1600 800 2 3 A C22 0V POWE R A C220 V P OWE R 21 4 5 AC 220 V P OWE R 6 8 AC2 20V PO WER 9 22 11 13 16 17 AC22 0V POW ER A C220 V P OWE R 12 14 AC 220V PO WER AC22 0V POW ER 18 19 AC 220 V AC2 20V AC22 0V A C220 V AC22 0V A C22 0V P OWE R PO WER POW ER P OWE R POW ER POWE R 7 10 AC2 20V PO WER 15 A C220 V P OWE R 20 A C22 0V POWE R 2050 AC 220 V P OWE R 2150 1 800 100 23 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. DE SC RI PT ION CONTROL NORITAKE PANEL (FRONT) CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 0 1R 6 6 4 1600 100 2050 800 2150 800 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. DE SC RI PT ION CONTROL NORITAKE PANEL (BACK) CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 0 2R 6 6 4 2150 100 2050 1000 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. DE SC RI PT ION CONTROL NORITAKE PANEL (SIDE) CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 0 3R 6 6 4 1600 NFB 51 40H 41H 42H 43H 44H 45H 46H 47H 48H 49H 50H 51H 52H 53H 54H 55H 56H 57H LI NE ELB02 LINE LOA D LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LOAD 58H 59H 60H 61H 62H 63H 64H 65H LI NE T O LI NE LIN E LIN E LINE LINE LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LINE LOAD LOAD L INE L INE L INE L INE LOAD LOAD LOAD LOAD LINE LINE LOAD LOAD NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB 1 2 3 4 5 6 7 8 LINE T R I P LOA D LOA D LOA D LOA D LOA D LOAD LOAD LOAD NFB NFB NFB NFB NFB NFB NFB 26 32 21 37 38 41 42 SSR 40 41 42 SSR 55 SSR 54 43 44 45 46 47 SSR 57 SSR 58 SSR 56 INV 21 - + 22 - + 48 + 49 50 51 SSR 59 23 - MC MC MC MC MC MC MC MC 1 2 3 4 5 6 7 8 24 - 53 SSR 60 25 + 52 - - 64 SSR 61 26 + 63 27 + - SSR 62 28 + 65 - 2150 P U S H LI NE LINE 29 + - 30 + - + MC MC MC MC MC MC 37 38 39 40 41 42 INV 31 32 33 34 F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 35 F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K SV 1 36 M I T S U B I S H I M R - J 2 S - 1 0 B O P E N - + F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K - + - F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K + F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K - + F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K - + F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K - F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 2 M I T S U B I S H I F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 3 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 4 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I 5 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 6 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K 7 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I 8 M R - J 2 S - 1 0 B O P E N M I T S U B I S H I M R - J 2 S - 1 0 B O P E N + F R - S 5 2 0 E - 0 .1 K L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W L 1 U L 2 V L 3 W THR 23 23 23 23 25 25 25 25 32 32 32 32 34 34 34 34 34 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. DE SC RI PT ION CONTROL PANEL LAYOUT(FRONT) NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 0 4R 6 6 4 1600 CP ? ? ? ? BK M- 2 P ? ? ? BK M -2 P ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM - 2P ? ? B KM - 2P ? ? B K M- 2P ? ? BK M- 2P ? ? BK M- 2P ? ? BK M- 2P ? ? BK M- 2P ? ? BK M- 2 P ? ? ? BK M -2 P X- SLF -1 4N S IN O UT 3 1 ZX- 2 SL F-1 3 4N S 4 IN 2 1 3 O UT IN -SL F- 14N S 2 1 4 3 OU T IN 1 2 3 ZX -S 4 OU T PS 1 2 O N 4 ZX LF- 14 IN OUT ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P ? ? B KM -2 P B KM -2 P CR 1X1G 1D CR 045044 2M 1M SZ ? B KM -2 P NFB ELB D 03 G 3C 14 1312 11 6P 5P4P3P 2P 1P 3S 2S 4F3F 2F1F 1V G2G1 D2D1 2C 1C 2G MC 1D 1G 2D N 1 2 3 4 I N OUT 1 2 3 4 I N OUT 1 2 3 4 IN 1 2 3 OUT 4 IN O UT 1 2 3 4 IN O UT 1 2 3 4 IN 1 2 3 O UT 4 IN 1 2 3 4 O UT IN O UT 1 2 3 4 IN O UT 1 2 3 4 IN 1 2 3 4 IN 2 1 OU T OU T 3 4 I N 1 2 3 4 I N OUT 1 2 OUT 3 4 IN 1 2 3 4 IN O UT OUT 1 2 3 4 IN O UT 1 2 3 4 IN 1 O UT 2 3 4 IN 1 OU T 2 3 4 IN 1 2 3 4 OU T I N 1 2 3 4 I N 1 2 OUT OUT 3 4 IN 1 OUT 2 3 4 IN 1 O UT 2 3 4 IN 1 2 4 3 O UT IN 1 2 3 O UT 4 IN 1 2 3 OU T 4 IN 1 2 3 4 OU T MC 44 43 1H O N O N OU T V-ADJ V-ADJ VSF -220 -24 A C ( N) (1 10 /2 20) 0 OU T 20) 5 0/ 6 0 H z /2 FILT ER 110 2 50 0 V / 1M I N RT: OF N: ON FF T V HO PE ON W T-RC 20-N F ( 0 POW ER C PU I/ O0 I/O 1 I/O2 I /O3 I/ O4 I/O 5 I/O6 I /O7 I/ O8 I/O 9 I/O1 0 I/O11 Q3 12B R C RC S O :O EN: 25 0 V - 2 0A . A C ( N) ) F ORT F G A C( L ) NO ISE OP - S OU T 20 SH + S 5 0/ 6 0 H z 0/2 S E L EC T + V FF FILT ER 11 :O :ON F G 2 50 0 V / 1M I N RT: OF N: ON EN T V HO OPE ORT OP A C (L ) A C ( N ) ( 0 R C S SH +S -S I N S E L EC T + V FF N W T-RC 20-N F :O F G 25 0 V - 2 0A . T:O EN A C ( L) NO ISE OR OP I N SH +S -S V-ADJ VSF- 220- 24 S E L EC T + V F S O HO PE RT: OF N: ON F 1 5 A 2 5 0 V 1 5 A 2 5 0 V 1 5 A 2150 60 2 5 0 V 80 LO C K L O CK L O CK L O C K L O C K LO C K LO C K L OC K LO C K L O C K L O C K L O CK L O CK LO C K L OC K LO C K 80 Tr2 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. Tr1 60 DE SC RI PT ION CONTROL PANEL LAYOUT(BACK) NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 0 5R 6 6 4 NO. NAME 名 1 SPEC. 称 寸法 PRIMARY POWER VOLTAGE 名 SPECIFICATION 型 式 DB-60T 0~300V DEVICE NO. 記 NO. PRIMARY POWER SOURCE 22 Φ PILOT LIGHT V1 18 22 Φ PILOT LIGHT K25-14W PL 0 19 4 22 Φ PROGRAMABLE TERMINAL K25-14W PL 1 20 GT1685M-STBA G1 21 ローラー 6 停止 運転 前進 8 1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH 後退 切 1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH 入 22 Φ HEATER ON 11 12 13 22 Φ 入 入 22 Φ 切 切 22 Φ 入 GENERATOR OFF 17 MAN. OFF AUTO. REVISIONS NO. BY 変更者 変更 PB004 26 K S S1 27 PB005 PL0EB 28 K25-21R PB006 29 K25-54Y SS00E PL0ED 30 K25-21R PB00F 31 K25-21Y PB010 32 K25-71K KSS008 33 PB00A PL0EC 34 PB00C 22Φ LAMP CHECK PUSH BUTTON SWITCH K25-21B PB00D 押し釦スイッチ 10 × 40 TEMP.RECORDER TEMP.RECORDER(1) DX2030-1-4-1 REC1 DX2040-1-4-1 REC2 DX2040-1-4-1 REC3 温 度 記録 計 10 × 40 TEMP.RECORDER TEMP.RECORDER(2) 温 度 記録 計 10 × 40 TEMP.RECORDER TEMP.RECORDER(3) 温 度 記録 計 PUSH BUTTON SWITCH SELECTOR SWITCH WITH KEY K25-61K PUSH BUTTON SWITCH SELECTOR SWITCH 照光式セレクトスイッチ 22 Φ 22 Φ PUSH BUTTON SWITCH PUSH BUTTON SWITCH 押し釦スイッチ 22 Φ 自動 AUTO.START 自動起動 25 PUSH BUTTON SWITCH K25-21B 押し釦スイッチ GENERATOR ROUND TRIP OFF 切 PB003 PL0EA PB00B 押し釦スイッチ GENERATOR TEST OFF ON 手動 K25-27G-FR 号 照光式押し釦スイッチ 発 電 時 往 復走 行 解 除 16 24 記 キ-付セレクトスイッチ 発電機停止 15 SS002 PL0E9 1 0× 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-27R-FR AUTO STOP OFF 発 電 機 テ スト 14 切 AUTO STOP ON 電 源 自 動 遮断 K25-54Y DEVICE NO. 押し釦スイッチ SAFETY SWITCH OFF ON 電 源 自 動 遮断 23 式 押し釦スイッチ 温 度 記 録計 ( 3 ) 1 0× 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-21R HEATER OFF 安 全 ス イ ッチ SS001 型 照光式押し釦スイッチ ヒ-タ- 切 10 22Φ RESET 温 度 記 録計 ( 2 ) K25-41K SPECIFICATION 名 照光式セレクトスイッチ ヒ-タ- 入 9 22 セ レ ク トス イ ッ チ ROLLER ROUND TRIP OFF ON ロ ー ラ ー 繰り 返 し K25-54Y 照光式セレクトスイッチ ROLLER FORWARD BACKWARD ローラー 7 1 0× 4 0 SELECTOR SWITCH ROLLER OFF ON 品 押し釦スイッチ 温 度 記 録計 ( 1 ) SS000 PL0E8 DESIGNATION 10 × 40 PUSH BUTTON SWITCH K25-81R EMERGENCY CONVEYOR STOP ラ ン プ チェ ッ ク プロ グ ラマ ブ ルタ ーミ ナ ル 5 寸法 リセット 表示灯 非常用電源 SPEC. 称 搬送停止 表示灯 EMERGENCY POWER SOURCE NAME 名 号 電圧計 常用電源 3 品 1 0× 4 0 POWER VOLTAGE 電源電圧計 2 DESIGNATION SELECTOR SWITCH WITH KEY キ-付セレクトスイッチ 22 Φ PUSH BUTTON SWITCH K25-27G-FR 照光式押し釦スイッチ DESCRIPTION OPERATION PANEL LIST R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 0 6 R 6 6 4 SIDE CONTROL PANEL 70 EXIT HOOD PURGE ROOM C/V NO. 2 STOPPER ADVANCE RETURN RETURN ENT.C/V C/V PB522 BK PB523 BK SPB532 BK PB537 BK PB540 BK NO. 2 LIFTER UP DOWN RETURN C/V ON LARGE PURGE SPB52D BK SPB534 BK PB538 BK PB541 BK NO. 1 LIFTER UP DOWN NO.2 ROLLER RETURN C/V OFF SMALL PURGE SPB530 BK PB536 BK PB539 BK PB542 BK MAN. EXHAUST AUTO. KSS521 BK KEY HOOD PURGE ROOM SHUTTER LOCK SHUTTER LOCK OPEN CLOSE OPEN CLOSE SPB526 BK SPB52A BK PL2 PB1 BK VACUUM TRANSFER C/V CH10 380 SPB528 BK 60 SPB524 BK MASTER ON 380 PURGE ROOM NO. 1 SHUTTER STOPPER UP DOWN ADVANCE RETURN 60 HOOD SHUTTER UP DOWN 60 パッチン錠 CONVEYOR STOP OPEN CLOSE SPB543 BK PB52F BK PB520 BK CH11 EMERGENCY STOP OPEN CLOSE OFF PB545 BK ESPB1 R 70 PB548 BK 60 ON 70 VACUUM BREAKDOWN VACUUM PUMP Φ 22 60 50 50 50 50 50 60 60 180 430 REVISIONS 変更 STRUCTURE MODEL FITTING NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 MODEL WATERPROOF&DUSTTIGHT SELF- STANDING WALL IN TYPE DOOR THICKNESS OUT DOOR NON HANDEL 2 .3 mm MEDIUM 2 .3 mm DESCRIPTION DOOR FRONT WATER PROOF BACK WITH KEY RIGHT HAND FLAT LEFT HAND BIPARTING PAINTING COLOR LOCK 2 .3 mm EXIT SIDE TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO MUNSELL 5Y8/1. 5 IN SIDE MUNSELL 5Y8/1. 5 LUSTER NORITAKE BAKING PANEL DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 OUT SIDE CONTROL R664 DRAWN STANDARD DOOR TYPE BODY CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 0 7 R 6 6 4 RETURN C/V ON ON SS5C5 PB5C2 BK CONTROL NO. 2 PURGE ROOM STOPPER C/V ADVANCE RETURN BREAK TIME OFF SIDE PANEL 70 ENT. HOOD MAN. EXHAUST C/V AUTO. SPB5CA BK PB5D4 BK PB5D5 BK PB5DE BK RETURN C/V OFF NO. 1 STOPPER ADVANCE RETURN NO. 2 LIFTER DOWN UP PURGE ROOM SHUTTER UP DOWN HOOD SHUTTER DOWN UP LARGE PURGE PB5C3 BK SPB5C6 BK SPB5CC BK SPB5D6 BK SPB5DA BK PB5DF BK RETURN EXIT C/V NO. 1 LIFTER UP DOWN PB5C4 BK SPB5C8 BK SPB5CE BK TRANSFER C/V NO. 3 LIFTER DOWN UP OPEN CLOSE SPB5D0 BK SPB5E1 BK KSS5C1 BK BK KEY PB5D2 BK VACUUM 380 PB5E0 BK SPB5DC BK CH15 380 SPB5D8 BK PL3 PB2 BK 60 SMALL PURGE MASTER ON 60 PURGE ROOM NO. 3 HOOD SHUTTER LOCK SHUTTER LOCK STOPPER ADVANCE RETURN OPEN CLOSE OPEN CLOSE 60 パッチン錠 CONVEYOR STOP PB5C0 BK CH16 ON PB5E5 BK PB5E3 BK 70 PB5D3 BK EMERGENCY STOP OPEN CLOSE OFF 70 VACUUM BREAKDOWN VACUUM PUMP ESPB2 R 60 NO.2 ROLLER Φ 22 60 50 50 50 50 50 60 60 180 430 REVISIONS 変更 STRUCTURE MODEL FITTING NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 MODEL WATERPROOF&DUSTTIGHT SELF- STANDING WALL IN TYPE DOOR THICKNESS OUT DOOR NON HANDEL 2 .3 mm MEDIUM 2 .3 mm DESCRIPTION DOOR FRONT WATER PROOF BACK WITH KEY RIGHT HAND FLAT LEFT HAND BIPARTING PAINTING COLOR LOCK 2 .3 mm ENT. SIDE TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO MUNSELL 5Y8/1. 5 IN SIDE MUNSELL 5Y8/1. 5 LUSTER NORITAKE BAKING PANEL DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 OUT SIDE CONTROL R664 DRAWN STANDARD DOOR TYPE BODY CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 0 8 R 6 6 4 SIDE CONTROL PANEL 400 400 TB 500 CH9 160 ENT. SIDE CR CH12 500 CONTROL PANEL CR 400 400 TB 400 400 EXIT CH13 CH14 CH17 500 REVISIONS 変更 STRUCTURE MODEL FITTING NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 MODEL 160 WATERPROOF&DUSTTIGHT SELF- STANDING WALL IN TYPE DOOR THICKNESS OUT DOOR NON HANDEL BODY 2 .3 mm MEDIUM 2 .3 mm DESCRIPTION DOOR FRONT WATER PROOF BACK WITH KEY RIGHT HAND FLAT LEFT HAND BIPARTING PAINTING COLOR LOCK 2 .3 mm CONTROL PANEL R664 DRAWN STANDARD DOOR TYPE 500 TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 OUT SIDE MUNSELL 5Y8/1. 5 IN SIDE MUNSELL 5Y8/1. 5 LUSTER NORITAKE BAKING DIVIDE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 0 9 R 6 6 4 1750 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 5 3 6 4 PRESSURE SWITCH MASS FLOW CONTROLLER MASS FLOW INDICATOR 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 1 MASS FLOW CONTROLLER MASS FLOW INDICATOR PRESSURE GAUGE 2 PRESSURE SWITCH 36 37 38 35 33 +0 . 5 0 0. + 5 0 2 + 0 22000 5 -φ 1 4 2350 2350 2200 34 キ リ 穴 150 連結 150 盤 2400 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 770 DE SC RI PT ION GAS MIXING NORITAKE PANEL CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A3 - E 1 1 0R 6 6 4 NO. NAME 名 1 H2 称 SPEC. NO. 寸法 1 0× 4 0 名 18 H2 1 0× 40 19 AIR 1 0× 40 20 エアー 4 AIR 21 エアー 5 N2 N2 1 0× 4 0 22 WETTER 1 1 0× 4 0 23 WETTER 2 1 0× 4 0 24 WETTER 3 1 0× 40 25 WETTER 4 1 0× 4 0 26 WETTER 5 1 0× 4 0 27 WETTER 6 1 0× 4 0 28 WETTER 7 1 0× 40 29 WETTER SPARE 1 0× 4 0 30 N2-1 1 0× 4 0 31 N2-2 1 0× 40 32 N2-3 N2-3 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 10 × 40 N2-FILTER N 2 -フ イ ル タ ー 10 ×4 0 N2-7 38 10 × 40 H2-PRESSURE REGULATOR H 2 -減 圧 弁 N2-SPARE 10 ×4 0 39 H2-1-1 1 0 ×4 0 40 H2-1-2 1 0 ×4 0 41 H2-2-1 1 0 ×4 0 42 H2-2-2 1 0 ×4 0 43 H2-3 1 0 ×4 0 44 H2-4 10 ×4 0 45 AIR 5 10 ×4 0 46 AIR 10 ×4 0 47 10 ×4 0 48 10 ×4 0 49 10 ×4 0 50 10 ×4 0 51 5 6 6 H2-7 H2-SPARE H2-予備 1 0× 40 33 H2 ANALYZER H2 N2-2 17 37 H2-7 N2-1 16 10 ×4 0 エアー ウ エ ッ タ ー予 備 15 H 2 -フ イ ル タ ー N2-6 エアー ウ エ ッ タ ー7 14 10 × 40 H2-FILTER H2-4 ウ エ ッ タ ー6 13 36 H2-3 ウ エ ッ タ ー5 12 1 0 ×4 0 N2-5 H2-2-2 ウ エ ッ タ ー4 11 流量計 H2-2-1 ウ エ ッ タ ー3 10 10 × 40 FLOW METER H2-1-2 ウ エ ッ タ ー2 9 寸法 H2-1ー1 ウ エ ッ タ ー1 8 SPEC. 称 N2-予備 N2 7 35 N2-7 N2 6 名 N2-6 1 0× 40 NAME 寸法 1 0 ×4 0 N2-4 NO. N2-5 H2 3 称 SPEC. N2-4 H2 2 NAME 1 0× 40 34 分析計 O2 ANALYZER O2 分析計 DESCRIPTION GAS MIXING PANEL LIST R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 1 R 6 6 4 PART’S DE S I G N A T IO N LIST S P EC I F I C A T IO N CIRCUIT BREAKER N V 4 0 0 - C W 3 P 4 0 0 A T 漏電遮断器 DEVICE NO. Q T Y M A KE R ELB02 1 REMARK’S MITSUB1SHI D E S I G NA T I O N AUXILIARY RELAY S P E C I F I CA T I O N CMC-9 110V DEVICE NO. QT Y M A K E R MC1H 補助継電器 TCL-4SW3 100.200.500mA DOOR SWITCH HY-P701A DS1.2 ドアスイッチ CIRCUIT BREAKER N V 1 2 5 - S V 3 P 2 0 A T 漏電遮断器 1 MITSUB1SHI ノーヒューズ遮断器 ノーヒューズ遮断器 33b/10A 33b/20A 33b/5A WITH COVER CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/15A サーキットプロテクタ サーキットプロテクタ WITH COVER CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/6A サーキットプロテクタ 変更 NFB26 NFB32 WITH COVER L.S 10 L.S 9 L.S 8 L.S 3 L.S 2 L.S 2 L.S 1 L.S 14 L.S 1 L.S 6 L.S 2 L.S 2 L.S NFB37.38 NFB41 CPD1.D2.G1.G2 CP1V.1F.3F.4F CP2S.3S.12.14.4P CP3C CP1P CP13.2P CP5P.6P.13 CP2F CP3P.11 WITH COVER CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/20A サーキットプロテクタ NFBG.D WITH COVER CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/10A 7 NFB21 WITH TCS CIRCUIT PROTECTOR BKM 2P/4A サーキットプロテクタ NFB1~8 WITH TCS CIRCUIT BREAKER ABE ノーヒューズ遮断器 33b/30A WITH TCS CIRCUIT BREAKER ABE ノーヒューズ遮断器 33b/5A L.S NFB54H~62H TCS WITH TCS CIRCUIT BREAKER ABE ノーヒューズ遮断器 NFB47~53H NFB63~65H WITH TCS CIRCUIT BREAKER ABE ノーヒューズ遮断器 62b/60A WITH SHT CIRCUIT BREAKER ABE TCS 1 NFB40H~46H TCS 52b/50A WITH SHT CIRCUIT BREAKER ABS ノーヒューズ遮断器 52b/30A WITH SHT CIRCUIT BREAKER ABS ノーヒューズ遮断器 NFB51 WITH TCS CIRCUIT BREAKER ABS ノーヒューズ遮断器 53b/50A CP1C.2C DOOR SWITCH(GAS) D2D-21000 PANEL LIGHT XJEX2170Z PANEL LIGHT(GAS) FL3 SN-E10HーCM RLE-24 RED DC24V ST-25BS-DC DC24V CONTROL TRANSFORMER 4 40/ 22 0V 3PHASE 2PHASE Tr1 1.5KVA CONTROL TRANSFORMER 4 00.4 40 .4 80 /1 00V 単相操作トランス 2PHASE POWER SUPPLY E SF- 30 0- 24 V AC220V(50A) 1 70φ (A C2 00 V) K FC RD44-913B ファン(ガス盤) FAN6~8 AC100V BY 変更者 DESCRIPTION 理由 1 NUNOME 1 WOONYOUNG 1 WOONYOUNG 1 SUNTRONICS 2 SUNTRONICS 2 L.S 5 FULLTEC 4 FULLTEC 3 NITTO DESCRIPTION PART’S NO. ARROW 20 0 フィルタ- FAN(GAS) 1 FAN1~5 ファン FILTER PATLITE MC1D.1G.2D.2G COIL AC200V 2b FAN 1 PS2.3 パワ-サプライ 可逆式電磁接触器 SUNTRONICS PS1 パワ-サプライ MAGNETIC SWICH 2 Tr2 3KVA E SF- 60 0- 24 V POWER SUPPLY IWASAKI Tr01 230KVA CONTROL TRANSFORMER 2 00.2 20 .2 40 /1 00V 単操作トランス 2 BZ1 サイレン 絶縁3相操作トランス OMRON PAT1 パトライト PHONE 1 NF1.2 ノイズフィルタ- PATLITE HANYOUNG 1 2C NOISE FILTER 2 FL1.2 盤内照明 盤内照明(ガス盤) L.S DS3 ドアスイッチ(ガス盤) TCS 100.200.500mA CIRCUIT BREAKER ABS REVISIONS ELB03 1 REMARK’S DRAWN LIST TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO 1/4 R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 2 R 6 6 4 PART’S LIST DE S I G N A T IO N INVERTER S P EC I F I C A T IO N FR-E720-0.1K インバ-タ INVERTER FR-E720-0.2K インバ-タ INVERTER FR-E720-0.2K DEVICE NO. Q T Y M A KE R INV26.27.31 INV33.35.36 INV23.24.25 INV28.29.30 INV32.34 INV21.22 インバ-タCCリンクユニット MAGNETIC SWICH 電磁開閉器 GMD-6M DC24V 8 MITSUB1SHI 電磁開閉器 GMD-12M DC24V MAGNETIC SWICH GMD-12M DC24V MAGNETIC SWICH GMD-6M DC24V GMC-9 AC110V サーマルリレー GMP22-2S 1. 5A GMP22-2S 22A SOLID STATE RELAY G3PEー225B ソリッドステートリレー SOLID STATE RELAY G3PAー260B-VD TH23~23C.25~25C 電磁開閉器 GMD-6M DC24V SSR47~53 SSR63~65 SSR54~62 MY2N AC200V 2 L.S 16 L.S 7 OMRON 10 OMRON 9 OMRON 1 L.S MC37 THERMAL 2. 2KW(AC440V) RELAY 8 L.S SSR40~46 ソリッドステートリレー MAGNETIC SWICH 2 L.S TH32~32C.34~34C ソリッドステートリレー SOLID STATE RELAY G3PEー245B 2 L.S MC43.44 電磁接触器 THERMAL RELAY L.S MC1~8 電磁接触器 MAGNETIC SWICH 1 MC41.42 2KW(AC220V) THERMAL 0. 電磁開閉器 2 RELAY SOCKET MY2N DC24V PYF-08AE ソケット BY 変更者 HONEYWELL 30 SAMWONACT 1 HONEYWELL 1 HONEYWELL 1 KACON 2 KACON 3 KACON 2 KACON 4 KACON 3 KACON 1 KACON 1 KACON 2 KACON 2 KACON 19 KACON 2 KACON CR R4T-16PS 補助リレー CR1X MY4N DC24V 補助リレー SOCKET PYF-14AE WITH PYC-A1 PB010 PUSH BUTTON SWITCH K25-21Y 押しボタンスイッチ PB00C.D PUSH BUTTON SWITCH K25-21B 押しボタンスイッチ PB004.006. 00F PUSH BUTTON SWITCH K25-21R 押しボタンスイッチ PB520. 