表面粗さ測定機

形状測定機
表面粗さ測定機
Catalog No.4365
クラス最高の位置決め速度により測定のトータル
スループットの向上と高精度粗さ測定を実現
表面粗さ測定の効率化を強力に推進！
！
送り装置（X軸）
：80mm/s、コラム
（Z2軸）
：20mm/s
駆動速度の高速化によりトータル測定時間を短縮します。
オートレベリングテーブル（オプション）
わずらわしい測定面の水平出し調整も自動で行い、セッティング時間は激減できます。
コラム(Z2軸)にABS(絶対原点)スケールを搭載
上下方向の小穴の連続自動測定や位置決めが困難なパーツの繰り返し測定の
再現性が向上します。
Y軸テーブル、回転テーブル（オプション)により更なる自動化
Y軸テーブルや、回転テーブルを装着することにより、多数個パーツの自動測定や、
複数箇所の自動測定が行え、作業面の疲労を大幅に軽減されます。
セラミックガイド採用
送り装置(X軸)の真直度を長期間維持するために耐摩耗性に優れ、経年変化の少
ないセラミック製ガイドを採用しています。セラミック製ですので、防錆油の注油作業
なども不要のメンテナンスフリー設計となっております。
1
送り装置（X軸）
、コラム（Z2軸）にスケール内蔵
オペレータ、測定パーツ、測定機を保護する安全機能
送り装置
（X軸）
には高精度リニヤスケール、コラム
（Z2軸）
にABS
（絶対原点）
スケールを搭載していますので、上下、左右の動作を
組み合わせた全自動測定が可能です。
上下方向の小穴の連続自動測定や位置決めが困難なパーツの
繰り返し測定の再現性が向上します。
高速移動時の安全性を向上させるために、移動中に不用意に測定
パーツなどがスタイラスに接触した場合、動作停止を行うアクシデン
タルタッチ機能や検出器カバーに一定以上の圧力を感知すると非常
停止を行う機能など安全面を十分配慮した設計になっています。
検出器、駆動部等のケーブルを全て本体内配線にすることにより測
定誤差要因となる配線の擦れを無くし高速駆動に対応しています。
外周1
外周2
内径
測定
移動
連続測定のイメージ図（外周1→ 外周2 → 内径）
高速駆動から手動つまみによる微動まで広くカバー
送り装置
（X軸）
：80mm/s、コラム
（Z2軸）
：20mm/sの高速駆動に
よる移動時間の短縮のみならず、極小穴測定時の位置決めに不
可欠な微動つまみを標準装備
ケーブルレス設計
リモートボックス
コラム上下動微動つまみ
送り装置（X軸）傾斜装置付をラインアップ
送り装置
（X軸）
傾斜装置付きタイプは、傾斜した測定面や、姿勢
変更が困難な重量級測定物の測定時に威力を発揮します。
ジョイスティック駆動
送り装置微動つまみ
駆動スピード調整つまみ
X軸傾斜つまみ
微動つまみを使った小穴測定の位置決めイメージ
符号
送り装置
（X軸）
SV-3100H4
100mm
SV-3100W4
送り装置
（X軸）
微動送りによる
測定スタートの位置決め
SV-3100H8
SV-3100W8
500mm
300mm
SV-3100S8
コラム
（Z2軸）
上下動微動及び
十字動載物台
（オプション）
等に
よるY、Z軸の位置合わせ
コラム上下移動量
300mm
SV-3100S4
200mm
500mm
※その他：送り装置
（X軸）
傾斜装置あり / なし
ベースサイズ
600×450mm
1000×450mm
600×450mm
1000×450mm
2
データ処理部
解析ソフトウエア
FORMTRACEPAK
SURFPAK-SV
SURFPAK-EZ
SURFPAK-TC
印刷レイアウトフリーレイアウト
フリーレイアウト
固定
固定
通り出し / 直角出し調整
手動 or 自動 ※1
手動
手動
手動
MesurLink ※2 への出力
○
○
―
―
オートレベリングテーブル
○
○
○
○
接続可能
Y軸テーブル
○
―
―
―
オプション
θ1軸テーブル
○
―
―
―
θ2軸テーブル
○
―
―
―
※1：自動実行時は、オプション品のY軸テーブル及び回転テーブルθ1軸テーブルが必要です。
※2：ミツトヨの各種測定機で構築する計測データネットワークシステム
（詳細は、Catalog No.4285をご参照ください。）
FORMTRACEPAK 更なる測定効率化と自動化を重視測定の自動化を推進する電動オプションY軸テーブルや、回転テーブルを制御することが可能です。
表面粗さのデータから段差、角度、ピッチ、面積などを思う存分解析できる輪郭形状評価も行えます。
印刷書式も自由に設定し、オリジナルな検査成績書を作成することができます。
測定画面
表面粗さ結果画面
印刷画面
■FORMTRACEPAKによる電動オプションを利用した測定効率化例
