ZX Series

真空ユニット
ZX Series
エジェクタシステム・真空ポンプシステム対応
100gまでの電子部品、
小物精密部品に
［オプション］
ZA
ZX
モジュール設計による最適機能組み合わせ可能
ZR
使用目的に応じて、
必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。
ZM
ZMA
ZQ
lNDEX
ZH
特長・用途例 …………………………………………… P.864
エジェクタユニット基本仕様 ………………………… P.865
ZU
ZL
エジェクタシステム
型式表示方法 …………………………………………… P.866
供給弁・破壊弁の組み合わせ ………………………… P.868
構造図 …………………………………………………… P.869
エジェクタユニット …………………………………… P.870
バルブユニット ………………………………………… P.872
サクションフィルタユニット ………………………… P.874
真空用圧力スイッチユニット ………………………… P.875
外形寸法図／バルブユニットなし …………………… P.881
外形寸法図／供給弁・破壊弁組み合わせ
K1、
K3、
K6、
K8、
J1、
J2タイプ ……………… P.882∼893
マニホールド仕様 ……………………………………… P.894
外形寸法図 ……………………………………… P.896∼901
真空ポンプシステム
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
型式表示方法 …………………………………………… P.902
供給弁・破壊弁の組み合わせ ………………………… P.904
構造図 …………………………………………………… P.905
バルブユニット ………………………………………… P.906
サクションフィルタユニット／真空圧力スイッチユニット P.907
外形寸法図／供給弁・破壊弁の組み合わせ
K1、
K3、
K6、
K8タイプ ……………………… P.908∼915
マニホールド仕様 ……………………………………… P.916
外形寸法図 ……………………………………… P.918∼923
AEP
HEP
関連
機器
ユニット構成
エジェクタシステム／単体、
マニホールド ………… P.924
真空ポンプシステム／単体、
マニホールド ………… P.926
単体からマニホールド組換 …………………………… P.928
オーダーメイド仕様
1 2 供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ …………… P.930
3 高消音タイプサイレンサアッシ …………………… P.934
863
A
真空ユニット
エジェクタシステム・真空ポンプシステム
ZX Series
100gまでの電子部品、
小物精密部品に
モジュール設計による最適機能組み合わせ可能
使用目的に応じて、
必要な機能を自由に組み合わせることが可能です。
コンパクト、
軽量
（機能フルセット時120g）
によりアクチュエータ取付に最適
エジェクタノズル径ø0.5∼ø1.0
（吸込流量5∼22l/min
（ANR）
）
から選定
エジェクタシステム対応
エジェクタシステム対応
単体
フルセット
真空ポンプシステム対応
フルセット
用途例
チップボンディング
864
チップマウンタ
極小部品の吸着搬送
印刷機への紙送り
ZX
Series
エジェクタユニット基本仕様
システム対応
構成機器
エジェクタユニット
ZX1シリーズ
エジェクタシステム
真空ポンプシステム
P.866∼901
P.902∼929
項目
ノズル径 mm
最大吸込流量 l/min(ANR)
空気消費量 l/min(ANR)
0.5
0.7
1.0
ZA
5
10
22
ZX
13
23
46
最高真空圧力
排気方式
バルブユニット
ZX1-V
真空圧力
スイッチユニット
ZSシリーズ
ZR
−84kPa
ZM
内蔵サイレンサ・マニホールド排気
個別排気ポート（Rc1 8）
ZMA
構成機器
供給弁、破壊弁
ZQ
制御方式
N．C．、N．O．
ZH
操作方式
電磁弁、エアオペレート
電源電圧
DC3、5、6、12、24V、AC100、110V（50/60Hz）
ZU
ZL
シリーズ
設定圧力範囲
一般用圧力スイッチ
吸着確認スイッチ
一般用圧力スイッチ
吸着確認スイッチ
0∼−101kPa
−20kPa∼−101kPa
0∼−101kPa
−20kPa∼−101kPa
3％以下
応差
通用パッド径 mm
2∼25
2∼25
DC24V
供給電圧
ZF□
0.5kPa
0.3∼1.2
ZY□
0.3∼1.2
ZP□
DC24V
SP
サクションフィルタ
ユニット
ZX1-F
使用圧力範囲
ZCUK
負圧∼0.5MPa
AMJ
ろ過度
単
体
共通仕様
マ
ニ
ホ
ー
ル
ド
30μm
AMV
空気供給接続口径
M5（標準）、M6（準標準）
真空パッド接続口径
M5（標準）、M6（準標準）
空気供給接続口径
Rc 1 8
排気ポート接続口径
Rc 1 8
外部パイロット接続口径
（詳細→P.930∼934をご参照ください。）
関連
機器
Max.8連
単体
単体
マニホールド
Ordeer オーダーメイド仕様
Mad
HEP
M5
連数
・各ユニットの詳細仕様については、P.870
∼880をご参照ください。
・エジェクタシステムの単体の手配方法につ
いてはP.866、867をご参照ください。
・エジェクタシステムのマニホールドの手配
方法についてはP.894をご参照ください。
・真空ポンプシステムの単体の手配方法につ
いてはP.902、903をご参照ください。
AEP
マニホールド
・真空ポンプシステムのマニホールドの手配方法についてはP.916をご参照ください。
・組換用ユニットの手配方法についてはP.924∼927をご参照ください。
865
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX
Series
注）CE対応品は型式表示方法を
ご確認ください。
［オプション］
エ
ジ
ェ
ク
タ
エ
ユ
ジ
ニ
ェ
ッ
ク
ト
タ
ノ
排
ズ
気
ル
方
径
供
式
給
弁
・
破
壊
パ
弁
イ
の
ロ
組
ッ
合
ト
電
わ
弁
磁
せ
仕
弁
様
定
格
リ
電
ー
圧
ド
線
取
ラ
出
ン
し
プ
・
方
サ
法
手
ー
動
ジ
操
電
作
圧
保
護
真
回
フ空
路
ィス
ルイ
ッ
タ
真
チ
ユ
リ空
ースニユ
ドイッニ
線ットッ
ト
取チ
出
し
PV
方
・
法
Vポ
ー
ト
管
破
接
ブ壊
続
ラ流
口
ケ量
径
ッ調
ト整
A ニ
ー
ド
ル
／
型式表示方法
構成機器
エジェクタ
ユニット
バルブユニット
NCタイプ
真空スイッチ
ユニット
エジェクタ
ユニット
バルブユニット
NOタイプ
真空スイッチ
ユニット
ZX1 10 1
ZX1 10 1
エジェクタ
ユニット
真空スイッチ
ユニット
ZX1 10 1
E C
CE対応
エジェクタ
ユニット
フィルタ
ユニット
ZX1 10 1
F
―
無記号
Q CE対応品
K1
K3
5 L Z
5 L Z
E C
E C
破壊流量調整ニードル／ブラケットA
ロックナットブラケットA
×
●
無記号
PV・Vポート管接続口径
L
●
●
M
●
×
M5×0.8
無記号
×
×
Y M6×1
（準標準） N
●：付（ブラケットAは同梱）
×：なし
エジェクタユニットノズル径
05
07
10
0.5mm
0.7mm
1.0mm
エジェクタ排気形式
1
サイレンサ付
2注1）
ポート排気Rc 1 8
3注2）集合排気（マニホールドのみ）
注1）ポート排気をマニホールドでご使用される場合、パイロッ
トエキゾーストは集合排気されますのでマニホールドベ
ースのエキゾーストポートは開放状態で使用してください。
注2）本製品をマニホールド仕様集合排気にて使用される際、
作動しているエジェクタと作動していないエジェクタが
ある場合、作動しているエジェクタの排気エアが作動し
ていないエジェクタの真空ポートにまわり込みエアを出
力してしまいます。エジェクタの排気方法をサイレンサ
排気もしくはポート排気仕様を選定してください。
真空スイッチリード線取出し方法
リード線長さ0.6m
無記号グロメット
L タイプ
リード線長さ3m
リード線長さ0.6m
C
コネクタ
リード線長さ3m
CL
タイプ
コネクタなし (リード線も付いていません。)
CN
バルブユニット／供給弁・破壊弁組み合わせ
P.867の表1をご参照ください。
¡コネクタ付リード線品番についてはP.867の
表3をご参照ください。
パイロット弁仕様
注意
ACタイプの場合、整流器を介して、DCソ
レノイドを使用しています。ご使用の際
は必ず、整流器付コネクタAss'yと専用ソ
レノイドを組み合せてください。他の組
合せでは、コイル焼損、作動不良等のト
ラブルを生じます。
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W）
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
サージ電圧保護回路
ランプ・サージ電圧保護回路
※ 0.45WタイプはDC24、
12Vのみとなります。
CE対応
―
AC100V50/60Hz
※3注）
―
AC110V50/60Hz
●
DC24V
5
●
DC12V
6
●
DC6V
V
●
DC5V
S
●
DC3V
R
エアオペレート
―
無記号
（K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用）
※1注）
注）1, 3のCE対応品はありません。
※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネ
クタAss’
yが、
付属されています。
DCの場合
極性をコネクタの＋、− 表示に合せ
て接続してください。
極性を間違えま
すとダイオードまたは、
スイッチング
素子の焼損を招く場合がありますの
で十分にご注意ください。
あらかじめ、
リード線が接続されてい
る場合には＋赤、− 黒となっていま
す。
ACの場合
整流器Ass'yによりサージ電圧の発
生を防いでいますので、サージ電圧
保護回路付はありません。
C
866
リード線取出し方法
L
LN
LO
M
MN
MO
G
H
無記号
CE対応
●
●
●
―
―
●
（エアオペレート部除く）
真空スイッチユニット／フィルタユニットの場合
無記号
なし
E 真空用圧力スイッチ（一般用）
（ZSE2）
（NPN仕様）
E55 真空用圧力スイッチ（一般用）
（ZSE2）
（PNP仕様）サクション
PS注）吸着確認スイッチノズル径ø0.3∼0.7 フィルタ付
PB注）（ZSP1）
ノズル径ø0.5∼1.2
電磁弁定格電圧
注意
L
F
サクションフィルタのみ
注）PS, PBのCE対応品はありません。
真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合（ZSE3）
21
2出力/アナログ出力なし
22
2出力/アナログ出力付
D
23
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
24
1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
手動操作
無記号ノンロック式プッシュ式
B ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ電圧保護回路
なし
無記号
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
※S
サージ電圧保護回路付
本製品に組み込まれてい
るフィルタは簡易的なも
のです。
ダストの多い環境等にて
使用される場合、ユニッ
トのフィルタでは目詰り
が早くなるためZFA,
ZFB, ZFCシリーズとの
併用をおすすめします。
リード線長さ0.3m
L型プラグ
コネクタリード線なし（DCのみに適用）
※ACの場合／Sタイプはありません。
タイプ
コネクタなし
DCの場合
（サージ電圧保護回路）極性を間違えますとダイオードまたは
M型プラグ
リード線長さ0.3m
スイッチング素子の焼損を招く場合がありますので十分ご注意ください。
コネクタリード線なし（DCのみに適用）
タイプ
コネクタなし
・コネクタ付リード線品番についてはP.867表2をご参照ください。
グロメットリード線長さ0.3m（DCのみに適用）・マニホールドの手配方法についてはP.894をご参照ください。
タイプリード線長さ0.6m（DCのみに適用）・組換用ユニットの手配方法についてはP.924、925をご参照ください。
エアオペレート
注）
供給弁・破壊弁の組み合わせが、K1・
J1の場合、Mプラグコネクタタイプ
は取付きません。
Ordeer オーダーメイド仕様
Mad
（詳細→P.930∼934をご参照ください。）
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
表1.バルブユニット／供給弁・破壊弁の組み合わせ（詳細仕様はP.868をご参照ください）
バルブユニット構成機器
供給弁
記号
破壊弁
電磁弁
電磁弁
（N.C.）
（N.C.）
電磁弁
電磁弁
（N.O.）
（N.C.）
エアオペレート
外部破壊
（N.C.）
エアオペレートエアオペレート
（N.O.）
（N.C.）
電磁弁
なし
（N.C.）
電磁弁
（N.O.）
なし
供給弁
破壊弁
エアオペレート外部破壊
電磁弁
エアオペレート
電磁弁
なし
N.C.
