イオンポンプ・ノーブルポンプ

イオンポンプ・ノーブルポンプ
PIC-052B
小型制御装置
■概要
イオンポンプ・ノーブルポンプ・エクセルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め
込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料（Ti）をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気
を行う超高真空ポンプです。
油などの有機物を一切使用していないため、完全にオイルフリーな超高真空が得られます。運転に必要なのは電力だけで、機
械的に動く部分がないため、無振動・無騒音です。また、突然の停電や真空リークなどの事故の際にも、被排気系を汚染する
心配がないため、夜間の無人運転にも安心してご使用できます。ノーブルポンプ・エクセルポンプは、イオンポンプの苦手とする
不活性ガスの排気速度を改善した三極型のイオンポンプで、イオンポンプの特長をすべて持つうえに、イオンポンプに比べ不活
性ガスの安定排気が行えます。
また、エクセルポンプは、放電条件の最適化により極高真空領域での放電特性が改善されています。
14
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真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
1
マグネット
ポンプ素子
吸入口フランジ
電流導入端子
915-9520 ノーブルポンプ素子
連結線
ポンプ素子
915-9510 イオンポンプ素子
第 1 図イオンポンプ・ノーブルポンプ外形
（例 140L/s イオンポンプ、110L/s ノーブルポンプ）
第 2 図ポンプ素子
■特長
1. 完全オイルフリー
油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清
浄な真空が得られます。また、停電事故などの場合でも、
バルブを閉じるなどの操作は必要ありません。
イオンポンプ系真空装置内の残留ガス分析
全圧：9.3 × 10 － 7Pa
油拡散ポンプ系真空装置内の残留ガス分析
全圧：1.6 × 10 － 5Pa
1×10‒13A
1×10‒12A
M/e 1‒2
18
28
M/e 1‒2
18
28
44
57
80
91
第 3 図イオンポンプと油拡散ポンプ残留ガスの比較
（イオンポンプ系では M/e ＝ 44 以上の炭化水素がほとんど観測されません。
）
2
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Vol.8.9
15
2. 超高真空、極超真空
3. 無人運転
イオンポンプ・ノーブルポンプは 10
－1
Pa ～ 10
－9
Pa
運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔
の圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適で
操作に便利です。
す。特にチタンサブリメーションポンプとの併用により短
また、圧力が 10 － 3 ～ 10 － 2Pa ※以上になると、自動的に
時間で 10 － 9Pa の超高真空が得られます。
電源を OFF するプロテクション回路がついています。
また、エクセルポンプでは、超高真空、極高真空領域
での放電特性を改良した新開発のポンプ素子と NEG
モジュール（オプション）により、実用的な極高真空
※ 御使用になる制御装置により、上記圧力範囲の値が変わりますのでご注意くだ
さい。
（10 －10Pa 台）が得られます。
圧力
×10−9Pa
20
18
16
14
12
10
2
50sec
第4図
ON
OFF
OFF
4
OFF
ON
6
ON
8
100sec
150sec
時間
10 － 9Paでイオンポンプを ON-OFF した時の圧力変化
（OFF 後すぐに圧力が上昇し、再度 ON 後数秒で再び圧力が下ります。10 － 9Paでイオンポンプが
正常に働いていることがわかります。
）
4. 静かな運転
5. 省エネルギー
機械的に運動する部分が全くないため、完全に無振動・
圧力に比例して消費電力が下がってきますので、起動時
無騒音です。
以外はほとんど電力を消費しません。
消費電力（W）
600
500
400
300
200
100
0
10−6
10−5
10−4
10−3
10−2
10−1
圧力
Pa
第 5 図消費電力例（60L/s イオンポンプ）
6. 真空計不要
7. 速い起動
圧力と放電電流が比例しているため、ポンプ内の圧力を
特にノーブルポンプは、二極型イオンポンプに比べ低真
知ることができます。したがって、おおよその圧力をモニ
空での起動が速く、より高い圧力からの起動が可能です。
ターするだけであれば、装置の真空計として用いること
－3
ができます。
〔10 Pa ～ 10
－6
Pa〕の領域。
イオンポンプ
1.3Pa 以下
ノーブルポンプ
6.7Pa 以下
また圧力の記録計出力が対数的に出力しています。
※ 御使用になる制御装置により、上記圧力範囲の値が変わりますのでご注意くだ
さい。
16
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3
8. 不活性ガスの排気
（ノーブルポンプ・エクセルポンプ）
第 1 表各種気体の窒素に対する排気速度比（％）
二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が
大きくなっています。
（アルゴンで空気の約 21％）
水素
〔10 － 4Pa 以下〕
窒素
水蒸気
一酸化炭素
炭酸ガス
〔10 － 3Pa 以下〕
各種炭化水素
酸素
ヘリウム
アルゴン
また、イオンポンプに比べアルゴン不安定性が起きにく
いポンプです。第 1 表にイオンポンプとノーブルポンプ・
エクセルポンプの各気体に対する排気速度の比を示します。
9. 取付け方向自由
取付け方向は、上・下・水平・斜めと、制限がありません。
10.低漏洩磁場
20L/s 以上のポンプには、フェライト磁石を使用していま
す。漏洩磁場は、フランジより 30cm の点でほぼ地磁気
イオン
ポンプ
ノーブル
ポンプ
エクセル
ポンプ
200 ～ 270 ※
200 ～ 270 ※
200 ～ 270 ※
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
90 ～ 160
57
10
1
90 ～ 160
57
30
21
90 ～ 160
57
30
21
※10 － 3Pa 以上の圧力ではイオンポンプ、ノーブルポンプ、エクセルポンプともに
100 ～ 110 。
と同一まで減衰します。
（詳細は第 10 図参照）
■原理
カソード
カソード
捕えられた
ガス分子
アノード
アノードチタン原子
磁場
磁場
ガスイオン
チタン原子
ガスイオン
＋V
イオンポンプ
ポンプシェル
埋め込まれた
不活性ガス分子
−V
ノーブルポンプ・エクセルポンプ
捕えられた
ガス分子
第 6 図イオンポンプ・ノーブルポンプ・エクセルポンプの排気機構
■用途
・完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
・超高真空及び極高真空実験装置
・電子顕微鏡、表面分析装置など各種分析装置の排気系
・粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置などの排気系
・電子管などの真空保持ポンプ
