アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
目次1/2
分類名
<スパッタ装置 ULVAC製>
<スパッタ装置 ULVAC製以外>
<蒸着装置>
<ＣＶＤ装置>
<アッシング装置>
<エッチング装置 ULVAC製>
<エッチング装置 ULVAC製以外>
<イオン注入装置>
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
<フォトリソグラフィー工程装置>
<コーター・デベロッパー>
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
<膜厚測定・抵抗測定装置>
<外観検査装置・その他計測器>
<洗浄装置>
<めっき装置>
<顕微鏡>
<後工程・実装装置>
<ＵＶ装置>
<ディスペンサー装置>
<イオンミリング装置>
<その他真空装置>
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
<その他>
<油回転真空ポンプ>
<油回転真空ポンプ部品>
<油拡散ポンプ>
<メカニカルブースターポンプ>
<クライオポンプ ULVAC製>
<クライオポンプ ULVAC製以外>
<ターボ分子ポンプ ULVAC製>
<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外>
<ドライポンプ>
<イオンポンプ>
<排気セット>
<真空バルブ ULVAC製>
<真空バルブ ULVAC製以外>
<超高真空部品>
<ピラニ真空計>
<電離真空計>
<バラトロン真空計>
<ペニング真空計>
<成膜コントローラー>
<ガス分析計>
<Heリークディテクタ>
<EB電源>
ページ番号
2
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1
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※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
目次2/2
分類名
<RF電源>
<DC電源>
<AC電源>
<アナライザーマグネット電源>
<マグネット電源>
<加熱電源>
<その他電源>
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
<搬送ロボット>
<電気制御系>
<チラー・純水設備>
<スパッタ装置部品 ULVAC Ceraus>
<スパッタ装置部品>
<蒸着装置部品>
<イオン注入装置部品>
<スパッタ装置部品 AMAT ENDURA>
<プラズマＣＶＤ装置部品 ＡＭＡＴ Ｃｅｎｔｕｒａ>
<プラズマＣＶＤ装置部品 ＡＭＡＴ Ｐ－5000>
ページ番号
17
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19
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20
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20
20
21
21
21
22
22
25
今月の新掲載品
☆
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中古品番号
RS15-1047
RS15-1049
RS15-1048
RS15-1050
RS15-1045
RS15-1046
RS15-1044
RS15-1043
RS15-1027
品名
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
RF電源
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟｾｯﾄ
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
型式
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ
DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ
RFS-1310A/MBX-10EA
U12HSP/C30V
SRH-820
☆
RS15-1025
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
☆
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☆
☆
☆
RS15-1026
RS15-1041
RS15-1042
RS15-3004
RS15-3005
RS15-3006
RS15-1053
RS15-1051
RS15-1052
RS15-1040
RS15-1036
RS15-1039
RS15-1038
RS15-1037
RS15-2020
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
C-7540HC
TMP-1003LM/EI-1003M
TMP-1003LM/EI-1003M
NESLABⅢ
NESLABⅢ
NESLABⅢ
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1G
RS15-2019
RS15-1054
RS15-1056
RS15-1055
RS15-1028
RS15-1029
RS15-1030
RS15-1035
RS15-1031
RS15-1032
RS15-1034
RS15-1033
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
GP-1G
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
☆
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☆
☆
☆
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☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
UCI
ULVAC
製造番号
0007337VC2210
MA02-1028
ULVAC
ME95-1042（WT06-10010A）
ANELVA
島津製作所
島津製作所
NESLAB
NESLAB
NESLAB
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
EVP-30782
FZM-543
製造年
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2003
1996
2000
2000
197329002
197316042（P376）
D9607029
08239G
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
08238G
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2015
2015
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体*MBX-10EA+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
仕様書、取説、図面なし。
☆
☆
☆
☆
☆
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☆
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☆
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁ ﾗﾝﾌﾟ加熱
仕様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S ※2007年ﾘﾆｭｰ ☆
ｱﾙ販売している装置。仕様書・図面あり、取説なし。
☆
Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
☆
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
保証期間は納品後3ヶ月
☆
保証期間は納品後3ヶ月
☆
保証期間は納品後3ヶ月
☆
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
☆
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
☆
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
☆
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☆
<スパッタ装置 ULVAC製>
☆
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-820
ULVAC
MA02-1028
2003
RS15-1025
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME95-1042（WT06-10010A）
RS15-2010
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SH-450-T10
ULVAC
MB03-5006
2
備考
仕様書、取説、図面なし。
☆
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁ ﾗﾝﾌﾟ加熱
仕様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S ※2007年ﾘﾆｭｰ ☆
ｱﾙ販売している装置。仕様書・図面あり、取説なし。
構成：CA3元
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
品名
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
メーカー
製造番号
2015年9月20日現在
製造年
備考
RS15-2008
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550L
ULVAC
MH92-1080
1992
★2012年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置★排気系：TMP（UTM-2300）・拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ（D950DK）、真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ（GI-TL3）・ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*3（GP-1SRY(C)）・ﾊﾞﾗﾄ
ﾛﾝ真空計（MKS PRC-C-1C）、ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC（DC）・DC(DCS-0202B)、熱
電対：PHS-07、ｽﾊﾟｯﾀｶｿｰﾄﾞ：1源（φ4in*6set）←SP-UP、材料：金属 仕様
書・取説・図面あり。
RS12-1061
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME02-8012
2002
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 １E3T ，基板：φ6in Etch：ICP SP1～3：
Metal ，加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様 ※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様 機能充実
RS12-1062
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME93-5021
1994
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E1T ，基板：φ6in Etch：ICP SP：Metal ，
加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：
階下置き仕様 ※ 拡張性有り
RS13-3017
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CS-200
ULVAC
MA07-1009
2007
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 実験・量産 ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ φ12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電体用） 1
元 SP電源：RF 3ｋWx1 排気系：TMP+DRP 基板ｻｲｽﾞφ6in 仕様書あり、状態良好
RS12-1227
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
2004
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置 動作確認済み 使用頻度少なく良好
RS12-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
2000
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E2T2C，基板：φ5in Etch：2重極 SP1：
Metal SP2：Metal，加熱系：Infrared Lamp ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋RP
RS13-1115
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME96-1064
1997
【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E) 取説・図面あり
RS13-3127
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
RS14-4024
RS14-1242
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
MPS-2000
ULVAC
ULVAC
ME97-1050
MB99-1021
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 1E1T1H2C 基板：φ5in Etch：2重極 SP：
Metal 加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ ｶｾｯﾄ室×2 排気系：CRYO＋RP
1998
2000
8インチ用
取説あり。
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等） 構成：ｶｾｯﾄ室＋
搬送室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140□mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm□ﾄ
ﾚｲ使用） 排気系：ＴＭＰ＋DRY 成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、
P5：φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元） 電源：RF電源 3KW 成膜法：固
定成膜 ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ
RS13-2209
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
PME-200LE（LPO)
ULVAC
MA08-3536
2010
RS14-2292
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-2306
ULVAC
ME57-5034
1983
RS13-2204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-D06(ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH62-5073
1988
RS14-2010
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350EL-C06
ULVAC
MA98-5016
1999
RS12-1405
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C10
ULVAC
MH61-0502(NH8978)
1987
RS14-2268
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸｽ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-1010特 （ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MA01-5007-0
2002
RS13-1116
RS14-1241
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-3030
SIH-450
ULVAC
ULVAC
MH63-5260
SA00-0005-1
2007
2000
RS11-1021
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006
RS11-1022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA03-1012
2006
RS14-2259
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200E
ULVAC
MA04-1044
2005
RS14-2301
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置部品（P3、
P4/CH、P3、P4用電源盤）
SME-200E
ULVAC
MA04-5004
2005
1C3T（Ti、TiW(W))、Ni、Si（Au実績あり） RFS-1305A*2、
DCS0202B*2、RFS-1310A*3、Pinacle*1
RS13-2208
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM(LCO)
ULVAC
MA08-3625
2010
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等） 構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送室＋（ﾌﾟ
ﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150□mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能） 排気系：ＴＭＰ＋
DRY 成膜室：（P2～P6φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶ
ｿｰﾄﾞ×1元 Cu） 電源：P2～P6 RF電源 5KW P7 DC電源 4KW成膜法：固定成膜
ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は回転成膜）
【バッチ式】実験・少量生産 φ150mmカソード 1元 （スパッタアップ） 排
気系：拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ ガ
ス：２系統ｼｰｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
LL式 基板□125ｍｍ 逆ｽﾊﾟ付、DC・RF ｶｿｰﾄﾞ3元
【ﾊﾞｯﾁ式】 実験・少量生産 φ6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元 ｽﾊﾟｯﾀ電源
DCx1・RFx1 逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W) 排気系：CRYO＋RP
Vacuum System・・・CP［（U10PU） C15R（MBS）］ RP［D-650DK］ Vacuum Gauge・・・
Ion Gauge［GI-M2］ Pirani Gauge*3［GP-1SRY（C）］ Baratｒon Gauge［MKS PRCC-1C］ Sputtering Power Suppy・・・DC［DC］ DC［DCS-0202B］ Heater Power
［PHS-07］ Sputtering Cathode・・・1source (5in*10in*6t［Dual Cathode Remodeling
OK］）←SP-UP Trace・・・ITO 仕様書・取説・図面あり。
取説あり。SP室用CRYO-U12H用ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し。
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】 実験・少量生産 ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載 ｽﾊﾟｯﾀ電源：
RF 片面 縦搬送 通過成膜式排気系：CRYO+RP
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】 実験・少量生産 ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載 ｽﾊﾟｯﾀ電源：
DC 片面 縦搬送 通過成膜式 排気系：CRYO+RP
CRにて使用、使用頻度低く程度良好。 ﾀｰｹﾞｯﾄ：Au、Cr、Wsi 基盤ｻｲｽﾞ：6in(φ220ﾄﾚｰ
倍ﾋﾟｯﾁ（10枚）） DC電源：2ｋｗ 取説・図面あり。
RS11-2043
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SMR-2110E
ULVAC
ME58-0161
1983
RS13-1002
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-420
ULVAC
MA04-3429
2004
RS14-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-420MC
ULVAC
MA02-1038
RS13-3030
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-820
ULVAC
MA00-1034
2001
【枚葉式 静止成膜】 ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ方式 基板：200φ 基板加熱室×１、基板ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ室
×1、ｽﾊﾟｯﾀ室×5 ｶｿｰﾄﾞ：非磁性体金属ﾀｰｹﾞｯﾄ用×5
RS11-1186
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-9040-T14
ULVAC
MA00-1013
2001
【ﾊﾞｯﾁ式 ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】 量産機 基板：ｶﾞﾗｽ ｶｿｰﾄﾞ：5inｘ18in×3 ｽ
ﾊﾟｯﾀ電源：DC 排気系：TMP+RP
RS10-2807
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7820
RS10-2808
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7818
RS15-1001
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SIH-300RD
ULVAC
MA08-7004
【枚葉式（ｸﾗｽﾀｰﾀｲﾌﾟ）】 量産用 2C1E3T 基板：φ8in SP1：Metal SP2：Metal SP3：
化合物 Etch：RIE 薄ｳｪｰﾊにも対応
ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室 取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 2T ，基板：φ6in SP1：Metal SP2：Metal ，
加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：
階下置き仕様 ※ 拡張性有り
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】 量産用 2T ，基板：φ6in SP1：Metal SP2：Metal ，
加熱機構：：Infrared Lamp 制御：GPCS-300GT ，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：
階下置き仕様 ※ 拡張性有り
2009
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式、DEPOﾀﾞｳﾝ、ｶｾｯﾄﾀｲﾌﾟ（ﾎﾙﾀﾞｰ6枚 420*420） 、ｶｿｰﾄﾞ：3元
（Ti、Cu、Ni-Cu）135*47（非磁性）、排気系：TMP+RP、GAS：Ar、電源：
DC6KW RF1KW（逆ｽﾊﾟ）使用頻度低い 仕様書・図面なし、取説あり。
<スパッタ装置 ULVAC製以外>
☆
中古品番号
RS15-1026
RS12-1027
品名
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
型式
C-7540HC
-
メーカー
ANELVA
ﾃｸﾉｺｰﾄ
製造番号
EVP-30782
-
RS13-8022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
E-102
RS11-1185
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ENDURA
RS11-1201
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
RS12-1228
製造年
備考
1996 Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
1992 □100 角基板用 ｶｿｰﾄﾞ３元 DC 拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP
日立
6127-03
1986
AMAT
S/N:3843/E-№：6520
1996
HRS-521A
島津製作所
1M9062
1994
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996
RS11-1184
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983
RS14-3037
RS12-2027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-530F
SPF-540H
ANELVA
ANELVA
EVP-22528
EVP-24622
1991
電源：AC100V 50/60Hz 1KVA 試料台：φ80ｍｍ RP付属（501-min) 放
電電圧印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式
【Multi_Chamber】 量産用 基板：φ8in Etch×1 SP×３ 通電・試運転 可
能
【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用（全手動操作） φ4inｶｿｰﾄﾞ 3元 静止成膜 ｽﾊﾟｯﾀ電
源：RF 逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能 小型実験装置
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式） ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】 ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in 3元 DC/RF切替 排気系：DP
2004年にｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
6ｲﾝﾁ3元 ITOｽﾊﾟｯﾀ RF/DC部品取りあり。仕様書あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ6in× 3元
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 基板：φ3.4in ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in MgCa 3元 ｽﾊﾟｯﾀ電
源：DC/RF切替 加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀｰ
付属品：RF電源ﾗｯｸ、TMPｾｯﾄ予備品
RS12-1380
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置(ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式）
SPH-2019F
昭和真空
02-4191
2003
RS13-1155
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRL-3320
神港精機
42012540
2001
RS14-1223
多元ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
TLS-300F
島津製作所
YA11-3041
1996
操作系：全て手動（排気操作含む） 排気系：TMP+RP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ付） 島津製TMP-550L+GDH-360 ｶｿｰﾄﾞ：4inx3元（非磁性） SP材料：TiO、Si、Pt、Ti、BLT（ｾﾗﾐｯｸ） 電源：
DC PEAL製 DP-1500-8 RF PEAL製 RP-500Cｘ3式 RF CONT ZDK-916Bｘ3 基
板加熱：MAX550℃ GAS:Ar、O2、N2 ﾁﾗｰ：2台 島津製 CWC-1100B/CWC-2000,仕
様書なし、取説・図面あり。
RS15-1002
RS12-2033
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPH-2500-RF
ECR-300E
昭和真空
ANELVA
00-4422
EVP-19881
1990
状態良好
3
☆
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※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
<蒸着装置>
中古品番号
RS14-2289
RS13-3016
品名
真空蒸着装置
蒸着重合装置
型式
特殊蒸着装置
VEP-1000
メーカー
ANELVA
ULVAC
製造番号
EE995142
MF06-1008
製造年
2001
2007 【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 研究用
RS14-2266
有機EL蒸着装置
SOLCIET（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MH98-5013-0
RS11-3206
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MF96-5002
RS13-2200
蒸着装置
SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）
昭和真空
00-4561
2000
RS14-1226
RS14-1227
RS14-1180
蒸着装置
蒸着装置
高真空蒸着装置
SGC-22SA-RF
SGC-22SA-RF
EX-900-C16
昭和真空
昭和真空
ULVAC
97-4334
94-4371
MH89-2054
1990
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
RS14-2295
蒸着装置
EX-550-D10(改C）
ULVAC
MH89-7048-0
1990
RS11-2397
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH96-1051
1996
RS11-3233
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH97-5026
1998
RS13-2355
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH97-5019
1998
RS14-1181
高真空蒸着装置
EROLA
ULVAC機工
-
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C (ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH59-0112
1984
RS12-1233
高真空蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984
RS13-2099
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5058
1983
RS14-2012
RS14-2293
RS14-2294
蒸着装置
蒸着装置
蒸着装置
EBX-8C
EBX-8C
EBX-8C
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ME59-5082
ME89-5043
XC03-4012
1985
1990
1990
抵抗蒸発源2元式 ｸﾗｲｵ仕様10吋
RS14-1110
高真空蒸着装置
EBX-6D
ULVAC
MH60-0242
1985
抵抗蒸着 φ3ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ12枚 ﾗﾝﾌﾟ加熱ｘ2式 ULK-06A ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ保
管（動作確認済み）
RS12-1214