N.C.
N.O.
N.C.
N.O.
N.C.
N.C.
ZX1A
（VJA314）
（VJ114）（VJ324）（ZX1A）（VJA324）
（VJ114）（VJ314）
なし
質量（g）
ZX
K1
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
82
K3
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
132
K6
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
58
K8
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
●
ー
ー
132
J1
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
77
ZQ
J2
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
●
100
ZH
無記号
（AC100Vのみ適用）
VJ10 36 1A
6
（AC110Vのみ適用）
VJ10 36 3A
手配方法
リード線長さ
6
6
無記号 0.3m
（標準）
6
0.6m
1m
10
1.5m
15
2m
20
2.5m
25
3m
30
型式
ZX1051-K15LZ-EC
0.5
ZX1051-K35MZ-EC
ZX1071-K15LZ-EC
0.7
ZX1071-K35MZ-EC
ZX1101-K15LZ-EC
1.0
ZX1101-K35MZ-EC
ZMA
リード線長さが600mm以上の真空ユニッ
トを必要な場合には、コネクタなしの真空
ユニットの品番とコネクタAss'yの品番を
併記してください。
例）
ZX1051-K15L0Z-EC
（-Q）……………1ケ
＊VJ10-20-4A-6 …………………………2ケ
表3.真空スイッチコネクタ付リード線
ZL
ZSE2用
ZSP1用
ZS 10 5A
ZY□
ZSE3用
ZS 20 5A
ZF□
注）リード線長さが3mのスイ
ッチを発注する場合には、リード線長さ
コネクタなしのスイッチと無記号 0.6m
コネクタ付リード線の品番
30
3m
を併記してください。
50
5m
例）
ZX1051-K15L0-ECN
（-Q）… 1ケ
＊VJ10-20-4A-6 ……………… 2ケ
＊ZS-10-5A-50………………… 1ケ
＊が組み込み品番になります
供給弁・破壊弁組合せ
真空スイッチ
電磁弁
リード線ランプ・サージ真空スイッチ
リード線
供給弁
破壊弁
定格電圧取出し方法電圧保護回路
ユニット
取出し方法
（パイロット弁）（直動弁）
N.C.
N.C.
（VJ114）（VJ114）
N.O.
N.C.
（VJ324M）（VJ314）
N.C.
N.C.
一般用
ランプ・サージ
プラグ
（VJ114）（VJ114）
コネクタ
真空圧力
コネクタ
電圧保護
サイレンサ付
DC24V
タイプ
スイッチ
N.O.
N.C.
タイプ
回路付
（ZSE2）
（VJ324M）（VJ314）
N.C.
N.C.
（VJ114）（VJ114）
N.O.
N.C.
（VJ324M）（VJ314）
エジェクタ
排気形式
ZX1□□□-K15LZ-E□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
エジェクタシステムの代表的な推奨型式／下記型式は短納期品となります。
ノズル径
（mm）
ZM
ZU
表2.バルブユニットコネクタ付リード線
VJ10 20 4A
ZR
バルブユニットなし
※エアオペレートは外部からの3ポート弁にて制御。
※外部破壊は外部2ポートより直接破壊します。
コネクタAss'y品番
（DCのみ適用）
ZA
AEP
HEP
関連
機器
ZX1□□□-K35MZ-E□
867
A
ZX Series
エジェクタシステム／供給弁・破壊弁の組み合わせ
組み合わせ記号
K1
破壊圧供給ポート
（PD）
組み合わせ記号
K8
用途：電気信号により、制御する場合に使
用します。
用途：エア信号により、制御する場合に使
用します。
供給用弁がN.O.タイプですので、
停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停
止することがなく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止の場合に使用
します。
破壊エア供給（D）
パイロット圧排気
（PE）
パイロット圧
供給ポート（PS）
空気圧供給ポート
（PV）
空気圧出力ポート（A）
操作方法
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
供給弁（N.C.）
電磁弁
ON
OFF
OFF
破壊弁（N.C.）
電磁弁
OFF
ON
OFF
K3
操作方法
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
用途：電気信号により、制御する場合に使
用します。破壊はサイレンサとパッドと
ワーク間の大気の回り込みとなります。
破壊の速度を速くする必要のない場合に
使用します。
操作方法
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
供給弁（N.O.）
電磁弁
OFF
ON
ON
破壊弁（N.C.）
電磁弁
OFF
ON
OFF
K6
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
操作方法
破壊弁
なし
用途：電気信号により、制御する場合に使
用します。
供給用弁がN.O.タイプですので、
停電時に、エジエクタヘの供給圧力は停
止することがなく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止の場合に使用
します。破壊はサイレンサとパッドとワ
ーク間の大気の回り込みとなります。破
壊の速度を速くする必要のない場合に使
用します。
操作方法
操作
868
供給弁（N.C.）
電磁弁
ON
OFF
OFF
J2
用途：エア信号により、制御する場合に使
用します。
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
破壊弁（N.C.）
エアオペレート弁
OFF
ON
OFF
J1
用途：電気信号により、制御する場合に使
用します。
供給用弁がN.O.タイプですので、
停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停
止することがなく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止の場合に使用
します。
操作方法
供給弁（N.O.）
エアオペレート弁
OFF
ON
ON
供給弁
外部3ポート弁
ON
OFF
OFF
破壊弁
外部2ポート弁
OFF
ON
OFF
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
供給弁（N.O.）
電磁弁
OFF
ON
OFF
破壊弁
なし
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
エジェクタシステム／構造図
!3
!4
!4
ZA
!2 !4
ZX
ZR
ZM
ZMA
!4
!4
番号
1
2
3
4
5
6
7
注）
8
交換部品
番号
部品名
パイロット弁
エアオペレート
10 フィルタエレメント
11 エジェクタアセンブリ
12 ガスケット
13 サイレンサエレメント
14 パッキンセット
（7,13）サイレンサAss'y
部品名
材質
備考
ー
ZX1-PV-0
ポペット弁Ass'y
ステンレス鋼
ZX1-NA
破壊流量調整ニードル
アルミニウム
マニホールドベース
ー
ZSE2、
ZSP1、
ZSE3
真空スイッチ
ZX1-VA
-Dー
バルブユニット
（PV PS PD）
ー
インタフェイスプレート
ー
サイレンサケース
ポリカーボネート
フィルタケース
q
w
e
r
供給弁
破壊弁
電磁弁
電磁弁
N.C.（VJ114）
N.C.
（VJ114）
電磁弁
電磁弁
N.O.（VJ324）
N.C.
（VJ314）
エアオペレート
エアオペレート
N.O.（VJA324）
N.C.