5C0 PUSH BUTTON SWITCH K25-21B 押しボタンスイッチ PUSH LAMP SWITCH P B0 03 PL 0 EA P B0 0A PL 0 EC P B1 PL 2 P B2 PL 3 K25-27G-RF 照光式押しボタンスイッチ PUSH BUTTON SWITCH K25-81R ESPB1. 2.B 非常停止押しボタンスイッチ PUSH LAMP SWITCH K25-27R-RF PB005PL0EB 照光式押しボタンスイッチ SELECT SWITCH K25-54Y SS000PL0E8 照光式セレクトスイッチ SELECT SWITCH K25-54Y SS002PL0E9 SS00EPL0ED 照光式セレクトスイッチ SELECT SWITCH K25-41K SS001. 5C5 HONEYWELL WITH PYC-A1 CR0C0~0CD 14 16 PB522~5E0 PUSH BUTTON SWITCH K25-21B HONEYWELL 押しボタンスイッチ PB PUSH BUTTON SWITCH K25-22B HONEYWELL 押しボタンスイッチ 変更 DESCRIPTION PART’S NO. 6 セレクトスイッチ 補助リレー REVISIONS HONEYWELL ソケット CR1D.1G 補助リレー CONTROL MITSUB1SHI WITH PYC-A1 6 ソケット CONTROL RELAY 2 MC39.40 THERMAL 95W(AC220V) PTF-14AE DESCRIPTION 理由 REMARK’S CR1M.2M.043.044 補助リレー CONTROL RELAY MITSUB1SHI DEVICE NO. QT Y M A K E R S P E C I F I CA T I O N LY4N DC24V SOCKET MC38 THERMAL 2. 2KW(AC220V) MAGNETIC SWICH CONTROL MITSUB1SHI 2 FAーA7NC D E S I G NA T I O N CONTROL RELAY 6 INV21.22 インバ-タ INVERTER C.CLINK UNIT REMARK’S DRAWN LIST TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO 2/4 R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 3 R 6 6 4 PART’S LIST DE S I G N A T IO N PUSH LAMP SWITCH S P EC I F I C A T IO N K25-21SB DEVICE NO. Q T Y M A KE R SPB セレクト押しボタンスイッチ KEY SELECT SWITCH K25-61K KSS1 SELECT SWITCH K25-71K KSS008 キー付セレクトスイッチ INDICATING LAMP K25-14W(220V) PL0.1 KACON 1 KACON 1 KACON 2 SELECT SWITCH K25-61K KSS521. 5C1 2 キー付セレクトスイッチ MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 2 MITSUB1SHI 4 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 2 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI CH1. 3.6. 9. 10 CH11. 13. 14. 15 CH16. 18. 19 12 MITSUB1SHI CH2. 4.5. 7. 8. 12 CH17 7 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI 1 MITSUB1SHI I/Oベ-ス Q61P 電源 QX41 DC24V 入力カ-ド OUTPUT QY41P 出力カ-ド OUTPUT QY42P 出力カ-ド TEMP. CONTROLLER DMC10D2TV0300 DMC1~30 CC LINK MASTER UNIT 30 温度調節計 TEMP. CONTROLLER DMC10D4TV0000 DMC31~40 温度調節計 COMMUNCATION CONVERTER CMC10BCPIA000 CMC2. 3. 4 信号変換器 COMMUNCATION CONVERTER CMC15GGS01A000 CMC1 DX2030-1-4-1 REC1 温度記録計 TEMP. RECORDER DX2040-1-4-1 REC2. 3 1 1 2 DB-60T 300V V1 電圧計 SIGNAL TOWER STPー302 DC24V PAT2 1 1 YAMATAKE QJ71C24N-R4 コンピュータリンクユニット POSITIONING UNIT 3 温度記録計 POWER VORTAGE YAMATAKE QJ61BT11 CCリンクマスタユニット COMPUTER LINK UNIT 10 信号変換器 TEMP. RECORDER YAMATAKE REMARK’S 1 Q312B INPUT KACON DEVICE NO. QT Y M A K E R シ-ケンサ- CPU POWER UNIT KACON S P E C I F I CA T I O N Q06UDEHCPU CPU I/O BASE 表示灯 KEY D E S I G NA T I O N SEQUENCER 24 キー付セレクトスイッチ KEY REMARK’S QD75M4 位置決めユニット YAMATAKE INPUT LINK UNIT YOKOGAWA DAEBOONG CH20 リモ-ト入力ユニット INPUT LINK UNIT YOKOGAWA AJ65SBTB1-16D AJ65SBTB1-32D リモ-ト入力ユニット OUTPUT LINK UNIT AJ65SBTB1-32T リモ-ト出力ユニット PATLITE シグナルタワー PLUG SOCKET 3P 15A 225V 防雨形 CN1~4 コンセントプラグ 4 PROGRAMABLE TERMINAL MEIKOUSYA GT1685M-STBA プログラマブルタ-ミナル BUS UNIT GT15-QBUS 接続ユニット(バス) PLUG SOCKET 2 コンセント REVISIONS CON1.2 変更 ILSHIN CABLE GT15-QC50B 接続ケーブル DESCRIPTION PART’S NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 DRAWN LIST TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO 3/4 R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 4 R 6 6 4 PART’S DE S I G N A T IO N SERVO AMP LIST S P EC I F I C A T IO N MR-J2S10B サーボアンプ CABLE DEVICE NO. Q T Y M A KE R SVA1~8 8 REMARK’S MITSUB1SHI CABLE BATTERY MITSUB1SHI 8 MITSUB1SHI RESISTOR 8 MITSUB1SHI CONNECTOR 2 MITSUB1SHI ケーブル 8 MITSUB1SHI 2 MITSUB1SHI 11 OMRON PH 11 OMRON PH 13 OMRON PH 13 OMRON GC 39 NAGANO 8 MITSUB1SHI GC 3 NAGANO 1 TORE 1 FUJI 18 HORIBA 18 DDK ブラケット E3Z-T61 光電スイッチ ブラケット DIFFERENTIAL PRESSURE 10120-3000VE 10320-52F0-008 コネクタ PH デジタルファイバ-アンプ BRACKET MR-J2SHBUS5M(5m) CONNECTOR OMRON REMARK’S MR-PWCNK1 電源コネクタ CABLE 11 E3X-DA11-N PHOTO SWITCH MR-AーTM 終端抵抗 PH BRACKET MR-BAT バッテリ DEVICE NO. QT Y M A K E R E32-T61-S AMP 8 MR-J2HBUS05M ケーブル ファイバ- S P E C I F I CA T I O N FIBER MR-JCCBL**M-L ケーブル D E S I G NA T I O N GC62-241-20P21 差圧計 DIFFERENTIAL PRESSURE GC30-101-E8N38B 差圧計 RF-30 O2 ANALYZER 酸素分析装置 ZAFEK403-QYBAY H2 ANALYZER 水素分析装置 MASS FLOW CONTROLLER PE-D20 マスフローコントローラ 17JEー13150-02(D8B)ーCG CONNECTOR 同上コネクター REVISIONS 変更 DESCRIPTION PART’S NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 DRAWN LIST TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO 4/4 R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 5 R 6 6 4 AC220V 60Hz(動力盤1より) (AC220V) 116 20 L43 3Φ3W 1) L42 60Hz(FROM POWER PANEL L41 AC220V PE 116 00 3Φ3W WATER HEATER 1 水ヒ ーター NFB40H (25A) L23 L22 L21 PE (63AF/30AT) 01 40R 21 40R SSR40(25A) G3PE-225B 40S 02 1 1 A2(-)A1(+) H40 40V 2 22 ELB02 +40 SHT (400AF/400AT) 03 C40 L33 L32 L31 04 GAS MIXING CONTROL PANEL (TO DMC31) R14 23 100mA CR048 -40A -40 CR060 1 68 10 S14 1 7 00 0 24 ガス混合盤 L31 05 WATER HEATER 7 Tr01 440/220V 230KVA 水ヒ ーター NFB41H L41 25 L32 L42 TO WETTER TAPE HEATER L33 L43 ウエッター.テープヒータへ 06 41S SSR41(25A) G3PE-225B 1 A2(-)A1(+) H41 41W 2 +41 SHT (TO DMC31) R14 C41 (63AF/50AT) L51 08 41S 41T 27 NFB51 L52 TO CONTROL CIRCUIT L53 制御回路へ 7 (25A) (63AF/30AT) 26 07 (DMC31へ) CR049 -41A -41 (DMC31へ) CR061 1 68 11 S14 28 1 7 00 1 WATER HEATER 2 09 水ヒ ーター 29 NFB42H (25A) (63AF/30AT) 42T 10 2 42T SSR42(25A) G3PE-225B 30 42R 1 H42 42U 2 A2(-)A1(+) 11 31 +42 SHT (TO DMC31) 12 C42 R14 32 CR04A -42A -42 (DMC31へ) CR062 1 68 12 S14 1 7 00 2 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 L43 L42 L41 PE L23 L22 L21 33 PE 13 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(1) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 6 R 6 6 4 1 NFB43H 43R 43S 1 A2(-)A1(+) L43 水ヒ ーター 46R 21 46R SSR46(25A) G3PE-225B H43 43V 2 46S 02 6 (20A) (63AF/30AT) 43R SSR43(25A) G3PE-225B WATER HEATER 6 NFB46H (25A) (63AF/30AT) 01 117 20 3 L42 水 ヒータ ー L41 WATER HEATER 3 PE (AC220V) L43 L42 L41 117 00 PE (AC220V) 1 A2(-)A1(+) H46 46V 2 22 +43 SHT C43 CR04B -43A -43 CR063 16 51 3 S14 (TO DMC32) R14 23 (DMC31へ) 16 70 3 04 SHT C46 R14 03 +46 (TO DMC31) CR04E -46A -46 CR066 1 65 16 S14 1 6 70 6 24 WATER HEATER 4 水 ヒータ ー NFB44H 05 44S 44T 06 25 SSR44(25A) G3PE-225B 1 A2(-)A1(+) 47S 2 SSR47(45A) G3PE-245B 47T 26 -44A -44 CR064 S14 (TO DMC32) R14 (DMC32へ) 16 51 4 A2(-)A1(+) H47 47W 2 SHT C47 CR04C 1 +47 27 (TO DMC32) R14 08 47S H44 44W CR04F -47A (DMC32へ) -47 CR067 1 65 17 S14 28 16 70 4 1 6 70 7 WATER HEATER 5 水 ヒータ ー 09 1 ( 3 0 .0 A ) (63AF/50AT) 44S SHT C44 ウエ ッター テープ ヒータ ー NFB47H +44 07 WETTER TAPE HEATER 1 4 (25A) (63AF/30AT) (DMC32へ) NFB45H WETTER TAPE HEATER 7 ウ エッタ ーテー プヒー ター 29 NFB48H (25A) (63AF/30AT) 45T SSR45(25A) G3PE-225B 1 48T H45 2 48T SSR48(45A) G3PE-245B 30 45U 7 ( 3 2 .8 A ) (63AF/50AT) 45T 10 45R 5 48R 1 A2(-)A1(+) H48 48U 2 A2(-)A1(+) 11 31 +45 SHT CR04D -45A -45 CR065 S14 (DMC32へ) 32 16 51 5 16 70 5 CR050 -48A -48 (DMC33へ) CR068 1 66 00 S14 1 6 71 0 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 L43 L42 L41 PE L43 L42 L41 33 PE 13 (TO DMC33) R14 C48 C45 12 +48 SHT (TO DMC32) R14 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(2) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 7 R 6 6 4 1 NFB49H 49R 49S 1 A2(-)A1(+) L43 L42 52R 21 52R SSR52(45A) G3PE-245B H49 49V 2 52S 02 5 ( 2 6 .0 A ) (63AF/50AT) 49R SSR49(45A) G3PE-245B WETTER TAPE HEATER 5 ウ エッタ ーテー プヒー ター NFB52H ( 3 6 .2 A ) (63AF/50AT) 01 118 20 2 L41 WETTER TAPE HEATER 2 ウエッ ターテ ープヒ ーター PE (AC220V) L43 L42 L41 118 00 PE (AC220V) 1 A2(-)A1(+) H52 52V 2 22 +49 SHT C49 CR051 -49A -49 CR069 16 60 1 S14 16 71 1 04 (TO DMC34) R14 23 (DMC33へ) C52 R14 03 +52 SHT (TO DMC33) CR054 -52A (DMC34へ) -52 CR06C 1 66 04 S14 1 6 71 4 24 WETTER TAPE HEATER 3 ウ エッタ ーテー プヒー ター NFB50H 05 50S 50T 06 25 SSR50(45A) G3PE-245B 1 A2(-)A1(+) 53S 2 SHT 26 CR052 -50A -50 A2(-)A1(+) H53 53W 2 SHT (TO DMC34) R14 (DMC33へ) CR06A 16 60 2 S14 1 +53 27 C53 C50 SSR53(45A) G3PE-245B 53T (TO DMC33) R14 08 53S H50 50W CR055 -53A (DMC34へ) -53 CR06D 1 66 05 S14 28 16 71 2 1 6 71 5 WETTER TAPE HEATER 4 ウエッ ターテ ープヒ ーター 09 6 ( 3 5 .9 A ) (63AF/50AT) 50S +50 07 ウ エッタ ーテー プヒー ター NFB53H ( 3 1 .0 A ) (63AF/50AT) WETTER TAPE HEATER 6 3 NFB51H BRANCH PIPE TAPE HEATER 1 配 管テー プヒー ター 29 NFB54H ( 2 4 .4 A ) (63AF/50AT) 51T SSR51(45A) G3PE-245B 1 54T H51 2 54T SSR54(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) 30 51U 54R A2(-)A1(+) 11 1 ( 3 7 .1 A ) (63AF/60AT) 51T 10 51R 4 H54 54U 31 +51 SHT CR053 -51A -51 CR06B S14 (DMC33へ) 32 16 60 3 16 71 3 CR056 -54A -54 (DMC34へ) CR06E 1 66 06 S14 1 6 71 6 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 L43 L42 L41 PE L43 L42 L41 33 PE 13 (TO DMC34) R14 C54 C51 12 +54 SHT (TO DMC33) R14 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(3) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 8 R 6 6 4 1 NFB55H 55R 55S L43 119 20 (7) 配 管テー プヒー ター 58R 21 SSR58(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) 58S 02 (4) 58R H55 55V 5 ( 3 7 .1 A ) (63AF/60AT) 55R SSR55(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) BRANCH PIPE TAPE HEATER 5 NFB58H ( 4 8 .2 A ) (63AF/60AT) 01 2 L42 配管テ ープヒ ーター L41 BRANCH PIPE TAPE HEATER 2 PE (AC220V) L43 L42 L41 119 00 PE (AC220V) H58 58V 22 +55 SHT C55 CR057 -55A -55 CR06F 16 60 7 S14 16 71 7 04 (TO DMC35) R14 23 (DMC34へ) C58 R14 03 +58 SHT (TO DMC34) CR05A -58A -58 CR072 1 66 12 S14 1 6 80 2 24 BRANCH PIPE TAPE HEATER 3 配管テ ープヒ ーター NFB56H 05 56S 06 25 SSR56(60A) G3PA-260B-VD 1 A2(-)A1(+) 59S 2 -56A -56 (TO DMC35) R14 (DMC35へ) CR070 16 61 0 S14 A2(-)A1(+) H59 59W 2 SHT C59 CR058 1 +59 27 (TO DMC35) R14 08 SSR59(60A) G3PA-260B-VD 59T 26 CR05B -59A (DMC35へ) -59 CR073 1 66 13 S14 28 16 80 0 1 6 80 3 BRANCH PIPE TAPE HEATER 4 配管テ ープヒ ーター 09 (5) 59S H56 56W 6 ( 3 4 .2 A ) (63AF/60AT) 56S SHT C56 配 管テー プヒー ター NFB59H +56 07 BRANCH PIPE TAPE HEATER 6 (2) ( 4 3 .2 A ) (63AF/60AT) 56T 3 (DMC35へ) NFB57H 57T 57R (3) BRANCH PIPE TAPE HEATER 7 配 管テー プヒー ター 29 NFB60H ( 4 2 .2 A ) (63AF/60AT) 10 4 SSR57(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) 60T H57 60T SSR60(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) 30 57U 60R 11 (5) ( 3 7 .7 A ) (63AF/60AT) 57T 7 H60 60U 31 +57 SHT CR059 -57A -57 CR071 S14 (DMC35へ) 32 16 61 1 16 80 1 CR05C -60A -60 (DMC36へ) CR074 1 66 14 S14 1 6 80 4 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 L43 L42 L41 PE L43 L42 L41 33 PE 13 (TO DMC36) R14 C60 C57 12 +60 SHT (TO DMC35) R14 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(4) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 1 9 R 6 6 4 1 NFB61H サンプ リング テープ ヒータ ー L43 120 20 (6) SAMPLING TAPE HEATER 2 NFB64H 61R 64T 61R SSR61(60A) G3PA-260B-VD 1 2 A2(-)A1(+) 61S 64T SSR64(45A) G3PE-245B 21 64R H61 1 61V 02 2 ( 3 3 .7 A ) (63AF/50AT) ( 3 7 .9 A ) (63AF/60AT) 01 8 L42 配管テ ープヒ ーター L41 BRANCH PIPE TAPE HEATER 8 PE (AC220V) L43 L42 L41 120 00 PE (AC220V) A2(-)A1(+) H64 64U 2 22 +64 SHT SHT (TO DMC36) R14 03 C61 CR05D -61A -60 (TO DMC37) R14 C64 +61 23 (DMC36へ) CR07B -64A 1 68 1 3 S14 CR075 16 61 5 S14 1 6 81 0 16 80 5 04 24 BRANCH PIPE TAPE HEATER 9 配管テ ープヒ ーター NFB62H 05 (DMC37へ) -64 CR078 62S SSR62(60A) G3PA-260B-VD 25 1 A2(-)A1(+) 2 26 +62 -62A -62 1 A2(-)A1(+) H65 65W 2 SHT (TO DMC37) R14 (DMC36へ) C65 CR05E CR076 16 61 6 S14 SSR65(45A) G3PE-245B +65 27 (TO DMC36) R14 08 65S H62 65T 3 ( 2 1 .1 A ) (63AF/50AT) 65S 62W SHT C62 サンプ リング テープ ヒータ ー 62S 62T 07 SAMPLING TAPE HEATER 3 (PURGE) NFB65H ( 4 0 .0 A ) (63AF/60AT) 06 9 CR07C -65A -65 CR079 1 68 1 4 S14 28 16 80 6 (DMC37へ) 1 6 81 1 SAMPLING TAPE HEATER 1 サン プリン グテー プヒ ーター 09 NFB63H 29 CP1C ( 2 0 .4 A ) (63AF/50AT) 63T (20A) 63T SSR63(45A) G3PE-245B 10 63R 1 1 RC1 H63 AC220V 30 CON1 63U 2 RECEPTACLE SC1 コンセント SC2 RECEPTACLE A2(-)A1(+) CP2C 11 31 (20A) +63 SHT (TO DMC36) C63 R14 12 CR07A -63A -63 CR077 S14 (DMC36へ) AC220V CON2 コンセント TC2 32 16 81 2 16 8 07 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 L43 L42 コンセンの横に記録計入力端子台を設ける事。 L41 *注 PE L43 L42 L41 33 PE 13 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(5) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 0 R 6 6 4 1 3Φ3W60HZAC220V GR 121 20 GE NE RA TOR 7 .5KV A T LG ー7.5 ES K (DENYO) L53 22 L73 02 PE 21 L72 L1 L2 L3 01 L71 L52 PE L51 (AC220V) 121 00 NFBD (30AF/30AT) NFBG (30AF/30AT) TG0 SG0 RG0 TD0 SD0 23 RD0 03 04 EMERGENCY POWER SOURCE 24 CPD1 (3AT) CPG1 (3AT) PL0 RD1 RD0 PRIMARY POWER SOURCE W MY2N 05 CR 1D SD0 MC1G MC2G 100 06 1 21 26 CR045 101 102 12 1 32 常用電源表示 PL1 RG1 RG0 MY2N 25 POWER SOURCE CR 1G SG0 常用電源確認 MC1D MC 1D 1st POWER SOURCE MC2D 110 26 常用第1電源 16 80 5 12 10 6 08 28 SD0 MC2D RD01 L62 TD01 L63 1 2 10 6 10 RG0 L61 SD01 TD0 POWER SOURCE MC1G RG01 SG0 29 電源 30 CPD2 (3AT) MC2G L61 L62 TG01 12 1 26 L63 POWER SOURCE 電源 1 2 13 2 CPG2 (3AT) 31 MC1G TD2 12 MC2G 103 1 21 26 104 12 13 2 MC 2D MC1D 2nd POWER SOURCE TG2 32 常用第2電源 EMERGENCY MC2D 112 12 10 6 MC 2G 113 1 21 1 2 S-2×N35 2nd POWER SOURCE 非常用第2電源 S-2×N35 SD2 SG2 CR1D REVISIONS 変更 DESCRIPTION 理由 1 6 5 01 MC1D M C 2D 1 21 0 9 12109 1 21 2 6 1 21 3 2 CR 1 G MC1G MC2G 1 2 10 6 12 1 0 6 12126 1 2 11 2 12 1 1 2 12132 1 2 12 9 12 1 2 9 16502 16503 TG0 SG0 RG0 TD0 SD0 33 RD0 13 NO. 非常用第1電源 1 21 1 2 SG01 TG0 12 1 12 11 BY 変更者 非常用電源確認 S-2×N35 27 09 EMERGENCY POWER SOURCE SG1 07 MC1D 非常用電源表示 EMERGENCY 1st POWER SOURCE MC 1G 111 S-2×N35 SD1 RD0 EMERGENCY POWER SOURCE W DESCRIPTION MAIN CIRCUIT(6) R664 16 5 0 4 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 1 R 6 6 4 (30AF/5AT) 01 MC1 R1 R1A S1 S1A T1 T1A R S V T W U1 1 V1 2 W1 3 L11 サ-ボモ-タ NFB3 M 1 NO. 1 ROLLER 21 N O .1 ロ ー ラ SAV3 MC3 R3 R3A S3 S3A T3 T3A 4 HC-KFS053G1 E 02 SERVO MOTOR (30AF/5AT) U 1 79 0 0 L63 122 20 SAV1 L62 NFB1 L61 サ-ボモ-タ PE (AC220V) SERVO MOTOR L63 L62 L61 122 00 PE (AC220V) 03 22 E 23 E MR-JCCBL**M-L MR-J2HBUS05M L12+ CN1B 4+ TO TEMP.RECORDER 25 TO SVA2 記録計へ SVA2へ TO SVA4 L12ー SVA4へ 1- MR-J2S-10B 26 SERVO MOTOR サ-ボモ-タ 08 サ-ボモ-タ 27 NFB4 SAV2 MC2 R2 R2A S2 S2A T2 T2A R 09 (30AF/5AT) U S V T 1 79 0 1 W U2 1 V2 2 W2 3 M 2 NO. 2 ROLLER 28 N O .2 ロ ー ラ SAV4 MC4 R4 R2A S4 S2A T4 T2A 4 HC-KFS053G1 E L11 29 E CABLE 専用ケ-ブル CN2 MR-J2HBUS05M MR-JCCBL**M-L 30 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 NO. 4 ROLLER N O .4 ロ ー ラ E ROTARY 専用ケ-ブル エンコ-ダ CN1A 31 CN2 MR-J2HBUS05M ENCODER エンコ-ダ MR-JCCBL**M-L 32 記録計へ SVA3へ L13ー CN1B MR-A-TM 1- MR-J2S-10B L63 33 L62 1- 4+ TO TEMP.RECORDER PE L63 L62 L61 PE REVISIONS 3 M 4 CN3 MR-J2S-10B 13 W4 CABLE L13+ TO SVA3 L11ー 2 4 HC-KFS053G1 SVA3より L61 記録計へ W V4 D FROM SVA3 ENCODER CN1B TO TEMP.RECORDER 12 NO. 4+ T L11 CN3 L11+ V 1 P ROTARY SVA1より 11 S U4 L21 D CN1A U E P FROM SVA1 R 17 9 03 L21 10 エンコ-ダ CN2 SERVO MOTOR (30AF/5AT) ENCODER 専用ケ-ブル CN3 1- NFB2 N O .3 ロ ー ラ ROTARY CN1A CN1B MR-J2S-10B 07 NO. 3 ROLLER 4 HC-KFS053G1 SVA2より 24 TO TEMP.RECORDER 06 3 CABLE エンコ-ダ CN2 MR-JCCBL**M-L 4+ L10ー W3 M 3 D FROM SVA2 CN3 記録計へ W L11 ENCODER CABLE MR-J2HBUS1M 05 T 2 P ROTARY D CN1A L10+ V 1 V3 L21 専用ケ-ブル 04 S U3 E P TO UNIT U 17 9 02 L21 位置決ユニットへ (QD75M4) R DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(7) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 2 R 6 6 4 (30AF/5AT) 01 MC5 R5 R5A S5 S5A T5 T5A R S V T W U5 1 V5 2 W5 3 L11 サ-ボモ-タ NFB7 M 5 NO. 5 ROLLER 21 N O .5 ロ ー ラ SAV7 MC7 R7 R7A S7 S7A T7 T7A 4 HC-KFS053G1 E 02 SERVO MOTOR (30AF/5AT) U 1 79 0 4 L63 123 20 SAV5 L62 NFB5 L61 サ-ボモ-タ PE (AC220V) SERVO MOTOR L63 L62 L61 123 00 PE (AC220V) 03 22 E CABLE 23 E 専用ケ-ブル MR-J2HBUS05M MR-JCCBL**M-L 4+ CN1B 25 TO SVA6 TO SVA8 SVA6へ SVA8へ 1- MR-J2S-10B 26 SERVO MOTOR サ-ボモ-タ 08 サ-ボモ-タ 27 NFB8 SAV6 MC6 R6 R6A S6 S6A T6 T6A R 09 (30AF/5AT) U S V T 1 79 0 5 W U6 1 V6 2 W6 3 M 6 NO. 6 ROLLER 28 N O .6 ロ ー ラ SAV8 MC8 R8 R8A S8 S8A T8 T8A 4 HC-KFS053G1 E L11 29 E CABLE 専用ケ-ブル CN2 MR-J2HBUS05M MR-JCCBL**M-L 30 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 ENT.HOOD.C/V 入口フードC/V E ROTARY 専用ケ-ブル CN1A 31 CN2 MR-J2HBUS05M ENCODER エンコ-ダ MR-JCCBL**M-L 4+ CN1B MR-A-TM 32 SVA7へ 1- MR-J2S-10B L63 33 PE L63 L62 L61 PE REVISIONS 3 4 HC-KFS053G1 SVA7より L62 1- MR-J2S-10B 13 W8 M 8 CN3 TO SVA7 L15ー 2 CABLE エンコ-ダ L61 記録計へ W V8 D FROM SVA7 ENCODER CN1B TO TEMP.RECORDER 12 NO. 4+ T L11 CN3 L15+ V 1 P ROTARY SVA5より 11 S U8 L21 D CN1A U E P FROM SVA5 R 17 9 07 L21 10 エンコ-ダ CN2 SERVO MOTOR (30AF/5AT) ENCODER CN3 1- NFB6 出口フードC/V ROTARY CN1A CN1B MR-J2S-10B 07 EXIT HOOD.C/V 4 HC-KFS053G1 SVA6より 24 TO TEMP.RECORDER 06 3 CABLE エンコ-ダ MR-JCCBL**M-L 4+ L14ー W7 M 7 D FROM SVA6 CN3 記録計へ W L11 ENCODER CN2 MR-J2HBUS1M 05 T 2 P ROTARY D CN1A L14+ V 1 V7 L21 専用ケ-ブル 04 S U7 E P TO UNIT U 17 9 06 L21 位置決ユニットへ (QD75M4) R DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(8) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 3 R 6 6 4 T21 S21 R21 124 20 PE (AC220V) L63 L62 L61 124 00 PE (AC220V) NFB21 (30AF/30AT) R21 S21 INV21 T21 S21 21 R21 01 R21 S21 02 T21 X018 03 Z24 INV23 T21 R U S V T W A PC C STF U21 RM U S V T W EXIT ROLLER C/V M 21 V21 W21 出口ローラC/V X01A 22 0 .1 K W P24A1M C 05 DB DG SLD 06 V231 V23 W231 W23 P24A1M Y080 Y084 EXIT NO.1 LIFTER ROLLER 1 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 1 12W X01B W23A STF Y085 M 23A V23A PC Z24 RH 24 M 23 THR23A(0.12A) U23A EXIT NO.1 LIFTER ROLLER 2 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 2 12W X01B RM FAーA7NC 21CH DA THR23(0. 