・電子管などの加熱排気装置
など
4
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17
■ 20L/s イオンポンプ/ノーブルポンプ
●仕様
名称
型名
20L/s イオンポンプ
20L/s ノーブルポンプ
912-7125
912-7120
排気速度
（N2 ガスに対して）
20L/s
ポ
10 － 1 ～ 10 － 9Pa
動作範囲（注 1）
（注 1）
起動可能圧力
1 ～ 10 － 9Pa
1.3Pa 以下
6.7Pa 以下
ン
内容積
1.4L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ70ICF
電流導入端子
交換不可
素子（交換用）
交換不可
マグネット
912-7121（1 個）本体に含む
質量
10.5kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
名称
型名
超高真空用イオンポンプ
制御装置
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
制御装置
PIC-050A-IP
PIC-050A-NP
ポンプ起動可能圧力（注 2）
5 × 10 － 3Pa 以下
5 × 10 － 3Pa 以下
入力電圧
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC ＋ 5.2kVA
DC － 5.2kVA
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
最大出力電流
約 35mA
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
約 35mA
0 ～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
2.5m
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
質量
2.5m
3m（954-7403）
4kg
4kg
注 2 ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
注 3 標準は AC200V 入力となっております。AC100V 入力が必要な場合には弊社までご相談ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
20L/s ノーブルポンプ
912-7125
912-7120
ポンプ本体
1台
添付品φ70ICF 用ガスケット
2枚
名称及び型名
構成部品
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-050A-IP
ヒューズ
添付品
制御装置
制御装置本体
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
1台
2 本（3A）
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
入力用コンセント
―
―
1 個（富士通 36 形
16 ピンハンダ付タイプ）
1 個（富士通 36 形
16 ピンハンダ付タイプ）
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
18
20L/s イオンポンプ
1 本（3m）
1部
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5
（67）
133±1.5
（65）
（105）
（194）
（214）
216±1.5
（100）
187±2
（13）
（121）
（11）
M32PI
（20）
φ70 ICF
（20）
154±1.5
4-M6
奥行間隔36±1
第 7 図（a） 20L/s イオンポンプ
（912-7125）
20L/s ノーブルポンプ（912-7120)
6
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19
■ 30L/s イオンポンプ/ノーブルポンプ
●仕様
名称
型名
30L/s イオンポンプ
30L/s ノーブルポンプ
912-7135
912-7130
排気速度
（N2 ガスに対して）
ポ
動作範囲（注 1）
（注 1）
起動可能圧力
30L/s
10 － 1 ～ 10 － 9Pa
1 ～ 10 － 9Pa
1.3Pa 以下
6.7Pa 以下
ン
内容積
2.2L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ114ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
交換不可
マグネット
912-7121（1 個）本体に含む
質量
12.5kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
名称
型名
超高真空用イオンポンプ
制御装置
制御装置
PIC-050A-IP
PIC-050A-NP
ポンプ起動可能圧力（注 2）
5 × 10 － 3Pa 以下
5 × 10 － 3Pa 以下
入力電圧
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC ＋ 5.2kV
DC － 5.2kV
約 35mA
約 35mA
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
最大出力電流
0 ～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
2.5m
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
質量
注2
注3
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
2.5m
3m（954-7403）
4kg
4kg
ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
標準は AC200V 入力となっております。AC100V 入力が必要な場合には弊社までご相談ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
30L/s ノーブルポンプ
912-7135
912-7130
ポンプ本体
1台
添付品φ114ICF 用ガスケット
2枚
名称及び型名
構成部品
ヒューズ
添付品
制御装置
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-050A-IP
制御装置本体
入力ケーブル組立
出力ケーブル組立
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
20
30L/s イオンポンプ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
1台
2 本（3A）
2 本（3A）
1 本（2.5m）
1 本（2.5m）
1 本（3m）
―
―
1 個（富士通 36 型
16 ピンハンダ付タイプ）
1 個（富士通 36 型
16 ピンハンダ付タイプ）
1部
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7
216±1.5
（214）
（194）
133±1.5
（105）
168±3
φ114 ICF
