ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】

ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】
排
450
300
250
200
150
100
LR1800, 3601
LR300(50Hz)
LR300(60Hz)
LR600(50Hz)
LR600(60Hz)
LR1200(50Hz)
LR1200(60Hz)
1000
排気速度
（m3/h）
排気速度
（m3/h）
350
線
LR300, 600, 1200
1200
LR60(50Hz)
LR60(60Hz)
LR90(50Hz)
LR90(60Hz)
LR180(50Hz)
LR180(60Hz)
LR421(-T)
400
度曲
800
3000
排気速度
（m3/h）
LR60, 90, 180, 421
気速
600
400
2500
2000
1500
1000
200
50
0
1.E+00
1.E+01
1.E+02
1.E+03
圧力
（Pa）
1.E+04
1.E+05
LR1800(50Hz)
LR1800(60Hz)
LR3601(-T/TT)
LR3601(-R/TR/TTR)
500
0
1.E-00
1.E+01
1.E+00
1.E+02
1.E+03
圧力
（Pa）
1.E+04
1.E+05
0
1.E-01
1.E+00
1.E+01
1.E+02
1.E+03
圧力
（Pa）
1.E+04
1.E+05
ポンプ本体サーモグラフィ
右図に H R シリーズポンプ運転時の温度分布（表面温度：℃ ）を示します。
ガスが通過するポンプ本体部を空冷すると、表面温度 1 1 0 ℃付近の高温領域で均
熱化されます。尚、ポンプ内部のガス温度は更に高温になっています。S iH 2 C l 2 を
使用する S iN - L P C VD で発生する N H 4 C l や、A l エッチングで発生する A lC l 3 等の
昇華性物質の排気に最適です。
また、運転温度切り換えバルブの操作により、ポンプ本体を水冷すると、熱負荷の
かかるプロセスや高温で反応するガスの排気に最適なポンプに変身します。
CVD、エッチングプロセスにおける代表的なプロセスガスの蒸気圧特性
C VD 、エッチングプロセスにおける排気物質の蒸気圧曲線と H R シリーズ（高温型）の温度分布を示します。図中に示すポンプのシリンダ段数（ 1
～ 6 ）の各ポイントは、C VD 、エッチングプロセスで発生する様々な排気物質の蒸気圧曲線より下側（気体の領域）に位置しています。すなわち、ポ
ンプに吸引される様々な排気物質を気体の状態で通過させることが可能です。また、ポンプを通過する気体の分圧を変化させ、御社のプロセスに
最適な条件を設定します。ぜひ、お問い合わせください。
(Pa)
10 5
OS
)
Solid
(TE
、S iF （
4 4 塩化ケイ素）
4 4 フッ化ケイ素）
f. S iC l （
1 . 各々の蒸気圧曲線の左側が固体（液体）、右側
6 6 フッ化タングステン）
g . W F（
が気体の状態を示します。
2 . 希釈ガスを流しポンプの分圧を変えることに
)
Gas
より、プロセスガスが気体の状態でポンプを通
ium
ch
lor
ide
Si
6
6
MoF
WF
SiF 4
10 3
(O
C
2H
5)
4
10 4
C V D 、エッチングプロセスにおける代表的なガス
の蒸気圧曲線とH R シリーズのポンプ温度分布
l (a
mm
on
過します。
NH
4C
3 . －－－配管ヒータ・トラップ等が必要
- - - - 配管ヒータ・トラップ等が不要
4 . 各物質が発生するプロセス名
a . N H 4 C（塩化アンモニウム）
l
H 2 O (w
6
2
3
て塩素及びフッ素ガスを使用し、水
分等が介在する場合に発生
：1 ,6 6 5 ℃
5 . 沸点（大気圧）… S（シリコン）
i
S iO （
：2 ,4 2 6 ℃
2 酸化シリコン）
……シリコンナイトライド（窒化膜）C VD
……アルミニウム膜エッチング
Gas partial pressure and cylinder
temperature of each stage
5 5 フッ化タンタル）
c . Ta F （
……タンタル酸エッチング
3
10 - 2
1
……タングステン膜エッチング
塩酸）、H F（フッ化水素、
フッ酸）
h . H C（塩化水素、
l
…… C V D 、エッチングプロセスにおい
3 塩化アルミニウム）
b . A lC l （
4
loride)
(alumin
10 - 1
Exhaust temperature
of 6th stage
5
um trich
TaF
5
tetrach
loride)
ater)
chlorine)
SiCl
4
1
(silicon
10
HCI (hydro
gen chloride
,
圧　力
10 2
……シリコン膜エッチング
AlCl
テオス）
4 T EO S 、
d . S（
i O C 2 H 5 ）（
……シリコンオキサイド（酸化膜）C VD
10 - 3
－200
－100
0
100
温　度
200
300
400（℃）
6 6 フッ化モリブデン）
e . M o F（
……モリブデン膜エッチング
w w w. u lva c. c o. j p
株式会社アルバック規格品事業部
国内販売：アルバック販売株式会社
■東日本営業統括部
TEL 03-5218-6011
（代）
■西日本営業統括部
TEL 06-6397-2281
（代）
お問い合わせ
海外販売：株式会社アルバック　規格品事業部
■海外営業部
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
1043J-2/2016023000UJ
低真空
ポンプ
ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】
LR/ HR/ U R シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用で C V D 、ドライエッチング等のハード
プロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスでは EC O -SHO C K とのコンビネーションで最大約 7 0 %
の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種 C E 対応可能（オプション）
です。
LR180
LR90
LR60
特
長
間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適。
高温領域で均熱化（ HR シリーズ・UR シリーズ）
：
CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態
で排出することが可能。
URシリーズは HRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。
ヘリウムタイト：
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。
瞬停対策：
1000msec 以内の瞬停対策を施しています。
優れた耐食性：
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を
標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。
CE 対応可能：
CE対応はご発注時のご指定によるオプションになります。
用
途
活性ガス排気（ CVD、ドライエッチング等）
不活性ガス排気（スパッタ、蒸着、熱処理等）
仕込み取り出し室の排気時間短縮（ LR シリーズ）
粉体の発生するプロセスでの排気（ Si 単結晶引き上げ等）
補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブー
スタポンプの補助排気）
低真空ポンプ
低温領域で均熱化（ LR シリーズ）
：
PVD プロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時
通信機能：
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を
読み出すことが可能。専用ソフトを使用し､コンピュータ通信を
行えば集中監視が可能。
ドライ真空ポンプ【LR/HR/UR シリーズ】
仕
型式
DRP
MBP
使用ポンプ
最大排気速度
m3/h
L/min
50Hz
60Hz
50Hz
60Hz
Pa
到達圧力
最大排気圧力（吸入圧力）
最大排気口圧力（排出圧力）
吸気口（CE 仕様）
排気口
DRP 表面処理
MBP 表面処理
質量
kg
電力
三相
VAC (Hz)
定常時
A
電流値
最大値
A
冷却水一次圧力
MPa
冷却水出入口差圧
MPa
冷却水流量
L/min
一次圧力
MPa
パージガス
二次圧力
MPa
SLM
軸
N2 パージ
ガスバラ
SLM
様
LR/HR60
LR/HR90
LR180
LR421
LR421-T
UR421-T
LR/HR300
LR/HR600
→
LR/HR60
LR/HR90
LR180
LR421
LR421-T
UR421-T
62
80
1030
1333
112
126
1860
2100
183
237
3100
3950
440
440
410
7333
7333
6833
LR/HR60
PRC-003A
359
365
5980
6080
LR/HR90
PRC-006A
653
701
10900
11700
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
VG50（KF40）
－
5.0
大気圧＊
1Pa ～大気圧
VG80（KF50）
KF40
－
180
245
335
200（50/60）　220（60）
6.9/7.1
11.2
18.9
7.0/7.3
11.8
20.6
0.1 ～ 0.3
＞ 0.1
＞ 5.0
0 ～ 45
0.67
VG100
VG50
VG80（KF80）
KF40
415
180 ～ 240/380 ～ 440（50/60）
20.8
23.0
48.5
52.5
0.2 ～ 0.5
＞ 0.2
＞ 4.0
0.1 ～ 0.5
0.05 ～ 0.1
5
なし＊１
0 ～ 45
0 ～ 195
275
370
200（50/60)　220（60）
7.0/7.8
12.3/12.9
9.6/8.1
19.0/13.8
0.1 ～ 0.3
＞ 0.1
＞ 5.0
○
○＊
0 ～ 45
＊ご注文時に使用電圧をご指定ください。
＊ LR は低温均熱化仕様。H R は高温均熱化仕様となり、排気配管ヒータが標準装備されます。さらに高温用途が必要な場合はＵＲシリーズにて対応します。仕様一覧に掲載のな
い UR シリーズのご用命は別途ご確認をお願いします。
＊ H R300 、
H R6 00 、H R12 0 0、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT は、200Pa 以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。
ポンプ温度の異常によりインターロックが動作することがあります。
＊ LR3601-R/ TR/ TTR は高圧力時の排気速度性能を向上させたモデルになります。
＊ LR30 0 、
LR600 、LR120 0 、LR1 8 0 0 の M B P は表面処理の有無を選択可能です。
