1
2
3
4
I N
OUT
1
2
3
4
I N
OUT
1
2
3
4
IN
1
2
3
OUT
4
IN
O UT
1
2
3
4
IN
O UT
1
2
3
4
IN
1
2
3
O UT
4
IN
1
2
3
4
O UT
IN
O UT
1
2
3
4
IN
O UT
1
2
3
4
IN
1
2
3
4
IN
2
1
OU T
OU T
3
4
I N
1
2
3
4
I N
OUT
1
2
OUT
3
4
IN
1
2
3
4
IN
O UT
OUT
1
2
3
4
IN
O UT
1
2
3
4
IN
1
O UT
2
3
4
IN
1
OU T
2
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4
IN
1
2
3
4
OU T
I N
1
2
3
4
I N
1
2
OUT
OUT
3
4
IN
1
OUT
2
3
4
IN
1
O UT
2
3
4
IN
1
2
4
3
O UT
IN
1
2
3
O UT
4
IN
1
2
3
OU T
4
IN
1
2
3
4
OU T
MC
44 43 1H
O N
O N
OU T
V-ADJ
V-ADJ
VSF -220 -24
A C ( N)
(1
10
/2
20)
0
OU T
20)
5 0/ 6 0 H z
/2
FILT ER
110
2 50 0 V / 1M I N
RT: OF
N: ON
FF
T V
HO
PE
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W T-RC 20-N F
(
0
POW ER
C PU
I/ O0
I/O 1
I/O2
I /O3
I/ O4
I/O 5
I/O6
I /O7
I/ O8
I/O 9
I/O1 0
I/O11
Q3 12B
R C
RC
S
O
:O
EN:
25 0 V - 2 0A .
A C ( N)
)
F
ORT
F G
A C( L )
NO ISE
OP
- S
OU T
20
SH
+ S
5 0/ 6 0 H z
0/2
S E L EC T
+ V
FF
FILT ER
11
:O
:ON
F G
2 50 0 V / 1M I N
RT: OF
N: ON
EN
T V
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ORT
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A C (L )
A C ( N )
(
0
R C
S
SH
+S
-S
I N
S E L EC T
+ V
FF
N
W T-RC 20-N F
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F G
25 0 V - 2 0A .
T:O
EN
A C ( L)
NO ISE
OR
OP
I N
SH
+S
-S
V-ADJ
VSF- 220- 24
S E L EC T
+ V
F
S
O
HO
PE
RT: OF
N: ON
F
1 5 A
2 5 0 V
1 5 A
2 5 0 V
1 5 A
2150
60
2 5 0 V
80
LO C K
L O CK
L O CK
L O C K
L O C K
LO C K
LO C K
L OC K
LO C K
L O C K
L O C K
L O CK
L O CK
LO C K
L OC K
LO C K
80
Tr2
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
Tr1
60
DE SC RI PT ION
CONTROL PANEL LAYOUT(BACK)
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A3 - E 1 0 5R 6 6 4
NO.
NAME
名
1
SPEC.
称
寸法
PRIMARY POWER VOLTAGE
名
SPECIFICATION
型
式
DB-60T 0~300V
DEVICE NO.
記
NO.
PRIMARY POWER SOURCE
22 Φ
PILOT LIGHT
V1
18
22 Φ
PILOT LIGHT
K25-14W
PL 0
19
4
22 Φ
PROGRAMABLE TERMINAL
K25-14W
PL 1
20
GT1685M-STBA
G1
21
ローラー
6
停止
運転
前進
8
1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH
後退
切
1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH
入
22 Φ
HEATER ON
11
12
13
22 Φ
入
入
22 Φ
切
切
22 Φ
入
GENERATOR OFF
17
MAN. OFF AUTO.
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
PB004
26
K S S1
27
PB005
PL0EB
28
K25-21R
PB006
29
K25-54Y
SS00E
PL0ED
30
K25-21R
PB00F
31
K25-21Y
PB010
32
K25-71K
KSS008
33
PB00A
PL0EC
34
PB00C
22Φ
LAMP CHECK
PUSH BUTTON SWITCH
K25-21B
PB00D
押し釦スイッチ
10 × 40 TEMP.RECORDER
TEMP.RECORDER(1)
DX2030-1-4-1
REC1
DX2040-1-4-1
REC2
DX2040-1-4-1
REC3
温 度 記録 計
10 × 40 TEMP.RECORDER
TEMP.RECORDER(2)
温 度 記録 計
10 × 40 TEMP.RECORDER
TEMP.RECORDER(3)
温 度 記録 計
PUSH BUTTON SWITCH
SELECTOR SWITCH
WITH KEY
K25-61K
PUSH BUTTON SWITCH
SELECTOR SWITCH
照光式セレクトスイッチ
22 Φ
22 Φ
PUSH BUTTON SWITCH
PUSH BUTTON SWITCH
押し釦スイッチ
22 Φ
自動
AUTO.START
自動起動
25
PUSH BUTTON SWITCH K25-21B
押し釦スイッチ
GENERATOR ROUND TRIP OFF
切
PB003
PL0EA
PB00B
押し釦スイッチ
GENERATOR TEST OFF ON
手動
K25-27G-FR
号
照光式押し釦スイッチ
発 電 時 往 復走 行 解 除
16
24
記
キ-付セレクトスイッチ
発電機停止
15
SS002
PL0E9
1 0× 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-27R-FR
AUTO STOP OFF
発 電 機 テ スト
14
切
AUTO STOP ON
電 源 自 動 遮断
K25-54Y
DEVICE NO.
押し釦スイッチ
SAFETY SWITCH OFF ON
電 源 自 動 遮断
23
式
押し釦スイッチ
温 度 記 録計 ( 3 )
1 0× 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-21R
HEATER OFF
安 全 ス イ ッチ
SS001
型
照光式押し釦スイッチ
ヒ-タ- 切
10
22Φ
RESET
温 度 記 録計 ( 2 )
K25-41K
SPECIFICATION
名
照光式セレクトスイッチ
ヒ-タ- 入
9
22
セ レ ク トス イ ッ チ
ROLLER ROUND TRIP OFF ON
ロ ー ラ ー 繰り 返 し
K25-54Y
照光式セレクトスイッチ
ROLLER FORWARD BACKWARD
ローラー
7
1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH
ROLLER OFF ON
品
押し釦スイッチ
温 度 記 録計 ( 1 )
SS000
PL0E8
DESIGNATION
10 × 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-81R
EMERGENCY CONVEYOR STOP
ラ ン プ チェ ッ ク
プロ グ ラマ ブ ルタ ーミ ナ ル
5
寸法
リセット
表示灯
非常用電源
SPEC.
称
搬送停止
表示灯
EMERGENCY POWER SOURCE
NAME
名
号
電圧計
常用電源
3
品
1 0× 4 0 POWER VOLTAGE
電源電圧計
2
DESIGNATION
SELECTOR SWITCH
WITH KEY
キ-付セレクトスイッチ
22 Φ
PUSH BUTTON SWITCH K25-27G-FR
照光式押し釦スイッチ
DESCRIPTION
OPERATION
PANEL
LIST
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 0 6 R 6 6 4
SIDE
CONTROL
PANEL
70
EXIT
HOOD
PURGE ROOM
C/V
NO.
2
STOPPER
ADVANCE RETURN
RETURN
ENT.C/V
C/V
PB522
BK
PB523
BK
SPB532
BK
PB537
BK
PB540
BK
NO.
2
LIFTER
UP
DOWN
RETURN
C/V
ON
LARGE
PURGE
SPB52D
BK
SPB534
BK
PB538
BK
PB541
BK
NO.
1
LIFTER
UP
DOWN
NO.2
ROLLER
RETURN
C/V
OFF
SMALL
PURGE
SPB530
BK
PB536
BK
PB539
BK
PB542
BK
MAN.
EXHAUST
AUTO.
KSS521
BK
KEY
HOOD
PURGE ROOM
SHUTTER LOCK SHUTTER LOCK
OPEN CLOSE
OPEN CLOSE
SPB526
BK
SPB52A
BK
PL2
PB1
BK
VACUUM
TRANSFER
C/V
CH10
380
SPB528
BK
60
SPB524
BK
MASTER ON
380
PURGE ROOM
NO.
1
SHUTTER
STOPPER
UP
DOWN ADVANCE RETURN
60
HOOD
SHUTTER
UP
DOWN
60
パッチン錠
CONVEYOR
STOP
OPEN CLOSE
SPB543
BK
PB52F
BK
PB520
BK
CH11
EMERGENCY
STOP
OPEN CLOSE
OFF
PB545
BK
ESPB1
R
70
PB548
BK
60
ON
70
VACUUM
BREAKDOWN
VACUUM
PUMP
Φ
22
60
50
50
50
50
50
60
60
180
430
REVISIONS
変更
STRUCTURE
MODEL
FITTING
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
MODEL
WATERPROOF&DUSTTIGHT
SELF-
STANDING
WALL
IN
TYPE
DOOR
THICKNESS
OUT DOOR
NON
HANDEL
2 .3
mm
MEDIUM
2 .3
mm
DESCRIPTION
DOOR
FRONT
WATER
PROOF
BACK
WITH KEY
RIGHT
HAND
FLAT
LEFT HAND
BIPARTING
PAINTING
COLOR
LOCK
2 .3
mm
EXIT
SIDE
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
MUNSELL 5Y8/1.
5
IN
SIDE
MUNSELL 5Y8/1.
5
LUSTER
NORITAKE
BAKING
PANEL
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
OUT
SIDE
CONTROL
R664
DRAWN
STANDARD
DOOR TYPE
BODY
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 0 7 R 6 6 4
RETURN
C/V
ON
ON
SS5C5
PB5C2
BK
CONTROL
NO.
2
PURGE ROOM
STOPPER
C/V
ADVANCE RETURN
BREAK TIME
OFF
SIDE
PANEL
70
ENT.
HOOD
MAN.
EXHAUST
C/V
AUTO.
SPB5CA
BK
PB5D4
BK
PB5D5
BK
PB5DE
BK
RETURN
C/V
OFF
NO.
1
STOPPER
ADVANCE RETURN
NO.
2
LIFTER
DOWN
UP
PURGE ROOM
SHUTTER
UP
DOWN
HOOD
SHUTTER
DOWN
UP
LARGE
PURGE
PB5C3
BK
SPB5C6
BK
SPB5CC
BK
SPB5D6
BK
SPB5DA
BK
PB5DF
BK
RETURN
EXIT C/V
NO.
1
LIFTER
UP
DOWN
PB5C4
BK
SPB5C8
BK
SPB5CE
BK
TRANSFER
C/V
NO.
3
LIFTER
DOWN
UP
OPEN CLOSE
SPB5D0
BK
SPB5E1
BK
KSS5C1
BK
BK
KEY
PB5D2
BK
VACUUM
380
PB5E0
BK
SPB5DC
BK
CH15
380
SPB5D8
BK
PL3
PB2
BK
60
SMALL
PURGE
MASTER ON
60
PURGE ROOM
NO.
3
HOOD
SHUTTER LOCK SHUTTER LOCK
STOPPER
ADVANCE RETURN OPEN CLOSE
OPEN CLOSE
60
パッチン錠
CONVEYOR
STOP
PB5C0
BK
CH16
ON
PB5E5
BK
PB5E3
BK
70
PB5D3
BK
EMERGENCY
STOP
OPEN CLOSE
OFF
70
VACUUM
BREAKDOWN
VACUUM
PUMP
ESPB2
R
60
NO.2
ROLLER
Φ
22
60
50
50
50
50
50
60
60
180
430
REVISIONS
変更
STRUCTURE
MODEL
FITTING
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
MODEL
WATERPROOF&DUSTTIGHT
SELF-
STANDING
WALL
IN
TYPE
DOOR
THICKNESS
OUT DOOR
NON
HANDEL
2 .3
mm
MEDIUM
2 .3
mm
DESCRIPTION
DOOR
FRONT
WATER
PROOF
BACK
WITH KEY
RIGHT
HAND
FLAT
LEFT HAND
BIPARTING
PAINTING
COLOR
LOCK
2 .3
mm
ENT.
SIDE
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
MUNSELL 5Y8/1.
5
IN
SIDE
MUNSELL 5Y8/1.
5
LUSTER
NORITAKE
BAKING
PANEL
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
OUT
SIDE
CONTROL
R664
DRAWN
STANDARD
DOOR TYPE
BODY
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 0 8 R 6 6 4
SIDE
CONTROL
PANEL
400
400
TB
500
CH9
160
ENT.
SIDE
CR
CH12
500
CONTROL
PANEL
CR
400
400
TB
400
400
EXIT
CH13
CH14
CH17
500
REVISIONS
変更
STRUCTURE
MODEL
FITTING
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
MODEL
160
WATERPROOF&DUSTTIGHT
SELF-
STANDING
WALL
IN
TYPE
DOOR
THICKNESS
OUT DOOR
NON
HANDEL
BODY
2 .3
mm
MEDIUM
2 .3
mm
DESCRIPTION
DOOR
FRONT
WATER
PROOF
BACK
WITH KEY
RIGHT
HAND
FLAT
LEFT HAND
BIPARTING
PAINTING
COLOR
LOCK
2 .3
mm
CONTROL
PANEL
R664
DRAWN
STANDARD
DOOR TYPE
500
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
OUT
SIDE
MUNSELL 5Y8/1.
5
IN
SIDE
MUNSELL 5Y8/1.
5
LUSTER
NORITAKE
BAKING
DIVIDE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 0 9 R 6 6 4
1750
7
8
9 10 11 12 13 14
15
16
17 18 19 20 21 22
5
3
6
4
PRESSURE SWITCH
MASS FLOW CONTROLLER
MASS FLOW INDICATOR
23 24 25 26 27 28 29 30 31 32
1
MASS FLOW CONTROLLER
MASS FLOW INDICATOR
PRESSURE GAUGE
2
PRESSURE SWITCH
36
37
38
35
33
+0
.
5
0
0.
+
5
0
2
+
0
22000
5
-φ
1
4
2350
2350
2200
34
キ
リ
穴
150
連結
150
盤
2400
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
770
DE SC RI PT ION
GAS
MIXING
NORITAKE
PANEL
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A3 - E 1 1 0R 6 6 4
NO.
NAME
名
1
H2
称
SPEC.
NO.
寸法
1 0× 4 0
名
18
H2
1 0× 40
19
AIR
1 0× 40
20
エアー
4
AIR
21
エアー
5
N2
N2
1 0× 4 0
22
WETTER 1
1 0× 4 0
23
WETTER 2
1 0× 4 0
24
WETTER 3
1 0× 40
25
WETTER 4
1 0× 4 0
26
WETTER 5
1 0× 4 0
27
WETTER 6
1 0× 4 0
28
WETTER 7
1 0× 40
29
WETTER SPARE
1 0× 4 0
30
N2-1
1 0× 4 0
31
N2-2
1 0× 40
32
N2-3
N2-3
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
10 × 40
N2-FILTER
N 2 -フ イ ル タ ー
10 ×4 0
N2-7
38
10 × 40
H2-PRESSURE REGULATOR
H 2 -減 圧 弁
N2-SPARE
10 ×4 0
39
H2-1-1
1 0 ×4 0
40
H2-1-2
1 0 ×4 0
41
H2-2-1
1 0 ×4 0
42
H2-2-2
1 0 ×4 0
43
H2-3
1 0 ×4 0
44
H2-4
10 ×4 0
45
AIR
5
10 ×4 0
46
AIR
10 ×4 0
47
10 ×4 0
48
10 ×4 0
49
10 ×4 0
50
10 ×4 0
51
5
6
6
H2-7
H2-SPARE
H2-予備
1 0× 40
33
H2 ANALYZER
H2
N2-2
17
37
H2-7
N2-1
16
10 ×4 0
エアー
ウ エ ッ タ ー予 備
15
H 2 -フ イ ル タ ー
N2-6
エアー
ウ エ ッ タ ー7
14
10 × 40
H2-FILTER
H2-4
ウ エ ッ タ ー6
13
36
H2-3
ウ エ ッ タ ー5
12
1 0 ×4 0
N2-5
H2-2-2
ウ エ ッ タ ー4
11
流量計
H2-2-1
ウ エ ッ タ ー3
10
10 × 40
FLOW METER
H2-1-2
ウ エ ッ タ ー2
9
寸法
H2-1ー1
ウ エ ッ タ ー1
8
SPEC.
称
N2-予備
N2
7
35
N2-7
N2
6
名
N2-6
1 0× 40
NAME
寸法
1 0 ×4 0
N2-4
NO.
N2-5
H2
3
称
SPEC.
N2-4
H2
2
NAME
1 0× 40
34
分析計
O2 ANALYZER
O2
分析計
DESCRIPTION
GAS
MIXING
PANEL
LIST
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 1 R 6 6 4
PART’S
DE S I G N A T IO N
LIST
S P EC I F I C A T IO N
CIRCUIT BREAKER N V 4 0 0 - C W 3 P 4 0 0 A T
漏電遮断器
DEVICE NO. Q T Y M A KE R
ELB02
1
REMARK’S
MITSUB1SHI
D E S I G NA T I O N
AUXILIARY RELAY
S P E C I F I CA T I O N
CMC-9 110V
DEVICE NO. QT Y M A K E R
MC1H
補助継電器
TCL-4SW3 100.200.500mA
DOOR SWITCH
HY-P701A
DS1.2
ドアスイッチ
CIRCUIT BREAKER N V 1 2 5 - S V 3 P 2 0 A T
漏電遮断器
1
MITSUB1SHI
ノーヒューズ遮断器
ノーヒューズ遮断器
33b/10A
33b/20A
33b/5A
WITH COVER
CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/15A
サーキットプロテクタ
サーキットプロテクタ
WITH COVER
CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/6A
サーキットプロテクタ
変更
NFB26
NFB32
WITH COVER
L.S
10
L.S
9
L.S
8
L.S
3
L.S
2
L.S
2
L.S
1
L.S
14
L.S
1
L.S
6
L.S
2
L.S
2
L.S
NFB37.38
NFB41
CPD1.D2.G1.G2
CP1V.1F.3F.4F
CP2S.3S.12.14.4P
CP3C
CP1P
CP13.2P
CP5P.6P.13
CP2F
CP3P.11
WITH COVER
CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/20A
サーキットプロテクタ
NFBG.D
WITH COVER
CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/10A
7
NFB21
WITH TCS
CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/4A
サーキットプロテクタ
NFB1~8
WITH TCS
CIRCUIT BREAKER ABE
ノーヒューズ遮断器
33b/30A
WITH TCS
CIRCUIT BREAKER ABE
ノーヒューズ遮断器
33b/5A
L.S
NFB54H~62H
TCS
WITH TCS
CIRCUIT BREAKER ABE
ノーヒューズ遮断器
NFB47~53H
NFB63~65H
WITH TCS
CIRCUIT BREAKER ABE
ノーヒューズ遮断器
62b/60A
WITH SHT
CIRCUIT BREAKER ABE
TCS
1
NFB40H~46H
TCS
52b/50A
WITH SHT
CIRCUIT BREAKER ABS
ノーヒューズ遮断器
52b/30A
WITH SHT
CIRCUIT BREAKER ABS
ノーヒューズ遮断器
NFB51
WITH TCS
CIRCUIT BREAKER ABS
ノーヒューズ遮断器
53b/50A
CP1C.2C
DOOR SWITCH(GAS)
D2D-21000
PANEL LIGHT
XJEX2170Z
PANEL LIGHT(GAS)
FL3
SN-E10HーCM
RLE-24 RED DC24V
ST-25BS-DC
DC24V
CONTROL TRANSFORMER 4 40/ 22 0V
3PHASE
2PHASE
Tr1
1.5KVA
CONTROL TRANSFORMER 4 00.4 40 .4 80 /1 00V
単相操作トランス
2PHASE
POWER SUPPLY
E SF- 30 0- 24 V
AC220V(50A)
1 70φ (A C2 00 V)
K FC
RD44-913B
ファン(ガス盤)
FAN6~8
AC100V
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
1
NUNOME
1
WOONYOUNG
1
WOONYOUNG
1
SUNTRONICS
2
SUNTRONICS
2
L.S
5
FULLTEC
4
FULLTEC
3
NITTO
DESCRIPTION
PART’S
NO.
ARROW
20 0
フィルタ-
FAN(GAS)
1
FAN1~5
ファン
FILTER
PATLITE
MC1D.1G.2D.2G
COIL AC200V 2b
FAN
1
PS2.3
パワ-サプライ
可逆式電磁接触器
SUNTRONICS
PS1
パワ-サプライ
MAGNETIC SWICH
2
Tr2
3KVA
E SF- 60 0- 24 V
POWER SUPPLY
IWASAKI
Tr01
230KVA
CONTROL TRANSFORMER 2 00.2 20 .2 40 /1 00V
単操作トランス
2
BZ1
サイレン
絶縁3相操作トランス
OMRON
PAT1
パトライト
PHONE
1
NF1.2
ノイズフィルタ-
PATLITE
HANYOUNG
1
2C
NOISE FILTER
2
FL1.2
盤内照明
盤内照明(ガス盤)
L.S
DS3
ドアスイッチ(ガス盤)
TCS 100.200.500mA
CIRCUIT BREAKER ABS
REVISIONS
ELB03
1
REMARK’S
DRAWN
LIST
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
1/4
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 2 R 6 6 4
PART’S
LIST
DE S I G N A T IO N
INVERTER
S P EC I F I C A T IO N
FR-E720-0.1K
インバ-タ
INVERTER
FR-E720-0.2K
インバ-タ
INVERTER
FR-E720-0.2K
DEVICE NO. Q T Y M A KE R
INV26.27.31
INV33.35.36
INV23.24.25
INV28.29.30
INV32.34
INV21.22
インバ-タCCリンクユニット
MAGNETIC SWICH
電磁開閉器
GMD-6M
DC24V
8
MITSUB1SHI
電磁開閉器
GMD-12M
DC24V
MAGNETIC SWICH
GMD-12M
DC24V
MAGNETIC SWICH
GMD-6M DC24V
GMC-9 AC110V
サーマルリレー
GMP22-2S 1.
5A
GMP22-2S 22A
SOLID STATE RELAY G3PEー225B
ソリッドステートリレー
SOLID STATE RELAY G3PAー260B-VD
TH23~23C.25~25C
電磁開閉器
GMD-6M
DC24V
SSR47~53
SSR63~65
SSR54~62
MY2N
AC200V
2
L.S
16
L.S
7
OMRON
10
OMRON
9
OMRON
1
L.S
MC37
THERMAL 2.
2KW(AC440V)
RELAY
8
L.S
SSR40~46
ソリッドステートリレー
MAGNETIC SWICH
2
L.S
TH32~32C.34~34C
ソリッドステートリレー
SOLID STATE RELAY G3PEー245B
2
L.S
MC43.44
電磁接触器
THERMAL RELAY
L.S
MC1~8
電磁接触器
MAGNETIC SWICH
1
MC41.42
2KW(AC220V)
THERMAL 0.
電磁開閉器
2
RELAY
SOCKET
MY2N
DC24V
PYF-08AE
ソケット
BY
変更者
HONEYWELL
30
SAMWONACT
1
HONEYWELL
1
HONEYWELL
1
KACON
2
KACON
3
KACON
2
KACON
4
KACON
3
KACON
1
KACON
1
KACON
2
KACON
2
KACON
19
KACON
2
KACON
CR
R4T-16PS
補助リレー
CR1X
MY4N DC24V
補助リレー
SOCKET
PYF-14AE
WITH PYC-A1
PB010
PUSH BUTTON SWITCH K25-21Y
押しボタンスイッチ
PB00C.D
PUSH BUTTON SWITCH K25-21B
押しボタンスイッチ
PB004.006.
00F
PUSH BUTTON SWITCH K25-21R
押しボタンスイッチ
PB520.
5C0
PUSH BUTTON SWITCH K25-21B
押しボタンスイッチ
PUSH LAMP
SWITCH
P B0 03 PL 0 EA
P B0 0A PL 0 EC
P B1 PL 2
P B2 PL 3
K25-27G-RF
照光式押しボタンスイッチ
PUSH BUTTON SWITCH K25-81R
ESPB1.
2.B
非常停止押しボタンスイッチ
PUSH LAMP
SWITCH
K25-27R-RF
PB005PL0EB
照光式押しボタンスイッチ
SELECT
SWITCH
K25-54Y
SS000PL0E8
照光式セレクトスイッチ
SELECT
SWITCH
K25-54Y
SS002PL0E9
SS00EPL0ED
照光式セレクトスイッチ
SELECT
SWITCH
K25-41K
SS001.
5C5
HONEYWELL
WITH PYC-A1
CR0C0~0CD
14
16
PB522~5E0
PUSH BUTTON SWITCH K25-21B
HONEYWELL
押しボタンスイッチ
PB
PUSH BUTTON SWITCH K25-22B
HONEYWELL
押しボタンスイッチ
変更
DESCRIPTION
PART’S
NO.
6
セレクトスイッチ
補助リレー
REVISIONS
HONEYWELL
ソケット
CR1D.1G
補助リレー
CONTROL
MITSUB1SHI
WITH PYC-A1
6
ソケット
CONTROL RELAY
2
MC39.40
THERMAL 95W(AC220V)
PTF-14AE
DESCRIPTION 理由
REMARK’S
CR1M.2M.043.044
補助リレー
CONTROL RELAY
MITSUB1SHI
DEVICE NO. QT Y M A K E R
S P E C I F I CA T I O N
LY4N DC24V
SOCKET
MC38
THERMAL 2.
2KW(AC220V)
MAGNETIC SWICH
CONTROL
MITSUB1SHI
2
FAーA7NC
D E S I G NA T I O N
CONTROL RELAY
6
INV21.22
インバ-タ
INVERTER C.CLINK UNIT
REMARK’S
DRAWN
LIST
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
2/4
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 3 R 6 6 4
PART’S
LIST
DE S I G N A T IO N
PUSH
LAMP
SWITCH
S P EC I F I C A T IO N
K25-21SB
DEVICE NO. Q T Y M A KE R
SPB
セレクト押しボタンスイッチ
KEY
SELECT SWITCH
K25-61K
KSS1
SELECT
SWITCH
K25-71K
KSS008
キー付セレクトスイッチ
INDICATING
LAMP
K25-14W(220V)
PL0.1
KACON
1
KACON
1
KACON
2
SELECT
SWITCH
K25-61K
KSS521.
5C1
2
キー付セレクトスイッチ
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
2
MITSUB1SHI
4
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
2
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
CH1.