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
MH89-7043
1989
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 中量生産 真空槽：φ750Wx900H 自公転治具 蒸発源：電子ﾋﾞｰ
ﾑ（EGL-35M) 電源：10ｋW(真空管） 排気系：CRYO+RP 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱 後方排気
ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰﾑ
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
1885
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 治具無し 蒸発源：抵
抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3） 排気系：DP ＋ RP 赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
RS12-1419
蒸着装置(ﾊﾞｯﾁ式）
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
1981
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 治具無
し 蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3） 排気系：DP ＋ RP 赤外線ﾗ
ﾝﾌﾟ加熱 欠品：EBｶﾞﾝ
RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
RS13-1153
蒸着装置
EBX-1000C
ULVAC
MA00-1060
2001
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 付属品：C30 HPS-1000F
RS13-1038
蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
1999
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式 ﾊﾞｯﾁ装置】 排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB-003C+D950DK 加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ 蒸発源：抵抗蒸発源（W
ﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式） 仕様書・取説・図面あり
RS13-2205
蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式）
EBS-10A
ULVAC
ME54-0003
1979
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式 ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ 操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ 真空動作：
AUTO/MANUAL 成膜半自動 蒸着材料：AL・In・Sn 公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050) ﾜｰｸｻｲｽﾞ：
50ｍｍｘ75ｍｍ 排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V RP D-650 PMB-003C 蒸発源：
E/B EGL-35M HP1010SG 抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き MFC Aｒ 100ｓｃｃｍ
膜厚計CRTM-6000
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
ULVAC
MH62-5022
2005
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】 研究用 全手動操作 抵抗加熱式蒸発源 （欠品：
ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ）
RS14-2280
RS14-1087
RS14-2360
RS14-2361
真空蒸着装置
蒸着装置
蒸着装置
蒸着装置
BMC-700
EX-400-C08
L-300K
SHINCRON
Veetech
ULVAC
ANELVA
900073
MA00-5024
EVP-37391
1990
1992
RS14-2262
蒸着装置
IPM-100（Load Lock式）
ULVAC
MF03-5104
2004
1999
備考
Vacuum System・・・CP［U6H*2］ CP-Compressor[C10*2] TMP[TMP-403LM]
RP[D-240DK*3] Vacuum Gauge・・・Ion Gauge[GI-TL3RY*3] Pirani Gauge*5[GP1SRY（C）]、Bias RF Power Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA] Trace・・・Metal&Organic
material 仕様書・取説・図面あり。
有機薄膜形成装置 有機EL 研究・生産装置
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 生産用φ900ｘ1125H SUS製 後方排気 水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻 公転ﾄﾞｰﾑ
蒸発源：EB蒸発源（JEOL) JEBG-102UHO 15連ﾊｰｽ 電源JST-10F（10Kw) 排気系
RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550) その
他： RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw) 京三 / 光学膜制御（SOCS-1α）昭和 / CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙ
ｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱
抵抗8元 動作確認済み。 取説・図面あり。
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 中量生産 真空槽：φ750W×900H 自公転治具 蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆動） 排気系：CRYO ＋ RP
赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 蒸発源：
未搭載（選択自由） 排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP
【前扉ﾊﾞｯﾁ装置】 少量生産・研究用 真空槽：φ650Wx800H 自公転治具
蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）ｘ2式（Au、Sn成膜） 排気系：CRYO+RP
EBｶﾞﾝ2台（EB電源無し）・水冷ﾄﾞｰﾑ使用
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ650W×800H 蒸発源：
未搭載（選択自由） 排気系：CRYO＋RP
概要：EB＋抵抗ｽｲﾝｸﾞｱｰﾑ（ｲｵﾝﾌﾟﾚｰﾃｨﾝｸﾞ） 排気系：ｸﾗｲｵU-10PU、D-950DK 電源：
HPS-1000F 使用用途：LED製造 状態：良使用ｶﾞｽ：O2膜厚計：CRTM-7000 蒸着材
料：Au、Cr、Ti、Ni 蒸発源：EGL-35M+抵抗蒸発源３元 PSG-004S、EGC-10S 使用
書・取説無し、図面あり
抵抗３式 ｸﾗｲｵ排気+DRP L/L室付 CRTM-9000 抵抗電源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌﾟ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：□500×600H 自公転治
具（φ100用） 蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M) 排気系：CRYO＋RP （ｶﾞｽ導
入:O2)
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：□500×600H 公転治具 蒸発源：電
子ﾋﾞｰﾑ （EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000 排気系：CRYO ＋ RP
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：□500×600H 公転平板 □150ｶﾞﾗｽ
基板 蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3） 排気系；CP＋RP
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】 小量生産・研究用 真空槽：φ600W×800H 蒸発源:電子ﾋﾞｰﾑ
（EGL-35M） 電源：10kw（真空管） 排気系：CRYO ＋ RP
現状動作OK。
現状動作OK。
Main Vacuum System：CRYO（U-10PUS)・・・H2 mater)+(C2W-U・・・
99633hr)
Load Lock Chamber Vacuum System：Turbo-molecular pump（UTM350FH/D1A)
Vacuum Control System：mks TYPE 113
Vacuum Gauge：Ion Gauge(GI-TL3RY)*2 Pirani Gauge*5（GP-1SRY(A)）
Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000)
Deposition Source：Erectron Beam Source（EB・・・EGO-35) Power
Supply・・・（EB・・・HPS-510S)
Ion Plating System・・・RFS-02CA*2
Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。
<ＣＶＤ装置>
中古品番号
RS12-1318
RS14-3045
品名
CVD装置
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
型式
PD-270STA
P-5000（MXP、DXZ）
メーカー
SAMCO
AMAT
製造番号
RS10-2769
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
DWNT成膜装置
ULVAC
MB03-7002
RS12-1145
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
CPD-1210
ULVAC
-
RS13-2010
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置部品（RS138129～8132）
CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
2008
RS14-2359
RS13-1031
CVD装置
P-CVD装置
CC-200
P-CVD装置（ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
ULVAC
MA03-5033
MH61-1112
1986
11738
4
製造年
備考
2001 【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 TEOS-CVD 使用ｶﾞｽ：C2F6 Ar O2 N2
取説・図面あり。
2003
【ﾊﾞｯﾁ式】 熱CVD ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用 加熱系：MAX1100℃ 排気系：
RP ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM） 基板：200mm×600mm
【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD 基板：φ200 使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2
【ＣｔｏＣ】 生産用 プラズマＣＶＤ 156基板 《ｶﾞｽ》H2, SiH4, N2, B2H6,
PH3, CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi 《不足品》 防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2室分
現状動作OK。
研究・開発用途
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
<アッシング装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS13-3031
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
VA-1000
ULVAC
2215
2001
RS11-2405
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000N
ULVAC
RE93-1003
RS12-2079
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000
ULVAC
XS06-4604
1992
RS13-3161
RS10-2204
RS10-2205
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
TCA-7822S
OPM2001CN
OPM2001CN
東京応化工業
東京応化工業
東京応化工業
T-9804525
C-9802050
C-9401250
1998
1998
1994
2013/5初旬に装置停止 その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管 外観上問題なし 不
具合なし
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】 電源：ﾏｲｸﾛ波 600～1000W 2450MHz±50MHz 高
周波 200W 13.56MHz RF出力ｹｰﾌﾞﾙ（大分建屋保管）
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】 電源：ﾏｲｸﾛ波 600～1000W 2450MHz±50MHz 高
周波 200W 13.56MHz
枚様式 仕様書あり
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】
RS13-3123
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
1000P
GLEN
TECHNOLOGIES
10271
2000
仕様書・取説あり
製造年
<エッチング装置 ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS12-1312
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NLD-6000
ULVAC
MV99-1003
RS14-2302
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-550
ULVAC
MV03-5002
2004
RS14-1231
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-5000N
ULVAC
MV98-1002
2000
RS11-2399
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1210
ULVAC
ME60-0230
RS10-2784
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
1983
RS12-2047
RS14-1293
RS14-2358
RS12-1304
ｴｯﾁﾝｸﾞ
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
ICPｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1000
ALBA-PEC
CE-300I
CE-300I
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RE92-1023
MV02-5010
MV03-1008
2004
備考
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 NLD方式（Deep Etch） 電源：Antenna 2kW
／Bias 1kW 13.56MHｚ 排気系：TMP・DRP・APC 基板：φ100mm （ﾒｶ
ﾁｬｯｸ） 使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O
ﾛﾎﾞｯﾄO/H済み 浜ﾎﾄ製ｴﾝﾄﾞﾎﾟｲﾝﾄあり 電源AX-1000Ⅲ、AX-300Ⅲ、
GAS：H6、Ar、CL2、SF6、BCL3、CHF3、CF4、O2 付属品：除害筒、ﾁﾗ-*2
CRで停止 L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。 程度良好・制御系動作確認済
み。 取説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 RIE方式 電源：500W 13.56MHｚ 排気系：DP＋PMB＋
RP 基板：φ200mm （平置き） ｶﾞｽ系：4系統
【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 RIE方式 電源：500W 13.56MHｚ 排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽ
ﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ 基板：φ200mm （平置き）
現状動作OK。
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2)
<エッチング装置 ULVAC製以外>
中古品番号
RS15-1021
品名
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
型式
RIE-200L
メーカー
ｻﾑｺ
製造番号
ENS990608
製造年
1999 取説あり、仕様書・図面なし。
備考
RS11-2028
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
2000
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 研究用 RIE方式 使用ｶﾞｽ：O2 CF4：Ａｒ CHF3 C4F8 SF8
R/P×2台 TMP×1台
RS12-1311
RS10-2789
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DES-320E
DEM-451
YAC
ANELVA
EVP-16956
1987
【枚葉式】 生産向け RIE方式 基板：φ4ﾄﾚｲ搬送 ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室
【ﾊﾞｯﾁ式】 研究用 RIE方式 基板：φ150mm 平置き
排気系：
RS14-4117
ｴｯﾁﾝｸﾞ
CVE-2014ACｓ1
ｸﾚｾﾝ
CVE-2013ACｓ1
2006
12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンスへの影
響がありません。
RS14-4015
Ti自動ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
-
ｻﾝｴｲ
-
2008
ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置
RS10-2182
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CDE-80N
芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
WFX0013
RS15-1003
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200IP
SAMCO
22A1347
【枚葉式】 生産向け ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波 2.45GHz 1ｋW、基板：φ200ｍ
ｍ （裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
<イオン注入装置>
中古品番号
RS14-1004
品名
ｲｵﾝ注入装置
型式
IDZ-8001
メーカー
ULAVC
製造番号
MI05-1001
RS07-2983
ｲｵﾝ注入装置
IMX-3500
ULVAC
MI98-0001
製造年
備考
2005 制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能） 程度良好 欠品なし
中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV) 基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変
更可能） ｴﾈﾙｷﾞｰ30～200KeV 連続可変 実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
中古品番号
RS15-1020
品名
ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉
型式
RHL-P1210CP
RS15-2009
RTA装置
RTP-6
メーカー
ｱﾙﾊﾞｯｸ理工
製造番号
D87086
製造年
備考
ULVAC
MR034020-0
2004
ULVAC
MB61-1021
1986
実験機用途。構成：1枚ﾀｲﾌﾟ、ｶﾞｽ種（O2・N2）、基板：Si 2in（ｻｾﾌﾟﾀｰ改造に
て6inまで可）加熱性能MAX1000℃
石英炉心管（φ86ｍｍ） 到達圧力：10-6Pa台 加熱（ｶﾝﾀﾙﾋｰﾀｰPID制
御）：1100℃±15 排気系：TMP+RP
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ φ４X36枚 ～1200℃
ｱﾕﾐ工業
ｱﾙﾊﾞｯｸ機工
EYELA
VE-01-16
MR060013-0
10225465
2002
ADVANTEC
097210
2007
RS13-8016
精密熱処理炉
精密熱処理炉
RS12-1320
RS12-1044
RS14-1228
RS12-1338
電気炉
真空ｱﾆｰﾙ炉
枚様式高速ｱﾆｰﾙ装置
ﾍﾞｰｸ炉
VF-2000
TYPE BH
RTA-4000
LTI-601ED
RS14-1003
電気ﾏｯﾌﾙ炉
KL-600
RS10-2602
抵抗加熱式真空高温炉
FHT-75S
ULVAC
MF99-1131
RS14-2269
遠紫外線応用装置
DUV-25ｘ4B （ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
日本電池
00 E 5L
RS14-1229
RS12-1316
RS12-1315
RS12-1373
ｵｰﾐｯｸｱﾛｲ炉
1連式横型管状炉
3連式横型管状炉
電気炉
DSI-3500P
A-T-H
A-T-H
ｹﾐﾄﾛﾆｸｽ
ﾉﾘﾀｹ
ﾉﾘﾀｹ
-
KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑ
【ﾊﾞｯﾁ式】 実験用 排気系：CRYO PumP ＋ RP
仕様書・取説あり（R棟保管）、図面なし。
□350mm内径 200℃ 大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
本体のみ 付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：DP43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科学
【ﾊﾞｯﾁ式】 実験用 金属焼結等 （MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値） 排気系：RP
＋PMB
2000年以前製。 ﾗﾝﾌﾟ型式：L258 物件番号：KBG711 基板ｻｲｽﾞ：□
100 使用時間：3407ｈｒ 仕様書・取説・図面あり。
仕様書・取説あり（R棟保管）、図面なし。
φ4ｲﾝﾁ ～1300℃
φ4ｲﾝﾁ ～1250℃
<フォトリソグラフィー工程装置>
中古品番号
RS12-1375
RS14-2296
RS12-2087
RS14-2278
RS14-3048
品名
ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ﾏｽｸｱﾗｲﾅ装置
型式
U/N
Q-4000
MPA-600Super
ML-300LF （ﾊﾞｯﾁ式）
MA8/BA8
メーカー
SANYO
Quintel
CANON
ﾙﾐﾅｽ
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
製造番号
製造年
114
UM031046
MA8BA8-001104
2001
2004
2007
2008
RS14-2277
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
M-2L （ﾊﾞｯﾁ式）
MIKASA
829
2003
RS13-3121
RS11-1245
ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置
TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置
EVG620
ELS7500EX
EVG
ｴﾘｵﾆｸｽ
S020115
H35-019
2003
2008
5
備考
試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300
光束：160ｍｍ
試料ｻｲｽﾞ：110ｘ110
図面あり。
水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W
光束：160ｍｍ
仕様書・取説・図面あり。
水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W
仕様書・取説・
装置停止時期：2013/12/初旬 仕様書・取説あり
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
<コーター・デベロッパー>
中古品番号
品名
型式
RS14-4034
ｺｰﾀｰﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
SK-W80B-BVP
RS14-2276
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
MS-A500 （ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-8033
RS14-8034
RS13-3019
RS12-1385
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ
卓上型現象装置
1H-DX2
1H-DX2
DELTA80T2
メーカー
製造番号
DNS
38700-6637
MIKASA
-
ﾐｶｻ
ﾐｶｻ
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
ﾐｶｻ
2689E003
2377AA508
-
製造年
備考
2コーター、2デベロッパー。 2014/11月末まで稼働。 不具合・欠品なし。 8"仕様 （6"
以下も可）
2000年以前製。 試料ｻｲｽﾞ：最大350ｘ350ｍｍ基板 ｽﾋﾟﾝ室内径：φ500ｍｍ 回
転数：20～2500ｒｐｍ （350ｘ350基板の時は2000ｒｐｍまで） ｽﾃｯﾌﾟ・ﾊﾟﾀｰﾝ数：100ｽﾃｯ
ﾌﾟｘ10ﾊﾟﾀｰﾝ 仕様書・取説・図面あり。
2005
2006
取説あり
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
中古品番号
RS12-2022
RS12-1396
RS12-1087
RS12-1088
RS13-3130
品名
X線解析装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｴﾊ表面検査装置
ｳｴﾊ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
型式
X Pert MRD
WM-3000FOUP
WM-2500
WM-2500
WM-1700
RS12-1422
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
メーカー
Panalytical
TOPCON
TOPCON
TOPCON
TOPCON
製造番号
DY2576
00350074
00110021
00110022
207013
ﾄﾌﾟｺﾝ
01250019
製造年
備考
2001 状態良好
2005 12インチウエハ対応
2001
2001 Smif200mmｳｴﾊ専用 0.079μmﾊﾟｰﾃｨｸﾙの測定が可能
1997
2013/4まで稼動し特に問題なく動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書：
なし 取説：なし
2013/4まで稼動し特に問題なく動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書：
なし 取説：なし
2014/1/末まで通電・使用 欠品・不具合なし
ﾄﾌﾟｺﾝ
000370032
1997
ｱﾙﾊﾞｯｸﾌｧｲ
SII
11.100.367.000.007
1997
2006
ﾃｸﾉｽ
172R-046
2004
電気：AC200V 30A（本体）、15A（送水装置） 冷却水：25L/min
真空：15NL/min 取説あり。
1999
電子顕微鏡（ＳＥＭ） MFG No.114H2198-01
ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ
M-002
2003
魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を濃淡画
面で表示する
Rigaku
Rigaku
Rigaku
WD2876N
UD2903N
YD2780N
2002
2002
2002
AL110-MB86
OLYMPUS
D0306008
ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ
ｳｴﾊ異物検査装置
蛍光X線分析装置
AL110-L86
EDX-720
OLYMPUS
ﾀｲﾖｰ電機
島津製作所
A008010
Q23644602507AE
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ
-
TOPCON
-
RS12-1424
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
RS13-1040
RS12-1384
飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装
置
TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式）
ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB)
SMI3050
RS14-2265
X線反射率・組織分析装置
S-MAT2000F（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
RS12-1322
SEM
S-3000H
HITACHI
RS12-2062
魔境検査装置
MIS-110
RS14-2282
RS14-2283
RS14-2281
X線解析装置
X線解析装置
X線解析装置
ATX-E
ATX-E
ATX-E
RS14-4174
ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ
RS14-4169
RS13-3018
RS14-3121
RS12-8060
窒素：15NL/min
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定に最大30度まで傾けられるハンドリ
ング機構付。裏面検査も可能
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き
2007
状態良好。
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ（内訳）・発振器 型式：DLG3110 1個・電源: 型式：GLS3140 1個・ファン1個、
ダクト1個
<膜厚測定・抵抗測定装置>
中古品番号
RS14-4102
RS12-2067
RS14-2297
RS14-4133
RS12-1404
RS12-1374
品名
光干渉式膜厚痩躯亭装置
全自動4探針装置
ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
段差計
FT-IR
FT-IR
型式
ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000
WS-8800
SD2300
P-15
Nicolet4700
IRP restige-21
RS13-3165
分光ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
GES5e
RS13-3163
膜厚力/ｳｪﾊ反り測定装置
FSM 128L
RS14-8032
RS14-2243
段差計
接触式表面段差測定器
DEKTAK-3ST
Dectak3
RS13-3162
水銀ﾌﾟﾛｰﾊﾞ
CVmap 3093A
メーカー
DNS
ﾅﾌﾟｿﾝ
PLAS-MOS
KLA
Thermo
島津製作所
Sopra(現日本ｾﾐﾗ
ﾎﾞ）
Frontier
Semiconductor
ULVAC
ULVAC
Four Demension
Inc.