（VJA314）
エアオペレート N.C.（ZX1A）
PVF
ー
ー
ー
ー
ー
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZX1-VJ114ZX1-VJ3 1
24
K1、J1
SP
表3.エアオペレートタイプ／型式表示方法
ZX1A
ZCUK
M3
AMJ
ポートサイズ
-
ZX1-VJA3 1
24
ZX1A-
ZP□
K3、J2
M3 M3×0.5 パイロットポート
M5 M5×0.8 外部破壊ポート
K8
K6
AMV
AEP
表4.エジェクタアセンブリ／型式表示方法
HEP
ZX1 W D 05 1
ZX1 VJ114
5 L Z
ZX1 VJ3 2 4
5 L Z
アセンブリ品番
エジェクタユニットノズル径
手動操作方法
N．C．
（ノーマルクローズ）
N．O．
（ノーマルオープン）
適用バルブ
組み合わせ
型式
表2.電磁弁／型式表示方法
1
2
ZH
部品品番
表1、表2、表3を
ご参照ください
ZX1-FE
表4をご参照ください
ZX1-FG
ZX1-SAE
ZX1-PK
ZX1-HS2-□（□はノズル径）
ー
注）フィルタケース取扱い上のご注意
1）ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、
クロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロ
ールエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬
品のご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
2）直射日光を避けてご使用ください。
構成機器
切換方式
材質
9
表1.パイロット弁／型式表示方法
番号
ZQ
!4
構成部品
無記号ノンロックプッシュ式
ロック式ドライバ操作形
B
0.5mm
0.7mm
1.0mm
05
07
10
関連
機器
エジェクタ形式
（排気方式）
1
2
3
サイレンサ排気
ポート排気
集合排気型
ボディオプション
ランプ・サージ電圧保護回路
無記号パイロット弁個別排気形
M
主弁パイロット弁集合排気形
注）ノーマルクローズ
の場合、無記号の
パイロット弁個別
排気形です
注）ZX1-VJ324M-□
ZX1-VJ314-□
のみの対応となります。
パイロット弁仕様
定格電圧
※1
※3
5
6
V
S
R
AC100V
AC110V
DC24V
DC12V
DC6V
DC5V
DC3V
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W） ※プラグコネクタ
のみに適用
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。
注）ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さ
が標準品と異なります。
〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15
VJ300ーM1.7×22
無記号ランプ・サージ電圧保護回路なし
サージ電圧保護回路付
S
ランプ・サージ電圧保護回路付
Z
リード線取出し方
L
コネクタ（0.3m）
LN コネクタ（リード線なし）
LO コネクタなし
M
コネクタ（0.3m）
MN コネクタ（リード線なし）
MO コネクタなし
G
グロメット（0.3m）
H
グロメット（0.6m）
注）ZX1-VJ114の場合、
M・MN・MOは不適当
です。
※アセンブリにアダプタを組付けることによりユニッ
トとなり、
PVポート、
Vポートの接続が可能となります。
エジェクタ
アセンブリ
¡組み合わせ使用／ZX1-WD
¡アダプタを付けて単体使用／ZX1-W
注意
破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで、破
壊流量は絞られ、止まったところで全閉となり
ます。全閉状態から反時計回りで、2回転します
と全開となります。4回転以上回しますと、ニー
ドルが外れますのでご注意してください。
また緩み止め対策品としてロックナット付破壊
流量調整ニードル（ZX1-ND-L）を用意しており
ますので御検討ください。
869
A
ZX Series
エジェクタユニット
仕様
ZX1-W05 12
0.5
5
13
ユニット品番
ノズル径 mm
最大吸込流量 l/min（ANR）
空気消費量 l/min（ANR）
最高真空圧力
最高使用圧力
供給圧力範囲
標準供給圧力
使用温度範囲
※形式
（エジェクタ排気方法）
質量
標準装備
ZX1-W07 12
ZX1-W10 12
0.7
1.0
10
22
23
46
ー84kPa
0.7MPa
0.2MPa∼0.55MPa
0.45MPa
5∼50℃
サイレンサ内蔵・・・・・・単体・マニホールド用
ポート排気・・・・・・・・・・単体・マニホールド用
サイレンサ内蔵35g、ポート排気45g
ブラケットB（ZX1-OBB）
記号q
記号w
※記号q、wは型式表示方法のエジェクタ排気方法を表します。
型式表示方法
ZX1
W 05 1
05
07
10
ノズル径
0.5mm
0.7mm
1.0mm
ブラケットB
無記号ブラケットB付
ブラケットB無
N
PV、Vポートの管接続口径
無記号 M5×0.8
M6×1
（準標準）
Y
エジェクタ排気方法
1
サイレンサ
2
ポート排気Rc 1 8
1
外形寸法図／ZX1-W□□ 2
※48.2
表示記号
※11.5
ポート排気
27
排気ポート（EXH.）
Rc1/8
※20
サイレンサ排気
ポート排気の場合
※47
PD
※8
P
ブラケットB
ZX1-OBB
（標準装備）
V
13
（33.2）
2×ø3.6
（取付穴）
17
50
空気圧供給ポート（P）
M5
（またはM6）
PD
※
（55.4）
破壊圧供給ポート（PD）
M5（またはM6）
プラグ注1）
10
注1）外部破壊を行う場合プラグを外してください。
B
870
2×ø3
（取付穴）
3
※1
注2）※寸法は、ブラケットB取付時の寸法です。
8
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
※5.4
6
18
17.5
V
P
真空ユニット
エジェクタシステム
流量特性・排気特性
流量特性は供給圧力が0.45MPaの時のものです。
ZX1-W05
排気特性
ZX Series
流量特性の図の見方
流量特性
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZX1-W07
排気特性
流量特性
ZX1-W10
排気特性
流量特性は、
エジェクタの真空圧力と吸込流量の
関係を表わし、
吸込流量が変化すると真空圧力も
変化することを示しています。
一般には、
エジェク
タの標準使用圧力での関係を示しています。
図で、
Pmaxは最高真空圧力、
Qmaxは最大吸込流
量を示しています。
カタログ等で仕様として掲載
されている値はこの値です。
真空圧力の変化のしかたについて、
順を追って説
明します。
qエジェクタの吸込口を塞ぎ、
密閉すると吸込流
量は0となり、
真空圧力は最高
（Pmax）
となりま
す。
w吸込口を序々に開き、
空気が流れる
（空気が漏れ
る）
ようにすると、
吸込流量は増加しますが、
真
空圧力は低くなります。
（P1とQ1の状態）
eさらに吸込口を開け、
全開とすると、
吸込流量は
最大
（Qmax）
となりますが、
この時の真空圧力
はほとんど0
（大気圧）
となります。
このように、
吸込流量が変化すると、
真空圧力も
変化します。
言い換えますと、
真空ポート
（真空
配管）
に漏れがない場合は真空圧力は最高とな
りますが、
漏れ量が増えるに従って真空圧力が
低下し漏れ量と最大吸込流量が等しくなると真
空圧力はほとんど0となります。
通気性のあるワークや漏れのあるワークを吸着
させる場合は、
真空圧力があまり高くなりませ
んので注意が必要です。
流量特性
製品個別注意事項
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意については前付38、
39、真空用機器／共通注意事項
についてはP.844∼846をご確
認ください。
注意
ZXの選定およびサイジングについては、
P.825∼P.843真空用機器機種選定方法を
ご参照ください。
871
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
ZX Series
バルブユニット／ZX1-VA
型式／仕様
ユニット品番
構成
ZX1-VA
- （-Q）
供給弁
破壊弁
パイロット方式
直動方式
電磁弁
エアオペレート
電磁弁
外部エアオペレート
操作方法
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
N.O.
N.C.
N.O.
破壊
（VJ324M）
（VJA324）
（VJ314）
（VJ114）
（VJA314）
（ZX1A）
（VJ114）
（ZX1A）
0.08 0.008
0.17主弁
ー
Cv値
動作圧力
0.3∼0.6MPa
最大作動頻度
5Hz
使用温度範囲
5∼50℃
PV PS PD
インタフェイスプレート記号
標準装備品
ブラケットC（ZX1-OBC）
電磁弁仕様
定格電圧
リード線取出し方法
ランプ・サージ電圧保護回路
手動操作
VJ114
VJ314, VJ324
DC24・12・6・5・3V、※AC100・※110V
（50/60Hz）
L形コネクタ、グロメット L形コネクタ、M形コネクタ、グロメット
あり、なし
ノンロックプッシュ形、ロック式ドライバ操作形
※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタAss'yが付属されています。
電磁弁形式
バルブ型式
破
壊
弁
電磁弁
N.C.
（VJ114）
電磁弁
N.C.
（VJ314）
外部破壊
（ZX1A）
エアオペレート
N.C.
（VJA314）
なし
〔
供給弁
電磁弁
電磁弁
エアオペレート
N.C.（VJ114） N.O.（VJ324M）
N.C.
（ZX1A）
●
●
ー
K1
〔82〕
K5〔73〕
●
ー
ー
K3〔132〕
●
●
ー
K2〔73〕
K6
〔58〕
●
ー
ー
K4〔119〕
●
●
●
J1
〔77〕
J2〔100〕
J3
〔41〕
なし
●
D1
〔77〕
●
D2〔100〕
●
D3〔41〕
●
D2〔100〕
ー
〕の数値は質量（g）
です。
型式表示方法／詳細はP.866をご参照ください。
ZX1
A
B
V A K1
5 L Z
システム対応
エジェクタシステム
真空ポンプシステム
CE対応
手動
操作
※ZX1-VB□□の仕様につい
てはP.906をご覧ください。
破壊流量調整
ニードル／ブラケット注）
PV、
Vポートの
管接続口径
供給弁破壊弁
組合せ
パイロット弁仕様
ランプサージ
電圧保護回路
定格電圧
リード線取出し方法
注）ZX1-VA（バルブユニット）の場合：ブラケットC
ZX1-VB
（バルブユニット）の場合：ブラケットB
B
872
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
AC100V用コネクタAss'y
AC100Vの場合は、整流器付コネクタAss'yが付属されています。
ZA
整流器付コネクタAss'y品番
VJ10
36
ZX
A
記号
無記号
6
10
15
20
25
30
L mm
300
600
1000
1500
2000
2500
3000
ZM
ZMA
ZQ
ZH
力
圧出 D）
破壊ート（
ポ
バルブユニット
N.C.タイプ
ZR
リード線の長さ
定格電圧
記号
定格電圧
リード線の色
AC100V50/60Hz 青
1
（2本）
AC110V50/60Hz
3
灰
（2本）
（AC115V/60Hz）
ZU
力
圧出 A）
空気ート（
ポ
ト圧PE）
（
ロット
パイポー
排気
ZL
ZY□
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
ZF□
A：ロックナット付
破壊流量調整
ニードル
8
ZP□
（ニードル全開時）
SP
供給用
パイロット弁
破壊圧出力ポート（D）
ZCUK
パイロット圧
排気ポート（PE）
AMJ
A
AMV
回路図
空気圧供給ポート（PV）
空気圧出力ポート（A）
AEP
HEP
関連
機器
N.O.タイプ
供給用
パイロット弁
破壊圧出力ポート（D）
パイロット圧
排気ポート（PE）
回路図
A
空気圧供給ポート（PV）
空気圧出力ポート（A）
注）※寸法はブラケットCの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。
873
ZX Series
サクションフィルタユニット／ZX1-F
仕様
ユニット品番
使用圧力範囲
使用温度範囲
ろ過度
ろ材
質量
標準装備
ZX1-F
−100∼500kPa
5∼50℃
30μm
PVF
35g
ブラケットA（ZX1-OBA）
注）
使用圧力範囲外および使用温度範囲外でのご使用は故障の原因となります。
型式表示方法
ZX1
F
PV, Vポート管接続口径
無記号 M5×0.8
Y
M6×1（準標準）
ブラケット
無記号ブラケットA付
N
ブラケットA無
フィルタ
表示記号
PV
V
注）※寸法はブラケットAの取付時の寸法です。
フィルタケースについて
注意
qケースの材質はポリカーボネートですので、
シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ
ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリク
ロールエチレン、
硫酸、
乳酸、
水溶性切削油
（ア
ルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは
雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
B
874
本製品について
本製品は簡易的なフィルタです。ダストの多
い環境等において使用される場合、本製品で
は目詰まりが早くなると考えられるため
ZFA等、容量の大きいフィルタを選定してく
ださい。
真空ユニット
真空圧力スイッチユニット
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／真空用圧力スイッチ：ZSE2-0X
高速応答／10ms
小型サイズ／39H×20W×15D
一般用真空圧力スイッチ
ユニット品番
使用流体
設定圧力範囲
応差
繰り返し精度
温度特性
使用電圧
管接続口径
質量
出力
動作表示灯
消費電流
使用温度範囲
最高使用圧力
（標準形接続部を除く）
配線性向上／コネクタタイプ
拡散型半導体圧力センサ使用
圧力検出部
（シリコン拡散型半導体センサを使用）
ZSE2-0X
空気
0∼ー101kPa
3％F.S.以下
±1％F.S.以下
±3％F.S.以下
DC12∼24V
（リップル±10％以下）
M5×0.8、M6×1
（準標準）
50g
オープンコレクタ30V、80mA
ON時点灯