3.6.
9.
10
CH11.
13.
14.
15
CH16.
18.
19
12
MITSUB1SHI
CH2.
4.5.
7.
8.
12
CH17
7
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
1
MITSUB1SHI
I/Oベ-ス
Q61P
電源
QX41 DC24V
入力カ-ド
OUTPUT
QY41P
出力カ-ド
OUTPUT
QY42P
出力カ-ド
TEMP. CONTROLLER
DMC10D2TV0300
DMC1~30
CC LINK MASTER UNIT
30
温度調節計
TEMP. CONTROLLER
DMC10D4TV0000
DMC31~40
温度調節計
COMMUNCATION CONVERTER
CMC10BCPIA000
CMC2.
3.
4
信号変換器
COMMUNCATION CONVERTER
CMC15GGS01A000
CMC1
DX2030-1-4-1
REC1
温度記録計
TEMP. RECORDER
DX2040-1-4-1
REC2.
3
1
1
2
DB-60T 300V
V1
電圧計
SIGNAL
TOWER
STPー302
DC24V
PAT2
1
1
YAMATAKE
QJ71C24N-R4
コンピュータリンクユニット
POSITIONING UNIT
3
温度記録計
POWER VORTAGE
YAMATAKE
QJ61BT11
CCリンクマスタユニット
COMPUTER LINK UNIT
10
信号変換器
TEMP. RECORDER
YAMATAKE
REMARK’S
1
Q312B
INPUT
KACON
DEVICE NO. QT Y M A K E R
シ-ケンサ- CPU
POWER UNIT
KACON
S P E C I F I CA T I O N
Q06UDEHCPU
CPU
I/O BASE
表示灯
KEY
D E S I G NA T I O N
SEQUENCER
24
キー付セレクトスイッチ
KEY
REMARK’S
QD75M4
位置決めユニット
YAMATAKE
INPUT LINK UNIT
YOKOGAWA
DAEBOONG
CH20
リモ-ト入力ユニット
INPUT LINK UNIT
YOKOGAWA
AJ65SBTB1-16D
AJ65SBTB1-32D
リモ-ト入力ユニット
OUTPUT LINK UNIT
AJ65SBTB1-32T
リモ-ト出力ユニット
PATLITE
シグナルタワー
PLUG
SOCKET
3P
15A
225V
防雨形
CN1~4
コンセントプラグ
4
PROGRAMABLE TERMINAL
MEIKOUSYA
GT1685M-STBA
プログラマブルタ-ミナル
BUS UNIT
GT15-QBUS
接続ユニット(バス)
PLUG SOCKET
2
コンセント
REVISIONS
CON1.2
変更
ILSHIN
CABLE
GT15-QC50B
接続ケーブル
DESCRIPTION
PART’S
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
DRAWN
LIST
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
3/4
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 4 R 6 6 4
PART’S
DE S I G N A T IO N
SERVO AMP
LIST
S P EC I F I C A T IO N
MR-J2S10B
サーボアンプ
CABLE
DEVICE NO. Q T Y M A KE R
SVA1~8
8
REMARK’S
MITSUB1SHI
CABLE
BATTERY
MITSUB1SHI
8
MITSUB1SHI
RESISTOR
8
MITSUB1SHI
CONNECTOR
2
MITSUB1SHI
ケーブル
8
MITSUB1SHI
2
MITSUB1SHI
11
OMRON
PH
11
OMRON
PH
13
OMRON
PH
13
OMRON
GC
39
NAGANO
8
MITSUB1SHI
GC
3
NAGANO
1
TORE
1
FUJI
18
HORIBA
18
DDK
ブラケット
E3Z-T61
光電スイッチ
ブラケット
DIFFERENTIAL PRESSURE
10120-3000VE
10320-52F0-008
コネクタ
PH
デジタルファイバ-アンプ
BRACKET
MR-J2SHBUS5M(5m)
CONNECTOR
OMRON
REMARK’S
MR-PWCNK1
電源コネクタ
CABLE
11
E3X-DA11-N
PHOTO SWITCH
MR-AーTM
終端抵抗
PH
BRACKET
MR-BAT
バッテリ
DEVICE NO. QT Y M A K E R
E32-T61-S
AMP
8
MR-J2HBUS05M
ケーブル
ファイバ-
S P E C I F I CA T I O N
FIBER
MR-JCCBL**M-L
ケーブル
D E S I G NA T I O N
GC62-241-20P21
差圧計
DIFFERENTIAL PRESSURE
GC30-101-E8N38B
差圧計
RF-30
O2 ANALYZER
酸素分析装置
ZAFEK403-QYBAY
H2 ANALYZER
水素分析装置
MASS FLOW CONTROLLER
PE-D20
マスフローコントローラ
17JEー13150-02(D8B)ーCG
CONNECTOR
同上コネクター
REVISIONS
変更
DESCRIPTION
PART’S
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
DRAWN
LIST
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
4/4
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 5 R 6 6 4
AC220V
60Hz(動力盤1より)
(AC220V)
116 20
L43
3Φ3W
1)
L42
60Hz(FROM POWER PANEL
L41
AC220V
PE
116 00
3Φ3W
WATER HEATER 1
水ヒ ーター
NFB40H
(25A)
L23
L22
L21
PE
(63AF/30AT)
01
40R
21
40R
SSR40(25A)
G3PE-225B
40S
02
1
1
A2(-)A1(+)
H40
40V
2
22
ELB02
+40
SHT
(400AF/400AT)
03
C40
L33
L32
L31
04
GAS MIXING CONTROL PANEL
(TO DMC31)
R14
23
100mA
CR048
-40A
-40
CR060
1 68 10
S14
1 7 00 0
24
ガス混合盤
L31
05
WATER HEATER 7
Tr01
440/220V
230KVA
水ヒ ーター
NFB41H
L41
25
L32
L42
TO WETTER TAPE HEATER
L33
L43
ウエッター.テープヒータへ
06
41S
SSR41(25A)
G3PE-225B
1
A2(-)A1(+)
H41
41W
2
+41
SHT
(TO DMC31)
R14
C41
(63AF/50AT)
L51
08
41S
41T
27
NFB51
L52
TO CONTROL CIRCUIT
L53
制御回路へ
7
(25A)
(63AF/30AT)
26
07
(DMC31へ)
CR049
-41A
-41
(DMC31へ)
CR061
1 68 11
S14
28
1 7 00 1
WATER HEATER 2
09
水ヒ ーター
29
NFB42H
(25A)
(63AF/30AT)
42T
10
2
42T
SSR42(25A)
G3PE-225B
30
42R
1
H42
42U
2
A2(-)A1(+)
11
31
+42
SHT
(TO DMC31)
12
C42
R14
32
CR04A
-42A
-42
(DMC31へ)
CR062
1 68 12
S14
1 7 00 2
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
L43
L42
L41
PE
L23
L22
L21
33
PE
13
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(1)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 6 R 6 6 4
1
NFB43H
43R
43S
1
A2(-)A1(+)
L43
水ヒ ーター
46R
21
46R
SSR46(25A)
G3PE-225B
H43
43V
2
46S
02
6
(20A)
(63AF/30AT)
43R
SSR43(25A)
G3PE-225B
WATER HEATER 6
NFB46H
(25A)
(63AF/30AT)
01
117 20
3
L42
水 ヒータ ー
L41
WATER HEATER 3
PE
(AC220V)
L43
L42
L41
117 00
PE
(AC220V)
1
A2(-)A1(+)
H46
46V
2
22
+43
SHT
C43
CR04B
-43A
-43
CR063
16 51 3
S14
(TO DMC32)
R14
23
(DMC31へ)
16 70 3
04
SHT
C46
R14
03
+46
(TO DMC31)
CR04E
-46A
-46
CR066
1 65 16
S14
1 6 70 6
24
WATER HEATER 4
水 ヒータ ー
NFB44H
05
44S
44T
06
25
SSR44(25A)
G3PE-225B
1
A2(-)A1(+)
47S
2
SSR47(45A)
G3PE-245B
47T
26
-44A
-44
CR064
S14
(TO DMC32)
R14
(DMC32へ)
16 51 4
A2(-)A1(+)
H47
47W
2
SHT
C47
CR04C
1
+47
27
(TO DMC32)
R14
08
47S
H44
44W
CR04F
-47A
(DMC32へ)
-47
CR067
1 65 17
S14
28
16 70 4
1 6 70 7
WATER HEATER 5
水 ヒータ ー
09
1
( 3 0 .0 A )
(63AF/50AT)
44S
SHT
C44
ウエ ッター テープ ヒータ ー
NFB47H
+44
07
WETTER TAPE HEATER 1
4
(25A)
(63AF/30AT)
(DMC32へ)
NFB45H
WETTER TAPE HEATER 7
ウ エッタ ーテー プヒー ター
29
NFB48H
(25A)
(63AF/30AT)
45T
SSR45(25A)
G3PE-225B
1
48T
H45
2
48T
SSR48(45A)
G3PE-245B
30
45U
7
( 3 2 .8 A )
(63AF/50AT)
45T
10
45R
5
48R
1
A2(-)A1(+)
H48
48U
2
A2(-)A1(+)
11
31
+45
SHT
CR04D
-45A
-45
CR065
S14
(DMC32へ)
32
16 51 5
16 70 5
CR050
-48A
-48
(DMC33へ)
CR068
1 66 00
S14
1 6 71 0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
L43
L42
L41
PE
L43
L42
L41
33
PE
13
(TO DMC33)
R14
C48
C45
12
+48
SHT
(TO DMC32)
R14
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(2)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 7 R 6 6 4
1
NFB49H
49R
49S
1
A2(-)A1(+)
L43
L42
52R
21
52R
SSR52(45A)
G3PE-245B
H49
49V
2
52S
02
5
( 2 6 .0 A )
(63AF/50AT)
49R
SSR49(45A)
G3PE-245B
WETTER TAPE HEATER 5
ウ エッタ ーテー プヒー ター
NFB52H
( 3 6 .2 A )
(63AF/50AT)
01
118 20
2
L41
WETTER TAPE HEATER 2
ウエッ ターテ ープヒ ーター
PE
(AC220V)
L43
L42
L41
118 00
PE
(AC220V)
1
A2(-)A1(+)
H52
52V
2
22
+49
SHT
C49
CR051
-49A
-49
CR069
16 60 1
S14
16 71 1
04
(TO DMC34)
R14
23
(DMC33へ)
C52
R14
03
+52
SHT
(TO DMC33)
CR054
-52A
(DMC34へ)
-52
CR06C
1 66 04
S14
1 6 71 4
24
WETTER TAPE HEATER 3
ウ エッタ ーテー プヒー ター
NFB50H
05
50S
50T
06
25
SSR50(45A)
G3PE-245B
1
A2(-)A1(+)
53S
2
SHT
26
CR052
-50A
-50
A2(-)A1(+)
H53
53W
2
SHT
(TO DMC34)
R14
(DMC33へ)
CR06A
16 60 2
S14
1
+53
27
C53
C50
SSR53(45A)
G3PE-245B
53T
(TO DMC33)
R14
08
53S
H50
50W
CR055
-53A
(DMC34へ)
-53
CR06D
1 66 05
S14
28
16 71 2
1 6 71 5
WETTER TAPE HEATER 4
ウエッ ターテ ープヒ ーター
09
6
( 3 5 .9 A )
(63AF/50AT)
50S
+50
07
ウ エッタ ーテー プヒー ター
NFB53H
( 3 1 .0 A )
(63AF/50AT)
WETTER TAPE HEATER 6
3
NFB51H
BRANCH PIPE TAPE HEATER 1
配 管テー プヒー ター
29
NFB54H
( 2 4 .4 A )
(63AF/50AT)
51T
SSR51(45A)
G3PE-245B
1
54T
H51
2
54T
SSR54(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
30
51U
54R
A2(-)A1(+)
11
1
( 3 7 .1 A )
(63AF/60AT)
51T
10
51R
4
H54
54U
31
+51
SHT
CR053
-51A
-51
CR06B
S14
(DMC33へ)
32
16 60 3
16 71 3
CR056
-54A
-54
(DMC34へ)
CR06E
1 66 06
S14
1 6 71 6
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
L43
L42
L41
PE
L43
L42
L41
33
PE
13
(TO DMC34)
R14
C54
C51
12
+54
SHT
(TO DMC33)
R14
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(3)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 8 R 6 6 4
1
NFB55H
55R
55S
L43
119 20
(7)
配 管テー プヒー ター
58R
21
SSR58(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
58S
02
(4)
58R
H55
55V
5
( 3 7 .1 A )
(63AF/60AT)
55R
SSR55(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
BRANCH PIPE TAPE HEATER 5
NFB58H
( 4 8 .2 A )
(63AF/60AT)
01
2
L42
配管テ ープヒ ーター
L41
BRANCH PIPE TAPE HEATER 2
PE
(AC220V)
L43
L42
L41
119 00
PE
(AC220V)
H58
58V
22
+55
SHT
C55
CR057
-55A
-55
CR06F
16 60 7
S14
16 71 7
04
(TO DMC35)
R14
23
(DMC34へ)
C58
R14
03
+58
SHT
(TO DMC34)
CR05A
-58A
-58
CR072
1 66 12
S14
1 6 80 2
24
BRANCH PIPE TAPE HEATER 3
配管テ ープヒ ーター
NFB56H
05
56S
06
25
SSR56(60A)
G3PA-260B-VD
1
A2(-)A1(+)
59S
2
-56A
-56
(TO DMC35)
R14
(DMC35へ)
CR070
16 61 0
S14
A2(-)A1(+)
H59
59W
2
SHT
C59
CR058
1
+59
27
(TO DMC35)
R14
08
SSR59(60A)
G3PA-260B-VD
59T
26
CR05B
-59A
(DMC35へ)
-59
CR073
1 66 13
S14
28
16 80 0
1 6 80 3
BRANCH PIPE TAPE HEATER 4
配管テ ープヒ ーター
09
(5)
59S
H56
56W
6
( 3 4 .2 A )
(63AF/60AT)
56S
SHT
C56
配 管テー プヒー ター
NFB59H
+56
07
BRANCH PIPE TAPE HEATER 6
(2)
( 4 3 .2 A )
(63AF/60AT)
56T
3
(DMC35へ)
NFB57H
57T
57R
(3)
BRANCH PIPE TAPE HEATER 7
配 管テー プヒー ター
29
NFB60H
( 4 2 .2 A )
(63AF/60AT)
10
4
SSR57(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
60T
H57
60T
SSR60(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
30
57U
60R
11
(5)
( 3 7 .7 A )
(63AF/60AT)
57T
7
H60
60U
31
+57
SHT
CR059
-57A
-57
CR071
S14
(DMC35へ)
32
16 61 1
16 80 1
CR05C
-60A
-60
(DMC36へ)
CR074
1 66 14
S14
1 6 80 4
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
L43
L42
L41
PE
L43
L42
L41
33
PE
13
(TO DMC36)
R14
C60
C57
12
+60
SHT
(TO DMC35)
R14
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(4)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 1 9 R 6 6 4
1
NFB61H
サンプ リング テープ ヒータ ー
L43
120 20
(6)
SAMPLING TAPE HEATER 2
NFB64H
61R
64T
61R
SSR61(60A)
G3PA-260B-VD
1
2
A2(-)A1(+)
61S
64T
SSR64(45A)
G3PE-245B
21
64R
H61
1
61V
02
2
( 3 3 .7 A )
(63AF/50AT)
( 3 7 .9 A )
(63AF/60AT)
01
8
L42
配管テ ープヒ ーター
L41
BRANCH PIPE TAPE HEATER 8
PE
(AC220V)
L43
L42
L41
120 00
PE
(AC220V)
A2(-)A1(+)
H64
64U
2
22
+64
SHT
SHT
(TO DMC36)
R14
03
C61
CR05D
-61A
-60
(TO DMC37)
R14
C64
+61
23
(DMC36へ)
CR07B
-64A
1 68 1 3
S14
CR075
16 61 5
S14
1 6 81 0
16 80 5
04
24
BRANCH PIPE TAPE HEATER 9
配管テ ープヒ ーター
NFB62H
05
(DMC37へ)
-64
CR078
62S
SSR62(60A)
G3PA-260B-VD
25
1
A2(-)A1(+)
2
26
+62
-62A
-62
1
A2(-)A1(+)
H65
65W
2
SHT
(TO DMC37)
R14
(DMC36へ)
C65
CR05E
CR076
16 61 6
S14
SSR65(45A)
G3PE-245B
+65
27
(TO DMC36)
R14
08
65S
H62
65T
3
( 2 1 .1 A )
(63AF/50AT)
65S
62W
SHT
C62
サンプ リング テープ ヒータ ー
62S
62T
07
SAMPLING TAPE HEATER 3
(PURGE)
NFB65H
( 4 0 .0 A )
(63AF/60AT)
06
9
CR07C
-65A
-65
CR079
1 68 1 4
S14
28
16 80 6
(DMC37へ)
1 6 81 1
SAMPLING TAPE HEATER 1
サン プリン グテー プヒ ーター
09
NFB63H
29
CP1C
( 2 0 .4 A )
(63AF/50AT)
63T
(20A)
63T
SSR63(45A)
G3PE-245B
10
63R
1
1
RC1
H63
AC220V
30
CON1
63U
2
RECEPTACLE
SC1
コンセント
SC2
RECEPTACLE
A2(-)A1(+)
CP2C
11
31
(20A)
+63
SHT
(TO DMC36)
C63
R14
12
CR07A
-63A
-63
CR077
S14
(DMC36へ)
AC220V
CON2
コンセント
TC2
32
16 81 2
16 8 07
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
L43
L42
コンセンの横に記録計入力端子台を設ける事。
L41
*注
PE
L43
L42
L41
33
PE
13
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(5)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 0 R 6 6 4
1
3Φ3W60HZAC220V
GR
121 20
GE NE RA TOR
7 .5KV A
T LG ー7.5 ES K
(DENYO)
L53
22
L73
02
PE
21
L72
L1 L2 L3
01
L71
L52
PE
L51
(AC220V)
121 00
NFBD
(30AF/30AT)
NFBG
(30AF/30AT)
TG0
SG0
RG0
TD0
SD0
23
RD0
03
04
EMERGENCY POWER SOURCE
24
CPD1
(3AT)
CPG1
(3AT)
PL0
RD1
RD0
PRIMARY POWER SOURCE
W
MY2N
05
CR
1D
SD0
MC1G
MC2G
100
06
1 21 26
CR045
101
102
12 1 32
常用電源表示
PL1
RG1
RG0
MY2N
25
POWER SOURCE
CR
1G
SG0
常用電源確認
MC1D
MC
1D
1st POWER SOURCE
MC2D
110
26
常用第1電源
16 80 5
12 10 6
08
28
SD0
MC2D
RD01
L62
TD01
L63
1 2 10 6
10
RG0
L61
SD01
TD0
POWER SOURCE
MC1G
RG01
SG0
29
電源
30
CPD2
(3AT)
MC2G
L61
L62
TG01
12 1 26
L63
POWER SOURCE
電源
1 2 13 2
CPG2
(3AT)
31
MC1G
TD2
12
MC2G
103
1 21 26
104
12 13 2
MC
2D
MC1D
2nd POWER SOURCE
TG2
32
常用第2電源
EMERGENCY
MC2D
112
12 10 6
MC
2G
113
1 21 1 2
S-2×N35
2nd POWER SOURCE
非常用第2電源
S-2×N35
SD2
SG2
CR1D
REVISIONS
変更
DESCRIPTION 理由
1 6 5 01
MC1D
M C 2D
1 21 0 9
12109
1 21 2 6
1 21 3 2
CR 1 G
MC1G
MC2G
1 2 10 6
12 1 0 6
12126
1 2 11 2
12 1 1 2
12132
1 2 12 9
12 1 2 9
16502
16503
TG0
SG0
RG0
TD0
SD0
33
RD0
13
NO.
非常用第1電源
1 21 1 2
SG01
TG0
12 1 12
11
BY
変更者
非常用電源確認
S-2×N35
27
09
EMERGENCY
POWER SOURCE
SG1
07
MC1D
非常用電源表示
EMERGENCY
1st POWER SOURCE
MC
1G
111
S-2×N35
SD1
RD0
EMERGENCY
POWER SOURCE
W
DESCRIPTION
MAIN CIRCUIT(6)
R664
16 5 0 4
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 1 R 6 6 4
(30AF/5AT)
01
MC1
R1
R1A
S1
S1A
T1
T1A
R
S
V
T
W
U1
1
V1
2
W1
3
L11
サ-ボモ-タ
NFB3
M
1
NO.
1 ROLLER
21
N O .1 ロ ー ラ
SAV3
MC3
R3
R3A
S3
S3A
T3
T3A
4 HC-KFS053G1
E
02
SERVO MOTOR
(30AF/5AT)
U
1 79 0 0
L63
122 20
SAV1
L62
NFB1
L61
サ-ボモ-タ
PE
(AC220V)
SERVO MOTOR
L63
L62
L61
122 00
PE
(AC220V)
03
22
E
23
E
MR-JCCBL**M-L
MR-J2HBUS05M
L12+
CN1B
4+
TO TEMP.RECORDER
25
TO SVA2
記録計へ
SVA2へ
TO SVA4
L12ー
SVA4へ
1-
MR-J2S-10B
26
SERVO MOTOR
サ-ボモ-タ
08
サ-ボモ-タ
27
NFB4
SAV2
MC2
R2
R2A
S2
S2A
T2
T2A
R
09
(30AF/5AT)
U
S
V
T
1 79 0 1
W
U2
1
V2
2
W2
3
M
2
NO.
2 ROLLER
28
N O .2 ロ ー ラ
SAV4
MC4
R4
R2A
S4
S2A
T4
T2A
4 HC-KFS053G1
E
L11
29
E
CABLE
専用ケ-ブル
CN2
MR-J2HBUS05M
MR-JCCBL**M-L
30
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
NO.
4 ROLLER
N O .4 ロ ー ラ
E
ROTARY
専用ケ-ブル
エンコ-ダ
CN1A
31
CN2
MR-J2HBUS05M
ENCODER
エンコ-ダ
MR-JCCBL**M-L
32
記録計へ
SVA3へ
L13ー
CN1B
MR-A-TM
1-
MR-J2S-10B
L63
33
L62
1-
4+
TO TEMP.RECORDER
PE
L63
L62
L61
PE
REVISIONS
3
M
4
CN3
MR-J2S-10B
13
W4
CABLE
L13+
TO SVA3
L11ー
2
4 HC-KFS053G1
SVA3より
L61
記録計へ
W
V4
D
FROM SVA3
ENCODER
CN1B
TO TEMP.RECORDER
12
NO.
4+
T
L11
CN3
L11+
V
1
P
ROTARY
SVA1より
11
S
U4
L21
D
CN1A
U
E
P
FROM SVA1
R
17 9 03
L21
10
エンコ-ダ
CN2
SERVO MOTOR
(30AF/5AT)
ENCODER
専用ケ-ブル
CN3
1-
NFB2
N O .3 ロ ー ラ
ROTARY
CN1A
CN1B
MR-J2S-10B
07
NO.
3 ROLLER
4 HC-KFS053G1
SVA2より
24
TO TEMP.RECORDER
06
3
CABLE
エンコ-ダ
CN2
MR-JCCBL**M-L
4+
L10ー
W3
M
3
D
FROM SVA2
CN3
記録計へ
W
L11
ENCODER
CABLE
MR-J2HBUS1M
05
T
2
P
ROTARY
D
CN1A
L10+
V
1
V3
L21
専用ケ-ブル
04
S
U3
E
P
TO UNIT
U
17 9 02
L21
位置決ユニットへ
(QD75M4)
R
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(7)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 2 R 6 6 4
(30AF/5AT)
01
MC5
R5
R5A
S5
S5A
T5
T5A
R
S
V
T
W
U5
1
V5
2
W5
3
L11
サ-ボモ-タ
NFB7
M
5
NO.
5 ROLLER
21
N O .5 ロ ー ラ
SAV7
MC7
R7
R7A
S7
S7A
T7
T7A
4 HC-KFS053G1
E
02
SERVO MOTOR
(30AF/5AT)
U
1 79 0 4
L63
123 20
SAV5
L62
NFB5
L61
サ-ボモ-タ
PE
(AC220V)
SERVO MOTOR
L63
L62
L61
123 00
PE
(AC220V)
03
22
E
CABLE
23
E
専用ケ-ブル
MR-J2HBUS05M
MR-JCCBL**M-L
4+
CN1B
25
TO SVA6
TO SVA8
SVA6へ
SVA8へ
1-
MR-J2S-10B
26
SERVO MOTOR
サ-ボモ-タ
08
サ-ボモ-タ
27
NFB8
SAV6
MC6
R6
R6A
S6
S6A
T6
T6A
R
09
(30AF/5AT)
U
S
V
T
1 79 0 5
W
U6
1
V6
2
W6
3
M
6
NO.
6 ROLLER
28
N O .6 ロ ー ラ
SAV8
MC8
R8
R8A
S8
S8A
T8
T8A
4 HC-KFS053G1
E
L11
29
E
CABLE
専用ケ-ブル
CN2
MR-J2HBUS05M
MR-JCCBL**M-L
30
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
ENT.HOOD.C/V
入口フードC/V
E
ROTARY
専用ケ-ブル
CN1A
31
CN2
MR-J2HBUS05M
ENCODER
エンコ-ダ
MR-JCCBL**M-L
4+
CN1B
MR-A-TM
32
SVA7へ
1-
MR-J2S-10B
L63
33
PE
L63
L62
L61
PE
REVISIONS
3
4 HC-KFS053G1
SVA7より
L62
1-
MR-J2S-10B
13
W8
M
8
CN3
TO SVA7
L15ー
2
CABLE
エンコ-ダ
L61
記録計へ
W
V8
D
FROM SVA7
ENCODER
CN1B
TO TEMP.RECORDER
12
NO.