製造番号
60730-0304
U/A
40810496
604119287
AFZ0400155
無し
61H##3608
製造年
備考
2001 非接触式膜厚測定器、一部故障あり
2012 購入後未開封で未使用の装置
1996
2004
ビデオカメラボード故障にて修理対応中
フーリエ変換型赤外分光光度計
フーリエ変換型赤外分光光度計 別途PCあり
2008
CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV 190-900nm 使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用
取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨 12インチウエハ対応
膜剥がれ、ﾋﾛｯｸ、ﾎﾞｲﾄﾞ形成等 使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用 取説
有り12インチウエハ対応 動作確認済み、正常稼働。
060629-652
21114
20285
1993
動作未確認。 本体+PC（ｿﾌﾄ付）、欠品なし。 部品取り対応用。 取説あり。
0903313093A
2009
2点ﾌﾟﾛｰﾌﾞ方式でC-V、I-V測定 使用履歴：2014/2月まで評価用途で使用
取説有り12インチウエハ対応
メーカー
製造番号
製造年
不明
-
溝尻工学
ICOS
7089
W2-2H019
2008
外観検査室が2室あり、量産性に優れる。
ICOS
H2.2-H005
2007
RS14-4094へのパーツ機として活用予定
<外観検査装置・その他計測器>
中古品番号
品名
RS14-4140
ﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
RS12-1410
RS14-4094
微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置（部品取り
WI-2000
機）
RS14-4098
型式
特型（半導体ﾊﾟﾗﾒｰﾀｱﾅﾗｲｻﾞｰ
4155C付）
型式不明
WI-2000
RS14-4124
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-6555
NIKON
1322183
RS14-4101
RS14-4100
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-3020
VM-250
NIKON
NIKON
1302262
-
RS14-4121
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4302
TOPCON
00264303
RS14-4084
RS14-4085
RS14-4091
RS14-3035
RS14-2347
RS04-8096
RS04-8097
RS14-4120
RS14-4110
RS14-4104
RS14-4187
RS14-4099
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
オシロスコープ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
蛍光X線検査装置
ICP発光分光分析装置
外観検査
VI-4200
VI-4200
VI-4200
UF60
SS-7802A
SS-7602(20Mｈｚ）
SS-7602（20Mhz)
SP-500BW300
SP-500BW
SEA1200VX
Rigaku CIROS CCD
OPTISTATION V
TOPCON
TOPCON
TOPCON
東京精密
IWATSU
IWATSU
IWATSU
東ﾚ
東ﾚ
SII
Rigaku
NIKON
00654036
00654037
00144018
515625579
52277869
52277872
01250002
A1012762026
-
6
備考
IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテストが可能。
低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存しない。パッケージや基
板、マスク等の測長に最適。
2001
ウエハ上の寸法測定を行う装置
ウエハ上の寸法測定を行う装置
最高検出性能0.65μｍ。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、ダイシング後な
ど幅広検査工程に使用可能
2005
2005
2004
2006
2000
一部故障あり
8インチ生産 動作確認済み、故障個所あり。
一部故障あり
仕様書あり。
スキャンモニター付 IPZ-5001用部品 付属 電源ケーブルのみ
2005
2005
2008
バンプ等の高さを測定する装置300mm対応
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
多元素同時分析が出来るICP質量分析装置
1997
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
中古品番号
RS12-1387
品名
ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置
型式
NM-0402
RS14-4103
非接触三次元測定装置
NH-4N
2015年9月20日現在
メーカー
明昌機工
製造番号
製造年
2006
ﾐﾀｶ
7114
2003
2007
RS12-1411
非接触三次元測定装置
NAFS3070P
日本技術ｾﾝﾀｰ
17591007
RS14-4119
自動外観検査装置
Falcon300
Camtek
82004
RS14-2290
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
DP07054
Tektronix
B010319
RS14-4112
強度測定装置
DAGE5000
DAGE
2049294
RS14-3036
RS14-4097
RS14-4118
RS14-3049
RS12-1369
RS14-8029
RS04-8036
RS04-8037
ﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
半導体検査顕微鏡
半導体検査顕微鏡
ﾗﾎﾞﾌﾟﾗｽﾄﾐﾙ装置
ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ
ITOｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
A-PM-60B
AL2100-COM
AL2100-COM
4C150-01
2010
-
東京精密
OLYMPUS
OLYMPUS
東洋精密製作所
Mertricon
-
F00602GW
312001
312002
C-111802305
22184
2247186
51476829
2002
2003
2003
2009
メーカー
サクラ精機
三社電機製作所
大日本ｽｸﾘｰﾝ
SEMITOOL
製造番号
09020988
4H30004
55700-6949
C175815
製造年
2009
2008
ｴｱﾌﾞﾗｳﾝ
-
ｾﾐﾂｰﾙ
ｾﾐﾂｰﾙ
10401,2
10401,1
ｴｱﾌﾞﾗｳﾝ
-
備考
ウエハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体のそり、うねり形状を測定す
る装置
後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ測定ではウエハ全面3次
元（3D）計測にも強み
2008
実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェアテスト等がワンタッチ交換で可能な
装置 動作確認済み、故障個所あり。
資料なし。
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定
<洗浄装置>
中古品番号
RS14-3051
RS14-3050
RS11-1036
RS14-4069
品名
流水洗浄装置
手動3槽式ｼｬﾜｰ洗浄装置
両面ｽｸﾗﾊﾞｰ
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
型式
YW-00S-RH
WBTA03-W12
SS-W60A-AR
SRD-470S
RS14-2270
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
SPD-160RN （ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-8035
RS14-8036
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
PSC-101
PSC-101
RS14-2273
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
H-840SA （ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-4132
RS12-1392
RS12-1317
RS12-1310
RS14-4177
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
ｳｪﾊ洗浄装置
ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ
ｽｸﾗﾊﾞｰ
H1120RNN
EVG301
ETN-1100-110
160RN
SS-W80A-AV
ﾐｸﾛ技研
EVGｼﾞｬﾊﾟﾝ
ETS
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
DNS
K0371
S050012
H9903-0437
9806090
-
型式
UFP200A
メーカー
荏原製作所
製造番号
R030070401
備考
状態良好。
1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー
2000年以前製。 基板ｻｲｽﾞ：直径50～150ｍｍｘ1 回転数：槽内洗浄0～1500ｒｐｍ
ﾄﾞﾗｲ0～3500ｒｐｍ （直径150ｍｍ以上は、3000ｒｐｍ以下） ﾀｲﾏｰ：槽内洗浄0～999秒
1速 可変0～999秒 2速 可変0～999秒 仕様書・取説・図面あり。
2000年以前製。 ｸﾚｰﾄﾞﾙ定位置停止・回転 基板ｻｲｽﾞ：直径150ｍｍｘ4 直径200
ｍｍｘ2 回転数：1速300ｒｐｍ 2速600ｒｐｍ MAX800ｒｐｍ ﾀｲﾏｰ：1速 可変0～
999秒 2速 可変 0～999秒 仕様書・取説・図面あり。
12インチ対応スピンドライヤー
2005
2槽式(ﾌｯ素・水）
成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能
<めっき装置>
中古品番号
RS14-4070
品名
Cuめっき装置
製造年
2003 6，8インチ対応、Cuめっき
備考
製造年
備考
<顕微鏡>
中古品番号
RS14-8050
RS14-8049
RS14-8051
RS14-4080
RS14-4081
RS12-1344
RS12-1347
RS14-8046
RS14-8047
品名
実体顕微鏡
金属顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
金属顕微鏡
金属顕微鏡
型式
汎用
汎用
汎用
SZ-STS
SMZ800
OPTIPHOTO-2
OPTIPHOTO-150S
OPTIPHOT 150S
OPTIPHOT 150S
メーカー
ﾐﾂﾄﾖ
NIKON
OLYMPUS
OLYMPUS
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
製造番号
SZ1145
1007632
153664
9102843
9102612
9102568
RS14-4176
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24406
RS14-4195
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24037
RS14-4143
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
0A06632
RS14-4149
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4D19047
RS14-4157
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
0C00889
RS14-4196
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4E13791
RS12-1343
RS12-1345
RS14-8045
RS14-8048
RS12-1341
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
金属顕微鏡
金属顕微鏡
汎用顕微鏡
MM60
MM-22
I-200
BH2-UMA
AVT-45SC
NIKON
NIKON
NIKON
OLYMPUS
明立精機
2202349
10031
610329
542261
メーカー
SHUWA
SHUWA
SEMITOOL
岡本工作機械
SHUWA
製造番号
T238923
7039
-
製造年
ｼﾁｽﾞﾝ精密
-
2005
実体顕微鏡
8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12
汎用顕微鏡
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。12インチまで対応可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。12インチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。8インチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。8インチ全面観察可能。ローダー付
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。8インチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微
鏡。8インチ全面観察可能
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
<後工程・実装装置>
中古品番号
RS14-8038
RS14-8039
RS14-4116
RS12-1376
RS14-8037
品名
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
剥離装置
CMP
ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾏｼﾝ
型式
SW-07
SW-07
SST300
SPP600S
SGM-6301
RS14-2279
ｶﾞﾗｽｽｸﾗｲﾊﾞｰ
SC-451CP （ﾊﾞｯﾁ式）
12インチ用スプレー洗浄装置
1999
RS14-4136
印刷機
MK-838SV
MINAMI
-
RS14-3039
印刷機
LS-34TVA
063-1612
2008
RS13-3134
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0067
2006
RS13-3135
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
NEW LONG
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
20RT0078
2006
7
備考
ﾜｰｸﾃｰﾌﾞﾙ：□480ｍｍ ｶｯﾀｰﾕﾆｯﾄ：ｽﾗｲﾄﾞｽﾄﾛｰｸ 480mm、 送り速度
43～540mm/seｃ 動力関係：ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰ 仕様書・取説・図面あり。
マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下で
CSPバンプΦ0.05mmに対応します。
仕様書あり。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
中古品番号
品名
型式
RS13-3136
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
RS14-3038
ﾎﾞﾝﾀﾞ
FA1000
RS14-4192
ﾃｰﾌﾟ貼り機
DAM-812M
RS14-8028
ALｳｪｯｼﾞﾎﾞﾝﾀﾞｰ
4523-AD
2015年9月20日現在
メーカー
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ADWELDS
製造番号
製造年
20RT0082
2006
-
2009
ﾀｶﾄﾘ
78144
2003
Kulicke&soffa
-
備考
仕様書あり。
ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応のセミオート
装置
<ＵＶ装置>
中古品番号
品名
RS14-3026
UVｷｭｱ
RS12-1379
RS14-8030
UVｼｮｳｼｬｷ
ｵｿﾞﾝUV照射装置
型式
UMA-1002-HC93SMV
（Casette to Casｓette）
UV-1F
UV-300
メーカー
製造番号
製造年
ｳｼｵ電機
9701006
1998
ｻﾑｺ
SAMCO
24A1643
22A1336
2003
メーカー
武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
製造番号
1M010002412
メーカー
備考
CtoC装置8インチSMIF仕様
<ディスペンサー装置>
中古品番号
RS11-2027
品名
ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
MS-1
製造年
2010 15時間程度使用後、保管状態
備考
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
2009 【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】 蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
<イオンミリング装置>
中古品番号
品名
型式
<その他真空装置>
中古品番号
RS13-1010
品名
分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置
型式
-
メーカー
Eico
製造番号
-
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
ULVAC
ZF93-5301
RS13-2201
凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
RS12-1389
凍結乾燥装置
JFD-310
ULVAC
MF99-5104
2000
棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、 乾燥時加熱温度：常温～８０℃
（打点記録計は故障中）
【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2 棚冷却到達温度：約－４５℃以下 棚
温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃
日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ
JK121026-129
2002
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装
1994
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
中古品番号
RS12-1357
RS14-8040
RS14-8041
品名
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
型式
無し
DC-1802BEW-Ⅱ
DC-1802BEW-Ⅱ
メーカー
IUCHI
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
RS12-1350
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1351
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1353
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
製造番号
無し
-
RS12-1354
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS14-4095
RS14-4137
RS12-1361
RS12-1362
RS12-1364
RS12-1355
RS12-1368
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ﾃﾞｼｹｰﾀｰ
-
ﾀﾞﾙﾄﾝ
ｱｽｸﾙ
IUCHI
IUCHI
IUCHI
NIKON
-
メーカー
OKUDAYA
製造番号
152183
製造年
備考
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
W800ｘD700ｘH1800 （作業面W760ｘD610） 作業面環境
HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800 （作業面W760ｘD610） 作業面環境
HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800 （作業面W760ｘD610） 作業面環境
HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800 （作業面W760ｘD610） 作業面環境
HEPA要交換
美品
程度良
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
外寸：W1900*D820*H1540内寸：W1740*D720*H650
ｸﾗｽ100対応、
ｸﾗｽ100対応、
ｸﾗｽ100対応、
ｸﾗｽ100対応、
<その他>
中古品番号
RS14-4194
品名
手動式ﾘﾌﾀｰ
型式
PL-H500-15
RS14-2267
ﾊﾞｷｭｰﾑｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
MDB-1.5B
美和製作所
16102
RS14-1169
ﾈｵｺﾞｰﾙﾄﾞ
RCT-501S
新明和
DL050507
製造年
2004
備考
3本手仕様 排気系：D-650DK
16102） 取説あり。
ｶﾞｽ循環生成装置 MS3-P60SN（S/N：
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本体のみ。 吸
引ｶﾞｽ：Ar 冷媒：HCFC系混合冷媒 3組 200V 50/60Hz 3.75KW
RS14-4179
ｼｰﾗｰ
V-402-10W
富士ｲﾝﾊﾟﾙｽ
049001A
RS12-1029
RS09-1467
RS11-2466
ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｽﾃﾑIFﾎﾞｯｸｽ
ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
-
ULVAC
ULVAC
美和製作所
2004AA003634-101
2001
MF98-1018付属
1998
製造年
2004
2013
2013
2006
2012
2005
卓上型の脱気シーラー(脱気包装機)。部品・精密機器などの酸化防止等
に活用可能
NE-5500付属 2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
<油回転真空ポンプ>
中古品番号
RS15-2007
RS15-2002
RS15-2003
RS15-2004
RS15-2005
RS15-2006
RS14-1261
RS14-2068
品名
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
VS-2401
VS-2401
VS-2401
VS-2401
VS-2401
VS-2401
VS1501
PVD-360B
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
A36A-02899
A36B-00305
A36B-00307
A36A-04206
A36A-02905
A36A-07025
A35A-01289
-
RS14-2247
RS14-2249
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-030
PKS-030
ULVAC
ULVAC
4-00678
4-00047
RS14-1104
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-016
ULVAC
2-04634
RS10-8092
RS10-8093
RS14-8023
RS14-1255
RS14-1254
RS14-8056
RS14-8055
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
GLD-100
GLD-100
EC602
D-650K
D-650K
D-650DK
D-650D
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
72971
72975
2-00426
A02B-02263
A02B-02262
A03A-01334
1-04108
8
備考
危険物吸引なし。
使用履歴：熱処理炉にて使用、付属品：TMX-1
1979
程度下。 ﾓｰﾀｰなし。 要O/H。
程度下。 ﾓｰﾀｰなし。 要O/H。
使用履歴：真空熱処理炉に使用 ﾓｰﾀｰ200V（50/60Hz共用） ﾓｰﾀｰﾌﾟｰﾘｰ50Hz用 本
体のみ 付属品：TM-2あり
2002
2002
1991
1955
未整備（油漏れあり）
未整備（油漏れあり）
動作未確認
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属 吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属 吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-1144
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
2021SD
ALCATEL
AM633075
RS14-1143
RS15-1007
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
2015SD
VD301
ALCATEL
ULVAC
619757
NB063B-00125
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
2015年9月20日現在
製造年
備考
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ 100V/200V（単相）切替可能、未使用品
取説あり
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ 100V/200V（単相）切替可能、未使用品
<油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
RS11-1259
RS09-1573
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
RS12-1067
品名
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
型式
TM-2
TMX-2
TYPE EFOU
TYPE EFOU
TYPE EFOU
TYPE EFOU
製造年
備考
2009 PKS-016用 ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要 【全2台】
2071507
2070438
2070483
2070935
2002
2002
2002
2002
状態良好
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
<油拡散ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS12-1247
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、1200W、動作未確認、水冷
ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、 200V、1200W、動作未確認、水
冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、 （排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
RS12-1251
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000
RS14-2216
RS14-2217
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
PFL-36
PFL-36
ULVAC
ULVAC
1-00391
1-00392
2003
2003
RS14-2255
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
DPF-14Z
DIAVAC
940769
RS13-2004
RS14-2073
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
6in 水冷ﾊﾞｯﾌﾙ
CDP-3700
ANELVA
ULVAC
1539
本体のみ、付属品なし
本体のみ、付属品なし
程度中。 200V 3φ 4500W。 500L/sec ｵｲﾙ1600ｃｃ 水量7/min 要
O/H。
スパッタ装置SPC-530Hに使用（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
※新品未使用品
<メカニカルブースターポンプ>
中古品番号
RS13-3083
RS13-3084
RS13-3085
RS11-2064
RS11-2065
RS10-2616
RS14-1264
品名
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012A
PRC-003A
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
A69A-02711
A69A-02723
A69A-02718
A69A-02720
A69A-02719
A69A-00815
A67A-00549
RS10-2170
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-012CM
ULVAC
A17A-01174
RS14-1142
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-006C
RS13-8130
RS13-8129
RS14-8054
RS12-1223
RS14-3079
RS14-3080
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
PMB-001CM
PMB-001CM
EH500
SMB-C06
SMB-C06
ULVAC
A14A-01218
ULVAC
ULVAC
ULVAC
EDWARDS
神港精機
神港精機
A11A-03318
A11A-01405
1-00273
006700640
280856
280855
製造年
備考
排気速度：16700L/m 吸気口：VG-100 付属品無し
排気速度：16700L/m 吸気口：VG-100 付属品無し
排気速度：16700L/m 吸気口：VG-100 付属品無し
排気速度：16700L/m 吸気口VG100
排気速度：16700L/m 吸気口VG100
排気速度：16700L/m 吸気口VG100
危険物吸引なし。
排気速度：16700L/m 吸気口VG100 ,大気駆動型 ﾌｫﾝﾌﾞﾘﾝ仕様（要無害
化処理）
本体のみ 使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機 ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使
用） 要無害化洗浄
吸引物質：H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
吸引物質：H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
1990
温度計破損
状態良好。新品未使用
状態良好。新品未使用
<クライオポンプ ULVAC製>
☆
中古品番号
RS15-1043
RS04-8001
品名
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟｾｯﾄ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
U12HSP/C30V
U8H-U
メーカー
UCI
ULVAC
製造番号
0007337VC2210
703506
製造年
2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ
RS14-2082
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202266
2012
2012
RS14-2083
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202267
RS14-1268
RS14-1269
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
U8HSP
UCI
UCI
0612427
0612428
RS14-1016
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
9401413D
2000
2000
RS14-1017
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
94062980
RS09-1023
RS11-2546
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
U-6H
U-6H
ULVAC
ULVAC
9508243
☆
本体のみ 吸気口：VG MBS-C ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ 冷凍機：RM10
（S/N:RMQB958H）
本体のみ 吸気口：VG MBS-C ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ 冷凍機：RM10
（S/N:RMQB957H）
危険物吸引なし。
危険物吸引なし。
RS14-2184
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20P
ULVAC
1204822
2012
RS14-2200
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20P
ULVAC
1311883
2012
RS14-2158
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20HL
ULVAC
1203587
2012
2012
RS14-2159
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20HL
ULVAC
1203586
RS14-2041
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-20H
ULVAC
0408159
RS14-2189
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U16P
ULVAC
1103616
2012
RS14-2080
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202922
2012
RS14-2081
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202923
2012
RS14-2160
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1203930
2012
RS08-2698
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
9601334
RS13-3039