12A) U23 A Z24 23 Y081 U231 Z24 RH 04 R THR23B(0.12A) U23B DA1 DB1 CC LINK DG1 CC M 23B V23B 25 リンク FR-E720 -0.2K SLD1 W23B EXIT NO.1 LIFTER ROLLER 3 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 3 12W X01B 26 FG THR23C(0.12A) U23C FR-E720 -0.2K 07 M 23C V23C 27 W23C EXIT NO.1 LIFTER ROLLER 4 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 4 12W X01B INV22 08 R21 S21 T21 09 28 R U S V T W U22 EXIT PURGE ROOM C/V M 22 V22 W22 出口置換室C/V 0 .1 K W 29 INV24 X019 Z24 10 A PC C STF P24A1M R21 Y082 S21 30 T21 RH RM 11 STR X01C 31 13 T21 S21 R21 PE FG REVISIONS NO. BY 変更者 FR-E720 -0.2K 変更 DESCRIPTION 理由 T W A PC C STF EXIT TRANSFER C/V M 24 V24 W24 出口移送C/V 40W P24A1M Y086 CC LINK DG1 CC 32 RM Y087 リンク SLD1 FR-E720 -0.2K 33 T21 SLD V U24 RH DB1 S21 DG Z24 R21 DB S DA1 PE 12 U Y083 Y0A4 FAーA7NC 22CH DA R DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(9) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 4 R 6 6 4 T21 S V T W U251 V251 V25 W251 W25 Z24 X01D 02 Z24 P24A1M 03 Y088 04 M 25 L63 NFB26 (30AF/10AT) EXIT NO.2 LIFTER ROLLER 1 21 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 1 12W X01E 22 A C INV26 THR25A(0.12A) U25A V25A PC W25A STF Z24 RH Y089 L62 THR25(0. 12A) U25 T26 01 U S26 S21 R R26 R21 L61 125 20 INV25 PE (AC220V) T21 S21 R21 125 00 PE (AC220V) R26 M 25 A EXIT NO.2 LIFTER ROLLER 2 S26 23 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 2 T26 X01F 24 RM Z24 THR25B(0.12A) U25B 05 FR-E720 -0.2K W25B U S V T W A PC C STF U26 RETURN ENT. C/V V26 W26 M 26 リターン入口C/V M 27 N O .1 リ タ ー ン C / V 0 .1 K W 12W X01E V25B R M 25 B Y08A RH EXIT NO.2 LIFTER ROLLER 3 25 RM Y08B 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 3 12W X01E P24A1M 06 FR-E720 -0.1K 26 THR23C(0.12A) U25C V25C 07 W25C M 25 C EXIT NO.2 LIFTER ROLLER 4 27 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 4 12W X01E 08 28 INV27 R26 09 R S26 29 T26 10 MC39 Z24 THR39(0. 4A) U39 V39 11 W39 1 74 0 2 Z24 S V T W A PC C STF EXIT NO. 1 COOLING FAN M 39 U27 NO. 1 RETURN C/V V27 W27 0 .1 K W P24A1M Y08C RH 出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン 31 RM Y08D 95W X02E FR-E720 -0.1K 12 32 THR40(0. 4A) REVISIONS BY 変更者 1 74 0 3 変更 DESCRIPTION 理由 Z24 X02F 33 95W T26 T21 S21 R21 PE W40 出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン S26 V40 13 EXIT NO. 2 COOLING FAN M 40 R26 U40 PE MC40 NO. X020 30 U DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(10) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 5 R 6 6 4 01 T26 S26 R26 126 20 PE (AC220V) T26 S26 R26 126 00 PE (AC220V) 21 INV28 R26 S26 02 T26 X021 03 Z24 INV30 R U S V T W A PC C STF U28 V28 W28 NO. 2 RETURN C/V M 28 N O .2 リ タ ー ン C / V R26 S26 22 0 .1 K W P24A1M T26 X023 23 Y08E Z24 R U S V T W A PC C STF RH 04 RM NO. 4 RETURN C/V M 30 V30 W30 N O .4 リ タ ー ン C / V 0 .1 K W P24A1M Y092 RH Y08F 24 RM FR-E720 -0.2K Y093 FR-E720 -0.2K 05 25 06 26 07 27 INV29 R26 S26 08 T26 X022 09 Z24 R INV31 U S V T W A PC C STF U29 V29 W29 P24A1M NO. 3 RETURN C/V M 29 N O .3 リ タ ー ン C / V R26 R S26 28 0 .1 K W T26 X024 29 Z24 Y090 U S V T W A PC C STF 10 RM Y091 30 RM BY 変更者 PE DESCRIPTION 理由 V31 W31 リターン出口C/V 0 .1 K W P24A1M Y094 Y095 T26 33 S26 13 T26 32 S26 12 R26 31 PE 11 変更 RETURN EXIT C/V M 31 FR-E720 -0.1K R26 FR-E720 -0.2K REVISIONS U31 RH RH NO. U30 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(11) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 6 R 6 6 4 T32 S32 R32 127 20 PE (AC220V) L53 L52 L51 127 00 PE (AC220V) NFB32 (30AF/10AT) R32 R S32 T32 21 S32 01 R32 INV33 T32 02 X027 22 INV32 R32 S32 03 T32 R U S V T W U321 V321 V32 W321 W32 Z24 X025 04 Z24 P24A2M 05 Y096 Y097 M 32 ENT. NO.1 LIFTER ROLLER 1 V T W A PC C STF 23 12W X026 W33 40W P24A2M Y098 Y099 FR-E720 -0.1K 24 C THR32A(0.12A) U32A V32A PC W32A STF Z24 M 32 A ENT. NO.1 LIFTER ROLLER 2 25 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 2 INV34 12W X026 R32 S32 26 RM V32B 07 FR-E720 -0.2K T32 W32B Z24 M 32 B ENT. NO.1 LIFTER ROLLER 3 X028 27 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 3 Z24 X026 V T W C P24A2M Y09A THR29C(0.12A) U32C W32C S U341 THR34(0. 12A) U34 V341 V34 W341 W34 M 32 C ENT. NO.1 LIFTER ROLLER 4 ENT. NO.2 LIFTER ROLLER 1 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 1 12W X029 THR34A(0.12A) U34A V34A PC W34A STF Z24 RH Y09B 29 M 34 A Z24 28 09 U 12W X026 V32C R Z24 08 M 34A ENT. NO.2 LIFTER ROLLER 2 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 2 12W X029 RM 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 4 THR34B(0.12A) U34B 12W V34B 30 FR-E720 -0.2K 11 入口移送C/V RH RM THR29B(0.12A) U32B 10 S ENT. TRANSFER C/V M 33 V33 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ 1 A RH 06 Z24 THR32(0. 12A) U32 U33 U W34B Z24 M 34B ENT. NO.2 LIFTER ROLLER 3 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 3 12W X029 31 THR34C(0.12A) U34C 12 V34C 32 W34C Z24 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ 4 12W T32 S32 R32 PE T32 S32 R32 REVISIONS NO. ENT. NO.2 LIFTER ROLLER 4 33 PE 13 X029 M 34C DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(12) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 7 R 6 6 4 R32 R S32 01 T32 L63 L62 L61 128 20 INV35 PE (AC220V) T32 S32 R32 128 00 PE (AC220V) NFB41 (30AF/5AT) U35 U S V T W V35 W35 M 35 ENT. PURGE ROOM C/V R41 入口置換室C/V S41 21 0 .1 K W X02A Z24 A PC C STF P24A2M U41 H2 CONTROL PANEL BLOWER 1 V41 T41 W41 17 4 05 02 THR41(1. 4A) MC41 Z24 M 41 H2盤ブロワー M 42 H2盤ブロワー 1 0 .2 K W X032 22 Y09C RH 03 RM Y09D 23 NFB42 (30AF/5AT) R42 FR-E720 -0.1K 04 24 THR42(1. 4A) MC42 U42 W42 T42 17 4 06 05 H2 CONTROL PANEL BLOWER 2 V42 S42 Z24 2 0 .2 K W X033 25 INV36 R32 R S32 06 S T32 X02B 07 Z24 U36 U V36 V T W A PC C STF W36 ENT. ROLLER C/V M 36 入口ローラC/V 26 0 .1 K W P24A2M 27 Y09E RH 08 RM Y09F 28 FR-E720 -0.1K 09 29 10 30 NFB38 (30AF/20AT) R38 11 MC38 U38 S38 V38 T38 W38 1 74 0 1 Z24 ENT. VACUUM PUMP M 38 入口真空ポンプ 31 2 .2 K W X02D T32 33 S32 13 R32 32 PE 12 REVISIONS NO. THR38(9. 2A) BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN MAIN CIRCUIT(13) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 8 R 6 6 4 FROM CUSTOMER(UPS) L53 L52 129 00 L51 (AC220V) 客先より(UPS) (AC440V) 3 129 20 CP1V 01 VA2 L83 電圧計 L82 POWER VOLTAGE V 1 PE VA1 L81 (3A) 21 ELB03 0~300V (125AF/20AT) 100.200.500mA切替 CP1F 02 22 (4A) F2 03 FAN ファン 1~5 L93 FAN 1~5 L92 L91 F1 23 NFB37 (AC200V) (30AF/10AT) R37 THR37(5. 5A) MC37 U37 EXIT VACUUM PUMP CP3F 04 FL1 20W (4A) DS1 F5 F6 24 FLUORESCENT LAMP 1 F7 05 W37 T37 盤内照明1 M 37 V37 S37 17 4 00 Z24 出口真空ポンプ 2 .2 K W X02C 25 FL2 20W DS2 FLUORESCENT LAMP 2 F8 盤内照明2 06 26 Tr2 CP2S 400.440.480/100V 3KVA Tr1 200.220.240V/100V 1. 5KVA 入 KSS1 H02 H03 G01 FL3 20W (4A) F9 DS3 F10 SAFETY SWITCH 安全スイッチ 27 G02 SR-N8 MC 1H CP4F S100 08 R100 07 切 (4A) H01 FLUORESCENT LAMP 3 (GAS PANEL) 28 盤内照明3(ガス盤) F11 09 29 CP2F MC1H H04 (6A) CONTROL POWER F3 10 1 2 92 8 30 SOURCE(AC100V) F4 11 FAN ファン 操作電源(AC100V) G04 FAN 6~8(GAS PANEL) 6~8(ガス盤) 31 CP3C (4A) 1 MC1H R1CA 12 R1C 1 29 28 32 S1CA S1C CONTROL POWER SOURCE 操作電源 変更 MC1H 1 29 1 2 CR2M L93 L92 L91 PE 13 92 3 V1 REVISIONS S1C1M 33 S100 13 R100 CR1M S1C2M 13 92 6 DESCRIPTION 1 29 3 0 CONTROL CIRCUIT(1) 1 29 3 2 NO. BY 変更者 1 GOTO DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 2 9 R 6 6 4 1 CP3S G04 130 20 H04 (AC100V) G04 130 00 H04 (AC100V) CP1P CP2P (15A) (10A) H05 (4A) 1 3 2 4 P24A Z24-1 Z24 CPU I/O CIRCUIT N -V CPU入出力回路 20A 0V PROGRAMABLE Q06UDEHCPU CR1M CONTROLLER シ-ケンサ- E 02 P24-1 PS1 G05 21 1 +V 100V NF 01 L P24A1M 13 92 3 22 CR2M P24A2M 13 92 6 03 23 CP3P (6A) LG P24E E 04 WETTER SUPPLY VALVE 24 Z24 ウエッター給水弁 CP4P 05 25 (4A) P24F CP11 (6A) R11HA 06 R11H TEMP.RECORDER Z24 26 EXHAUST MANOMETER 排気圧力計 NF S11HA 2 S11H CP5P 温度記録計電源 (10A) 07 27 L +V E P24B Z24-2 Z24 PS2 CP12 (4A) N R12 08 P24-2 LINK TERMINAL -V 28 CR1M PROGRAMABLE TERMINAL S12 リモ-トI/O 10A P24B1M プログラマブルターミナル 13 92 3 CR2M 09 P24B2M 29 CP13 13 92 6 (10A) CP6P R13 (10A) MASFLOW 10 S13 30 L N P24C Z24-3 Z24 TEMP.CONTROLER 温度調節計 -V 10A 31 (4A) P24-3 PS3 CP14 11 +V マスフロー電磁弁 R14 TO NFB S14 12 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 G04 H04 G04 REVISIONS NO. 32 33 H04 13 NFBへ DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(2) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 0 R 6 6 4 AC100V R13 R0A8 N2-1 R0A9 N2-2 R0AA N2ー3 MASS FLOW VALVE N2-3 17 4 12 R0AB N2-4 R0AC N2-5 R0AD N2-6 R0AE N2-7 R0AF N2-予備 R0D8 N2ー1 BYPASS VALVE N2-1 17 7 10 R0D9 N2ー2 BYPASS VALVE N2-2 17 7 11 R0DA N2ー3 BYPASS VALVE N2-3 17 7 12 R0DB N2ー4 BYPASS VALVE N2-4 17 7 13 N2ー5 BYPASS VALVE R0DC N2-5 17 7 14 NO. R0DD DESCRIPTION 理由 32 バイパス用電磁弁 SOL0DD CR0DD BY 変更者 31 バイパス用電磁弁 SOL0DC CR0DC 変更 30 バイパス用電磁弁 SOL0DB CR0DB REVISIONS 29 バイパス用電磁弁 SOL0DA CR0DA 17 7 15 28 バイパス用電磁弁 SOL0D9 CR0D9 13 27 マスフロー用電磁弁 SOL0D8 CR0D8 12 26 マスフロー用電磁弁 N2ーSPARE MASS FLOW VALVE 17 4 17 11 25 SOL0AF CR0AF 10 エアー-6マスフロー用電磁弁 マスフロー用電磁弁 N2ー7 MASS FLOW VALVE 17 4 16 09 AIR-6 MASS FLOW VALVE 1 7 50 7 SOL0AE CR0AE 08 マスフロー用電磁弁 N2ー6 MASS FLOW VALVE 17 4 15 07 SOL0B7 R0B7 24 SOL0AD CR0AD 06 AIR-5 MASS FLOW VALVE エアー-5マスフロー用電磁弁 1 7 50 6 CR0B7 N2ー5 MASS FLOW VALVE 17 4 14 SOL0B6 R0B6 23 マスフロー用電磁弁 SOL0AC CR0AC 05 22 CR0B6 N2ー4 MASS FLOW VALVE 17 4 13 04 バイパス用電磁弁 マスフロー用電磁弁 SOL0AB CR0AB 03 N2-予備 1 7 71 7 SOL0AA CR0AA 02 マスフロー用電磁弁 N2ーSPARE BYPASS VALVE R0DF 21 バイパス用電磁弁 SOL0DF CR0DF N2ー2 MASS FLOW VALVE 17 4 11 N2-7 1 7 71 6 SOL0A9 CR0A9 01 N2ー7 BYPASS VALVE R0DE 131 20 マスフロー用電磁弁 S13 SOL0DE CR0DE N2ー1 MASS FLOW VALVE 17 4 10 AC100V R13 SOL0A8 CR0A8 13100 S13 N2ー6 BYPASS VALVE N2-6 33 バイパス用電磁弁 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(3) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 1 R 6 6 4 AC100V R13 R0B8 R0B9 ウ エッ タ ー7 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 R0BA 03 R0BC ウ エッ タ ー4 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 R0BD 05 17 2 16 H2ーSPARE MASS FLOW VALVE H2-予備 1 7 20 5 SOL0BE R0BE R0E0 26 ウ エッ タ ー6 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 H2ー1 BYPASS VALVE H2-1 1 7 50 0 R0E1 27 H2ー2 BYPASS VALVE H2-2 1 7 50 1 R0E2 28 H2ー3 BYPASS VALVE H2-3 1 7 50 2 R0E3 29 H2ー4 BYPASS VALVE H2-4 1 7 50 3 R0E4 30 H2ー7 BYPASS VALVE H2-7 1 7 50 4 R0E5 31 H2ーSPARE BYPASS VALVE H2-予備 1 7 50 5 12 32 13 33 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN バイパス用電磁弁 SOL0E5 CR0E5 11 バイパス用電磁弁 SOL0E4 CR0E4 10 バイパス用電磁弁 SOL0E3 CR0E3 09 バイパス用電磁弁 SOL0E2 CR0E2 08 バイパス用電磁弁 SOL0E1 CR0E1 07 マスフロー用電磁弁 SOL0E0 CR0E0 WETTER 6 OVER FLOW VALVE マスフロー用電磁弁 SOL0B5 R0B5 25 ウ エッ タ ー5 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 CR0BE 06 H2-7 CR0B5 WETTER 5 OVER FLOW VALVE 17 2 15 H2ー7 MASS FLOW VALVE 1 7 20 4 SOL0BD CR0BD R0B4 24 マスフロー用電磁弁 SOL0B4 CR0B4 WETTER 4 OVER FLOW VALVE 17 2 14 H2ー4 MASS FLOW VALVE H2-4 1 7 20 3 SOL0BC CR0BC 04 R0B3 23 ウ エッ タ ー3 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 マスフロー用電磁弁 SOL0B3 CR0B3 WETTER 3 OVER FLOW VALVE 17 2 13 H2ー3 MASS FLOW VALVE H2-3 1 7 20 2 SOL0BB R0BB マスフロー用電磁弁 SOL0B2 R0B2 22 ウ エッ タ ー2 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 CR0BB H2-2 CR0B2 WETTER 2 OVER FLOW VALVE 17 2 12 H2ー2 MASS FLOW VALVE 1 7 20 1 SOL0BA CR0BA 02 R0B1 21 マスフロー用電磁弁 SOL0B1 CR0B1 WETTER 7 OVER FLOW VALVE 17 2 11 H2ー1 MASS FLOW VALVE H2-1 1 7 20 0 SOL0B9 CR0B9 R0B0 132 20 ウ エッ タ ー1 オー バ ーフ ロー 電 磁弁 P24E SOL0B0 CR0B0 WETTER 1 OVER FLOW VALVE 17 2 10 01 DC24V Z24 SOL0B8 CR0B8 13200 S13 CONTROL CIRCUIT(4) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO バイパス用電磁弁 R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 2 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24E DC24V Z24 P24E CR0C0 CR0C4 13300 133 20 17 30 0 SOL0C0 CR0C0 R0C0 01 1 73 04 CR0C0 S0CD 17 3 00 17 30 0 SOL0C4 CR0C4 WETTER 1 WATER SUPPLY VALVE ウエッター1 R0C4 21 給水電磁弁 1 7 30 4 CR0C0 1 7 30 4 CR0C1 CR0C5 03 23 17 30 1 SOL0C1 CR0C1 R0C1 04 1 73 05 CR0C1 S0CE 17 3 01 17 30 1 SOL0C5 CR0C5 WETTER 1 DRAIN VALVE ウエッター1 R0C5 24 排水電磁弁 CR0C5 S0D2 1 7 30 5 CR0C1 ウエッター2 排水電磁弁 25 17 3 01 1 7 30 5 CR0C2 CR0C6 06 26 17 30 2 SOL0C2 CR0C2 R0C2 07 CR0C2 S0CF 17 3 02 1 73 06 WETTER 7 WATER SUPPLY VALVE 17 30 2 ウエッター7 SOL0C6 CR0C6 R0C6 27 給水電磁弁 WETTER 3 WATER CR0C6 S0D3 1 7 30 6 CR0C2 SUPPLY VALVE ウエッター3 1 73 06 給水電磁弁 CR0C6 08 28 17 3 02 1 7 30 6 CR0C3 CR0C7 09 29 17 30 3 SOL0C3 CR0C3 R0C3 10 17 3 03 1 73 07 CR0C3 S0D0 17 30 3 SOL0C7 CR0C7 WETTER 7 DRAIN VALVE ウエッター7 R0C7 30 排水電磁弁 CR0C7 S0D4 1 7 30 7 CR0C3 11 WETTER 3 DRAIN VALVE ウエッター3 1 73 07 排水電磁弁 CR0C7 31 17 3 03 1 7 30 7 12 32 13 33 REVISIONS GOTO WETTER 2 DRAIN VALVE 1 73 05 CR0C5 05 1 給水電磁弁 22 17 3 00 NO. ウエッター2 1 73 04 CR0C4 02 BY 変更者 WETTER 2 WATER SUPPLY VALVE CR0C4 S0D1 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(5) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 3 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24E DC24V Z24 P24E CR0C8 CR0CC 13400 134 20 17 31 0 SOL0C8 CR0C8 R0C8 01 CR0C8 S0D5 17 3 10 1 73 14 WETTER 4 WATER SUPPLY VALVE 17 31 0 ウエッター4 SOL0CC CR0CC R0CC 21 給水電磁弁 1 7 31 4 CR0C8 WETTER 6 WATER CR0CC S0D9 SUPPLY VALVE ウエッター6 1 73 14 給水電磁弁 CR0CC 02 22 17 3 10 1 7 31 4 CR0C9 CR0CD 03 23 17 31 1 SOL0C9 CR0C9 R0C9 04 1 73 15 CR0C9 S0D6 17 3 11 17 31 1 SOL0CD CR0CD WETTER 4 DRAIN VALVE ウエッター4 R0CD 24 排水電磁弁 CR0CD S0DA 1 7 31 5 CR0C9 WETTER 6 DRAIN VALVE ウエッター6 1 73 15 排水電磁弁 CR0CD 05 25 17 3 11 1 7 31 5 CR0CA 06 26 17 31 2 SOL0CA CR0CA R0CA 07 CR0CA S0D7 17 3 12 WETTER 5 WATER SUPPLY VALVE 17 31 2 ウエッター5 27 給水電磁弁 CR0CA 08 28 17 3 12 CR0CB 09 29 17 31 3 SOL0CB CR0CB R0CB 10 17 3 13 CR0CB S0D8 WETTER 5 DRAIN VALVE 17 31 3 ウエッター5 30 排水電磁弁 CR0CB 11 31 17 3 13 12 32 13 33 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(6) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 4 R 6 6 4 1 AC100V R13 S13 MFCW1N 13500 10 01 11 12 MASS FLOW 02 X648 Z24 N2-1 MASS FLOW CONTROLLER HIGH S13 21 ー8 EXT 22 W1Nー LOW Z24 12 W1N+ N2-5マスフローコントローラ X651 11 MASS FLOW N2-5 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 LOW EXT +14 X650 9 N2-1マスフローコントローラ X649 Z24 S13 MFCW5N 135 20 9 S13 AC100V R13 +14 TO TEMP. RECORDER ー8 W5N+ TO TEMP. RECORDER W5Nー 温度記録計へ 温度記録計へ PE-D20 PE-D20 03 23 MFCW2N 04 MFCW6N 9 S13 10 11 05 12 MASS FLOW X64A Z24 N2-2 MASS FLOW CONTROLLER HIGH 24 N2-2マスフローコントローラ S13 25 EXT +14 06 ー8 W2N+ TO TEMP. RECORDER W2Nー 温度記録計へ EXT +14 26 ー8 PE-D20 TO TEMP. RECORDER W6Nー 温度記録計へ 27 MFCW3N MFCW7N 9 S13 08 10 11 12 MASS FLOW 09 ー8 10 X64C Z24 N2-3 MASS FLOW CONTROLLER HIGH N2-3マスフローコントローラ Z24 W3N+ TO TEMP. RECORDER W3Nー 温度記録計へ 10 11 12 MASS FLOW 13 +14 ー8 Z24 Z24 S13 32 ー8 TO TEMP. RECORDER W4Nー 温度記録計へ EXT 33 +14 ー8 PE-D20 REVISIONS 変更 DESCRIPTION 理由 N2-予備マスフローコントローラ LOW Z24 12 W4N+ HIGH X657 11 MASS FLOW N2-SPARE MASS FLOW CONTROLLER Z24 10 LOW EXT +14 温度記録計へ X656 9 N2-4マスフローコントローラ X64F TO TEMP. RECORDER W7Nー MFCWSN N2-4 MASS FLOW CONTROLLER HIGH W7N+ PE-D20 31 X64E LOW Z24 EXT 30 9 12 MASS FLOW N2-7マスフローコントローラ X655 12 29 N2-7 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 11 MFCW4N S13 S13 28 LOW PE-D20 11 X654 9 X64D EXT +14 NO. W6N+ PE-D20 07 BY 変更者 LOW Z24 12 MASS FLOW N2-6マスフローコントローラ X653 11 LOW N2-6 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 X64B Z24 X652 9 WSN+ TO TEMP. RECORDER WSNー 温度記録計へ PE-D20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(7) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 5 R 6 6 4 AC100V R13 S13 AC100V R13 S13 MFCW1H-1 13600 9 S13 10 11 01 12 MASS FLOW X658 Z24 136 20 02 ー8 H2-1-1マスフローコントローラ Z24 S13 LOW TO TEMP. RECORDER 温度記録計へ X660 9 X659 EXT +14 MFCW3H H2-1-1 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 21 11 MASS FLOW W1H1ー H2-3マスフローコントローラ X661 LOW Z24 12 W1H1+ H2-3 MASS FLOW CONTROLLER HIGH EXT 22 +14 ー8 PE-D20 W3H+ TO TEMP. RECORDER W3Hー 温度記録計へ PE-D20 03 23 MFCW1H-2 9 S13 04 10 11 12 MASS FLOW 05 Z24 ー8 MFCW4H H2-1-2 MASS FLOW CONTROLLER HIGH H2-1-2マスフローコントローラ 24 Z24 X662 9 X65B S13 W1H2+ TO TEMP. RECORDER W1H2ー 温度記録計へ EXT +14 26 PE-D20 LOW Z24 12 MASS FLOW H2-4マスフローコントローラ X663 11 25 H2-4 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 LOW EXT +14 06 X65A ー8 W4H+ TO TEMP. RECORDER W4Hー 温度記録計へ PAC-D2 MFCW2H-1 07 9 S13 10 08 11 12 MASS FLOW 09 27 Z24 HIGH H2-2-1マスフローコントローラ X65D Z24 MFCW7H H2-2-1 MASS FLOW CONTROLLER X65C S13 28 ー8 W2H1ー 温度記録計へ 29 MASS FLOW EXT +14 ー8 PE-D20 10 LOW Z24 12 TO TEMP. RECORDER H2-7マスフローコントローラ X665 