（20）
154±1.5
228±2
（150）
（13）
（100）
（40）
（22）
M32PI
4-M6
実行間隔36±1
第 7 図（c） 30L/s イオンポンプ
（912-7135）
30L/s ノーブルポンプ（912-7130）
8
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21
■ 60L/s イオンポンプ/ノーブルポンプ
●仕様
名称
型名
60L/s イオンポンプ
60L/s ノーブルポンプ
912-7165
912-7160
排気速度
（N2 ガスに対して）
ポ
動作範囲（注 1）
（注 1）
起動可能圧力
60L/s
10 － 1 ～ 10 － 9Pa
1 ～ 10 － 9Pa
1.3Pa 以下
6.7Pa 以下
ン
内容積
6.2L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ152ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
915-7027（1 組）
915-9527（1 組）
マグネット
912-7121（2 個）本体に含む
質量
25.6kg
注1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
名称
型名
ポンプ起動可能圧力（注 2）
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
最大出力電流
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-050A-IP
PIC-050A-NP
1.7 × 10 － 3Pa 以下
1.7 × 10 － 3Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC ＋ 5.2kVA
DC － 5.2kVA
約 35mA
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
約 35mA
0 ～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
2.5m
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
質量
2.5m
3m（954-7403）
4kg
4kg
注２ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
注３標準は AC200V 入力となっております。AC100V 入力が必要な場合には弊社までご相談ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
60L/s ノーブルポンプ
912-7165
912-7160
ポンプ本体
1台
添付品φ152ICF 用ガスケット
2枚
名称及び型名
構成部品
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-050A-IP
ヒューズ
添付品
制御装置
制御装置本体
入力ケーブル組立
出力ケーブル組立
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
22
60L/s イオンポンプ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
1台
2 本（3A）
2 本（3A）
1 本（2.5m）
1 本（2.5m）
1 本（3m）
―
―
1 個（富士通 36 型
16 ピンハンダ付タイプ）
1 個（富士通 36 型
16 ピンハンダ付タイプ）
1部
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9
133±1.5
（67）
356±1.5
188±4
φ152 ICF
（195）
（9.5）
（28.5）
（214）
（3.5）
293±2
M32PI
（10）（100）
108±1
（100）
（110）
（126）
（110）
4-M6
奥行間隔108±1
第 7 図（e） 60L/s イオンポンプ
（912-7165）
60L/s ノーブルポンプ（912-7160）
10
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23
■ 110L/s ノーブルポンプ・140L/s イオンポンプ
●仕様
名称
型名
排気速度
（N2 ガスに対して）
ポ
動作範囲（注 1）
起動可能圧力（注 1）
110L/s ノーブルポンプ
140L/s イオンポンプ
912-7020
912-7010
110L/s
140L/s
1 ～ 10 － 9Pa
10 － 1 ～ 10 － 9Pa
6.7Pa 以下
1.3Pa 以下
ン
内容積
18L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ 203ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
915-9520（1 個）
915-9510（1 個）
マグネット
912-7001（1 個）本体に含む
質量
48kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
名称
型名
ポンプ起動可能圧力（注 2）
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
最大出力電流
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
PIC-075A-IP
1.3 × 10 － 3Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
8 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC － 5.2kV
DC ＋ 7.5kV
約 35mA
約 20mA
0 ～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
1.3 × 10 － 3 ～ 10 － 6Pa
2.5m
8 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
質量
注2
超高真空用イオンポンプ
制御装置
2.5m
3m（954-7403）
4kg
4kg
ポンプの履歴およびポンプ取り付け排気系により表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
140L/s イオンポンプ
912-7020
912-7010
ポンプ本体
1台
添付品φ203ICF用ガスケット
2枚
名称及び型名
制御装置本体
添付品
制御装置
構成部品
ヒューズ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-075A-IP
1台
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
1 本（3m）
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
24
110L/s ノーブルポンプ
―
1 個（富士通 36 形 16 ピンハンダ付タイプ）
1部
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11