Y軸テーブル使用例
3
回転テーブルθ1使用例
回転テーブルθ2軸使用例
SURFPAK-SV 表面粗さ解析のベストセラー
表面粗さ測定、解析にこだわり専用ソフトウエアとしてのベストセラー
コラム上下動や、送り装置を用いた自動測定も可能
印刷書式も自由に設定し、オリジナルな検査成績書を作成することができます。
測定および結果表示画面
条件設定画面
印刷画面
SURFPAK−EZ / SURFPAK−TC 操作性を重視したカンタン操作
わかりやすいグラフィック表示とボタン配置で直感的に操作が可能
パソコン対応形のSURFPAK-EZ、タッチパネル方式の専用コントラーラTCONを選択いただけます。
段差、面積、角度、円計算などの簡易輪郭解析機能を標準装備
測定および結果表示画面
パソコン対応形のSURFPAK-EZ
校正・制御画面
簡易輪郭解析画面
タッチパネル方式専用コントローラ
TCON
4
自動化を推進するオプション
Y軸テーブル No.178-097
測定パーツを複数個並べ自動測定をしたり、ひとつの測定面を何箇所も測定したりすることができます。
移動範囲
200mm
分解能
0.05μm
位置決め精度
駆動速度
±3μm
Max 80mm/s
最大積載質量
50kg
質量
28kg
回転テーブル θ1軸テーブル No.12AAD975
円周状に表面粗さを測定や、Y軸テーブルと組み合わせて、円筒形状測定パーツの自動平行出し調整、測定パーツの奥行き方向や回転
方向を移動させて自動測定が可能です。
（SV-3100本体テーブルに直接設置して使用する場合は、別途、θ1軸設置プレート
（オプション：
No.12AAE630）
が必要となります。）
移動量
360 °
分解能
0.004 °
最大積載質量
回転速度
質量
12kg
Max10 °
/s
7kg
回転テーブル θ2軸ユニット No.178-078
円筒形状測定パーツの複数箇所測定や、表裏面測定の自動化が可能です。
（SV-3100本体テーブルに直接設置して使用する場合は、
別途、
θ2軸設置プレート
（オプション：No.12AAE718）
が必要となります。）
移動量
360 °
分解能
0.0072 °
最大積載質量
4kg
（積載物モーメント）（モーメント343N・cm以下）
回転速度
心出しチャック（ローレットリング固定） No.211-032
小物部品の測定で、操作性が良くローレットリングで容易に固定で
きます。
内爪での外径φ1∼φ36mm
保持範囲
外観寸法
（D×H）
Max18 °
/s
5kg
質量
マイクロチャック No.211-031
心出しチャックでは保持できないφ1mm以下の極小径の部品を固
定できます。
内爪での内径φ14∼φ70mm
保持範囲
外径φ0∼φ1.5mm
外爪での外径φ1∼φ75mm
外観寸法
（D×H）
φ118×48.5mm
φ118×41mm
質量
1.2kg
質量
オートレベリングテーブル No.178-087
わずらわしい測定面の水平出し調整を測定スタートに連動して、全自動で水平出し調整
を行なう載物台です。全自動なので誰がやっても短時間。しかも簡単、確実です。
傾斜調整角度
5
±2 °
最大積載質量
7kg
テーブル寸法
130×100mm
質量
3.5kg
0.6kg
オプション
三軸調整テーブル No.178-047
円筒形状ワークの表面粗さ測定において、ワークの母線軸と測定軸とを平行にセットし、同時に水平出し調整も行うことが精度よく測定す
るために必要となります。3軸調整テーブルを使用すると、ガイダンスに従って操作するだけで通り出しと水平出し調整が簡単に行えるよう
になります。経験と勘は不要です。
通り出しが十分
通り出しが不十分
測定軸
測定軸
測定終了点
測定終了点
母線軸
母線軸
測定開始点
測定開始点
測定曲線
その他
十字動付載物台
十字動付載物台
傾斜載物台
校正用台
（バーニヤタイプ）
（デジマチックタイプ）
178-016
12AAG175
178-043-1
178-042-1
Vブロック台
精密バイス
十字動テーブル
十字動テーブル
998291
178-019
218-001
218-041
両締式回転万力台
両センタ台
両センタライザ
傾斜センタ台
クランプ装置
Vブロック台
Vブロック台
218-003
172-142
172-143
172-197
176-107
172-234
172-378
6
スタイラス
検出器
継足ロッド
φ8
1.3
3.6
φ14
3.1
φ
14
●12AAG202 継足ロッド50 継足し量50mm
14
60
11.5 10
φ7
検出器
スキッドレスノーズピーズ
（12AAB355）
4
コードNo.
