実験装置アライメント手順 SACLA ビームライン研究開発チーム 1 アライメント手法手法 A (ｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰ使用) ｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰをXFELの仮想ﾋﾞｰﾑﾗｲﾝとして使用手法 B (ﾚｰｻﾞｰﾄﾗｯｶｰ) 装置の位置決め手法としてﾚｰｻﾞｰﾄﾗｯｶｰとCCRを使用 2 アライメント手法手法 A 手法 B 精度～1mm ＜100μm - 初回の位置合わせでは手法Aを推奨する. - 手法Aによって定められた位置は高い再現性が得られるCCRとﾄﾗｯｶｰによって記憶されます. 推奨手順 - 手法Bは2回目からの位置合わせに使用されます. - 床面の罫書き線はいつでも使用可能です（手法C）. 備考 - ｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰはXFELの仮想ﾋﾞｰﾑﾗｲﾝと - ﾚｰｻﾞｰﾄﾗｯｶｰとCCRは装置の位置決めにして使用されます. - 位置決め精度はｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰのﾋﾞｰﾑﾗｲ適用される. ﾝの広がりにより制限されます (~2mm). - あらかじめ2つのCCRとｻﾝﾌﾟﾙとの相対位 - この手法はﾋﾞｰﾑﾗｲﾝの上流に装置もしく置を把握しておかなくてはなりません. - 高い精度で再現できます（<100 um）. は窓がある場合には適用できません. 3 アライメントの例（１）手法Aを用いた初回のアライメント ※ Alignment Laser irradiate Target ※ 実験装置をﾊﾝﾄﾞﾘﾌﾀにより大雑把に位置合わせする ※実験装置の位置情報をﾄﾗｯｶｰとCCRで読み取りPCに記憶させる ※ｴｱﾊﾟｯﾄﾞで実験装置を浮上させた状態でｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰにより位置決めを行う 4 （２）手法Bを用いた2回目以降のアライメント ※ﾊﾝﾄﾞﾘﾌﾀを用いて実験装置を大雑把に位置合わせする ※ﾄﾗｯｶｰとCCRを立ち上げる ※ｴｱﾊﾟｯﾄﾞにより実験装置を浮上させた状態で、ﾄﾗｯｶｰに記憶させた位置情報に従い、実験装置の位置決めを行う 5 Tool for alignment procedure ｴｱｰﾊﾟｯﾄﾞﾊﾝﾄﾞﾘﾌﾀ “ﾁﾋﾞｺﾛ” 使用目的 - 実験装置の移動 - 滑らかな移動 - 高い精度 - ラフな位置合わせ - 実験ﾊｯﾁへの装置搬入 - 実験装置の運搬 - ｴｱｰﾊﾟｯﾄﾞが使用できない場合の運搬手段 - ﾁﾙﾛｰﾗ上面に小型ｼﾞｬｯｷを重ねて使用する要求事項 - 実験装置の底面にM20で深さ 40mm以上の取り付け穴を形成する. - ｴｱｰﾊﾟｯﾄﾞの高さ(150mm）を含み、床面からｻﾝﾌﾟﾙまでの高さを1420mmとなるよう装置を設計する. - 実験装置の底面にはﾊﾝﾄﾞﾘﾌﾀを差し込むｽﾍﾟｰｽを確保する（ﾊﾝﾄﾞﾘﾌﾀのｻｲｽﾞは運搬手段のﾍﾟｰｼﾞを参照すること）. - 実験装置の底面と床面の間には150mm以上のｽﾍﾟｰｽが必要. - 適用できる実験装置の重量は2 ﾄﾝ以下. 形状 6 ｱﾗｲﾒﾝﾄﾚｰｻﾞｰのﾋﾞｰﾑｻｲｽﾞ (手法 A) EH1 EH2 EH3 EH4 評価中構築中写真ﾋﾞｰﾑｻｲｽﾞ精度 3 mm 5 mm mm 程度 mm 程度 ~3 mm 7 CCR 搭載台 -CCRの搭載に使用 -手法Bに適用写真図面備考実験装置の端面に実験装置の上面設置するにボルトで固定される (4-M4, 50 mm 型番：1.5 ESM-2 □) (HUBBS) 実験装置の隅に設置実験装置の上面に形成したﾋﾟﾝ穴: する φ8h7, 深さ : 15 mm 型番：1.5 ESM-OC (HUBBS) 8