第 7 図（g） 110L/s ノーブルポンプ（912-7020）
140L/s イオンポンプ（912-7010）
12
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25
■ 220L/s ノーブルポンプ
●仕様
名称
型名
220L/s ノーブルポンプ
912-7040
912-7041
排気速度
（N2 ガスに対して）
220L/s
ポ
5 × 10 － 1 ～ 10 － 9Pa
動作範囲（注 1）
3.4Pa 以下
起動可能圧力（注 1）
ン
内容積
26L
28L
最大加熱温度
250 ℃
プ
吸入口
φ 203ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
マグネット
質量
915-9510（2 個）
912-7002（1 個）本体に含む
912-7001（2 個）本体に含む
85kg
90kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
超高真空ノーブルポンプ
制御装置
名称
型名
PIC-050A-NP
ポンプ起動可能圧力（注 2）
6 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
約 2.5A
DC － 5.2kV
最大出力電流
約 35mA
0 ～ 40℃ 90％以上（露結なし）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
6 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
2.5m
出力ケーブル組立
3m（954-7403）
質量
注2
4kg
ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
220L/s ノーブルポンプ
912-7041
ポンプ本体
1台
添付品φ203ICF用ガスケット
2枚
名称及び型名
制御装置本体
添付品
制御装置
構成部品
ヒューズ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
1台
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
1 本（3m）
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
26
220L/s ノーブルポンプ
912-7040
構成部品
―
1 個（富士通 36 型 16 ピンハンダ付タイプ）
1部
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
13
504±6
210±3
M32PI
480±6
217±3
179±3
128±3
250±3
186±3
（80）
298±4
M32PI
310±5
210±3
210±3
φ 203 ICF
φ203 ICF
（25）
（84）
429±5
470±5
（30）
（25）
（30）
M32PI
（164.5） 96±2
130±3
第 7 図（h） 220L/s ノーブルポンプ（912-7040）
270L/s イオンポンプ（912-7030）
14
140±3
130±3
554±5
373±5
554±5
470±5
373±5
429±5
8-M12
16-M12
第 7 図（i） 220L/s ノーブルポンプ（912-7041）
270L/s イオンポンプ（912-7031）
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
27
■ 270L/s イオンポンプ
●仕様
名称
型名
270L/s イオンポンプ
912-7030
912-7031
排気速度
（N2 ガスに対して）
270L/s
ポ
5 × 10 － 2 ～ 10 － 9Pa
動作範囲（注 1）
6.5 × 10 － 1Pa 以下
（注 1）
起動可能圧力
ン
内容積
26L
28L
最大加熱温度
250 ℃
プ
吸入口
φ 203ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
マグネット
質量
915-9510（2 個）
912-7002（1 個）本体に含む
912-7001（2 個）本体に含む
85kg
90kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変りますのでご注意ください。
超高真空用イオンポンプ
制御装置
名称
型名
PIC-075A-IP
ポンプ起動可能圧力（注 2）
4 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
約 2.5A
DC ＋ 7.5kV
最大出力電流
約 20mA
0 ～ 40℃ 90％以下（露結なし）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
4 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
2.5m
出力ケーブル組立
3m（954-7403）
質量
注2
4kg
ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
270L/s イオンポンプ
912-7030
912-7031
ポンプ本体
1台
添付品φ203ICF用ガスケット
2枚
名称及び型名
制御装置本体
添付品
制御装置
構成部品
ヒューズ
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-075A-IP
1台
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
1 本（3m）
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
28
270L/s イオンポンプ
―
1 個（富士通 36 型 16 ピンハンダ付タイプ）
1部
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
15
■ 400L/s ノーブルポンプ・500L/s イオンポンプ
●仕様
名称
型名
排気速度
（N2 ガスに対して）
ポ
動作範囲（注 1）
起動可能圧力（注 1）
400L/s ノーブルポンプ
500L/s イオンポンプ
912-7060
912-7050
400L/s
500L/s
1 ～ 10 － 9Pa
10 － 1 ～ 10 － 9Pa
6.7Pa 以下
1.3Pa 以下
ン
内容積
38L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ 203ICF
電流導入端子
954-7281
素子（交換用）
915-9520（4 個）
915-9510（4 個）
マグネット
912-7002（2 個）本体に含む
質量
120kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変わりますのでご注意ください。
名称
型名
ポンプ起動可能圧力（注 2）
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
最大出力電流
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
PIC-075A-IP
4 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