RS13-3035
RS13-3036
RS13-3040
RS13-3044
RS13-3045
RS13-3046
RS13-3048
RS13-3049
RS13-3051
RS13-3053
RS13-3054
RS13-3055
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0609016
0609014
0609015
0809025
0609029
0609030
0609031
0609033
0609034
0609040
0609019
0811539
0811540
9
備考
本体のみ 水素蒸気圧温度計付 冷凍機：R10（RC G035 LGA） 吸気
口：UVG-200
本体のみ 水素蒸気圧温度計付 冷凍機：R10（MB B395 LG） 吸気口：
UVG-200
排気速度：750L/S 吸気口：VG150
U-6H用バンドヒータ 【2式】
本体のみ MBS-C 吸気口：VG. 冷凍機：RM50T （S/N:RMTC108 3PT)
ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ付属なし
★未開封・未使用品★ 吸気口：VG
本体のみ 吸気口：VG
(S/N:RMUB337 3PT)
本体のみ 吸気口：VG
(S/N:RMUB336 3PT)
付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、 冷凍機：RM80T
付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、 冷凍機：RM80T
ﾓｰﾀｰR80(RLB1643P) 3相ﾓｰﾀｰ AC200V
本体のみ 吸気口：VG MBS-C 冷凍機：RM50T (S/N:RMTB776 3PT)
ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ付属なし
本体のみ 吸気口：VG MBS-C ﾍﾞｰｶﾞﾙﾀｲﾌﾟ 冷凍機：RM20
（S/N:RMSB436）
本体のみ 吸気口：VG MBS-C ﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ 冷凍機：RM20
（S/N:RMSB435）
本体のみ 吸気口：VG
付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、 冷凍機：RM20
排気速度：4100L/S、吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ、低振動ﾓｰﾀｰ、ｱﾅﾛｸﾞ水素
蒸気圧計 付属品：ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し（ﾎﾟﾝﾌﾟ単体）
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
排気速度：4100L/S 付属品無し
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
中古品番号
RS05-2009
RS07-2727
品名
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ（2台）
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
U-12HL
U-10PUS
メーカー
ULVAC
ULVAC
製造番号
9205822/9302893
9310064
RS13-8100
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U10PUS
ULVAC
0101221
RS10-8096
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9308805
RS10-8097
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9308806
RS10-8098
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9305795
RS13-8030
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U10PU
UCI
9403834
RS12-8056
RS11-8109
RS11-8133
RS14-2087
RS11-8035
RS14-2203
RS14-2205
RS13-8104
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵ・ﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
U10PU
T8SN
U8SN
T16FBH
STC-1（INV)
RM20
RM10
MBD
ULVAC
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
9208749
0103767
0005540
1202247
S-0823A
RMSB671
RMQD318H
00121836N
RS11-2238
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ （SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912441
RS11-2239
RS12-1174
RS12-1175
RS12-1176
RS14-8062
RS14-2135
RS14-2136
RS14-2137
RS14-2138
RS14-2139
RS14-2140
RS14-2141
RS14-2142
RS14-2143
RS14-2145
RS14-2165
RS14-2166
RS14-2192
RS14-2193
RS14-1270
RS12-8052
RS14-1275
RS15-1005
RS15-1006
RS15-1004
RS13-8115
RS07-3002
RS14-2102
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ (SUPER TRAP)
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾓﾆﾀｰ
CRYO-T8C
C30ZR
C30ZR
C30ZR
C30V
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PMVRT
C30PMVRT
C30MVR
C30
C10
U6H
U6H
C30MVER
C15V
U-22H
STC-2A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
UCI
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
UCI
ULVAC
UCI
UCI
UCI
UCI
ULVAC
ULVAC
ULVAC
9912442
CS1235
CS1199
CS1290
VC1825
XP2875B
XP2872B
XP2876B
XP2868B
XP2849B
XP2851B
XP2866B
XP2863B
XP2848B
XP2862B
XP2743B
XP2769B
XQ1075B
XQ1095B
KXK1130G
CC1606
CW3052
9511261D
9511262D
XA1010G
VE1108
0108289
1201119R
2015年9月20日現在
製造年
備考
排気速度：2300L/S 吸気口：VG250 温度計：H2VP
排気速度：2300L/S 付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10) 温度
計：MBS-2 冷凍機：R15（RG B166 LG） 吸気口：VG250
SCV-3030より抜取り 排気速度：2300L/S 水素蒸気圧温度計付 冷凍機：
RS10(RC4410) 吸気口：VG250
SCV-3030より抜取り 排気速度：2300L/S 水素蒸気圧温度計付 冷凍機：
RS10(RC4393) 吸気口：VG250
SCV-3030より抜取り 排気速度：2300L/S 水素蒸気圧温度計付 冷凍機：RS10
（RC4380） 吸気口：VG250
排気速度：2300L/S 温度計：MBS-2 冷凍機：R10（RC B171） 吸気口：VG250 付属
品なし（本体のみ）
1992
MBSｾﾝｻｰ
1999
2012
本体のみ ﾌﾗﾝｼﾞ：VG 熱伝対ﾀｲﾌﾟ 冷凍機：RMS50 （S/N:RMEB086)
2012
2012
★未開封・未使用品★
★未開封・未使用品★
付属品S/N:RFB220LG 本体のみ 冷凍機：RS10（RF B220 LG）
ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
本体のみ 冷凍機：RS10（RF B222 LG) ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
2001
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
1992
2012
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
積算時間：19349.9ｈｒ
積算時間：19186.0ｈｒ
積算時間：19328.0ｈｒ
積算時間：19157.0ｈｒ
積算時間：19298.7ｈｒ
積算時間：19587.0ｈｒ
積算時間：19461.8ｈｒ
積算時間：19157.3ｈｒ
積算時間：19153.8ｈｒ
積算時間：19304.2ｈｒ
積算時間：19838.0ｈｒ
積算時間：19215.5ｈｒ
He圧：1.5MPa
He圧：1.5MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.5MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.5MPa
He圧：1.5MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.4MPa
He圧：1.4MPa
本体のみ 積算時間：19916.6ｈｒ He圧：1.4MPa 2又付（一式）
本体のみ 積算時間：19910.3ｈｒ He圧：1.4MPa
危険物吸引なし。
ﾌﾚｷﾎｰｽ（3ｍ） 積算時間：70594ｈｒ
危険物吸引なし。
排気速度：17000L/S、吸気口：VG550、温度計：MBS、本体のみ。
本体のみ
<クライオポンプ ULVAC製以外>
中古品番号
RS14-8002
RS14-8004
RS14-8005
RS14-8006
RS14-8007
RS14-3067
RS14-8013
RS14-8014
RS14-8015
RS14-8016
RS14-8017
RS14-8018
RS14-8019
RS11-2237
RS11-2236
RS14-3059
RS14-3060
RS14-3061
RS14-3062
RS14-3063
RS12-1407
RS11-2230
RS11-2231
RS11-2232
RS14-3057
RS14-3068
RS14-3069
RS14-3058
RS14-3064
RS14-3070
RS14-3071
RS14-3065
RS14-3066
RS14-3072
品名
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
型式
9600
9600
9600
9600
9600
C200G
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ONBOAD WATER PUMP
ONBOAD10Ｆ
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SLP-22CD
Torr 8F
Torr8F
Torr8F
SA12SJ-01SーE
C200G
C200G
SA12SJ-01SーE
SA16SJ-01S
C200G
C200G
SA16SJ-01S
SA16SJ-01S
C200G
メーカー
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
ｱｲｼﾝ
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
HELIX
HELIX
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
ｱﾈｽﾄ岩田
HELIX
HELIX
HELIX
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
製造番号
94B9806485
94B9806472
94D0010828
94D0010858
94D0010856
05431101
106C0001401
106H9901183
106C9901108
ｋ042581
106E0202064
C0302250
S/N：MK9709651
S/NQK9709711
P064016
P064017
P064013A
P064012A
P072023
ED0033
S/N:70H9638328
S/N70Ｃ9529467
S/N70C9530128
P064018
06432311
06432216
P064014
P064008
06432309
06432301
P064009
P064011
06432179
製造年
製造年
備考
He残圧低下により要修理
He残圧あり、動作確認済み。
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
状態良好。He残圧0の為、要修理。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
UFC-253
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3068）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3057）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3058）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3069）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3070）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3064）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3065）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3071）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3072）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3066）
<ターボ分子ポンプ ULVAC製>
中古品番号
RS15-2014
RS15-2015
RS14-1284
品名
ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
FT-3303W
FT-3303W
UTM-150B
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
XPB-0027
RS13-2149
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0081
10
備考
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ
危険物吸引なし。ﾎﾟﾝﾌﾟ本体･ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ･ｹｰﾌﾞﾙ付。
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2150
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0083
RS11-2535
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌ+ﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM1200FW
ULVAC
RS13-2142
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
RS13-2145
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
RS13-2147
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
RS13-2148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
RS13-2025
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0219
RS13-2026
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0220
RS13-2027
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0221
RS13-2028
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0207
RS13-2021
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0148
RS13-2101
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD3B
ULVAC
2300F0412
RS13-2179
RS04-8049
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP
UTM-500FW
UTM-300
ULVAC
ULVAC
050F016
030P460
2015年9月20日現在
製造年
2008
備考
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
動作未確認軸ｵｲﾙは入っていない ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きﾌﾙｾｯﾄ
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰ
ﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰ
ﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰ
ﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰ
ﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰ
ﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD非ガス雰囲気で使用付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、 電源ｹｰﾌﾞﾙ、
TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ） 排気口：NW40
<ターボ分子ポンプ ULVAC製以外>
☆
☆
中古品番号
RS15-1041
RS15-1042
RS14-1283
RS14-1011
RS10-2660
RS14-2015
RS14-2016
RS14-2017
品名
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
型式
TMP-1003LM/EI-1003M
TMP-1003LM/EI-1003M
EI-D203M
EI-1003M
EI-D1303M
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
メーカー
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
製造番号
FZM-543
製造年
2000 ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
2000 ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
RKD109
RKD110
RKD112
2009
2009
2009
1997
MKA036
FZS393
RS11-1202
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
STP-300
EDWORDS
1084A
RS14-8043
RS13-2181
RS14-2161
RS08-8008
RS10-8002
RS13-1011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG-1003VM-70
TG1810VM
TG2400MVWB
TMP-1003
TMP-1003LM
TMP-1003LM
大阪真空
大阪真空
大阪真空
島津製作所
島津製作所
島津製作所
658
G1810-1292
639
CZM045
DZM031
NZM230
RS13-1120
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ +ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ TMP-1003LM + T8SN
島津製作所/UCI
BM02 + 0109836
RS14-1151
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-2003MC
島津製作所
NZN818
RS09-1474
RS08-8011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-202LM
TMP-403LM
島津製作所
島津製作所
9006
FZL182
RS14-1175
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-464
RS14-1176
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-466
RS14-1010
RS11-2253
RS11-2254
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803MC
TPU1501PC
TPU1501PC
島津製作所
PFEIFFER
PFEIFFER
LZM-167
13882198
14072840
RS13-2180
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TURBOVAC361C
ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
2-900097589
製造番号
備考
☆
☆
危険物吸引なし。ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ本体のみ。
本体のみ
【2台】
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
空冷式ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ STP-300（SCU-300）、 TMP⇔ｺﾝﾄ
ﾛｰﾗ間ｹｰﾌﾞﾙ（8m)、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）AC POWERｹｰﾌﾞﾙ欠品
本体のみ、水冷式、吸気口：VG250 排気口：NW40、ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し
2012
本体のみ 吸気口：VG 水冷式
2009
付属品：ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ （EI-1003M）（S/N:CZS-139） TMP
CNOT、ｹｰﾌﾞﾙ無し ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF-253 ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ：
ICF-253、VG-200
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ 型式：EI-D2003M（LFV3) S/N:NKE805、I/Oｺﾈｸﾀ・電
源ｹｰﾌﾞﾙ（2ｍ）、ﾓｰﾀｰｹｰﾌﾞﾙ（10ｍ)、磁気軸受ｹｰﾌﾞﾙ（10ｍ）付属 吸引ﾌﾗﾝ
ｼﾞ：VG250 空冷・ｹﾐｶﾙ仕様 吸引物質：ﾘﾝ・ﾎﾞﾛﾝ 要無害化洗浄
1995
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ置にて使用 停止前状況：予備として保管 吸引ｶﾞｽ：Ar
吸気口：VG150 水冷 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ EI-D303M (LFU1)、
（S/N:NKB455）、ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用 停止前状況：予備として保管 吸引ｶﾞ
ｽ：Ar 吸気口：VG150 水冷 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ EI-D303M （LFU1）
（S/N:NKB339)、ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。
本体のみ
2006
ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N：PMP03697
ICF-306 NW-40 水冷 本体のみ M/N：PMP03697
本体のみ水冷式吸気口：VG150 排気口：NW25 取扱説明書無し TMPコ
ントローラ：TC-400付き 電源ｹｰﾌﾞﾙ切断（1ｍ）、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断（3ｍ) 、ﾎﾟﾝ
ﾌﾟ⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ間ｹｰﾌﾞﾙ(4m) CVD装置の予備ポンプ
<ドライポンプ>
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-1053
RS15-1051
RS15-1052
RS14-1007
RS14-1008
RS14-1009
RS12-1329
品名
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
SDE90U-20
SDE90U-024
SDE90U-020
SD60VⅡU-189-50
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
樫山
樫山
樫山
樫山
製造年
2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ
2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ
2002 本体+ｹｰﾌﾞﾙ
RS12-1326
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU-079-50
樫山
RS12-1328
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU079-50
樫山
RS12-1327
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡ
樫山
00K5811
RS14-1138
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
ULVAC
A93A-00545
RS14-1137
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CL
ULVAC
A93A-00291
RS14-2213
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
MU300-102
樫山
13ZDN71515
RS14-8024
RS14-8025
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
MU300-005
MU300-002
樫山
樫山
06D0543
04J0221
RS13-8131
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR60
ULVAC
A00A-00237
RS14-2208
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00035
2012
RS14-2176
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00016
2012
RS14-2177
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00019
2012
RS14-2178
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00020
2012
00J0321
01C0605
05J4203
00K5878
11
2012
備考
☆
☆
☆
本体のみ
本体のみ
本体のみ
排気速度：1000L/m 吸気口：VG40 排気口：NW40
排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
MFG No.96G3412
排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
MFG No.96G3415
排気速度：1000l/min 吸気口：VG40 排気口:NW40
本体のみ 使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機 ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使
用） 要無害化洗浄
本体のみ 要無害化洗浄
★未開封・未使用品★（2013/12/17新品購入後、保管） 3φ200V 排気
速度：5000L/ｍ 取説あり
吸引物質：H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装
置使用）
★未開封・未使用品★（2013/11/26新品購入後、保管） LR421-T+PRC036 付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-03・排気配管付 吸気口：VG150 排気口：NW50
AC200V 50/60Hz
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2179
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00017
2012
RS14-2180
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00014
2012
2012
RS14-2181
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00013
RS14-2182
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00018
2012
RS14-2183
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00015
2012
RS13-2132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
RS13-2133
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
RS13-2134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
RS13-2135
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
RS13-2136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
RS14-2077
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00007
2012
RS14-2211
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00044
2012
RS14-2163
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00016
2012
RS14-2175
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00013
2012
RS13-2172
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
RS13-2173
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
RS13-2033
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
RS13-2034
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
RS13-2036
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
CK04-6031-2
RS13-2037
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
RS13-2038
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
備考
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036 吸気口：VG150 排気口：NW50 AC200V 50/60HZ
付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ 使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
LR180+PRC-018 吸気口：VG150 排気口：NW40 AC200V 50/60Hz 付属品：ｻｲﾚﾝ
ｻ：RS-02、 ｴｺｼｮｯｸESS-6、 手動ﾌﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（FUJI SEIKI MOD:1061100）、ｹｰﾌﾞﾙ
切断（ｺﾈｸﾀあり）
★未開封・未使用品★（2014/01/09新品購入後保管） LR180+PRC-018
付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-02 吸気口：VG150 排気口：NW40 AC200V
50/60Hz 取説あり
LR180+PRC-018 吸気口：VG150 排気口：NW40 AC200V 50/60Hz 付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、 ｴｺｼｮｯｸESS-6、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR180+PRC-018 吸気口：VG150 排気口：NW40 AC200V 50/60Hz 付属品：ｻｲﾚﾝ
ｻ：RS02、 ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
排気速度：28000L/m 吸気口：VG150 CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
排気速度： 28000L/m 吸気口：VG150 CVD使用品 付属品：ｺﾈｸﾀのみ
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2039
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
RS13-2040
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
RS13-2041
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
RS13-2042
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
RS13-2043
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