測定力
178-230-2
0.75mN
178-233-2
4mN
●12AAG203 継足ロッド100 継足し量100mm
’97ISO、’01JIS準拠の検出器
※継足ロッドは2本以上接続できません。
従来規格や一般的に仕様されていた検出器
スタイラス
（）
：先端半径
0.6
3
小穴用・深穴2倍
87.7
30
φ0.6
A部詳細
3.4
識別色
極細穴用
A
93.8
細穴形状用
44.2
37.7
1.2
12AAC733（2μm）
12AAB405（5μm）
12AAB417（10μm）
12AAE884（φ1.6mm）
41
（）
：先端半径
極細穴形状用
＊1：先端角度 60°
94.4
0.6
90°
3倍
＊1
12AAC741（2μm）
12AAB414（5μm）
12AAB426（10μm）
（）
：先端半径
87.7
0.6
45
1.6
φ1.2
A部詳細
＊1
12AAE938（2μm）
12AAE940（5μm）
φ0.6
A部詳細
A
φ1.2
90°
2倍
＊1
12AAC740（2μm）
12AAB413（5μm）
12AAB425（10μm）
（）
：先端半径
0.9
識別色
細長穴用
0.4
7.6
5.2
φ1.2
A部詳細
144.7
137.7
A
φ2.4
0.9
識別色
A
A部詳細
φ2.4
94.7
87.7
A
識別色
7.6
5.2
A
深穴用
φ0.5超硬球
（）
：先端半径
φ0.6
90°
A部詳細
（S＝5/1）
12AAE885（φ0.5mm）
7
φ0.3
2.5
0.8
φ0.3
＊1
12AAC734（2μm）
12AAB406（5μm）
12AAB418（10μm）
φ2.4
0.8
8.9
43.8
37.7
7
φ0.3
44.2
37.7
0.4
φ2.4
超小穴用
φ2.4
φ1.6超硬球
識別色
φ2.4
A
φ1.2
90°
A部詳細
（S＝5/1）
φ0.6
φ0.3
2.5
8.9
87.7
＊1
φ2.4
0.4
（）
：先端半径
φ2.4
0.6
（）
：先端半径
φ1.2
2.4
A
＊1
12AAE892（2μm）
12AAE908（5μm）
94.4
1.6
90°
A部詳細
（S＝5/1）
φ1.2
3.4
1.6
1.6
15
0.6
2.4
44.4
37.7
0.6
φ0.6
＊1
12AAC732（2μm）
12AAB404（5μm）
12AAB416（10μm）
φ2.4
0.4
0.6
1.2
＊1
12AAE898（2μm）
12AAE914（5μm）
94.7
87.7
（）
：先端半径
90°
小穴用
7
深穴2倍用
φ2.4
φ1.2
A部詳細
φ2.4
7.6
5.2
識別色
＊1
12AAE882（1μm）
12AAE924（1μm）
＊1
12AAC731（2μm）
12AAB403（5μm）
12AAB415（10μm）
＊1
12AAE883（250μm）
44.7
37.7
A
0.9
1.8
標準スタイラス
スタイラス
深溝用（10mm）
37.7
44.7
0.9
深溝用（20mm）
95.2
5.2
n1.2
（）
：先端半径
45.2
（）
：先端半径
（）
：先端半径
φ2.4
5.2
φ1.2
＊1
12AAE895（2μm）
12AAE911（5μm）
φ2.4
37.7
44.7
A
37.7
42.6
＊1
12AAC736（2μm）