2 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC － 5.2kV
DC ＋ 7.5kV
約 35mA
約 20mA
０～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
4 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
2.5m
2 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
質量
注2
超高真空用イオンポンプ
制御装置
2.5m
3m（954-7403）
4kg
4kg
ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
500L/s イオンポンプ
912-7060
912-7050
ポンプ本体
1台
添付品φ203ICF用ガスケット
2枚
名称及び型名
制御装置本体
添付品
制御装置
構成部品
ヒューズ
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-075A-IP
1台
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
1 本（3m）
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
16
400L/s ノーブルポンプ
―
1 個（富士通 36 形 16 ピンハンダ付タイプ）
1部
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
29
554±5
373±5
429±5
186±3
250±3
210±3
M32PI
470±5
（25.4）
（30）
φ203 ICF
483±5
507±6
96±2
216±4
96±2
16-M12
第 7 図（j） 400L/s ノーブルポンプ（912-7060）
500L/s イオンポンプ（912-7050）
30
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
17
■ 800L/s ノーブルポンプ・1000L/s イオンポンプ
●仕様
名称
型名
800L/s ノーブルポンプ
912-9110
排気速度
（N2 ガスに対して）
912-9100
ポ
1000L/s
10 － 2 ～ 10 － 9Pa
10 － 3 ～ 10 － 9Pa
1.3 × 10 － 1Pa 以下
1.3 × 10 － 2Pa 以下
ン
内容積
106L
最大加熱温度
250℃
プ
吸入口
φ 326CS フランジ
φ 356ICF
電流導入端子
素子（交換用）
912-7195
800L/s
動作範囲（注 1）
起動可能圧力（注 1）
1000L/s イオンポンプ
912-7190
φ 326CS フランジ
φ 356ICF
954-7281
912-9520（8 個）
マグネット
915-9510（8 個）
912-7003（2 個）本体に含む
質量
257kg
注 1 ご使用になる制御装置により、表中の値が変わりますのでご注意ください。
名称
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
型名
ポンプ起動可能圧力（注 2）
入力電圧
制御装置
最大入力電流
（起動時、50/60Hz 共通）
出力開放電圧
PIC-050A-NP
PIC-075A-IP
2 × 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
1.1× 10 － 4Pa 以下
AC100V ± 10％
1φ 50/60Hz
約 2.5A
約 2.5A
DC － 5.2kV
DC ＋ 7.5kV
約 35mA
約 20mA
最大出力電流
０～ 40℃ 90％以下（露結なし）
使用環境温度・湿度
メータ
レンジ
出力電圧
ポンプ電流
圧力記録
入力ケーブル組立
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
10kV フルスケール
（LINEAR 表示）
100mA フルスケール
（LOG 表示）
2 × 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
2.5m
1.1× 10 － 4 ～ 10 － 6Pa
出力ケーブル組立
2.5m
3m（954-7403）
質量
注2
超高真空用イオンポンプ
制御装置
4kg
4kg
ポンプの履歴および被排気系の構成・容量などにより表中の値が変化することがありますのでご注意ください。
●標準構成
ポンプ
名称及び型名
構成部品
800L/s ノーブルポンプ
912-9110
912-7190
ポンプ本体
1000L/s イオンポンプ
1000L/s イオンポンプ
912-9100
912-7195
3 枚（φ 326CS フランジ
用ガスケット）
3 枚（φ 356ICF 用
ガスケット）
1台
添付品ガスケット
名称及び型名
制御装置本体
添付品
制御装置
構成部品
ヒューズ
3 枚（φ 326CS フランジ
用ガスケット）
3 枚（φ 356ICF 用
ガスケット）
超高真空用ノーブルポンプ
制御装置
PIC-050A-NP
超高真空用イオンポンプ
制御装置
PIC-075A-IP
1台
2 本（3A）
入力ケーブル組立
1 本（2.5m）
出力ケーブル組立
1 本（3m）
入力用コンセント
REMOTE 用コネクタ
取扱説明書
18
800L/s ノーブルポンプ
―
1 個（富士通 36 形 16 ピンハンダ付タイプ）
1部
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
31
第 7 図（k） 800L/s ノーブルポンプ（912-9110）
800L/s ノーブルポンプ（912-7190）
1000L/s イオンポンプ（912-9100）
1000L/s イオンポンプ（912-7195）
32
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
19
■超高真空用イオンポンプ・ノーブルポンプ制御装置
本制御装置は、10 － 3 ～ 10 － 5Pa 以下の高真空、超高真空
領域でのみ運転するイオンポンプ・ノーブルポンプ制御装置
で、従来の制御装置に比べ軽量・小型化されています。また、
従来の制御装置では、遠隔操作機能はオプションボードに
より可能でしたが、本制御装置は遠隔操作機能が最初から
具備されていますので、自動化装置・遠隔操作用装置に最
適です。
●適用
超高真空用 PIC シリーズ制御装置型名・名称
ポンプ型名・名称
起動可能圧力（注）
912-7125
20L/s
イオンポンプ
912-7135
30L/s
イオンポンプ
912-7165
60L/s
イオンポンプ
912-7120
20L/s
ノーブルポンプ
912-7130
30L/s
ノーブルポンプ
912-7160
60L/s
ノーブルポンプ
PIC-075A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置
912-7010
140L/s イオンポンプ
8 × 10 － 4Pa 以下
PIC-050A-NP 超高真空用ノーブルポンプ制御装置
912-7020
110L/s ノーブルポンプ
1.3 × 10 － 3Pa 以下
912-7030
270L/s イオンポンプ
912-7031