11 W2H1+ H2-7 MASS FLOW CONTROLLER HIGH Z24 10 LOW EXT +14 X664 9 30 W7H+ TO TEMP. RECORDER W7Hー 温度記録計へ X666 H2-SPARE MASS FLOW CONTROLLER PAC-D2 MFCW2H-2 11 9 S13 10 11 12 12 MASS FLOW X65E Z24 MFCWSH H2-2-2 MASS FLOW CONTROLLER 31 HIGH H2-2-2マスフローコントローラ 9 X65F Z24 S13 LOW 32 +14 13 ー8 TO TEMP. RECORDER W2H2ー 温度記録計へ MASS FLOW LOW Z24 12 W2H2+ H2ー予備6マスフローコントローラ X667 11 EXT HIGH Z24 10 EXT 33 +14 ー8 PE-D20 WSH+ TO TEMP. RECORDER WSHー 温度記録計へ PAC-D2 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(8) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 6 R 6 6 4 1 AC100V R13 S13 AC100V R1C S1C1M EXIT CONTROL PANEL 出口中継盤 MFCW5A 13700 10 01 11 12 MASS FLOW R563 137 20 9 S13 SOL563 CR563 X668 Z24 HIGH EXIT VACUUM OPEN 出口吸引開 18 60 3 AIR-5 MASS FLOW CONTROLLER エア-5マスフローコントローラ SOL564 CR564 X669 Z24 R564 21 LOW EXIT VACUUM CLOSE 出口吸引閉 18 60 4 EXT SOL565 CR565 02 +14 ー8 W5A+ TO TEMP. RECORDER W5Aー 温度記録計へ R565 22 EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN 出口真空破壊開 18 60 5 SOL566 CR566 PE-D20 03 EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE R566 23 出口真空破壊閉 18 60 6 MFCW6A 04 9 S13 10 11 05 12 MASS FLOW X66A Z24 AIR-6 MASS FLOW CONTROLLER 24 HIGH エア-6マスフローコントローラ X66B Z24 LOW 25 EXT +14 06 ー8 W6A+ TO TEMP. RECORDER W6Aー 温度記録計へ 26 PE-D20 07 AC100V R1C S1C2M ENT. CONTROL PANEL 27 入口中継盤 SOL603 CR603 08 R603 28 ENT. VACUUM OPEN 入口吸引開 19 60 3 SOL604 CR604 09 R604 29 ENT. VACUUM CLOSE 入口吸引閉 19 60 4 SOL605 CR605 10 ENT. VACUUM BREAKDOWN OPEN R605 30 入口真空破壊開 19 60 5 SOL606 CR606 11 ENT. VACUUM BREAKDOWN CLOSE R606 31 入口真空破壊閉 19 60 6 12 32 13 33 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(9) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 7 R 6 6 4 AC100V R13 S13 CR0D2 S13 CR0D0 R0D2 13800 AC100VV R13 H2 VACUUM PUMP P1 H2 1 77 02 吸引ポンプ 01 R0D0 138 20 VACUUM PUMP 1 P3 吸引ポンプ 17 70 0 DP1 21 0V DEW POINT METER 1 100V HA1 02 1 露点計 H2 ANALYZER 2 P24E 22 水素分析計 3 03 +4 (0~1V) -5 Z24 ZAFEK403-QYBAY-C 1 + ー +L1 ーL1 TO.RECORDER 23 SENSOR (X2)+ 温度記録計 04 1 +L1 TO.DMC ーL1 DMCへ (CH1)- TO.RECORDER 温度記録計 24 HMT3307 (DMC39) 05 +L8 ーL8 25 CR0D3 R0D3 06 O2 VACUUM PUMP P2 26 O2吸引ポンプ 1 77 03 CR0D1 07 R0D1 27 VACUUM PUMP 2 P4 吸引ポンプ 17 70 1 CON2 08 DP2 28 0V DEW POINT METER 2 100V 露点計 09 29 P24E Z24 10 30 2 2 + ー SENSOR (X2)+ (CH1)- +L9 TO.RECORDER ーL9 温度記録計 OA1 O2 ANALYZER 11 31 酸素分析計 + (4~20mA) - 12 +L2 TO.DMC L2 DMCへ HMT3307 32 (DMC39) LC-750L 13 L2 ーL2 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 TO.RECORDER 33 温度記録計 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(10) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 8 R 6 6 4 DC24V Z 24 P 24 A CR041 500 13900 16 8 01 BZ 1 DC24V Z2 4 PHONE PB00B 139 20 CR040 510 ホ-ン 01 P2 4A CR1X 511 1 68 00 13 90 4 512 21 PAT1 CR042 501 02 PATLITE R 22 パトライト 16 8 02 LY4N PB1 PB520 03 23 EXIT CONTROL PANEL ESPB1 513 CR 1M 514 MY4N CR 1X 502 04 EXIT MASTER ON 出口運転準備 PL2 CR1M EMERGENCY STOP 24 G 非常停止 05 EXIT MASTER ON 出口運転準備 13 92 3 25 ENT. CONTROL PANEL ESPB2 LY4N PB2 PB5C0 06 26 515 CR 2M 516 ENT. MASTER ON 入口運転準備 PL3 CR2M 07 27 G ENT. MASTER ON 入口運転準備 13 92 6 PAT1 CR0D4 503 08 1 77 04 SIGNAL TOWER(Y) Y シグナルタワー(黄) G SIGNAL TOWER(G) 28 CR0D5 504 09 CR0D6 505 10 R SIGNAL TOWER(R) 30 シグナルタワー(赤) 1 77 06 11 31 12 32 13 33 CR1X REVISIONS NO. 29 シグナルタワー(緑) 1 77 05 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 CR1M C R 2M 1 3 9 20 1 29 1 3 12914 1 6 7 00 1 29 3 3 12934 1 30 2 2 13023 1 30 2 9 13029 1 39 2 4 13927 1 65 0 5 16506 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(11) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 3 9 R 6 6 4 DC24V Z24 P24F DC24V Z24 GC1 P24F GC6 14000 140 20 5 4 NO. 1 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 6 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 排 気 圧 力 計 01 N O .6 排 気 圧 力 計 21 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 02 22 GC2 03 5 GC7 4 NO. 2 EXHAUST MANOMETER 23 5 NO. 7 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 04 5 GC62-241-20P210 24 GC3 05 N O .7 排 気 圧 力 計 GC8 25 4 NO. 3 EXHAUST MANOMETER N O .3 排 気 圧 力 計 06 5 4 NO. 8 EXHAUST MANOMETER N O .8 排 気 圧 力 計 26 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 07 27 GC4 GC9 08 28 5 4 NO. 4 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 9 EXHAUST MANOMETER 4 N O .4 排 気 圧 力 計 09 N O .9 排 気 圧 力 計 29 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 10 30 GC5 11 5 GC10 4 NO. 5 EXHAUST MANOMETER 31 5 NO. 10 EXHAUST MANOMETER 4 N O .5 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 12 13 NO. GC62-241-20P210 32 33 REVISIONS BY 変更者 N O .1 0 排 気 圧 力 計 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(12) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 0 R 6 6 4 DC24V Z24 P24F DC24V Z24 GC11 P24F GC16 14100 141 20 5 4 NO. 11 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 16 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 1 排 気 圧 力 計 01 N O .1 6 排 気 圧 力 計 21 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 02 22 GC12 03 5 GC17 4 NO. 12 EXHAUST MANOMETER 23 5 NO. 17 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 2 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 04 5 GC62-241-20P210 24 GC13 05 N O .1 7 排 気 圧 力 計 GC18 25 4 NO. 13 EXHAUST MANOMETER N O .1 3 排 気 圧 力 計 06 5 NO. 18 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 8 排 気 圧 力 計 26 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 07 27 GC14 GC19 08 28 5 4 NO. 14 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 19 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 4 排 気 圧 力 計 09 N O .1 9 排 気 圧 力 計 29 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 10 30 GC15 11 5 GC20 4 NO. 15 EXHAUST MANOMETER 31 5 NO. 20 EXHAUST MANOMETER 4 N O .1 5 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 12 13 NO. GC62-241-20P210 32 33 REVISIONS BY 変更者 N O .2 0 排 気 圧 力 計 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(13) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 1 R 6 6 4 DC24V Z24 P24F DC24V Z24 GC21 P24F GC26 14200 142 20 5 4 NO. 21 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 26 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 1 排 気 圧 力 計 01 N O .2 6 排 気 圧 力 計 21 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 02 22 GC22 03 5 GC27 4 NO. 22 EXHAUST MANOMETER 23 5 NO. 27 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 2 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 04 5 GC62-241-20P210 24 GC23 05 N O .2 7 排 気 圧 力 計 GC28 25 4 NO. 23 EXHAUST MANOMETER N O .2 3 排 気 圧 力 計 06 5 NO. 28 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 8 排 気 圧 力 計 26 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 07 27 GC24 GC29 08 28 5 4 NO. 24 EXHAUST MANOMETER 5 NO. 29 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 4 排 気 圧 力 計 09 N O .2 9 排 気 圧 力 計 29 GC62-241-20P210 GC62-241-20P210 10 30 GC25 11 5 GC30 4 NO. 25 EXHAUST MANOMETER 31 5 NO. 30 EXHAUST MANOMETER 4 N O .2 5 排 気 圧 力 計 GC62-241-20P210 12 13 NO. GC62-241-20P210 32 33 REVISIONS BY 変更者 N O .3 0 排 気 圧 力 計 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(14) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 2 R 6 6 4 DC24V Z24 P24F DC24V Z24 GC31 P24F GC35 14300 1 143 20 5 NO. 31 EXHAUST MANOMETER 4 5 NO. 18 OVEN SAMPLING MANOMETER 4 N O .3 1 排 気 圧 力 計 N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計 01 21 7 GC62-241-20P210 8 +GC35 TO.DMC GC35 DMCへ (DMC40) 02 03 5 GC62-241-20P210 NO. 32 EXHAUST MANOMETER 4 温度記録計 ーGC35 23 N O .3 2 排 気 圧 力 計 GC36 GC62-241-20P210 04 TO.RECORDER GC35 22 GC32 24 5 NO. 29 OVEN SAMPLING MANOMETER 4 N O .2 9 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計 7 GC33 05 25 8 +GC36 TO.DMC GC36 DMCへ (DMC40) 5 NO. 33 EXHAUST MANOMETER 4 N O .3 3 排 気 圧 力 計 06 TO.RECORDER GC36 GC62-241-20P210 26 温度記録計 ーGC36 GC62-241-20P210 07 27 GC34 GC37 1 08 28 5 NO. 6 OVEN SAMPLING MANOMETER 4 H2 CONTROL PANEL MANOMETER ー(Bu青) (茶 Br)+ N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 計 09 7 8 +GC34 TO.DMC GC34 DMCへ H2盤圧力計 29 (橙 O)+ +GC37 TO.DMC ーGC37 DMCへ (DMC39) GC34 10 GC62-241-20P210 ーGC34 TO.RECORDER (DMC40) 30 GC30-101-E8N38B 温度記録計 11 31 12 32 13 33 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(15) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 3 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24F DC24V Z24 14400 P24B 144 20 GC38 01 EXIT PURGE ROOM MANOMETER ー(Bu 青) (茶 Br)+ 21 出口置換室圧力計 (黒 BK) X510 02 22 (白 W) X511 GC30-101-E8N38B 03 23 04 24 GC39 05 ENT. PURGE ROOM MANOMETER ー(Bu 青) (茶 Br)+ 25 入口置換室圧力計 (黒 BK) X5A6 06 26 (白 W) GC30-101-E8N38B 07 27 08 28 09 29 10 30 11 31 12 32 13 33 REVISIONS NO. X5A7 BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(16) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 4 R 6 6 4 AC100V R14 S14 GENERATOR CR043 043A 14500 1 68 03 CR044 044A 01 1 68 04 MC 43 GENERATOR ON MC 44 GENERATOR START 発電機 145 20 発電機入 30 21 30 発電機自動始動 MC44 02 19 22 19 1 45 01 BAT1 CR046 MC43 046 03 BATTERY CHARGER AC 23 バッテリーチャージャー 1 68 06 AC 1 45 00 MC44 04 50 24 50 1 45 01 05 25 06 26 07 27 08 28 09 29 10 30 11 31 12 32 13 33 MC43 REVISIONS 変更 1 4 5 23 MC44 1 45 2 2 DESCRIPTION 1 45 2 4 NO. BY 変更者 DESCRIPTION 理由 DRAWN CONTROL CIRCUIT(17) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 5 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C CMC1 14600 2- 146 20 通信変換器 CH2 DA3 DB3 DB3 SG3 SG3 1 TO CMC3 21 13 RDA RDA2 SDB 12 RDA 13 RDB2 TO PROGRAMABLE CONTROLLER SDA2 シ-ケンサ-へ 22 11 SDA 14 RDB 12 SDB 15 SG CMC2 2- +1 CMC10BCPIA000 FG TEMP.CONTROLLER SDB2 SDB 14 03 DA3 R 150Ω 1/2W SDA 11 02 FROM CMC1 P24C COMMUNICATION CONVERTER 1 +1 CMC15G 01 DC24V Z24 SG2 SG 15 1 デジタル調節計1 23 FG +1U 04 24 -1U DA 16 05 DB 17 SG 15 DB3 TO COMMUNICATION CONVERTER(CM2. 3. 4) SG3 通 信 変 換 器 へ ( C M C 2 .3 .4 ) +15 +R1U R1 SENSOR 1U 1U熱電対 DMC1 SCR1U CH3 DA3 21+ 22- -14 26+ +20 -R1U 25 FG 06 26 +2U CH4 07 +R2U R2 DA 4 DB 5 SG 6 DB4 TO COMMUNICATION CONVERTER(CM4) SG4 通信変換器へ(CMC4) FG 08 1 -2U 27 2U 2U熱電対 SCR2U DA4 SENSOR 27- -19 -R2U DMC10D2TV0300 TEMP.CONTROLLER 28 2 デジタル調節計2 E 09 +3U 29 21+ -3U 30 11 31 +4U 12 32 NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 SENSOR 3U 3U熱電対 22- -14 26+ +20 -R3U +R4U R4 SENSOR 4U 4U熱電対 27- -19 -R4U DMC10D2TV0300 33 REVISIONS R3 SCR4U -4U 13 +R3U DMC2 SCR3U 10 +15 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(18) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 6 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 14700 DC24V Z24 P24C 3 TEMP.CONTROLLER 147 20 デジタル調節計3 +5U 01 21+ +15 +R5U R5U -5U 22- U5 -14 03 23 04 +20 +R5D R5D SENSOR D5 +7D D5熱電対 SCR5D -5D 27- -19 24 +R7U R7U U7熱電対 22- -14 26+ +20 +R7D R7D SENSOR D7 D7熱電対 -7D DMC10D2TV0300 27- -19 -R7D DMC10D2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 4 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計4 07 6 デジタル調節計6 27 +6U 21+ -6U 08 +15 +R6U R6U 22- SENSOR U6 +8U U6熱電対 DMC4 SCR6U -14 21+ -R6U -8U 28 +15 +R8U R8U SENSOR U8 U8熱電対 DMC6 SCR8U 09 22- -14 26+ +20 -R8U 29 +6D 10 26+ +20 +R6D R6D SENSOR D6 -6D 27- -19 11 +8D 30 D6熱電対 SCR6D +R8D R8D D8 D8熱電対 SCR8D -8D -R6D SENSOR 27- -19 -R8D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U7 25 06 BY 変更者 SENSOR -R7U SCR7D -R5D 05 +15 DMC5 -7U 22 26+ 21+ SCR7U -R5U 02 +5D +7U 21 U5熱電対 DMC3 SCR5U SENSOR 3 デジタル調節計3 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(19) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 7 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 14800 DC24V Z24 P24C 7 TEMP.CONTROLLER 148 20 デジタル調節計7 +9U 01 21+ +15 +R9U R9U -9U 22- U9 -14 03 23 04 +20 +R9D R9D SENSOR D9 +11D D9熱電対 SCR9D -9D 27- -19 24 +R11U R11U U11熱電対 22- -14 26+ +20 +R11D R11D SENSOR D11 D11熱電対 -11D DMC10D2TV0300 27- -19 -R11D DMC10D2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 8 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計8 07 10 デジタル調節計10 27 +10U 21+ -10U 08 +15 +R10U R10U 22- SENSOR U10 +12U U10熱電対 DMC8 SCR10U -14 21+ -R10U -12U 28 +15 +R12U R12U SENSOR U12 U12熱電対 DMC10 SCR12U 09 22- -14 26+ +20 -R12U 29 +10D 10 26+ +20 +R10D R10D SENSOR D10 -10D 27- -19 11 +12D 30 D10熱電対 SCR10D +R12D R12D D12 D12熱電対 SCR12D -12D -R10D SENSOR 27- -19 -R12D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U11 25 06 BY 変更者 SENSOR -R11U SCR11D -R9D 05 +15 DMC9 -11U 22 26+ 21+ SCR11U -R9U 02 +9D +11U 21 U9熱電対 DMC7 SCR9U SENSOR 9 デジタル調節計9 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(20) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 8 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 14900 DC24V Z24 P24C 11 TEMP.CONTROLLER 149 20 デジタル調節計11 +13U 01 21+ +15 +R13U R13U -13U 22- U13 -14 03 23 04 +20 +R13D R13D SENSOR D13 +15D D13熱電対 SCR13D -13D 27- -19 24 +R15U R15U U15熱電対 22- -14 26+ +20 +R15D R15D SENSOR D15 D15熱電対 -15D DMC10D2TV0300 27- -19 -R15D DMC10S2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 12 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計12 07 14 デジタル調節計14 27 +14U 21+ -14U 08 +15 +R14U R14U 22- SENSOR U14 +16U U14熱電対 DMC12 SCR14U -14 21+ -R14U -16U 28 +15 +R16U R16U SENSOR U16 U16熱電対 DMC14 SCR16U 09 22- -14 26+ +20 -R16U 29 +14D 10 26+ +20 +R14D R14D SENSOR D14 -14D 27- -19 11 +16D 30 D14熱電対 SCR14D +R16D R16D D16 D16熱電対 SCR16D -R14D SENSOR -16D 27- -19 -R16D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U15 25 06 BY 変更者 SENSOR -R15U SCR15D -R13D 05 +15 DMC13 -15U 22 26+ 21+ SCR15U -R13U 02 +13D +15U 21 U13熱電対 DMC11 SCR13U SENSOR 13 デジタル調節計13 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(21) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 4 9 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C DC24V Z24 P24C DA3 TEMP.CONTROLLER 15000 15 150 20 FROM CMC2 デジタル調節計15 +17U 01 21+ +15 +R17U R17U -17U 22- U17 SG3 21 U17熱電対 DMC15 SCR17U SENSOR DB3 -14 13 RDA -R17U 02 22 11 SDA 14 RDB 12 SDB 15 SG CMC3 2- COMMUNICATION CONVERTER 通信変換器 +1 CMC10BCPIA000 FG TEMP.CONTROLLER 03 23 +17D 04 26+ +20 +R17D R17D SENSOR D17熱電対 SCR17D -17D 27- -19 05 D17 +18U 24 16 デジタル調節計16 21+ +R18U R18U -18U SENSOR U18 U18熱電対 DMC16 SCR18U -R17D +15 22- -14 26+ +20 -R18U 25 DMC10D2TV0300 06 26 +18D +R18D R18D 27 08 28 D18 D18熱電対 SCR18D 07 SENSOR -18D 27- -19 -R18D DMC10D2TV0300 TEMP.CONTROLLER 17 デジタル調節計17 09 29 +19U 21+ 30 11 31 12 32 +R19U R19U -19U +19D 22- -14 U19 26+ +20 -R19U +R19D R19D SENSOR D19 D19熱電対 SCR19D -19D 13 SENSOR U19熱電対 DMC17 SCR19U 10 +15 27- -19 -R19D 33 DMC10D2TV0300 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(22) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 0 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 15100 DC24V Z24 P24C 18 TEMP.CONTROLLER 151 20 デジタル調節計18 +20U 01 21+ +15 +R20U R20U -20U 22- U20 -14 03 23 04 +20 +R20D R20D SENSOR D20 +22D D20熱電対 SCR20D -20D 27- -19 24 +R22U R22U U22熱電対 22- -14 26+ +20 +R22D R22D SENSOR D22 D22熱電対 -22D DMC10D2TV0300 27- -19 -R22D DMC10D2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 19 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計19 07 21 デジタル調節計21 27 +21U 21+ -21U 08 +15 +R21U R21U 22- SENSOR U21 +23U U21熱電対 DMC19 SCR21U -14 21+ -R21U -23U 28 +15 +R23U R23U SENSOR U23 U23熱電対 DMC21 SCR23U 09 22- -14 26+ +20 -R23U 29 +21D 10 26+ +20 +R21D R21D SENSOR D21 -21D 27- -19 11 +23D 30 D21熱電対 SCR21D +R23D R23D D23 D23熱電対 SCR23D -R21D SENSOR -23D 27- -19 -R23D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U22 25 06 BY 変更者 SENSOR -R22U SCR22D -R20D 05 +15 DMC20 -22U 22 26+ 21+ SCR22U -R20U 02 +20D +22U 21 U20熱電対 DMC18 SCR20U SENSOR 20 デジタル調節計20 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(23) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 1 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 15200 DC24V Z24 P24C 22 TEMP.CONTROLLER 152 20 デジタル調節計22 +24U 01 21+ +15 +R24U R24U -24U 22- U24 -14 03 23 04 +20 +R24D R24D SENSOR D24 +26D D24熱電対 SCR24D -24D 27- -19 24 +R26U R26U U26熱電対 22- -14 26+ +20 +R26D R26D SENSOR D26 D26熱電対 -26D DMC10D2TV0300 27- -19 -R26D DMC10D2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 23 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計23 07 25 デジタル調節計25 27 +25U 21+ -25U 08 +15 +R25U R25U 22- SENSOR U25 +27U U25熱電対 DMC23 SCR25U -14 21+ -R25U -27U 28 +15 +R27U R27U SENSOR U27 U27熱電対 DMC25 SCR27U 09 22- -14 26+ +20 -R27U 29 +25D 10 26+ +20 +R25D R25D SENSOR D25 -25D 27- -19 11 +27D 30 D25熱電対 SCR25D +R27D R27D D27 D27熱電対 SCR27D -R25D SENSOR -27D 27- -19 -R27D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U26 25 06 BY 変更者 SENSOR -R26U SCR26D -R24D 05 +15 DMC24 -26U 22 26+ 21+ SCR26U -R24U 02 +24D +26U 21 U24熱電対 DMC22 SCR24U SENSOR 24 デジタル調節計24 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(24) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 2 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C