ZENITHZENITH-3 プラズマ電源プラズマ電源特徴出力電力：3kW 定電圧・定電流・定電力 LCD(20X2) 表示アーク検知/コントロールアナログコントロール（標準）概要 ZENITH-3 プラズマ電源は産業真空プラズマ工程用途として設計されています。ZENITH-3 はハードコートやガラス/光学部品のコーティング成膜プロセスにおいて、より良い品質と生産性の為に優れたアーク抑制技術を使用しております。このクイックアーク検知やコントロールは優れたアークコントロールアルゴリズムにより実現されています。通信インターフェイス通信インターフェイス: インターフェイス: RS232/RS485インターフェイス（オプション）外部インターフェイス外部インターフェイス : 0～10Ｖアナログコントロール（標準）冷却機能 : 内部ファンによる強制排気. 外形寸法 : 外観図参照寸法：430mm(W)×88mm(H)×500mm(D) 重量：20kg 仕様出力電力 : 3kW (定格電圧、定格電流）出力電圧 : 0～800V（最大出力電圧）出力電流 : 0～6A (最大出力電流) 入力電圧入力電圧 : 198～242VAC, 50/60Hz, 単相入力電流 : ＜23A 効率: 効率: 約90% コントロール（コントロール（オプション）オプション）: ローカル：LCD表示リモート（１）：RS232/RS485 リモート（2）：アナログインターフェイスアーク検知基準アーク検知基準 Imax(過電流検知）：ユーザー設定値 Imax(しきい値）：10～130% Imax（ブレークタイム）：5～100ms Imax（ランプタイム）：5～100ms アーク検知時間：＜100ns 保護機能過電流保護：最大出力電流+10% 過温度程：90℃ 動作温度 : 0℃～40℃ 保存温度 : -20℃～ 40℃ 湿度 : 30% ～60% リモートコントロールインターフェイス ZENITH-3は背面パネルにアナログリモートインターフェイス用としてD-sub15ピン（メス）を装備しています。 No. 名称 1 +10V Ref 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 SuNAM SuNAM Co., Ltd. ゼネラル物産㈱詳細 +10V供給（対全アナログ出力）レファレンスグランド Analog GND （対全アナログシグナル） 0～8V →0～100% 定格出力 V-monitor +10V供給（対全デジタルシグナル） +12V 内部電源リレーＯＮスイッチ及び Power ON/OFF 運転前用12Ｖ接続オープンコレクタ出力 Arc occurs （30Ｖmax,10mAmin) Alarm OCP, OTP レファレンスグランド Digital GND （対全デジタルシグナル） 0～10V入力(V, A, P 設定) Set value 0～10V →0～100% 定格出力 I-monitor 0～10V →0～100% 定格出力 P-monitor 内部リモートリレーＯＮスイッチ及び運転 Remote ON/OFF 前用12Ｖ接続内部インターロックリレーＯＮスイッチ及 Interlock び運転前用12Ｖ接続オープンコレクタ出力 Power ON signal （30Ｖmax,10mAmin) アラームリターン Alarm return Tel:03-3383-1711 http://www.general-bussan.co.jp/ ZENITHZENITH-3 プラズマ電源プラズマ電源外観図外観図寸法：mm[インチ] SuNAM SuNAM Co., Ltd. ゼネラル物産㈱ Tel:03-3383-1711 http://www.general-bussan.co.jp/