270L/s イオンポンプ
912-7040
220L/s ノーブルポンプ
912-7041
220L/s ノーブルポンプ
PIC-075A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置
912-7050
500L/s イオンポンプ
2 × 10 － 4Pa 以下
PIC-050A-NP 超高真空用ノーブルポンプ制御装置
912-7060
400L/s ノーブルポンプ
4 × 10 － 4Pa 以下
912-9100
1000L/s イオンポンプ
912-7195
1000L/s イオンポンプ
912-9110
800L/s ノーブルポンプ
912-7190
800L/s ノーブルポンプ
PIC-050A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置
PIC-050A-NP 超高真空用ノーブルポンプ制御装置
PIC-075A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置
PIC-050A-NP 超高真空用イオンポンプ制御装置
PIC-075A-IP 超高真空用イオンポンプ制御装置
PIC-050A-NP 超高真空用ノーブルポンプ制御装置
5 × 10 － 3Pa 以下
1.7 × 10 － 3Pa 以下
5 × 10 － 3Pa 以下
1.7 × 10 － 3Pa 以下
4 × 10 － 4Pa 以下
6 × 10 － 4Pa 以下
1.1× 10 － 4Pa 以下
2 × 10 － 4Pa 以下
注）ポンプの履歴及び被排気系の構成、容量などにより表中の値が変わりますので御注意ください。
「高真空用イオンポンプ・ノーブルポンプ制御装置」の写真及び外観図が実物と異なる機種があります。
●機能
型名
●外形寸法図
入力機能
出力機能
外部制御機能
PIC-075A-IP
超高真空用イオン
名称
ポンプ制御装置
ポンプ電流が 12mAを
超えた状態で出力電圧
が低下するとOVER
保護機能
LOAD ランプ点灯。
OVER LOAD 状態が 30 分間連続すると HV（高電圧）出力
が遮断され FAILURE ランプ点灯
HV（高電圧）ON/ON LOCK スイッチの選択により、停電後
停電後の復帰
の自動復帰可（ON LOCK 自動復帰可）
2点
ポンプ電流が 1μ A ～ 20mA の範囲ポンプ電流が1μA～
圧力接点
で前面パネルのボリウムにより設定可。 1.3mA の範囲で前面
パネルのボリウムにより
設定可。
REMOTE/LOCALの切替
前面パネルの切替スイッチにより可
HV
REMOTE モードにて HV の ON/OFF 可
ON/OFF
フォトカプラ入力：DC12 ～ 24V（6 ～ 12mA）
HV
REMOTE/LOCALモードに関係なくHV ON 禁止
INHIBT
フォトカプラ入力：DC12 ～ 24V（6 ～ 12mA）
ポンプ電流出力
0 ～ 10VDC（LOG 出力）
圧力接点（2A）
HV ON/OFF
フォトカプラ出力：MAX100mA・DC24V
REMOTE/LOCAL
OVER LOAD 注）出力機能は REMOTE/LOCALモードに関係なく出力して
います。
FAILURE
20
PIC-050A-IP
PIC-050A-NP
超高真空イオン
超高真空用ノーブ
ポンプ制御装置
ルポンプ制御装置
ポンプ電流が 19mAを超えた状態で出
力電圧が低下すると OVER LOAD ラン
プ点灯。
キヤノンアネルバ株式会社
真空機器総合カタログ
キヤノンアネルバ株式会社
Vol.8.9
33
■ PIC-052 小型制御装置
本制御装置は、イオンポンプ並びにイオンポンプ・ノーブルポンプ
用として製品化した小型制御装置です。従来の超高真空用イオン
ポンプ・ノーブルポンプ制御装置と比べて大きさ、重量はほぼ同
じでありながら高い出力電力が得られ、ポンプ起動可能圧力の
改善がはかられています。また、遠隔操作機能が標準装備されて
いますので、自動化装置、遠隔操作用装置等にも最適です。
●適用
20L/s 以上の全てのスパッタイオンポンプ、ノーブルポンプ
並びにエクセルポンプに対応可能です。以下に各種イオンポ
ンプ・ノーブルポンプの起動可能圧力を示します。
PIC-052 小型制御装置
ポンプ型名・名称
PIC-052IP-B イオンポンプ用小型制御装置
PIC-052NP-B ノーブルポンプ用小型制御装置
起動可能圧力（注）
912-7125
20L/s
イオンポンプ
912-7135
30L/s
イオンポンプ
912-7165
60L/s
イオンポンプ
1× 10 － 2Pa 以下
912-7010
140L/s
イオンポンプ
6 × 10 － 3Pa 以下
2 × 10
Pa 以下
－2
912-7030
270L/s
イオンポンプ
912-7031
270L/s
イオンポンプ
912-7050
500L/s
イオンポンプ
912-9100
1000L/s イオンポンプ
912-7195
1000L/s イオンポンプ
912-7120
20L/s
ノーブルポンプ
912-7130
30L/s
ノーブルポンプ
912-7160
60L/s
ノーブルポンプ
1× 10 － 2Pa 以下
912-7020
110L/s
ノーブルポンプ
6 × 10 － 3Pa 以下
912-7040
220L/s
ノーブルポンプ
912-7041
220L/s
イオンポンプ
912-7060
400L/s
ノーブルポンプ
912-9110
800L/s
ノーブルポンプ
912-7190
800L/s
ノーブルポンプ
912-7100
125L/s
エクセルポンプ
3 × 10 － 3Pa 以下
1.5 × 10 － 3Pa 以下
1× 10 － 3Pa 以下
2 × 10 － 2Pa 以下
3 × 10 － 3Pa 以下
2 × 10 － 3Pa 以下
1× 10 － 3Pa 以下
1× 10 － 2Pa 以下
注）ポンプの履歴及び被排気系の構成、容量などにより表中の値が変わりますので御注意ください。
●外形寸法図
78.5 ±1.5
76.5 ±1.5

#
λщ
8
ԗඬૠ
*\
இ‫ٻ‬Јщ
8
#
ᙌᡯဪӭ
29.5 ±1.5
0164-14974D
警告
ゴム足
取り外し可
高圧注意
注）出力機能は REMOTE/LOCALモードに関係なく出力してい
ます。
403 ±1.5
フォトカプラ出力：MAX 100mA DC24V
ポンプを運転する場合
1.接地線を必ずＥ端子に接続して下さい
2.出力ケーブルは確実にポンプと接続して下さい
3.ポンプは必ず接地して下さい
内部の点検、修理の場合
1.電源スイッチを切って、入力プラグを外し
電圧計の振れが完全にゼロになってから
カバーを外して下さい
保守点検は定期的に行ってください
(3.2)
52 ±1
POWER
87 ±1
REMOTE/LOCAL 切替え可能（パネル面のスイッチで切替え）
停電後の高電圧出力の復帰の可否を選択可能
（HV ON LOCK）
(17.5)
11
出力過電流保護
電源内部の過温度上昇保護など
99 ±1
その他機能
WARNING
保護機能
危険電圧部有り
FAILURE
HAZARDOUS VOLTAGE INSIDE
OVER LOAD
(15.5)
感電による火傷や死亡の恐れ有り。
サービスマン以外の方は、
カバーを開けないで下さい。
REMOTE/LOCAL
197 ±1.5
203 ±1.5
Can shock,burn or cause death.
Do not open covers.
Trained service personnel only.