12AAB408（5μm）
12AAB420（10μm）
φ2.4
24.2
23
＊1
12AAC736（2μm）
12AAB408（5μm）
12AAB420（10μm）
深溝用（40mm）
0.9
識別色
φ2.4
（）
：先端半径
90°
深溝用（20mm）
23
＊1
12AAC735（2μm）
12AAB409（5μm）
12AAB421（10μm）
φ1.2
43.8
A部詳細
21.8
87.7
φ2.4
識別色
13
14.2
A
90°
A部詳細
φ1.2
A部詳細
φ1.2
90°
＊1
12AAC737（2μm）
12AAB407（5μm）
12AAB419（10μm）
87.7
60
°
6.4
93.8
7
6.7
35
＊1
12AAB339（2μm）
12AAB410（5μm）
12AAB422（10μm）
36.5
φ2.4
A
60 φ1.2
°
φ1.2
転がり円うねり・深穴2倍
44.7
37.7
0.9
94.7
87.7
7.6
識別色
φ2.4
5.2
12AAC738（2μm）
12AAB411（5μm）
12AAB423（10μm）
12AAE886（250μm）
93.8
＊1
12AAE897（2μm）
12AAE913（5μm）
87.7
35
（）
：先端半径
45
（）
：先端半径
°
φ1.2
90°
＊1
φ2.4
A
穴測定コーナー用・深穴2倍
44.7
37.7
0.9
φ1.2
φ1.6
5
12AAE899（2μm）*1
12AAE915（5μm）
（）
：先端半径
＊1：先端角度60°
25
31.4
7.6
φ1
.2
※特殊仕様のスタイラスに対応します。
φ3
（）
：先端半径
°
A部詳細
φ1.2
90°
＊1
12AAC739（2μm）
12AAB412（5μm）
12AAB424（10μm）
60
識別色
穴底面用
45.2
37.7
37.5
0.9
A
7.6
10
φ2.4
心違い用
φ2.4
8
0.
φ
5.8
A部詳細
φ2.4
ナイフエッジ用
6.4
12AAB338（0.8mm）
7.6
Ball φ1.588
φ2.4
7.6
5.2
0.9
φ1.2
＊1
12AAE896（2μm）
＊1
12AAE912（5μm）
（）
：先端半径
（）
：先端半径
転がり円
うねり用
φ3
60°
7.6
（）
：先端半径
歯面用・
深穴2倍
43.8
37.7
A部詳細
＊1
12AAE894（2μm）
12AAE910（5μm）
φ1.2
（）
：先端半径
歯面用
識別色
φ3
A
5.2
識別色
37.7
45.2
36.5
35
φ2.4
33
31.8
5.2
φ2.4
93.8
87.7
深溝用（30mm）
・
深穴2倍
深溝用（30mm）
50
＊1
12AAE939（2μm）
12AAE941（5μm）
（）
：先端半径
8
仕様
SV-3100S4
SV-3100H4
SV-3100W4
SV-3100S8
SV-3100H8
SV-3100W8
傾斜装置あり
178-451-1/-2
178-452-1/-2
178-453-1/-2
178-456-1/-2
178-457-1/-2
178-458-1/-2
傾斜装置なし
178-471-1/-2
178-472-1/-2
178-473-1/-2
178-476-1/-2
178-477-1/-2
178-478-1/-2
符号
コードNo.