TEMP.CONTROLLER 15300 DC24V Z24 P24C 26 TEMP.CONTROLLER 153 20 デジタル調節計26 +28U 01 21+ +15 +R28U R28U -28U 22- U28 -14 03 23 04 +20 +R28D R28D SENSOR D28 +30D D28熱電対 SCR28D -28D 27- -19 24 +R30U R30U U30熱電対 22- -14 26+ +20 +R30D R30D SENSOR D30 D30熱電対 -30D DMC10D2TV0300 27- -19 -R30D DMC10D2TV0300 26 TEMP.CONTROLLER 27 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計27 07 29 デジタル調節計29 27 +29U 21+ -29U 08 +15 +R29U R29U 22- SENSOR U29 +31U U29熱電対 DMC27 SCR29U -14 21+ -R29U -31U 28 +15 +R31U R31U SENSOR U31 U31熱電対 DMC29 SCR31U 09 22- -14 26+ +20 -R31U 29 +29D 10 26+ +20 +R29D R29D SENSOR D29 -29D 27- -19 11 +31D 30 D29熱電対 SCR29D +R31D R31D D31 D31熱電対 SCR31D -R29D SENSOR -31D 27- -19 -R31D 31 12 32 DMC10D2TV0300 13 DMC10D2TV0300 33 REVISIONS NO. U30 25 06 BY 変更者 SENSOR -R30U SCR30D -R28D 05 +15 DMC28 -30U 22 26+ 21+ SCR30U -R28U 02 +28D +30U 21 U28熱電対 DMC26 SCR28U SENSOR 28 デジタル調節計28 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(25) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 3 R 6 6 4 DC24V Z24 P24C DC24V Z24 P24C DA4 15400 154 20 TEMP.CONTROLLER FROM CMC1 30 DB4 SG4 デジタル調節計30 +32U 01 21+ +15 +R32U R32U -32U 22- U32 21 U32熱電対 DMC30 SCR32U SENSOR -14 13 RDA -R32U 02 22 11 SDA 14 RDB 12 SDB 15 SG CMC4 2- COMMUNICATION CONVERTER 通信変換器 +1 CMC10BCPIA000 FG TEMP.CONTROLLER 03 +40 23 11+ +20 +R33U R33U -40 SENSOR 04 27- -19 -R33U U33 T40 WATER HEATER 1 DMC31 SSR40 26+ +T40 +15 12- -14 16+ +20 水ヒーター -T40 +41 +T41 T41 WATER HEATER 7 -41 25 +42 DMC10D2TV0300 06 26 17- -19 25+ +21 水ヒーター -T41 +T42 WATER HEATER 2 +43 27 24- -22 30+ +26 水ヒーター -T42 +T43 2 T43 WATER HEATER 3 SSR43 -43 08 7 T42 SSR42 -42 07 1 24 U33熱電対 SSR41 05 29- 水ヒーター -T43 -27 3 DMC10D4TV0000 28 TEMP.CONTROLLER +44 09 29 11+ +45 30 +T44 +15 T44 12- -14 デジタル調節計32 16+ +20 水ヒーター -T44 +T45 4 T45 WATER HEATER 5 SSR45 -45 11 32 WATER HEATER 4 DMC32 SSR44 -44 10 31 デジタル調節計31 17- -19 25+ +21 水ヒーター -T45 5 31 +46 +T46 T46 WATER HEATER 6 SSR46 12 -46 32 +47 13 33 24- -22 30+ +26 水ヒーター -T46 +J47 6 J47 WETTER TAPE HEATER 1 SSR47 -47 29- ウエッターテープヒーター1 -J47 -27 DMC10D4TV0000 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(26) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 4 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24C 15500 +48 11+ +15 +J48 J48 +49 02 33 12- -14 16+ +20 +56 21 WETTER TAPE HEATER 2 SSR49 -49 17- -19 25+ +21 +57 22 +J50 J50 +58 WETTER TAPE HEATER 3 SSR50 -50 04 +51 24- -22 30+ +26 +J51 24 J51 +59 WETTER TAPE HEATER 4 29- -27 25 16+ +20 配管テープヒーター3(2) -J56 +J57 J57 17- -19 25+ +21 配管テープヒーター4(3) -J57 +J58 J58 24- -22 30+ +26 配管テープヒーター5(4) -J58 +J59 J59 BRANCH PIPE TAPE HEATER 6 -59 29- 配管テープヒーター6(5) -J59 -27 DMC10D4TV0000 26 TEMP.CONTROLLER +52 11+ +15 +J52 J52 +53 08 34 12- -14 16+ +20 +60 27 J53 SSR53 -53 17- -19 +61 28 09 +15 J60 36 デジタル調節計36 BRANCH PIPE TAPE HEATER 7 12- -14 16+ +20 配管テープヒーター7(5) -J60 +J61 J61 SSR61 ウエッターテープヒーター6 -J53 +J60 DMC36 -60 WETTER TAPE HEATER 6 11+ SSR60 ウエッターテープヒーター5 -J52 +J53 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計34 WETTER TAPE HEATER 5 DMC34 SSR52 -52 BRANCH PIPE TAPE HEATER 8 -61 17- -19 25+ +21 配管テープヒーター8(6) -J61 29 +54 25+ +21 +J54 J54 +62 -54 10 +55 24- -22 30+ +26 配管テープヒーター1 -J54 +J55 SSR55 -55 29- -27 -J55 -62 30 +63 31 配管テープヒーター2(7) 13 33 2010. 07. 20 30+ +26 配管テープヒーター9(PURGE) -J62 +J63 J63 29- サンプリングテープヒーター1 -J63 -27 DMC10D4TV0000 32 DESCRIPTION 理由 -22 SAMPLING TAPE HEATER 1 -63 12 変更 24- SSR63 DMC10D4TV0000 REVISIONS J62 SSR62 J55 BRANCH PIPE TAPE HEATER 2 +J62 BRANCH PIPE TAPE HEATER 9 BRANCH PIPE TAPE HEATER 1 SSR54 GOTO -14 SSR59 ウエッターテープヒーター4 -J51 06 1 12- BRANCH PIPE TAPE HEATER 5 -58 DMC10D4TV0000 NO. BRANCH PIPE TAPE HEATER 3 SSR58 ウエッターテープヒーター3 -J50 SSR51 -51 BY 変更者 デジタル調節計35 23 +50 11 35 BRANCH PIPE TAPE HEATER 4 -57 03 07 J56 SSR57 ウエッターテープヒーター2 -J49 +J56 +15 DMC35 -56 J49 11+ SSR56 ウエッターテープヒーター7 -J48 +J49 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計33 WETTER TAPE HEATER 7 DMC33 SSR48 -48 05 P24C 155 20 TEMP.CONTROLLER 01 DC24V Z24 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(27) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 5 R 6 6 4 1 DC24V Z24 P24C 15600 P24C 156 20 TEMP.CONTROLLER +64 01 DC24V Z24 11+ +15 +J64 J64 -64 +65 02 12- -14 16+ +20 11+ J65 +J72 +15 J72 22 12- -14 -65 17- -19 16+ +20 +L1 25+ +21 1~5V サンプリングテープヒーター3 -J65 03 17- -19 25+ +21 23 04 +J66 J66 +L2 24- -22 30+ +26 +J67 4~20mA ウエッターガス1温度 -J66 24 J67 WETTER GAS 7 TEMP. 05 29- -27 24- -22 30+ +26 +GC34 4~20mA 29- -27 26 TEMP.CONTROLLER 11+ +15 +J68 J68 08 12- -14 16+ +20 TEMP.CONTROLLER 11+ J69 +15 28 4~20mA 12- -14 16+ +20 -19 +GC36 4~20mA ウエッターガス3温度 -J69 09 17- -19 25+ +21 NO. 18 OVEN SAMPLING N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ GC35 WETTER GAS 3 TEMP. 17- 40 デジタル調節計40 +GC35 DMC40 27 ウエッターガス2温度 -J68 +J69 38 デジタル調節計38 WETTER GAS 2 TEMP. DMC38 07 NO. 29 OVEN SAMPLING N O .2 9 炉 内 サ ン プ リ ン グ GC36 29 25+ +21 +J70 J70 +GC37 WETTER GAS 4 TEMP. 10 24- -22 30+ +28 ウエッターガス4温度 -J70 +J71 29- -27 -J71 1~5V 30 J71 WETTER GAS 5 TEMP. 11 ウエッターガス5温度 32 13 33 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 -22 30+ +28 29- -27 H2盤圧力 GC37 DMC10D4TV0000 12 REVISIONS 24- H2 CONTROL PANEL 31 DMC10D4TV0000 GOTO NO. 6 OVEN SAMPLING N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ GC34 DMC10D4TV0000 06 1 O2 ANALYZER 酸素分析計 L2 25 ウエッターガス7温度 -J67 DMC10D4TV0000 NO. 1 H2 ANALYZER 水素分析計 ーL1 WETTER GAS 1 TEMP. BY 変更者 デジタル調節計39 ウエッターガス6温度 -J72 SAMPLING TAPE HEATER 3 SSR65 39 WETTER GAS 6 TEMP. DMC39 21 サンプリングテープヒーター2 -J64 +J65 TEMP.CONTROLLER デジタル調節計37 SAMPLING TAPE HEATER 2 DMC37 SSR64 37 DESCRIPTION DRAWN CONTROL CIRCUIT(28) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 6 R 6 6 4 1 07 08 NO. BY 変更者 1 GOTO REVISIONS 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 *注 RS485 11 12 DMC10D2TV0300 35 36 37 38 39 40 DMC10D4TV0000 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 5 DRAWN 6 NORITAKE 7 NA N AG GO OY YA A 8 DESCRIPTION JA J AP PA PAN AN N 9 10 TEMP. CO O., ., L I M I T E D D.. 11 TRACED CHECKED APPROVED SCALE 10/07/20 GOTO AMGLE PROJ. 12 13 14 CONTROLLER DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 4 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 34 DMC10D4TV0000 DMC10D2TV0300 3 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 33 DMC10D4TV0000 DMC10D2TV0300 2 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 32 DMC10D4TV0000 DMC10D2TV0300 1 DMC10D2TV0300 DMC10D2TV0300 31 DMC10D4TV0000 09 DMC10D2TV0300 10 DMC10D2TV0300 05 DMC10D2TV0300 06 DMC10D4TV0000 04 DMC10D2TV0300 RS485 DMC10D4TV0000 CH4 DMC10D2TV0300 RS485 DMC10D4TV0000 03 CH3 CMC15G DMC10D2TV0300 RS422 CONVERTER DMC10D4TV0000 COMMUNICATION DMC10D2TV0300 PLC DMC10D2TV0300 02 CONTROLLER CMC10BCP1A000 TEMP. DMC10D4TV0000 CMC10BCP1A000 01 CMC10BCP1A000 15700 LOOP 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 13 ベース部スイッチ切り離す事。 LOOP DIVIDE R664 SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. DRWING NO. A 3 - E1 5 7 R 6 6 4 1 R11H 15800 +/A +R6U R6U +/A +R13U R13U +/A R20U +R20U +/A +R27U R27U ~ S11H CH6 -/B -R6U CH13 -/B -R13U CH20 -/B -R20U CH27 -/B -R27U 01 GND 02 b REC1 +/A DX2030-1-4-1 CH7 -/B b +R7U R7U -R7U +/A CH14 -/B b +R14U R14U -R14U +/A CH21 -/B b R21U +R21U -R21U +/A CH28 -/B +R28U R28U -R28U 03 b 04 +/A CH1 -/B +R1U R1U -R1U +/A CH8 -/B b +R8U R8U -R8U +/A CH15 -/B b +R15U R15U -R15U +/A CH22 -/B b R22U +R22U -R22U +/A CH29 -/B +R29U R29U -R29U 05 b 06 +/A CH2 -/B b +R2U R2U -R2U +/A CH9 -/B b +R9U R9U -R9U +/A CH16 -/B b +R16U R16U -R16U +/A CH23 -/B b R23U +R23U -R23U +/A CH30 -/B +R30U R30U -R30U 07 b 08 +/A CH3 -/B b +R3U R3U -R3U +/A CH10 -/B b +R10U R10U -R10U +/A CH17 -/B b +R17U R17U -R17U +/A CH24 -/B b R24U +R24U -R24U 09 b 10 +/A CH4 -/B b +R4U R4U -R4U +/A CH11 -/B b +R11U R11U -R11U +/A CH18 -/B b +R18U R18U -R18U +/A CH25 -/B R25U +R25U -R25U 11 b 12 +/A CH5 -/B b +R5U -R5U R5U +/A CH12 -/B b +R12U -R12U R12U +/A CH19 -/B b +R19U -R19U R19U +/A CH26 -/B R26U +R26U -R26U 13 b REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 b b b DESCRIPTION DRAWN TEMP.RECORDER(1) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 8 R 6 6 4 CN1 3P R11H 15900 +/A +R17S R17S +/A W7N+ ~ S11H CH6 -/B -R17S CH13 -/B W7Nー W4H+ +/A MFCW7N (MASS FLOW) CH20 (GAS) +/A MFCW4H W4Hー -/B NO. 1 O2 ANALYZER (MASS FLOW) CH27 (GAS) +L4 -/B ーL4 O2分析計 (OVEN) 01 GND b b b b CN1 3P 02 REC2 +/A DX2040-1-4-1 CH7 -/B W1N+ +/A MFCW1N W1Nー (MASS FLOW) (GAS) CH14 -/B WSN+ WSNー W7H+ +/A MFCWSN (MASS FLOW) CH21 (GAS) +/A MFCW7H W7Hー -/B NO. 2 O2 ANALYZER (MASS FLOW) CH28 (AIR) +L5 -/B ーL5 O2分析計 (OVEN) 03 b b b b 1 04 +/A CH1 -/B +R31U R31U -R31U +/A CH8 -/B W2N+ +/A MFCW2N W2Nー (MASS FLOW) (GAS) CH15 -/B W1H1+ W1H1ー WSH+ +/A MFCW1H-1 (MASS FLOW) CH22 (GAS) +/A MFCWSH WSHー -/B DEW POINT 1 (MASS FLOW) CH29 (AIR) +L8 -/B ーL8 露点計 1 05 b 06 +/A CH2 -/B b +R32U R32U -R32U +/A CH9 -/B b W3N+ +/A MFCW3N W3Nー (MASS FLOW) (GAS) CH16 -/B b b W1H2+ W1H2ー W5A+ +/A MFCW1H-2 (MASS FLOW) CH23 (GAS) +/A MFCW5A W5Aー -/B DEW POINT 2 (MASS FLOW) CH30 (GAS) +L9 -/B ーL9 露点計 2 07 b 08 +/A CH3 -/B b +R33U R33U -R33U +/A CH10 -/B b W4N+ +/A MFCW4N W4Nー (MASS FLOW) (GAS) CH17 -/B b b W2H1+ W2H1ー W6A+ +/A MFCW2H-1 (MASS FLOW) CH24 (GAS) +/A MFCW6A W6Aー -/B NO. 1 ROLLER SPEED (MASS FLOW) CH31 (GAS) +L10 -/B ーL10 N O .1 ロ ー ラ ス ピ ー ド 09 b 10 +/A CH4 -/B b +R13S R13S -R13S +/A CH11 -/B b W5N+ +/A MFCW5N W5Nー (MASS FLOW) (GAS) CH18 -/B b b W2H2+ W2H2ー +L1 +/A MFCW2Hー2 (MASS FLOW) (GAS) +/A +L11 H2 ANALYZER CH25 ーL1 -/B H2分析計 NO. 2 ROLLER SPEED CH32 (GAS) -/B ーL11 N O .2 ロ ー ラ ス ピ ー ド 11 b 12 +/A CH5 -/B b +R15S -R15S R15S +/A CH12 -/B b W6N+ +/A MFCW6N W6Nー (MASS FLOW) (GAS) CH19 -/B b b W3H+ W3Hー +L2 +/A MFCW3H (MASS FLOW) (GAS) CH26 ーL2 -/B +/A +L12 O2 ANALYZER NO. 3 ROLLER SPEED O2分析計 N O .3 ロ ー ラ ス ピ ー ド CH33 (GAS) -/B ーL12 13 b REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 b b b R 250Ω DESCRIPTION DRAWN b TEMP.RECORDER(2) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 5 9 R 6 6 4 1 16000 +/A +L13 NO. 4 ROLLER SPEED CH34 -/B ーL13 N O .4 ロ ー ラ ス ピ ー ド 01 b 02 +/A +L14 NO. 5 ROLLER SPEED CH35 -/B ーL14 N O .5 ロ ー ラ ス ピ ー ド 03 b 04 +/A +L15 NO. 6 ROLLER SPEED CH36 -/B ーL15 N O .6 ロ ー ラ ス ピ ー ド 05 b 1 06 +/A GC34 NO. 6 OVEN SAMPLING MANOMETER R 250Ω CH37 -/B ーGC34 N O .6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 07 b 08 +/A GC35 NO. 18 OVEN SAMPLING MANOMETER R 250Ω CH38 -/B ーGC35 N O .1 8 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 09 b 10 +/A GC36 NO. 36 OVEN SAMPLING MANOMETER R 250Ω CH39 -/B ーGC36 N O .3 6 炉 内 サ ン プ リ ン グ 圧 力 11 b 12 +/A CH40 -/B 13 b REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN TEMP.RECORDER(3) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 0 R 6 6 4 1 R11H 16100 +/A +K85 K85 +/A +K92 K92 +/A K99 +K99 +/A +K106 K106 ~ S11H CH6 -/B -K85 CH13 -/B -K92 CH20 -/B -K99 CH27 -/B -K106 01 GND 02 b REC3 +/A DX2040-1-4-1 CH7 -/B b +K86 K86 -K86 +/A CH14 -/B b +K93 K93 -K93 +/A CH21 -/B b K100 +K100 -K100 +/A CH28 -/B +K107 K107 -K107 03 b 04 +/A CH1 -/B +K80 K80 -K80 +/A CH8 -/B b +K87 K87 -K87 +/A CH15 -/B b +K94 K94 -K94 +/A CH22 -/B b K101 +K101 -K101 +/A CH29 -/B +K108 K108 -K108 05 b 06 +/A CH2 -/B b +K81 K81 -K81 +/A CH9 -/B b +K88 K88 -K88 +/A CH16 -/B b +K95 K95 -K95 +/A CH23 -/B b K102 +K102 -K102 +/A CH30 -/B +K109 K109 -K109 07 b 08 +/A CH3 -/B b +K82 K82 -K82 +/A CH10 -/B b +K89 K89 -K89 +/A CH17 -/B b +K96 K96 -K96 +/A CH24 -/B b K103 +K103 -K103 +/A CH31 -/B +K110 K110 -K110 09 b 10 +/A CH4 -/B b +K83 K83 -K83 +/A CH11 -/B b +K90 K90 -K90 +/A CH18 -/B b +K97 K97 -K97 +/A CH25 -/B b K104 +K104 -K104 +/A CH32 -/B +K111 K111 -K111 11 b 12 +/A CH5 -/B b +K84 -K84 K84 +/A CH12 -/B b +K91 -K91 K91 +/A CH19 -/B b +K98 -K98 K98 +/A CH26 -/B b K105 +K105 -K105 +/A CH33 -/B +K112 K112 -K112 13 b REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 b b b b DESCRIPTION DRAWN TEMP.RECORDER(4) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 1 R 6 6 4 16200 +/A CH34 -/B 01 b 02 +/A CH35 -/B 03 b 04 +/A CH36 -/B 05 b 06 +/A CH37 -/B 07 b 08 +/A CH38 -/B 09 b 10 +/A CH39 -/B 11 b 12 +/A CH40 -/B 13 b REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DESCRIPTION DRAWN TEMP.RECORDER(5) TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 2 R 6 6 4 1 SLT.2 SLT.3 SLT.4 SLT.5 SLT.6 SLT.7 SLT.8 SLT.9 QY 41P QY 41P QY 41P QY 42P Q D75 M4 Q D75 M4 QJ 61B T11 SLT.10 CH1 04 07 SP ARE FG2 R 110Ω SG2 R 110Ω RDA2 06 SLD1 DG1 DA1 DB1 R 05 CH2 SDB RDB SDB RDB SDA RDA SG FGSDA RDA SG FG F G SDB2 D G SDA2 D B S L D RDB2 D A SLT.11 QJ 71C 24N -R4 SLT.1 QY 41P 03 SLT.0 QX4 1 Q61 P 02 Q06 QDE HCP U 01 QX4 1 16300 GT15-QC50B REMOTO I/O TO CMC1(CMC15G) 各リモ-トI/Oへ (CCリンク) CMC1(CMC15G)へ (AC100V) G1 08 GT15-QBUS PROGRAMABLE TERMINAL R12 09 タッチパネル GT1685M-STBA S12 10 11 12 13 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 DESCRIPTION 理由 DESCRIPTION DRAWN PROGRAMABLE CONTROLLER TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO R664 DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 3 R 6 6 4 Z 24 P 24 A DC24V Z2 4 P2 4A DC24V SLT.0 QX41 OFF MAN ON SS000 X000 164 00 ADVANCE B20 OFF AUTO KSS008 X 0 00 ROLLER ON X 0 01 ROLLER BACKWARD X 0 02 ROLLER ROUND TRIP ON X 0 03 HEATER ON X 0 04 HEATER OFF X008 16410 B12 ロ-ラ-運転 X 00 8 MANUAL X 00 9 AUTO X 00 A AUTO START X 00 B EMERGENCY CONVEYOR STOP X 00 C RESET X 00 D LAMP CHECK X 00 E GENERATOR TEST ON 手動 BACKWARD SS001 X001 01 OFF B19 X009 11 ロ-ラ-後退 B11 自動 PB00A ON SS002 X002 02 B18 X00A 12 B10 ロ-ラ-繰り返し 自動起動 PB003 X003 03 B17 PB00B X00B 13 B9 ヒ-タ-入 搬送停止 PB00C PB004 X004 04 B16 X00C 14 ヒ-タ-切 PB005 X005 B15 X 0 05 AUTO STOP ON X00D 15 X006 06 X007 07 B14 B13 OFF X 0 07 H2 LEAK NO. BY 変更者 X001 X 0 02 X0 0 3 X004 X005 X 00 6 X00E 16 B6 自動遮断 切 PB00F X00F 17 B5 H2リーク P 24 A X007 X008 ランプチェック ON SS00E X 0 06 Z 24 X000 B7 自動遮断 入 OFF PB006 変更 リセット PB00D 05 REVISIONS B8 X 00 F 発電機テスト入 GENERATOR OFF B2 Z2 4 X 0 09 X00A X00B X 0 0C X0 0 D X00E X00F 発電機停止 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 4 R 6 6 4 Z 24 P 24 A DC24V Z2 4 P2 4A DC24V SLT.0 QX41 INV21 PB018 X010 165 00 A20 X 0 10 GENERATOR ROUND TRIP OFF EXIT ROLLER C/V C 16510 A X018 A12 発電時往復走行解除 X 01 8 INV TROUBLE X 01 9 INV TROUBLE X 01 A INV TROUBLE 出口ローラC/V INV22 CR1D X011 01 A19 12 1 06 X 0 11 PRIMARY 1st POWER SOURCE EXIT PURGE ROOM C/V C 11 A X019 A11 常用第1電源確認 出口置換室C/V INV23 MC2D X012 02 A18 12 1 12 X 0 12 PRIMARY 2st POWER SOURCE INV異常 EXIT NO. 1 LIFTER ROLLER C 12 INV異常 A 常用第2電源確認 X01A A10 出 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ - INV異常 THR23 THR23A EXIT NO. 1 LIFTER ROLLER CR1G X013 03 A17 12 1 26 X 0 13 EMERGENCY 1st POWER SOURCE X01B THR23B 13 非常用第1電源確認 A9 X 01 B OVERLOAD X 01 C INV TROUBLE X 01 D INV TROUBLE 出 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ - 過負荷 THR23C INV24 MC2G X014 04 A16 12 1 32 X 0 14 EMERGENCY 2st POWER SOURCE EXIT TRANSFER C/V C 14 A X01C A8 非常用第2電源確認 出口移送C/V INV25 CR1M X015 05 A15 13 9 23 X 0 15 EXIT MASTER ON EXIT NO. 2 LIFTER ROLLER C 15 INV異常 A 出口運転準備 X01D A7 出 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ - INV異常 THR25 THR25A EXIT NO. 2 LIFTER ROLLER CR2M X016 06 A14 13 9 26 X 0 16 ENT. MASTER ON X01E THR25B 16 入口運転準備 A6 X 01 E OVERLOAD X 01 F INV TROUBLE 出 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ - 過負荷 THR25C INV26 A13 07 X 0 17 17 Z 24 P 24 A X010 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X011 X 0 12 X0 1 3 X014 X015 X 01 6 C X017 X018 RETURN ENT. C/V A X01F A5 B1 Z2 4 X 0 19 X01A X01B X 0 1C X0 1 D X01E X01F リターン入口C/V INV異常 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 5 R 6 6 4 Z 24 P 24 A DC24V Z2 4 P2 4A DC24V SLT.1 QX41 INV27 C 166 00 A X020 X 0 20 INV TROUBLE A X021 A B19 X 0 21 X 02 8 INV TROUBLE 入 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ - INV異常 ENT. NO. 2 LIFTER ROLLER INV TROUBLE X022 B18 11 X 0 22 INV TROUBLE X023 B17 X 0 23 INV TROUBLE C 12 B16 13 X025 B15 B10 X02B B9 THR37 X02C B8 リターン出口C/V INV異常 X 0 25 INV TROUBLE X 02 B INV TROUBLE X 02 C EXIT VACUUM PUMP OVERLOAD X 02 D ENT. VACUUM PUMP OVERLOAD 入口置換室C/V INV異常 入口ローラC/V INV異常 出口真空ポンプ過負荷 THR38 X02D 15 B7 入 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ - INV異常 THR32 INV TROUBLE ENT. ROLLER C/V A 14 ENT. NO. 1 LIFTER ROLLER A X 02 A 入 口 N O .2 リ フ タ ロ - ラ - 過負荷 INV36 INV TROUBLE INV32 C X02A N O .4 リ タ ー ン C / V INV異常 X 0 24 OVERLOAD ENT. PURGE ROOM C/V A C RETURN EXIT C/V X024 A X 02 9 INV35 N O .3 リ タ ー ン C / V INV異常 INV31 C B11 THR34C NO. 4 RETURN C/V A X029 THR34B N O .2 リ タ ー ン C / V INV異常 INV30 C 05 B12 THR34 NO. 3 RETURN C/V C 04 X028 THR34A INV29 03 16610 A NO. 2 RETURN C/V C 02 ENT. NO. 2 LIFTER ROLLER C N O .1 リ タ ー ン C / V INV異常 INV28 01 INV34 NO. 1 RETURN C/V B20 入口真空ポンプ過負荷 THR32A ENT. NO. 1 LIFTER ROLLER X026 THR32B 06 B14 X 0 26 OVERLOAD INV33 07 X027 B13 X 0 27 NO. 