4+
T
L11
CN3
L15+
V
1
P
ROTARY
SVA5より
11
S
U8
L21
D
CN1A
U
E
P
FROM SVA5
R
17 9 07
L21
10
エンコ-ダ
CN2
SERVO MOTOR
(30AF/5AT)
ENCODER
CN3
1-
NFB6
出口フードC/V
ROTARY
CN1A
CN1B
MR-J2S-10B
07
EXIT HOOD.C/V
4 HC-KFS053G1
SVA6より
24
TO TEMP.RECORDER
06
3
CABLE
エンコ-ダ
MR-JCCBL**M-L
4+
L14ー
W7
M
7
D
FROM SVA6
CN3
記録計へ
W
L11
ENCODER
CN2
MR-J2HBUS1M
05
T
2
P
ROTARY
D
CN1A
L14+
V
1
V7
L21
専用ケ-ブル
04
S
U7
E
P
TO UNIT
U
17 9 06
L21
位置決ユニットへ
(QD75M4)
R
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(8)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 3 R 6 6 4
T21
S21
R21
124 20
PE
(AC220V)
L63
L62
L61
124 00
PE
(AC220V)
NFB21
(30AF/30AT)
R21
S21
INV21
T21
S21
21
R21
01
R21
S21
02
T21
X018
03
Z24
INV23
T21
R
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
U21
RM
U
S
V
T
W
EXIT ROLLER C/V
M
21
V21
W21
出口ローラC/V
X01A
22
0 .1 K W
P24A1M
C
05
DB
DG
SLD
06
V231
V23
W231
W23
P24A1M
Y080
Y084
EXIT NO.1 LIFTER
ROLLER 1
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 1
12W
X01B
W23A
STF
Y085
M
23A
V23A
PC
Z24
RH
24
M
23
THR23A(0.12A)
U23A
EXIT NO.1 LIFTER
ROLLER 2
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 2
12W
X01B
RM
FAーA7NC
21CH
DA
THR23(0.
12A)
U23
A
Z24
23
Y081
U231
Z24
RH
04
R
THR23B(0.12A)
U23B
DA1
DB1
CC LINK
DG1
CC
M
23B
V23B
25
リンク
FR-E720
-0.2K
SLD1
W23B
EXIT NO.1 LIFTER
ROLLER 3
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 3
12W
X01B
26
FG
THR23C(0.12A)
U23C
FR-E720
-0.2K
07
M
23C
V23C
27
W23C
EXIT NO.1 LIFTER
ROLLER 4
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 4
12W
X01B
INV22
08
R21
S21
T21
09
28
R
U
S
V
T
W
U22
EXIT PURGE ROOM C/V
M
22
V22
W22
出口置換室C/V
0 .1 K W
29
INV24
X019
Z24
10
A
PC
C
STF
P24A1M
R21
Y082
S21
30
T21
RH
RM
11
STR
X01C
31
13
T21
S21
R21
PE
FG
REVISIONS
NO.
BY
変更者
FR-E720
-0.2K
変更
DESCRIPTION 理由
T
W
A
PC
C
STF
EXIT TRANSFER C/V
M
24
V24
W24
出口移送C/V
40W
P24A1M
Y086
CC LINK
DG1
CC
32
RM
Y087
リンク
SLD1
FR-E720
-0.2K
33
T21
SLD
V
U24
RH
DB1
S21
DG
Z24
R21
DB
S
DA1
PE
12
U
Y083
Y0A4
FAーA7NC
22CH
DA
R
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(9)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 4 R 6 6 4
T21
S
V
T
W
U251
V251
V25
W251
W25
Z24
X01D
02
Z24
P24A1M
03
Y088
04
M
25
L63
NFB26
(30AF/10AT)
EXIT NO.2 LIFTER
ROLLER 1
21
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 1
12W
X01E
22
A
C
INV26
THR25A(0.12A)
U25A
V25A
PC
W25A
STF
Z24
RH
Y089
L62
THR25(0.
12A)
U25
T26
01
U
S26
S21
R
R26
R21
L61
125 20
INV25
PE
(AC220V)
T21
S21
R21
125 00
PE
(AC220V)
R26
M
25 A
EXIT NO.2 LIFTER
ROLLER 2
S26
23
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 2
T26
X01F
24
RM
Z24
THR25B(0.12A)
U25B
05
FR-E720
-0.2K
W25B
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
U26
RETURN ENT. C/V
V26
W26
M
26
リターン入口C/V
M
27
N O .1 リ タ ー ン C / V
0 .1 K W
12W
X01E
V25B
R
M
25 B
Y08A
RH
EXIT NO.2 LIFTER
ROLLER 3
25
RM
Y08B
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 3
12W
X01E
P24A1M
06
FR-E720
-0.1K
26
THR23C(0.12A)
U25C
V25C
07
W25C
M
25 C
EXIT NO.2 LIFTER
ROLLER 4
27
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 4
12W
X01E
08
28
INV27
R26
09
R
S26
29
T26
10
MC39
Z24
THR39(0.
4A)
U39
V39
11
W39
1 74 0 2
Z24
S
V
T
W
A
PC
C
STF
EXIT NO.
1 COOLING FAN
M
39
U27
NO.
1 RETURN C/V
V27
W27
0 .1 K W
P24A1M
Y08C
RH
出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン
31
RM
Y08D
95W
X02E
FR-E720
-0.1K
12
32
THR40(0.
4A)
REVISIONS
BY
変更者
1 74 0 3
変更
DESCRIPTION 理由
Z24
X02F
33
95W
T26
T21
S21
R21
PE
W40
出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン
S26
V40
13
EXIT NO.
2 COOLING FAN
M
40
R26
U40
PE
MC40
NO.
X020
30
U
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(10)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 5 R 6 6 4
01
T26
S26
R26
126 20
PE
(AC220V)
T26
S26
R26
126 00
PE
(AC220V)
21
INV28
R26
S26
02
T26
X021
03
Z24
INV30
R
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
U28
V28
W28
NO.
2 RETURN C/V
M
28
N O .2 リ タ ー ン C / V
R26
S26
22
0 .1 K W
P24A1M
T26
X023
23
Y08E
Z24
R
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
RH
04
RM
NO.
4 RETURN C/V
M
30
V30
W30
N O .4 リ タ ー ン C / V
0 .1 K W
P24A1M
Y092
RH
Y08F
24
RM
FR-E720
-0.2K
Y093
FR-E720
-0.2K
05
25
06
26
07
27
INV29
R26
S26
08
T26
X022
09
Z24
R
INV31
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
U29
V29
W29
P24A1M
NO.
3 RETURN C/V
M
29
N O .3 リ タ ー ン C / V
R26
R
S26
28
0 .1 K W
T26
X024
29
Z24
Y090
U
S
V
T
W
A
PC
C
STF
10
RM
Y091
30
RM
BY
変更者
PE
DESCRIPTION 理由
V31
W31
リターン出口C/V
0 .1 K W
P24A1M
Y094
Y095
T26
33
S26
13
T26
32
S26
12
R26
31
PE
11
変更
RETURN EXIT C/V
M
31
FR-E720
-0.1K
R26
FR-E720
-0.2K
REVISIONS
U31
RH
RH
NO.
U30
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(11)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 6 R 6 6 4
T32
S32
R32
127 20
PE
(AC220V)
L53
L52
L51
127 00
PE
(AC220V)
NFB32
(30AF/10AT)
R32
R
S32
T32
21
S32
01
R32
INV33
T32
02
X027
22
INV32
R32
S32
03
T32
R
U
S
V
T
W
U321
V321
V32
W321
W32
Z24
X025
04
Z24
P24A2M
05
Y096
Y097
M
32
ENT. NO.1 LIFTER
ROLLER 1
V
T
W
A
PC
C
STF
23
12W
X026
W33
40W
P24A2M
Y098
Y099
FR-E720
-0.1K
24
C
THR32A(0.12A)
U32A
V32A
PC
W32A
STF
Z24
M
32 A
ENT. NO.1 LIFTER
ROLLER 2
25
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 2
INV34
12W
X026
R32
S32
26
RM
V32B
07
FR-E720
-0.2K
T32
W32B
Z24
M
32 B
ENT. NO.1 LIFTER
ROLLER 3
X028
27
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 3
Z24
X026
V
T
W
C
P24A2M
Y09A
THR29C(0.12A)
U32C
W32C
S
U341
THR34(0.
12A)
U34
V341
V34
W341
W34
M
32 C
ENT. NO.1 LIFTER
ROLLER 4
ENT. NO.2 LIFTER
ROLLER 1
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 1
12W
X029
THR34A(0.12A)
U34A
V34A
PC
W34A
STF
Z24
RH
Y09B
29
M
34
A
Z24
28
09
U
12W
X026
V32C
R
Z24
08
M
34A
ENT. NO.2 LIFTER
ROLLER 2
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 2
12W
X029
RM
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 4
THR34B(0.12A)
U34B
12W
V34B
30
FR-E720
-0.2K
11
入口移送C/V
RH
RM
THR29B(0.12A)
U32B
10
S
ENT. TRANSFER C/V
M
33
V33
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 1
A
RH
06
Z24
THR32(0.
12A)
U32
U33
U
W34B
Z24
M
34B
ENT. NO.2 LIFTER
ROLLER 3
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 3
12W
X029
31
THR34C(0.12A)
U34C
12
V34C
32
W34C
Z24
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 4
12W
T32
S32
R32
PE
T32
S32
R32
REVISIONS
NO.
ENT. NO.2 LIFTER
ROLLER 4
33
PE
13
X029
M
34C
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(12)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 7 R 6 6 4
R32
R
S32
01
T32
L63
L62
L61
128 20
INV35
PE
(AC220V)
T32
S32
R32
128 00
PE
(AC220V)
NFB41
(30AF/5AT)
U35
U
S
V
T
W
V35
W35
M
35
ENT. PURGE ROOM C/V
R41
入口置換室C/V
S41
21
0 .1 K W
X02A
Z24
A
PC
C
STF
P24A2M
U41
H2 CONTROL PANEL BLOWER 1
V41
T41
W41
17 4 05
02
THR41(1.
4A)
MC41
Z24
M
41
H2盤ブロワー
M
42
H2盤ブロワー
1
0 .2 K W
X032
22
Y09C
RH
03
RM
Y09D
23
NFB42
(30AF/5AT)
R42
FR-E720
-0.1K
04
24
THR42(1.
4A)
MC42
U42
W42
T42
17 4 06
05
H2 CONTROL PANEL BLOWER 2
V42
S42
Z24
2
0 .2 K W
X033
25
INV36
R32
R
S32
06
S
T32
X02B
07
Z24
U36
U
V36
V
T
W
A
PC
C
STF
W36
ENT. ROLLER C/V
M
36
入口ローラC/V
26
0 .1 K W
P24A2M
27
Y09E
RH
08
RM
Y09F
28
FR-E720
-0.1K
09
29
10
30
NFB38
(30AF/20AT)
R38
11
MC38
U38
S38
V38
T38
W38
1 74 0 1
Z24
ENT. VACUUM PUMP
M
38
入口真空ポンプ
31
2 .2 K W
X02D
T32
33
S32
13
R32
32
PE
12
REVISIONS
NO.
THR38(9.
2A)
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
MAIN CIRCUIT(13)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 8 R 6 6 4
FROM CUSTOMER(UPS)
L53
L52
129 00
L51
(AC220V)
客先より(UPS)
(AC440V)
3
129 20
CP1V
01
VA2
L83
電圧計
L82
POWER VOLTAGE
V
1
PE
VA1
L81
(3A)
21
ELB03
0~300V
(125AF/20AT)
100.200.500mA切替
CP1F
02
22
(4A)
F2
03
FAN
ファン
1~5
L93
FAN 1~5
L92
L91
F1
23
NFB37
(AC200V)
(30AF/10AT)
R37
THR37(5.
5A)
MC37
U37
EXIT VACUUM PUMP
CP3F
04
FL1 20W
(4A)
DS1
F5
F6
24
FLUORESCENT LAMP 1
F7
05
W37
T37
盤内照明1
M
37
V37
S37
17 4 00
Z24
出口真空ポンプ
2 .2 K W
X02C
25
FL2 20W
DS2
FLUORESCENT LAMP 2
F8
盤内照明2
06
26
Tr2
CP2S
400.440.480/100V
3KVA
Tr1
200.220.240V/100V
1.
5KVA
入
KSS1
H02
H03
G01
FL3 20W
(4A)
F9
DS3
F10
SAFETY SWITCH
安全スイッチ
27
G02
SR-N8
MC
1H
CP4F
S100
08
R100
07
切
(4A)
H01
FLUORESCENT LAMP 3
(GAS PANEL)
28
盤内照明3(ガス盤)
F11
09
29
CP2F
MC1H
H04
(6A)
CONTROL POWER
F3
10
1 2 92 8
30
SOURCE(AC100V)
F4
11
FAN
ファン
操作電源(AC100V)
G04
FAN 6~8(GAS PANEL)
6~8(ガス盤)
31
CP3C
(4A)
1
MC1H
R1CA
12
R1C
1 29 28
32
S1CA
S1C
CONTROL POWER
SOURCE
操作電源
変更
MC1H
1 29 1 2
CR2M
L93
L92
L91
PE
13 92 3
V1
REVISIONS
S1C1M
33
S100
13
R100
CR1M
S1C2M
13 92 6
DESCRIPTION
1 29 3 0
CONTROL
CIRCUIT(1)
1 29 3 2
NO.
BY
変更者
1
GOTO
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 2 9 R 6 6 4
1
CP3S
G04
130 20
H04
(AC100V)
G04
130 00
H04
(AC100V)
CP1P
CP2P
(15A)
(10A)
H05
(4A)
1
3
2
4
P24A
Z24-1
Z24
CPU I/O
CIRCUIT
N
-V
CPU入出力回路
20A
0V
PROGRAMABLE
Q06UDEHCPU
CR1M
CONTROLLER
シ-ケンサ-
E
02
P24-1
PS1
G05
21
1
+V
100V
NF
01
L
P24A1M
13 92 3
22
CR2M
P24A2M
13 92 6
03
23
CP3P
(6A)
LG
P24E
E
04
WETTER
SUPPLY VALVE
24
Z24
ウエッター給水弁
CP4P
05
25
(4A)
P24F
CP11
(6A)
R11HA
06
R11H
TEMP.RECORDER
Z24
26
EXHAUST
MANOMETER
排気圧力計
NF
S11HA
2
S11H
CP5P
温度記録計電源
(10A)
07
27
L
+V
E
P24B
Z24-2
Z24
PS2
CP12
(4A)
N
R12
08
P24-2
LINK TERMINAL
-V
28
CR1M
PROGRAMABLE TERMINAL
S12
リモ-トI/O
10A
P24B1M
プログラマブルターミナル
13 92 3
CR2M
09
P24B2M
29
CP13
13 92 6
(10A)
CP6P
R13
(10A)
MASFLOW
10
S13
30
L
N
P24C
Z24-3
Z24
TEMP.CONTROLER
温度調節計
-V
10A
31
(4A)
P24-3
PS3
CP14
11
+V
マスフロー電磁弁
R14
TO NFB
S14
12
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
G04
H04
G04
REVISIONS
NO.
32
33
H04
13
NFBへ
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(2)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 0 R 6 6 4
AC100V
R13
R0A8
N2-1
R0A9
N2-2
R0AA
N2ー3 MASS FLOW VALVE
N2-3
17 4 12
R0AB
N2-4
R0AC
N2-5
R0AD
N2-6
R0AE
N2-7
R0AF
N2-予備
R0D8
N2ー1 BYPASS VALVE
N2-1
17 7 10
R0D9
N2ー2 BYPASS VALVE
N2-2
17 7 11
R0DA
N2ー3 BYPASS VALVE
N2-3
17 7 12
R0DB
N2ー4 BYPASS VALVE
N2-4
17 7 13
N2ー5 BYPASS VALVE
R0DC
N2-5
17 7 14
NO.
R0DD
DESCRIPTION 理由
32
バイパス用電磁弁
SOL0DD
CR0DD
BY
変更者
31
バイパス用電磁弁
SOL0DC
CR0DC
変更
30
バイパス用電磁弁
SOL0DB
CR0DB
REVISIONS
29
バイパス用電磁弁
SOL0DA
CR0DA
17 7 15
28
バイパス用電磁弁
SOL0D9
CR0D9
13
27
マスフロー用電磁弁
SOL0D8
CR0D8
12
26
マスフロー用電磁弁
N2ーSPARE MASS FLOW VALVE
17 4 17
11
25
SOL0AF
CR0AF
10
エアー-6マスフロー用電磁弁
マスフロー用電磁弁
N2ー7 MASS FLOW VALVE
17 4 16
09
AIR-6 MASS FLOW VALVE
1 7 50 7
SOL0AE
CR0AE
08
マスフロー用電磁弁
N2ー6 MASS FLOW VALVE
17 4 15
07
SOL0B7
R0B7
24
SOL0AD
CR0AD
06
AIR-5 MASS FLOW VALVE
エアー-5マスフロー用電磁弁
1 7 50 6
CR0B7
N2ー5 MASS FLOW VALVE
17 4 14
SOL0B6
R0B6
23
マスフロー用電磁弁
SOL0AC
CR0AC
05
22
CR0B6
N2ー4 MASS FLOW VALVE
17 4 13
04
バイパス用電磁弁
マスフロー用電磁弁
SOL0AB
CR0AB
03
N2-予備
1 7 71 7
SOL0AA
CR0AA
02
マスフロー用電磁弁
N2ーSPARE BYPASS VALVE
R0DF
21
バイパス用電磁弁
SOL0DF
CR0DF
N2ー2 MASS FLOW VALVE
17 4 11
N2-7
1 7 71 6
SOL0A9
CR0A9
01
N2ー7 BYPASS VALVE
R0DE
131 20
マスフロー用電磁弁
S13
SOL0DE
CR0DE
N2ー1 MASS FLOW VALVE
17 4 10
AC100V
R13
SOL0A8
CR0A8
13100
S13
N2ー6 BYPASS VALVE
N2-6
33
バイパス用電磁弁
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(3)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 1 R 6 6 4
AC100V
R13
R0B8
R0B9
ウ エッ タ ー7 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
R0BA
03
R0BC
ウ エッ タ ー4 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
R0BD
05
17 2 16
H2ーSPARE MASS FLOW VALVE
H2-予備
1 7 20 5
SOL0BE
R0BE
R0E0
26
ウ エッ タ ー6 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
H2ー1 BYPASS VALVE
H2-1
1 7 50 0
R0E1
27
H2ー2 BYPASS VALVE
H2-2
1 7 50 1
R0E2
28
H2ー3 BYPASS VALVE
H2-3
1 7 50 2
R0E3
29
H2ー4 BYPASS VALVE
H2-4
1 7 50 3
R0E4
30
H2ー7 BYPASS VALVE
H2-7
1 7 50 4
R0E5
31
H2ーSPARE BYPASS VALVE
H2-予備
1 7 50 5
12
32
13
33
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
バイパス用電磁弁
SOL0E5
CR0E5
11
バイパス用電磁弁
SOL0E4
CR0E4
10
バイパス用電磁弁
SOL0E3
CR0E3
09
バイパス用電磁弁
SOL0E2
CR0E2
08
バイパス用電磁弁
SOL0E1
CR0E1
07
マスフロー用電磁弁
SOL0E0
CR0E0
WETTER 6 OVER FLOW VALVE
マスフロー用電磁弁
SOL0B5
R0B5
25
ウ エッ タ ー5 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
CR0BE
06
H2-7
CR0B5
WETTER 5 OVER FLOW VALVE
17 2 15
H2ー7 MASS FLOW VALVE
1 7 20 4
SOL0BD
CR0BD
R0B4
24
マスフロー用電磁弁
SOL0B4
CR0B4
WETTER 4 OVER FLOW VALVE
17 2 14
H2ー4 MASS FLOW VALVE
H2-4
1 7 20 3
SOL0BC
CR0BC
04
R0B3
23
ウ エッ タ ー3 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
マスフロー用電磁弁
SOL0B3
CR0B3
WETTER 3 OVER FLOW VALVE
17 2 13
H2ー3 MASS FLOW VALVE
H2-3
1 7 20 2
SOL0BB
R0BB
マスフロー用電磁弁
SOL0B2
R0B2
22
ウ エッ タ ー2 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
CR0BB
H2-2
CR0B2
WETTER 2 OVER FLOW VALVE
17 2 12
H2ー2 MASS FLOW VALVE
1 7 20 1
SOL0BA
CR0BA
02
R0B1
21
マスフロー用電磁弁
SOL0B1
CR0B1
WETTER 7 OVER FLOW VALVE
17 2 11
H2ー1 MASS FLOW VALVE
H2-1
1 7 20 0
SOL0B9
CR0B9
R0B0
132 20
ウ エッ タ ー1 オー バ ーフ ロー 電 磁弁
P24E
SOL0B0
CR0B0
WETTER 1 OVER FLOW VALVE
17 2 10
01
DC24V
Z24
SOL0B8
CR0B8
13200
S13
CONTROL
CIRCUIT(4)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
バイパス用電磁弁
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 2 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24E
DC24V
Z24
P24E
CR0C0
CR0C4
13300
133 20
17 30 0
SOL0C0
CR0C0
R0C0
01
1 73 04
CR0C0
S0CD
17 3 00
17 30 0
SOL0C4
CR0C4
WETTER 1 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター1
R0C4
21
給水電磁弁
1 7 30 4
CR0C0
1 7 30 4
CR0C1
CR0C5
03
23
17 30 1
SOL0C1
CR0C1
R0C1
04
1 73 05
CR0C1
S0CE
17 3 01
17 30 1
SOL0C5
CR0C5
WETTER 1 DRAIN VALVE
ウエッター1
R0C5
24
排水電磁弁
CR0C5
S0D2
1 7 30 5
CR0C1
ウエッター2
排水電磁弁
25
17 3 01
1 7 30 5
CR0C2
CR0C6
06
26
17 30 2
SOL0C2
CR0C2
R0C2
07
CR0C2
S0CF
17 3 02
1 73 06
WETTER 7 WATER
SUPPLY VALVE
17 30 2
ウエッター7
SOL0C6
CR0C6
R0C6
27
給水電磁弁
WETTER 3 WATER
CR0C6
S0D3
1 7 30 6
CR0C2
SUPPLY VALVE
ウエッター3
1 73 06
給水電磁弁
CR0C6
08
28
17 3 02
1 7 30 6
CR0C3
CR0C7
09
29
17 30 3
SOL0C3
CR0C3
R0C3
10
17 3 03
1 73 07
CR0C3
S0D0
17 30 3
SOL0C7
CR0C7
WETTER 7 DRAIN VALVE
ウエッター7
R0C7
30
排水電磁弁
CR0C7
S0D4
1 7 30 7
CR0C3
11
WETTER 3 DRAIN VALVE
ウエッター3
1 73 07
排水電磁弁
CR0C7
31
17 3 03
1 7 30 7
12
32
13
33
REVISIONS
GOTO
WETTER 2 DRAIN VALVE
1 73 05
CR0C5
05
1
給水電磁弁
22
17 3 00
NO.
ウエッター2
1 73 04
CR0C4
02
BY
変更者
WETTER 2 WATER
SUPPLY VALVE
CR0C4
S0D1
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(5)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 3 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24E
DC24V
Z24
P24E
CR0C8
CR0CC
13400
134 20
17 31 0
SOL0C8
CR0C8
R0C8
01
CR0C8
S0D5
17 3 10
1 73 14
WETTER 4 WATER
SUPPLY VALVE
17 31 0
ウエッター4
SOL0CC
CR0CC
R0CC
21
給水電磁弁
1 7 31 4
CR0C8
WETTER 6 WATER
CR0CC
S0D9
SUPPLY VALVE
ウエッター6
1 73 14
給水電磁弁
CR0CC
02
22
17 3 10
1 7 31 4
CR0C9
CR0CD
03
23
17 31 1
SOL0C9
CR0C9
R0C9
04
1 73 15
CR0C9
S0D6
17 3 11
17 31 1
SOL0CD
CR0CD
WETTER 4 DRAIN VALVE
ウエッター4
R0CD
24
排水電磁弁
CR0CD
S0DA
1 7 31 5
CR0C9
WETTER 6 DRAIN VALVE
ウエッター6
1 73 15
排水電磁弁
CR0CD
05
25
17 3 11
1 7 31 5
CR0CA
06
26
17 31 2
SOL0CA
CR0CA
R0CA
07
CR0CA
S0D7
17 3 12
WETTER 5 WATER
SUPPLY VALVE
17 31 2
ウエッター5
27
給水電磁弁
CR0CA
08
28
17 3 12
CR0CB
09
29
17 31 3
SOL0CB
CR0CB
R0CB
10
17 3 13
CR0CB
S0D8
WETTER 5 DRAIN VALVE
17 31 3
ウエッター5
30
排水電磁弁
CR0CB
11
31
17 3 13
12
32
13
33
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(6)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 4 R 6 6 4
1
AC100V
R13
S13
MFCW1N
13500
10
01
11
12
MASS FLOW
02
X648
Z24
N2-1 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
S13
21
ー8
EXT
22
W1Nー
LOW
Z24
12
W1N+
N2-5マスフローコントローラ
X651
11
MASS FLOW
N2-5 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
LOW
EXT
+14
X650
9
N2-1マスフローコントローラ
X649
Z24
S13
MFCW5N
135 20
9
S13
AC100V
R13
+14
TO TEMP. RECORDER
ー8
W5N+
TO TEMP. RECORDER
W5Nー
温度記録計へ
温度記録計へ
PE-D20
PE-D20
03
23
MFCW2N
04
MFCW6N
9
S13
10
11
05
12
MASS FLOW
X64A
Z24
N2-2 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
24
N2-2マスフローコントローラ
S13
25
EXT
+14
06
ー8
W2N+
TO TEMP. RECORDER
W2Nー
温度記録計へ
EXT
+14
26
ー8
PE-D20
TO TEMP. RECORDER
W6Nー
温度記録計へ
27
MFCW3N
MFCW7N
9
S13
08
10
11
12
MASS FLOW
09
ー8
10
X64C
Z24
N2-3 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
N2-3マスフローコントローラ
Z24
W3N+
TO TEMP. RECORDER
W3Nー
温度記録計へ
10
11
12
MASS FLOW
13
+14
ー8
Z24
Z24
S13
32
ー8
TO TEMP. RECORDER
W4Nー
温度記録計へ
EXT
33
+14
ー8
PE-D20
REVISIONS
変更
DESCRIPTION 理由
N2-予備マスフローコントローラ
LOW
Z24
12
W4N+
HIGH
X657
11
MASS FLOW
N2-SPARE MASS
FLOW CONTROLLER
Z24
10
LOW
EXT
+14
温度記録計へ
X656
9
N2-4マスフローコントローラ
X64F
TO TEMP. RECORDER
W7Nー
MFCWSN
N2-4 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
W7N+
PE-D20
31
X64E
LOW
Z24
EXT
30
9
12
MASS FLOW
N2-7マスフローコントローラ
X655
12
29
N2-7 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
11
MFCW4N
S13
S13
28
LOW
PE-D20
11
X654
9
X64D
EXT
+14
NO.