17mA以下（DC24V ON時）
0∼60℃
0.5MPa※
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
※エジェクタ使用の場合、瞬間的に0.5MPaの圧力が加わっても問題ありません。
注）
使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
ZH
配線
ZU
ZSE2の接続方法
-15NPNオープンコレクタ
-55PNPオープンコレクタ
主
回
路
OUT
黒
＋
負荷
MAX30V,80mA
DC
（−）
青
LED赤
ZL
DC
（＋）
茶
DC
（＋）
茶
DC12∼24V
主
回
路
LED赤
−
OUT
黒
＋
負荷
MAX80mA
DC
（−）
青
−
ZY□
DC12∼24V
ZF□
ZP□
型式表示方法
¡フィルタケースについて
注意
qケースの材質はポリカーボネートですので、
シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ
ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリク
ロールエチレン、
硫酸、
乳酸、
水溶性切削油
（ア
ルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは
雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
SP
ZSE2 0X
15
PV、Vポートの管接続口径
無記号 M5×0.8
M6×1
（準標準）
Y
出力仕様
15
55
NPNオープンコレクタ
30V 80mA
PNPオープンコレクタ
30V 80mA
ZCUK
リード線取出方法
無記号グロメット（0.6m）
グロメット（3m）
L
コネクタ（0.6m）
C
CL コネクタ（3m）
CN コネクタなし
AMJ
AMV
AEP
HEP
¡設定について
真空圧力設定の際は、次のことを注意してく
ださい。
ドライバは指先で軽く回すようにしてくだ
さい。
ドライバは握り部が大きいものや先端幅が
トリマ溝に合わないものは、トリマ溝を破損
させる恐れがありますので、使用しないでく
ださい。
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的
なものです。
ダストの多い環境等にて使用される場合、ユ
ニットのフィルタでは目詰りが早くなるため
ZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめ
します。
真空圧力の設定方法
ZSE2の場合
¡圧力設定トリマでON圧力を設定します。
時計回りで高真空の設定となります。
関連
機器
¡吸着確認に使用する場合には、確実に吸着
できる真空圧力の最低値に設定します。そ
れ以下に設定した場合吸着ミスや、不十分
な吸着状態でもスイッチがONしてしまい
ます。また、高すぎる設定では、吸着が良好
でも、スイッチがONしない場合がありま
すのでご注意ください。
高真空
注意
供給圧力
確実に吸着
設定圧力
吸着不安定
吸着しない
大気圧
0
圧力スイッチ詳細仕様に関しましては圧力ス
イッチ・ZSE2シリーズのカタログを必ず参照
してください。
875
B
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／真空用圧力スイッチ：ZSE2-0X
真空圧力スイッチユニットの使い方
回路／ワーク吸着の場合
設定圧力
1つの真空源に複数の圧力スイッチを使う場合
エジェクタの場合
ワーク吸着確認に、使用する場合、ワークが
確実に吸着する圧力に設定してください。
1つの真空源を分岐し、個々のラインに圧力
スイッチを使用する場合には、吸着と非吸着
の個数によって、
真空源の圧力が変動するため、
スイッチの設定値におさまらない場合があ
ります。
特に、小径ノズルでの吸着の場合には、圧力
の変動による影響か大きくなります。下記対
策を施してください。
吸着に小径吸着ノズルを使用する場合
ノズルの直径が1mm程度のON/OFFの圧力
差が小さくなり、ZSE2/ZSE3では吸着確認
を行えない場合があります。
このような場合は、吸着確認スイッチZSP1
（P.879）を検討ください。
注）エジェクタ／ポンプの能力も影響します
のでご注意ください。
真空ポンプシステムヘの応用
真空ポンプの場合
¡ニードルにより、吸着・非吸着の変動圧を
小さくする。
¡タンクおよび真空用減圧弁（真空調圧弁）
を入れて元圧を安定させる。
¡個々に真空用切換弁を入れて、ミスが起こ
るとすぐにOFFすることにより他のパッ
ドへの影響を低減させる。
真空用圧力スイッチ／ZSE2-0X- 15
55
グロメットタイプ：ZSE2-0X- 15
55
表示灯（赤）
圧力設定用トリマ
35.6
7
35.6
リード線長さ
600
リード線長さ
600
10.2
58
8
6.5
18
50
57.6
2
9.5
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
6.5
18
7
真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
表示灯（赤）
20
20
圧力設定用トリマ
50
表示記号
コネクタタイプ：ZSE2-0X- 15
55 C
10
（※）
アダプタ
10
17.6
2×ø3.3
（取付穴）
876
5.8
10
17.6
2×ø3.3（取付穴）
真空ユニット
真空圧力スイッチユニット
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／真空用圧力スイッチ：ZSE3-0X
故障予知出力機能内蔵
一般用真空圧力スイッチ
真空システム
（エジェクタ）
のサイレンサの目
詰りによる性能低下、
パッドの亀裂、
真空配管
の洩れ等で真空到達度が低下した場合、異常
をすばやく検知しシステムの停止を事前に外
部に出力します。
ユニット品番
使用流体
設定圧力範囲
ヒステリシスモード
応差
ウインドコンパレータモード
精度
使用電圧
管接続口径
質量
動作表示灯
消費電流
使用温度範囲
最高使用圧力
2点の独立した圧力設定が可能
真空吸着パッド径の変更により設定圧力が２
出力必要な場合や正圧ラインのライン切換に
よる2圧確認が必要な場合などに好適です。
充実した自己診断機能
■過電流検知機能
■過圧力検知機能
■データエラー
ZSE3-0X
空気
0∼ー101kPa
可変（0から可変）
固定（3digits）
±1％F.S.以下
DC12∼24V（リップル±10％以下）
M5×0.8、M6×1（準標準）
50g
ON時点灯
25mA以下
0∼60℃
0.5MPa
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
配線
ZH
ZU
ZL
ZY□
データ保持機能
ZF□
専用のIC（EEPROM）
を使用していますので、
設定されたデータは電源を切っても10万時間
（約11年）
保持しています。
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
¡フィルタケースについて
AMV
注意
qケースの材質はポリカーボネートですので、
シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ
ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリク
ロールエチレン、
硫酸、
乳酸、
水溶性切削油
（ア
ルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは
雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
型式表示方法
ZSE3
AEP
0X
21
PV、Vポートの管接続口径
無記号 M5×0.8
M6×1
（準標準）
Y
出力仕様
NPNオープンコレクタ2出力
アナログ出力なし
NPNオープンコレクタ2出力
22
アナログ出力付
NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力
23
アナログ出力なし
NPNオープンコレクタ1出力・故障予知出力
24
アナログ出力付
21
HEP
配線仕様
無記号グロメットタイプリード線長さ0.6m
L
グロメットタイプリード線長さ3m
C
コネクタタイプリード線長さ0.6m
CL
コネクタタイプリード線長さ3m
CN
コネクタなし
ただし、アナログはグロメットタイプのみです。
真空圧力の設定方法
Best Pneumatics No.yをご参照ください。
真空圧力スイッチユニットの使い方
P.876をご参照ください。
877
関連
機器
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／真空用圧力スイッチ：ZSE3-0X
真空用圧力スイッチ／ZSE3-0X□-21、22、23、24
グロメットタイプ：ZSE3-0X□-□
真空圧供給ポート（PV）
コネクタタイプ：ZSE3-0X□-□C
（取付穴）
真空ポート（V）
表示記号
878
真空圧供給ポート（PV）
（取付穴）
真空ポート（V）
真空ユニット
真空圧力スイッチユニット
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／吸着確認スイッチ：ZSP1- SB
小径吸着ノズル／ø0.3∼ø1.2
吸着確認スイッチ／仕様
ユニット品番
使用流体
使用圧力範囲
適用吸着ノズル径
応差
内部オリフィス径
質量
供給電圧
出力
動作表示灯
消費電流
使用温度範囲
管接続口径
ZSP1-S
ZSP1-B
空気
ー20kPa∼ー101kPa
0.3∼0.7mm（グラフ1参照）0.5∼1.2mm（グラフ2参照）
0.5kPa
ø0.8
ø0.5
62g
DC12∼24V（リップル±10%以下）
NPNオープンコレクタ30V 80mA
ON時点灯
17mA（DC24V ON時）
0∼60℃（結露しないこと）
M5×0.8、M6×1（準標準）
注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
サクションフィルタ付
配線性向上／コネクタタイプ
拡散型半導体センサ使用
適用吸着ノズル範囲
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
供給圧力と吸着ノズル径との関係は、下のグラフの様になります。
グラフ1／ZSP1-S
ZA
グラフ2／ZSP1-B
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
空気圧回路と原理
ZCUK
空気圧によるブリッジ回路を構成し、
吸着ノズル（S4）を非吸着状態にし、
調整用ニードルS2で圧力センサに加
わる圧力をバランス（P1≒P2）させ
ます。吸着ノズル（S4）に部品を吸着
した時に生じる小さな差圧
（P2−P1）
を圧力センサにより検知します。
¡フィルタケースについて
注意
qケースの材質はポリカーボネートですので、
シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ
ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリク
ロールエチレン、
硫酸、
乳酸、
水溶性切削油
（ア
ルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは
雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
¡その他
本製品に組み込まれているフィルタは簡易的
なものです。
ダストの多い環境等にて使用される場合、ユ
ニットのフィルタでは目詰りが早くなるため
ZFA, ZFB, ZFCシリーズとの併用をおすすめ
します。
AMV
AEP
¡配線方法はZSE2と同じです。
HEP
型式表示方法
関連
機器
ZSP1
注意
適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着
パッドをご使用になりますと、吸着しないこ
とがありますのでご注意ください。
AMJ
S 0X
15
機種
記号
適用
S 適用吸着ノズル径0.3∼0.7mm
B 適用吸着ノズル径0.5∼1.2mm
PV、Vポートの管接続口径
無記号 M5×0.8
M6×1（準標準）
Y
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
グロメット（3m）
L
コネクタ（0.6m）
C
CL コネクタ（3m）
回路と配線
879
ZX Series
真空圧力スイッチユニット／吸着確認スイッチ：ZSP1- SB
応差
吸着確認調整用ニードルの設定方法
応差とは、出力信号がONする圧力と、出力信
号がOFFする圧力の差のことです。
設定圧力はONする圧力になります。
q真空および電源を供給し、調整用ニードル
を止まるまで右回転させ、全閉にします。
w吸着ノズルにワークを付けない状態で調
整用ニードルを左回転させ、表示灯が点灯
する位置を確認します。
ewの状態から調整用ニードルを1/4∼1回
転位、右へ戻します。
rワークを吸着ノズルに吸着させ吸着が確
実になされた時に表示灯が点灯するよう
に調整用二一ドルを再度調整してください。
吸着確認スイッチ／ZSP1-□0X□-15
コネクタタイプ：ZSP1-□0X□-15
真空圧供給ポート
（PV）
真空ポート（V）
（取付穴）
注）
（※）
エジェクタ組み付ける場合は、
アダプタをはずしてください。
880
（取付穴）
真空ユニット
エジェクタシステム
V）
ト（
ー
ポ
空
真
バルブユニットなし
回路図
構成と組み合わせ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
給
供）
圧 PV
エジェクタユニット＋吸着確認スイッチ
（ZSP1）
気
空ート（
ポスペーサ1
（ZX1-S1）
フィルタユニット
（F）
（側面取付時に使用）
29.2
E□
型式
ポート排気の場合
真空用圧力
スイッチの場合（E）
10
※51
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-E□
圧力設定用トリマ
※2×R1.8
（取付穴）
※ø3.6
※1
破壊圧供給ポート（PD）
M5
（またはM6）
真空スイッチ（ZSE2）
プラグ注1）
※10
※19
ZR
吸着確認
スイッチの場合（P）
41.6
ZM
ZMA
（取付穴）
※13.6
ZQ
フィルタユニット
の場合（F）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
ZH
ZU
フィルタ
- O+
ZA
ZX
6
20
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
※※1
P□□
F
D□□□
※41
ZX1□□□
ZX Series
ZL
10 17.6
54.6
57.1
10
注1）外部破壊を行う場合プラグを外してください。
