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SuNAM Co., Ltd. M Co., Ltd.

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ZENITHZENITH-3
プラズマ電源
プラズマ電源
特徴
出力電力:3kW
定電圧・定電流・定電力
LCD(20X2) 表示
アーク検知/コントロール
アナログコントロール(標準)
概要
ZENITH-3 プラズマ電源は産業真空プラズマ工程用
途として設計されています。ZENITH-3 はハードコート
やガラス/光学部品のコーティング成膜プロセスにおい
て、より良い品質と生産性の為に優れたアーク抑制技
術を使用しております。このクイックアーク検知やコント
ロールは優れたアークコントロールアルゴリズムにより
実現されています。
通信インターフェイス
通信インターフェイス:
インターフェイス:
RS232/RS485インターフェイス(オプション)
外部インターフェイス
外部インターフェイス :
0~10Vアナログコントロール(標準)
冷却機能 :
内部ファンによる強制排気.
外形寸法 : 外観図参照
寸法:430mm(W)×88mm(H)×500mm(D)
重量:20kg
仕様
出力電力 :
3kW (定格電圧、定格電流)
出力電圧 :
0~800V(最大出力電圧)
出力電流 :
0~6A (最大出力電流)
入力電圧
入力電圧 :
198~242VAC, 50/60Hz, 単相
入力電流 :
<23A
効率:
効率:
約90%
コントロール(
コントロール(オプション)
オプション):
ローカル:LCD表示
リモート(1):RS232/RS485
リモート(2):アナログインターフェイス
アーク検知基準
アーク検知基準
Imax(過電流検知):ユーザー設定値
Imax(しきい値):10~130%
Imax(ブレークタイム):5~100ms
Imax(ランプタイム):5~100ms
アーク検知時間:<100ns
保護機能
過電流保護:最大出力電流+10%
過温度程:90℃
動作温度 :
0℃~40℃
保存温度 :
-20℃~ 40℃
湿度 :
30% ~60%
リモートコントロールインターフェイス
ZENITH-3は背面パネルにアナログリモートインターフェイス
用としてD-sub15ピン(メス)を装備しています。
No. 名称
1 +10V Ref
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SuNAM
SuNAM Co., Ltd.
ゼネラル物産 ㈱
詳細
+10V供給(対全アナログ出力)
レファレンスグランド
Analog GND
(対全アナログシグナル)
0~8V →0~100% 定格出力
V-monitor
+10V供給(対全デジタルシグナル)
+12V
内部電源リレーONスイッチ及び
Power ON/OFF
運転前用12V接続
オープンコレクタ出力
Arc occurs
(30Vmax,10mAmin)
Alarm
OCP, OTP
レファレンスグランド
Digital GND
(対全デジタルシグナル)
0~10V入力(V, A, P 設定)
Set value
0~10V →0~100% 定格出力
I-monitor
0~10V →0~100% 定格出力
P-monitor
内部リモートリレーONスイッチ及び運転
Remote ON/OFF
前用12V接続
内部インターロックリレーONスイッチ及
Interlock
び運転前用12V接続
オープンコレクタ出力
Power ON signal
(30Vmax,10mAmin)
アラームリターン
Alarm return
Tel:03-3383-1711 http://www.general-bussan.co.jp/
ZENITHZENITH-3
プラズマ電源
プラズマ電源
外観図
外観図
寸法:mm[インチ]
SuNAM
SuNAM Co., Ltd.
ゼネラル物産 ㈱
Tel:03-3383-1711 http://www.general-bussan.co.jp/
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