W6N+
PE-D20
07
BY
変更者
LOW
Z24
12
MASS FLOW
N2-6マスフローコントローラ
X653
11
LOW
N2-6 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
X64B
Z24
X652
9
WSN+
TO TEMP. RECORDER
WSNー
温度記録計へ
PE-D20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(7)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 5 R 6 6 4
AC100V
R13
S13
AC100V
R13
S13
MFCW1H-1
13600
9
S13
10
11
01
12
MASS FLOW
X658
Z24
136 20
02
ー8
H2-1-1マスフローコントローラ
Z24
S13
LOW
TO TEMP. RECORDER
温度記録計へ
X660
9
X659
EXT
+14
MFCW3H
H2-1-1 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
21
11
MASS FLOW
W1H1ー
H2-3マスフローコントローラ
X661
LOW
Z24
12
W1H1+
H2-3 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
EXT
22
+14
ー8
PE-D20
W3H+
TO TEMP. RECORDER
W3Hー
温度記録計へ
PE-D20
03
23
MFCW1H-2
9
S13
04
10
11
12
MASS FLOW
05
Z24
ー8
MFCW4H
H2-1-2 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
H2-1-2マスフローコントローラ
24
Z24
X662
9
X65B
S13
W1H2+
TO TEMP. RECORDER
W1H2ー
温度記録計へ
EXT
+14
26
PE-D20
LOW
Z24
12
MASS FLOW
H2-4マスフローコントローラ
X663
11
25
H2-4 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
LOW
EXT
+14
06
X65A
ー8
W4H+
TO TEMP. RECORDER
W4Hー
温度記録計へ
PAC-D2
MFCW2H-1
07
9
S13
10
08
11
12
MASS FLOW
09
27
Z24
HIGH
H2-2-1マスフローコントローラ
X65D
Z24
MFCW7H
H2-2-1 MASS FLOW CONTROLLER
X65C
S13
28
ー8
W2H1ー
温度記録計へ
29
MASS FLOW
EXT
+14
ー8
PE-D20
10
LOW
Z24
12
TO TEMP. RECORDER
H2-7マスフローコントローラ
X665
11
W2H1+
H2-7 MASS FLOW CONTROLLER
HIGH
Z24
10
LOW
EXT
+14
X664
9
30
W7H+
TO TEMP. RECORDER
W7Hー
温度記録計へ
X666
H2-SPARE MASS FLOW
CONTROLLER
PAC-D2
MFCW2H-2
11
9
S13
10
11
12
12
MASS FLOW
X65E
Z24
MFCWSH
H2-2-2 MASS FLOW CONTROLLER
31
HIGH
H2-2-2マスフローコントローラ
9
X65F
Z24
S13
LOW
32
+14
13
ー8
TO TEMP. RECORDER
W2H2ー
温度記録計へ
MASS FLOW
LOW
Z24
12
W2H2+
H2ー予備6マスフローコントローラ
X667
11
EXT
HIGH
Z24
10
EXT
33
+14
ー8
PE-D20
WSH+
TO TEMP. RECORDER
WSHー
温度記録計へ
PAC-D2
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(8)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 6 R 6 6 4
1
AC100V
R13
S13
AC100V
R1C
S1C1M
EXIT CONTROL PANEL
出口中継盤
MFCW5A
13700
10
01
11
12
MASS FLOW
R563
137 20
9
S13
SOL563
CR563
X668
Z24
HIGH
EXIT VACUUM OPEN
出口吸引開
18 60 3
AIR-5 MASS FLOW CONTROLLER
エア-5マスフローコントローラ
SOL564
CR564
X669
Z24
R564
21
LOW
EXIT VACUUM CLOSE
出口吸引閉
18 60 4
EXT
SOL565
CR565
02
+14
ー8
W5A+
TO TEMP. RECORDER
W5Aー
温度記録計へ
R565
22
EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN
出口真空破壊開
18 60 5
SOL566
CR566
PE-D20
03
EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE
R566
23
出口真空破壊閉
18 60 6
MFCW6A
04
9
S13
10
11
05
12
MASS FLOW
X66A
Z24
AIR-6 MASS FLOW CONTROLLER
24
HIGH
エア-6マスフローコントローラ
X66B
Z24
LOW
25
EXT
+14
06
ー8
W6A+
TO TEMP. RECORDER
W6Aー
温度記録計へ
26
PE-D20
07
AC100V
R1C
S1C2M
ENT. CONTROL PANEL
27
入口中継盤
SOL603
CR603
08
R603
28
ENT. VACUUM OPEN
入口吸引開
19 60 3
SOL604
CR604
09
R604
29
ENT. VACUUM CLOSE
入口吸引閉
19 60 4
SOL605
CR605
10
ENT. VACUUM BREAKDOWN
OPEN
R605
30
入口真空破壊開
19 60 5
SOL606
CR606
11
ENT. VACUUM BREAKDOWN
CLOSE
R606
31
入口真空破壊閉
19 60 6
12
32
13
33
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(9)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 7 R 6 6 4
AC100V
R13
S13
CR0D2
S13
CR0D0
R0D2
13800
AC100VV
R13
H2 VACUUM PUMP
P1
H2
1 77 02
吸引ポンプ
01
R0D0
138 20
VACUUM PUMP 1
P3
吸引ポンプ
17 70 0
DP1
21
0V
DEW POINT METER 1
100V
HA1
02
1
露点計
H2 ANALYZER
2
P24E
22
水素分析計
3
03
+4
(0~1V)
-5
Z24
ZAFEK403-QYBAY-C
1
+
ー
+L1
ーL1
TO.RECORDER
23
SENSOR
(X2)+
温度記録計
04
1
+L1
TO.DMC
ーL1
DMCへ
(CH1)-
TO.RECORDER
温度記録計
24
HMT3307
(DMC39)
05
+L8
ーL8
25
CR0D3
R0D3
06
O2 VACUUM PUMP
P2
26
O2吸引ポンプ
1 77 03
CR0D1
07
R0D1
27
VACUUM PUMP 2
P4
吸引ポンプ
17 70 1
CON2
08
DP2
28
0V
DEW POINT METER 2
100V
露点計
09
29
P24E
Z24
10
30
2
2
+
ー
SENSOR
(X2)+
(CH1)-
+L9
TO.RECORDER
ーL9
温度記録計
OA1
O2 ANALYZER
11
31
酸素分析計
+
(4~20mA)
-
12
+L2
TO.DMC
L2
DMCへ
HMT3307
32
(DMC39)
LC-750L
13
L2
ーL2
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
TO.RECORDER
33
温度記録計
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(10)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 8 R 6 6 4
DC24V
Z 24
P 24 A
CR041
500
13900
16 8 01
BZ
1
DC24V
Z2 4
PHONE
PB00B
139 20
CR040
510
ホ-ン
01
P2 4A
CR1X
511
1 68 00
13 90 4
512
21
PAT1
CR042
501
02
PATLITE
R
22
パトライト
16 8 02
LY4N
PB1
PB520
03
23
EXIT CONTROL PANEL
ESPB1
513
CR
1M
514
MY4N
CR
1X
502
04
EXIT MASTER ON
出口運転準備
PL2
CR1M
EMERGENCY STOP
24
G
非常停止
05
EXIT MASTER ON
出口運転準備
13 92 3
25
ENT. CONTROL PANEL
ESPB2
LY4N
PB2
PB5C0
06
26
515
CR
2M
516
ENT. MASTER ON
入口運転準備
PL3
CR2M
07
27
G
ENT. MASTER ON
入口運転準備
13 92 6
PAT1
CR0D4
503
08
1 77 04
SIGNAL TOWER(Y)
Y
シグナルタワー(黄)
G
SIGNAL TOWER(G)
28
CR0D5
504
09
CR0D6
505
10
R
SIGNAL TOWER(R)
30
シグナルタワー(赤)
1 77 06
11
31
12
32
13
33
CR1X
REVISIONS
NO.
29
シグナルタワー(緑)
1 77 05
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
CR1M
C R 2M
1 3 9 20
1 29 1 3
12914
1 6 7 00
1 29 3 3
12934
1 30 2 2
13023
1 30 2 9
13029
1 39 2 4
13927
1 65 0 5
16506
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(11)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 3 9 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24F
DC24V
Z24
GC1
P24F
GC6
14000
140 20
5
4
NO.
1 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
6 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 排 気 圧 力 計
01
N O .6 排 気 圧 力 計
21
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
02
22
GC2
03
5
GC7
4
NO.
2 EXHAUST MANOMETER
23
5
NO.
7 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
04
5
GC62-241-20P210
24
GC3
05
N O .7 排 気 圧 力 計
GC8
25
4
NO.
3 EXHAUST MANOMETER
N O .3 排 気 圧 力 計
06
5
4
NO.
8 EXHAUST MANOMETER
N O .8 排 気 圧 力 計
26
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
07
27
GC4
GC9
08
28
5
4
NO.
4 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
9 EXHAUST MANOMETER
4
N O .4 排 気 圧 力 計
09
N O .9 排 気 圧 力 計
29
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
10
30
GC5
11
5
GC10
4
NO.
5 EXHAUST MANOMETER
31
5
NO.
10 EXHAUST MANOMETER
4
N O .5 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
12
13
NO.
GC62-241-20P210
32
33
REVISIONS
BY
変更者
N O .1 0 排 気 圧 力 計
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(12)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 0 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24F
DC24V
Z24
GC11
P24F
GC16
14100
141 20
5
4
NO.
11 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
16 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 1 排 気 圧 力 計
01
N O .1 6 排 気 圧 力 計
21
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
02
22
GC12
03
5
GC17
4
NO.
12 EXHAUST MANOMETER
23
5
NO.
17 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 2 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
04
5
GC62-241-20P210
24
GC13
05
N O .1 7 排 気 圧 力 計
GC18
25
4
NO.
13 EXHAUST MANOMETER
N O .1 3 排 気 圧 力 計
06
5
NO.
18 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 8 排 気 圧 力 計
26
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
07
27
GC14
GC19
08
28
5
4
NO.
14 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
19 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 4 排 気 圧 力 計
09
N O .1 9 排 気 圧 力 計
29
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
10
30
GC15
11
5
GC20
4
NO.
15 EXHAUST MANOMETER
31
5
NO.
20 EXHAUST MANOMETER
4
N O .1 5 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
12
13
NO.
GC62-241-20P210
32
33
REVISIONS
BY
変更者
N O .2 0 排 気 圧 力 計
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(13)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 1 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24F
DC24V
Z24
GC21
P24F
GC26
14200
142 20
5
4
NO.
21 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
26 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 1 排 気 圧 力 計
01
N O .2 6 排 気 圧 力 計
21
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
02
22
GC22
03
5
GC27
4
NO.
22 EXHAUST MANOMETER
23
5
NO.
27 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 2 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
04
5
GC62-241-20P210
24
GC23
05
N O .2 7 排 気 圧 力 計
GC28
25
4
NO.
23 EXHAUST MANOMETER
N O .2 3 排 気 圧 力 計
06
5
NO.
28 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 8 排 気 圧 力 計
26
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
07
27
GC24
GC29
08
28
5
4
NO.
24 EXHAUST MANOMETER
5
NO.
29 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 4 排 気 圧 力 計
09
N O .2 9 排 気 圧 力 計
29
GC62-241-20P210
GC62-241-20P210
10
30
GC25
11
5
GC30
4
NO.
25 EXHAUST MANOMETER
31
5
NO.
30 EXHAUST MANOMETER
4
N O .2 5 排 気 圧 力 計
GC62-241-20P210
12
13
NO.
GC62-241-20P210
32
33
REVISIONS
BY
変更者
N O .3 0 排 気 圧 力 計
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(14)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 2 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24F
DC24V
Z24
GC31
P24F
GC35
14300
1
143 20
5
NO.
31 EXHAUST MANOMETER
4
5
NO.
18 OVEN SAMPLING
MANOMETER
4
N O .3 1 排 気 圧 力 計
N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計
01
21
7
GC62-241-20P210
8
+GC35
TO.DMC
GC35
DMCへ
(DMC40)
02
03
5
GC62-241-20P210
NO.
32 EXHAUST MANOMETER
4
温度記録計
ーGC35
23
N O .3 2 排 気 圧 力 計
GC36
GC62-241-20P210
04
TO.RECORDER
GC35
22
GC32
24
5
NO.
29 OVEN SAMPLING
MANOMETER
4
N O .2 9 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計
7
GC33
05
25
8
+GC36
TO.DMC
GC36
DMCへ
(DMC40)
5
NO.
33 EXHAUST MANOMETER
4
N O .3 3 排 気 圧 力 計
06
TO.RECORDER
GC36
GC62-241-20P210
26
温度記録計
ーGC36
GC62-241-20P210
07
27
GC34
GC37
1
08
28
5
NO.
6 OVEN SAMPLING MANOMETER
4
H2 CONTROL PANEL
MANOMETER
ー(Bu青) (茶 Br)+
N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計
09
7
8
+GC34
TO.DMC
GC34
DMCへ
H2盤圧力計
29
(橙 O)+
+GC37
TO.DMC
ーGC37
DMCへ
(DMC39)
GC34
10
GC62-241-20P210
ーGC34
TO.RECORDER
(DMC40)
30
GC30-101-E8N38B
温度記録計
11
31
12
32
13
33
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(15)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 3 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24F
DC24V
Z24
14400
P24B
144 20
GC38
01
EXIT PURGE ROOM MANOMETER
ー(Bu 青)
(茶 Br)+
21
出口置換室圧力計
(黒 BK)
X510
02
22
(白 W)
X511
GC30-101-E8N38B
03
23
04
24
GC39
05
ENT. PURGE ROOM MANOMETER
ー(Bu 青)
(茶 Br)+
25
入口置換室圧力計
(黒 BK)
X5A6
06
26
(白 W)
GC30-101-E8N38B
07
27
08
28
09
29
10
30
11
31
12
32
13
33
REVISIONS
NO.
X5A7
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(16)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 4 R 6 6 4
AC100V
R14
S14
GENERATOR
CR043
043A
14500
1 68 03
CR044
044A
01
1 68 04
MC
43
GENERATOR ON
MC
44
GENERATOR START
発電機
145 20
発電機入
30
21
30
発電機自動始動
MC44
02
19
22
19
1 45 01
BAT1
CR046
MC43
046
03
BATTERY CHARGER
AC
23
バッテリーチャージャー
1 68 06
AC
1 45 00
MC44
04
50
24
50
1 45 01
05
25
06
26
07
27
08
28
09
29
10
30
11
31
12
32
13
33
MC43
REVISIONS
変更
1 4 5 23
MC44
1 45 2 2
DESCRIPTION
1 45 2 4
NO.
BY
変更者
DESCRIPTION 理由
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(17)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 5 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
CMC1
14600
2-
146 20
通信変換器
CH2
DA3
DB3
DB3
SG3
SG3
1
TO CMC3
21
13
RDA
RDA2
SDB 12
RDA 13
RDB2
TO PROGRAMABLE CONTROLLER
SDA2
シ-ケンサ-へ
22
11
SDA
14
RDB
12
SDB
15
SG
CMC2
2-
+1
CMC10BCPIA000
FG
TEMP.CONTROLLER
SDB2
SDB 14
03
DA3
R 150Ω 1/2W
SDA 11
02
FROM CMC1
P24C
COMMUNICATION CONVERTER 1
+1
CMC15G
01
DC24V
Z24
SG2
SG 15
1
デジタル調節計1
23
FG
+1U
04
24
-1U
DA 16
05
DB 17
SG 15
DB3
TO COMMUNICATION
CONVERTER(CM2.
3.
4)
SG3
通 信 変 換 器 へ ( C M C 2 .3 .4 )
+15
+R1U
R1
SENSOR
1U
1U熱電対
DMC1
SCR1U
CH3
DA3
21+
22-
-14
26+
+20
-R1U
25
FG
06
26
+2U
CH4
07
+R2U
R2
DA 4
DB 5
SG 6
DB4
TO COMMUNICATION
CONVERTER(CM4)
SG4
通信変換器へ(CMC4)
FG
08
1
-2U
27
2U
2U熱電対
SCR2U
DA4
SENSOR
27-
-19
-R2U
DMC10D2TV0300
TEMP.CONTROLLER
28
2
デジタル調節計2
E
09
+3U
29
21+
-3U
30
11
31
+4U
12
32
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
SENSOR
3U
3U熱電対
22-
-14
26+
+20
-R3U
+R4U
R4
SENSOR
4U
4U熱電対
27-
-19
-R4U
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
R3
SCR4U
-4U
13
+R3U
DMC2
SCR3U
10
+15
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(18)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 6 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
14700
DC24V
Z24
P24C
3
TEMP.CONTROLLER
147 20
デジタル調節計3
+5U
01
21+
+15
+R5U
R5U
-5U
22-
U5
-14
03
23
04
+20
+R5D
R5D
SENSOR
D5
+7D
D5熱電対
SCR5D
-5D
27-
-19
24
+R7U
R7U
U7熱電対
22-
-14
26+
+20
+R7D
R7D
SENSOR
D7
D7熱電対
-7D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R7D
DMC10D2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
4
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計4
07
6
デジタル調節計6
27
+6U
21+
-6U
08
+15
+R6U
R6U
22-
SENSOR
U6
+8U
U6熱電対
DMC4
SCR6U
-14
21+
-R6U
-8U
28
+15
+R8U
R8U
SENSOR
U8
U8熱電対
DMC6
SCR8U
09
22-
-14
26+
+20
-R8U
29
+6D
10
26+
+20
+R6D
R6D
SENSOR
D6
-6D
27-
-19
11
+8D
30
D6熱電対
SCR6D
+R8D
R8D
D8
D8熱電対
SCR8D
-8D
-R6D
SENSOR
27-
-19
-R8D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U7
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R7U
SCR7D
-R5D
05
+15
DMC5
-7U
22
26+
21+
SCR7U
-R5U
02
+5D
+7U
21
U5熱電対
DMC3
SCR5U
SENSOR
3
デジタル調節計3
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(19)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 7 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
14800
DC24V
Z24
P24C
7
TEMP.CONTROLLER
148 20
デジタル調節計7
+9U
01
21+
+15
+R9U
R9U
-9U
22-
U9
-14
03
23
04
+20
+R9D
R9D
SENSOR
D9
+11D
D9熱電対
SCR9D
-9D
27-
-19
24
+R11U
R11U
U11熱電対
22-
-14
26+
+20
+R11D
R11D
SENSOR
D11
D11熱電対
-11D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R11D
DMC10D2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
8
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計8
07
10
デジタル調節計10
27
+10U
21+
-10U
08
+15
+R10U
R10U
22-
SENSOR
U10
+12U
U10熱電対
DMC8
SCR10U
-14
21+
-R10U
-12U
28
+15
+R12U
R12U
SENSOR
U12
U12熱電対
DMC10
SCR12U
09
22-
-14
26+
+20
-R12U
29
+10D
10
26+
+20
+R10D
R10D
SENSOR
D10
-10D
27-
-19
11
+12D
30
D10熱電対
SCR10D
+R12D
R12D
D12
D12熱電対
SCR12D
-12D
-R10D
SENSOR
27-
-19
-R12D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U11
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R11U
SCR11D
-R9D
05
+15
DMC9
-11U
22
26+
21+
SCR11U
-R9U
02
+9D
+11U
21
U9熱電対
DMC7
SCR9U
SENSOR
9
デジタル調節計9
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(20)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 8 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
14900
DC24V
Z24
P24C
11
TEMP.CONTROLLER
149 20
デジタル調節計11
+13U
01
21+
+15
+R13U
R13U
-13U
22-
U13
-14
03
23
04
+20
+R13D
R13D
SENSOR
D13
+15D
D13熱電対
SCR13D
-13D
27-
-19
24
+R15U
R15U
U15熱電対
22-
-14
26+
+20
+R15D
R15D
SENSOR
D15
D15熱電対
-15D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R15D
DMC10S2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
12
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計12
07
14
デジタル調節計14
27
+14U
21+
-14U
08
+15
+R14U
R14U
22-
SENSOR
U14
+16U
U14熱電対
DMC12
SCR14U
-14
21+
-R14U
-16U
28
+15
+R16U
R16U
SENSOR
U16
U16熱電対
DMC14
SCR16U
09
22-
-14
26+
+20
-R16U
29
+14D
10
26+
+20
+R14D
R14D
SENSOR
D14
-14D
27-
-19
11
+16D
30
D14熱電対
SCR14D
+R16D
R16D
D16
D16熱電対
SCR16D
-R14D
SENSOR
-16D
27-
-19
-R16D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U15
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R15U
SCR15D
-R13D
05
+15
DMC13
-15U
22
26+
21+
SCR15U
-R13U
02
+13D
+15U
21
U13熱電対
DMC11
SCR13U
SENSOR
13
デジタル調節計13
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(21)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 4 9 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
DC24V
Z24
P24C
DA3
TEMP.CONTROLLER
15000
15
150 20
FROM CMC2
デジタル調節計15
+17U
01
21+
+15
+R17U
R17U
-17U
22-
U17
SG3
21
U17熱電対
DMC15
SCR17U
SENSOR
DB3
-14
13
RDA
-R17U
02
22
11
SDA
14
RDB
12
SDB
15
SG
CMC3
2-
COMMUNICATION CONVERTER
通信変換器
+1
CMC10BCPIA000
FG
TEMP.CONTROLLER
03
23
+17D
04
26+
+20
+R17D
R17D
SENSOR
D17熱電対
SCR17D
-17D
27-
-19
05
D17
+18U
24
16
デジタル調節計16
21+
+R18U
R18U
-18U
SENSOR
U18
U18熱電対
DMC16
SCR18U
-R17D
+15
22-
-14
26+
+20
-R18U
25
DMC10D2TV0300
06
26
+18D
+R18D
R18D
27
08
28
D18
D18熱電対
SCR18D
07
SENSOR
-18D
27-
-19
-R18D
DMC10D2TV0300
TEMP.CONTROLLER
17
デジタル調節計17
09
29
+19U
21+
30
11
31
12
32
+R19U
R19U
-19U
+19D
22-
-14
U19
26+
+20
-R19U
+R19D
R19D
SENSOR
D19
D19熱電対
SCR19D
-19D
13
SENSOR
U19熱電対
DMC17
SCR19U
10
+15
27-
-19
-R19D
33
DMC10D2TV0300
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(22)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 0 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
15100
DC24V
Z24
P24C
18
TEMP.CONTROLLER
151 20
デジタル調節計18
+20U
01
21+
+15
+R20U
R20U
-20U
22-
U20
-14
03
23
04
+20
+R20D
R20D
SENSOR
D20
+22D
D20熱電対
SCR20D
-20D
27-
-19
24
+R22U
R22U
U22熱電対
22-
-14
26+
+20
+R22D
R22D
SENSOR
D22
D22熱電対
-22D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R22D
DMC10D2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
19
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計19
07
21
デジタル調節計21
27
+21U
21+
-21U
08
+15
+R21U
R21U
22-
SENSOR
U21
+23U
U21熱電対
DMC19
SCR21U
-14
21+
-R21U
-23U
28
+15
+R23U
R23U
SENSOR
U23
U23熱電対
DMC21
SCR23U
09
22-
-14
26+
+20
-R23U
29
+21D
10
26+
+20
+R21D
R21D
SENSOR
D21
-21D
27-
-19
11
+23D
30
D21熱電対
SCR21D
+R23D
R23D
D23
D23熱電対
SCR23D
-R21D
SENSOR
-23D
27-
-19
-R23D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U22
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R22U
SCR22D
-R20D
05
+15
DMC20
-22U
22
26+
21+
SCR22U
-R20U
02
+20D
+22U
21
U20熱電対
DMC18
SCR20U
SENSOR
20
デジタル調節計20
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(23)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 1 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
15200
DC24V
Z24
P24C
22
TEMP.CONTROLLER
152 20
デジタル調節計22
+24U
01
21+
+15
+R24U
R24U
-24U
22-
U24
-14
03
23
04
+20
+R24D
R24D
SENSOR
D24
+26D
D24熱電対
SCR24D
-24D
27-
-19
24
+R26U
R26U
U26熱電対
22-
-14
26+
+20
+R26D
R26D
SENSOR
D26
D26熱電対
-26D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R26D
DMC10D2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
23
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計23
07
25
デジタル調節計25
27
+25U
21+
-25U
08
+15
+R25U
R25U
22-
SENSOR
U25
+27U
U25熱電対
DMC23
SCR25U
-14
21+
-R25U
-27U
28
+15
+R27U
R27U
SENSOR
U27
U27熱電対
DMC25
SCR27U
09
22-
-14
26+
+20
-R27U
29
+25D
10
26+
+20
+R25D
R25D
SENSOR
D25
-25D
27-
-19
11
+27D
30
D25熱電対
SCR25D
+R27D
R27D
D27
D27熱電対
SCR27D
-R25D
SENSOR
-27D
27-
-19
-R27D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U26
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R26U
SCR26D
-R24D
05
+15
DMC24
-26U
22
26+
21+
SCR26U
-R24U
02
+24D
+26U
21
U24熱電対
DMC22
SCR24U
SENSOR
24
デジタル調節計24
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(24)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 2 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
TEMP.CONTROLLER
15300
DC24V
Z24
P24C
26
TEMP.CONTROLLER
153 20
デジタル調節計26
+28U
01
21+
+15
+R28U
R28U
-28U
22-
U28
-14
03
23
04
+20
+R28D
R28D
SENSOR
D28
+30D
D28熱電対
SCR28D
-28D
27-
-19
24
+R30U
R30U
U30熱電対
22-
-14
26+
+20
+R30D
R30D
SENSOR
D30
D30熱電対
-30D
DMC10D2TV0300
27-
-19
-R30D
DMC10D2TV0300
26
TEMP.CONTROLLER
27
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計27
07
29
デジタル調節計29
27
+29U
21+
-29U
08
+15
+R29U
R29U
22-
SENSOR
U29
+31U
U29熱電対
DMC27
SCR29U
-14
21+
-R29U
-31U
28
+15
+R31U
R31U
SENSOR
U31
U31熱電対
DMC29
SCR31U
09
22-
-14
26+
+20
-R31U
29
+29D
10
26+
+20
+R29D
R29D
SENSOR
D29
-29D
27-
-19
11
+31D
30
D29熱電対
SCR29D
+R31D
R31D
D31
D31熱電対
SCR31D
-R29D
SENSOR
-31D
27-
-19
-R31D
31
12
32
DMC10D2TV0300
13
DMC10D2TV0300
33
REVISIONS
NO.