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-P□□
10.2
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
ZF□
※※18
6
V
ZY□
ZP□
※4
18
P
6.5
PD
57.6
63.5
2×ø3.3（取付穴）
59.5
50
空気圧供給ポート
（P）
M5
（またはM6）
SP
ZCUK
注2）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法は、スペーサ1取付時の寸法です。
AMJ
フィルタユニット（F）の場合
ZX1□□□-F
AMV
AEP
HEP
関連
機器
881
ZX Series
V）
ト（
ー
ポ
空
真
バルブユニット：K1タイプ
圧
ットト
イロー
パ気ポ
排 E）
P
（
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（K1）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
構成と組み合わせ
回路図
E□
D□□□
P□□
F□
型式
K1□□□□
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
無記号
吸着確認
スイッチの場合（P）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-K1□□□□-E□
78
29.2
2
※※1
フィルタユニット
の場合（F）
20
10
21.6
マニュアル
（ノンロック）
※51
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
※41
9.3
スイッチ
フィルタ無しの場合
エジェクタ＋サイレンサ
41.6
A：ロックナット付破壊流量
※2×R1.8
（取付穴）
※ø3.6
（取付穴）
※1
調整ニードル
破壊弁
VJ114
PS
PD）
PD
8
（ニードル全開時）
真空スイッチ
ZSE2
破壊流量
調整ニードル
A
PS
5.8
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
1
4.7
2×ø3.3
（取付穴）
10
76
5
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
882
17.6
※15.5
18
PV
6.5
28
PE
64.6
1（PV
VJ114
※13.6
10.2
VJ114
インターフェイス
プレート
※17.6
59.5
供給用パイロット弁
VJ114
※10
※19
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
ポート排気の場合
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
※
（68.6）
ZX1□□□
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
真空用圧力スイッチ（ZSE3）の場合
ZX1□□□-K1□□□-D□□□
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-K1□□□□-P□□
A：ロックナット付
破壊流量調整ニードル
スペーサ1／ZX1-S1
8
ZA
（ニードル全開時）
ZX
ZR
カベ取付時に製品との間に
挟んで取付けます。
ZM
ZMA
ZQ
供給用
パイロット弁
ZH
ZU
A
真空ポート（V）
A
ZL
真空ポート（V）
ZY□
パイロット圧
排気ポート（PE）
空気圧供給
ポート（PV）
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
フィルタユニットの場合
ZX1□□□-K1□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-K1□□□□
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
真空ポート（V）
A
A
883
ZX Series
V）
ト（
ー
ポ
空
真
バルブユニット：K3タイプ
圧
ト
ッ
ロト
イポー
パ気
排 E）
P
（
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（K3）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
構成と組み合わせ
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
E□
P□□
F
D□□□
型式
ZX1□□□
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
K3□□□□
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
無記号
吸着確認
スイッチの場合（P）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-K3□□□-E□
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
99.6
ポート排気の場合
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
29.2
フィルタユニット
の場合（F）
20
41
51
SMC SMC
21.6
10
SMC SMC
1
22.7
スイッチ
フィルタ無しの場合
※2×R1.8
（取付穴） ※
1
41.6
A：ロックナット付破壊流量
※10
※17.6
※19
※13.6
※ø3.6
（取付穴）
調整ニードル
8
（ニードル全開時）
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
破壊弁
VJ314
真空スイッチ
ZSE2
パイロット圧排気ポート（PE）
1
M3
A
PS
6.5
18
28
25
5.8
PE
PV
4.7
5
空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
884
10
17.6
2×ø3.3
（取付穴）
※
（82.5）
50.3
PD
10.2
破壊流量
調整ニードル
V
4
PD）
50
58
59.5
SMC
PS
78.5
61
SMC
3（PV
- + -+
※※18
+-
※15.5
+-
インターフェイス
プレート
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-K3□□□□-P□□
ZX Series
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
A：ロックナット付破壊流量
ZM
調整ニードル
ZMA
8
（ニードル全開時）
ZQ
ZH
ZU
ZL
真空ポート（V）
A
ZY□
ZF□
ZP□
SP
フィルタユニット（F）
の場合
ZX□□□-K3□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-K3□□□□
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
A
真空ポート（V）
885
ZX Series
バルブユニット：K6タイプ
圧
ト
ッ
ロト
イポー
パ気
排 E）
P
（
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（K6）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
E□
型式
構成と組み合わせ
ZX1□□□
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
P□□
F
D□□□
K6
V）
ト（
ー
ポ
空
真
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
無記号
吸着確認
スイッチの場合（P）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-K6-E□
ポート排気の場合
78
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
29.2
13
フィルタユニット
の場合（F）
20
※51
※※1
M5
パイロットポート
※41
2
21.6
10
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
スイッチ
フィルタ無しの場合
M5
外部破壊ポート
エジェクタ＋サイレンサ
41.6
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
（取付穴）
※1
A：ロックナット付破壊流量
※10
※17.6
※19
※13.6
調整ニードル
破壊流量
調整ニードル
PD
A
PE
6.5
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
18
28
5.8
PS
PV
空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
1
4.7
5
10 17.6
76
注）※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサ2の取付時の寸法です。
886
2×ø3.3
（取付穴）
※
（63.5）
PD）
10.2
PS
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
1（PV
（ニードル全開時）
※15.5
インターフェイス
プレート
真空スイッチ
ZSE2
8
59.5
破壊用
外部破壊
（ZX1A）
供給用
エアオペレート
（ZX1A）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-K6-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
ZQ
8
ZH
（ニードル全開時）
ZU
ZL
真空ポート（V）
A
ZY□
ZF□
ZP□
SP
フィルタユニット（F）
の場合
ZX1□□□-K6-F
ZCUK
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-K6
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
A
真空ポート（V）
887
ZX Series
V）
ト（
ー
ポ
空
真
バルブユニット：K8タイプ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（K8）＋
吸着確認スイッチ
（ZSR1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
E□
型式
構成と組み合わせ
ZX1□□□
圧
ト
ッ
ロト
イポー
パ気
排 E）
P
（
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
P□□
F
D□□□
K8
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
無記号
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-K8-E□
78.6
29.2
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
3
フィルタユニット
の場合（F）
※51
6
20
21.6
10
※※1
圧力設定用
トリマ
※41
M3×0．
5
（供給用パイロットポート）
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
4.3
ポート排気の場合
吸着確認
スイッチの場合（P）
M3×0．
5
（破壊用パイロットポート）
エジェクタ＋サイレンサ
41.6
※2×R1.8
（取付穴）
スイッチ
フィルタ無しの場合
※ø3.6
（取付穴）
※1
※10
※17.6
※19
※13.6
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
破壊用弁
（エアオペレート
VJA314）
供給用弁N.O
（エアオペレート
VJA324）
8
（ニードル全開時）
真空スイッチ
ZSE2
1
4.7
5
2×ø3.3
空気圧供給ポート（PV）
（取付穴）
M5
（またはM6）
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
888
10 17.6
10.2
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
※15.5
V
※4
パイロット圧排気ポート
（PE）
M3
破壊流量
調整ニードル
18
50
28
25
5.8
PS
PV
A
50
58
59.5
PD）
PE
6.5
PS
56.5
3（PV
PD
※63.5
マニュアル
（ノンロック）
インターフェイス
プレート
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-K8-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
ZM
A：ロックナット付破壊流量
ZMA
調整ニードル
ZQ
8
（ニードル全開時）
ZH
ZU
ZL
A
ZY□
ZF□
ZP□
真空ポート（V）
SP
ZCUK
の場合
フィルタユニット（F）
ZX1□□□-K8-F
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-K8
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
真空ポート（V）
A
A
889
ZX Series
バルブユニット：J1タイプ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（J1）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
圧
ト
ッ
ロト
イー
パ気ポ
排 E）
P
（
構成と組み合わせ
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
回路図
E□
P□□
F
D□□□
型式
ZX1□□□
V）
ト（
ー
ポ
空
真
J1□□□□
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
無記号
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-J1□□□□-E□
吸着確認
スイッチの場合（P）
78
ポート排気の場合
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