変更 X021 X 0 22 X0 2 3 X024 X025 X 02 6 B6 入口移送C/V X027 X028 X 02 E OVERLOAD 出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン 過 負 荷 EXIT NO. 2 COOLING FAN THR40 INV TROUBLE X02F 17 B5 INV異常 P 24 A X020 BY 変更者 16 ENT. TRANSFER C/V A Z 24 REVISIONS X02E 入 口 N O .1 リ フ タ ロ - ラ - 過負荷 THR32C C EXIT NO. 1 COOLING FAN THR39 X 02 F OVERLOAD B2 Z2 4 X 0 29 X02A X02B X 0 2C X0 2 D X02E X02F 出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン 過 負 荷 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 6 R 6 6 4 Z 24 P 24 A DC24V Z2 4 P2 4A DC24V SLT.1 QX41 CR1X X030 167 00 A20 13 9 04 X 0 30 EMERGENCY STOP X 0 31 H2 DETECTOR 16710 X038 11 X039 12 X03A 13 X03B A12 X 03 8 A11 X 03 9 A10 X 03 A A9 X 03 B A8 X 03 C A7 X 03 D A6 X 03 E A5 X 03 F 非常停止 UXF031 4 01 5 3 X031 A19 1 水素検出器 P24A THR41 X032 02 A18 H2 CONTROL PANEL BLOWER 1 OVERLOAD X 0 32 H2盤ブロワー1過負荷 THR42 X033 03 04 X034 05 X035 06 X036 07 X037 A17 H2 CONTROL PANEL BLOWER 2 OVERLOAD X 0 33 H2盤ブロワー2過負荷 A16 X 0 34 14 X03C A15 X 0 35 15 X03D A14 X 0 36 16 X03E A13 X 0 37 17 X03F Z 24 P 24 A X030 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X031 X 0 32 X0 3 3 X034 X035 X 03 6 X037 X038 B1 Z2 4 X 0 39 X03A X03B X 0 3C X0 3 D X03E X03F P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (4 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 7 R 6 6 4 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.2 QY41P G6B Y04 0 168 00 B20 G6B CR 040 Y040 Y 048 CPU RUN CPU 16810 B12 CR 048 Y048 RUN G6B Y04 1 01 B19 Y 049 PHONE 11 B11 CR 049 Y049 警報 G6B Y04 2 02 B18 Y 04A PATLITE 12 B10 03 B17 パトライト Y 04B GENERATOR ON B9 13 04 B16 発電機入 Y 04C GENERATOR START B8 14 05 B15 発電機自動始動 Y 04D GENERATOR OFF B7 15 06 B14 発電機切確認 水ヒーター 4 WATER HEATER 5 水ヒーター 5 G6B CR 046 Y046 3 WATER HEATER 4 CR 04D Y04D G6B Y04 6 水ヒーター G6B CR 045 Y045 2 WATER HEATER 3 CR 04C Y04C G6B Y04 5 水ヒーター G6B CR 044 Y044 7 WATER HEATER 2 CR 04B Y04B LY4N Y04 4 水ヒーター G6B CR 043 Y043 WATER HEATER 7 CR 04A Y04A LY4N Y04 3 1 G6B CR 042 Y042 水ヒーター G6B CR 041 Y041 WATER HEATER 1 Y 04E BATTERY CHARGER B6 16 CR 04E Y04E バッテリーチャージャー WATER HEATER 6 水ヒーター 6 G6B Y04 7 07 B13 Y 04F Y047 B5 17 CR 04F Y04F WETTER TAPE HEATER 1 ウエッターテープヒーター 1 B2 Z 24 P 24 A CR040 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 1 3 9 20 CR041 1 39 0 0 C R 04 2 13902 CR 0 4 3 14500 CR044 1 4 50 1 C R 0 45 12 1 0 6 C R0 4 6 14503 CR048 1 1 6 24 CR049 1 16 2 8 Z2 4 C R 04 A 11632 CR04B 11704 CR04C 1 17 0 8 C R 04 D 11712 CR 0 4 E 11724 CR04F 1 1 72 8 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (5 ) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 8 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.2 QY41P G6B Y05 0 A2 169 00 A20 G6B CR 050 Y050 Y 058 WETTER TAPE HEATER 7 ウエッターテープヒーター 16910 A12 CR 058 Y058 7 G6B Y05 1 01 A19 Y 059 WETTER TAPE HEATER 2 ウエッターテープヒーター 11 A11 CR 059 Y059 2 G6B Y05 2 02 A18 Y 05A WETTER TAPE HEATER 3 ウエッターテープヒーター 12 A10 03 A17 3 Y 05B WETTER TAPE HEATER 4 ウエッターテープヒーター 13 A9 04 A16 4 Y 05C WETTER TAPE HEATER 5 ウエッターテープヒーター A8 14 05 A15 5 Y 05D WETTER TAPE HEATER 6 ウエッターテープヒーター A7 15 06 A14 配管テープヒーター 7 (5) 6 BRANCH PIPE TAPE HEATER 8 配管テープヒーター 8 (6) G6B CR 056 Y056 6 (5) BRANCH PIPE TAPE HEATER 7 CR 05D Y05D G6B Y05 6 配管テープヒーター G6B CR 055 Y055 5 (4) BRANCH PIPE TAPE HEATER 6 CR 05C Y05C G6B Y05 5 配管テープヒーター G6B CR 054 Y054 4 (3) BRANCH PIPE TAPE HEATER 5 CR 05B Y05B G6B Y05 4 配管テープヒーター G6B CR 053 Y053 BRANCH PIPE TAPE HEATER 4 CR 05A Y05A G6B Y05 3 3 (2) G6B CR 052 Y052 配管テープヒーター G6B CR 051 Y051 BRANCH PIPE TAPE HEATER 3 BRANCH PIPE TAPE HEATER 1 配管テープヒーター Y 05E A6 16 CR 05E Y05E 1 BRANCH PIPE TAPE HEATER 9 配管テープヒーター 9 (PURGE) G6B Y05 7 07 A13 CR 057 Y057 Z 24 NO. BY 変更者 1 GOTO 配管テープヒーター Y 05F 17 変更 1 1 7 32 CR051 1 18 0 4 C R 05 2 11808 CR 0 5 3 11812 CR054 1 1 82 4 C R 0 55 11 8 2 8 C R0 5 6 11832 CR057 1 1 9 04 CR058 1 19 0 8 A5 Y05F 2 (7) P 24 A CR050 REVISIONS BRANCH PIPE TAPE HEATER 2 Z2 4 C R 05 9 11912 CR05A 11924 CR05B 1 19 2 8 C R 05 C 11932 CR 0 5 D 12004 CR05E 1 2 00 8 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (6 ) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 6 9 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.3 QY41P G6B Y06 0 170 00 B20 G6B CR 060 Y060 Y 068 NFB40H OFF 17010 NFB40H B12 CR 068 Y068 遮断 G6B Y06 1 01 B19 Y 069 NFB41H OFF 11 NFB41H B11 CR 069 Y069 遮断 G6B Y06 2 02 B18 Y 06A NFB42H OFF NFB42H 12 B10 03 B17 遮断 Y 06B NFB43H OFF B9 NFB43H 13 04 B16 遮断 Y 06C NFB44H OFF B8 NFB44H 14 05 B15 遮断 Y 06D NFB45H OFF B7 NFB45H 15 06 B14 遮断 Y 06E NFB46H OFF B6 NFB46H 16 07 B13 NFB53H 遮断 遮断 NFB54H OFF NFB54H 遮断 G6B CR 067 Y067 遮断 NFB53H OFF CR 06E Y06E G6B Y06 7 NFB52H G6B CR 066 Y066 遮断 NFB52H OFF CR 06D Y06D G6B Y06 6 NFB51H G6B CR 065 Y065 遮断 NFB51H OFF CR 06C Y06C G6B Y06 5 NFB50H G6B CR 064 Y064 遮断 NFB50H OFF CR 06B Y06B G6B Y06 4 NFB49H G6B CR 063 Y063 NFB49H OFF CR 06A Y06A G6B Y06 3 遮断 G6B CR 062 Y062 NFB48H G6B CR 061 Y061 NFB48H OFF Y 06F NFB47H OFF NFB47H B5 17 CR 06F Y06F 遮断 NFB55H OFF NFB55H 遮断 B2 Z 24 P 24 A CR060 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 1 1 6 24 CR061 1 16 2 8 C R 06 2 11633 CR 0 6 3 11704 CR064 1 1 70 8 C R 0 65 11 7 1 3 C R0 6 6 11724 CR067 1 1 7 28 CR068 1 17 3 3 Z2 4 C R 06 9 11804 CR06A 11808 CR06B 1 18 1 3 C R 06 C 11824 CR 0 6 D 11828 CR06E 1 1 83 3 P2 4A C R 0 6F 11 9 0 4 DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (7 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 0 R 6 6 4 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.3 QY41P G6B A2 171 00 Y07 0 A20 G6B CR 070 Y070 Y 078 NFB56H OFF 17110 NFB56H A12 CR 078 Y078 遮断 01 A19 CR 071 Y071 Y 079 NFB57H OFF 11 NFB57H A11 CR 079 Y079 遮断 G6B Y07 2 02 A18 Y 07A NFB58H OFF NFB58H 12 A10 03 A17 遮断 Y 07B NFB59H OFF NFB59H 13 A9 04 A16 サンプリングテープヒーター1 遮断 SAMPLING TAPE HEATER 2 サンプリングテープヒーター2 G6B CR 074 Y074 遮断 SAMPLING TAPE HEATER 1 CR 07B Y07B G6B Y07 4 NFB65H G6B CR 073 Y073 NFB65H OFF CR 07A Y07A G6B Y07 3 遮断 G6B CR 072 Y072 NFB64H G6B G6B Y07 1 NFB64H OFF Y 07C NFB60H OFF NFB60H 14 A8 CR 07C Y07C 遮断 SAMPLING TAPE HEATER 3 サンプリングテープヒーター3 G6B Y07 5 05 A15 CR 075 Y075 Y 07D NFB61H OFF NFB61H 15 A7 Y07D A6 Y07E A5 Y07F 遮断 G6B Y07 6 06 A14 CR 076 Y076 Y 07E NFB62H OFF NFB62H 16 遮断 G6B Y07 7 07 A13 CR 077 Y077 Z 24 NO. BY 変更者 NFB63H 17 遮断 P 24 A CR070 REVISIONS Y 07F NFB63H OFF 変更 1 1 9 08 CR071 1 19 1 3 C R 07 2 11924 CR 0 7 3 11928 CR074 1 1 93 3 C R 0 75 12 0 0 4 C R0 7 6 12008 CR077 1 2 0 13 CR078 1 20 2 4 Z2 4 C R 07 9 12028 CR07A 12012 CR07B 1 20 2 3 C R 07 C 12028 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (8 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 1 R 6 6 4 Z 24 P 24A 1M P24 A Z2 4 P2 4A1 M P 24A DC24V DC24V SLT.4 QY41P Y08 0 172 00 B20 Y080 (INV21) EXIT ROLLER C/V Y 088 10 B12 Y088 (INV25) 出口ロ-ラC/V Y08 1 01 B19 Y081 (INV21) EXIT ROLLER C/V LOW 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V Y 089 11 B11 Y089 (INV25) 出口ロ-ラC/V低速 Y08 2 02 B18 Y082 (INV22) EXIT PURGE ROOM C/V Y08 3 B17 Y083 (INV22) EXIT PURGE ROOM C/V LOW Y 08A 12 B10 Y08A (INV26) Y08 4 B16 Y084 (INV23) EXIT NO. 1 LIFTER ROLLER C/V Y 08B B9 13 Y08B (INV26) Y08 5 B15 Y085 (INV23) EXIT NO. 1 LIFTER ROLLER C/V LOW Y 08C B8 14 Y08C (INV27) Y08 6 B14 Y086 (INV24) EXIT TRANSFER C/V Y 08D B7 15 Y08D (INV27) Y08 7 B13 Y087 (INV24) EXIT TRANSFER C/V LOW NO. 1 RETURN C/V LOW N O .1 リ タ ー ン C / V 低 速 Y 08E B6 16 Y08E (INV28) 出口移送C/V 07 NO. 1 RETURN C/V N O .1 リ タ ー ン C / V 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速 06 RETURN ENT. C/V LOW リターン入口C/V低速 出 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 05 RETURN ENT. C/V リターン入口C/V 出口置換室C/V低速 04 EXIT NO. 2 LIFTER ROLLER C/V LOW 出 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速 出口置換室C/V 03 EXIT NO. 2 LIFTER ROLLER C/V NO. 2 RETURN C/V N O .2 リ タ ー ン C / V Y 08F B5 17 Y08F (INV28) 出口移送C/V低速 NO. 2 RETURN C/V LOW N O .2 リ タ ー ン C / V 低 速 B2 Z 24 REVISIONS NO. BY 変更者 P 24A 1M 変更 P 24 A Z2 4 P2 4A1 M DESCRIPTION P2 4A P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (9 ) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 2 R 6 6 4 Z 24 P 24A 1M P2 4A 2M Z2 4 P2 4A1 MP 24 A2 M DC24V DC24V SLT.4 QY41P A2 173 00 Y09 0 A20 Y090 (INV29) NO. 3 RETURN C/V Y 098 17310 A12 Y098 (INV33) N O .3 リ タ ー ン C / V Y09 1 01 A19 Y091 (INV29) NO. 3 RETURN C/V LOW 入口移送C/V Y 099 11 A11 Y099 (INV33) N O .3 リ タ ー ン C / V 低 速 Y09 2 02 A18 Y092 (INV30) NO. 4 RETURN C/V Y09 3 A17 Y093 (INV30) NO. 4 RETURN C/V LOW Y 09A 12 A10 Y09A (INV34) Y09 4 A16 Y094 (INV31) RETURN EXIT C/V Y 09B 13 A9 Y09B (INV34) Y09 5 A15 Y095 (INV31) RETURN EXIT C/V LOW Y 09C 14 A8 Y09C (INV35) Y09 6 A14 Y096 (INV32) ENT. NO. 1 LIFTER ROLLER C/V Y 09D 15 A7 Y09D (INV35) Y09 7 A13 Y097 (INV32) ENT. NO. 1 LIFTER ROLLER C/V LOW Y 09E 16 A6 Y09E (INV36) REVISIONS NO. BY 変更者 P 24A 1M P2 4A 2M 変更 ENT. ROLLER C/V 入口ロ-ラC/V Y 09F 17 A5 Y09F (INV36) 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速 Z 24 ENT. PURGE ROOM C/V LOW 入口置換室C/V低速 入 口 N O .1 リ フ タ - ロ - ラ C / V 07 ENT. PURGE ROOM C/V 入口置換室C/V リターン出口C/V低速 06 ENT. NO. 2 LIFTER ROLLER C/V LOW 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V 低 速 リターン出口C/V 05 ENT. NO. 2 LIFTER ROLLER C/V 入 口 N O .2 リ フ タ - ロ - ラ C / V N O .4 リ タ ー ン C / V 低 速 04 ENT. TRANSFER C/V LOW 入口移送C/V低速 N O .4 リ タ ー ン C / V 03 ENT. TRANSFER C/V ENT. ROLLER C/V LOW 入口ロ-ラC/V低速 Z2 4 P2 4A1 MP 24 A2 M DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 0) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 3 R 6 6 4 Z 24 P 24A 1MP 24A 2M Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.5 QY41P MSOD-Q11 Y0A 0 174 00 B20 G6B MC 37 Y0A0 Y 0A8 EXIT VACUUM PUMP 10 B12 CR 0A8 Y0A8 出口真空ポンプ MSOD-Q11 Y0A 1 01 B19 Y 0A9 ENT. VACUUM PUMP 11 B11 CR 0A9 Y0A9 入口真空ポンプ MSOD-Q11 Y0A 2 02 B18 MC 39 Y0A2 03 B17 12 B10 N2ー2 MASS FLOW VALVE N2-2 CR 0AA Y0AA 出 口 N O .1 冷 却 フ ァ ン MC 40 Y0A3 マスフロー用電磁弁 マスフロー用電磁弁 G6B Y 0AA EXIT NO. 1 COOLING FAN MSOD-Q11 Y0A 3 N2-1 G6B MC 38 Y0A1 N2ー1 MASS FLOW VALVE N2ー3 MASS FLOW VALVE N2-3 マスフロー用電磁弁 G6B Y 0AB EXIT NO. 2 COOLING FAN B9 13 CR 0AB Y0AB 出 口 N O .2 冷 却 フ ァ ン N2ー4 MASS FLOW VALVE N2-4 マスフロー用電磁弁 G6B Y0A 4 04 B16 Y0A4 Y 0AC EXIT PURGE ROOM C/V BACK (INV22) B8 14 CR 0AC Y0AC 出口置換室C/V後退 MSOD-Q11 Y0A 5 05 B15 MC 41 Y0A5 H2 CONTROL PANEL BLOWER 1 B7 15 CR 0AD Y0AD H2盤ブロワー1 06 B14 MC 42 Y0A6 N2-5 マスフロー用電磁弁 G6B Y 0AD MSOD-Q11 Y0A 6 N2ー5 MASS FLOW VALVE N2ー6 MASS FLOW VALVE N2-6 マスフロー用電磁弁 G6B H2 CONTROL PANEL BLOWER 2 Y 0AE B6 16 CR 0AE Y0AE H2盤ブロワー2 N2ー7 MASS FLOW VALVE N2-7 マスフロー用電磁弁 G6B Y0A 7 07 B13 Y 0AF Y0A7 B5 17 CR 0AF Y0AF N2ーSPARE MASS FLOW VALVE N2-予備 マスフロー用電磁弁 B2 Z 24 P 24A 1M P2 4A 2M MC37 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 1 2 9 24 MC38 1 28 1 1 M C 39 12511 MC 4 0 12513 MC41 1 2 82 1 MC42 12 8 2 4 C R0 A 8 13100 CR0A9 1 3 1 01 CR0AA 1 31 0 2 Z2 4 C R 0A B 13103 CR0AC 13104 CR0AD 1 31 0 5 C R 0A E 13106 CR 0 A F 13107 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 1) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 4 R 6 6 4 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.5 QY41P G6B Y0B 0 A2 175 00 A20 G6B CR 0B0 Y0B0 Y 0B8 H2ー1 MASS FLOW VALVE H2-1 17510 A12 CR 0B8 Y0B8 マスフロー用電磁弁 G6B Y0B 1 01 A19 Y 0B9 H2ー2 MASS FLOW VALVE H2-2 11 A11 CR 0B9 Y0B9 マスフロー用電磁弁 G6B Y0B 2 02 A18 Y 0BA H2ー3 MASS FLOW VALVE H2-3 12 A10 03 A17 マスフロー用電磁弁 Y 0BB H2ー4 MASS FLOW VALVE H2-4 13 A9 04 A16 マスフロー用電磁弁 Y 0BC H2ー7 MASS FLOW VALVE H2-7 14 A8 05 A15 マスフロー用電磁弁 H2ーSPARE MASS FLOW VALVE H2-予備 Y 0BD 15 A7 06 A14 ウエッター4 オーバーフロー電磁弁 マスフロー用電磁弁 WETTER 5 OVER FLOW VALVE ウエッター5 オーバーフロー電磁弁 G6B CR 0B6 Y0B6 オーバーフロー電磁弁 WETTER 4 OVER FLOW VALVE CR 0BD Y0BD G6B Y0B 6 ウエッター3 G6B CR 0B5 Y0B5 オーバーフロー電磁弁 WETTER 3 OVER FLOW VALVE CR 0BC Y0BC G6B Y0B 5 ウエッター2 G6B CR 0B4 Y0B4 オーバーフロー電磁弁 WETTER 2 OVER FLOW VALVE CR 0BB Y0BB G6B Y0B 4 ウエッター7 G6B CR 0B3 Y0B3 WETTER 7 OVER FLOW VALVE CR 0BA Y0BA G6B Y0B 3 オーバーフロー電磁弁 G6B CR 0B2 Y0B2 ウエッター1 G6B CR 0B1 Y0B1 WETTER 1 OVER FLOW VALVE Y 0BE AIRー5 MASS FLOW VALVE エアー-5 16 A6 CR 0BE Y0BE マスフロー用電磁弁 WETTER 6 OVER FLOW VALVE ウエッター6 オーバーフロー電磁弁 G6B Y0B 7 07 A13 CR 0B7 Y0B7 Z 24 NO. BY 変更者 1 GOTO エアー-6 17 変更 1 3 2 20 CR0B1 1 32 2 1 C R 0B 2 13222 CR 0 B 3 13223 CR0B4 1 3 22 4 C R 0 B5 13 2 2 5 C R0 B 6 13123 CR0B7 1 3 1 24 CR0B8 1 32 0 0 A5 Y0BF マスフロー用電磁弁 P 24 A CR0B0 REVISIONS Y 0BF AIRー6 MASS FLOW VALVE Z2 4 C R 0B 9 13201 CR0BA 13202 CR0BB 1 32 0 3 C R 0B C 13204 CR 0 B D 13205 CR0BE 1 3 20 6 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 2) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 5 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.6 QY42P MY2N MY2N Y0C 0 176 00 1B20 CR 0C0 Y0C0 WETTER 1 WATER SUPPLY VALVE ウエッター1 Y 0C8 10 1B12 CR 0C8 Y0C8 給水電磁弁 01 1B19 CR 0C1 Y0C1 Y 0C9 WETTER 1 DRAIN VALVE ウエッター1 11 1B11 CR 0C9 Y0C9 排水電磁弁 MY2N Y0C 2 02 1B18 WETTER 7 WATER SUPPLY VALVE ウエッター7 Y 0CA 12 1B10 03 1B17 給水電磁弁 Y 0CB WETTER 7 DRAIN VALVE ウエッター7 13 1B9 04 1B16 排水電磁弁 WETTER 2 WATER SUPPLY VALVE ウエッター2 Y 0CC 14 1B8 05 1B15 ウエッター5 排水電磁弁 給水電磁弁 WETTER 6 WATER SUPPLY VALVE ウエッター6 給水電磁弁 MY2N CR 0C5 Y0C5 給水電磁弁 WETTER 5 DRAIN VALVE CR 0CC Y0CC MY2N Y0C 5 ウエッター5 MY2N CR 0C4 Y0C4 排水電磁弁 WETTER 5 WATER SUPPLY VALVE CR 0CB Y0CB MY2N Y0C 4 ウエッター4 MY2N CR 0C3 Y0C3 WETTER 4 DRAIN VALVE CR 0CA Y0CA MY2N Y0C 3 給水電磁弁 MY2N CR 0C2 Y0C2 ウエッター4 MY2N MY2N Y0C 1 WETTER 4 WATER SUPPLY VALVE Y 0CD WETTER 2 DRAIN VALVE ウエッター2 15 1B7 CR 0CD Y0CD 排水電磁弁 WETTER 6 DRAIN VALVE ウエッター6 排水電磁弁 MY2N Y0C 6 06 1B14 CR 0C6 Y0C6 WETTER 3 WATER SUPPLY VALVE ウエッター3 Y 0CE 16 1B6 Y0CE 1B5 Y0CF 給水電磁弁 MY2N Y0C 7 07 1B13 CR 0C7 Y0C7 Y 0CF WETTER 3 DRAIN VALVE ウエッター3 17 排水電磁弁 1B2 Z 24 P 24 A CR0C0 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 CR0C1 C R 0C 2 CR 0 C 3 CR0C4 C R 0 C5 C R0 C 6 CR0C7 CR0C8 Z2 4 C R 0C 9 CR0CA CR0CB C R 0C C CR 0 C D 1 3 3 00 1 33 0 3 13306 13309 1 3 32 0 13 3 2 3 13326 1 3 3 29 1 34 0 0 13403 13406 1 34 0 9 13420 13423 1 3 3 01 1 33 0 4 13307 13310 1 3 32 1 13 3 2 4 13327 1 3 3 30 1 34 0 1 13404 13407 1 34 1 0 13421 13424 1 3 3 01 1 33 0 4 13307 13310 1 3 32 1 13 3 2 4 13327 1 3 3 30 1 34 0 1 13404 13407 1 34 1 0 13421 13424 1 3 3 02 1 33 0 5 13308 13311 1 3 32 2 13 3 2 5 13328 1 3 3 31 1 34 0 2 13405 13408 1 34 1 1 13422 13425 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 3) R664 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 6 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.6 QY42P G6B 1A2 177 00 Y0D 0 1A20 G6B CR 0D0 Y0D0 Y 0D8 DEW POINT METER 1 露点計 17710 1A12 1 G6B Y0D 1 01 1A19 Y 0D9 DEW POINT METER 2 露点計 11 1A11 02 1A18 2 Y 0DA H2 VACUUM PUMP H2 12 1A10 03 1A17 吸引ポンプ Y 0DB O2 VACUUM PUMP O2 13 1A9 04 1A16 吸引ポンプ Y 0DC SIGNAL TOWER(Y) 14 1A8 05 1A15 シグナルタワー(黄) Y 0DD SIGNAL TOWER(G) 15 1A7 06 1A14 シグナルタワー(緑) N2-6マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D6 Y0D6 N2ー6 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DD Y0DD G6B Y0D 6 N2-5マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D5 Y0D5 N2ー5 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DC Y0DC G6B Y0D 5 N2-4マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D4 Y0D4 N2ー4 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DB Y0DB G6B Y0D 4 N2-3マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D3 Y0D3 N2ー3 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DA Y0DA G6B Y0D 3 N2-2マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D2 Y0D2 N2ー2 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0D9 Y0D9 G6B Y0D 2 N2-1マスフローバイパス用電磁弁 G6B CR 0D1 Y0D1 N2ー1 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0D8 Y0D8 Y 0DE SIGNAL TOWER(R) 16 1A6 N2ー7 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DE Y0DE シグナルタワー(赤) N2-7マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0D 7 07 Y 0DF 1A13 17 Z 24 P 24 A CR0D0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 1 3 8 20 CR0D1 1 38 2 7 C R 0D 2 13800 CR 0 D 3 13806 CR0D4 1 3 90 8 C R 0 D5 13 9 0 9 C R0 D 6 13910 CR0D8 1 3 1 08 CR0D9 1 31 0 9 1A5 Z2 4 C R 0D A 13110 CR0DB 13111 CR0DC 1 31 1 2 C R 0D D 13113 CR 0 D E 13120 CR0DF 1 3 12 1 N2ーSPARE MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0DF Y0DF N2-予備マスフローバイパス用電磁弁 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 4) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 7 R 6 6 4 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.6 QY42P PL0E8 G6B Y0E 0 178 00 2B20 H2ー1 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E0 Y0E0 01 2B19 02 2B18 03 2B17 04 2B16 05 Y0E 6 06 Y0E 7 07 2B15 ROUND TRIP Y ローラ-繰り返し Y 0EA 12 2B10 