U30
25
06
BY
変更者
SENSOR
-R30U
SCR30D
-R28D
05
+15
DMC28
-30U
22
26+
21+
SCR30U
-R28U
02
+28D
+30U
21
U28熱電対
DMC26
SCR28U
SENSOR
28
デジタル調節計28
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(25)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 3 R 6 6 4
DC24V
Z24
P24C
DC24V
Z24
P24C
DA4
15400
154 20
TEMP.CONTROLLER
FROM CMC1
30
DB4
SG4
デジタル調節計30
+32U
01
21+
+15
+R32U
R32U
-32U
22-
U32
21
U32熱電対
DMC30
SCR32U
SENSOR
-14
13
RDA
-R32U
02
22
11
SDA
14
RDB
12
SDB
15
SG
CMC4
2-
COMMUNICATION CONVERTER
通信変換器
+1
CMC10BCPIA000
FG
TEMP.CONTROLLER
03
+40
23
11+
+20
+R33U
R33U
-40
SENSOR
04
27-
-19
-R33U
U33
T40
WATER HEATER 1
DMC31
SSR40
26+
+T40
+15
12-
-14
16+
+20
水ヒーター
-T40
+41
+T41
T41
WATER HEATER 7
-41
25
+42
DMC10D2TV0300
06
26
17-
-19
25+
+21
水ヒーター
-T41
+T42
WATER HEATER 2
+43
27
24-
-22
30+
+26
水ヒーター
-T42
+T43
2
T43
WATER HEATER 3
SSR43
-43
08
7
T42
SSR42
-42
07
1
24
U33熱電対
SSR41
05
29-
水ヒーター
-T43
-27
3
DMC10D4TV0000
28
TEMP.CONTROLLER
+44
09
29
11+
+45
30
+T44
+15
T44
12-
-14
デジタル調節計32
16+
+20
水ヒーター
-T44
+T45
4
T45
WATER HEATER 5
SSR45
-45
11
32
WATER HEATER 4
DMC32
SSR44
-44
10
31
デジタル調節計31
17-
-19
25+
+21
水ヒーター
-T45
5
31
+46
+T46
T46
WATER HEATER 6
SSR46
12
-46
32
+47
13
33
24-
-22
30+
+26
水ヒーター
-T46
+J47
6
J47
WETTER TAPE HEATER 1
SSR47
-47
29-
ウエッターテープヒーター1
-J47
-27
DMC10D4TV0000
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(26)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 4 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24C
15500
+48
11+
+15
+J48
J48
+49
02
33
12-
-14
16+
+20
+56
21
WETTER TAPE HEATER 2
SSR49
-49
17-
-19
25+
+21
+57
22
+J50
J50
+58
WETTER TAPE HEATER 3
SSR50
-50
04
+51
24-
-22
30+
+26
+J51
24
J51
+59
WETTER TAPE HEATER 4
29-
-27
25
16+
+20
配管テープヒーター3(2)
-J56
+J57
J57
17-
-19
25+
+21
配管テープヒーター4(3)
-J57
+J58
J58
24-
-22
30+
+26
配管テープヒーター5(4)
-J58
+J59
J59
BRANCH PIPE TAPE HEATER 6
-59
29-
配管テープヒーター6(5)
-J59
-27
DMC10D4TV0000
26
TEMP.CONTROLLER
+52
11+
+15
+J52
J52
+53
08
34
12-
-14
16+
+20
+60
27
J53
SSR53
-53
17-
-19
+61
28
09
+15
J60
36
デジタル調節計36
BRANCH PIPE TAPE HEATER 7
12-
-14
16+
+20
配管テープヒーター7(5)
-J60
+J61
J61
SSR61
ウエッターテープヒーター6
-J53
+J60
DMC36
-60
WETTER TAPE HEATER 6
11+
SSR60
ウエッターテープヒーター5
-J52
+J53
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計34
WETTER TAPE HEATER 5
DMC34
SSR52
-52
BRANCH PIPE TAPE HEATER 8
-61
17-
-19
25+
+21
配管テープヒーター8(6)
-J61
29
+54
25+
+21
+J54
J54
+62
-54
10
+55
24-
-22
30+
+26
配管テープヒーター1
-J54
+J55
SSR55
-55
29-
-27
-J55
-62
30
+63
31
配管テープヒーター2(7)
13
33
2010.
07.
20
30+
+26
配管テープヒーター9(PURGE)
-J62
+J63
J63
29-
サンプリングテープヒーター1
-J63
-27
DMC10D4TV0000
32
DESCRIPTION 理由
-22
SAMPLING TAPE HEATER 1
-63
12
変更
24-
SSR63
DMC10D4TV0000
REVISIONS
J62
SSR62
J55
BRANCH PIPE TAPE HEATER 2
+J62
BRANCH PIPE TAPE HEATER 9
BRANCH PIPE TAPE HEATER 1
SSR54
GOTO
-14
SSR59
ウエッターテープヒーター4
-J51
06
1
12-
BRANCH PIPE TAPE HEATER 5
-58
DMC10D4TV0000
NO.
BRANCH PIPE TAPE HEATER 3
SSR58
ウエッターテープヒーター3
-J50
SSR51
-51
BY
変更者
デジタル調節計35
23
+50
11
35
BRANCH PIPE TAPE HEATER 4
-57
03
07
J56
SSR57
ウエッターテープヒーター2
-J49
+J56
+15
DMC35
-56
J49
11+
SSR56
ウエッターテープヒーター7
-J48
+J49
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計33
WETTER TAPE HEATER 7
DMC33
SSR48
-48
05
P24C
155 20
TEMP.CONTROLLER
01
DC24V
Z24
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(27)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 5 R 6 6 4
1
DC24V
Z24
P24C
15600
P24C
156 20
TEMP.CONTROLLER
+64
01
DC24V
Z24
11+
+15
+J64
J64
-64
+65
02
12-
-14
16+
+20
11+
J65
+J72
+15
J72
22
12-
-14
-65
17-
-19
16+
+20
+L1
25+
+21
1~5V
サンプリングテープヒーター3
-J65
03
17-
-19
25+
+21
23
04
+J66
J66
+L2
24-
-22
30+
+26
+J67
4~20mA
ウエッターガス1温度
-J66
24
J67
WETTER GAS 7 TEMP.
05
29-
-27
24-
-22
30+
+26
+GC34
4~20mA
29-
-27
26
TEMP.CONTROLLER
11+
+15
+J68
J68
08
12-
-14
16+
+20
TEMP.CONTROLLER
11+
J69
+15
28
4~20mA
12-
-14
16+
+20
-19
+GC36
4~20mA
ウエッターガス3温度
-J69
09
17-
-19
25+
+21
NO.
18 OVEN SAMPLING
N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ
GC35
WETTER GAS 3 TEMP.
17-
40
デジタル調節計40
+GC35
DMC40
27
ウエッターガス2温度
-J68
+J69
38
デジタル調節計38
WETTER GAS 2 TEMP.
DMC38
07
NO.
29 OVEN SAMPLING
N O .2 9 炉 内 サ ン プ リ ン グ
GC36
29
25+
+21
+J70
J70
+GC37
WETTER GAS 4 TEMP.
10
24-
-22
30+
+28
ウエッターガス4温度
-J70
+J71
29-
-27
-J71
1~5V
30
J71
WETTER GAS 5 TEMP.
11
ウエッターガス5温度
32
13
33
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
-22
30+
+28
29-
-27
H2盤圧力
GC37
DMC10D4TV0000
12
REVISIONS
24-
H2 CONTROL PANEL
31
DMC10D4TV0000
GOTO
NO.
6 OVEN SAMPLING
N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ
GC34
DMC10D4TV0000
06
1
O2 ANALYZER
酸素分析計
L2
25
ウエッターガス7温度
-J67
DMC10D4TV0000
NO.
1
H2 ANALYZER
水素分析計
ーL1
WETTER GAS 1 TEMP.
BY
変更者
デジタル調節計39
ウエッターガス6温度
-J72
SAMPLING TAPE HEATER 3
SSR65
39
WETTER GAS 6 TEMP.
DMC39
21
サンプリングテープヒーター2
-J64
+J65
TEMP.CONTROLLER
デジタル調節計37
SAMPLING TAPE HEATER 2
DMC37
SSR64
37
DESCRIPTION
DRAWN
CONTROL
CIRCUIT(28)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 6 R 6 6 4
1
07
08
NO.
BY
変更者
1
GOTO
REVISIONS
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
*注
RS485
11
12
DMC10D2TV0300
35
36
37
38
39
40
DMC10D4TV0000
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
5
DRAWN
6
NORITAKE
7
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
8
DESCRIPTION
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
9
10
TEMP.
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
11
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
10/07/20
GOTO
AMGLE
PROJ.
12
13
14
CONTROLLER
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
4
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
34
DMC10D4TV0000
DMC10D2TV0300
3
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
33
DMC10D4TV0000
DMC10D2TV0300
2
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
32
DMC10D4TV0000
DMC10D2TV0300
1
DMC10D2TV0300
DMC10D2TV0300
31
DMC10D4TV0000
09
DMC10D2TV0300
10
DMC10D2TV0300
05
DMC10D2TV0300
06
DMC10D4TV0000
04
DMC10D2TV0300
RS485
DMC10D4TV0000
CH4
DMC10D2TV0300
RS485
DMC10D4TV0000
03
CH3
CMC15G
DMC10D2TV0300
RS422
CONVERTER
DMC10D4TV0000
COMMUNICATION
DMC10D2TV0300
PLC
DMC10D2TV0300
02
CONTROLLER
CMC10BCP1A000
TEMP.
DMC10D4TV0000
CMC10BCP1A000
01
CMC10BCP1A000
15700
LOOP
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
13
ベース部スイッチ切り離す事。
LOOP
DIVIDE
R664
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 7 R 6 6 4
1
R11H
15800
+/A
+R6U
R6U
+/A
+R13U
R13U
+/A
R20U
+R20U
+/A
+R27U
R27U
~
S11H
CH6
-/B
-R6U
CH13
-/B
-R13U
CH20
-/B
-R20U
CH27
-/B
-R27U
01
GND
02
b
REC1
+/A
DX2030-1-4-1
CH7
-/B
b
+R7U
R7U
-R7U
+/A
CH14
-/B
b
+R14U
R14U
-R14U
+/A
CH21
-/B
b
R21U
+R21U
-R21U
+/A
CH28
-/B
+R28U
R28U
-R28U
03
b
04
+/A
CH1
-/B
+R1U
R1U
-R1U
+/A
CH8
-/B
b
+R8U
R8U
-R8U
+/A
CH15
-/B
b
+R15U
R15U
-R15U
+/A
CH22
-/B
b
R22U
+R22U
-R22U
+/A
CH29
-/B
+R29U
R29U
-R29U
05
b
06
+/A
CH2
-/B
b
+R2U
R2U
-R2U
+/A
CH9
-/B
b
+R9U
R9U
-R9U
+/A
CH16
-/B
b
+R16U
R16U
-R16U
+/A
CH23
-/B
b
R23U
+R23U
-R23U
+/A
CH30
-/B
+R30U
R30U
-R30U
07
b
08
+/A
CH3
-/B
b
+R3U
R3U
-R3U
+/A
CH10
-/B
b
+R10U
R10U
-R10U
+/A
CH17
-/B
b
+R17U
R17U
-R17U
+/A
CH24
-/B
b
R24U
+R24U
-R24U
09
b
10
+/A
CH4
-/B
b
+R4U
R4U
-R4U
+/A
CH11
-/B
b
+R11U
R11U
-R11U
+/A
CH18
-/B
b
+R18U
R18U
-R18U
+/A
CH25
-/B
R25U
+R25U
-R25U
11
b
12
+/A
CH5
-/B
b
+R5U
-R5U
R5U
+/A
CH12
-/B
b
+R12U
-R12U
R12U
+/A
CH19
-/B
b
+R19U
-R19U
R19U
+/A
CH26
-/B
R26U
+R26U
-R26U
13
b
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
b
b
b
DESCRIPTION
DRAWN
TEMP.RECORDER(1)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 8 R 6 6 4
CN1 3P
R11H
15900
+/A
+R17S
R17S
+/A
W7N+
~
S11H
CH6
-/B
-R17S
CH13
-/B
W7Nー
W4H+
+/A
MFCW7N
(MASS FLOW)
CH20
(GAS)
+/A
MFCW4H
W4Hー
-/B
NO.
1
O2 ANALYZER
(MASS FLOW)
CH27
(GAS)
+L4
-/B
ーL4
O2分析計
(OVEN)
01
GND
b
b
b
b
CN1 3P
02
REC2
+/A
DX2040-1-4-1
CH7
-/B
W1N+
+/A
MFCW1N
W1Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH14
-/B
WSN+
WSNー
W7H+
+/A
MFCWSN
(MASS FLOW)
CH21
(GAS)
+/A
MFCW7H
W7Hー
-/B
NO.
2
O2 ANALYZER
(MASS FLOW)
CH28
(AIR)
+L5
-/B
ーL5
O2分析計
(OVEN)
03
b
b
b
b
1
04
+/A
CH1
-/B
+R31U
R31U
-R31U
+/A
CH8
-/B
W2N+
+/A
MFCW2N
W2Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH15
-/B
W1H1+
W1H1ー
WSH+
+/A
MFCW1H-1
(MASS FLOW)
CH22
(GAS)
+/A
MFCWSH
WSHー
-/B
DEW POINT 1
(MASS FLOW)
CH29
(AIR)
+L8
-/B
ーL8
露点計
1
05
b
06
+/A
CH2
-/B
b
+R32U
R32U
-R32U
+/A
CH9
-/B
b
W3N+
+/A
MFCW3N
W3Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH16
-/B
b
b
W1H2+
W1H2ー
W5A+
+/A
MFCW1H-2
(MASS FLOW)
CH23
(GAS)
+/A
MFCW5A
W5Aー
-/B
DEW POINT 2
(MASS FLOW)
CH30
(GAS)
+L9
-/B
ーL9
露点計
2
07
b
08
+/A
CH3
-/B
b
+R33U
R33U
-R33U
+/A
CH10
-/B
b
W4N+
+/A
MFCW4N
W4Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH17
-/B
b
b
W2H1+
W2H1ー
W6A+
+/A
MFCW2H-1
(MASS FLOW)
CH24
(GAS)
+/A
MFCW6A
W6Aー
-/B
NO.
1 ROLLER SPEED
(MASS FLOW)
CH31
(GAS)
+L10
-/B
ーL10
N O .1 ロ ー ラ ス ピ ー ド
09
b
10
+/A
CH4
-/B
b
+R13S
R13S
-R13S
+/A
CH11
-/B
b
W5N+
+/A
MFCW5N
W5Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH18
-/B
b
b
W2H2+
W2H2ー
+L1
+/A
MFCW2Hー2
(MASS FLOW)
(GAS)
+/A
+L11
H2 ANALYZER
CH25
ーL1
-/B
H2分析計
NO.
2 ROLLER SPEED
CH32
(GAS)
-/B
ーL11
N O .2 ロ ー ラ ス ピ ー ド
11
b
12
+/A
CH5
-/B
b
+R15S
-R15S
R15S
+/A
CH12
-/B
b
W6N+
+/A
MFCW6N
W6Nー
(MASS FLOW)
(GAS)
CH19
-/B
b
b
W3H+
W3Hー
+L2
+/A
MFCW3H
(MASS FLOW)
(GAS)
CH26
ーL2
-/B
+/A
+L12
O2 ANALYZER
NO.
3 ROLLER SPEED
O2分析計
N O .3 ロ ー ラ ス ピ ー ド
CH33
(GAS)
-/B
ーL12
13
b
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
b
b
b
R 250Ω
DESCRIPTION
DRAWN
b
TEMP.RECORDER(2)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 5 9 R 6 6 4
1
16000
+/A
+L13
NO.
4 ROLLER SPEED
CH34
-/B
ーL13
N O .4 ロ ー ラ ス ピ ー ド
01
b
02
+/A
+L14
NO.
5 ROLLER SPEED
CH35
-/B
ーL14
N O .5 ロ ー ラ ス ピ ー ド
03
b
04
+/A
+L15
NO.
6 ROLLER SPEED
CH36
-/B
ーL15
N O .6 ロ ー ラ ス ピ ー ド
05
b
1
06
+/A
GC34
NO.
6 OVEN SAMPLING MANOMETER
R 250Ω
CH37
-/B
ーGC34
N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力
07
b
08
+/A
GC35
NO.
18 OVEN SAMPLING MANOMETER
R 250Ω
CH38
-/B
ーGC35
N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力
09
b
10
+/A
GC36
NO.
36 OVEN SAMPLING MANOMETER
R 250Ω
CH39
-/B
ーGC36
N O .3 6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力
11
b
12
+/A
CH40
-/B
13
b
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
TEMP.RECORDER(3)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 0 R 6 6 4
1
R11H
16100
+/A
+K85
K85
+/A
+K92
K92
+/A
K99
+K99
+/A
+K106
K106
~
S11H
CH6
-/B
-K85
CH13
-/B
-K92
CH20
-/B
-K99
CH27
-/B
-K106
01
GND
02
b
REC3
+/A
DX2040-1-4-1
CH7
-/B
b
+K86
K86
-K86
+/A
CH14
-/B
b
+K93
K93
-K93
+/A
CH21
-/B
b
K100
+K100
-K100
+/A
CH28
-/B
+K107
K107
-K107
03
b
04
+/A
CH1
-/B
+K80
K80
-K80
+/A
CH8
-/B
b
+K87
K87
-K87
+/A
CH15
-/B
b
+K94
K94
-K94
+/A
CH22
-/B
b
K101
+K101
-K101
+/A
CH29
-/B
+K108
K108
-K108
05
b
06
+/A
CH2
-/B
b
+K81
K81
-K81
+/A
CH9
-/B
b
+K88
K88
-K88
+/A
CH16
-/B
b
+K95
K95
-K95
+/A
CH23
-/B
b
K102
+K102
-K102
+/A
CH30
-/B
+K109
K109
-K109
07
b
08
+/A
CH3
-/B
b
+K82
K82
-K82
+/A
CH10
-/B
b
+K89
K89
-K89
+/A
CH17
-/B
b
+K96
K96
-K96
+/A
CH24
-/B
b
K103
+K103
-K103
+/A
CH31
-/B
+K110
K110
-K110
09
b
10
+/A
CH4
-/B
b
+K83
K83
-K83
+/A
CH11
-/B
b
+K90
K90
-K90
+/A
CH18
-/B
b
+K97
K97
-K97
+/A
CH25
-/B
b
K104
+K104
-K104
+/A
CH32
-/B
+K111
K111
-K111
11
b
12
+/A
CH5
-/B
b
+K84
-K84
K84
+/A
CH12
-/B
b
+K91
-K91
K91
+/A
CH19
-/B
b
+K98
-K98
K98
+/A
CH26
-/B
b
K105
+K105
-K105
+/A
CH33
-/B
+K112
K112
-K112
13
b
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
b
b
b
b
DESCRIPTION
DRAWN
TEMP.RECORDER(4)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 1 R 6 6 4
16200
+/A
CH34
-/B
01
b
02
+/A
CH35
-/B
03
b
04
+/A
CH36
-/B
05
b
06
+/A
CH37
-/B
07
b
08
+/A
CH38
-/B
09
b
10
+/A
CH39
-/B
11
b
12
+/A
CH40
-/B
13
b
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DESCRIPTION
DRAWN
TEMP.RECORDER(5)
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 2 R 6 6 4
1
SLT.2
SLT.3
SLT.4
SLT.5
SLT.6
SLT.7
SLT.8
SLT.9
QY 41P
QY 41P
QY 41P
QY 42P
Q D75 M4
Q D75 M4
QJ 61B T11
SLT.10
CH1
04
07
SP ARE
FG2
R
110Ω
SG2
R
110Ω
RDA2
06
SLD1
DG1
DA1
DB1
R
05
CH2
SDB
RDB
SDB
RDB
SDA
RDA
SG FGSDA
RDA
SG FG
F
G
SDB2
D
G
SDA2
D
B
S
L
D
RDB2
D
A
SLT.11
QJ 71C 24N -R4
SLT.1
QY 41P
03
SLT.0
QX4 1
Q61 P
02
Q06 QDE HCP U
01
QX4 1
16300
GT15-QC50B
REMOTO I/O
TO CMC1(CMC15G)
各リモ-トI/Oへ
(CCリンク)
CMC1(CMC15G)へ
(AC100V)
G1
08
GT15-QBUS
PROGRAMABLE
TERMINAL
R12
09
タッチパネル
GT1685M-STBA
S12
10
11
12
13
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
DESCRIPTION 理由
DESCRIPTION
DRAWN
PROGRAMABLE CONTROLLER
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
R664
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 3 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
DC24V
Z2 4
P2 4A
DC24V
SLT.0
QX41
OFF
MAN
ON
SS000
X000
164 00
ADVANCE
B20
OFF
AUTO
KSS008
X
0 00
ROLLER ON
X
0 01
ROLLER BACKWARD
X
0 02
ROLLER ROUND TRIP ON
X
0 03
HEATER ON
X
0 04
HEATER OFF
X008
16410
B12
ロ-ラ-運転
X
00 8
MANUAL
X
00 9
AUTO
X
00 A
AUTO START
X
00 B
EMERGENCY CONVEYOR STOP
X
00 C
RESET
X
00 D
LAMP CHECK
X
00 E
GENERATOR TEST ON
手動
BACKWARD
SS001
X001
01
OFF
B19
X009
11
ロ-ラ-後退
B11
自動
PB00A
ON
SS002
X002
02
B18
X00A
12
B10
ロ-ラ-繰り返し
自動起動
PB003
X003
03
B17
PB00B
X00B
13
B9
ヒ-タ-入
搬送停止
PB00C
PB004
X004
04
B16
X00C
14
ヒ-タ-切
PB005
X005
B15
X
0 05
AUTO STOP ON
X00D
15
X006
06
X007
07
B14
B13
OFF
X
0 07
H2 LEAK
NO.
BY
変更者
X001
X 0 02
X0 0 3
X004
X005
X 00 6
X00E
16
B6
自動遮断 切
PB00F
X00F
17
B5
H2リーク
P 24 A
X007
X008
ランプチェック
ON
SS00E
X
0 06
Z 24
X000
B7
自動遮断 入
OFF
PB006
変更
リセット
PB00D
05
REVISIONS
B8
X
00 F
発電機テスト入
GENERATOR OFF
B2
Z2 4
X 0 09
X00A
X00B
X 0 0C
X0 0 D
X00E
X00F
発電機停止
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 4 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
DC24V
Z2 4
P2 4A
DC24V
SLT.0
QX41
INV21
PB018
X010
165 00
A20
X
0 10
GENERATOR ROUND TRIP OFF
EXIT ROLLER C/V
C
16510
A
X018
A12
発電時往復走行解除
X
01 8
INV TROUBLE
X
01 9
INV TROUBLE
X
01 A
INV TROUBLE
出口ローラC/V
INV22
CR1D
X011
01
A19
12 1 06
X
0 11
PRIMARY 1st POWER SOURCE
EXIT PURGE ROOM C/V
C
11
A
X019
A11
常用第1電源確認
出口置換室C/V
INV23
MC2D
X012
02
A18
12 1 12
X
0 12
PRIMARY 2st POWER SOURCE
INV異常
EXIT NO.
1 LIFTER ROLLER
C
12
INV異常
A
常用第2電源確認
X01A
A10
出 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ -
INV異常
THR23
THR23A
EXIT NO.
1 LIFTER ROLLER
CR1G
X013
03
A17
12 1 26
X
0 13
EMERGENCY 1st POWER SOURCE
X01B
THR23B
13
非常用第1電源確認
A9
X
01 B
OVERLOAD
X
01 C
INV TROUBLE
X
01 D
INV TROUBLE
出 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ -
過負荷
THR23C
INV24
MC2G
X014
04
A16
12 1 32
X
0 14
EMERGENCY 2st POWER SOURCE
EXIT TRANSFER C/V
C
14
A
X01C
A8
非常用第2電源確認
出口移送C/V
INV25
CR1M
X015
05
A15
13 9 23
X
0 15
EXIT MASTER ON
EXIT NO.
2 LIFTER ROLLER
C
15
INV異常
A
出口運転準備
X01D
A7
出 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ -
INV異常
THR25
THR25A
EXIT NO.
2 LIFTER ROLLER
CR2M
X016
06
A14
13 9 26
X
0 16
ENT. MASTER ON
X01E
THR25B
16
入口運転準備
A6
X
01 E
OVERLOAD
X
01 F
INV TROUBLE
出 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ -
過負荷
THR25C
INV26
A13
07
X
0 17
17
Z 24
P 24 A
X010
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X011
X 0 12
X0 1 3
X014
X015
X 01 6
C
X017
X018
RETURN ENT. C/V
A
X01F
A5
B1
Z2 4
X 0 19
X01A
X01B
X 0 1C
X0 1 D
X01E
X01F
リターン入口C/V
INV異常
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 5 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
DC24V
Z2 4
P2 4A
DC24V
SLT.1
QX41
INV27
C
166 00
A
X020
X
0 20
INV TROUBLE
A
X021
A
B19
X
0 21
X
02 8
INV TROUBLE
入 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ -
INV異常
ENT. NO.
2 LIFTER ROLLER
INV TROUBLE
X022
B18
11
X
0 22
INV TROUBLE
X023
B17
X
0 23
INV TROUBLE
C
12
B16
13
X025
B15
B10
X02B
B9
THR37
X02C
B8
リターン出口C/V
INV異常
X
0 25
INV TROUBLE
X
02 B
INV TROUBLE
X
02 C
EXIT VACUUM PUMP OVERLOAD
X
02 D
ENT. VACUUM PUMP OVERLOAD
入口置換室C/V
INV異常
入口ローラC/V
INV異常
出口真空ポンプ過負荷
THR38
X02D
15
B7
入 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ -
INV異常
THR32
INV TROUBLE
ENT. ROLLER C/V
A
14
ENT. NO.
1 LIFTER ROLLER
A
X
02 A
入 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ -
過負荷
INV36
INV TROUBLE
INV32
C
X02A
N O .4 リ タ ー ン C / V
INV異常
X
0 24
OVERLOAD
ENT. PURGE ROOM C/V
A
C
RETURN EXIT C/V
X024
A
X
02 9
INV35
N O .3 リ タ ー ン C / V
INV異常
INV31
C
B11
THR34C
NO.