29.2
2
フィルタユニット
の場合（F）
※51
20
21.6
10
※※1
マニュアル
（ノンロック）
※41
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
9.3
エジェクタ＋サイレンサ
41.6
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
（取付穴）
※1
※10
※17.6
※19
※13.6
スイッチ
フィルタ無しの場合
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
PD）
破壊流量
調整ニードル
PD
A
PE
1
4.7
5
2×ø3.3
（取付穴）
10 17.6
V
4.2
76
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
890
※15.5
18
空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
6.5
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
25
28
5.8
PS
PV
64.6
PS
10.2
1（PV
59.5
インターフェイス
プレート
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※
（68.6）
真空スイッチ
ZSE2
8
（ニードル全開時）
※※18
供給用パイロット弁
VJ114
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-J1□□□□-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
ZM
A：ロックナット付破壊流量
ZMA
調整ニードル
ZQ
8
（ニードル全開時）
ZH
ZU
ZL
A
ZY□
真空ポート（V）
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
フィルタユニット（F）
の場合
ZX1□□□-J1□□□□-F
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-J1□□□□
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
真空ポート（V）
A
A
891
ZX Series
V）
ト（
ー
ポ
空
真
バルブユニット：J2タイプ
圧
ト
ッ
ロト
イー
パ気ポ
排 E）
P
（
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
エジェクタユニット＋バルブユニット
（J2）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
スイッチ、
フィルタ無し
構成と組み合わせ
回路図
E□
P□□
F
D□□□
型式
ZX1□□□
給
供）
圧 PV
気
空ート（
ポ
J2□□□□
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
無記号
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX1□□□-J2□□□□-E□
吸着確認
スイッチの場合（P）
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
ポート排気の場合
99.6
Rc1/8
排気ポート（EXH.）
29.2
エジェクタ＋サイレンサ
A：ロックナット付破壊流量
（取付穴）
調整ニードル
スイッチ
フィルタ無しの場合
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
※51
6
20
SMC
SMC
マニュアル
（ロック式の場合は押して
から回してください）
41.6
フィルタユニット
の場合（F）
※※1
圧力設定用トリマ
※41
5.8
22.7
※1
※10
※17.6
※19
※13.6
8
（ニードル全開時）
マニュアル
真空スイッチ
ZSE2
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
1
破壊流量
調整ニードル
4.7
5
空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
2×ø3.3
（取付穴）
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
892
※
（82.5）
10.2
28
25
5.8
PS
PV
A
V
4.2
10 17.6
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
PE
18
50.3
PD
※4
インターフェイス
プレート
※15.5
PD）
6.5
PS
-+
50
58
59.5
SMC
1（PV
78.5
61
+-
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX1□□□-J2□□□□-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
ZM
ZMA
8
（ニードル全開時）
ZQ
ZH
ZU
真空ポート（V）
ZL
A
ZY□
ZF□
ZP□
SP
の場合
フィルタユニット（F）
ZX1□□□-J2□□□□-F
ZCUK
スイッチ、フィルタ無しの場合
ZX1□□□-J2□□□□
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
A
真空ポート（V）
893
ZX Series
エジェクタシステム用／マニホールド仕様
仕様
MAX. 8連
NPT, G）
NPT, G）
1連：73gで1連増すごとに50g増加します
最大ユニット連数
管接続供給ポート〔PV〕
口径
排気ポート〔EXH〕
質量
18
（Rc,
18
（Rc,
（1）PDポートはすべてブランキングとなります。
（2）ZX1103タイプのマニホールド4連以上ではEXHポートを両側排気としてください。
供給方法
マニホールド左右
供給ポート位置
ポート
左側
PV
○
●
○
L
（左側）
R
（右側）
B
（両側）
右側
PS
●
●
●
PV
●
○
○
PS
●
●
●
○供給します。 ●プラグが付いています。EXHポートは大気開放です。
注）
個々のバルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。
マニホールド型式表示方法
〈マニホールドベース〉
ZZX1 06
01
02
⋮
08
連数
1連
2連
⋮
8連
供給・排気ポートねじの種類
無記号
Rc
G注）
F
T
NPTF
〈直管個別スペーサ〉
R
供給ポート位置 ※1）
R
右側（右側PVポートより空気供給します。）
L
左側（左側PVポートより空気供給します。）
B
両側（両側PVポートより空気供給します。）
※1 バルブユニットを手前にして左右を
判断してください。
※2 EXHポートは両側開放です。
PDポートはつねにプラグが付きます。
バルブのポートはすべてにプラグが
付きます。
注）Gネジについて
ネジ山形状はGネジの
規格
（JIS B 0202）
に準
拠しておりますが、その
他の形状については
ISO16030および
ISO1179に準拠してお
りません。
（例）
ZZX106-R……1ケ
（マニホールドベース）
＊ZX1101-K15LZ-EC
（-Q）
…5ヶ
（真空ユニット単体）
＊ZX1-BM1……1ケ
（ブランキングプレート）
マニホールド型式表示上の注意
＊は組込み記号です。
搭載するエジェクタに＊印を記入してください。
＊をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々
に出荷されます。
C
894
マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場合
には直管個別スペーサを指示してください。
ZX1
R1
1
配列
（バルブ側から見て右からバルブ連数の1連目）
直管個別スペーサ
R1
⋮
R16
無記号
1
⋮
8
※直管個別スペーサ
について参照
連数全装着
1連目のみ
⋮
8連目のみ
※スペーサを交互に装着する場合には併記して
（例）
ご指示ください。
1連目と3連目に装着
※後付けする場合はM2.5×32（ZX用）3ヶも必
ZZX106-R……1ケ
要になります。
＊ZX1101-K15LZ-EL
（-Q）
また、直管個別スペーサを取付けない連数に
……6ヶ
対して、ダミースペーサ（ZX1-R16）を必ず取
＊ZX1-R1-1
付けてください。
＊ZX1-R1-3
＊ZX1-R16（ダミースペーサ）
……4ケ
直管個別スペーサについて
¡マニホールドからの供給、
バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。
下表、各品番ごとに記号のポートかマニホールドからの供給になります。そ
の他は、バルブユニットからの個別供給になります。
¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。
品番
ZX1-R1
R2
R3
R4
R5
R6
R7
R8
表示記号
R1
R2
R3
R4
R5
R6
R7
R8
PE
PD
PD PE
PS
PS
PE
PS PD
PS PD PE
品番
ZX1-R 9
R10
R11
R12
R13
R14
R15
R16
R 9
R10
R11
R12
R13
R14
R15
R16
表示記号
PV
PV
PV
PD
PV
PD
PV PS
PV PS
PV PS PD
PV PS PD
PE
PE
PE
PE
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
マニホールド構成／システム回路例
直管個別スペーサを使用しない場合
直管個別スペーサを使用した場合
（ZX1-R1を使用した場合）
ZA
ZX
ZR
ZM
ダミースペーサZX1-R16側
ZMA
ZQ
PV：空気圧供給ポート
PS：パイロット圧供給ポート
PD：破壊圧供給ポート
PE：パイロット圧排気ポート
EXH：集合排気ポート
ZH
直管個別スペーサZX1-R1側
ZU
ZL
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
ZY□
ZF□
〈システム回路例〉
ZP□
〈システム回路例〉
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
ダミースペーサZX1-R16
直管個別スペーサZX1-R1
895
ZX Series
エジェクタシステム
マニホールド
集
ポ合排
ー気
ト（
EX
H.
共
）
供通空
給気
ポ圧
ー
ト（
PV
）
ø4×5.5
（取付穴）
131.3
排気アダプタ
Rc1/8
29.5
61
マニホールドベース
調整用ニードル
10 28.4
20
SMC SMC
10
6
10
10
L2
L1
L3
10
圧力設定トリマ
9.3
13
M5×0.8
（パイロットポート）
14.5
6
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
M5×0.8
（外部破壊ポート）
8
アダプタB
22
サイレンサ＋エジェクタ
30
47
57.4
直管個別スペーサZX1-R1
破壊弁（VJ314）
（ノーマルクローズ）
真空スイッチ
ZSE2
フィルタ
44
37.4
アダプタD
（ニードル全開時）
吸着確認スイッチ
ZSP1
16
マニュアル
（ロック式の場合はそのまま
回してください。）
ボディ（エアオペタイプ）
（ZX1A）
32
22.7
マニュアル
（ロック式の場合は押して
から回してください。）
ピッチ
＝21
エンドプレート
70.3
供給用パイロット弁（VJ114）
（ノーマルクローズ）
供給用パイロット弁
（VJ324M）
（ノーマルオープン）
破壊弁（VJ114）
（ノーマルクローズ）
+-
破壊圧供給ポート（PD）
M5
+-
PS
PV
PV
PV
PV
5
20
22.5
A
PD
A
EXH
個別空気圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
ピッチ＝21
PS
PV
2.5
3
37.4
44
集合排気ポート（EXH.）※1
1/8（Rc, NPTF, G）
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートを兼ねてい
ます。大気開放にてご使用願います。
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
896
60
PD
PS
PS
PD）
50
PS
0.5
PE
10
PD
33
PD） 1（PV
PE
50.5
PS
PD
28.5
PD） 1（PV
61.5
SMC
PS
PD
PE
7.5
SMC
3（PV
50.8
B
破壊流量調整ニードル
20.5
マニュアル
（ロック式の場合は
そのまま回してください）
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
真空ユニット
エジェクタシステム
（直管個別スペーサを使用した場合）
ZX Series
システム回路例
B矢視
（標準）
133.8
（準標準）
（直管個別スペーサを使用した場合）
ZX
63.5
2.5 10
ZR
ZM
R16 PV PS PD PE
R1
SMC SMC
直管個別スペーサZX1-R1
ZMA
R16 PV PS PD PE
ダミースペーサZX1-R16
ZA
ZQ
R1
ダミースペーサZX1-R16
ZH
直管個別スペーサZX1-R1
39.9
ZU
ZL
A矢視
ZY□
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
ZF□
+-
+-
SMC
SMC
ZP□
PS
PD） 1（PV
PD
6.3
25.5
PS
PD） 1（PV
PS
SP
PD）
PD
PD
PD
PE
PE
PE
PS
PS
PS
PV
PV
PV
20
5
22.5
ZCUK
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
4.7
1
PV
7.5
3（PV
AMJ
AMV
ピッチ＝21
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
AEP
HEP
関連
機器
79
10.7
8.5
65.1
-＋
V
V
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
4.2
V
V
ピッチ
＝21
22.5
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
897
ZX Series
V）
ト（
ポー
V）
空
真
ト（
ポー
空
真
マニホールド：K1タイプ
エジェクタシステム
集
ポ合排
ー気
ト（
EX
H.
