Wie werden Leckagen an Vakuumpumpen festgestellt und behoben

真空ポンプ漏れの検知/修理
真空装置の漏れは不必要な圧力変化の原因になるだけでなく、空気を入れたりガスを流
出させたりすることによって装置の損傷の原因となり、両方の場合において固体を形成
したり爆発することがあります。
漏れの場所、漏れを見つける方法、将来起きないための防止方法などを学んで装置を保
護してください。
正確に、真空漏れとは何か
真空漏れは大気と真空内部間の穴から来る圧力変化が原因で起きます。また、装置内の
気体や真空の発達によって生じる場合もあります。漏れの原因は以下があります:
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真空 – プロセス負荷によって発生する
封入容積 – 装置内から放出された気体のポケット
気体放出 – 内面から発生する
真空装置をテストする理由
すべてが漏れるものです!装置がいつかは漏れる可能性があります。毎月、以下の点に
ついて検査してください:
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最高の圧力を保証する
装置に空気が入らないように予防する
o 気体が酸素と反応すると、固体が形成されたり爆発する場合がある
o 気体が水蒸気と反応すると、固体が形成される場合がある
装置から気体が逃げないように防止する
漏れを検知するにはどのような方法を使用するか
漏れを検知するにはたくさんの方法があります。
以下の方法をクリックすると、一般的な漏れ検知についての情報が表示されます。
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圧力上昇
マスキング
発泡検査
スパーク試験
ハライドトーチ
放電管
熱導体
ピラニ漏れ検出器
染色浸透
ヘリウム質量分析計
真空漏れで最も一般的な部分はどこか
真空漏れで最も一般的な領域は組立の際に作られた結合部分で、以下がありますが、こ
れに限定されるものではありません:
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Oリングの適用
溶接された部分
回転部品
止まり穴に取り付けたボルト
漏れを見つけた場合:まだ装置を運転できる、許容範囲の漏出速度というものはあるか
許容範囲の漏出速度は最高圧力に関連します。装置の漏れが最小限で、まだ最高の圧力
に達する場合は、なんとかやっていけるかもしれませんが、このような場合、漏れは検
知されないかもしれません。検知可能の最小限の漏れは10~12 cc/秒です。
漏れが検知された場合は、その修理に最大限の努力をしてください。漏出速度はすぐ変
化し、特に、以下のような状況の影響を受けやすくなります:
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気体密度 – 軽い気体は大気よりも早く穴を通過する。
気体温度 – 気体分子は高温でより早く移動する。
外圧 – 大気(760トール)か?外圧が高いと、漏出速度が速くなる。
漏れはどのような場合でも良いものではなく、最終的には装置に損傷を与える場合があ
ります。漏れを検知した場合は、その原因を追究して、最適性能を保つためにできるだ
け早く修理することが大切です。
漏れを見つけたらどのように修理するか
接続金具や結合部分を確認してください!
装置のその部分を組み立て直したり、部品を交換するだけかもしれません。さらに深刻
な漏れは溶接部を再配置したり交換する必要があるかもしれません。
ヒント:修理後は必ず、漏れ検査を行ってください!
修理した部分を確認する価値はあります。その上、見逃したり修理の際にできた別の漏
れがあるかもしれません。
漏れが起きたり、漏れを繰り返さないようにするにはどうするか
装置を熟知し、手入れをしてください!
ポンプの操作人は装置の組立方法など、装置についてくまなく熟知するようにしてくだ
さい。装置の組み立て方や部品についてよく知らない場合は、熟知している人を見つけ
、助けが必要なときに簡単に連絡を取れるようにしてください。
また、最高品質の部品を購入するようにしてください。より良い部品はより良いポンプ
を構成します。
ヒント:ポンプの概略図を手元に置いて、助けが必要なときに利用できるようにしてく
ださい!
ご存知ですか。ポンプの概略図はPrecision
Plusのオンラインで入手できます。ダウンロードして、すぐに参照できるように印刷し
てください。無料です!
圧力上昇
圧力上昇は簡単な方法です。装置の計測器が通常以外の圧力を計測するかを判断するた
めに計測器を利用してください。
*この方法によって、漏れがある場所は検知できませんが、漏れがある場合だけ検知で
きます。*
マスキング
マスキングは漏れを見つけるための、信頼性のある安価な方法です。マスキングは装置
に付けるマスキングコンパウンドの適用を意味し、圧力の減少が観測されるまで移動し
ます。圧力が減少すると、漏れが見つけられます!
*この方法は一時的な修理として機能しますが、完全な修理をできるだけ早急に行うよ
うにしてください。*
発泡検査
発泡検査は石鹸が入った液体にタイヤを浸して泡がでる場所を見つけます!
*この方法は取り外し可能なコンポーネント内での漏れを検知する場合にのみ使用でき
ます。漏れを見つけるためにポンプ全体を液体に浸さないでください!*
スパーク検査
スパーク検査はスパークテスターやテスラコイルを購入して、実行します。スパークテ
スターは、
電気抵抗が最も低い場所(穴/漏れ)の漏れを見つける高電圧サージを放出し、それに
よって漏れ付近に最も普及している輝き(スパーク)を作ります。
*この方法は断熱材(例:透明ガラス)使用の装置だけに使用してください。この方法
をご利用の装置に使っても良いか、確かでない場合は、ポンプのメーカーにお問い合わ
せください。*
染色浸透
漏れ検知の簡単な方法、染色浸透は、漏れていると思われる表面の液体(通常、ある種
の染色)に色を塗る方法です。しばらくして、その液体は通常は液体が入らない材料の
漏れに浸透します。
PercisionPlus.comで記事をご覧ください。