4 RETURN C/V
A
X029
THR34B
N O .2 リ タ ー ン C / V
INV異常
INV30
C
05
B12
THR34
NO.
3 RETURN C/V
C
04
X028
THR34A
INV29
03
16610
A
NO.
2 RETURN C/V
C
02
ENT. NO.
2 LIFTER ROLLER
C
N O .1 リ タ ー ン C / V
INV異常
INV28
01
INV34
NO.
1 RETURN C/V
B20
入口真空ポンプ過負荷
THR32A
ENT. NO.
1 LIFTER ROLLER
X026
THR32B
06
B14
X
0 26
OVERLOAD
INV33
07
X027
B13
X
0 27
NO.
変更
X021
X 0 22
X0 2 3
X024
X025
X 02 6
B6
入口移送C/V
X027
X028
X
02 E
OVERLOAD
出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン 過 負 荷
EXIT NO.
2 COOLING FAN
THR40
INV TROUBLE
X02F
17
B5
INV異常
P 24 A
X020
BY
変更者
16
ENT. TRANSFER C/V
A
Z 24
REVISIONS
X02E
入 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ -
過負荷
THR32C
C
EXIT NO.
1 COOLING FAN
THR39
X
02 F
OVERLOAD
B2
Z2 4
X 0 29
X02A
X02B
X 0 2C
X0 2 D
X02E
X02F
出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン 過 負 荷
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 6 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
DC24V
Z2 4
P2 4A
DC24V
SLT.1
QX41
CR1X
X030
167 00
A20
13 9 04
X
0 30
EMERGENCY STOP
X
0 31
H2 DETECTOR
16710
X038
11
X039
12
X03A
13
X03B
A12
X
03 8
A11
X
03 9
A10
X
03 A
A9
X
03 B
A8
X
03 C
A7
X
03 D
A6
X
03 E
A5
X
03 F
非常停止
UXF031
4
01
5
3
X031
A19
1
水素検出器
P24A
THR41
X032
02
A18
H2 CONTROL PANEL
BLOWER 1 OVERLOAD
X
0 32
H2盤ブロワー1過負荷
THR42
X033
03
04
X034
05
X035
06
X036
07
X037
A17
H2 CONTROL PANEL
BLOWER 2 OVERLOAD
X
0 33
H2盤ブロワー2過負荷
A16
X
0 34
14
X03C
A15
X
0 35
15
X03D
A14
X
0 36
16
X03E
A13
X
0 37
17
X03F
Z 24
P 24 A
X030
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X031
X 0 32
X0 3 3
X034
X035
X 03 6
X037
X038
B1
Z2 4
X 0 39
X03A
X03B
X 0 3C
X0 3 D
X03E
X03F
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (4 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 7 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.2
QY41P
G6B
Y04 0
168 00
B20
G6B
CR
040
Y040
Y 048
CPU RUN
CPU
16810
B12
CR
048
Y048
RUN
G6B
Y04 1
01
B19
Y 049
PHONE
11
B11
CR
049
Y049
警報
G6B
Y04 2
02
B18
Y 04A
PATLITE
12
B10
03
B17
パトライト
Y 04B
GENERATOR ON
B9
13
04
B16
発電機入
Y 04C
GENERATOR START
B8
14
05
B15
発電機自動始動
Y 04D
GENERATOR OFF
B7
15
06
B14
発電機切確認
水ヒーター
4
WATER HEATER 5
水ヒーター
5
G6B
CR
046
Y046
3
WATER HEATER 4
CR
04D
Y04D
G6B
Y04 6
水ヒーター
G6B
CR
045
Y045
2
WATER HEATER 3
CR
04C
Y04C
G6B
Y04 5
水ヒーター
G6B
CR
044
Y044
7
WATER HEATER 2
CR
04B
Y04B
LY4N
Y04 4
水ヒーター
G6B
CR
043
Y043
WATER HEATER 7
CR
04A
Y04A
LY4N
Y04 3
1
G6B
CR
042
Y042
水ヒーター
G6B
CR
041
Y041
WATER HEATER 1
Y 04E
BATTERY CHARGER
B6
16
CR
04E
Y04E
バッテリーチャージャー
WATER HEATER 6
水ヒーター
6
G6B
Y04 7
07
B13
Y 04F
Y047
B5
17
CR
04F
Y04F
WETTER TAPE HEATER 1
ウエッターテープヒーター
1
B2
Z 24
P 24 A
CR040
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
1 3 9 20
CR041
1 39 0 0
C R 04 2
13902
CR 0 4 3
14500
CR044
1 4 50 1
C R 0 45
12 1 0 6
C R0 4 6
14503
CR048
1 1 6 24
CR049
1 16 2 8
Z2 4
C R 04 A
11632
CR04B
11704
CR04C
1 17 0 8
C R 04 D
11712
CR 0 4 E
11724
CR04F
1 1 72 8
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (5 )
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 8 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.2
QY41P
G6B
Y05 0
A2
169 00
A20
G6B
CR
050
Y050
Y 058
WETTER TAPE HEATER 7
ウエッターテープヒーター
16910
A12
CR
058
Y058
7
G6B
Y05 1
01
A19
Y 059
WETTER TAPE HEATER 2
ウエッターテープヒーター
11
A11
CR
059
Y059
2
G6B
Y05 2
02
A18
Y 05A
WETTER TAPE HEATER 3
ウエッターテープヒーター
12
A10
03
A17
3
Y 05B
WETTER TAPE HEATER 4
ウエッターテープヒーター
13
A9
04
A16
4
Y 05C
WETTER TAPE HEATER 5
ウエッターテープヒーター
A8
14
05
A15
5
Y 05D
WETTER TAPE HEATER 6
ウエッターテープヒーター
A7
15
06
A14
配管テープヒーター
7 (5)
6
BRANCH PIPE TAPE HEATER 8
配管テープヒーター
8 (6)
G6B
CR
056
Y056
6 (5)
BRANCH PIPE TAPE HEATER 7
CR
05D
Y05D
G6B
Y05 6
配管テープヒーター
G6B
CR
055
Y055
5 (4)
BRANCH PIPE TAPE HEATER 6
CR
05C
Y05C
G6B
Y05 5
配管テープヒーター
G6B
CR
054
Y054
4 (3)
BRANCH PIPE TAPE HEATER 5
CR
05B
Y05B
G6B
Y05 4
配管テープヒーター
G6B
CR
053
Y053
BRANCH PIPE TAPE HEATER 4
CR
05A
Y05A
G6B
Y05 3
3 (2)
G6B
CR
052
Y052
配管テープヒーター
G6B
CR
051
Y051
BRANCH PIPE TAPE HEATER 3
BRANCH PIPE TAPE HEATER 1
配管テープヒーター
Y 05E
A6
16
CR
05E
Y05E
1
BRANCH PIPE TAPE HEATER 9
配管テープヒーター
9 (PURGE)
G6B
Y05 7
07
A13
CR
057
Y057
Z 24
NO.
BY
変更者
1
GOTO
配管テープヒーター
Y 05F
17
変更
1 1 7 32
CR051
1 18 0 4
C R 05 2
11808
CR 0 5 3
11812
CR054
1 1 82 4
C R 0 55
11 8 2 8
C R0 5 6
11832
CR057
1 1 9 04
CR058
1 19 0 8
A5
Y05F
2 (7)
P 24 A
CR050
REVISIONS
BRANCH PIPE TAPE HEATER 2
Z2 4
C R 05 9
11912
CR05A
11924
CR05B
1 19 2 8
C R 05 C
11932
CR 0 5 D
12004
CR05E
1 2 00 8
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (6 )
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 6 9 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.3
QY41P
G6B
Y06 0
170 00
B20
G6B
CR
060
Y060
Y 068
NFB40H OFF
17010
NFB40H
B12
CR
068
Y068
遮断
G6B
Y06 1
01
B19
Y 069
NFB41H OFF
11
NFB41H
B11
CR
069
Y069
遮断
G6B
Y06 2
02
B18
Y 06A
NFB42H OFF
NFB42H
12
B10
03
B17
遮断
Y 06B
NFB43H OFF
B9
NFB43H
13
04
B16
遮断
Y 06C
NFB44H OFF
B8
NFB44H
14
05
B15
遮断
Y 06D
NFB45H OFF
B7
NFB45H
15
06
B14
遮断
Y 06E
NFB46H OFF
B6
NFB46H
16
07
B13
NFB53H
遮断
遮断
NFB54H OFF
NFB54H
遮断
G6B
CR
067
Y067
遮断
NFB53H OFF
CR
06E
Y06E
G6B
Y06 7
NFB52H
G6B
CR
066
Y066
遮断
NFB52H OFF
CR
06D
Y06D
G6B
Y06 6
NFB51H
G6B
CR
065
Y065
遮断
NFB51H OFF
CR
06C
Y06C
G6B
Y06 5
NFB50H
G6B
CR
064
Y064
遮断
NFB50H OFF
CR
06B
Y06B
G6B
Y06 4
NFB49H
G6B
CR
063
Y063
NFB49H OFF
CR
06A
Y06A
G6B
Y06 3
遮断
G6B
CR
062
Y062
NFB48H
G6B
CR
061
Y061
NFB48H OFF
Y 06F
NFB47H OFF
NFB47H
B5
17
CR
06F
Y06F
遮断
NFB55H OFF
NFB55H
遮断
B2
Z 24
P 24 A
CR060
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
1 1 6 24
CR061
1 16 2 8
C R 06 2
11633
CR 0 6 3
11704
CR064
1 1 70 8
C R 0 65
11 7 1 3
C R0 6 6
11724
CR067
1 1 7 28
CR068
1 17 3 3
Z2 4
C R 06 9
11804
CR06A
11808
CR06B
1 18 1 3
C R 06 C
11824
CR 0 6 D
11828
CR06E
1 1 83 3
P2 4A
C R 0 6F
11 9 0 4
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (7 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 0 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.3
QY41P
G6B
A2
171 00
Y07 0
A20
G6B
CR
070
Y070
Y 078
NFB56H OFF
17110
NFB56H
A12
CR
078
Y078
遮断
01
A19
CR
071
Y071
Y 079
NFB57H OFF
11
NFB57H
A11
CR
079
Y079
遮断
G6B
Y07 2
02
A18
Y 07A
NFB58H OFF
NFB58H
12
A10
03
A17
遮断
Y 07B
NFB59H OFF
NFB59H
13
A9
04
A16
サンプリングテープヒーター1
遮断
SAMPLING TAPE HEATER 2
サンプリングテープヒーター2
G6B
CR
074
Y074
遮断
SAMPLING TAPE HEATER 1
CR
07B
Y07B
G6B
Y07 4
NFB65H
G6B
CR
073
Y073
NFB65H OFF
CR
07A
Y07A
G6B
Y07 3
遮断
G6B
CR
072
Y072
NFB64H
G6B
G6B
Y07 1
NFB64H OFF
Y 07C
NFB60H OFF
NFB60H
14
A8
CR
07C
Y07C
遮断
SAMPLING TAPE HEATER 3
サンプリングテープヒーター3
G6B
Y07 5
05
A15
CR
075
Y075
Y 07D
NFB61H OFF
NFB61H
15
A7
Y07D
A6
Y07E
A5
Y07F
遮断
G6B
Y07 6
06
A14
CR
076
Y076
Y 07E
NFB62H OFF
NFB62H
16
遮断
G6B
Y07 7
07
A13
CR
077
Y077
Z 24
NO.
BY
変更者
NFB63H
17
遮断
P 24 A
CR070
REVISIONS
Y 07F
NFB63H OFF
変更
1 1 9 08
CR071
1 19 1 3
C R 07 2
11924
CR 0 7 3
11928
CR074
1 1 93 3
C R 0 75
12 0 0 4
C R0 7 6
12008
CR077
1 2 0 13
CR078
1 20 2 4
Z2 4
C R 07 9
12028
CR07A
12012
CR07B
1 20 2 3
C R 07 C
12028
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (8 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 1 R 6 6 4
Z 24
P 24A 1M P24 A
Z2 4
P2 4A1 M P 24A
DC24V
DC24V
SLT.4
QY41P
Y08 0
172 00
B20
Y080
(INV21)
EXIT ROLLER C/V
Y 088
10
B12
Y088
(INV25)
出口ロ-ラC/V
Y08 1
01
B19
Y081
(INV21)
EXIT ROLLER C/V LOW
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V
Y 089
11
B11
Y089
(INV25)
出口ロ-ラC/V低速
Y08 2
02
B18
Y082
(INV22)
EXIT PURGE ROOM C/V
Y08 3
B17
Y083
(INV22)
EXIT PURGE ROOM C/V LOW
Y 08A
12
B10
Y08A
(INV26)
Y08 4
B16
Y084
(INV23)
EXIT NO.
1 LIFTER ROLLER C/V
Y 08B
B9
13
Y08B
(INV26)
Y08 5
B15
Y085
(INV23)
EXIT NO.
1
LIFTER ROLLER C/V LOW
Y 08C
B8
14
Y08C
(INV27)
Y08 6
B14
Y086
(INV24)
EXIT TRANSFER C/V
Y 08D
B7
15
Y08D
(INV27)
Y08 7
B13
Y087
(INV24)
EXIT TRANSFER C/V LOW
NO.
1 RETURN C/V LOW
N O .1 リ タ ー ン C / V 低 速
Y 08E
B6
16
Y08E
(INV28)
出口移送C/V
07
NO.
1 RETURN C/V
N O .1 リ タ ー ン C / V
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速
06
RETURN ENT. C/V LOW
リターン入口C/V低速
出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V
05
RETURN ENT. C/V
リターン入口C/V
出口置換室C/V低速
04
EXIT NO.
2
LIFTER ROLLER C/V LOW
出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速
出口置換室C/V
03
EXIT NO.
2 LIFTER ROLLER C/V
NO.
2 RETURN C/V
N O .2 リ タ ー ン C / V
Y 08F
B5
17
Y08F
(INV28)
出口移送C/V低速
NO.
2 RETURN C/V LOW
N O .2 リ タ ー ン C / V 低 速
B2
Z 24
REVISIONS
NO.
BY
変更者
P 24A 1M
変更
P 24 A
Z2 4
P2 4A1 M
DESCRIPTION
P2 4A
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (9 )
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 2 R 6 6 4
Z 24
P 24A 1M P2 4A 2M
Z2 4
P2 4A1 MP 24 A2 M
DC24V
DC24V
SLT.4
QY41P
A2
173 00
Y09 0
A20
Y090
(INV29)
NO.
3 RETURN C/V
Y 098
17310
A12
Y098
(INV33)
N O .3 リ タ ー ン C / V
Y09 1
01
A19
Y091
(INV29)
NO.
3 RETURN C/V LOW
入口移送C/V
Y 099
11
A11
Y099
(INV33)
N O .3 リ タ ー ン C / V 低 速
Y09 2
02
A18
Y092
(INV30)
NO.
4 RETURN C/V
Y09 3
A17
Y093
(INV30)
NO.
4 RETURN C/V LOW
Y 09A
12
A10
Y09A
(INV34)
Y09 4
A16
Y094
(INV31)
RETURN EXIT C/V
Y 09B
13
A9
Y09B
(INV34)
Y09 5
A15
Y095
(INV31)
RETURN EXIT C/V LOW
Y 09C
14
A8
Y09C
(INV35)
Y09 6
A14
Y096
(INV32)
ENT. NO.
1 LIFTER ROLLER C/V
Y 09D
15
A7
Y09D
(INV35)
Y09 7
A13
Y097
(INV32)
ENT. NO.
1
LIFTER ROLLER C/V LOW
Y 09E
16
A6
Y09E
(INV36)
REVISIONS
NO.
BY
変更者
P 24A 1M P2 4A 2M
変更
ENT. ROLLER C/V
入口ロ-ラC/V
Y 09F
17
A5
Y09F
(INV36)
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速
Z 24
ENT. PURGE ROOM C/V LOW
入口置換室C/V低速
入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V
07
ENT. PURGE ROOM C/V
入口置換室C/V
リターン出口C/V低速
06
ENT. NO.
2
LIFTER ROLLER C/V LOW
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速
リターン出口C/V
05
ENT. NO.
2 LIFTER ROLLER C/V
入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V
N O .4 リ タ ー ン C / V 低 速
04
ENT. TRANSFER C/V LOW
入口移送C/V低速
N O .4 リ タ ー ン C / V
03
ENT. TRANSFER C/V
ENT. ROLLER C/V LOW
入口ロ-ラC/V低速
Z2 4
P2 4A1 MP 24 A2 M
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 0)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 3 R 6 6 4
Z 24
P 24A 1MP 24A 2M
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.5
QY41P
MSOD-Q11
Y0A 0
174 00
B20
G6B
MC
37
Y0A0
Y 0A8
EXIT VACUUM PUMP
10
B12
CR
0A8
Y0A8
出口真空ポンプ
MSOD-Q11
Y0A 1
01
B19
Y 0A9
ENT. VACUUM PUMP
11
B11
CR
0A9
Y0A9
入口真空ポンプ
MSOD-Q11
Y0A 2
02
B18
MC
39
Y0A2
03
B17
12
B10
N2ー2 MASS FLOW VALVE
N2-2
CR
0AA
Y0AA
出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン
MC
40
Y0A3
マスフロー用電磁弁
マスフロー用電磁弁
G6B
Y 0AA
EXIT NO.
1 COOLING FAN
MSOD-Q11
Y0A 3
N2-1
G6B
MC
38
Y0A1
N2ー1 MASS FLOW VALVE
N2ー3 MASS FLOW VALVE
N2-3
マスフロー用電磁弁
G6B
Y 0AB
EXIT NO.
2 COOLING FAN
B9
13
CR
0AB
Y0AB
出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン
N2ー4 MASS FLOW VALVE
N2-4
マスフロー用電磁弁
G6B
Y0A 4
04
B16
Y0A4
Y 0AC
EXIT PURGE ROOM C/V BACK
(INV22)
B8
14
CR
0AC
Y0AC
出口置換室C/V後退
MSOD-Q11
Y0A 5
05
B15
MC
41
Y0A5
H2 CONTROL PANEL BLOWER 1
B7
15
CR
0AD
Y0AD
H2盤ブロワー1
06
B14
MC
42
Y0A6
N2-5
マスフロー用電磁弁
G6B
Y 0AD
MSOD-Q11
Y0A 6
N2ー5 MASS FLOW VALVE
N2ー6 MASS FLOW VALVE
N2-6
マスフロー用電磁弁
G6B
H2 CONTROL PANEL BLOWER 2
Y 0AE
B6
16
CR
0AE
Y0AE
H2盤ブロワー2
N2ー7 MASS FLOW VALVE
N2-7
マスフロー用電磁弁
G6B
Y0A 7
07
B13
Y 0AF
Y0A7
B5
17
CR
0AF
Y0AF
N2ーSPARE MASS FLOW VALVE
N2-予備
マスフロー用電磁弁
B2
Z 24
P 24A 1M P2 4A 2M
MC37
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
1 2 9 24
MC38
1 28 1 1
M C 39
12511
MC 4 0
12513
MC41
1 2 82 1
MC42
12 8 2 4
C R0 A 8
13100
CR0A9
1 3 1 01
CR0AA
1 31 0 2
Z2 4
C R 0A B
13103
CR0AC
13104
CR0AD
1 31 0 5
C R 0A E
13106
CR 0 A F
13107
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 1)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 4 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.5
QY41P
G6B
Y0B 0
A2
175 00
A20
G6B
CR
0B0
Y0B0
Y 0B8
H2ー1 MASS FLOW VALVE
H2-1
17510
A12
CR
0B8
Y0B8
マスフロー用電磁弁
G6B
Y0B 1
01
A19
Y 0B9
H2ー2 MASS FLOW VALVE
H2-2
11
A11
CR
0B9
Y0B9
マスフロー用電磁弁
G6B
Y0B 2
02
A18
Y 0BA
H2ー3 MASS FLOW VALVE
H2-3
12
A10
03
A17
マスフロー用電磁弁
Y 0BB
H2ー4 MASS FLOW VALVE
H2-4
13
A9
04
A16
マスフロー用電磁弁
Y 0BC
H2ー7 MASS FLOW VALVE
H2-7
14
A8
05
A15
マスフロー用電磁弁
H2ーSPARE MASS FLOW VALVE
H2-予備
Y 0BD
15
A7
06
A14
ウエッター4
オーバーフロー電磁弁
マスフロー用電磁弁
WETTER 5 OVER FLOW VALVE
ウエッター5
オーバーフロー電磁弁
G6B
CR
0B6
Y0B6
オーバーフロー電磁弁
WETTER 4 OVER FLOW VALVE
CR
0BD
Y0BD
G6B
Y0B 6
ウエッター3
G6B
CR
0B5
Y0B5
オーバーフロー電磁弁
WETTER 3 OVER FLOW VALVE
CR
0BC
Y0BC
G6B
Y0B 5
ウエッター2
G6B
CR
0B4
Y0B4
オーバーフロー電磁弁
WETTER 2 OVER FLOW VALVE
CR
0BB
Y0BB
G6B
Y0B 4
ウエッター7
G6B
CR
0B3
Y0B3
WETTER 7 OVER FLOW VALVE
CR
0BA
Y0BA
G6B
Y0B 3
オーバーフロー電磁弁
G6B
CR
0B2
Y0B2
ウエッター1
G6B
CR
0B1
Y0B1
WETTER 1 OVER FLOW VALVE
Y 0BE
AIRー5 MASS FLOW VALVE
エアー-5
16
A6
CR
0BE
Y0BE
マスフロー用電磁弁
WETTER 6 OVER FLOW VALVE
ウエッター6
オーバーフロー電磁弁
G6B
Y0B 7
07
A13
CR
0B7
Y0B7
Z 24
NO.
BY
変更者
1
GOTO
エアー-6
17
変更
1 3 2 20
CR0B1
1 32 2 1
C R 0B 2
13222
CR 0 B 3
13223
CR0B4
1 3 22 4
C R 0 B5
13 2 2 5
C R0 B 6
13123
CR0B7
1 3 1 24
CR0B8
1 32 0 0
A5
Y0BF
マスフロー用電磁弁
P 24 A
CR0B0
REVISIONS
Y 0BF
AIRー6 MASS FLOW VALVE
Z2 4
C R 0B 9
13201
CR0BA
13202
CR0BB
1 32 0 3
C R 0B C
13204
CR 0 B D
13205
CR0BE
1 3 20 6
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 2)
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 5 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.6
QY42P
MY2N
MY2N
Y0C 0
176 00
1B20
CR
0C0
Y0C0
WETTER 1 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター1
Y 0C8
10
1B12
CR
0C8
Y0C8
給水電磁弁
01
1B19
CR
0C1
Y0C1
Y 0C9
WETTER 1 DRAIN VALVE
ウエッター1
11
1B11
CR
0C9
Y0C9
排水電磁弁
MY2N
Y0C 2
02
1B18
WETTER 7 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター7
Y 0CA
12
1B10
03
1B17
給水電磁弁
Y 0CB
WETTER 7 DRAIN VALVE
ウエッター7
13
1B9
04
1B16
排水電磁弁
WETTER 2 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター2
Y 0CC
14
1B8
05
1B15
ウエッター5
排水電磁弁
給水電磁弁
WETTER 6 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター6
給水電磁弁
MY2N
CR
0C5
Y0C5
給水電磁弁
WETTER 5 DRAIN VALVE
CR
0CC
Y0CC
MY2N
Y0C 5
ウエッター5
MY2N
CR
0C4
Y0C4
排水電磁弁
WETTER 5 WATER SUPPLY VALVE
CR
0CB
Y0CB
MY2N
Y0C 4
ウエッター4
MY2N
CR
0C3
Y0C3
WETTER 4 DRAIN VALVE
CR
0CA
Y0CA
MY2N
Y0C 3
給水電磁弁
MY2N
CR
0C2
Y0C2
ウエッター4
MY2N
MY2N
Y0C 1
WETTER 4 WATER SUPPLY VALVE
Y 0CD
WETTER 2 DRAIN VALVE
ウエッター2
15
1B7
CR
0CD
Y0CD
排水電磁弁
WETTER 6 DRAIN VALVE
ウエッター6
排水電磁弁
MY2N
Y0C 6
06
1B14
CR
0C6
Y0C6
WETTER 3 WATER SUPPLY VALVE
ウエッター3
Y 0CE
16
1B6
Y0CE
1B5
Y0CF
給水電磁弁
MY2N
Y0C 7
07
1B13
CR
0C7
Y0C7
Y 0CF
WETTER 3 DRAIN VALVE
ウエッター3
17
排水電磁弁
1B2
Z 24
P 24 A
CR0C0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
CR0C1
C R 0C 2
CR 0 C 3
CR0C4
C R 0 C5
C R0 C 6
CR0C7
CR0C8
Z2 4
C R 0C 9
CR0CA
CR0CB
C R 0C C
CR 0 C D
1 3 3 00
1 33 0 3
13306
13309
1 3 32 0
13 3 2 3
13326
1 3 3 29
1 34 0 0
13403
13406
1 34 0 9
13420
13423
1 3 3 01
1 33 0 4
13307
13310
1 3 32 1
13 3 2 4
13327
1 3 3 30
1 34 0 1
13404
13407
1 34 1 0
13421
13424
1 3 3 01
1 33 0 4
13307
13310
1 3 32 1
13 3 2 4
13327
1 3 3 30
1 34 0 1
13404
13407
1 34 1 0
13421
13424
1 3 3 02
1 33 0 5
13308
13311
1 3 32 2
13 3 2 5
13328
1 3 3 31
1 34 0 2
13405
13408
1 34 1 1
13422
13425
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 3)
R664
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 6 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.6
QY42P
G6B
1A2
177 00
Y0D 0
1A20
G6B
CR
0D0
Y0D0
Y 0D8
DEW POINT METER 1
露点計
17710
1A12
1
G6B
Y0D 1
01
1A19
Y 0D9
DEW POINT METER 2
露点計
11
1A11
02
1A18
2
Y 0DA
H2 VACUUM PUMP
H2
12
1A10
03
1A17
吸引ポンプ
Y 0DB
O2 VACUUM PUMP
O2
13
1A9
04
1A16
吸引ポンプ
Y 0DC
SIGNAL TOWER(Y)
14
1A8
05
1A15
シグナルタワー(黄)
Y 0DD
SIGNAL TOWER(G)
15
1A7
06
1A14
シグナルタワー(緑)
N2-6マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D6
Y0D6
N2ー6 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DD
Y0DD
G6B
Y0D 6
N2-5マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D5
Y0D5
N2ー5 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DC
Y0DC
G6B
Y0D 5
N2-4マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D4
Y0D4
N2ー4 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DB
Y0DB
G6B
Y0D 4
N2-3マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D3
Y0D3
N2ー3 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DA
Y0DA
G6B
Y0D 3
N2-2マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D2
Y0D2
N2ー2 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0D9
Y0D9
G6B
Y0D 2
N2-1マスフローバイパス用電磁弁
G6B
CR
0D1
Y0D1
N2ー1 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0D8
Y0D8
Y 0DE
SIGNAL TOWER(R)
16
1A6
N2ー7 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DE
Y0DE
シグナルタワー(赤)
N2-7マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0D 7
07
Y 0DF
1A13
17
Z 24
P 24 A
CR0D0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
1 3 8 20
CR0D1
1 38 2 7
C R 0D 2
13800
CR 0 D 3
13806
CR0D4
1 3 90 8
C R 0 D5
13 9 0 9
C R0 D 6
13910
CR0D8
1 3 1 08
CR0D9
1 31 0 9
1A5
Z2 4
C R 0D A
13110
CR0DB
13111
CR0DC
1 31 1 2
C R 0D D
13113
CR 0 D E
13120
CR0DF
1 3 12 1
N2ーSPARE MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0DF
Y0DF
N2-予備マスフローバイパス用電磁弁
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 4)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 7 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.6
QY42P
PL0E8
G6B
Y0E 0
178 00
2B20
H2ー1 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E0
Y0E0
01
2B19
02
2B18
03
2B17
04
2B16
05
Y0E 6
06
Y0E 7
07
2B15
ROUND TRIP
Y
ローラ-繰り返し
Y 0EA
12
2B10
Y0EA
HEATER
G
ヒ-タ-
Y 0EB
13
2B9
Y0EB
AUTO STOP
R
電源自動遮断
Y 0EC
14
2B8
Y0EC
AUTO START
G
自動起動
PL0ED
H2ーSPARE MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E5
Y0E5
Y0E9
H2-7マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0E 5
2B11
PL0EC
H2ー7 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E4
Y0E4
11
H2-4マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0E 4
Y 0E9
PL0EB
H2ー4 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E3
Y0E3
ローラ-運転
H2-3マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0E 3
ROLLER ON
G
PL0EA
H2ー3 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E2
Y0E2
Y0E8
H2-2マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0E 2
2B12
PL0E9
H2ー2 MASS FLOW
BYPASS VALVE
CR
0E1
Y0E1
10
H2-1マスフローバイパス用電磁弁
G6B
Y0E 1
Y 0E8
Y 0ED
15
2B7
Y0ED
GENERATOR TEST ON
Y
H2-予備マスフローバイパス用電磁弁
発電機テスト入
Y 0EE
2B14
Y0E6
16
2B13
Y0E7
17
Y 0EF
2B6
Y0EE
2B5
Y0EF
2B2
Z 24
P 24 A
CR0E0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
1 3 2 26
CR0E1
1 32 2 7
C R 0E 2
13228
CR 0 E 3
13229
CR0E4
1 3 23 0
C R 0 E5
13 2 3 1
Z2 4
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 5)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 8 R 6 6 4
Z 24
P 24 A
Z2 4
P2 4A
DC24V
DC24V
SLT.6
QY42P
SD-Q11
A2
179 00
Y0F 0
2A20
MC
1
Y0F0
NO.