出力機能
HV ON/OFF
#%+0
0 ～ 10V DC（LOG 出力、出力インピーダンス：100Ω）
圧力接点（2 点）
*8176
ポンプ電流出力
フォトカプラ入力：DC12 ～ 24V
（6 ～ 12mA）
4'/16'
入力機能
外部制御機能
HV INHIBT
REMOTE モードにて HV の
ON/OFF 可能
REMOTE/LOCAL モードに
関係なく HV ON 禁止
HV ON/OFF
27/2
)0&
●機能
105 ±1
HV
RMT
4-∅5
SP1
10μA 100μA
0
FLR
OL
2
4
1mA
10mA
100mA
6
8
SET POINT
1A
10KV
SP2
POWER
HV
ON
ON
ON
LOCK
OFF
RMT
LCL
VOLTAGE
OFF
ION PUMP CONTROLLER
PIC-052□P-B
209 ±1
34
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21
■排気速度―圧力特性（第 8 図）
80
N2
30 L/s
40
20 L/s
20
0 −6
10
排気速度（L/s）
300
排気速度（L/s）
60 L/s
60
10−5
10−4
10−3
60 L/s
60
40
30 L/s
20 L/s
20
0
10−6
10−2
10−5
20L/s・30L/s・60L/s イオンポンプ
20L/s・30L/s・60L/s ノーブルポンプ
625
270 L/s
220 L/s
100
10−4
400 L/s
250
125
10−3
10−2
0
10−6
10−5
10−4
10−3
10−2
圧力 Pa
圧力 Pa
400L/s ノーブルポンプ・500L/s イオンポンプ
110L/s ノーブルポンプ・140L/s イオンポンプ
220L/s ノーブルポンプ・270L/s イオンポンプ
N2
10−2
500 L/s
375
110 L/s
10−5
N2
500
140 L/s
1000 L/s
1,000
排気速度（L/s）
10−3
圧力 Pa
200
1,250
10−4
圧力 Pa
N2
0
10−6
N2
排気速度（L/s）
排気速度（L/s）
80
800 L/s
750
500
250
0
10−6
10−5
10−4
10−3
10−2
圧力 Pa
800L/s ノーブルポンプ・1000L/s イオンポンプ
22
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35
■圧力―ポンプ電流特性（第 9 図）
10−2
10−2
10−3
20L/s・30L/s
10−4
圧力 Pa
圧力 Pa
10−3
60L/s
10−5
10−6
20L/s・30L/s
10−4
60L/s
10−5
10μA 100μA
1mA
10mA
10−6
100mA
10μA 100μA
20L/s・30L/s・60L/s イオンポンプ
10−2
220L/s
110L/s
圧力 Pa
400L/s
10−4
800L/s
10−5
100μA
1mA
270L/s
10−3
10−3
圧力 Pa
100mA
20L/s・30L/s・60L/s ノーブルポンプ
10−2
1000L/s
10−5
10mA 100mA
1A
10−6
110L/s・220L/s・400L/s・800L/s ノーブルポンプ
500L/s
140L/s
10−4
10μA 100μA
1mA
10mA
100mA
1A
ポンプ電流
ポンプ電流
36
10mA
ポンプ電流
ポンプ電流
10−6
1mA
140L/s・270L/s・500L/s・1000L/s イオンポンプ
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■漏洩磁束特性（第 10 図）
1×10−2
A
1×10−3
1×10−4
1×10−5
C
C
0
B
20 cm
B
漏洩磁束密度（Tesla）
漏洩磁束密度（Tesla）
1×10−2
A
40 cm
距離
1×10−3
1×10−4
0
0
20 cm
C
C
40 cm
距離
20 cm
40 cm
距離
B
60 cm
A
漏洩磁束密度（Tesla）
漏洩磁束密度（Tesla）
1×10−5
C
C
1×10−2
1×10−3
1×10
B
60L/s ノーブルポンプ
60L/s イオンポンプ
A
B
C
A
1×10−2
A
B
1×10−5
60 cm
20L/s ノーブルポンプ
20L/s イオンポンプ
−4
A
B
1×10−3
1×10−4
1×10−5
60 cm
B
A
0
20 cm
110L/s ノーブルポンプ
140L/s イオンポンプ
C
40 cm
距離
60 cm
400L/s ノーブルポンプ
500L/s イオンポンプ
漏洩磁束密度（Tesla）
1×10−2
A
C
1×10−3
C
B
1×10−4
B
A
1×10−5
0
20 cm
40 cm
距離
60 cm
800L/s ノーブルポンプ
1000L/s イオンポンプ
24
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■オプション
●出力ケーブル組立
出力ケーブル組立てには、標準 3m 以外に下記のものがオ
プションとしてありますので、制御装置注文時にご指定くだ
さい。なお、ご注文にあたっては下記注意事項を参照願い
ます。すべて B タイプ出力プラグ付です。
5m
954-7405
7m
954-7407
9m
954-7409
20/60L/s ノーブルポンプ制御装置
20/60L/s イオンポンプ制御装置
110L/s ノーブルポンプ制御装置
140L/s イオンポンプ制御装置
220L/s ノーブルポンプ制御装置
270L/s イオンポンプ制御装置
400L/s ノーブルポンプ
500L/s イオンポンプ制御装置
800L/s ノーブルポンプ制御装置
1000L/s イオンポンプ制御装置
954-7403、7405、7407、7409 出力ケーブル組立
38
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●保守・消耗部品
電流導入端子
交換用素子
30L/s 以上のポンプは電流導入端子の交換ができます。電
60L/s 以上のイオンポンプ・ノーブルポンプは、寿命がきた
流導入端子の項を参照してください。
場合に、素子の交換ができます。
素子型名、個数はオーダリングインフォメーションを参照して
ください。
ポンプの汚れの程度により、素子交換だけでは特性が回復
しない場合もあります。
この場合には、容器の洗浄と加熱排気を行う必要がありま
すのでご連絡ください。
（アプリケーションの項をご参照くだ
さい。
）30L/s 以下のポンプは再生が不可能ですので、マグ
ネット部を除くポンプ本体をそっくり交換してください。
■アプリケーション
イオンポンプを用いて超高真空を作る場合、イオンポンプの