Y0EA HEATER G ヒ-タ- Y 0EB 13 2B9 Y0EB AUTO STOP R 電源自動遮断 Y 0EC 14 2B8 Y0EC AUTO START G 自動起動 PL0ED H2ーSPARE MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E5 Y0E5 Y0E9 H2-7マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0E 5 2B11 PL0EC H2ー7 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E4 Y0E4 11 H2-4マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0E 4 Y 0E9 PL0EB H2ー4 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E3 Y0E3 ローラ-運転 H2-3マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0E 3 ROLLER ON G PL0EA H2ー3 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E2 Y0E2 Y0E8 H2-2マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0E 2 2B12 PL0E9 H2ー2 MASS FLOW BYPASS VALVE CR 0E1 Y0E1 10 H2-1マスフローバイパス用電磁弁 G6B Y0E 1 Y 0E8 Y 0ED 15 2B7 Y0ED GENERATOR TEST ON Y H2-予備マスフローバイパス用電磁弁 発電機テスト入 Y 0EE 2B14 Y0E6 16 2B13 Y0E7 17 Y 0EF 2B6 Y0EE 2B5 Y0EF 2B2 Z 24 P 24 A CR0E0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 1 3 2 26 CR0E1 1 32 2 7 C R 0E 2 13228 CR 0 E 3 13229 CR0E4 1 3 23 0 C R 0 E5 13 2 3 1 Z2 4 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 5) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 8 R 6 6 4 Z 24 P 24 A Z2 4 P2 4A DC24V DC24V SLT.6 QY42P SD-Q11 A2 179 00 Y0F 0 2A20 MC 1 Y0F0 NO. 1 ROLLER Y 0F8 17910 2A12 Y0F8 2A11 Y0F9 2A10 Y0FA 2A9 Y0FB 2A8 Y0FC 2A7 Y0FD 2A6 Y0FE 2A5 Y0FF N O .1 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 1 01 2A19 MC 2 Y0F1 NO. 2 ROLLER Y 0F9 11 N O .2 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 2 02 2A18 MC 3 Y0F2 NO. 3 ROLLER Y 0FA 12 N O .3 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 3 03 2A17 MC 4 Y0F3 NO. 4 ROLLER Y 0FB 13 N O .4 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 4 04 2A16 MC 5 Y0F4 NO. 5 ROLLER Y 0FC 14 N O .5 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 5 05 2A15 MC 6 Y0F5 NO. 6 ROLLER Y 0FD 15 N O .6 ロ ー ラ SD-Q11 Y0F 6 06 2A14 MC 7 Y0F6 EXIT HOOD C/V Y 0FE 16 出口フードC/V SD-Q11 Y0F 7 07 2A13 MC 8 Y0F7 Z 24 NO. BY 変更者 変更 MC2 1 2 2 01 MC3 1 22 0 8 MC 4 12221 MC5 12228 MC6 1 2 30 1 M C7 12 3 0 8 MC8 12321 Y 0FF 17 入口フードC/V P 24 A MC1 REVISIONS ENT. HOOD C/V 1 2 3 28 Z2 4 P2 4A DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 6) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 7 9 R 6 6 4 EXIT CONTROL PANEL EXIT CONTROL PANEL 出口中継盤 DC24V Z 24 P 24 B 出口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B CH9 AJ65SBTB1-32D AX500 AX508 X500 180 00 8 X 5 00 EXIT HOOD SHUTTER UP END X 5 01 EXIT HOOD SHUTTER DOWN END EXIT PURGE ROOM SHUTTER X508 18010 16 出口フードシャッター上昇端 AX501 X 5 08 UP END(MANUAL) 出口置換室シャッター上昇端(手動) AX509 X501 01 9 11 02 OPEN END(UP) 12 03 X 5 03 11 OPEN END(DOWN) 04 X 5 04 12 13 14 X50D A 15 LOCK OPEN END(UP) 21 X50E A 16 22 出口置換室シャッターロック開端(上) AX507 EXIT ROLLER C/V START(L) 出口ローラC/Vスタート(左) X 5 0C EXIT ROLLER C/V START(R) 出口ローラC/Vスタート(右) X 5 0D EXIT PURGE ROOM TRAY CHECK(L) 出口置換室トレー確認(左) PH50E EXIT PURGE ROOM SHUTTER X506 20 出口置換室シャッター下降端 X 5 06 X 5 0B 出口置換室シャッターロック開端(下) (手動) PH50D DOWN END AX506 06 X50C A 14 EXIT PURGE ROOM SHUTTER X505 19 出口置換室シャッター上昇端 X 5 05 LOCK OPEN END(DOWN)(MANUAL) PH50C UP END AX505 05 X50B A 13 EXIT PURGE ROOM SHUTTER X504 18 出口フードシャッターロック開端(下) AX504 X 5 0A 出口置換室シャッターロック開端(上) (手動) PH50B EXIT HOOD SHUTTER LOCK X503 LOCK OPEN END(UP)(MANUAL) EXIT PURGE ROOM SHUTTER X50A 出口フードシャッターロック開端(上) AX503 X 5 09 AX50A EXIT HOOD SHUTTER LOCK X 5 02 10 17 出口フードシャッター下降端 AX502 X502 EXIT PURGE ROOM SHUTTER X509 X 5 0E EXIT PURGE ROOM TRAY CHECK(R) 出口置換室トレー確認(右) EXIT PURGE ROOM SHUTTER X507 07 X 5 07 15 PS50F LOCK OPEN END(DOWN) X50F 17 23 出口置換室シャッターロック開端(下) X 5 0F AIR PRESSER CHECK エアー圧力確認 (COM)40 C Z 24 A 入力へ PH BK X500 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 B Br P24 Bu Z24 X501 X 5 02 Z24 PX BK P 24 B R Bu X5 0 3 X504 X505 PH Z24 Z2 4 BK Br BK Br W Bu P24 P2 4B P24 入力 INPUT X 50 6 X507 X508 X 5 09 X50A X50B X 5 0C X5 0 D X50E X50F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 7) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 0 R 6 6 4 EXIT CONTROL PANEL EXIT CONTROL PANEL 出口中継盤 DC24V Z 24 P 24 B 出口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B CH9 AJ65SBTB1-32D PH518 AX510 X510 181 00 X 5 10 24 EXIT NO. 1 STOPPER ADVANCE END X518 C 18110 32 出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 端 X 5 18 EXIT TRANSFER TRAY CHECK 1 出口移送トレイ確認 1 PH519 AX511 X511 01 X 5 11 25 EXIT NO. 1 STOPPER RETURN END X519 C 11 33 出 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 端 X 5 19 EXIT TRANSFER STOP 出口移送停止 PH51A AX512 X512 02 EXIT NO. 1 LIFTER UP END X 5 12 26 X513 EXIT NO. 1 LIFTER DOWN END X 5 13 27 34 出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 端 AX513 03 X51A C 12 PS51B X51B 13 35 出 口 N O .1 リ フ タ 下 降 端 RETURN ENT. C/V TRAY CHECK X 5 1A リターン入口C/V EXIT VACUUM PRESSUR CHECK(HIGH) X 5 1B 出口真空圧力確認(高圧) AX514 X514 04 X 5 14 28 PS51C EXIT NO. 2 STOPPER ADVANCE END X51C 14 36 出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進 端 EXIT VACUUM PRESSUR CHECK(LOW) X 5 1C 出口真空圧力確認(低圧) GC41 AX515 X515 05 X 5 15 29 15 X516 EXIT NO. 2 LIFTER UP END X 5 16 30 37 出 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退 端 AX516 06 X51D EXIT NO. 2 STOPPER RETURN END X51E 16 38 出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 端 トレイ確認 EXIT DIFFERENTIAL PRESSUR CHECK(HIGH) X 5 1D 出口差圧確認(高圧) EXIT DIFFERENTIAL PRESSUR CHECK(LOW) X 5 1E 出口差圧確認(低圧) PH51F AX517 X517 07 EXIT NO. 2 LIFTER DOWN END X 5 17 31 X518 C 17 39 出 口 N O .2 リ フ タ 下 降 端 X 5 1F EXIT TRANSFER TRAY CHECK 2 出口移送トレイ確認 2 (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X510 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X511 X 5 12 X5 1 3 X514 X515 X 51 6 X517 X518 X 5 19 X51A X51B X 5 1C X5 1 D X51E X51F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 8) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 1 R 6 6 4 EXIT OPERATION PANEL EXIT OPERATION PANEL 出口操作盤 Z 24 出口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH10 AJ65SBTB1-32D SPB528 PB520 X520 182 00 AUTO 8 X 5 20 CONVEYOR STOP X 5 21 AUTO X 5 22 EXIT HOOD C/V X 5 23 EXIT PURGE ROOM C/V X 5 24 EXIT HOOD SHUTTER UP UP DOWN X528 18210 16 搬送停止 X 5 28 EXIT PURGE ROOM SHUTTER UP 出口置換室シャッター上昇 MANUAL KSS521 X521 01 9 X529 11 PB522 SPB52A X522 02 10 17 自動 OPEN X 5 29 EXIT PURGE ROOM SHUTTER DOWN 出口置換室シャッター下降 CLOSE EXIT PURGE ROOM SHUTTER X52A 12 18 出口フードC/V X 5 2A LOCK OPEN 出口置換室シャッターロック開 PB523 EXIT PURGE ROOM SHUTTER X523 03 SPB524 UP 11 X52B 13 出口置換室C/V X524 12 14 X525 05 13 20 X 5 2C 21 X 5 2D 出口フードシャッター上昇 SPB52D OPEN X 5 2B LOCK CLOSE 出口置換室シャッターロック閉 DOWN 04 SPB526 19 X 5 25 EXIT HOOD SHUTTER DOWN X 5 26 EXIT HOOD SHUTTER LOCK OPEN ADVANCE RETURN X52D 15 出口フードシャッター下降 EXIT NO. 1 STOPPER ADVANCE 出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 CLOSE X526 06 14 X52E 16 22 出口フードシャッターロック開 X 5 2E EXIT NO. 1 STOPPER RETURN 出 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 PB52F X527 07 X 5 27 15 X52F EXIT HOOD SHUTTER LOCK CLOSE 17 23 出口フードシャッターロック閉 X 5 2F EXIT TRANSFER C/V 出口移載C/V (COM)40 Z 24 P 24 B X520 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X521 X 5 22 X5 2 3 X524 X525 X 52 6 X527 X528 Z2 4 X 5 29 X52A X52B X 5 2C X5 2 D X52E P2 4B X52F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (1 9) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 2 R 6 6 4 EXIT OPERATION PANEL EXIT OPERATION PANEL 出口操作盤 Z 24 出口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH10 AJ65SBTB1-32D SPB530 UP DOWN PB538 X530 183 00 X531 01 SPB532 24 25 X 5 30 EXIT NO. 1 LIFTER UP X 5 31 EXIT NO. 1 LIFTER DOWN X 5 32 EXIT NO. 2 STOPPER ADVANCE X 5 33 EXIT NO. 2 STOPPER RETURN X 5 34 EXIT NO. 2 LIFTER UP X 5 35 EXIT NO. 2 LIFTER DOWN X 5 36 EXIT NO. 2 ROLLER X 5 37 RETURN ENT. C/V X538 18310 32 出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 PB539 X539 11 33 出 口 N O .1 リ フ タ 下 降 X 5 38 RETURN C/V ON リターンC/V運転 X 5 39 RETURN C/V OFF リターンC/V停止 ADVANCE RETURN X532 02 X533 03 SPB534 UP 26 27 12 34 X 5 3A 13 35 X 5 3B 14 36 X 5 3C 15 37 X 5 3D 16 38 X 5 3E 17 39 X 5 3F 出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進 出 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退 DOWN X534 04 X535 05 28 29 出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 出 口 N O .2 リ フ タ 下 降 PB536 X536 06 30 出 口 N O .2 ロ - ラ PB537 X537 07 31 リターン入口C/V (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X530 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X531 X 5 32 X5 3 3 X534 X535 X 53 6 X537 X538 X 5 39 X53A X53B X 5 3C X5 3 D X53E X53F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 0) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 3 R 6 6 4 EXIT OPERATION PANEL EXIT OPERATION PANEL 出口操作盤 Z 24 出口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH11 AJ65SBTB1-32D PB540 SPB548 X540 184 00 8 X 5 40 EXIT EXHAUST X 5 41 EXIT LARGE PURGE X 5 42 EXIT SMALL PURGE X 5 43 EXIT VACUUM OPEN X 5 44 EXIT VACUUM CLOSE X 5 45 EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN X 5 46 EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE ON OFF X548 18410 16 出口排気 X 5 48 EXIT VACUUM PUMP ON 出口真空ポンプ入 PB541 X541 01 9 X549 11 17 出口大流量打込み X 5 49 EXIT VACUUM PUMP OFF 出口真空ポンプ切 PB542 X542 02 SPB543 OPEN X543 X544 04 OPEN 12 18 X 5 4A 13 19 X 5 4B 14 20 X 5 4C 15 21 X 5 4D 16 22 X 5 4E 17 23 X 5 4F 出口小流量打込み CLOSE 03 SPB545 10 11 12 出口吸引開 出口吸引閉 CLOSE X545 05 X546 06 13 14 出口真空破壊閉 X 5 47 15 07 出口真空破壊開 (COM)40 Z 24 P 24 B X540 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X541 X 5 42 X5 4 3 X544 X545 X 54 6 X547 X548 Z2 4 X 5 49 X54A X54B X 5 4C X5 4 D X54E P2 4B X54F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 1) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 4 R 6 6 4 EXIT OPERATION PANEL EXIT OPERATION PANEL 出口操作盤 Z 24 出口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH11 AJ65SBTB1-32D 185 00 24 X 5 50 18510 32 X 5 58 01 25 X 5 51 11 33 X 5 59 02 26 X 5 52 12 34 X 5 5A 03 27 X 5 53 13 35 X 5 5B 04 28 X 5 54 14 36 X 5 5C 05 29 X 5 55 15 37 X 5 5D 06 30 X 5 56 16 38 X 5 5E 07 31 X 5 57 17 39 X 5 5F (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X550 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X551 X 5 52 X5 5 3 X554 X555 X 55 6 X557 X558 X 5 59 X55A X55B X 5 5C X5 5 D X55E X55F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 2) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 5 R 6 6 4 EXIT CONTROL PANEL EXIT CONTROL PANEL 出口中継盤 DC24V Z 24 P 24B 1M P24 B 出口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B1 M P 24B CH12 AJ65SBTB1-32T Y56 0 186 00 SOL560 8 Y560 EXIT EXHAUST Y 568 18610 SOL568 16 Y568 EXIT HOOD SHUTTER UP 出口排気 Y56 1 01 出口フードシャッター上昇 SOL561 9 Y561 EXIT LARGE PURGE Y 569 11 SOL569 17 Y569 EXIT HOOD SHUTTER DOWN 出口大流量打込み Y56 2 02 出口フードシャッター下降 SOL562 10 Y562 EXIT SMALL PURGE Y 56A 12 SOL56A 18 Y56A EXIT HOOD SHUTTER LOCK 出口小流量打込み 出口フードシャッターロック G6B Y56 3 03 11 CR 563 Y563 EXIT VACUUM OPEN Y 56B 13 SOL56B 19 Y56B EXIT PURGE ROOM SHUTTER UP 出口吸引開 出口置換室シャッター上昇 G6B Y56 4 04 12 CR 564 Y564 EXIT VACUUM CLOSE Y 56C 14 SOL56C 20 Y56C EXIT PURGE ROOM SHUTTER DOWN 出口吸引閉 出口置換室シャッター下降 G6B Y56 5 05 13 CR 565 Y565 EXIT VACUUM BREAKDOWN OPEN Y 56D 15 SOL56D 21 Y56D EXIT PURGE ROOM SUTTER LOCK 出口真空破壊開 出口置換室シャッターロック G6B Y56 6 06 Y56 7 07 14 CR 566 Y566 CR563 NO. BY 変更者 1 3 7 20 16 Y 56F CR564 1 37 2 1 C R 56 5 13722 CR 5 6 6 13723 SOL56E 22 Y56E EXIT NO. 1 STOPPER ADVANCE 出 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 17 P 24B 1M 変更 Y 56E 出口真空破壊閉 15 Z 24 REVISIONS EXIT VACUUM BREAKDOWN CLOSE P 24 B 23 P2 4B1 M Z2 4 DESCRIPTION P2 4B P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 3) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 6 R 6 6 4 EXIT CONTROL PANEL EXIT CONTROL PANEL 出口中継盤 DC24V Z 24 P 24B 1M P24 B 出口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B1 M P 24B CH12 AJ65SBTB1-32T Y57 0 187 00 SOL570 24 Y570 EXIT NO. 1 LIFTER UP Y 578 18710 32 出 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 Y57 1 01 SOL571 25 Y571 EXIT NO. 1 LIFTER DOWN Y 579 11 33 出 口 N O .1 リ フ タ 下 降 Y57 2 02 SOL572 26 Y572 EXIT NO. 2 STOPPER ADVANCE Y 57A 12 34 出 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進 Y57 3 03 Y57 4 04 Y 57B 27 13 SOL574 28 Y574 EXIT NO. 2 LIFTER UP Y 57C 14 35 36 出 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 Y57 5 05 SOL575 29 Y575 EXIT NO. 2 LIFTER DOWN Y 57D 15 37 出 口 N O .2 リ フ タ 下 降 Y57 6 06 SOL576 30 Y576 EXIT PURGE ROOM VALVE OPEN Y 57E 16 38 出口置換室差圧電磁弁開 Y57 7 07 Y 57F 31 17 39 40 41(COM) 7(24G) (+24V)5 DA1 (DA)1 P 24B 1M 6(FG) P 24 B DB1 (DB)2 E REVISIONS NO. BY 変更者 変更 P2 4B1 M DG1 (DG)3 P2 4B SLD1 (SLD)4 DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 4) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 7 R 6 6 4 ENT. CONTROL PANEL ENT. CONTROL PANEL 入口中継盤 DC24V Z 24 P 24 B 入口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B CH13 AJ65SBTB1-32D PH580 X580 C 188 00 AX588 RETURN C/V TRAY CHECK X 5 80 8 リターンC/V X588 18810 PH581 X581 C 01 リターン出口C/V X589 11 ENT. NO. 2 STOPPER UP END X 5 89 ENT. NO. 2 STOPPER DOWN END 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 上 昇 端 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 下 降 端 AX58A X582 C X 5 82 10 ENT. TRANSFER TRAY CHECK X58A 12 C 11 ENT. NO. 2 LIFTER UP END X 5 8A 入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 端 AX58B ENT. TRANSFER X583 18 入口移送トレイ確認 PH583 03 17 トレイ確認 PH582 02 X 5 88 AX589 RETURN EXIT C/V TRAY CHECK X 5 81 9 16 トレイ確認 X 5 83 MEDIUM TRAY CHECK X 5 84 ENT. NO. 1 STOPPER ADVANCE END X 5 85 ENT. NO. 1 STOPPER RETURN END X58B 13 19 入口移送中間トレイ確認 AX584 ENT. NO. 2 LIFTER DOWN END X 5 8B 入 口 N O .2 リ フ タ 下 降 端 AX58C X584 04 12 X58C 14 20 入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 端 AX585 X 5 8C ENT. NO. 3 STOPPER ADVANCE END X 5 8D ENT. NO. 3 STOPPER RETURN END 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 前 進 端 AX58D X585 05 13 06 X587 07 22 ENT. NO. 3 LIFTER UP END X 5 8E 入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇 端 AX58F ENT. NO. 1 LIFTER DOWN END X 5 87 15 X58E 16 入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 端 AX587 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 後 退 端 AX58E ENT. NO. 1 LIFTER UP END X 5 86 14 21 入 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 端 AX586 X586 X58D 15 X58F 17 23 入 口 N O .1 リ フ タ 下 降 端 ENT. NO. 3 LIFTER DOWN END X 5 8F 入 口 N O .3 リ フ タ 下 降 端 (COM)40 C Z 24 A 入力へ PH BK X580 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 B Br P24 Bu Z24 X581 X 5 82 Z24 PX BK P 24 B R Bu X5 8 3 X584 X585 PH Z24 Z2 4 BK Br BK Br W Bu P24 P2 4B P24 INPUT X 58 6 X587 INPUT X588 X 5 89 X58A X58B X 5 8C X5 8 D X58E X58F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 5) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 8 R 6 6 4 ENT. CONTROL PANEL ENT. CONTROL PANEL 入口中継盤 DC24V Z 24 P 24 B 入口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B CH13 AJ65SBTB1-32D PH590 X590 C 189 00 PH598 ENT. TRANSFER 24 X 5 90 TRAY SEPARATE CHECK X 5 91 ENT. STOPPER CHECK X 5 92 ENT. TRANSFER STOP X 5 93 ENT. PURGE ROOM TRAY CHECK(L) X 5 94 ENT. PURGE ROOM TRAY CHECK(R) X 5 95 ENT. ROLLER C/V STOP(L) X 5 96 ENT. ROLLER C/V STOP(R) PH591 25 11 26 UP END 入口置換室シャッター上昇端 12 34 入口移送停止 X 5 9A DOWN END 入口置換室シャッター下降端 27 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59B 13 35 入口置換室トレー確認(左) X 5 9B LOCK OPEN END(UP) 入口置換室シャッターロック開端(上) AX59C X594 A 28 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59C 14 36 入口置換室トレー確認(右) PH595 X 5 9C LOCK OPEN END(DOWN) 入口置換室シャッターロック開端(下) AX59D X595 A 29 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59D 15 37 入口ローラC/V停止(左) PH596 X 5 9D UP END(MANUAL) 入口置換室シャッター上昇端(手動) AX59E X596 A 30 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59E 16 38 入口ローラC/V停止(右) PH597 X 5 9E LOCK OPEN END(UP)(MANUAL) X 5 9F LOCK OPEN END(DOWN)(MANUAL) 入口置換室シャッターロック開端(上) (手動) AX59F X597 A 07 X 5 99 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59A PH594 06 入口ローラC/Vスタート(右) AX59B X593 A 05 33 入口ストッパ検知 PH593 04 ENT. ROLLER C/V START(R) AX59A X592 A 03 X 5 98 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X599 PH592 02 32 AX599 X591 C 01 X598 A 18910 入口移送分離トレイ確認 X 5 97 31 ENT. ROLLER C/V START(L) ENT. PURGE ROOM SHUTTER X59F 17 39 入口ローラC/Vスタート(左) (COM)41 入口置換室シャッターロック開端(下) (手動) 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X590 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X591 X 5 92 X5 9 3 X594 X595 X 59 6 X597 X598 X 5 99 X59A X59B X 5 9C X5 9 D X59E X59F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 6) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 8 9 R 6 6 4 ENT. CONTROL PANEL ENT. CONTROL PANEL 入口中継盤 DC24V Z 24 P 24 B 