＊1 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積可能です。
運転モード
運転方式
N 2 流量
SLM
サイレンサ（オプション）
1
2
0
5
3
5 ～ 50 *
＊運転方式はご注文時にご指定ください。（標準設定　LR：2 H R：3 UR:3 ）
＊ LR4 21 、
LR360 1 、LR36 0 1 -R では運転方式 3 の設定はできません。
モデル
材質
表面処理
質量（kg）
接続フランジ
RS-01
SUS304
G B B 処理
4.1
K F40
RS-0 2
SUS304
G B B 処理
8.3
K F40
RS-0 3
SUS304
磨き板
12.5
K F50
別見積により、N2 増量や運転方式 3 設定可能に対応できます。
＊UR3601-TT、UR421-TのN2流量は、5～200SLMです。
外
形
寸
法
図
LR/HR60
単位：m m
吸気口
284
(VG50)
579
140
排気口
電力・電源
遠隔操作
RS485 or RS232C
694
824
900
318
370
378
ブレーカースイッチ
216
137
279
40
530
480
478
(KF40)
N2パージガス口
冷却水注入口
冷却水放水口
ヒーターは
HRシリーズに
取り付けられます。
LR421
LR421-T
吸気口
(VG100)
70.5
排気口
(VG50)
吸気口 LR421
198 127 吸気口 LR421-T
737
626
(KF40)
608
660
668
264
201
122 40
579
523
519
165
754
888
967
368
420
428
40
排気口
175
255
304
(VG80)
816
1011
1106
LR/HR300
LR180
688
吸気口
(VG80)
排気口
284
910
579
排気口
140
(KF40)
(KF40)
831
774
771
317
820
959
1042
注意：ポンプのフランジに直接荷重が掛からないようにしてください。
279
264
221
142 40
215
645
590
585
吸気口
(VG80)
318
370
378
694
824
900
216
137 40
吸気口
468
520
528
1154
742
685
682
LR/HR90
370
仕
→
UR600
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
→
UR90
PRC-006A
LR/HR1200
653
10883
UR1200
LR/HR90
UR90
PRC-012A
1012
1012
1051
16900
16867
17500
様
LR1800
UR1800
LR3601
LR3601-T(TT)
LR3601-R
LR3601-TR(TTR)
UR3601-TT
LR180
UR180
LR421
PRC-036C
LR421-T
PRC-036C(-T)
LR421
PRC-036D
LR421-T
PRC-036D (D - T)
UR421-T
PRC-036C-T
1701
1784
28350
29700
PRC-018A
1701
28350
3200
2700
53333
45000
0.67
大気圧＊
VG80（ KF80）
○
VG100（ KF100）
KF40
○＊
VG150（ KF100）
○
○＊
420
200（50/60)　220（60）
13.7/15.4
18.9
24.2/18.9
22.4
0.1 ～ 0.3
＞ 0.1
＞ 5.0
370
16.4
17.3
1Pa ～大気圧
○
545
21.4
39.8
VG150
KF50
○
×
660
29.2
34.9
0.1 ～ 0.5
0.05 ～ 0.1
5
0 ～ 195
なし＊1
0 ～ 45
T：× TT：○
×
TR：×　TTR：○
720
660
720
180 ～ 240/380 ～ 440（50/60）
31.0
35.4
58.4
82.0
0.2 ～ 0.5
＞ 0.2
＞ 4.0
0 ～ 45
0 ～ 45
なし＊1
○
39.8
68.3
＞ 5.0
0 ～ 195
サイレンサ／モデル適合表
適合モデル
クランプ
アウターリング
接続配管
ステー
LR60,LR90,LR300
LR600,LR1200
LR180(LR60,LR90,LR300)
LR1800(LR600,LR1200)
LR421(-T)
LR3601(-T/TT/R/TR/TTR)
1
2
2
2
1
3
1
2
2
2
1
3
－
－
外
LR/HR600
形
寸
法
1
1
1
1
1
図
LR1800
吸気口
(VG150)
排気口
(KF40)
40
468
520
528
LR/HR1200
820
959
1042
LR3601-R/TR
吸気口
(VG150)
排気口
626
1159
742
687
排気口
(KF50)
インバータカバー
R型専用
608
660
668
816
1011
1106
1111
40
175
255
40
165
201
122
264
754
888
967
370
215
(KF40)
951
894
891
304
987
(KF40)
264
264
754
888
967
吸気口
(VG100)
688
201
122 40
165
368
420
470
392
単位：m m
排気口
221
626
1213
1037
980
977
304
987
951
894
891
吸気口
(VG80)
368
420
470
1
1
1
1
1
142
キット A
キット B
キット A
キット B
キット A
キット B
1274
1263
1207
1203
RS-01
RS-01
RS-02
RS-02
RS-03
RS-03
755
キット名

Download Report