）
共
供通空
給気
ポ圧
ー
ト（
PV
）
97
37.4
4×ø5.5（取付穴）
28.1
32
12.4
L1
L2
L3
8
（ニードル全開時）
ピッチ＝21
ピッチ＝10
20
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
10
4
11.5
23.4
6.5
2
6
マニホールドベース
エンドプレート
リード線長さ
約300
供給用パイロット弁
VJ114
（44）
破壊弁
VJ114
圧力設定用トリマ
エジェクタ＋サイレンサ
真空スイッチ
ZSE2
フィルタユニット
破壊流量調整ニードル
PD） 1（PV
PD
PE
PE
PD）
PS
PD
A
60
PS
PD
65
1（PV
28.5
PS
PV
PS
10
PV
33
EXH
PS
20
5
22.5
PV
37.4
ピッチ＝21
3
※1
集合排気ポート（EXH.）
1/8（Rc, NPTF, G）
44
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートを兼ねてい
ます。大気開放にてご使用願います。
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
898
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
回路図
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
AEP
HEP
10.7
関連
機器
V
4.2
V
21
22.5
899
ZX Series
V）
ト（
ポー
空
）
真
（V
ート
ポ
真空
エジェクタシステム
マニホールド：K3タイプ
集
ポ合排
ー気
ト（
EX
H.
共
）
通
供空
給気
ポ圧
ー
ト（
PV
）
118.6
61
4×ø5.5
（取付穴）
10
8
L1
L2
L3
ピッチ＝21
20
4
SMC SMC
SMC SMC
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
12.4
22.7
10
21.6
マニュアル
（ロック式の場合は押して
から回してください。）
32
6.5
45
（ニードル全開時）
6
マニホールドベース
エンドプレート
（44）
圧力設定用トリマ
エジェクタ＋サイレンサ
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
10
リード線長さ
約300
17.5
破壊弁
VJ314
マニュアル
+-
+-
+-
真空スイッチ
ZSE2
フィルタユニット
+-
破壊流量調整ニードル
PD
50.8
SMC
PD） 3（PV
SMC
79
SMC
PS
PD）
PS
PD
PE
PE
PD
A
61.5
SMC
3（PV
28.5
PS
PV
PS
10
PV
33
EXH
PS
20
37.4
5
22.5
PV
3
集合排気ポート（EXH.）※1
1/8（Rc, NPTF, G）
44
ピッチ＝21
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートを兼ねてい
ます。大気開放にてご使用願います。
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
900
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
ZA
回路図
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
- + - + - + - +
AMV
AEP
真空ポート（V）
M5（またはM6）
HEP
10.7
関連
機器
V
4.2
V
21
22.5
901
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX
Series
注）CE対応品は型式表示方法を
ご確認ください。
［オプション］
供
給
弁
・
破
壊
パ
弁
イ
の
ロ
組
ッ
合
ト
電
わ
弁
磁
せ
仕
弁
様
定
格
リ
電
ー
圧
ド
線
取
ラ
出
ン
し
プ
・
方
サ
法
手
ー
動
ジ
操
電
作
圧
保
護
真
回
フ空
路
ィス
ルイ
真タユッチ
リ空
ースニユ
ドイッニ
線ットッ
ト
取チ
出
し
PV
方
・
法
Vポ
ー
ト
管
破
接
ブ壊
続
ラ流
口
ケ量
径
ッ調
ト整
A ニ
ー
ド
ル
／
型式表示方法
構成機器
バルブユニット
NCタイプ
真空スイッチ
ユニット
ZX100
K1
5 L Z
E C
バルブユニット
NOタイプ
真空スイッチ
ユニット
ZX100
K3
5 L Z
E C
バルブユニット
NCタイプ
フィルタ
ユニット
ZX100
K1
5 L Z
F
バルブユニット／供給弁・破壊弁組み合わせ
P.903の表1バルブユニット／供給弁・破壊弁
の組み合わせをご参照ください。
ACタイプの場合、
整流器を介し
て、
DCソレノイドを使用してい
ます。
ご使用の際は必ず、
整流器
付コネクタAss'yと専用ソレイ
ドを組み合せてください。他の
組合せでは、
コイル焼損、
作動不
良等のトラブルを生じます。
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W）
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
真空スイッチリード線取出し方法
無記号グロメットリード線長さ0.6m
タイプ
L
リード線長さ3m
・コネクタ付リー
リード線長さ0.6m
C
ド線品番につい
CL コネクタリード線長さ3m
てはP.903の表
タイプ
3をご参照くだ
リード線も付
CN
コネクタなしいていません。
さい。
※0.45WタイプはDC24、12V
のみとなります。
電磁弁定格電圧
CE対応
※1注）
―
AC100V50/60Hz
※3注）
―
AC110V50/60Hz
●
DC24V
5
●
DC12V
6
●
DC6V
V
●
DC5V
S
●
R
DC3V
エアオペレート
―
無記号
（K6、K8、J3、J4、D3、D4に適用）
サクションフィルタのみ
F
注）PS, PBのCE対応品はありません。
真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合（ZSE3）
21
2出力/アナログ出力なし
22
2出力/アナログ出力付
D
23
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
24
1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
リード線取出し方法
L L型プラグ
リード線長さ0.3m
LN コネクタリード線なし（DCのみに適用）
タイプ
LO
コネクタなし
リード線長さ0.3m
M M型プラグ
MN コネクタリード線なし（DCのみに適用）
タイプ
MO
コネクタなし
G グロメットリード線長さ0.3m（DCのみに適用）
タイプリード線長さ0.6m（DCのみに適用）
H
無記号
エアオペレート
注）
供給弁・破壊弁の組み合わせがK1タイプ
の場合、Mプラグコネクタタイプは取り
付きません。
・コネクタ付リード線品番に
ついてはP.903の表2をご
参照ください。
・マニホールドの手配方法に
ついてはP.916をご参照く
ださい。
・組換用ユニットの手配方法
についてはP.926、927を
ご参照ください。
CE対応
●
●
―
―
●
（エアオぺレートを除く）
真空スイッチユニット／フィルタユニットの場合
E 真空用圧力スイッチ（一般用）
（ZSE2）
（NPN仕様）
E55 真空用圧力スイッチ（一般用）
（ZSE2）
（PNP仕様）サクション
PS注）吸着確認スイッチノズル径ø0.3∼0.7 フィルタ付
PB注）（ZSP1）
ノズル径ø0.5∼1.2
注）1, 3のCE対応品はありません。
※プラグコネクタのみ適用。整流器付コネクタ
Ass’
yが、
付属されています。
本製品に組み込まれて
いるフィルタは簡易的
なものです。
ダストの多い環境等に
て使用される場合、ユ
ニットのフィルタでは
目詰りが早くなるため
ZFA, ZFB, ZFCシリー
ズとの併用をおすすめ
します。
CE対応
―
無記号
Q CE対応品
破壊流量調整ニードル／ブラケットA
ロックナットブラケットA
無記号
×
●
L
●
●
PV・Vポート管接続口径
M
●
×
M5×0.8
無記号
N
×
×
Y M6×1
（準標準）
●：付（ブラケットAは同梱）
×：なし
パイロット弁仕様
注意
L
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイプのみです。
手動操作
無記号ノンロック式プッシュ式
B ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ電圧保護回路
※ACの場合／Sタイプはありません。
なし
無記号
Z ランプ・サージ電圧保護回路付 DCの場合（サージ電圧保護回路）
極性を間違えますとダイオードまた
※S
サージ電圧保護回路付
はスイッチング素子の焼損を招く場
合がありますので十分ご注意ください。
注意
サージ電圧保護回路
ランプ、サージ電圧保護回路
DCの場合
極性をコネクタの＋、− 表示に合せて接続し
てください。
極性を間違えますとダイオードまた
は、
スイッチング素子の焼損を招く場合がありま
すので十分にご注意ください。
あらかじめ、
リード線が接続されている場合には
＋赤、− 黒となっています。
ACの場合
整流器Ass'yによりサージ電圧の発生を防いでい
ますので、
サージ電圧保護回路付はありません。
C
902
真空ユニット
真空ポンプシステム
表1.バルブユニット／供給弁・破壊弁の組み合わせ
バルブユニット構成機器
供給弁
ZX Series
（詳細仕様はP.904をご参照ください）
供給弁
破壊弁
エアオペレート外部破壊
電磁弁
エアオペレート
電磁弁
記号
なし
N.C.
N.C.
N.O.
N.C.
N.O.
N.C.
N.C.