1 ROLLER
Y 0F8
17910
2A12
Y0F8
2A11
Y0F9
2A10
Y0FA
2A9
Y0FB
2A8
Y0FC
2A7
Y0FD
2A6
Y0FE
2A5
Y0FF
N O .1 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 1
01
2A19
MC
2
Y0F1
NO.
2 ROLLER
Y 0F9
11
N O .2 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 2
02
2A18
MC
3
Y0F2
NO.
3 ROLLER
Y 0FA
12
N O .3 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 3
03
2A17
MC
4
Y0F3
NO.
4 ROLLER
Y 0FB
13
N O .4 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 4
04
2A16
MC
5
Y0F4
NO.
5 ROLLER
Y 0FC
14
N O .5 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 5
05
2A15
MC
6
Y0F5
NO.
6 ROLLER
Y 0FD
15
N O .6 ロ ー ラ
SD-Q11
Y0F 6
06
2A14
MC
7
Y0F6
EXIT HOOD C/V
Y 0FE
16
出口フードC/V
SD-Q11
Y0F 7
07
2A13
MC
8
Y0F7
Z 24
NO.
BY
変更者
変更
MC2
1 2 2 01
MC3
1 22 0 8
MC 4
12221
MC5
12228
MC6
1 2 30 1
M C7
12 3 0 8
MC8
12321
Y 0FF
17
入口フードC/V
P 24 A
MC1
REVISIONS
ENT. HOOD C/V
1 2 3 28
Z2 4
P2 4A
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 6)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 7 9 R 6 6 4
EXIT CONTROL PANEL
EXIT CONTROL PANEL
出口中継盤
DC24V
Z 24
P 24 B
出口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B
CH9
AJ65SBTB1-32D
AX500
AX508
X500
180 00
8
X
5 00
EXIT HOOD SHUTTER UP END
X
5 01
EXIT HOOD SHUTTER DOWN END
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X508
18010
16
出口フードシャッター上昇端
AX501
X
5 08
UP END(MANUAL)
出口置換室シャッター上昇端(手動)
AX509
X501
01
9
11
02
OPEN END(UP)
12
03
X
5 03
11
OPEN END(DOWN)
04
X
5 04
12
13
14
X50D
A
15
LOCK OPEN END(UP)
21
X50E
A
16
22
出口置換室シャッターロック開端(上)
AX507
EXIT ROLLER C/V START(L)
出口ローラC/Vスタート(左)
X
5 0C
EXIT ROLLER C/V START(R)
出口ローラC/Vスタート(右)
X
5 0D
EXIT PURGE ROOM TRAY CHECK(L)
出口置換室トレー確認(左)
PH50E
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X506
20
出口置換室シャッター下降端
X
5 06
X
5 0B
出口置換室シャッターロック開端(下)
(手動)
PH50D
DOWN END
AX506
06
X50C
A
14
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X505
19
出口置換室シャッター上昇端
X
5 05
LOCK OPEN END(DOWN)(MANUAL)
PH50C
UP END
AX505
05
X50B
A
13
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X504
18
出口フードシャッターロック開端(下)
AX504
X
5 0A
出口置換室シャッターロック開端(上)
(手動)
PH50B
EXIT HOOD SHUTTER LOCK
X503
LOCK OPEN END(UP)(MANUAL)
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X50A
出口フードシャッターロック開端(上)
AX503
X
5 09
AX50A
EXIT HOOD SHUTTER LOCK
X
5 02
10
17
出口フードシャッター下降端
AX502
X502
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X509
X
5 0E
EXIT PURGE ROOM TRAY CHECK(R)
出口置換室トレー確認(右)
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X507
07
X
5 07
15
PS50F
LOCK OPEN END(DOWN)
X50F
17
23
出口置換室シャッターロック開端(下)
X
5 0F
AIR PRESSER CHECK
エアー圧力確認
(COM)40
C
Z 24
A
入力へ
PH
BK
X500
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
B
Br
P24
Bu
Z24
X501
X 5 02
Z24
PX
BK
P 24 B
R
Bu
X5 0 3
X504
X505
PH
Z24
Z2 4
BK
Br
BK
Br
W
Bu
P24
P2 4B
P24
入力
INPUT
X 50 6
X507
X508
X 5 09
X50A
X50B
X 5 0C
X5 0 D
X50E
X50F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 7)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 0 R 6 6 4
EXIT CONTROL PANEL
EXIT CONTROL PANEL
出口中継盤
DC24V
Z 24
P 24 B
出口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B
CH9
AJ65SBTB1-32D
PH518
AX510
X510
181 00
X
5 10
24
EXIT NO.
1 STOPPER ADVANCE END
X518
C
18110
32
出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 端
X
5 18
EXIT TRANSFER TRAY CHECK 1
出口移送トレイ確認
1
PH519
AX511
X511
01
X
5 11
25
EXIT NO.
1 STOPPER RETURN END
X519
C
11
33
出 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 端
X
5 19
EXIT TRANSFER STOP
出口移送停止
PH51A
AX512
X512
02
EXIT NO.
1 LIFTER
UP END
X
5 12
26
X513
EXIT NO.
1 LIFTER
DOWN END
X
5 13
27
34
出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 端
AX513
03
X51A
C
12
PS51B
X51B
13
35
出 口 N O .1 リ フ タ 下 降 端
RETURN ENT. C/V
TRAY CHECK
X
5 1A
リターン入口C/V
EXIT VACUUM
PRESSUR CHECK(HIGH)
X
5 1B
出口真空圧力確認(高圧)
AX514
X514
04
X
5 14
28
PS51C
EXIT NO.
2 STOPPER ADVANCE END
X51C
14
36
出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進 端
EXIT VACUUM
PRESSUR CHECK(LOW)
X
5 1C
出口真空圧力確認(低圧)
GC41
AX515
X515
05
X
5 15
29
15
X516
EXIT NO.
2 LIFTER
UP END
X
5 16
30
37
出 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退 端
AX516
06
X51D
EXIT NO.
2 STOPPER RETURN END
X51E
16
38
出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 端
トレイ確認
EXIT DIFFERENTIAL
PRESSUR CHECK(HIGH)
X
5 1D
出口差圧確認(高圧)
EXIT DIFFERENTIAL
PRESSUR CHECK(LOW)
X
5 1E
出口差圧確認(低圧)
PH51F
AX517
X517
07
EXIT NO.
2 LIFTER
DOWN END
X
5 17
31
X518
C
17
39
出 口 N O .2 リ フ タ 下 降 端
X
5 1F
EXIT TRANSFER TRAY CHECK 2
出口移送トレイ確認
2
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X510
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X511
X 5 12
X5 1 3
X514
X515
X 51 6
X517
X518
X 5 19
X51A
X51B
X 5 1C
X5 1 D
X51E
X51F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 8)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 1 R 6 6 4
EXIT OPERATION PANEL
EXIT OPERATION PANEL
出口操作盤
Z 24
出口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH10
AJ65SBTB1-32D
SPB528
PB520
X520
182 00
AUTO
8
X
5 20
CONVEYOR STOP
X
5 21
AUTO
X
5 22
EXIT HOOD C/V
X
5 23
EXIT PURGE ROOM C/V
X
5 24
EXIT HOOD SHUTTER UP
UP
DOWN
X528
18210
16
搬送停止
X
5 28
EXIT PURGE ROOM SHUTTER UP
出口置換室シャッター上昇
MANUAL
KSS521
X521
01
9
X529
11
PB522
SPB52A
X522
02
10
17
自動
OPEN
X
5 29
EXIT PURGE ROOM SHUTTER DOWN
出口置換室シャッター下降
CLOSE
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X52A
12
18
出口フードC/V
X
5 2A
LOCK OPEN
出口置換室シャッターロック開
PB523
EXIT PURGE ROOM SHUTTER
X523
03
SPB524
UP
11
X52B
13
出口置換室C/V
X524
12
14
X525
05
13
20
X
5 2C
21
X
5 2D
出口フードシャッター上昇
SPB52D
OPEN
X
5 2B
LOCK CLOSE
出口置換室シャッターロック閉
DOWN
04
SPB526
19
X
5 25
EXIT HOOD SHUTTER DOWN
X
5 26
EXIT HOOD SHUTTER LOCK OPEN
ADVANCE RETURN
X52D
15
出口フードシャッター下降
EXIT NO.
1 STOPPER ADVANCE
出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進
CLOSE
X526
06
14
X52E
16
22
出口フードシャッターロック開
X
5 2E
EXIT NO.
1 STOPPER RETURN
出 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退
PB52F
X527
07
X
5 27
15
X52F
EXIT HOOD SHUTTER LOCK CLOSE
17
23
出口フードシャッターロック閉
X
5 2F
EXIT TRANSFER C/V
出口移載C/V
(COM)40
Z 24
P 24 B
X520
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X521
X 5 22
X5 2 3
X524
X525
X 52 6
X527
X528
Z2 4
X 5 29
X52A
X52B
X 5 2C
X5 2 D
X52E
P2 4B
X52F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 9)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 2 R 6 6 4
EXIT OPERATION PANEL
EXIT OPERATION PANEL
出口操作盤
Z 24
出口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH10
AJ65SBTB1-32D
SPB530
UP
DOWN
PB538
X530
183 00
X531
01
SPB532
24
25
X
5 30
EXIT NO.
1 LIFTER UP
X
5 31
EXIT NO.
1 LIFTER DOWN
X
5 32
EXIT NO.
2 STOPPER ADVANCE
X
5 33
EXIT NO.
2 STOPPER RETURN
X
5 34
EXIT NO.
2 LIFTER UP
X
5 35
EXIT NO.
2 LIFTER DOWN
X
5 36
EXIT NO.
2 ROLLER
X
5 37
RETURN ENT. C/V
X538
18310
32
出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇
PB539
X539
11
33
出 口 N O .1 リ フ タ 下 降
X
5 38
RETURN C/V ON
リターンC/V運転
X
5 39
RETURN C/V OFF
リターンC/V停止
ADVANCE RETURN
X532
02
X533
03
SPB534
UP
26
27
12
34
X
5 3A
13
35
X
5 3B
14
36
X
5 3C
15
37
X
5 3D
16
38
X
5 3E
17
39
X
5 3F
出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進
出 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退
DOWN
X534
04
X535
05
28
29
出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇
出 口 N O .2 リ フ タ 下 降
PB536
X536
06
30
出 口 N O .2 ロ - ラ
PB537
X537
07
31
リターン入口C/V
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X530
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X531
X 5 32
X5 3 3
X534
X535
X 53 6
X537
X538
X 5 39
X53A
X53B
X 5 3C
X5 3 D
X53E
X53F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 0)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 3 R 6 6 4
EXIT OPERATION PANEL
EXIT OPERATION PANEL
出口操作盤
Z 24
出口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH11
AJ65SBTB1-32D
PB540
SPB548
X540
184 00
8
X
5 40
EXIT EXHAUST
X
5 41
EXIT LARGE PURGE
X
5 42
EXIT SMALL PURGE
X
5 43
EXIT VACUUM OPEN
X
5 44
EXIT VACUUM CLOSE
X
5 45
EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN
X
5 46
EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE
ON
OFF
X548
18410
16
出口排気
X
5 48
EXIT VACUUM PUMP ON
出口真空ポンプ入
PB541
X541
01
9
X549
11
17
出口大流量打込み
X
5 49
EXIT VACUUM PUMP OFF
出口真空ポンプ切
PB542
X542
02
SPB543
OPEN
X543
X544
04
OPEN
12
18
X
5 4A
13
19
X
5 4B
14
20
X
5 4C
15
21
X
5 4D
16
22
X
5 4E
17
23
X
5 4F
出口小流量打込み
CLOSE
03
SPB545
10
11
12
出口吸引開
出口吸引閉
CLOSE
X545
05
X546
06
13
14
出口真空破壊閉
X
5 47
15
07
出口真空破壊開
(COM)40
Z 24
P 24 B
X540
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X541
X 5 42
X5 4 3
X544
X545
X 54 6
X547
X548
Z2 4
X 5 49
X54A
X54B
X 5 4C
X5 4 D
X54E
P2 4B
X54F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 1)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 4 R 6 6 4
EXIT OPERATION PANEL
EXIT OPERATION PANEL
出口操作盤
Z 24
出口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH11
AJ65SBTB1-32D
185 00
24
X
5 50
18510
32
X
5 58
01
25
X
5 51
11
33
X
5 59
02
26
X
5 52
12
34
X
5 5A
03
27
X
5 53
13
35
X
5 5B
04
28
X
5 54
14
36
X
5 5C
05
29
X
5 55
15
37
X
5 5D
06
30
X
5 56
16
38
X
5 5E
07
31
X
5 57
17
39
X
5 5F
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X550
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X551
X 5 52
X5 5 3
X554
X555
X 55 6
X557
X558
X 5 59
X55A
X55B
X 5 5C
X5 5 D
X55E
X55F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 2)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 5 R 6 6 4
EXIT CONTROL PANEL
EXIT CONTROL PANEL
出口中継盤
DC24V
Z 24
P 24B 1M P24 B
出口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B1 M P 24B
CH12
AJ65SBTB1-32T
Y56 0
186 00
SOL560
8
Y560
EXIT EXHAUST
Y 568
18610
SOL568
16
Y568
EXIT HOOD SHUTTER UP
出口排気
Y56 1
01
出口フードシャッター上昇
SOL561
9
Y561
EXIT LARGE PURGE
Y 569
11
SOL569
17
Y569
EXIT HOOD SHUTTER DOWN
出口大流量打込み
Y56 2
02
出口フードシャッター下降
SOL562
10
Y562
EXIT SMALL PURGE
Y 56A
12
SOL56A
18
Y56A
EXIT HOOD SHUTTER LOCK
出口小流量打込み
出口フードシャッターロック
G6B
Y56 3
03
11
CR
563
Y563
EXIT VACUUM OPEN
Y 56B
13
SOL56B
19
Y56B
EXIT PURGE ROOM SHUTTER UP
出口吸引開
出口置換室シャッター上昇
G6B
Y56 4
04
12
CR
564
Y564
EXIT VACUUM CLOSE
Y 56C
14
SOL56C
20
Y56C
EXIT PURGE ROOM SHUTTER DOWN
出口吸引閉
出口置換室シャッター下降
G6B
Y56 5
05
13
CR
565
Y565
EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN
Y 56D
15
SOL56D
21
Y56D
EXIT PURGE ROOM SUTTER LOCK
出口真空破壊開
出口置換室シャッターロック
G6B
Y56 6
06
Y56 7
07
14
CR
566
Y566
CR563
NO.
BY
変更者
1 3 7 20
16
Y 56F
CR564
1 37 2 1
C R 56 5
13722
CR 5 6 6
13723
SOL56E
22
Y56E
EXIT NO.
1 STOPPER ADVANCE
出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進
17
P 24B 1M
変更
Y 56E
出口真空破壊閉
15
Z 24
REVISIONS
EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE
P 24 B
23
P2 4B1 M
Z2 4
DESCRIPTION
P2 4B
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 3)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 6 R 6 6 4
EXIT CONTROL PANEL
EXIT CONTROL PANEL
出口中継盤
DC24V
Z 24
P 24B 1M P24 B
出口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B1 M P 24B
CH12
AJ65SBTB1-32T
Y57 0
187 00
SOL570
24
Y570
EXIT NO.
1 LIFTER UP
Y 578
18710
32
出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇
Y57 1
01
SOL571
25
Y571
EXIT NO.
1 LIFTER DOWN
Y 579
11
33
出 口 N O .1 リ フ タ 下 降
Y57 2
02
SOL572
26
Y572
EXIT NO.
2 STOPPER ADVANCE
Y 57A
12
34
出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進
Y57 3
03
Y57 4
04
Y 57B
27
13
SOL574
28
Y574
EXIT NO.
2 LIFTER UP
Y 57C
14
35
36
出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇
Y57 5
05
SOL575
29
Y575
EXIT NO.
2 LIFTER DOWN
Y 57D
15
37
出 口 N O .2 リ フ タ 下 降
Y57 6
06
SOL576
30
Y576
EXIT PURGE ROOM VALVE OPEN
Y 57E
16
38
出口置換室差圧電磁弁開
Y57 7
07
Y 57F
31
17
39
40
41(COM)
7(24G) (+24V)5
DA1
(DA)1
P 24B 1M
6(FG)
P 24 B
DB1
(DB)2
E
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
P2 4B1 M
DG1
(DG)3
P2 4B
SLD1
(SLD)4
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 4)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 7 R 6 6 4
ENT. CONTROL PANEL
ENT. CONTROL PANEL
入口中継盤
DC24V
Z 24
P 24 B
入口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B
CH13
AJ65SBTB1-32D
PH580
X580
C
188 00
AX588
RETURN C/V
TRAY CHECK
X
5 80
8
リターンC/V
X588
18810
PH581
X581
C
01
リターン出口C/V
X589
11
ENT. NO.
2 STOPPER UP END
X
5 89
ENT. NO.
2 STOPPER DOWN END
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 上 昇 端
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 下 降 端
AX58A
X582
C
X
5 82
10
ENT. TRANSFER TRAY CHECK
X58A
12
C
11
ENT. NO.
2 LIFTER
UP END
X
5 8A
入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 端
AX58B
ENT. TRANSFER
X583
18
入口移送トレイ確認
PH583
03
17
トレイ確認
PH582
02
X
5 88
AX589
RETURN EXIT C/V
TRAY CHECK
X
5 81
9
16
トレイ確認
X
5 83
MEDIUM TRAY CHECK
X
5 84
ENT. NO.
1 STOPPER ADVANCE END
X
5 85
ENT. NO.
1 STOPPER RETURN END
X58B
13
19
入口移送中間トレイ確認
AX584
ENT. NO.
2 LIFTER
DOWN END
X
5 8B
入 口 N O .2 リ フ タ 下 降 端
AX58C
X584
04
12
X58C
14
20
入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 端
AX585
X
5 8C
ENT. NO.
3 STOPPER ADVANCE END
X
5 8D
ENT. NO.
3 STOPPER RETURN END
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 前 進 端
AX58D
X585
05
13
06
X587
07
22
ENT. NO.
3 LIFTER
UP END
X
5 8E
入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇 端
AX58F
ENT. NO.
1 LIFTER
DOWN END
X
5 87
15
X58E
16
入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 端
AX587
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 後 退 端
AX58E
ENT. NO.
1 LIFTER
UP END
X
5 86
14
21
入 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 端
AX586
X586
X58D
15
X58F
17
23
入 口 N O .1 リ フ タ 下 降 端
ENT. NO.
3 LIFTER
DOWN END
X
5 8F
入 口 N O .3 リ フ タ 下 降 端
(COM)40
C
Z 24
A
入力へ
PH
BK
X580
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
B
Br
P24
Bu
Z24
X581
X 5 82
Z24
PX
BK
P 24 B
R
Bu
X5 8 3
X584
X585
PH
Z24
Z2 4
BK
Br
BK
Br
W
Bu
P24
P2 4B
P24
INPUT
X 58 6
X587
INPUT
X588
X 5 89
X58A
X58B
X 5 8C
X5 8 D
X58E
X58F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 5)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 8 R 6 6 4
ENT. CONTROL PANEL
ENT. CONTROL PANEL
入口中継盤
DC24V
Z 24
P 24 B
入口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B
CH13
AJ65SBTB1-32D
PH590
X590
C
189 00
PH598
ENT. TRANSFER
24
X
5 90
TRAY SEPARATE CHECK
X
5 91
ENT. STOPPER CHECK
X
5 92
ENT. TRANSFER STOP
X
5 93
ENT. PURGE ROOM TRAY CHECK(L)
X
5 94
ENT. PURGE ROOM TRAY CHECK(R)
X
5 95
ENT. ROLLER C/V STOP(L)
X
5 96
ENT. ROLLER C/V STOP(R)
PH591
25
11
26
UP END
入口置換室シャッター上昇端
12
34
入口移送停止
X
5 9A
DOWN END
入口置換室シャッター下降端
27
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59B
13
35
入口置換室トレー確認(左)
X
5 9B
LOCK OPEN END(UP)
入口置換室シャッターロック開端(上)
AX59C
X594
A
28
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59C
14
36
入口置換室トレー確認(右)
PH595
X
5 9C
LOCK OPEN END(DOWN)
入口置換室シャッターロック開端(下)
AX59D
X595
A
29
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59D
15
37
入口ローラC/V停止(左)
PH596
X
5 9D
UP END(MANUAL)
入口置換室シャッター上昇端(手動)
AX59E
X596
A
30
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59E
16
38
入口ローラC/V停止(右)
PH597
X
5 9E
LOCK OPEN END(UP)(MANUAL)
X
5 9F
LOCK OPEN END(DOWN)(MANUAL)
入口置換室シャッターロック開端(上)
(手動)
AX59F
X597
A
07
X
5 99
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59A
PH594
06
入口ローラC/Vスタート(右)
AX59B
X593
A
05
33
入口ストッパ検知
PH593
04
ENT. ROLLER C/V START(R)
AX59A
X592
A
03
X
5 98
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X599
PH592
02
32
AX599
X591
C
01
X598
A
18910
入口移送分離トレイ確認
X
5 97
31
ENT. ROLLER C/V START(L)
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X59F
17
39
入口ローラC/Vスタート(左)
(COM)41
入口置換室シャッターロック開端(下)
(手動)
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X590
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X591
X 5 92
X5 9 3
X594
X595
X 59 6
X597
X598
X 5 99
X59A
X59B
X 5 9C
X5 9 D
X59E
X59F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 6)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 8 9 R 6 6 4
ENT. CONTROL PANEL
ENT. CONTROL PANEL
入口中継盤
DC24V
Z 24
P 24 B
入口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B
CH14
AJ65SBTB1-32D
PH5A8
AX5A0
X5A0
190 00
8
X
5 A0
ENT. FOOD SHUTTER UP END
X
5 A1
ENT. FOOD SHUTTER DOWN END
X5A8
C
19010
16
入口フードシャッター上昇端
RETURN C/V
TRAY CHECK
X
5 A8
リターンC/V
トレイ確認
AX5A1
X5A1
01
9
11
17
X
5 A9
12
18
X
5 AA
13
19
X
5 AB
14
20
X
5 AC
15
21
X
5 AD
16
22
X
5 AE
17
23
X
5 AF
入口フードシャッター下降端
AX5A2
ENT. FOOD SHUTTER LOCK
X5A2
02
X
5 A2
10
OPEN END(UP)
入口フードシャッターロック開端(上)
AX5A3
ENT. FOOD SHUTTER LOCK
X5A3
03
PS5A4
X5A4
04
PS5A5
X5A5
05
X
5 A3
11
OPEN END(DOWN)
入口フードシャッターロック開端(下)
ENT. VACUUM
PRESSUR CHECK(HIGH)
X
5 A4
12
入口真空圧力確認(高圧)
ENT. VACUUM
PRESSUR CHECK(LOW)
X
5 A5
13
入口真空圧力確認(高圧)
GC42
X5A6
06
X5A7
07
ENT. DIFFERENTIAL
PRESSUR CHECK(HIGH)
X
5 A6
14
入口差圧確認(高圧)
ENT. DIFFERENTIAL
PRESSUR CHECK(LOW)
X
5 A7
15
入口差圧確認(低圧)
(COM)40
C
Z 24
A
入力へ
PH
BK
X5A0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
B
Br
P24
Bu
Z24
X5A1
X 5 A2
Z24
PX
BK
P 24 B
R
Bu
X5 A 3
X5A4
X5A5
PH
Z24
Z2 4
BK
Br
BK
Br
W
Bu
P24
P2 4B
P24
INPUT
X 5A 6
X5A7
INPUT
X5A8
X 5 A9
X5AA
X5AB
X 5 AC
X5 A D
X5AE
X5AF
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 7)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 0 R 6 6 4
ENT. OPERATION PANEL
ENT. OPERATION PANEL
入口操作盤
Z 24
入口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH14
AJ65SBTB1-32D
191 00
24
X
5 B0
19110
32
X
5 B8
01
25
X
5 B1
11
33
X
5 B9
02
26
X
5 B2
12
34
X
5 BA
03
27
X
5 B3
13
35
X
5 BB
04
28
X
5 B4
14
36
X
5 BC
05
29
X
5 B5
15
37
X
5 BD
06
30
X
5 B6
16
38
X
5 BE
07
31
X
5 B7
17
39
X
5 BF
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X5B0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X5B1
X 5 B2
X5 B 3
X5B4
X5B5
X 5B 6
X5B7
X5B8
X 5 B9
X5BA
X5BB
X 5 BC
X5 B D
X5BE
X5BF
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 8)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 1 R 6 6 4
ENT. OPERATION PANEL
ENT. OPERATION PANEL
入口操作盤
Z 24
入口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH15
AJ65SBTB1-32D
SPB5C8
PB5C0
X5C0
192 00
AUTO
8
X
5 C0
CONVEYOR STOP
X
5 C1
AUTO
X
5 C2
RETURN C/V ON
X
5 C3
RETURN C/V OFF
X
5 C4
RETURN ENT. C/V
X
5 C5
BREAK TIME ON
DOWN
X5C8
19210
16
搬送停止
X
5 C8
ENT. NO.
