スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） DE シリーズ 技術情報 適用範囲 この技術情報は、Swagelok® ダイヤフラム・ バルブ （1.125 インチ集積サイズ）DE シリー ズに関するデータです。 以下の事項について記載しています。 ■ 表面仕上げ ■ インボード・ヘリウム・リーク・テスト （真空法） ■ パーティクル・カウント ■ 実験室でのサイクル・テスト ■ 水圧試験 表面仕上げ 超高純度工程仕様 （Swagelok SC-01 仕様） （MS-06-61）に記載されているとおり、スウェー ジロックでは、統計的プロセス・コントロール（SPC）により、均一に表面を仕上げてい ます。超高純度工程仕様（Swagelok SC-01 仕様）または特別なクリーニングおよびパッ ケージング（Swagelok SC-11 仕様） を 行 ったバルブの 接 ガス 部 の 表面粗 さは、平均値 で 0.13 µm（Ra）の仕上げとなっています。 1 ⫻ 10–6 インボード・ヘリウム・リーク・ テスト（真空法） 15 秒の テスト時間 ヘ リ 超高純度工程仕様（Swagelok SC-01 仕様） ウ 1 ⫻ 10–7 ム （MS-06-61）の Swagelok DE シ リ ー ズ・ ・ ダイヤフラム・ バルブ（1.125 インチ 集積 リ ー 1 ⫻ 10–8 サ イ ズ ）の シ ー ト 部 に は、SEMI-F1 に 基 ク づき、インボード・ヘリウム・リーク・テ ・ レ ストを行いました。 ー –9 テ ス ト を 行 っ た バ ル ブ 16 個 の ヘ リ ウ ム ト 1 ⫻ 10 3 透 過 反 応 に つ い て は、15 秒 間 で 規 定 の （std cm /s） 1⫻10-9 std cm3/s の リ ー ク・ レ ー ト を 著 しく下回るという良好な結果を得ました。 なお、 パーティクル・ カウントに 関 する データは、超高純度工程仕様（Swagelok （MS-06-61）に 基 づき、超純 SC-01 仕様） 水 を 用 いて 洗浄 したバルブのテスト 結果 です。 1 ⫻10-9 std cm3/s（規定値） 1 ⫻ 10–10 0 10 20 30 40 50 60 時間（秒） 3.0 パーティクル・カウント パーティクル・ カウントに 関 するテスト では、ASTM F1394 に基づいて、0.02 µm を 超 えるサイズのパーティクル 数 を 測定 しました。Swagelok DE シリーズ・ ダイ ヤフラム・バルブ（1.125 インチ 集積 サイ ズ）から生じるスタティック （静状態） ・パー ティクル 数 は、SEMI E49.8 で 規定 されて いる 1 ft3 につき 20 個未満 という 基準 を 満たしています。 スタティック 最大パーティクル数 3 個／ ft3 ダイナミック 最大パーティクル数 4 個／ ft3 2.0 パ ー テ ィ ク ル 数 1.0 0 0 10 20 30 40 50 60 時間（分） www. swagelok.co.jp 実験室でのサイクル・テスト 管理された実験室条件下にて、Swagelok DE シリーズ・ダイヤフラム・バルブ（1.125 イン チ集積サイズ）のサイクル・テストを行いま した。外周部のシール性能を評価するため に、全バルブに電気的にモニターを行いま した。シート部のシール性能、 外周部のシー ル性能、流量、アクチュエーターのシール 性能の評価は、一定の時間間隔でバルブを 取り外して行いました。 なお、 これらのテスト 結果 は、実際 の 使 用 における 最低 サイクル 数 を 保証 するも のではありません。実験室 でのテストは、 実際 の 使用状況 を 再現 することはできま せん。 そのため、実際 の 使用 において 同 じ 結果 となることを 保証 するものではあ りません。 ノーマル・クローズ型空気作動式バルブ 型式 DE シリーズ・ダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） 作動型式 数量 ノーマル・クローズ型空気作動式 16 ガス 16 16 ろ過されたドライ窒素ガス 温度（°C） 20 ⫺10 65 一次側／二次側圧力 （MPa） 0.86 真空 真空 アクチュエーター作動圧力 （MPa） 0.51 0.51 0.51 サイクル頻度（毎分） 300 120 120 サイクル数（回） 100 万 （中断） 100 万 （中断） 100 万 （中断） シート・シール部の最終漏れ （std cm3/s） （ヘリウム） ⬍1⫻10–9 ⬍1⫻10–9 ⬍ 1⫻10–9 外周部の最終漏れ （std cm3/s） （ヘリウム） ⬍ 1⫻10–9 ⬍ 1⫻10–9 ⬍ 1⫻10–9 水圧試験 管理 された 実験室条件下 にて、ノーマル・ クローズ型空気作動式、 ノーマル・オープン 型空気作動式、手動式 の Swagelok DE シ リーズ・ダイヤフラム・バルブ（1.125 イン チ集積サイズ）の破裂性能の評価を行いま した。 これらのテストは、製品の推奨使用条件を 超えて実施しています。製品カタログなど に記載されている仕様を超えた条件下で 実際に使用しないでください。 2 型式 作動型式 数量 DE シリーズ・ダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） ノーマル・クローズ型 ノーマル・オープン型 8 8 温度（°C） 20 最高使用圧力 （MPa） 0.86 破裂圧力要件 （MPa） 31.0 破裂圧力要件に到達した サンプル数 8/8 8/8 手動式 4 4/4 参考文献 ASTM Standards ① スウェージロック仕様書 F1394 Standard Test Method for Determination of Particle Contribution from Gas Distribution System Valves 超高純度工程仕様（Swagelok SC-01 仕様） （MS-06-61） SEMI Standards ② F1 Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components ① American Society for Testing and Materials, 100 Barr Harbor Dr., West Conshohocken, PA 19428, U.S.A. ② Semiconductor Equipment and Materials International, 3081 Zanker Road, San Jose, CA 95134, U.S.A. E49.8 Guide for High-Purity and Ultrahigh-Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment 特定 の 用途 を 想定 した 試験 ではないため、実際 に 使用 される 条件下 での 結果 については 保証いたしません。また、実験室で行った試験のため、実際の使用条件を再現しているも のではありません。試験結果 は、統計学的 に 有意性 のあるものとして 提供 するものでは ありません。圧力、 温度などの技術情報につきましては、 製品カタログをご参照ください。 安全な製品の選定について 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮 して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データ などを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作 およびメンテナンスを行うのは、 システム設計者およびユーザー の責任ですので、十分にご注意ください。 この日本語版技術情報は、英語版技術情報の内容を忠実に反映 することを目的に、製作いたしました。日本語版の内容に英語版 との相違が生じないよう、細心の注意を払っておりますが、万が 一相違が生じてしまった場合には、英語版の内容が優先されま すので、ご留意ください。 SwagelokーTM Swagelok Company © 2012 Swagelok Company January, 2012, R0 MS-06-113J4-E A12E
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