入口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B CH14 AJ65SBTB1-32D PH5A8 AX5A0 X5A0 190 00 8 X 5 A0 ENT. FOOD SHUTTER UP END X 5 A1 ENT. FOOD SHUTTER DOWN END X5A8 C 19010 16 入口フードシャッター上昇端 RETURN C/V TRAY CHECK X 5 A8 リターンC/V トレイ確認 AX5A1 X5A1 01 9 11 17 X 5 A9 12 18 X 5 AA 13 19 X 5 AB 14 20 X 5 AC 15 21 X 5 AD 16 22 X 5 AE 17 23 X 5 AF 入口フードシャッター下降端 AX5A2 ENT. FOOD SHUTTER LOCK X5A2 02 X 5 A2 10 OPEN END(UP) 入口フードシャッターロック開端(上) AX5A3 ENT. FOOD SHUTTER LOCK X5A3 03 PS5A4 X5A4 04 PS5A5 X5A5 05 X 5 A3 11 OPEN END(DOWN) 入口フードシャッターロック開端(下) ENT. VACUUM PRESSUR CHECK(HIGH) X 5 A4 12 入口真空圧力確認(高圧) ENT. VACUUM PRESSUR CHECK(LOW) X 5 A5 13 入口真空圧力確認(高圧) GC42 X5A6 06 X5A7 07 ENT. DIFFERENTIAL PRESSUR CHECK(HIGH) X 5 A6 14 入口差圧確認(高圧) ENT. DIFFERENTIAL PRESSUR CHECK(LOW) X 5 A7 15 入口差圧確認(低圧) (COM)40 C Z 24 A 入力へ PH BK X5A0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 B Br P24 Bu Z24 X5A1 X 5 A2 Z24 PX BK P 24 B R Bu X5 A 3 X5A4 X5A5 PH Z24 Z2 4 BK Br BK Br W Bu P24 P2 4B P24 INPUT X 5A 6 X5A7 INPUT X5A8 X 5 A9 X5AA X5AB X 5 AC X5 A D X5AE X5AF DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 7) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 0 R 6 6 4 ENT. OPERATION PANEL ENT. OPERATION PANEL 入口操作盤 Z 24 入口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH14 AJ65SBTB1-32D 191 00 24 X 5 B0 19110 32 X 5 B8 01 25 X 5 B1 11 33 X 5 B9 02 26 X 5 B2 12 34 X 5 BA 03 27 X 5 B3 13 35 X 5 BB 04 28 X 5 B4 14 36 X 5 BC 05 29 X 5 B5 15 37 X 5 BD 06 30 X 5 B6 16 38 X 5 BE 07 31 X 5 B7 17 39 X 5 BF (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X5B0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X5B1 X 5 B2 X5 B 3 X5B4 X5B5 X 5B 6 X5B7 X5B8 X 5 B9 X5BA X5BB X 5 BC X5 B D X5BE X5BF DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 8) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 1 R 6 6 4 ENT. OPERATION PANEL ENT. OPERATION PANEL 入口操作盤 Z 24 入口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH15 AJ65SBTB1-32D SPB5C8 PB5C0 X5C0 192 00 AUTO 8 X 5 C0 CONVEYOR STOP X 5 C1 AUTO X 5 C2 RETURN C/V ON X 5 C3 RETURN C/V OFF X 5 C4 RETURN ENT. C/V X 5 C5 BREAK TIME ON DOWN X5C8 19210 16 搬送停止 X 5 C8 ENT. NO. 1 LIFTER UP 入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 MANUAL KSS5C1 X5C1 01 9 X5C9 11 SPB5CA X5C2 02 PB5C3 X5C3 03 10 11 X5CA 04 OFF 18 リターンC/V運転 X5CB 13 19 リターンC/V停止 SPB5CC 12 X 5 C9 ENT. NO. 1 LIFTER DOWN 入 口 N O .1 リ フ タ 下 降 ADVANCE RETURN 12 PB5C4 X5C4 17 自動 PB5C2 UP X 5 CA ENT. NO. 2 STOPPER ADVANCE 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 前 進 X 5 CB ENT. NO. 2 STOPPER RETURN 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 後 退 DOWN X5CC 14 20 リターン入口C/V X 5 CC ENT. NO. 2 LIFTER UP 入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 ON SS5C5 X5C5 05 SPB5C6 UP 13 ブレークタイム 休憩時間 X5CD 15 入 ADVANCE RETURN SPB5CE X5C6 06 X5C7 07 14 15 21 X 5 C6 ENT. NO. 1 STOPPER ADVANCE X 5 C7 ENT. NO. 1 STOPPER RETURN X 5 CD ENT. NO. 2 LIFTER DOWN 入 口 N O .2 リ フ タ 下 降 ADVANCE RETURN X5CE 16 22 入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 X5CF 17 23 入 口 N O .1 ス ト ッ パ 後 退 X 5 CE ENT. NO. 3 STOPPER ADVANCE 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 前 進 X 5 CF ENT. NO. 3 STOPPER RETURN 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 後 退 (COM)40 Z 24 P 24 B X5C0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X5C1 X 5 C2 X5 C 3 X5C4 X5C5 X 5C 6 X5C7 X5C8 Z2 4 X 5 C9 X5CA X5CB X 5 CC X5 C D X5CE P2 4B X5CF DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (2 9) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 2 R 6 6 4 ENT. OPERATION PANEL ENT. OPERATION PANEL 入口操作盤 Z 24 入口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH15 AJ65SBTB1-32D SPB5D0 UP DOWN SPB5D8 X5D0 193 00 24 X 5 D0 ENT. NO. 3 LIFTER UP X 5 D1 ENT. NO. 3 LIFTER DOWN X 5 D2 ENT. TRANSFER C/V X 5 D3 ENT. NO. 2 ROLLER X 5 D4 ENT. PURGE ROOM C/V X 5 D5 ENT. HOOD C/V OPEN CLOSE ENT. PURGE ROOM SHUTTER X5D8 19310 32 入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇 X 5 D8 LOCK OPEN 入口置換室シャッターロック開 ENT. PURGE ROOM SHUTTER X5D1 01 25 X5D9 11 入 口 N O .3 リ フ タ 下 降 PB5D2 SPB5DA X5D2 02 26 33 UP X 5 D9 LOCK CLOSE 入口置換室シャッターロック閉 DOWN X5DA 12 34 入口移載C/V X 5 DA ENT. HOOD SHUTTER UP 入口フードシャッター上昇 PB5D3 X5D3 03 27 X5DB 13 入 口 N O .2 ロ - ラ PB5D4 SPB5DC X5D4 04 28 35 OPEN X 5 DB ENT. HOOD SHUTTER DOWN 入口フードシャッター下降 CLOSE X5DC 14 36 入口置換室C/V X 5 DC ENT. HOOD SHUTTER LOCK OPEN 入口フードシャッターロック開 PB5D5 X5D5 05 SPB5D6 UP 29 X5DD 15 37 入口フードC/V DOWN X 5 DD ENT. HOOD SHUTTER LOCK CLOSE 入口フードシャッターロック閉 PB5DE X5D6 06 X 5 D6 30 ENT. PURGE ROOM SHUTTER UP X5DE 16 38 入口置換室シャッター上昇 X 5 DE ENT. EXHAUST 入口排気 PB5DF X5D7 07 X 5 D7 31 X5DF ENT. PURGE ROOM SHUTTER DOWN 17 39 入口置換室シャッター下降 X 5 DF ENT. LARGE PURGE 入口大流量打込み (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X5D0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X5D1 X 5 D2 X5 D 3 X5D4 X5D5 X 5D 6 X5D7 X5D8 X 5 D9 X5DA X5DB X 5 DC X5 D D X5DE X5DF DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 0) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 3 R 6 6 4 ENT. OPERATION PANEL ENT. OPERATION PANEL 入口操作盤 Z 24 入口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH16 AJ65SBTB1-32D PB5E0 X5E0 194 00 SPB5E1 OPEN X5E1 X5E2 02 OPEN X5E3 X5E4 04 ON ENT. SMALL PURGE 19410 16 X 5 E8 X 5 E1 ENT. VACUUM OPEN 11 17 X 5 E9 X 5 E2 ENT. VACUUM CLOSE 12 18 X 5 EA X 5 E3 ENT. VACUUM BREAKDOWN OPEN 13 19 X 5 EB X 5 E4 ENT. VACUUM BREAKDOWN CLOSE 14 20 X 5 EC X 5 E5 ENT. VACUUM PUMP ON 15 21 X 5 ED X 5 E6 ENT. VACUUM PUMP OFF 16 22 X 5 EE 17 23 X 5 EF 入口小流量打込み 9 10 入口吸引開 入口吸引閉 CLOSE 03 SPB5E5 X 5 E0 CLOSE 01 SPB5E3 8 11 12 入口真空破壊開 入口真空破壊閉 OFF X5E5 05 X5E6 06 13 14 入口真空ポンプ切 X 5 E7 15 07 入口真空ポンプ入 (COM)40 Z 24 P 24 B X5E0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X5E1 X 5 E2 X5 E 3 X5E4 X5E5 X 5E 6 X5E7 X5E8 Z2 4 X 5 E9 X5EA X5EB X 5 EC X5 E D X5EE P2 4B X5EF DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 1) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 4 R 6 6 4 ENT. OPERATION PANEL ENT. OPERATION PANEL 入口操作盤 Z 24 入口操作盤 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH16 AJ65SBTB1-32D 195 00 24 X 5 F0 19510 32 X 5 F8 01 25 X 5 F1 11 33 X 5 F9 02 26 X 5 F2 12 34 X 5 FA 03 27 X 5 F3 13 35 X 5 FB 04 28 X 5 F4 14 36 X 5 FC 05 29 X 5 F5 15 37 X 5 FD 06 30 X 5 F6 16 38 X 5 FE 07 31 X 5 F7 17 39 X 5 FF (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X5F0 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X5F1 X 5 F2 X5 F 3 X5F4 X5F5 X 5F 6 X5F7 X5F8 X 5 F9 X5FA X5FB X 5 FC X5 F D X5FE X5FF DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 2) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 5 R 6 6 4 ENT. CONTROL PANEL ENT. CONTROL PANEL 入口中継盤 DC24V Z 24 P 24B 2M P24 B 入口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B2 M P 24B CH17 AJ65SBTB1-32T Y60 0 196 00 0 SOL600 8 Y600 ENT. EXHAUST Y 608 19610 SOL608 16 Y608 ENT. NO. 1 STOPPER ADVANCE 入口排気 Y60 1 01 入 口 N O .1 ス ト ッ パ 前 進 SOL601 9 Y601 Y 609 ENT. LARGE PURGE 11 17 入口大流量打込み Y60 2 02 SOL602 10 Y602 Y 60A ENT. SMALL PURGE 12 SOL60A 18 Y60A ENT. NO. 1 LIFTER UP 入口小流量打込み 入 口 N O .1 リ フ タ 上 昇 G6B Y60 3 03 11 CR 603 Y603 ENT. VACUUM OPEN 5 Y 60B 13 SOL60B 19 Y60B ENT. NO. 1 LIFTER DOWN 入口吸引開 入 口 N O .1 リ フ タ 下 降 G6B Y60 4 04 12 CR 604 Y604 ENT. VACUUM CLOSE 05 13 CR 605 Y605 06 Y60 7 07 14 CR 606 Y606 SOL60C 20 Y60C ENT. NO. 2 STOPPER UP 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 上 昇 5 ENT. VACUUM BREAKDOWN OPEN Y 60D 15 SOL60D 21 Y60D ENT. NO. 2 STOPPER DOWN 入口真空破壊開 G6B Y60 6 Y 60C 14 入口吸引閉 G6B Y60 5 5 入 口 N O .2 ス ト ッ パ 下 降 5 ENT. VACUUM BREAKDOWN CLOSE Y 60E 16 SOL60E 22 Y60E ENT. NO. 2 LIFTER UP 入口真空破壊閉 入 口 N O .2 リ フ タ 上 昇 Y 60F 15 17 SOL60F 23 Y60F ENT. NO. 2 LIFTER DOWN 入 口 N O .2 リ フ タ 下 降 P 24B 2M Z 24 CR603 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 1 3 7 28 CR604 1 37 2 9 C R 60 5 13730 CR 6 0 6 13731 P 24 B P2 4B2 M Z2 4 DESCRIPTION P2 4B P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 3) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 6 R 6 6 4 ENT. CONTROL PANEL ENT. CONTROL PANEL 入口中継盤 DC24V Z 24 P 24B 2M P24 B 入口中継盤 DC24V Z2 4 P2 4B2 M P 24B CH17 AJ65SBTB1-32T Y61 0 197 00 SOL610 24 Y610 ENT. NO. 3 STOPPER UP Y 618 19710 SOL618 32 Y618 ENT. HOOD SHUTTER UP 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 上 昇 Y61 1 01 入口フードシャッター上昇 SOL611 25 Y611 ENT. NO. 3 STOPPER DOWN Y 619 11 SOL619 33 Y619 ENT. HOOD SHUTTER DOWN 入 口 N O .3 ス ト ッ パ 下 降 Y61 2 02 入口フードシャッター下降 SOL612 26 Y612 ENT. NO. 3 LIFTER UP Y 61A 12 SOL61A 34 Y61A ENT. HOOD SHUTTER LOCK 入 口 N O .3 リ フ タ 上 昇 Y61 3 03 入口フードシャッターロック SOL613 27 Y613 ENT. NO. 3 LIFTER DOWN Y 61B 13 SOL61B 35 Y61B ENT. PURGE ROOM VALVE OPEN 入 口 N O .3 リ フ タ 下 降 Y61 4 04 入口置換室差圧電磁弁開 SOL614 28 Y614 ENT. PURGE ROOM SHUTTER UP Y 61C 14 36 入口置換室シャッター上昇 Y61 5 05 SOL615 29 Y615 Y 61D ENT. PURGE ROOM SHUTTER DOWN 15 37 入口置換室シャッター下降 Y61 6 06 SOL616 30 Y616 ENT. PURGE ROOM SHUTTER Y 61E 16 38 入口置換室シャッターロック Y61 7 07 Y 61F 31 17 39 40 41(COM) 7(24G) (+24V)5 DA1 (DA)1 P 24B 2M 6(FG) P 24 B DB1 (DB)2 E REVISIONS NO. BY 変更者 変更 P2 4B2 M DG1 (DG)3 P2 4B SLD1 (SLD)4 DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 4) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 7 R 6 6 4 Z 24 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH18 AJ65SBTB1-32D Bu 198 00 FL620 BK X620 X 6 20 8 WETTER 1 WATER LEVEL(HH) Bu 19810 FL628 BK Br Bu FL621 BK X621 X 6 21 9 WETTER 1 WATER LEVEL(H) Bu 11 FL629 BK FL622 FL623 BK X622 X 6 22 10 WETTER 1 WATER LEVEL(L) Bu 12 FL62A BK FL624 BK X623 X 6 23 11 WETTER 1 WATER LEVEL(LL) Bu 13 FL62B FL625 FL626 X624 BK X 6 24 12 WETTER 7 WATER LEVEL(HH) Bu 14 FL62C FL627 BK 1 GOTO X62C 20 WETTER 3 WATER LEVEL(HH) X 6 2D WETTER 3 WATER LEVEL(H) X 6 2E WETTER 3 WATER LEVEL(L) X 6 2F WETTER 3 WATER LEVEL(LL) ウエッタ-3 水位(HH) X625 X 6 25 13 WETTER 7 WATER LEVEL(H) Bu 15 FL62D BK X62D 21 ウエッタ-7 水位(H) ウエッタ-3 水位(H) Br P24B X626 BK X 6 26 14 WETTER 7 WATER LEVEL(L) Bu 16 FL62E X62E BK 22 ウエッタ-7 水位(L) ウエッタ-3 水位(L) Br P24B X627 BK X 6 27 15 WETTER 7 WATER LEVEL(LL) Bu 17 FL62F X62F BK 23 ウエッタ-7 水位(LL) Br X621 X 6 22 X6 2 3 X624 X625 X 62 6 X627 X628 ウエッタ-3 水位(LL) (COM)40 P24B P 24 B X620 NO. X 6 2C ウエッタ-2 水位(LL) P24B Z 24 BY 変更者 WETTER 2 WATER LEVEL(LL) Br P24B 変更 19 ウエッタ-7 水位(HH) Br REVISIONS X62B BK P24B Bu X 6 2B ウエッタ-2 水位(L) P24B Br 07 WETTER 2 WATER LEVEL(L) Br P24B Bu 18 ウエッタ-1 水位(LL) Br 06 X62A BK P24B Bu X 6 2A ウエッタ-2 水位(H) P24B Br 05 WETTER 2 WATER LEVEL(H) Br P24B Bu 17 ウエッタ-1 水位(L) Br 04 X 6 29 ウエッタ-2 水位(HH) P24B P24B Bu WETTER 2 WATER LEVEL(HH) Br Br 03 X629 ウエッタ-1 水位(H) P24B Bu X 6 28 P24B Br 02 16 Br P24B 01 X628 ウエッタ-1 水位(HH) Z2 4 X 6 29 X62A X62B X 6 2C X6 2 D X62E P2 4B X62F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 5) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 8 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH18 AJ65SBTB1-32D Bu 199 00 FL630 BK X630 X 6 30 24 WETTER 4 WATER LEVEL(HH) Bu 19910 FL638 Br Bu FL631 BK X631 X 6 31 25 WETTER 4 WATER LEVEL(H) Bu 11 FL639 FL632 FL633 BK X632 X 6 32 26 WETTER 4 WATER LEVEL(L) Bu 12 FL63A FL634 FL635 BK X633 X 6 33 27 WETTER 4 WATER LEVEL(LL) Bu 13 FL63B FL636 FL637 X 6 3B WETTER 6 WATER LEVEL(LL) X 6 3C N2 PRESSUR CHECK X 6 3D H2 PRESSUR CHECK ウエッタ-6 水位(L) 35 ウエッタ-6 水位(LL) P24B BK X634 X 6 34 28 WETTER 5 WATER LEVEL(HH) Bu 14 PS63C X63C BK 36 ウエッタ-5 水位(HH) N2 圧力確認 Br P24B BK X635 X 6 35 29 WETTER 5 WATER LEVEL(H) Bu 15 PS63D X63D BK 37 ウエッタ-5 水位(H) H2 圧力確認 Br P24B BK X636 X 6 36 30 WETTER 5 WATER LEVEL(L) Bu 16 PS63E X63E BK 38 ウエッタ-5 水位(L) WETTER 1 N2+H2 PRESSUR CHECK X 6 3E ウエッター1 N2+H2 圧力確認 Br P24B Bu WETTER 6 WATER LEVEL(L) Br Br 07 X63B BK P24B Bu 34 ウエッタ-4 水位(LL) Br 06 X 6 3A ウエッタ-6 水位(H) P24B P24B Bu WETTER 6 WATER LEVEL(H) Br Br 05 X63A BK P24B Bu 33 ウエッタ-4 水位(L) Br 04 X 6 39 ウエッタ-6 水位(HH) P24B P24B Bu WETTER 6 WATER LEVEL(HH) Br Br 03 X639 BK ウエッタ-4 水位(H) P24B Bu X 6 38 P24B Br 02 32 Br P24B 01 X638 BK ウエッタ-4 水位(HH) P24B BK X637 X 6 37 31 WETTER 5 WATER LEVEL(LL) Bu 17 PS63F X63F BK 39 ウエッタ-5 水位(LL) Br X 6 3F Br P24B WETTER 7 N2+H2 PRESSUR CHECK (COM)41 P24B ウエッター7 N2+H2 圧力確認 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X630 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 X631 X 6 32 X6 3 3 X634 X635 X 63 6 X637 X638 X 6 39 X63A X63B X 6 3C X6 3 D X63E X63F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 6) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E1 9 9 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH19 AJ65SBTB1-32D MFCW1N Bu 200 00 PS640 BK X640 WETTER 2 N2+H2 PRESSUR CHECK X 6 40 8 ウエッター2 X648 20010 N2+H2 16 圧力確認 X 6 48 N2ー1 HIGH PRESSURE X 6 49 N2ー1 LOW PRESSURE X 6 4A N2ー2 HIGH PRESSURE X 6 4B N2ー2 LOW PRESSURE X 6 4C N2ー3 HIGH PRESSURE X 6 4D N2ー3 LOW PRESSURE X 6 4E N2ー4 HIGH PRESSURE X 6 4F N2ー4 LOW PRESSURE N2-1 高圧 Br P24B MFCW1N Bu 01 PS641 X641 BK WETTER 3 N2+H2 PRESSUR CHECK X 6 41 9 ウエッター3 X649 11 N2+H2 17 圧力確認 N2-1 低圧 Br P24B MFCW2N Bu 02 PS642 X642 BK WETTER 4 N2+H2 PRESSUR CHECK X 6 42 10 ウエッター4 X64A 12 N2+H2 18 圧力確認 N2-2 高圧 Br P24B MFCW2N Bu 03 PS643 BK X643 X 6 43 11 WETTER 5 N2+AIR PRESSUR CHECK ウエッター5 Br N2+エアー X64B 13 19 N2-2 圧力確認 低圧 P24B MFCW3N Bu 04 PS644 BK X644 X 6 44 12 WETTER 6 N2+AIR PRESSUR CHECK ウエッター6 Br N2+AIR X64C 14 20 N2-3 圧力確認 高圧 P24B MFCW3N Bu 05 PS645 BK X645 WETTER SPARE N2+H2 PRESSUR CHECK X 6 45 13 ウエッター予備 X64D 15 N2+H2 21 圧力確認 N2-3 低圧 Br P24B MFCW4N Bu 06 PS646 X646 BK X 6 46 14 AIR PRESSUR CHECK AIR X64E 16 22 圧力確認 N2-4 高圧 Br P24B MFCW4N X 6 47 15 07 X64F 17 23 N2-4 低圧 (COM)40 Z 24 P 24 B X640 REVISIONS NO. BY 変更者 1 GOTO 変更 X641 X 6 42 X6 4 3 X644 X645 X 64 6 X647 X648 Z2 4 X 6 49 X64A X64B X 6 4C X6 4 D X64E P2 4B X64F DESCRIPTION P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 7) R664 DESCRIPTION 理由 2010. 07. 20 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E2 0 0 R 6 6 4 1 Z 24 P 24 B DC24V Z2 4 P2 4B DC24V CH19 AJ65SBTB1-32D MFCW5N MFCW1H-1 X650 201 00 X 6 50 24 N2ー5 HIGH PRESSURE N2-5 X658 20110 32 高圧 MFCW5N X 6 58 H2ー1-1 HIGH PRESSURE X 6 59 H2ー1-1 LOW PRESSURE X 6 5A H2ー1-2 HIGH PRESSURE X 6 5B H2ー1-2 LOW PRESSURE X 6 5C H2ー2-1 HIGH PRESSURE X 6 5D H2ー2-1 LOW PRESSURE X 6 5E H2ー2-2 HIGH PRESSURE X 6 5F H2ー2-2 LOW PRESSURE H2-1-1 高圧 MFCW1H-1 X651 01 X 6 51 25 N2ー5 LOW PRESSURE N2-5 X659 11 33 低圧 MFCW6N H2-1-1 低圧 MFCW1H-2 X652 02 26 X 6 52 N2ー6 HIGH PRESSURE X 6 53 N2ー6 LOW PRESSURE X 6 54 N2ー7 HIGH PRESSURE N2-6 X65A 12 34 高圧 MFCW6N H2-1-2 高圧 MFCW1H-2 X653 03 27 N2-6 X65B 13 35 低圧 MFCW7N H2-1-2 低圧 MFCW2H-1 X654 04 28 N2-7 X65C 14 36 高圧 MFCW7N H2-2-1 高圧 MFCW2H-1 X655 05 X 6 55 29 N2ー7 LOW PRESSURE N2-7 X65D 15 37 低圧 MFCWSN H2-2-1 低圧 MFCW2Hー2 X656 06 X 6 56 30 N2ーSPARE HIGH PRESSURE N2-予備 X65E 16 38 高圧 MFCWSN H2-2-2 高圧 MFCW2H-2 X657 07 X 6 57 31 N2ーSPARE LOW PRESSURE N2-予備 X65F 17 39 低圧 H2-2-2 低圧 (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X650 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X651 X 6 52 X6 5 3 X654 X655 X 65 6 X657 X658 X 6 59 X65A X65B X 6 5C X6 5 D X65E X65F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 8) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E2 0 1 R 6 6 4 Z 24 Z2 4 P 24 B DC24V P2 4B DC24V CH20 AJ65SBTB1-16D MFCW3H MFCW5A X660 202 00 X 6 60 8 H2ー3 HIGH PRESSURE H2-3 X668 20210 16 高圧 MFCW3H X 6 68 AIRー5 HIGH PRESSURE X 6 69 AIRー5 LOW PRESSURE X 6 6A AIRー6 HIGH PRESSURE エアーー5 高圧 MFCW5A X661 01 X 6 61 9 H2ー3 LOW PRESSURE H2-3 X669 11 17 低圧 MFCW4H エアー-5 低圧 MFCW6A X662 02 10 X 6 62 H2ー4 HIGH PRESSURE X 6 63 H2ー4 LOW PRESSURE X 6 64 H2ー7 HIGH PRESSURE X 6 65 H2ー7 LOW PRESSURE X 6 66 H2ーSPARE HIGH PRESSURE X 6 67 H2ーSPARE LOW PRESSURE H2-4 X66A 12 18 高圧 MFCW4H エアーー6 高圧 MFCW6A X663 03 11 H2-4 X66B 13 19 低圧 X 6 6B AIRー6 LOW PRESSURE エアー-6 低圧 MFCW7H X664 04 12 H2-7 14 20 X 6 6C 15 21 X 6 6D 16 22 X 6 6E 17 23 X 6 6F 高圧 MFCW7H X665 05 13 H2-7 低圧 MFCWSH X666 06 14 H2-予備 高圧 MFCWSH X667 07 15 H2-予備 低圧 (COM)41 7(24G) (+24V)5 (DA)1 (DB)2 Z 24 P 24 B (DG)3 Z2 4 (SLD)4 X660 REVISIONS NO. BY 変更者 変更 X661 X 6 62 X6 6 3 X664 X665 X 66 6 X667 X668 X 6 69 X66A X66B X 6 6C X6 6 D X66E X66F DESCRIPTION DA1 DB1 DG1 SLD1 P RO GR AM AB LE C ON TRO LL ER I /O CIR CU IT (3 9) R664 DESCRIPTION 理由 DRAWN TRACED CHECKED APPROVED SCALE GOTO DIVIDE SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. 10/07/20 NORITAKE CO O., ., L I M I T E D D.. NA N AG GO OY YA A JA J AP PA PAN AN N AMGLE PROJ. DRWING NO. A 3 - E2 0 2 R 6 6 4 SAMSUNG ELECTRO-MECHNICS CO.,LTD. R664 ELECTRIC DRAWINGS (NO. 10) NORITAKE CO., LIMITED. NAGOYA JAPAN DA T E APPROVED S Y M.P O S I T I O N DATA REMARK A P P R OV E 06 . 2 5. 2 01 0 CHECKED DESIGNED
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