RS13-2045
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
RS13-2046
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
RS13-2047
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
RS13-2048
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m 吸気口；VG150
付属 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2049
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80 排気口；NW40
CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2052
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
RS13-2054
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
RS13-2055
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m 吸気口；VG80
B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
RS13-2056
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
RS13-2125
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
RS13-2126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
RS13-2127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
RS13-2128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
RS13-2129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
RS13-2287
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
IQDP80
EDWORDS
972127973
RS14-2059
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
076238382
2004
RS14-2060
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
056269793
2004
RS14-2061
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
027436149
2004
RS14-2062
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
037830833
2004
ULVAC
A111B-00005
2012
2012
RS14-2168
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6 ｻｲﾚﾝｻ
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
排気口；NW40 CVD使用品 使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・
O/H済み品
【未使用品】購入より10年 製造年：2000年以降 本体のみ 排気速度：8600L/min 吸
気口：ISO100 排気口：NW40 消費電力：3.2kvA 重量：415ｋｇ 資料なし
【未使用品】購入より10年 製造年：2000年以降 本体のみ 排気速度：8600L/min 吸
気口：ISO100 排気口：NW40 消費電力：3.2kvA 重量：415ｋｇ 資料なし
【未使用品】購入より10年 製造年：2000年以降 本体のみ 排気速度：8600L/min
吸気口：ISO100 排気口：NW40 消費電力：3.2kvA 重量：415ｋｇ 資料なし
【未使用品】購入より10年 製造年：2000年以降 本体のみ 排気速度：8600L/min 吸
気口：ISO100排気口：NW40 消費電力：3.2ｋｖA 重量：415ｋG 資料なし
HR90+PRC-006 吸気口：VG80 排気口：NW40 AC200V 50/60Hz 付属品：ｻｲﾚﾝｻ：
RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
HR90+PRC-006 吸気口：VG80 排気口：NW40 AC200V 50/60Hz 付属品：ｻｲﾚﾝｻ：
RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
RS14-2169
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00003
RS13-8132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
HR-60
ULVAC
A81A-00006
RS14-2055
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3232
2012
RS14-2056
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3231
2012
RS14-2057
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F015
2000
RS14-2058
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F016
2000
製造年：2000年以降 運用履歴：【新品】 故障履歴：冷却水ﾊﾟｲﾌﾟ IN/OUTともに変形
本体のみ 排気速度：900L/min ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付 吸気口：NW80 排気口：NW40 消費電
力：3.0kvA 重量：77ｋｇ 資料なし
製造年：2000年以降 使用期間：15年 本体のみ 排気速度：6300L/min 吸気口：
NW80 排気口：NW40 消費電力：5.8kvA 重量：195ｋｇ 資料なし
製造年：2000年以降 使用期間：15年 本体のみ 排気速度：6300L/min 吸気口：
NW80 排気口：NW40 消費電力：5.8kvA 重量：195ｋｇ 資料なし
RS14-8026
RS14-2212
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
ECO-SHOCK
G-200
ES10
Gardner Denver
ULVAC
BN10027658
U01A-00091
2012
動作未確認
★未使用品★ 1φAC100～220V
12
吸引物質：H2, SiH4, N2, B2H6, PH3, CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
製造年：2000年以降 運用履歴：【新品】 故障履歴：なし 本体のみ 排気速度：
900L/min ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付 吸気口NW80 排気口：NW40 消費電力：3.0kvA 重量：77ｋｇ
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
中古品番号
RS14-2303
品名
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
ER-80
メーカー
ULVAC
製造番号
A95A-00198
製造年
備考
2005 NE-550に使用、予備品（整備済み）
RS11-1256
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ER-150
ULVAC
A96A-00016
RS08-8029
RS08-8030
RS12-1127
RS12-1128
RS12-1129
RS12-1130
RS14-8044
RS12-1165
RS14-3073
RS14-3074
RS14-3075
RS14-3076
RS14-3077
RS14-3078
RS13-8143
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
QDPｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
A30W
A30W
A30W
A30W
A30W
A10S-S
ESA300W
ESA300W
ESA300W
ESA300W
ESA25-D-A
ESA25-D-A
RDR-090CL
荏原製作所
荏原製作所
EBARA
EBARA
EBARA
EBARA
荏原
EDWARDS
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
ULVAC
C60132
C61435
C40290
C70771
C80285
CA0191
A#50485S
CS6d1288HP
DHA00242
DHA00464
DHA00241
DHA00240
R064313701 1/2
DHB00305
A93A-00044
型式
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
GST-05A
GST-1A
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
13-0021
13-0036
13-0034
13-0020
13-0022
72508570
5425104
製造年
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
EDWARDS
製造番号
BK97-2366
AK00-3273
AK99-2032
AK99-3818
AK99-3817-1
BK97-2367
BK98-2316-2
AK99-2859
AK99-3256
5274A/7270FF
製造年
1997
2000
1999
1999
1999
1997
1998
1999
1999
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
P651125
P650867
P650887
P402399
ｼﾘｱﾙ無し
P250036
ｼﾘｱﾙ無し
P250774
P252851
P252855
P200075
製造年
MG54-0017
P400182
800456
800361
800111
021536
021537
021544
021551
021552
021752
021753
021700
021695
020626
027242
028933
028935
028942
028953
028995
029006
029022
029065
028891
0170001
0170002
0170004
0170019
0170034
022512
147210
147231
147278
2002
2002
2002
2002
2009
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体のR基盤故障により起動NG ※追加費用は別途 排気速度 2500L/m 吸気
口；NW50 排気口；NW40
排気速度：3000L/min 吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
排気速度：3000L/min 吸気口：NW50
2000
2000
2000
2000
排気速度：3000L/min
排気速度：3000L/min
排気速度：3000L/min
排気速度：3000L/min
吸気口：NW50
吸気口：NW50
吸気口：NW50
吸気口：NW50
RIE装置に使用 使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RIE装置に使用 使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RIE装置に使用 使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
供給電源ｹｰﾌﾞル以外のｹｰﾌﾞル有り
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。O/H済
状態良好。O/H済
<イオンポンプ>
中古品番号
RS15-1009
RS15-1010
RS15-1011
RS15-1012
RS15-1013
RS15-1014
RS15-1015
品名
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
備考
<排気セット>
中古品番号
RS14-1253
RS14-1250
RS14-1252
RS14-1251
RS14-1249
RS14-1246
RS14-1245
RS14-1247
RS14-1248
RS09-2124
品名
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気ｾｯﾄ
型式
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
DP40-+EH250
備考
EC603+PMB-003CM
EC603+PMB-003CM
EC603+PMB-003CM
EC603+PMB-003CM
EC603+PMB-003CM
EC803+PMB-006CM
EC803+PMB-006CM
EC803+PMB-006CM
EC803+PMB-006CM
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
<真空バルブ ULVAC製>
中古品番号
RS09-8072
RS09-8073
RS09-8074
RS13-8056
RS11-1216
RS09-8076
RS11-1215
RS09-8069
RS09-8070
RS09-8071
RS09-8075
RS11-2534
RS12-1072
RS12-1071
RS12-1069
RS12-1070
RS09-8067
RS14-2066
RS11-2155
RS11-2156
RS12-1295
RS09-8061
RS09-8062
RS09-8063
RS09-8064
RS09-8065
RS12-1103
RS12-1104
RS12-1105
RS12-1106
RS12-1273
RS09-8052
RS09-8053
RS09-8054
RS09-8055
RS09-8056
RS09-8057
RS09-8058
RS09-8059
RS09-8060
RS11-3142
RS09-8047
RS09-8048
RS09-8049
RS09-8050
RS09-8051
RS12-1108
RS12-1257
RS12-1258
RS12-1259
品名
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
VULP-65CM
VULP-65
VULP-65
VULP-40CM
VULP-25F（旧式）
VULP-250CM
VULP-25（旧式）
VULP-25
VULP-25
VULP-25
VULP-200CM
VULP-150F
VULH-40
VUH-651
VUH-251C
VUH-251C
VUGP-40
VLP-U6
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
ＶＬＰ－Ｕ３/４Ｓ
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ＶＬＰ－Ｕ２Ｓ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
13
備考
UFC114
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
1997
1997
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
2000
1989
1989
1989
1989
2000
2004
1989
2000
2000
2000
要無害化処理
状態良好
ICF-070
ICF-070 整備後、引渡し
使用履歴：熱処理炉にて使用 本体のみ、付属品なし
圧空式 JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式
圧空式
圧空式
圧空式
JIS規格
JIS規格
JIS規格
JIS規格
2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
動作未確認 圧空式 JIS規格
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格
動作未確認 圧空式 JIS規格
動作未確認 圧空式 JIS規格
2inﾌﾗﾝｼﾞ
14inﾌﾗﾝｼﾞ
14inﾌﾗﾝｼﾞ
14inﾌﾗﾝｼﾞ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS14-2254
RS12-1263
RS12-1264
RS09-8038
RS09-8041
RS09-8042
RS09-8043
RS09-8044
RS09-8046
RS14-2072
RS09-8028
RS09-8029
RS09-8030
RS09-8032
RS09-8033
RS11-2073
RS11-2074
RS11-2153
RS11-2154
RS09-8077
RS12-1077
RS12-1078
RS12-1075
RS12-1076
RS11-2147
RS11-2148
RS11-2149
RS11-2150
RS11-2151
RS11-2152
RS12-1437
RS12-1438
RS11-1014
RS11-1015
RS11-1016
RS11-1017
RS12-1433
RS12-1434
RS12-1435
品名
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
VLP-U14
VLP-U10S
VLP-U10S
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1 1/2S
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U06SW-R
VLP-U06SW-R
VLP-U06AW
VLP-U06AW
VLP-8R
VLP-01
VLP-01
VLH-2
VLH-2
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
VAP-250Ⅱ
VAP-250Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
2015年9月20日現在
製造番号
147095
102579
102581
518203
518215
518244
518246
518249
510332
510312
010427
017451
021755
021311
021702
070277
070276
068772
068771
831734
000186
000183
000188
000189
000185
000184
000098
000102
製造年
備考
2000
2000
動作未確認 圧空式 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1 1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
★新品未使用品★ 電流導入端子、ﾍﾞﾛｰ含む
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 圧空式 JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
2002
2002
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
要無害化処理
特型仕様 圧空式 VG300ﾌﾗﾝｼﾞ 本体のみ 取扱説明書なし
特型仕様 圧空式 VG300ﾌﾗﾝｼﾞ 本体のみ 取扱説明書なし
特型仕様
特型仕様
特型仕様
特型仕様
圧空式
圧空式
圧空式
圧空式
VG300ﾌﾗﾝｼﾞ
VG300ﾌﾗﾝｼﾞ
VG300ﾌﾗﾝｼﾞ
VG300ﾌﾗﾝｼﾞ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
取扱説明書なし
取扱説明書なし
取扱説明書なし
取扱説明書なし
圧搾空気動作式真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
圧空式JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式 JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-3
MN03-0347-4
MN03-0347-5
<真空バルブ ULVAC製以外>
RS11-2157
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-2216
RS11-2217
RS11-2460
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
XLH40
XLG-80
XLG25-M9NC
XLG25
XLG25
XLC-40-X559
XLA-16F9NP
Series 26（KF-40）
Series 26（KF-40）
Series 26（KF-16）
Series 24（KF-25)
Series 24（KF-25）
SCV 316L10K-3/8 STD（N.C
0.4～0.7Mpa)
SCV 316L 10K-3/8 STD
（N.C.0.4～0.7Mpa)
PM-5
PM-5
PM-5
RS14-1172
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LCAV-40
大亜真空
RS14-1170
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K6
大亜真空
120123-2
RS14-1171
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K3
大亜真空
1201280-11
RS11-2078
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
中古品番号
RS11-2173
RS09-8025
RS11-2082
RS11-2163
RS11-2164
RS09-8023
RS09-8024
RS09-8020
RS09-8021
RS09-8019
RS09-8016
RS09-8017
品名
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-2158
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
メーカー
SMC
SMC
SMC
SMC
SMC
SMC
SMC
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
BENKAN（KITZSCT）
BENKAN（KITZSCT）
VAT
VAT
VAT
製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
F-26-60317-200
F-26-60317-201
F-26-60049-894
F-24-60045-1077
F-24-60045-1078
製造年
NW25
NW25
NW25
ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ N2流量計(TOKYO KEISO MAX500L/min)
付き
ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ N2流量計(TOKYO KEISO MAX500L/min)
付き
本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/153
本体のみ FABR.NO641PM-16PM-0002/160
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
FABR.NO641PM-16PM-0002/153
FABR.NO641PM-16PM-0002/160
102532-R1
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本体のみ。 吸
引ｶﾞｽ：Aｒ L型KF-40
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本体のみ。 吸
引ｶﾞｽ：Ar L型6” VF150 圧空駆動
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本体のみ。 吸
引ｶﾞｽ：Ar L型3” VF100 圧空駆動
ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ 継手：3/8（ｽｴｼﾞ） 圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C. ﾌﾛｰﾒｰ
ﾀｰ（範囲50～500L/min N2 TOKYO KEISO製）付属
ガス配管用ＳＴＯＰ ＶＡＬＶＥ 継手：3/8（ｽｴｼﾞ） 圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C. ﾌﾛｰﾒｰ
ﾀｰ（範囲50～500L/min N2 TOKYO KEISO製）付属
1201172-16
RS11-2077
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
RS13-8009
RS08-8035
RS11-8017
RS11-2223
RS11-2224
RS07-2961
RS11-1160
圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
653B-8-200J-2
017067580 + 017669753
64250-CE52-1101
64250-CE52-1101
64246-JE52-0101
48240-CE01
MKS
MKS
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
RS10-2762
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
28332-GE41-0003
VAT
-
RS09-8009
RS09-8010
RS09-8011
RS09-8012
RS09-8013
RS09-8014
RS09-8015
RS09-1149
RS10-8026
RS10-8024
RS10-8025
RS11-2072
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2071
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
APCﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転
軸ｼｰﾙ）
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転
軸ｼｰﾙ）
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
253A-11792
20044-CE24-1001/0006
1-800-345-1967
1-800-345-1967
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
MKS
VAT
MKS
MKS
VAT
VAT
VAT
VAT
0158
0241
0247
0250
0251
0252
0253
92031106L
A-249751
9928670041
9928670044
不明
不明
不明
不明
14048-JE44
VAT
不明
2011
14048-JE44
VAT
不明
2011
RS13-8010
RS13-8011
64252-JE52-ANZ1+PM5
備考
NW40
000601724
2011
2000
F64-105808/1
F64-105808/2
F64-10866 1/1
不明
14
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、 ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、 ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
2000
CR（解放）保管ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF152、手動式
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124-KA21（NW16）2
個A-719543(IFC070)
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS11-2222
RS11-8182
RS13-8013
RS09-8007
RS09-8006
RS09-8005
RS09-8004
RS07-2931
RS11-2226
品名
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗﾊﾞﾙﾌﾞ
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
14048-CE34-0005
14040-CE24-1004
12146-JA14
11220-0150X
11210-0159
1021002
1021001
02112-BA24-001-0031
14036-CE44-AAC1
2015年9月20日現在
メーカー
VAT
VAT
VAT
HVA
HVA
ﾌｼﾞ精機
ﾌｼﾞ精機
VAT
VAT
製造番号
F14-104723/2
F14-100068/2
不明
01-17156
95-01971
150006
100003
A-289817
F14-109375/3
製造年
メーカー
ULVAC
製造番号
-
製造年
製造番号
製造年
2002
2002
2002
2002
2002
2015
2015
備考
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式
2011
（ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
本体のみ。ICF114、圧空駆動式
<超高真空部品>
中古品番号
RS14-1292
品名
直線導入端子
型式
BMMG-402
備考
<ピラニ真空計>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-1040
RS15-1036
RS15-1039
RS15-1038
RS15-1037
RS15-2020
RS15-2019
RS11-2326
RS11-2327
RS11-2328
品名
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
型式
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1G
GP-1G
DV-6200
DV-6200
DV-6200
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
08239G
08238G
07240212184
006760116373
006740115388
RS13-2123
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8401
2008
RS13-2124
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8402
2008
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示
機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、 付属品：表示機（表
示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS13-2231
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
EM-301
ULVAC
PH8602
2008
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示機（表示
機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS11-2102
RS11-2103
RS11-2189
RS14-3083
RS14-3084
RS14-3085
RS14-3086
RS14-3087
RS14-3088
RS14-3089
RS14-3090
RS14-3092
RS14-3093
RS14-3094
RS14-3095
RS14-3096
RS14-3097
RS14-3098
RS14-3099
RS14-3100
RS14-3101
RS14-3102
RS14-3103
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301 8CH
EM-301 8CH
EM-301 8CH
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
PH7301
23664
23667
23691
23791
23666
23796
23789
23690
23795
23665
23688
23692
23793
23662
23683
23684
23689
23661
23686
23663
RS13-2309
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1000G
ULVAC
RS14-1156
RS14-1158
RS14-3104
RS15-1018
RS14-1285
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1000G
GP-1000G
GP-1000G
GP-1DA
GP-1GRY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
03467G
03469G
01005G
1057
02543G
RS14-2006
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1GRY
ULVAC
05551G
2004
A型 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾙBOX～ﾒｰﾀｰ間ｹｰﾌﾞﾙ、電源ｹｰﾌﾞﾙ 欠品：測定子ｹｰ
ﾌﾞﾙ、検出ﾕﾆｯﾄ（GP-H）
RS13-2300
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19897
1987
測定ｹｰﾌﾞﾙ無し電源ーｹｰﾌﾞﾙ有り（丸端子）、20m校正（WP01)、Pa-torr表示,ﾒｰﾀAﾀｲﾌﾟ
RS13-2302
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
73967
1987
ﾒｰﾀｰA（S）ﾀｲﾌﾟ、 Pa/Torr表示、 電源ｹｰﾌﾞﾙ要交換（被覆損傷あり）
RS13-2303
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19896
1987
RS13-2304
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19894
1987
RS13-2305
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19043
1987
RS13-2339
RS13-2340
RS13-8128
RS14-2238
RS13-8082
RS13-8087
RS13-8088
RS13-2284
RS08-2158
RS08-2159
RS08-2160
RS08-2161
RS11-3083
RS11-3100
RS11-3101
RS11-3104
RS11-3105
RS11-3106
RS11-3114
RS11-3116
RS11-3117
RS11-8031
RS11-2529
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY
GP-1SRY(A)
GP-1SRY（C)
GP-1SRY(A)
GP-1SSW
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR2