1 LIFTER UP
入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇
MANUAL
KSS5C1
X5C1
01
9
X5C9
11
SPB5CA
X5C2
02
PB5C3
X5C3
03
10
11
X5CA
04
OFF
18
リターンC/V運転
X5CB
13
19
リターンC/V停止
SPB5CC
12
X
5 C9
ENT. NO.
1 LIFTER DOWN
入 口 N O .1 リ フ タ 下 降
ADVANCE RETURN
12
PB5C4
X5C4
17
自動
PB5C2
UP
X
5 CA
ENT. NO.
2 STOPPER ADVANCE
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進
X
5 CB
ENT. NO.
2 STOPPER RETURN
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退
DOWN
X5CC
14
20
リターン入口C/V
X
5 CC
ENT. NO.
2 LIFTER UP
入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇
ON
SS5C5
X5C5
05
SPB5C6
UP
13
ブレークタイム
休憩時間
X5CD
15
入
ADVANCE RETURN
SPB5CE
X5C6
06
X5C7
07
14
15
21
X
5 C6
ENT. NO.
1 STOPPER ADVANCE
X
5 C7
ENT. NO.
1 STOPPER RETURN
X
5 CD
ENT. NO.
2 LIFTER DOWN
入 口 N O .2 リ フ タ 下 降
ADVANCE RETURN
X5CE
16
22
入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進
X5CF
17
23
入 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退
X
5 CE
ENT. NO.
3 STOPPER ADVANCE
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 前 進
X
5 CF
ENT. NO.
3 STOPPER RETURN
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 後 退
(COM)40
Z 24
P 24 B
X5C0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X5C1
X 5 C2
X5 C 3
X5C4
X5C5
X 5C 6
X5C7
X5C8
Z2 4
X 5 C9
X5CA
X5CB
X 5 CC
X5 C D
X5CE
P2 4B
X5CF
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 9)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 2 R 6 6 4
ENT. OPERATION PANEL
ENT. OPERATION PANEL
入口操作盤
Z 24
入口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH15
AJ65SBTB1-32D
SPB5D0
UP
DOWN
SPB5D8
X5D0
193 00
24
X
5 D0
ENT. NO.
3 LIFTER UP
X
5 D1
ENT. NO.
3 LIFTER DOWN
X
5 D2
ENT. TRANSFER C/V
X
5 D3
ENT. NO.
2 ROLLER
X
5 D4
ENT. PURGE ROOM C/V
X
5 D5
ENT. HOOD C/V
OPEN
CLOSE
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X5D8
19310
32
入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇
X
5 D8
LOCK OPEN
入口置換室シャッターロック開
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
X5D1
01
25
X5D9
11
入 口 N O .3 リ フ タ 下 降
PB5D2
SPB5DA
X5D2
02
26
33
UP
X
5 D9
LOCK CLOSE
入口置換室シャッターロック閉
DOWN
X5DA
12
34
入口移載C/V
X
5 DA
ENT. HOOD SHUTTER UP
入口フードシャッター上昇
PB5D3
X5D3
03
27
X5DB
13
入 口 N O .2 ロ - ラ
PB5D4
SPB5DC
X5D4
04
28
35
OPEN
X
5 DB
ENT. HOOD SHUTTER DOWN
入口フードシャッター下降
CLOSE
X5DC
14
36
入口置換室C/V
X
5 DC
ENT. HOOD SHUTTER LOCK OPEN
入口フードシャッターロック開
PB5D5
X5D5
05
SPB5D6
UP
29
X5DD
15
37
入口フードC/V
DOWN
X
5 DD
ENT. HOOD SHUTTER LOCK CLOSE
入口フードシャッターロック閉
PB5DE
X5D6
06
X
5 D6
30
ENT. PURGE ROOM SHUTTER UP
X5DE
16
38
入口置換室シャッター上昇
X
5 DE
ENT. EXHAUST
入口排気
PB5DF
X5D7
07
X
5 D7
31
X5DF
ENT. PURGE ROOM SHUTTER DOWN
17
39
入口置換室シャッター下降
X
5 DF
ENT. LARGE PURGE
入口大流量打込み
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X5D0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X5D1
X 5 D2
X5 D 3
X5D4
X5D5
X 5D 6
X5D7
X5D8
X 5 D9
X5DA
X5DB
X 5 DC
X5 D D
X5DE
X5DF
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 0)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 3 R 6 6 4
ENT. OPERATION PANEL
ENT. OPERATION PANEL
入口操作盤
Z 24
入口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH16
AJ65SBTB1-32D
PB5E0
X5E0
194 00
SPB5E1
OPEN
X5E1
X5E2
02
OPEN
X5E3
X5E4
04
ON
ENT. SMALL PURGE
19410
16
X
5 E8
X
5 E1
ENT. VACUUM OPEN
11
17
X
5 E9
X
5 E2
ENT. VACUUM CLOSE
12
18
X
5 EA
X
5 E3
ENT. VACUUM BREAKDOWN OPEN
13
19
X
5 EB
X
5 E4
ENT. VACUUM BREAKDOWN CLOSE
14
20
X
5 EC
X
5 E5
ENT. VACUUM PUMP ON
15
21
X
5 ED
X
5 E6
ENT. VACUUM PUMP OFF
16
22
X
5 EE
17
23
X
5 EF
入口小流量打込み
9
10
入口吸引開
入口吸引閉
CLOSE
03
SPB5E5
X
5 E0
CLOSE
01
SPB5E3
8
11
12
入口真空破壊開
入口真空破壊閉
OFF
X5E5
05
X5E6
06
13
14
入口真空ポンプ切
X
5 E7
15
07
入口真空ポンプ入
(COM)40
Z 24
P 24 B
X5E0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X5E1
X 5 E2
X5 E 3
X5E4
X5E5
X 5E 6
X5E7
X5E8
Z2 4
X 5 E9
X5EA
X5EB
X 5 EC
X5 E D
X5EE
P2 4B
X5EF
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 1)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 4 R 6 6 4
ENT. OPERATION PANEL
ENT. OPERATION PANEL
入口操作盤
Z 24
入口操作盤
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH16
AJ65SBTB1-32D
195 00
24
X
5 F0
19510
32
X
5 F8
01
25
X
5 F1
11
33
X
5 F9
02
26
X
5 F2
12
34
X
5 FA
03
27
X
5 F3
13
35
X
5 FB
04
28
X
5 F4
14
36
X
5 FC
05
29
X
5 F5
15
37
X
5 FD
06
30
X
5 F6
16
38
X
5 FE
07
31
X
5 F7
17
39
X
5 FF
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X5F0
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X5F1
X 5 F2
X5 F 3
X5F4
X5F5
X 5F 6
X5F7
X5F8
X 5 F9
X5FA
X5FB
X 5 FC
X5 F D
X5FE
X5FF
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 2)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 5 R 6 6 4
ENT. CONTROL PANEL
ENT. CONTROL PANEL
入口中継盤
DC24V
Z 24
P 24B 2M P24 B
入口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B2 M P 24B
CH17
AJ65SBTB1-32T
Y60 0
196 00
0
SOL600
8
Y600
ENT. EXHAUST
Y 608
19610
SOL608
16
Y608
ENT. NO.
1 STOPPER ADVANCE
入口排気
Y60 1
01
入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進
SOL601
9
Y601
Y 609
ENT. LARGE PURGE
11
17
入口大流量打込み
Y60 2
02
SOL602
10
Y602
Y 60A
ENT. SMALL PURGE
12
SOL60A
18
Y60A
ENT. NO.
1 LIFTER UP
入口小流量打込み
入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇
G6B
Y60 3
03
11
CR
603
Y603
ENT. VACUUM OPEN
5
Y 60B
13
SOL60B
19
Y60B
ENT. NO.
1 LIFTER DOWN
入口吸引開
入 口 N O .1 リ フ タ 下 降
G6B
Y60 4
04
12
CR
604
Y604
ENT. VACUUM CLOSE
05
13
CR
605
Y605
06
Y60 7
07
14
CR
606
Y606
SOL60C
20
Y60C
ENT. NO.
2 STOPPER UP
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 上 昇
5
ENT. VACUUM BREAKDOWN OPEN
Y 60D
15
SOL60D
21
Y60D
ENT. NO.
2 STOPPER DOWN
入口真空破壊開
G6B
Y60 6
Y 60C
14
入口吸引閉
G6B
Y60 5
5
入 口 N O .2 ス ト ッ パ 下 降
5
ENT. VACUUM BREAKDOWN CLOSE
Y 60E
16
SOL60E
22
Y60E
ENT. NO.
2 LIFTER UP
入口真空破壊閉
入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇
Y 60F
15
17
SOL60F
23
Y60F
ENT. NO.
2 LIFTER DOWN
入 口 N O .2 リ フ タ 下 降
P 24B 2M
Z 24
CR603
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
1 3 7 28
CR604
1 37 2 9
C R 60 5
13730
CR 6 0 6
13731
P 24 B
P2 4B2 M
Z2 4
DESCRIPTION
P2 4B
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 3)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 6 R 6 6 4
ENT. CONTROL PANEL
ENT. CONTROL PANEL
入口中継盤
DC24V
Z 24
P 24B 2M P24 B
入口中継盤
DC24V
Z2 4
P2 4B2 M P 24B
CH17
AJ65SBTB1-32T
Y61 0
197 00
SOL610
24
Y610
ENT. NO.
3 STOPPER UP
Y 618
19710
SOL618
32
Y618
ENT. HOOD SHUTTER UP
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 上 昇
Y61 1
01
入口フードシャッター上昇
SOL611
25
Y611
ENT. NO.
3 STOPPER DOWN
Y 619
11
SOL619
33
Y619
ENT. HOOD SHUTTER DOWN
入 口 N O .3 ス ト ッ パ 下 降
Y61 2
02
入口フードシャッター下降
SOL612
26
Y612
ENT. NO.
3 LIFTER UP
Y 61A
12
SOL61A
34
Y61A
ENT. HOOD SHUTTER LOCK
入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇
Y61 3
03
入口フードシャッターロック
SOL613
27
Y613
ENT. NO.
3 LIFTER DOWN
Y 61B
13
SOL61B
35
Y61B
ENT. PURGE ROOM VALVE OPEN
入 口 N O .3 リ フ タ 下 降
Y61 4
04
入口置換室差圧電磁弁開
SOL614
28
Y614
ENT. PURGE ROOM SHUTTER UP
Y 61C
14
36
入口置換室シャッター上昇
Y61 5
05
SOL615
29
Y615
Y 61D
ENT. PURGE ROOM SHUTTER DOWN
15
37
入口置換室シャッター下降
Y61 6
06
SOL616
30
Y616
ENT. PURGE ROOM SHUTTER
Y 61E
16
38
入口置換室シャッターロック
Y61 7
07
Y 61F
31
17
39
40
41(COM)
7(24G) (+24V)5
DA1
(DA)1
P 24B 2M
6(FG)
P 24 B
DB1
(DB)2
E
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
P2 4B2 M
DG1
(DG)3
P2 4B
SLD1
(SLD)4
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 4)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 7 R 6 6 4
Z 24
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH18
AJ65SBTB1-32D
Bu
198 00
FL620
BK
X620
X
6 20
8
WETTER 1 WATER LEVEL(HH)
Bu
19810
FL628
BK
Br
Bu
FL621
BK
X621
X
6 21
9
WETTER 1 WATER LEVEL(H)
Bu
11
FL629
BK
FL622
FL623
BK
X622
X
6 22
10
WETTER 1 WATER LEVEL(L)
Bu
12
FL62A
BK
FL624
BK
X623
X
6 23
11
WETTER 1 WATER LEVEL(LL)
Bu
13
FL62B
FL625
FL626
X624
BK
X
6 24
12
WETTER 7 WATER LEVEL(HH)
Bu
14
FL62C
FL627
BK
1
GOTO
X62C
20
WETTER 3 WATER LEVEL(HH)
X
6 2D
WETTER 3 WATER LEVEL(H)
X
6 2E
WETTER 3 WATER LEVEL(L)
X
6 2F
WETTER 3 WATER LEVEL(LL)
ウエッタ-3 水位(HH)
X625
X
6 25
13
WETTER 7 WATER LEVEL(H)
Bu
15
FL62D
BK
X62D
21
ウエッタ-7 水位(H)
ウエッタ-3 水位(H)
Br
P24B
X626
BK
X
6 26
14
WETTER 7 WATER LEVEL(L)
Bu
16
FL62E
X62E
BK
22
ウエッタ-7 水位(L)
ウエッタ-3 水位(L)
Br
P24B
X627
BK
X
6 27
15
WETTER 7 WATER LEVEL(LL)
Bu
17
FL62F
X62F
BK
23
ウエッタ-7 水位(LL)
Br
X621
X 6 22
X6 2 3
X624
X625
X 62 6
X627
X628
ウエッタ-3 水位(LL)
(COM)40
P24B
P 24 B
X620
NO.
X
6 2C
ウエッタ-2 水位(LL)
P24B
Z 24
BY
変更者
WETTER 2 WATER LEVEL(LL)
Br
P24B
変更
19
ウエッタ-7 水位(HH)
Br
REVISIONS
X62B
BK
P24B
Bu
X
6 2B
ウエッタ-2 水位(L)
P24B
Br
07
WETTER 2 WATER LEVEL(L)
Br
P24B
Bu
18
ウエッタ-1 水位(LL)
Br
06
X62A
BK
P24B
Bu
X
6 2A
ウエッタ-2 水位(H)
P24B
Br
05
WETTER 2 WATER LEVEL(H)
Br
P24B
Bu
17
ウエッタ-1 水位(L)
Br
04
X
6 29
ウエッタ-2 水位(HH)
P24B
P24B
Bu
WETTER 2 WATER LEVEL(HH)
Br
Br
03
X629
ウエッタ-1 水位(H)
P24B
Bu
X
6 28
P24B
Br
02
16
Br
P24B
01
X628
ウエッタ-1 水位(HH)
Z2 4
X 6 29
X62A
X62B
X 6 2C
X6 2 D
X62E
P2 4B
X62F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 5)
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 8 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH18
AJ65SBTB1-32D
Bu
199 00
FL630
BK
X630
X
6 30
24
WETTER 4 WATER LEVEL(HH)
Bu
19910
FL638
Br
Bu
FL631
BK
X631
X
6 31
25
WETTER 4 WATER LEVEL(H)
Bu
11
FL639
FL632
FL633
BK
X632
X
6 32
26
WETTER 4 WATER LEVEL(L)
Bu
12
FL63A
FL634
FL635
BK
X633
X
6 33
27
WETTER 4 WATER LEVEL(LL)
Bu
13
FL63B
FL636
FL637
X
6 3B
WETTER 6 WATER LEVEL(LL)
X
6 3C
N2 PRESSUR CHECK
X
6 3D
H2 PRESSUR CHECK
ウエッタ-6 水位(L)
35
ウエッタ-6 水位(LL)
P24B
BK
X634
X
6 34
28
WETTER 5 WATER LEVEL(HH)
Bu
14
PS63C
X63C
BK
36
ウエッタ-5 水位(HH)
N2
圧力確認
Br
P24B
BK
X635
X
6 35
29
WETTER 5 WATER LEVEL(H)
Bu
15
PS63D
X63D
BK
37
ウエッタ-5 水位(H)
H2
圧力確認
Br
P24B
BK
X636
X
6 36
30
WETTER 5 WATER LEVEL(L)
Bu
16
PS63E
X63E
BK
38
ウエッタ-5 水位(L)
WETTER 1
N2+H2 PRESSUR CHECK
X
6 3E
ウエッター1
N2+H2
圧力確認
Br
P24B
Bu
WETTER 6 WATER LEVEL(L)
Br
Br
07
X63B
BK
P24B
Bu
34
ウエッタ-4 水位(LL)
Br
06
X
6 3A
ウエッタ-6 水位(H)
P24B
P24B
Bu
WETTER 6 WATER LEVEL(H)
Br
Br
05
X63A
BK
P24B
Bu
33
ウエッタ-4 水位(L)
Br
04
X
6 39
ウエッタ-6 水位(HH)
P24B
P24B
Bu
WETTER 6 WATER LEVEL(HH)
Br
Br
03
X639
BK
ウエッタ-4 水位(H)
P24B
Bu
X
6 38
P24B
Br
02
32
Br
P24B
01
X638
BK
ウエッタ-4 水位(HH)
P24B
BK
X637
X
6 37
31
WETTER 5 WATER LEVEL(LL)
Bu
17
PS63F
X63F
BK
39
ウエッタ-5 水位(LL)
Br
X
6 3F
Br
P24B
WETTER 7
N2+H2 PRESSUR CHECK
(COM)41
P24B
ウエッター7
N2+H2
圧力確認
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X630
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
X631
X 6 32
X6 3 3
X634
X635
X 63 6
X637
X638
X 6 39
X63A
X63B
X 6 3C
X6 3 D
X63E
X63F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 6)
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E1 9 9 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH19
AJ65SBTB1-32D
MFCW1N
Bu
200 00
PS640
BK
X640
WETTER 2
N2+H2 PRESSUR CHECK
X
6 40
8
ウエッター2
X648
20010
N2+H2
16
圧力確認
X
6 48
N2ー1 HIGH PRESSURE
X
6 49
N2ー1 LOW PRESSURE
X
6 4A
N2ー2 HIGH PRESSURE
X
6 4B
N2ー2 LOW PRESSURE
X
6 4C
N2ー3 HIGH PRESSURE
X
6 4D
N2ー3 LOW PRESSURE
X
6 4E
N2ー4 HIGH PRESSURE
X
6 4F
N2ー4 LOW PRESSURE
N2-1
高圧
Br
P24B
MFCW1N
Bu
01
PS641
X641
BK
WETTER 3
N2+H2 PRESSUR CHECK
X
6 41
9
ウエッター3
X649
11
N2+H2
17
圧力確認
N2-1
低圧
Br
P24B
MFCW2N
Bu
02
PS642
X642
BK
WETTER 4
N2+H2 PRESSUR CHECK
X
6 42
10
ウエッター4
X64A
12
N2+H2
18
圧力確認
N2-2
高圧
Br
P24B
MFCW2N
Bu
03
PS643
BK
X643
X
6 43
11
WETTER 5
N2+AIR PRESSUR CHECK
ウエッター5
Br
N2+エアー
X64B
13
19
N2-2
圧力確認
低圧
P24B
MFCW3N
Bu
04
PS644
BK
X644
X
6 44
12
WETTER 6
N2+AIR PRESSUR CHECK
ウエッター6
Br
N2+AIR
X64C
14
20
N2-3
圧力確認
高圧
P24B
MFCW3N
Bu
05
PS645
BK
X645
WETTER SPARE
N2+H2 PRESSUR CHECK
X
6 45
13
ウエッター予備
X64D
15
N2+H2
21
圧力確認
N2-3
低圧
Br
P24B
MFCW4N
Bu
06
PS646
X646
BK
X
6 46
14
AIR PRESSUR CHECK
AIR
X64E
16
22
圧力確認
N2-4
高圧
Br
P24B
MFCW4N
X
6 47
15
07
X64F
17
23
N2-4
低圧
(COM)40
Z 24
P 24 B
X640
REVISIONS
NO.
BY
変更者
1
GOTO
変更
X641
X 6 42
X6 4 3
X644
X645
X 64 6
X647
X648
Z2 4
X 6 49
X64A
X64B
X 6 4C
X6 4 D
X64E
P2 4B
X64F
DESCRIPTION
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 7)
R664
DESCRIPTION 理由
2010.
07.
20
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E2 0 0 R 6 6 4
1
Z 24
P 24 B
DC24V
Z2 4
P2 4B
DC24V
CH19
AJ65SBTB1-32D
MFCW5N
MFCW1H-1
X650
201 00
X
6 50
24
N2ー5 HIGH PRESSURE
N2-5
X658
20110
32
高圧
MFCW5N
X
6 58
H2ー1-1 HIGH PRESSURE
X
6 59
H2ー1-1 LOW PRESSURE
X
6 5A
H2ー1-2 HIGH PRESSURE
X
6 5B
H2ー1-2 LOW PRESSURE
X
6 5C
H2ー2-1 HIGH PRESSURE
X
6 5D
H2ー2-1 LOW PRESSURE
X
6 5E
H2ー2-2 HIGH PRESSURE
X
6 5F
H2ー2-2 LOW PRESSURE
H2-1-1
高圧
MFCW1H-1
X651
01
X
6 51
25
N2ー5 LOW PRESSURE
N2-5
X659
11
33
低圧
MFCW6N
H2-1-1
低圧
MFCW1H-2
X652
02
26
X
6 52
N2ー6 HIGH PRESSURE
X
6 53
N2ー6 LOW PRESSURE
X
6 54
N2ー7 HIGH PRESSURE
N2-6
X65A
12
34
高圧
MFCW6N
H2-1-2
高圧
MFCW1H-2
X653
03
27
N2-6
X65B
13
35
低圧
MFCW7N
H2-1-2
低圧
MFCW2H-1
X654
04
28
N2-7
X65C
14
36
高圧
MFCW7N
H2-2-1
高圧
MFCW2H-1
X655
05
X
6 55
29
N2ー7 LOW PRESSURE
N2-7
X65D
15
37
低圧
MFCWSN
H2-2-1
低圧
MFCW2Hー2
X656
06
X
6 56
30
N2ーSPARE HIGH PRESSURE
N2-予備
X65E
16
38
高圧
MFCWSN
H2-2-2
高圧
MFCW2H-2
X657
07
X
6 57
31
N2ーSPARE LOW PRESSURE
N2-予備
X65F
17
39
低圧
H2-2-2
低圧
(COM)41
7(24G) (+24V)5
(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X650
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X651
X 6 52
X6 5 3
X654
X655
X 65 6
X657
X658
X 6 59
X65A
X65B
X 6 5C
X6 5 D
X65E
X65F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 8)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
GO
OY
YA
A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E2 0 1 R 6 6 4
Z 24
Z2 4
P 24 B
DC24V
P2 4B
DC24V
CH20
AJ65SBTB1-16D
MFCW3H
MFCW5A
X660
202 00
X
6 60
8
H2ー3 HIGH PRESSURE
H2-3
X668
20210
16
高圧
MFCW3H
X
6 68
AIRー5 HIGH PRESSURE
X
6 69
AIRー5 LOW PRESSURE
X
6 6A
AIRー6 HIGH PRESSURE
エアーー5
高圧
MFCW5A
X661
01
X
6 61
9
H2ー3 LOW PRESSURE
H2-3
X669
11
17
低圧
MFCW4H
エアー-5
低圧
MFCW6A
X662
02
10
X
6 62
H2ー4 HIGH PRESSURE
X
6 63
H2ー4 LOW PRESSURE
X
6 64
H2ー7 HIGH PRESSURE
X
6 65
H2ー7 LOW PRESSURE
X
6 66
H2ーSPARE HIGH PRESSURE
X
6 67
H2ーSPARE LOW PRESSURE
H2-4
X66A
12
18
高圧
MFCW4H
エアーー6
高圧
MFCW6A
X663
03
11
H2-4
X66B
13
19
低圧
X
6 6B
AIRー6 LOW PRESSURE
エアー-6
低圧
MFCW7H
X664
04
12
H2-7
14
20
X
6 6C
15
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X
6 6D
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X
6 6E
17
23
X
6 6F
高圧
MFCW7H
X665
05
13
H2-7
低圧
MFCWSH
X666
06
14
H2-予備
高圧
MFCWSH
X667
07
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H2-予備
低圧
(COM)41
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(DA)1
(DB)2
Z 24
P 24 B
(DG)3
Z2 4
(SLD)4
X660
REVISIONS
NO.
BY
変更者
変更
X661
X 6 62
X6 6 3
X664
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X 66 6
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X 6 69
X66A
X66B
X 6 6C
X6 6 D
X66E
X66F
DESCRIPTION
DA1
DB1
DG1
SLD1
P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 9)
R664
DESCRIPTION 理由
DRAWN
TRACED CHECKED APPROVED SCALE
GOTO
DIVIDE
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
10/07/20
NORITAKE
CO
O.,
., L I M I T E D
D..
NA
N
AG
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OY
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A
JA
J AP
PA
PAN
AN
N
AMGLE
PROJ.
DRWING NO.
A 3 - E2 0 2 R 6 6 4
SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD.
R664
ELECTRIC DRAWINGS
(NO.
10)
NORITAKE CO., LIMITED.
NAGOYA
JAPAN
DA T E
APPROVED
S Y M.P O S I T I O N
DATA
REMARK
A P P R OV E
06 . 2 5. 2 01 0
CHECKED
DESIGNED
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