選択のみならず、真空系の構成部品の選択、真空室の内面
処理が重要な要素となり、それらを誤まると、イオンポンプ
本来の特性が発揮されない場合もありますので、排気系の
設計に当っては当社にご相談ください。
一般には、次のような排気系の構成をおすすめします。
ご注文にあたっての注意事項
制御装置をお持ちでポンプのみお買い求めの場合、あるいは
注意ください。新規ご購入の際には、制御装置には B タイプ
逆に、ポンプをお持ちで制御装置をご注文の際には、ポンプ
の出力プラグが、またポンプには B タイプ電流導入端子が
側の電流導入端子と制御装置側の出力プラグの適合性にご
付いています。
電流導入端子
適合性
スプリング
Aタイプ
出力プラグ
適合可
Aタイプ
M3
2特
殊
ネジ
必
M32
Bタイプ
要
適合可
Bタイプ
・電流導入端子 B タイプと出力プラグA タイプは適合しません。
A タイプ出力プラグの付いた旧制御装置をお持ちで B タイプ電流導入端子付
3µM3セットネジ
5
ポンプをご注文の際は、B タイプ出力プラグ付の出力ケーブル組立を一緒に
A
・ A タイプ電流導入端子と B タイプ出力プラグは、M32 特殊ネジを用いれば適
合可能です。A タイプ電流導入端子付ポンプをお持ちで、B タイプ出力プラグ
M32
ご注文ください。
付制御装置をご注文の際は、M32 特殊ネジを一緒にご注文ください。
（ポン
プの機種よりご指定ください。
）
M32 特殊ネジ
型名
26
名称
適用
A 寸法
915-7020
M32 特殊ネジ (1)
110L/s、140L/s、220L/s、270L/s、400L/s、500L/s、800L/s、1000L/s ポンプ
φ 20.2
915-7019
M32 特殊ネジ (2)
1L/s、8L/s、20L/s、60L/s、ポンプ
φ19.3
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●使用例
サブリメーション
ポンプ
ターボ分子ポンプ
真空室
Ti
バルブ
リークバルブ
フォアライン
トラップ-S
バルブ
バルブ
リークバルブ
油回転ポンプ
イオンポンプ
油回転ポンプ
第 11 図あら引き系にターボ分子ポンプと油回転ポンプ
を組合せて使用した場合
第 12 図あら引き系にフォアライントラップ -S と
油回転ポンプを組み合せて使用した場合
注）第 12 図の排気系構成で、PIC-220IP、PIC-220NP、PIC-800BIP、PIC-800BNP および超高真空用 PICシリーズ制御装置をご使用になる場合、あら引き
系の到達圧力によってはポンプ起動が不可能な場合があります。このような排気系で、上記電源を使用される場合は、当社にご相談ください。
●イオン・ノーブルポンプを作動させるには
●オーバーホール
大気圧から6.7Pa、
ポンプおよびご使用になる制御装置によっ
イオンポンプ、ノーブルポンプの寿命は、使用条件で大き
Pa 以下の起動圧力まで、他のポンプであら
く変わりますが、目安としては１×10 － 4Pa で約 30,000 ～
引きをする必要があります。あら引きポンプとしては、以下
40,000 時間です。使用圧力が高くなれば寿命は逆比例して
の系をご推奨します。
短くなります。一般には、到達圧力が悪くなったり、起動に
・ダーボ分子ポンプと油回転ポンプとを組合せた系
時間がかかるようになった場合、寿命と判断します。寿命が
ては 1.1×10
－4
（第 11 図）
きた場合、次のようなオーバーホールの方法があります。
現在では最も一般的な方法です。あら引き系の到達圧力
・素子を交換、または再生する。
が良好なので、ご使用になるイオン・ノーブルポンプおよ
最も簡単な再生方法で、到達圧力をそれほど要求しない
び制御装置を選びません。また、オイルフリーのあら引
場合は、この方法だけである程度特性は回復します。併
きを行うことができますので、大容積の系や低い到達圧
せてポンプ容器をアセトン等でクリーニングしてください。
力を得たい超高真空システムのあら引きに最適です。
素子再生の場合はご用命ください。
・油回転ポンプとフォアライントラップ -S（956-7130）
とを組み合わせた系（第 12 図）
・素子を交換、電流端子交換、ポンプ容器洗浄、およ
び加熱排気する。
●大量のガス放出があるような場合には
オーバーホール A という名称でご用命ください。ポンプ
弊社のチタンサブリメーションポンプ（956-7015）を組み合
一式を引き取り、上記オーバーホールを行います。新品
わせてご使用になることをおすすめします。大量のガス放出
同様の特性に回復します。併せて電源の定期点検も行う
があっても、安全なばかりでなく迅速な排気ができ、イオン
ことをお勧めします。
ポンプだけの場合よりも、短時間で超高真空がえられます。
〔ご使用にあたっての注意事項〕
もちろん Oil free です。
●超高真空を得る場合には
特定化学物質等障害予防規則に指定された特殊ガスを排気
弊社のチタンサブリメーションポンプ（956-7015）との組合
すると、ポンプが動作しなくなったり、オーバーホールがで
せや NEG モジュール付きのエクセルポンプの使用を推奨し
きないことがありますので、事前にご相談ください。
ます。
（詳細はエクセルポンプアプリケーション参照）
40
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真空機器総合カタログ
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Vol.8.9
27
2011年9月作成
東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503
〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント
FAX
FAX
FAX
FAX
無断転載禁止
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
西日本エリア
九州エリア
TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708
FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702
〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111
FAX 096-385-3061
※ 輸出・移転・処分に関する注意
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、
弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/

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