G-TRAN BPR-2
G-TRAN SP-1/ISP
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
34871
71937
73966
51212
28059
34569
28141
2603
3363
3364
3365
3366
15804
15822
15823
15290
15291
15805
15812
15819
15820
04284
17827G/01846
測定ｹｰﾌﾞﾙ無し電源ーｹｰﾌﾞﾙ有り（丸端子）、20m校正（WP01)、Pa-torr表
示、ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ
測定ｹｰﾌﾞﾙ無し電源ーｹｰﾌﾞﾙ有り（丸端子）、10m校正（WP01)、Pa-torr表
示、ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ
測定ｹｰﾌﾞﾙ無し電源ーｹｰﾌﾞﾙ有り（丸端子）、10m校正（WP01)、Pa-torr表
示、ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ
本体のみ、ﾒｰﾀｰﾀｲﾌﾟB、（WP-01、30ｍ校正）
本体のみ、ﾒｰﾀｰﾀｲﾌﾟB、（WP-01、100ｍ校正）
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製 ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
2008
15
備考
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
使用履歴：真空熱処理装置に付属、有害物質不使用 本体のみ、（測定子ｹｰﾌﾞﾙ・検出
ﾕﾆｯﾄ付属無し） 仕様書・取説・図面無し
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ 液晶一部表示NG
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ
状態良好。
危険物吸引なし。ﾌﾙｾｯﾄ。
1998
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ （WP-01/100ｍ 校正品）。 部品抜き前、通電のみ確認済。
使用履歴：Heﾘｰｸﾃｽﾄ装置（ALT）にて使用 有害物質不使用 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ（10ｍ）
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ ｹｰﾌﾞﾙ類無し
ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ ｹｰﾌﾞﾙ類無し
ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ ｹｰﾌﾞﾙ類無し
ﾒｰﾀｰ無し 付属品：WP用測定子ｹｰﾌﾞﾙ（4m）（ｱﾝﾌﾟ表示10m） 動作確認Ｏ
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無しSENSOR CABLE 35m
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無しSENSOR CABLE 40m
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無しSENSOR CABLE 40m
ｹｰﾌﾞﾙ 付属無しSENSOR CABLE 40m
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
非表示式 INPUT DC24V / OUTPUT DC 0～10V
ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ SP1φ18 表示器のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS11-2303
RS11-2305
RS11-2307
RS11-2308
RS11-2309
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
RS11-2314
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
RS11-2323
RS11-2325
品名
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
型式
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
2131 0212188
28370419173
28310418377
018130116195
2127 0212184
21320212189
ｼﾘｱﾙ無し
018140116196
018110116193
018080116190
ｼﾘｱﾙ無し
018370116197
ｼﾘｱﾙ無し
018070116199
018090116191
018100116192
018120116194
018390116199
28400419176
製造年
型式
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
GI-D6
GI-D6
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ULVAC
ULVAC
製造番号
製造年
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
3299
EL057222
EL057267
EL057213
EL057211
EL057215
EL057216
0384
0428
メーカー
MKS
MKS
CELERITY
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
MKS
製造番号
000,206,023
001240830J
A819647727
016335508
016335510
016293672
016293679
016293683
016293684
000740759
000065664
製造年
製造年
備考
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＵＬＶＡＣ製
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
<電離真空計>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-1028
RS15-1029
RS15-1030
RS15-1035
RS15-1031
RS15-1032
RS15-1034
RS15-1033
RS14-1286
RS14-3105
RS14-3106
RS14-3107
RS14-3108
RS14-3109
RS14-3110
RS15-1016
RS15-1017
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
備考
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
本体+測定子ｹｰﾌﾞﾙ
危険物吸引なし。AC100V入力ｹｰﾌﾞﾙ付。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
<バラトロン真空計>
中古品番号
RS10-8044
RS08-8017
RS09-1421
RS13-2241
RS13-2242
RS13-2174
RS13-2175
RS13-2176
RS13-2177
RS13-2178
RS11-3007
品名
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
型式
真空計 186B-BOJOAANV
PDR-CJ1C-BCD
CMX-1110
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
628A.1TBF-S
備考
本体のみ
2008
2008
2008
2008
2008
2008
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ ｷｰ部破損
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無ﾚﾝｼﾞ：1Pa/133.32
<ペニング真空計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2344
ﾍﾟﾆﾝｸﾞ真空計
GI-PARY
ULVAC
0980
メーカー
ULVAC
ULVAC
MAXTEK,INC
ULVAC
製造番号
0243
0123
121
00557
製造年
2001
備考
真空ろう付炉 FBC-4-324（F91-7103)よりｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ抜取り。装置は
2012/8月まで稼動。本体のみ。通電NG、要修理。
<成膜コントローラー>
中古品番号
RS13-8124
RS13-8126
RS11-2012
RS14-2363
品名
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
水晶振動式膜厚計
膜厚計
型式
CRTM-5000
CRTM-8000
MDC-260
CRTM-6000
RS14-8063
膜厚計
CRTM-9000
ULVAC
0126
RS10-8072
RS11-8028
RS11-8029
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
外部ｵｼﾚｰﾀｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
EX05A
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
397018
134-134 Ver.2.04
136-136 Ver.2.04
135-135 Ver.2.04
137-137 Ver.2.04
252-252 Ver.2.04
メーカー
INFICON
製造番号
H8TR15B00372
備考
本体のみ。 部品抜き前、通電のみ確認済。
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ HS/Sｶｰﾄﾞ4個。 部品抜き前、通電のみ確認済。
本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
現状動作OK。
本体のみ（S/S 1個）。部品抜き取り時に通電のみ実施済。単体販売禁止
<ガス分析計>
RS11-1170
質量ｶﾞｽ分析計
RS11-1169
RS14-2284
RS14-2287
RS14-2286
RS14-2285
質量ｶﾞｽ分析計
Q-MASS
Q-MASS
Q-MASS
Q-MASS
型式
XPR-TR100 （0397）
Transpector2（911-242-G1U
H100M)
Transpector2
Transpector2
Transpector2
Transpector2
Transpector2
RS14-2250
ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ
RS14-2156
質量分析計
中古品番号
RS13-1143
品名
TRANSPECTOR XPR
製造年
備考
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
INFICON
70003237
INFICON
Inficon
Inficon
Inficon
Inficon
LOTT23B02800
LOTT23C02894
C1TT24C03427
MOTT23C02969
B2TT26C03925
RG-202R
ULVAC
AK97-3487
1997
動作未確認。 ｺﾝﾄﾛｰﾙﾕﾆｯﾄ S/N:00032 ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ S/N:00032 本体（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝｹｰｽ
付） + PC（HITACHI製） + ｿﾌﾄ付（Windows3.1) 欠品なし。 使用履歴：N2ｶﾞｽ分析 取
説あり。
Qulee BGM-202
ULVAC
01146
2012
付属品：ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰ（BGM-JH01) ｿﾌﾄなし
16
Transpector 2（911-242-G1U H100M)
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
<Heリークディテクタ>
中古品番号
RS11-2208
RS14-2239
RS13-3145
RS13-3152
RS13-3157
品名
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
型式
HELIOT 302s特
HELIOT304
UL-200
UL-200
HELIOT301
メーカー
ULVAC
ULVAC
INFICON
INFICON
ULVAC
製造番号
3836
1653
90001015459
20600033255
2040
製造年
型式
PSG-004S
PSG-004S
PSG-004S
JST-10F
HPS-1600F
HPS-1600F
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
JEOL
ULVAC
ULVAC
製造番号
19912145
19912146
19912040
製造年
備考
スニファー専用機器
1998
使用履歴：Heﾘｰｸﾃｽﾄ装置（ALT）にて使用 有害物質不使用 一式
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。、動作確認結果：正常
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。動作確認結果：正常
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ。動作確認結果：正常
<EB電源>
中古品番号
RS10-8060
RS10-8061
RS10-8102
RS13-1035
RS11-8010
RS11-8048
品名
ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
EB電源
EB電源
EB電源
本体のみ
本体のみ。
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し
Controlｹｰﾌﾞﾙ6ｍ POWERｹｰﾌﾞﾙ6ｍ 電源ｹｰﾌﾞﾙ(切断)付属。単品販売禁
止
BS101106-55 AB Z280
20020012
20020011
RS14-1276
EB電源
HPS-1000F
ULVAC
19972634
RS09-2724
RS10-2209
EB電源
EB電源
HPS-1000
HPS-1000G
ULVAC
ULVAC
19972369
RS13-8142
EB電源ｾｯﾄ
JST-16F
JEOL
-
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
086008
91020
392025
10240300003
102403000012
10237600009
10237600002
L/N WB3563
L/N WB3563
210001
210002
208005
備考
2004
中古装置転用用、単品販売禁止
【EB電源ｾｯﾄ】電源ﾗｯｸ1個、ｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾕﾆｯﾄ（JST-16F 1個、EBGHV025G02 2個、EBG-LV025G01 1個） ﾊｰｽ 1個
<RF電源>
☆
中古品番号
RS15-1044
RS11-2291
RS11-2292
RS10-8082
RS14-2019
RS14-2020
RS14-2022
RS14-2023
RS11-2268
RS11-2269
RS13-2151
RS13-2152
RS13-2153
品名
RF電源
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀｰ
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF電源
RF電源
RF電源
型式
RFS-1310A/MBX-10EA
VDC-1A
VDC-1A
VDC05A
TX10-D000-00-12.5M
TX10-D000-00-12.5M
TX10-D000-00
TX10-D000-00
SP-RKC
SP-RKC
RFS-27400F
RFS-27400F
RFS-27200L
RS06-2704
RF電源
RFS-2712K
ULVAC
306001
RS14-1277
RS13-2154
RS13-2158
RS14-1278
RS14-1279
RS13-2111
RS13-2112
RS13-2252
RS13-2069
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RFS-1350LH
RFS-13200F
RFS-1310L
RFS-1310A3
RFS-1310A3
RFS-1310A3
RFS-1310A
RFS-1310A
RFS-1305A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
209021
210006
209008
205010
204026
207004
207005
207015
203041
RS13-1020
RF電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ他
RFP-20CA
ULVAC
399004
RS10-8081
RS10-8078
RS10-8079
RS10-8080
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
RFP-10CA0
RFP-05CA0
RFP-05CA0
RFP-05CA0
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS09-1502
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFP-05CA/VDC5A
ULVAC
RS10-8077
RS11-2266
RS11-2267
RS13-8106
RS09-1152
RS14-2128
RS14-2129
RS14-2130
RS11-8134
RS11-2273
RS11-2270
RS11-2271
RS11-2272
RS11-2212
RS09-1297
RS13-2160
RS13-2161
RS13-2162
RS13-2163
RS13-2167
RS10-8075
RS10-8076
RS13-1051
RS13-1056
RS13-1105
RS13-1106
RS13-1108
RS09-1042
RS14-8052
RS14-1111
RS14-1112
RS10-8072
操作ﾊﾟﾈﾙ
RF電源(1kw）
RF電源(1kw）
RF電源
RF電源
PHASE SHIFTER
PHASE SHIFTER
PHASE SHIFTER
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀｰ
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RF電源
5kw用ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RF電源
RF電源
高周波電源
高周波電源
外部ｵｼﾚｰﾀｰ
RFP-05CA
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
RFK05ZFSW2
RF-50
PLFⅢ
PLFⅢ
PLFⅢ
PHS36VM
PHS-2C-SK1
NAK5A
NAK5A
NAK5A
MCP-1010E
MBX-50A
MBX-27400F
MBX-27400F
MBX-27200L
MBX-13200F
MBX-1310L
MBX-10EA
MBX-10EA
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
LF-10
HPS-005
HFM-D20UL-AX7
HFM-D20UL-AX7
EX05A
088017P
388022
393022
387089
S/N:395048
L/N:56170270･
S/N:395087 L/N：
66170092
392024
0107014
0107015
0103037
96140516
813660
814211
813661
393005
L/N WB3569
0107016
0107015
0107014
1032
090003
310001
310002
310006
308001
309009
393007
394011
395079
395030
397036
397034
394017
L1582
207677
397018
ULVAC
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
日本高周波
AE
AE
AE
ULVAC
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AMAT
日本高周波
島田理化
島田理化
ULVAC
17
製造年
2002 本体*MBX-10EA+ｹｰﾌﾞﾙ
2009
2009
2009
2009
2004
2004
備考
☆
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ
本体のみ
出力:40KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:20KW 27.12MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力：1KW 27.12MHz
付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し
出力:20KW 13.56MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:1KW 13.56MHz、 付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
2008
2008
2008
出力；1KW 13.56MHz 付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
出力；1KW 13.56MHz 付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
出力；1KW 13.56MHz 付属品：M/BOX(MBX-1310A) ｹｰﾌﾞﾙ16m
出力：500W 13.56MHz 付属品なし、本体のみ
付属品：AMC-6D（S/N:300175）、VPP-5D（S/N:300016）、VDC-5D
（S/N:300013）
2004
2004
本体のみ(1kw）
本体のみ(1kw）
2012
2012
2012
1999
2004
2004
2004
2004
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） M/N:3155143-101 B F/R B
1998
1998
1995
1996
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） M/N:3155143-101 B F/R B
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） M/N:3155143-101 B F/R B
本体のみ
本体のみ
本体のみ
エッチング電源
5kw用
40kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
20kw、27.12MHz用
20kw用
1kw用
未整備
未整備
付属品無し 200W
付属品無し 200W
付属品無し 200W 内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し 200W 内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し 200W
M/BOX：201631
電源本体のみ 20ｋW
電源本体のみ 20ｋW
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しておりま
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-8026
RF電源
AX-1000LFⅢ
AD-TEC
10154000085
製造年
RS13-8027
RF電源
AX-1000LFⅢ
AD-TEC
10154000084
RS14-2024
RS14-2025
RS14-2026
RS14-2027
RS14-2028
RS14-2030
RS14-2031
RS13-1060
RS13-1110
RS11-2289
RS11-2290
RS14-3119
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ＲＦ電源
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
AMC-6D
AMC-6D
AMC-1AR
AMC-1AR
RFK200ZD
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
京三製作所
10220600018
10220600019
10220600022
10220600021
10235800005
10235800007
10179100020
395004
392008
395008
92005
0605001
2009
2009
2009
2009
2009
2009
2009
製造番号
製造年
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
2002
備考
1ｋｗ、400KHｚ M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800003) RF出力
ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) RF
電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) ※RF CONT無し
1ｋｗ、400KHｚ M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004 RF出力
ｹｰﾌﾞﾙ(8m) M/BOX⇔RF CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m) RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m) RF
電源ｹｰﾌﾞﾙ(2m) ※RF CONT無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し
付属品無し
状態良好。
<DC電源>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-1047
RS15-1049
RS15-1048
RS15-1050
RS15-1045
RS15-1046
RS15-1054
RS15-1056
RS15-1055
RS15-2012
RS15-2011
RS15-2013
RS14-2194
RS14-2195
RS14-2105
RS14-2110
RS14-2111
RS14-2112
RS14-2113
RS14-2114
RS14-2115
RS14-2116
RS14-2117
RS14-2118
RS14-2119
RS14-2120
RS14-2121
RS13-3101
RS13-3102
RS13-3103
RS13-3104
RS13-3106
RS13-3108
RS11-2029
RS14-1125
RS14-1127
RS14-1129
RS14-1130
RS10-2721
品名
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
ﾊﾟﾙｽDC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
型式
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ
DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
PINACLE10K
PINACLE20K
PINACLE10K
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
Ulstream10
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Ulstream20
Sparc-le V
Sparc-le V
Sparｃ-le V
Sparc-le V
Sparc-le V
Sparc-le V
PR-500-10LGB
PNCL20K Hi-Z
PNCL20K
PNCL20K
PNCL20K
PAK20-18A
RS09-1289
DC電源
MDX-L6
RS12-8059
RS12-8058
RS11-8019
RS08-2041
RS14-1120
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
MDX-L6
MDX-L12L
MDL1501
MDL-15
MDL-15
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
AE
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
AE
AE
AE
AE
AE
松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ
ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ
ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ
ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ
ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ
KIKUSUI
ADVANCED
ENERGY
ADVANCED
ENERGY
ADVANCED
ENERGY
AMAT
AMAT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS09-1162
DC電源
MDX-L6
RS09-1161
DC電源
MDX-L6
RS13-3087
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C356777
RS13-3089
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C442141
RS13-3091
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C582927
C631478
672625
C631479
792289
792288
E0110212UL01002
E1080011UL02614
E10800511UL02619
E0655811UL02501
E1081111UL02625
E0656711UL02510
E0656411UL02507
E0873611UL02564
E1080311UL02617
E1080211UL02616
E1080811UL02622
E1080111UL02615
E1080411UL02618
C609412
C609413
C609414
C614572
C614575
C675118
045547S
267451
293338
297335
C373125
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2009
備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体のみ M/N:3152533-306C F/R C
付属品：出力ｹｰﾌﾞﾙ（約5.5ｍ） M/N:3152533-306C F/R C
Product No.EU-0020002、出力：800V 25A 10ｋW
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
Product
No.:EU-01020107
No.:EU-01020107
No.:EU-01010107
No.:EU-01020107
No.:EU-01010107
No.:EU-01010107
No.:EU-01010107
No.:EU-01020107
No.:EU-01020107
No.:EU-01020107
No.:EU-01020107
No.:EU-01020107
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：800V 50A 20ｋW
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
出力：１２ｋｗ、付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式
新古品 5kw （500V／10A仕様）
本体のみ M/N:3152420-117C F/R C
本体のみ M/N:3152420-120C F/R C
本体のみ M/N:3152420-120C F/R C
本体のみ M/N:3152420-120H F/R H
36818
P/N:0190-76085
70742
P/N:0190-76006
36941
P/N:0190-70085
145679F/RC
191720
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
＊２台
出力：15ｋｗ
本体のみ M/N:3152345-101F F/R F
出力：１０ｋｗ付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式 2014/07/11計測ｾﾝﾀｰにて動作確認
OK
出力：１０ｋｗ 付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式 2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確
認 ★故障（出力はOK、左右FANから大きな異音あり）
出力：１０ｋｗ付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式 2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確認
OK
出力：１０ｋｗ付属品： ｹｰﾌﾞﾙ類一式 2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確認
OK
本体のみ M/N:3152354-000D F/R D
RS14-2221とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2229とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2230とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS13-3093
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C586620
2006
RS14-1121
RS14-2222
RS14-2230
RS14-2229
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
MDL-1001A
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-M
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
300616
WA5504
WA4468
WA5567
2003
2003
2003
RS11-2286
DC電源
HPK-15ZI ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様
KYOSAN
WA2919+WA1382
199707
RS09-2804
DC電源
HPK-15ZI ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様
KYOSAN
WA2919+WA1270
※2台（ﾏｽﾀｰ1台+ｽﾚｰﾌﾞ1台） ﾏｽﾀｰ 15ZI-M（S/N:WA1267) 1997、 ｽﾚｰ
ﾌﾞ 15ZI-S1（S/N:WA6036) 2004、 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Master15kw）＋