測定範囲
X軸
100mm
200mm
Z1軸
（検出部）
Z2軸
（コラム）
移動範囲
800μm/80μm/8μm
500mm
300mm
X軸傾斜角度
X軸
分解能
駆動速度
500mm
300mm
±45（X軸傾斜装置付のみ）
°
0.05μm
Z1軸
（検出部）
0.01μm
（800μm）
、0.001μm
（80μm）
、0.0001μm
（8μm）
Z2軸
（コラム）
1μm
X軸
0∼80mm/s 及び手動
Z2軸
（コラム）
0∼20mm/s 及び手動
測定速度
0.02∼5mm/s
真直精度
（0.05＋0.001L）
μm L：駆動長さ
（mm）
測定力
0.5μm/200mm
0.75mN
（本体コードNo.末尾が「-1」の機種）/ 4mN
（本体コードNo.末尾が「-2」の機種）
スタイラス先端形状
60 °
、2μmR
（本体コードNo.末尾が「-1」の機種）/ 90 °
、5μmR
（本体コードNo.末尾が「-2」の機種）
断面曲線、粗さ曲線、うねり曲線、ろ波うねり曲線、転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線、
評価曲線
エンベローブ残差曲線、DIN4776曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線
Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pz, Pt, Pc, PSm, PΔq, Pmr
（c）
, Pmr, Pδc,
Ra, Rq, Rsk, Rku, Rp, Rv, Rz, Rt, Rc, RSm, RΔq, Rmr
（c）
, Rmr, Rδc,
パラメータ
Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wt, Wc, WSm, WΔq, Wmr
（c）
, Wmr, Wδc,
Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Rx, AR, R, Wx, AW, W, Wte,
Ry, RyDIN, RzDIN, R3y, R3z, S, HSC, Lo, lr, Δa, λa, λq, Vo, Htp, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, NW, SW, SAW
ADC、BAC、パワースペクトル、自己相関図、Walshパワースペクトル、Walsh自己相関図、
解析グラフ
山高さ分布図、傾斜角分布図、パラメータ分布図
傾斜補正
（全体/前半/後半/端点/任意）
、R面補正、楕円補正、放物線補正、双曲線補正、
曲線補正
コーニック補正、多項式補正
フィルタ
Gaussian, 2CR75, 2CR50, 2CRPC75, 2CRPC50, Robust Spline
ベースサイズ
（W×D）
600×450mm
ベース材質
本体
756×482
756×482
1156×482
766×482
766×482
1166×482
×966mm
×1166mm
×1176mm
×966mm
×1166mm
×1176mm
150Kg
220Kg
（W×D×H）コントローラ
221×344×490mm
リモートボックス
本体
9
1000×450mm
斑れい岩
外観寸法
質量
600×450mm
1000×450mm
248×102×62.2mm
140Kg
150Kg
140Kg
220Kg
コントローラ
14 Kg
リモートボックス
0.9kg
外観図
■SV-3100S4/ H4/W4 外観寸法図
98
T溝寸法
（SV-3100シリーズ共通）
70
966（1166）
【1176】
100
300（500）
【500】
240【640】
単位
（mm）
85
測定エリア
175
600【1000】
156
130
450
32
（）内寸法は、SV-3100H4
【】内寸法は、SV-3100W4
■SV-3100S8/H8/W8 外観寸法図
48
T溝寸法
（SV-3100シリーズ共通）
70
966（1166）
【1176】
200
300（500）
【500】
190【590】
単位
（mm）
85
測定エリア
175
600【1000】
166
130
450
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（）内寸法は、SV-3100H8
【】内寸法は、SV-3100W8
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本社
川崎市高津区坂戸 1 - 20 - 1
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お問い合わせは
東北営業センタ
仙台市若林区卸町東 1 - 7 - 30
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北関東営業センタ
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南関東営業センタ
川崎市高津区坂戸 1 - 20-1
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川崎オフィス電話（044）813-1611 東京オフィス電話（03）3452-0481 千葉オフィス電話（043）207-6181 八王子オフィス電話（0426）20-4122
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甲信営業センタ
諏訪市中洲 582-2
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東海営業センタ
安城市住吉町唐池 56-4
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ファクス（0566）98-6761
安城オフィス電話（0566）98-7070 名古屋オフィス電話（052）741-0382 小牧オフィス電話（0568）74-7261 四日市オフィス電話（059）350-0361
豊川オフィス電話（0533）86-6327 浜松オフィス電話（053）464-1451
関西営業センタ
大阪市住之江区南港北 1 - 4 - 34
〒559-0034
電話（06）6613-8801
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大阪オフィス電話（06）6613-8801 富山オフィス電話（076）491-3782 小松オフィス電話（0761）23-0862 栗東オフィス電話（077）552-9408
京都オフィス電話（075）604-0328 天理オフィス電話（074）363-3670 神戸オフィス電話（078）924-4560 岡山オフィス電話（086）242-5625
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西部営業センタ
福岡市博多区博多駅南 4 - 16 - 37
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M Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業センタにご連絡ください。
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