（Slave15kw）=30kw出力、 本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
RS11-8086
DC電源
HPK-15ZI ﾀﾝﾃﾞﾑ
KYOSAN
WA1267+WA6036
※2台（ﾏｽﾀｰ1台+ｽﾚｰﾌﾞ1台） ﾏｽﾀｰ 15ZI-M（S/N:WA2919) 2000、 ｽﾚｰﾌﾞ 15ZI-S1
（S/N:WA1382) 2007、 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Master15kw）＋（Slave15kw）=30kw出力、 本体の
み、ｹｰﾌﾞﾙ無し、購入以降通電無し、出力動作未確認
RS10-8035
RS10-8036
RS09-1499
RS14-2123
RS14-2124
RS14-2125
DC電源
DC電源
DC電源
異常放電防止機構
異常放電防止機構
異常放電防止機構
HAR-1P100-L0L
HAR-1N100-LOL
DCR-1502A
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
ＭＩＴＵＳＡＤＡ
MATUSADA
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
52945
52933
19922010
011022
011023
011021
18
※2台（ﾏｽﾀｰ1台+ｽﾚｰﾌﾞ1台） ﾏｽﾀｰ 15ZI-M（S/N:WA2039)1998、 ｽﾚｰﾌﾞ 15ZI-S1
（S/N:WA1270)1997、 ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Master15kw）＋（Slave15kw）=30kw出力、 本体の
み、ｹｰﾌﾞﾙ無し、購入以降通電無し、出力動作未確認
出力：1kv （正極性 100mA/100W）
出力：1kv （負極性 100mA/100W）
出力：15ｋｗ
2012
2012
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） L/N:16170068
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS14-2126
RS14-2127
RS14-1282
品名
異常放電防止機構
異常放電防止機構
異常放電防止器
【お客様用】中古品在庫リスト
2015年9月20日現在
型式
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-25
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
011019
011020
009050
製造年
2012
2012
型式
メーカー
製造番号
製造年
メーカー
ULVAC
平和電源
製造番号
12762
12761
製造年
メーカー
ULVAC
ﾃｸﾉ電気
ULVAC
ULVAC
ULVAC
POWERTEN
製造番号
1088
1092
2310
2449
2253
-
製造年
型式
0010-01465
PSE-700H-N
PSH-072SP
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
SR82-11-N-90-1166000
SR82-11-N-90-1166000
メーカー
AMAT
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
製造番号
H5-100、H5-077
502068
S-7881
U406-024
U406-038
410052-001
U406-029
U406-018
U406-036
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
U406-027
U406-026
U406-025
U406-039
U406-050
U406-056
U406-058
U406-077
U406-069
U406-071
11304810901-003
11304810901-002
製造年
2006
メーカー
ULVAC
製造番号
2002002
製造年
三菱
-
備考
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属） L/N:16170068
<AC電源>
中古品番号
品名
備考
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号
RS04-8017
RS04-8083
品名
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
型式
KS40-50S
KS40-50S
備考
中電流イオン注入装置用
<マグネット電源>
中古品番号
RS09-1496
RS10-8043
RS11-2278
RS11-2279
RS11-2369
RS14-1188
品名
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
Qﾏｸﾞﾈｯﾄ電源(3)
型式
MCP-1010E
MCP-1010E
MCP-1010SX
MCP-1010SX
MCP-1010SX
P62C-8350
2000
備考
本体のみ。
<加熱電源>
中古品番号
RS12-2077
RS13-8061
RS09-2666
RS13-2075
RS13-2076
RS13-2077
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2080
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
RS13-2085
RS13-2086
RS13-2087
RS13-2088
RS13-2089
RS13-2090
RS13-2091
RS13-2092
RS13-2093
RS13-2094
RS11-8039
RS11-8082
品名
Hearter ASSY 【2個】
抵抗加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
温度調節器
温度調節器
備考
本体のみ
基板加熱用 ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用 ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用 ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用 ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用 ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
基板加熱用
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
ﾄﾗﾝｽ無し
<その他電源>
中古品番号
RS12-1020
品名
ｉｏｎ bombard power supply
型式
DCP-505
RS14-1173
PLC
Q2ASH
備考
要整備
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本
体のみ。 吸引ｶﾞｽ：Ar
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
中古品番号
RS13-3013
RS09-1199
品名
ｶﾞｽ処理設備一式
型式
WGC-10B-2-FS
ｶﾞｽ導入用ｴｱｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ・
0050-21303
ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
メーカー
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
製造番号
WG-2319
AMAT
製造年
2005
-
RS12-1033
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770AC
Aere
-
RS09-1028
RS09-1029
RS09-1038
RS11-2160
RS11-2175
RS11-2176
RS14-1202
RS13-8055
RS11-1168
RS11-2087
RS11-2092
RS11-2093
RS11-2177
RS11-2178
RS11-2179
RS11-2180
RS11-2182
RS11-2095
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ電源
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Aere
Aere
Aera
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
24J0252
23E1149
24J0256
4168320104
4168320105
4168320143
4137400200
4357120100
3424592121
291502489
3458018281
3422582475
291502488
291502487
291502492
291502486
291502490
3493429474
2007
2007
2001
2001
2001
2001
2001
2007
RS14-1200
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
FC780C
FC780C
FC780C
PAC-3HS-01
PAC-3HS-01
PAC-3HS-01
SEC-310-N1
SEC-400MK3-UL
SEC-4400M
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3）
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-7340LD-RO-N25SCCM-4CR
STEC
281505605
2000
19
備考
ｴｱﾊﾞﾙﾌﾞｘ８個、ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞｘ4個、ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰｘ4個（VCR) ﾛｰﾄﾞﾛｯｸA ﾍﾞﾝﾄﾗ
ｲﾝに使用 ｶﾞｽ使用履歴：Ar 【ｴｱｵﾍﾟ】型式：944AOPLPNCSFSFF、ﾒｰｶｰ：
VERIEFLO CORP 【ﾆｰﾄﾞﾙ】型式：不明、ﾒｰｶｰ：NUPRO 【ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰ】型
式：WG3NS1RR2、ﾒｰｶｰ：MILLIPORE
2001
2000
ｹｰﾌﾞﾙ無し電源無し（4式ｾｯﾄ) Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4
50sccm(S/N:26F0358)、Sicl4 20sccm(S/N:26F0278)、O2 50sccm(S/N:26F0275)
本体のみ。
付属品：PAC-D2、ｹｰﾌﾞﾙ無し
CH4 10sccm VCR継手
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 200sccm VCR継手
Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
O2 5sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 1000sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
O2:5/ｓｃｃｍ
本体のみ。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS14-1199
RS11-1166
RS11-1167
RS09-2672
RS11-2118
RS11-2083
RS12-1370
RS14-3111
RS14-3112
RS14-3113
RS14-3114
RS14-2362
品名
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
電磁弁ﾕﾆｯﾄ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ
TEOS用除外装置
APC
APC
APC
APC
N2精製装置
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
SEC-7340LD-RO-N25SCCM-4CR
SEC-E440J
SEC-E440J
SEC-F740MCA1
SQｼﾘｰｽﾞ
W3000
2015年9月20日現在
メーカー
製造番号
製造年
STEC
1312500580
2000
本体のみ。
STEC
STEC
STEC
SMC
CKD
3430014434
3463572997
2451023
ｼﾘｱﾙ無し
1808
2006
Co 10sccm VCR継手
H2 10sccm VCR継手
Ar 2SLM VCR継手 Fujikin Valve付
MKS
MKS
MKS
MKS
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
001814998
001843366
001843367
001788273
D-3890
型式
31RU8141-002-001
KEYTRANⅢ（部品破損有）
JZMQZ-TB38A
MAG6
MAG7
Mag-7 003-1600-11
Mag7型003-1600-11
Mag7用型式001-1984-07
Mag7用型式002-0015-50
SPR-101-X099
SPR-101-X1099
SPR-801-X0980
UT0100
UT0150
UTMF5000
UTV-UTV-F2620W
メーカー
RORZE
ULVAC
ULVAC
ﾌﾞﾙｯｸｽ
Brooks
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾀﾞｲﾍﾝ
ダイヘン
ﾀﾞｲﾍﾝ
MECS
MECS
ASYST
ASYST
製造番号
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
JIP-10E-S
備考
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
現状動作OK。
<搬送ロボット>
中古品番号
RS09-2604
RS09-2670
RS10-8031
RS08-8028
RS14-8001
RS13-1141
RS10-8028
RS10-8029
RS10-8030
RS14-1023
RS14-2352
RS10-2672
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
RS08-8026
品名
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
Brooks製ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ
大気ﾛﾎﾞｯﾄ
大気ロボット
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
R11862-717-01
9608-0028
0611-11117
000C-10578
9911-10601
HH135074
9911-10602
X0333Y3996901
X0333Y3912901
X0538Y3742701B
3X0409A01
481903A01
A06260950-1
502000000159
製造年
備考
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
JZMQZ-TB38A KEYTRAN-4ZEX-172用
製造番号未確認
キヤノンアネルバ製300㎜スパッタにて使用品
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し Zi-1000ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ付
2000
型式001-1984-07
型式002-0015-50
本体のみ
IPZ-5001用部品 付属ピックアップのみ ケーブル無
3軸
3軸
12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包（コインスタック
収納）を自動に行う装置
RS14-4089
移載機
WL300-Sorter-HW
ITOCHU
-
RS13-1113
RS11-2496
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
Zi-1000用
ｱﾙﾌｧｰｽⅡ
ULVAC
ULVAC
ME97-1038
0190
1998
1994
型式
CYCMAC C1000H
CYCMAC C1000H
CYCMAC C500-PS221
CYCMAC C500-PS222
PC9801S
PC9801S
PC9801S付属
メーカー
OMRON
ｵﾑﾛﾝ
OMRON
OMRON
NEC
NEC
製造番号
製造年
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載 真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
<電気制御系>
中古品番号
RS04-8014
RS04-8080
RS04-8012
RS04-8013
RS04-8053
RS04-8054
RS04-8056
品名
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ﾊﾟｿｺﾝ
ﾊﾟｿｺﾝ
ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ
備考
S369148CA
S369148CA
S360026
PC9801Sの付属品
<チラー・純水設備>
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-3004
RS15-3005
RS15-3006
RS12-1050
RS08-2013
RS14-2032
RS14-2033
RS14-2034
RS10-2801
RS10-2802
RS10-2803
RS14-8042
RS12-1048
RS14-2300
RS12-1049
RS12-1324
品名
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ【2台】
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
超純水製造装置
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
型式
NESLABⅢ
NESLABⅢ
NESLABⅢ
CH-2200WS、CH-5500WS
CH-5500WS
EXL-1006
EXL-1006
EXL-1006
MMR-101
MMR-101
MMR-101
NCB-2400
PURIC-MXⅡ-LS
RKE-5500A-K
SCS-3WT
CS1000
メーカー
NESLAB
NESLAB
NESLAB
ﾀｲﾃｯｸ
ﾀｲﾃｯｸ
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
RISSHI
RISSHI
RISSHI
EYELA
ｵﾙｶﾞﾉ㈱
ORION
ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ
ﾘｯｼｰ
製造番号
197329002
197316042（P376）
D9607029
4090345、4090212
2110195
0309215
0404136
0404137
0707467
0708575
0707466
10006359
MLD2173321
808043
9904132
製造年
備考
保証期間は納品後3ヶ月
保証期間は納品後3ヶ月
保証期間は納品後3ヶ月
2004
☆
☆
☆
水冷ﾁﾗｰ
2009
2009
2009
200401
2005
2004
CS1000ｘ1台 CS6000ｘ1台
<スパッタ装置部品 ULVAC Ceraus>
中古品番号
RS09-1500
RS09-1501
RS10-8053
RS10-8054
RS10-8052
RS10-8055
RS10-8042
RS09-1484
RS12-1154
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS12-1161
RS12-1162
RS12-1151
RS10-8051
RS11-8139
RS11-8140
RS11-8141
RS11-8142
品名
ｼｬｯﾀｰ
ｼｬｯﾀｰ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
通信COM
制御系
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用PGﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
型式
1420A TKK-5
1420A TKK-6
1608ATKK-5
AT-MX10
Contunit型式001-8185-05
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-PG
KU80376
ME-Ⅱ ①
ME-Ⅱ ②
ME-Ⅱ ③
ME-Ⅱ ④
メーカー
製造番号
NTZX0129
ULVAC
NTZX0130
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
Adme
ｼﾘｱﾙ無し
Adme
ｼﾘｱﾙ無し
Adme
Allied ＴｅｌｅｓｙｎI 000010280100050 Rev2A
9910-10099
ﾌﾞﾙｯｸｽ
P196
ULVAC
P236
ULVAC
P237
ULVAC
P238
ULVAC
P247
ULVAC
P248
ULVAC
P249
ULVAC
P271
ULVAC
445
ULVAC
481
ULVAC
P128
ULVAC
製造年
備考
000010280100050 Rev2A
96-1500-27001 PMC-1
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
-
20
1999
1999
1999
1999
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8048
RS10-8049
RS09-1465
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
RS10-8050
RS09-1483
RS09-1504
RS09-1505
RS10-8040
RS10-8041
品名
制御BOX
制御BOX
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ
制御系
制御系
制御系
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
RYB
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
制御系
制御系
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
ME-ⅡA ①
ME-ⅡA ②
PI-30
PMC-6
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PVME-387
RYB1
SG6100S
SG6100S
SYSTEM I/F BOX
SYSTEM I/F BOX
メーカー
旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｵﾝﾃｯｸ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
2015年9月20日現在
製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
-
製造年
1999
1999
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
980309-1 KEPB-372
備考
ｽﾊﾟｯﾀ用
IPC用
ｱﾆｰﾙ用
№2
№1
<スパッタ装置部品>
中古品番号
RS11-2495
品名
ｶｿｰﾄﾞ
型式
φ4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ
メーカー
ULVAC
製造番号
製造年
1994
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
AE
ULVAC
製造番号
19952050
183100264
183100262
製造年
177100197
1991
メーカー
ULVAC
-
製造番号
-
川崎ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｽﾃﾑｽﾞ
U-00005
009
N8976
三菱
-
備考
<蒸着装置部品>
中古品番号
RS11-8047
RS11-8162
RS11-8163
RS09-1309
RS11-8164
RS10-8101
RS09-1576
RS11-2558
RS11-2559
RS10-8064
品名
ｶﾞﾝｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
EB蒸発源
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
EBｶﾞﾝ
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ
型式
EGC-10G
EGK-3C
EGK-3C
EGL-35
EGL-35
EGL-35M
EGO-40M
LIS
LIS
備考
★要修理
1991
1991
本体のみ
179800134
579883
579882
ｼﾘｱﾙ無し
ｲｵﾝｿｰｽ部 M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
ｲｵﾝｿｰｽ部 M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
<イオン注入装置部品>
中古品番号
RS14-1034
RS14-1057
RS14-1061
RS04-8034
RS14-1031
RS14-1059
RS14-1056
RS14-1055
RS14-1060
RS14-1085
RS14-1076
品名
Qﾚﾝｽﾞ
ｳｪｰﾌﾞｶﾞｲﾄﾞﾍﾞﾛｰ
ｸﾗｲｵ温度計ﾊﾟﾈﾙ
ｺｯｸﾛﾌﾄ
ｺﾝﾀﾐﾄﾞﾘﾌﾄﾁｭｰﾌﾞ
ｽｷｬﾅｰﾕﾆｯﾄ
ｿｰｽｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾍﾟｰﾊﾟﾗｲｻﾞ電源
ﾏﾆｭｱﾙｽｲｯﾁ
ﾛｯｸ室ﾌﾚｷﾎｰｽ（4本）
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
3801EI00
RS14-1174
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ
A970GOT-TBA-B
RS04-8026
RS04-8027
RS04-8093
RS14-2344
RS14-2317
RS14-2311
RS14-2312
RS14-1219
RS14-1032
RS04-8092
RS14-2315
RS04-8015
RS14-1026
RS14-1192
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ティーチングBOX
ベーパライザー電源
EXTターミナルCONT
HVターミナルCONT
GNDﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ MAIN
CPU BOX
プリアンプ
ACCEL/DECEL P/S
ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ
E/Sﾊﾞｲｱｽ電源
RS04-8022
HV P/S（DEC P/S）
CPU BOX
DOSE DISPLEY
DOSE DISPLEY
E4477A
EM-ABP1
EM-BEX0
EM-BHV0
ESS50-200-2-D-GBⅡ
FC-9821Xa model 2
FC-9853U
KW-FPR3
MDL-2/10
MPG16/12ｃｈ
PCM5N120X
PS/ER30N10.0-10(30KV/10mA）
PS/ER30N10.0-10(30kV/10mA）
PS/ER30N10-Y10A
PS/UL-15-2G1255
PS/UL-15-2G1255
PS/UL180P5X1222
PS/UL180P5X1222
PS/UL-3517G1254(35kv/17mＡ)
PS/UL-3517G1254(35kv/17mＡ)
RDT141S
S501J
SD-FPG0
SL260P2080X2652
SL40N300X
T1501-GY
TK-A0021
TR-898
TR-898
TR-898
TR-898
TR-898
TR-898
UL152G1255
UL152G1255
UL180P5G1255
UL180P5GI222
UL3517G1254
UX035-60
Ver.5 TAP80V/変圧器150V
RS04-8088
ＨＶP/S(DEC P/S）
RS14-1042
RS04-8025
RS04-8091
RS04-8021
RS04-8087
ﾃﾞｨｾﾙ電源
Q-LENS P/S
Q-LENS P/S
ＨＶ P/S
ＨＶP/S
RS04-8023
HV P/S(EXT P/S)
RS04-8089
HV P/S(EXT P/S)
RS14-1214
RS14-2343
RS14-2313
RS14-1217
RS14-1190
RS14-2308
RS14-2320
RS14-2328
RS14-2326
RS14-2327
RS14-2331
RS14-2329
RS14-2330
RS14-2339
RS14-2325
RS14-2334
RS14-2346
RS14-2319
RS14-2321
RS04-8084
ﾓﾆﾀｰ
ディスプレー
PG CONT
HV電源
引出電源
ディスプレー
アクセルディセル電源
スキャナー電源③
スキャナー電源①
スキャナー電源②
スキャナー電源⑥
スキャナー電源④
スキャナー電源⑤
オフセット電源
DCオフセット電源
HV電源
HV電源増幅器
引出電源
アナライザーマグネット電源
ARC/FIL P/S
製造年
60055
E4477Y329111
ダイヘン
EME
EME
EME
EMI
NEC
NEC
関西電子
2000
2000
2000
2000
2000
S082007MA
S390195
2000
51876
FPGO-045
-
ULVAC
SPELLMAN
本体のみ。
本体のみ
ﾌﾞﾗｳﾝ管ﾓﾆﾀｰ
IPZ-5001用部品
本体のみ
2000
GLASSMAN/高
99993103
砂
M918808-01FR001004
GLASSMAN
GLASSMAN/高
2930099
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
880258
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
M674070-01DW930922
砂
GLASSMAN/高
2900392
砂
三菱
30031090
IIYAMA
SDS
ｽﾍﾟﾙﾏﾝ
SPELLMAN
ナナオ
テクノ電気
TREK
TREK
TREK
TREK
TREK
TREK
5990053
グラスマン
グラスマン
グラスマン
5990018
高砂
グラスマン
高砂
110838
本体のみ。
ﾃﾞｨｾﾙ電源
M669040-01C V 930630
21
備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
高圧電圧昇圧
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用 （2014/10頃まで都度使用時稼働） 本
体のみ。 吸引ｶﾞｽ：Ar
演算制御部
演算制御部
演算制御部
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
ﾃﾞｨｾﾙ電源
本体のみ
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
高圧電源（180ｋV）
高圧電源（180ｋV）
引出電源（30ｋV）
引出電源（30ｋV）
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
本体のみ。
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ。
本体のみ。
IPZ-5001用部品 本体のみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品 RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
ｲｵﾝｿｰｽ部
RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
付属電源ケーブルのみ
RS14-1004付属予定 付属電源ケーブルのみ
付属電源ケーブルのみ
本体のみ
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS04-8016
RS04-8071
RS04-8057
RS14-2349
RS04-8086
RS04-8082
RS04-8090
RS04-8085
RS04-8094
RS04-8095
品名
SOURCE MAGNET P/S
ｻﾌﾟﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源
ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ
BEAM CONT INTERFACE
UNIT
HVﾃﾞﾊﾞｲﾀﾞｰ
SOURCE MAGNETP/S
SWING MOTOR DRIVER
ｺｯｸﾛﾌﾄ
ﾎﾟﾝﾋﾟﾝｸﾞﾁｭｰﾌﾞ
加速管
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
メーカー
製造番号
IDZ-8000用
ULVAC
ULVAC
52611
29
アルバック
BM0301
無し
不明
ULVAC
無し
無し
無し
ULVAC
無し
不明
20Z30043
880258
無し
無し
2015年9月20日現在
製造年
備考
IDZ-8000用 動作未確認
2000
IPZ-5001用部品 付属電源ケーブルのみ
<スパッタ装置部品 AMAT ENDURA>
中古品番号
RS09-1506
RS09-1509
RS09-1510
RS09-1554
RS09-1555
RS09-1540
RS09-1513
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1518
RS09-1562
RS09-1558
RS09-1561
RS09-1557
RS09-1512
RS09-1551
RS09-1507
RS09-1508
RS09-1544
RS09-1534
RS09-1539
RS09-1538
RS09-1536
RS09-1537
RS09-1514
RS09-1515
RS09-1516
RS09-1262
RS09-1519
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1526
RS09-1523
RS09-1524
RS09-1525
RS09-1529
RS09-1527
RS09-1528
RS09-1530
RS09-1552
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1390
RS09-1541
RS09-1545
RS09-1546
RS12-2091
品名
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ 8510 Compressor
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
Hose Push-Lok5/8250PSI
Hose Push-Lok 5/8 300PSI
SPLTR BOX HELIX
Wide Chamber
AIﾀｰｹﾞｯﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ Ti ﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管
真空配管類
水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ
中古ﾎｰｽ
STD Lifter
PVD HP LIFT
Nallow Load/Lock LLA
Nallow Load/Lock LLB
BLDG TO BLDG Transfer
MAGNET
SPACER INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
Shield 8"
Shield 8"
Shield Upper
ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ
REMOTE/SYSTEM VIDEDO
ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO
ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO
ｹｰﾌﾞﾙ（MONITOR)
SYS.CONT. BULKHEAD
ION GAUGE CABLE
ION GAUGE CABLE
ION GAUGE CABLE
ION GAUGE CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD
200PSI SYNTH
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ
MFC N2200sccm STEC
MFC AR100sccm
MFC AR100sccm
Endura ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一
型式
8510
0020-20676
0020-20676
0010-20300
0010-70441
0010-75004
0010-75005
0010-76674
0020-20221
0020-20521
0020-20521
0020-20522
0020-20522
0020-21665
0020-21665
0020-23278
011222-103
メーカー
CTI
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21234
0190-21305
0190-21305
0190-21305
0190-21305
0620-01201
0620-01201
0620-01201
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
3400-01073
AMAT
3870-02524
3870-02524
3870-02524
ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ
SEC4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
製造番号
67A9608665
製造年
備考
P/N:0020-20676
P/N:0020-20676
3400-01074
P/N:3400-01074
約11ｍ
P/N:8135240G001
2個一式
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
T-3295-17-3425
T-21495-63-3571
T-21495-64-3571
AMAT
AMAT
AMAT
AMJ
HORIBA STEC
HORIBA] STEC
HORIBA STEC
AMAT
2個一式 ※改造に最適
M/N:2365831
M/N:3471316094
M/N:3461442376
<プラズマＣＶＤ装置部品 ＡＭＡＴ Ｃｅｎｔｕｒａ>
中古品番号
RS09-1067
品名
4,5,6,”ROBOT
型式
-
RS09-1080
ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ
-
RS09-1087
RS09-1089
RS09-1090
RS09-1110
RS09-1135
RS09-1141
RS09-1186
RS09-1187
RS09-1195
RS09-1196
RS09-1197
RS09-1198
RS09-1200
RS09-1201
RS09-1202
RS09-1203
RS09-1204
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ
ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD）
REDUCER BOX
ﾎﾞｰﾄﾞ
FAN
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗLL室ｽﾃｰｼﾞ
LL室ｽﾃｰｼﾞ
ｶｾｯﾄ
Cable
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ｽﾘｯﾄASSY
信号Cable
ｴｱｵﾍﾟ
STD Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
-
メーカー
AMAT
HEWLETT
PACKARD
CAPACITOR
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾌｼﾞｷﾝ
AMAT
VAT
製造番号
製造年
備考
※2式
※2式
T-11696-38-2560
22
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1210
RS09-1218
RS09-1219
RS09-1222
RS09-1223
RS09-1259
RS09-1265
RS09-1271
RS09-1272
RS09-1274
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1278
RS09-1280
RS09-1281
RS09-1283
RS09-1284
RS09-1286
RS09-1288
RS09-1556
RS09-1326
RS09-1078
RS09-1092
RS09-1079
RS09-1088
RS09-1104
RS09-1273
RS09-1044
RS09-1039
RS09-1287
RS09-1041
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1032
RS09-1033
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1091
RS09-1043
RS09-1082
RS09-1252
RS09-1221
RS09-1075
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1511
RS09-1282
RS09-1601
RS09-1587
RS09-1098
RS09-1099
RS09-1100
RS09-1600
RS09-1115
RS09-1046
RS09-1047
RS09-1057
RS09-1058
RS09-1116
RS09-1117
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1059
RS09-1060
RS09-1131
RS09-1132
RS09-1109
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1101
RS09-1120
RS09-1126
RS09-1061
RS09-1128
RS09-1133
RS09-1134
RS09-1108
RS09-1073
RS09-1077
RS09-1074
品名
ｶｾｯﾄ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾁｬﾝﾊﾞｰ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
LLｶﾊﾞｰ
Centura ﾌﾛﾝﾄﾊﾟﾈﾙ
SBC
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾊﾞｯﾌｧｰｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
O/D Body
O/D Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
STD Lid
STD ﾋﾝｼﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ
Cnturaﾊﾞｯﾌｧｰﾘｯﾄﾞ
STD Bode
ﾌﾞﾚｰｶｰ他 1式
THROTTLE VALVE ASSY,
PCB ASSY SBC I/O
BREAKOUT
ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ
PCB ASSEMBLY ENCODER
INTERFACE
DC POWER SUPLY
電源
O/D Lid
Dura Ｓｏｕｒｃｅ 13” Ａｌ
PC1 MATCH ASSY
ｽﾘｯﾄAssy
200V DEGAS DRIVER
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
200V PVD DRIVER
Dura Ｓｏｕｒｃｅ 13”JMW-1
ASSY STORAGE ELEV
WAFER CASSETTE HNDLR
DI/Oボード
ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口）
HEATSINK,MODIFIED,THROTT
LEDRIVE
wASSY LAMP
DRIVER,TESTED REP0190wASSY LAMP
DRIVER,TESTED REP0190BASE,DOUBLE SEALING
RING LAMP MODULE
BASE,DOUBLE SEALING
RING LAMP MODULE
8"STD Heater
ｽﾘｯﾄAssy
SHILD AL/TI 8INCH WAFER
ｵﾘｴﾝﾀｰﾊﾟｰﾂ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
WELDMENT,8"FOOP PVD
W/B CHAMBER
ﾎﾞｰﾄﾞ
VME STEPPER
CONTROLLERⅠ
VME STPPER CONTROLLER
VME STEPPER
CONTROLLERⅠ
VME STEPPER
CONTROLLERⅠ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE
MONITOR
PCB ASSEMBLY T,C,GAUGE
MONITOR
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
SBC BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB ASSY AI MUX
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾛﾎﾞｯﾄ
SUSCEPTOR LIFT
SUSCEPTOR LIFT
WAFER LIFT
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
0010-09019
メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
VAT
AMAT
AMAT
VAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-09071
AMAT
SN BUK4
0010-09103
AMAT
381
0010-09137
AMAT
0010-09181
0010-20000
0010-20278
0010-20328
0010-20441
0010-20664
0010-20697
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-21206
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-76001
AMAT
73
0010-76124
0010-76244
AMAT
AMAT
22295-03
0015-09077
AMAT
0015-09091
AMAT
0015-09091
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-20125
0020-20587
0020-21665
0020-23591-B CDSC
0040-06421
0040-06421
0040-06421
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0040-76308
AMAT
0090-76110
AMAT
0100-00003
AMAT
0100-00003
AMAT
0100-00003
AMAT
0100-00003
AMAT
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-00008
AMAT
0100-00008
AMAT
0100-00008
0100-00008
0100-00011
0100-00011
0100-00011
0100-00014
0100-00014
0100-09002
0100-09006
0100-09009
0100-09011
0100-09011
0100-09029
0100-09058
0100-09139
0100-09340
0100-09340
0100-09341
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
製造番号
2015年9月20日現在
製造年
備考
2個一式
55149
F10-8753310112
2個一式
F10-8753310112
Blaker,MC 一式 Gen-Rack, ,Gen-Psの台 ﾌﾞﾗｹｯﾄ
0221304
798
T-12196-29-2560
31294-01
27894-02
08196-02
11696-17
08796-01
4304
-
SNOKY06
ZYOCAR8
6M0ABA0
SN0AZN8
311
20295-05
625
23
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1076
RS09-1070
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1072
RS09-1055
RS09-1048
RS09-1049
RS09-1113
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
0100-09341
0100-09416
0100-09416
0100-09416
0100-09750
0100-11000
0100-11001
0100-11001
0100-11001
メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0100-11002
AMAT
0100-11002
AMAT
0100-11002
AMAT
0100-11002
AMAT
0100-11002
AMAT
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-2003
0100-20040
0100-20040
0100-20040
0100-20100
0100-20100
0100-20100
0100-20100
0100-20173
0100-51017
0100-70089
0100-70089
0100-76124
0100-76124
011222-103
011222-103
0120-20162
012141-101
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-20186
AMAT
0150-20186
AMAT
RS09-1085
RS09-1040
RS09-1217
RS09-1105
RS09-1081
RS09-1094
品名
WAFER LIFT
ASSY RF MATCH,ETCH
RF MATCH PHASE IV
RF MATCH PHASE IV
CVD RF-MATCH
PCB ASSY,ANALOG INPUT
ANALOG OUTPUT BOARD
ANALOG OUTPUT BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB ASSEMBLY DIGITAL
Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL
Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL
Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL
Ⅰ/O
PCB ASSEMBLY DIGITAL
Ⅰ/O
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
ﾎﾞｰﾄﾞ
CHOPPER DRIVER
Slit Valve ASSY
Slit Ｖａｌｖｅ Assy
DI/Oボード
DI/Oボード
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ｲｵﾝﾍﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ
ｼﾘｱﾙｱｲｿﾚｰｼｮﾝ
Cable Assy Source Water
Manifold Ground ｱｰｽ線
Cable Assy Source Water
Manifold Ground ｱｰｽ線
WMAGNET DRIVE ASSY
RF POWER SOURCE
PC-I
PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ
RS09-1167
IG CONT
RS09-1220
RS09-1095
RS09-1166
RS09-1178
RS09-1236
RS09-1237
RS09-1239
RS09-1240
RS09-1106
Dry Pump
ATP100
DRVER BOX
INTERFACEボード
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
FAN PAC
RS09-1164
DCPS
DC24、DC12、
DC15,DC5V電源
RS09-1165
DCPS
DC24、DC12、
DC15,DC5V電源
RS14-8053
RS09-1171
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
RS14-2314
RS09-1211
RS09-1177
RS09-1233
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1232
RS09-1473
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
RS09-1127
RS09-1136
RS09-1185
RS09-1238
RS09-1179
POWER STANDARD
ELECTRONICS INC
DC電源
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
IG CONT
CRTﾓﾆﾀｰ
INTERLOCKボード
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD
ISOLボード
ISOLボード
ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ
DIO
LAMBDA LIS-3I-12
LAMBDA LIS-7Ｉ-15
LAMBDA LIS-7I-15
LAMBDA LIS 7I-15
LAMBDA LIS-7I-15
INTERLOCKボード
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ
INTERLOCKボード
DC24、DC12、DC15,DC5V電
源
DCL1000-MC
DIGITAL I/O BOARD
DIGITAL I/O BOARD
DIGITAL I/O BOARD
DIGITAL I/O BOARD
EM-FIG1
FMV-DP846
INTERLOCK SELECT BD
INTERLOCK SELECT BD
ISOLATION AMPLIFTER BD
ISOLATION AMPLIFTER BD
ISOLATION AMPLIFTER BD
K-380-02
LIS-32-12
LIS-72-15
LIS-72-15
LIS-7I-15
LIS-7I-15
LOADLOCK INTERLOCKS
LOADLOCK INTERLOCKS
MAINFRAME INTERLOCK
RS09-1036
DC電源
MDX-L6
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
RS09-1054
RS09-1121
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1124
RS09-1125
RS09-1225
RS09-1227
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1261
RS09-1228
RS09-1247
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1250
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
RS09-1114
RS09-1065
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1224
RS09-1229
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1226
RS09-1246
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1268
0190-70060
0190-70079
0220-21472
0920-01005
10A0207
127AA-00001E
344VACUUM GAUGE
CONTROLLER
A30W
ATP100C
CH1,CH2のみDRVERあり
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
D299-857
製造番号
2015年9月20日現在
製造年
備考
E2-010-09A
26295-01A
E01-207-03A
11895-03
SNOQA09
125-92-96-01-R
125-92-96-03-R
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
IPT
MSK
GRANVILLE
PHILLIPS
EBARA
adixen
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
4189R
2762
1-18994-95-3277
102
29305
78760-130
AMAT
61433023
ULVAC
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
EME
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
AMAT
AMAT
AMAT
ADVANCED
ENERGY
000013
1990
ﾕﾆｯﾄNo.:C#50375
ATP508535
P/N:0010-20701
P/N:0010-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0190-76198
61006244
7Z83552
Centre用
2001
2000
1997
P/N:0010-20003
P/N:0010-20003
P/N:0010-76124
P/N:0010-20003
IPZ-5001用部品
P/N:CA01134-B371 AC100V、50/60Hz、75W、 12.5Kg
P/N:0010-20037
P/N:0100-20037
P/N:0010-20012
P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065
P/N:0100-20012
2個一式 P/N:0130-35058、0100-20063
P/N:0100-35058
P/N:0010-20053
36523
24
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1269
RS09-1192
RS09-1193
RS09-1025
RS09-1026
RS09-1027
RS09-1214
RS09-1151
RS09-1176
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1267
RS09-1096
RS09-1140
RS09-1138
RS09-1139
RS09-1137
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1188
RS09-1242
RS09-1241
RS09-1482
RS09-1485
RS09-1093
RS09-1194
RS09-1145
RS09-1146
RS09-1142
RS09-1206
RS09-1279
RS09-1213
品名
DC電源
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
SOLD STATE POWER
GENERATOR
SOLD STATE POWER
GENERATOR
SOLD STATE POWER
GENERATOR
LLﾄﾞｱｶﾊﾞｰ
ALｴｯﾁｬｰ
RELAYボード
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ BD
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ BD
15V PWR SUPPLY
ﾓﾆﾀｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PVD Lid
ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
TC GAUGEボード
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
LLC A,B
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｽﾃｰｼﾞｴﾚﾍﾞｰﾀｰASSY
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
MDX-L6（0190-76006）
O/D
O/D
メーカー
AE
AMAT
AMAT
製造番号
70451
OEM-12A-21041-51
ENI
2028
OEM-12A-21041-51
ENI
2649
OEM-12A-21041-51
ENI
2716
P/N：0040-40048
P-5000
RELAY CONTROL BD
RELAY CONTROL BD
RELAY CONTROL BD
REV.E
SD5904C
SEC-400MK3
SEC-400MK3-UL
SEC-400MK3-UL
SEC-4400M
SEC-F730MA1
SEC-F730MA1
STD Lid
SYS RESET/INTLK SEL BD
TC GAUGE BD
UDK5114VN
UDK5114VN
UDX5114N
UDX5114N
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
wide
Wide
Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
AMAT
AMAT
ULVAC
ULVAC
AMAT
AMAT
STEC
STEC
STEC
AMAT
AMAT
AMAT
2015年9月20日現在
製造年
備考
6個一式
※部品
P/N:0100-20038
P/N:0100-20038
09398-03
908736068
1620428
2577231
2577230
261501822
292102081
252508127
TON02919
TON02918
63168
3103050100
2540681
3103050102
0010-40073
<プラズマＣＶＤ装置部品 ＡＭＡＴ Ｐ－5000>
中古品番号
RS09-1317
RS09-1362
RS09-1339
RS09-1340
RS09-1341
RS09-1342
RS09-1343
RS13-2002
RS09-1320
RS09-1313
RS09-1375
RS09-1361
RS09-1367
RS09-1368
RS09-1334
RS09-1335
型式
UES17H115S29
SS-BNVS1-AB
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-400MK3
SCV
IVBH-0004
IFGG7005M-C
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
DBM-P21（DBM-K4PC)
DBM-P21（DBM-K4PC)
RS09-1333
RS09-1332
RS09-1338
RS09-1344
品名
3連ﾌｧﾝ
手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
VACUUM VALVE
ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ
ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ELECTROSTATIC CHUCK
COVER
ｾﾗﾐｯｸｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ
ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ
電磁弁
電磁弁
COAXIAL RESISTOR
VALVE PNEU 1.50 OD PORT
KALREZ
VALVE PNEU 1.50 OD PORT
KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY
MINI NC-1
BRG LEADSCR&NUT ASSY
.5DX.1LEADX4TRVLX
GAUGE SNSR PRESS TC
1/4" VCR FEM
CNTNR DEIONIZER TANK
SST W/RESIN PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK
SST W/RESIN PACKAGE
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾏｽﾌﾛ
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
RS09-1345
RS09-1323
RS09-1314
RS09-1386
RS09-1387
RS09-1385
RS09-1363
RS09-1364
RS09-1376
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
RS09-1349
RS09-1389
RS09-1330
RS09-1331
RS09-1381
RS09-1350
RS09-1315
RS09-1316
RS09-1359
RS09-1346
RS09-1347
RS09-1354
RS09-1355
RS09-1356
AMAT部品
AMAT部品
AMAT部品
AB31-2N-2-04A
AB31-2N-2-04A
8860
製造番号
9623624077
メーカー
AMAT
NUPRO
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
BENKANUCT
BENKANUCT
大日本ｽｸﾘｰﾝ
ﾌｼﾞｷﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮ
AISIN
AISIN
251400220
251400215
251400227
251400237
251400236
製造年
備考
TYPE No:000448
TYPE No:000175
TYPE No:000448
TYPE No:000399
TYPE No:000399
Ar 50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付
C51206
7ID009
2KB023
AMAT
AMAT
AMAT
OKD
OKD
TERMALINE
3870-01455
NC
125362
3870-01455
NC
122606
3870-01245
ｽｴｼﾞﾛｯｸ
3690-03269
AMAT
3310-01074
VARIAN
3250-01007
AMAT
3250-01007
AMAT
3155094-003A
3155077-003A
1159B-00020RU-S
0600-01011
AE
AE
MKS
AMAT
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
0600-01011
AMAT
PROM KIT ASSY
0300-09055
AMAT
KIT, 6" MAINTENANCE ESC
PLATE, COVER, 6" HEATER,
ALUMINUM NITRID
WINDOW, SIDE, UV COATED,
SAPPHIRE, DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
ASSY CABLE, SYSTEM
ELECTRONICS AC PWRCHO
0240-32135
AMAT
0200-36629
AMAT
0200-09969
AMAT
0190-35413
0190-35413
0190-09663
0190-09533
0190-09533
0190-09533
0190-09533
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-75202
AMAT
0711-157
701426
108027
000026334
WO-35820/1
25
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1324
RS09-1328
RS09-1371
RS09-1369
RS09-1321
RS09-1322
RS09-1357
RS09-1358
RS09-1377
RS09-1380
RS09-1378
RS09-1379
RS09-1388
RS09-1352
RS09-1351
RS09-1348
RS09-1382
RS09-1383
RS09-1384
RS09-1374
RS09-1312
RS09-1327
RS09-1329
RS09-1353
品名
CABLE ASSY ENCODER
FLAT FLEX 34 POS
HARNESS ASSY,MOLDED
POWER CORD
VGA VIDEO CONTROLLER
BOAD
SERIAL SIDE BOAD ASSY
PCB ASSY CAPACITIVE
SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE
SENSOR AMP
MOTOR BRAKE ENCODER
ASSY, CASS
MOTOR BRAKE ENCODER
ASSY, CASS
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
FACEPLATE, TEOS, DXZ
CLAMP, ACME LEAD SCREW
CAP, BEARING, DXZ
BASE,RF
PLATE, GAS DISTRIBUTION
HEWEB, 150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION
HEWEB, 150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION
HEWEB, 150MM
ASSEMBLY BEARING
ASSY RF MATCH BW
ETCHBACK
THROTTLE VALVE ASSY,
ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
PCB ASSY CAPACITIVE
SENSOR AMP
【お客様用】中古品在庫リスト
型式
メーカー
0150-70018
AMAT
0140-09551
AMAT
製造番号
0100-00793
AMAT
0100-00165
AMAT
0100-00084
AMAT
181067-1338-0166
0100-00084
AMAT
181067-1338-0168
0090-02980
AMAT
0090-02980
AMAT
00410117E326119423
00410117E038119423
004101117E284119423
00310117E038119423
0021-00042
0020-34727
0020-34726
0020-34131
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0020-30570
AMAT
0020-30570
AMAT
2015年9月20日現在
製造年
備考
B358
0020-30570
AMAT
0010-30583
AMAT
O713601
0010-09490
AMAT
22394-09A
0010-09019
0010-05256
AMAT
AMAT
0899
0010-00084
AMAT
26
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