ZX1A
（VJA314）
（VJ114）（VJ324）（ZX1A）（VJA324）
（VJ114）（VJ314）
破壊弁
電磁弁
電磁弁
（N.C.）
（N.C.）
電磁弁
電磁弁
（N.O.）
（N.C.）
エアオペレート
外部破壊
（N.C.）
エアオペレートエアオペレート
（N.O.）
（N.C.）
なし
質量（g）
ZX
K1
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
82
K3
ー
●
ー
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
132
K6
ー
ー
●
ー
ー
ー
ー
ー
●
ー
58
K8
ー
ー
ー
●
ー
ー
ー
●
ー
ー
132
無記号
ZA
バルブユニットなし
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
表2.バルブユニットコネクタ付リード線
コネクタAss'y品番
（DCのみ適用）
VJ10 20 4A
手配方法
6
（AC100Vのみ適用）
VJ10 36 1A
6
（AC110Vのみ適用）
VJ10 36 3A
表3.真空スイッチコネクタ付リード線
6
リード線長さが600mm以上の真空ユニット
を必要な場合には、コネクタなしの真空ユニ
ットの品番とコネクタAss'yの品番を併記し
てください。
ZSE2用
ZSP1用
ZS 10 5A
ZSE3用
ZS 20 5A
ZL
ZY□
リード線長さ
例）
ZX100-K15L0Z-EC
（-Q）
…………… 1ケ
＊VJ10-20-4A-6 ……………………… 2ケ
無記号
30
50
＊が組み込み品番になります。
0.6m
3m
5m
ZF□
ZP□
リード線長さ
注）リード線長さが5mのスイッチを発注する
場合には、コネクタなしのスイッチとコネ
クタ付リード線の品番を併記してください。
無記号 0.3m
（標準）
6
0.6m
1m
10
1.5m
15
2m
20
2.5m
25
3m
30
ZU
SP
ZCUK
例）ZX100-K150Z-ECN
（-Q）…1ケ
＊VJ10-20-4A-6 ………… 2ケ
＊ZS-10-5A-50 ……………1ケ
AMJ
＊が組み込み品番になります。
AMV
AEP
真空ポンプシステムの代表的な推奨型式／下記型式は短納期品となります。
型式
ZX100-K15LZ-F
ZX100-K15LZ-EC
ZX100-K35MZ-EC
供給弁・破壊弁組合せ
供給弁
破壊弁
（パイロット弁）（直動弁）
N.C.
N.C.
（VJ114）
（VJ114）
N.C.
N.C.
（VJ114）
（VJ114）
N.O.
N.C.
（VJ324M）
（VJ314）
電磁弁
定格電圧
DC24V
リード線
取出し方法
プラグ
コネクタ
タイプ
ランプ・サージ
電圧保護回路
真空スイッチユニット
／フィルタユニット
真空スイッチ
リード線
取出し方法
サクションフィルタ
（ZX1-F）
ランプ・サージ
電圧保護回路付
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
HEP
関連
機器
コネクタタイプ
※ 上記型式は短納期品です。
ZX100-K15LZ-E□
ZX100-K35MZ-E□
903
A
ZX Series
真空ポンプシステム／供給弁・破壊弁の組み合わせ
組み合わせ記号
K1
組み合わせ記号
用途：電気信号により、制御する場合に使用します。
操作方法
操作方法
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
K6
用途：エア信号により、制御する場合に使用します。
供給弁
電磁弁
ON
OFF
OFF
破壊弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
K3
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
組み合わせ記号
供給弁
電磁弁
ON
OFF
OFF
破壊弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
K8
用途：電気信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タ
イプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することが
なく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止に使用します。
用途：エア信号により、制御する場合に使用します。供給用弁がN.O.タ
イプですので、停電時に、エジェクタヘの供給圧力は停止することが
なく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止に使用します。
操作方法
操作方法
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
904
供給弁
電磁弁
OFF
ON
ON
破壊弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
操作
状態
1.ワーク吸着
2.破壊
3.作動停止
供給弁
エアオペレート弁
OFF
ON
ON
破壊弁
エアオペレート弁
OFF
ON
OFF
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
真空ポンプシステム／構造図
ZA
ZX
ZR
!1
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
構成部品
番号
1
2
3
4
5
6
7
注）
8
交換部品
部品名
材質
備考
ー
ZX1-PV-0
ポペット弁Ass'y
ステンレス鋼
破壊流量調整ニードル
アルミニウム
マニホールドベース
ー
ZSE2、
ZSP1、
ZSE3
真空スイッチ
ZX1-VB
-Dー
バルブユニット
インターフェイスプレート
（PV）
・
（PS PD）
ー
復帰スプリング
ステンレス
ポリカーボネート
フィルタケース
表1.パイロット弁／型式表示方法
適用バルブ
構成機器
No.
型式
組み合わせ
供給弁
破壊弁
電磁弁
電磁弁
1
ZX1-VJ114K1、
J1
（VJ114）
N.C.（VJ114） N.C.
電磁弁
電磁弁
1
2
ZX1-VJ3 24 K3、
J2
（VJ314）
N.O.（VJ324） N.C.
エアオペレートエアオペレート
3
ZX1-VJA31
K6
24
N.O.（VJA324） N.C.（VJA314）
No.2∼No.3のみ可能
電磁弁
エアオペレート
4
品番を各々併記願います
電磁弁
エアオペレート
番号
部品名
9 パイロット弁
10 フィルタエレメント
11 ガスケット
ZX1A M3
ポートサイズ
M3 M3×0.5 パイロットポート
M5 M5×0.8 外部破壊ポート
注意
破壊流量調整ニードルの調整は、時計回りで破壊流量は絞られ、止まったとこ
ろで、全閉となります。全閉状態から、反時計回りで、2回転しますと全開とな
ります。4回転以上回しますと、ニードルが外れますのでご注意ください。
また緩み止め対策品を用意しております。
ZL
部品品番
表2、表3をご参照ください。
ZX1-FE
ZX1-FG
ZP□
SP
ZCUK
表2.電磁弁／型式表示方法
ZX1-VJ114
- 5 L Z
ZX1-VJ3 2 4
- 5 L Z
AMJ
AMV
切換方式
1
2
手動操作方法
N．C．
（ノーマルクローズ）
N．O．
（ノーマルオープン）
無記号ノンロックプッシュ式
B
ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ電圧保護回路
ボディオプション
無記号
無記号
S
Z
パイロット弁
個別排気形
主弁パイロット弁
集合排気形
注）ノーマルクローズの
場合、無記号のパイ
ロット弁個別排気形
です
注）ZX1-VJ324M-□
ZX1-VJ314-□
のみの対応となります。
パイロット弁仕様
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W）
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
ZY□
ZF□
注）フィルタケース取扱い上のご注意
1）ケースの材質はポリカーボネートですので、シンナ、四塩化炭素、ク
ロロホルム、酢酸エステル、アニリン、シクロヘキサン、トリクロー
ルエチレン、硫酸、乳酸、水溶性切削油（アルカリ性）等の化学薬品の
ご使用あるいは雰囲気中でのご使用は避けてください。
2）直射日光を避けてご使用ください。
M
表3.エアオペレート／型式表示方法
材質
ー
PVF
ランプ・サージ電圧保護回路なし
サージ電圧保護回路付
ランプ・サージ電圧保護回路付
定格電圧
※1
※3
5
6
V
S
R
AC100V
AC110V
DC24V
DC12V
DC6V
DC5V
DC3V
※プラグコネクタ
のみに適用
AEP
HEP
関連
機器
リード線取出し方
L
コネクタ（0.3m）
LN コネクタ（リード線なし）
LO
コネクタなし
M
コネクタ（0.3m）
MN コネクタ（リード線なし）
MO
コネクタなし
グロメット（0.3m）
G
グロメット（0.6m）
H
注）ZX1-VJ114の場合、M・
MN・MOは不適当です。
※0.45WタイプはDC24、12Vのみとなります。
注）ZXシリーズ用VJ100、VJ300は、ビスの長さが
標準品と異なります。
〈ビスの長さ〉VJ100ーM1.7×15
VJ300ーM1.7×22
905
A
ZX Series
バルブユニット／ZX1-VB
詳細仕様については、P.872をご参照ください。
型式／仕様
ユニット品番
ZX1-VB
供給弁
破壊弁
パイロット方式
直動方式
電磁弁
エアオペレート
電磁弁
エアオ
外部
操作方法
N.C.
N.O.
N.C.
N.C.
N.C.
N.O.
破壊ペレート
（VJ114）（VJ324）（ZX1A）
（VJ114）（VJ314）
（VJA324）
（ZX1A）（VJA314）
0.008
0.08
0.17
ー
Cv値
動作圧力
0.3∼0.6MPa
5Hz
最大作動頻度
使用温度範囲
5∼50℃
（PV）
・
（PS PD）
インタフェイスプレート記号
標準装備品
ブラケットB（ZX1-OBB）
構成
）
（V
ート
ポ
真空
K1（N.C.）タイプ
ト圧
ロット
パイポー
排気E）
給
（P
供
給
圧
供）
ト
ッ S）空圧 PV
ロ P 真ト（
イ
ー
パート（
ポ
ポ
K3（N.O.）タイプ
ト圧
ロット
パイポー
排気E）
（P
供給
ト圧
供給）
ロッPS）空圧（PV
イ
真ート
パート（
ポ
ポ
）
（V
ート
ポ
真空
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
8
（ニードル全開時）
供給用
パイロット弁
供給用パイロ
ット弁（N.O.）
パイロット圧
排気ポート（PE）
パイロット圧
排気ポート（PE）
A
A
パイロット圧
供給ポート
（PS）
パイロット圧
供給ポート
（PS）
真空圧供給ポート（PV）
真空ポート（V）
真空圧供給ポート（PV）
注）※寸法はブラケットBの取付時、※※寸法はスペーサの取付時の寸法です。
906
真空ポート（V）
真空ユニット
真空ポンプシステム
サクションフィルタユニット／ZX1-F
ZX Series
詳細についてはP.874をご参照ください。
仕様
ユニット品番
使用圧力範囲
使用温度範囲
ろ過度
ろ材
質量
標準装備
ZX1-F
負圧∼0.5MPa
5∼50℃
30μm
PVF
35g
ブラケットA（ZX1-OBA）
ZA
ZX
注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
ZR
ZM
型式表示方法
ZX1
ZMA
F
PV, Vポート管接続口径
無記号 M5×0.8
Y
M6×1
（準標準）
ZQ
ブラケット
無記号ブラケットA付
N
ブラケットA無
ZH
ZU
真空圧力スイッチユニット／ZSE2・ZSE3・ZSP1
真空用圧力スイッチ
一般用真空圧力スイッチ／仕様
ユニット品番
使用流体
設定圧力範囲
応差
繰り返し精度
温度特性
使用電圧
管接続口径
高速応答／10ms
拡散型半導体圧力センサ使用
ZL
詳細についてはP.875∼880をご参照ください。
ZY□
詳細仕様はBest Pneumatics No.yをご参照ください。
ZSE2-0X
ZSE3-0X
ZF□
ZP□
空気
0∼ー101kPa
3％F.S.以下
±1％F.S.以下
±3％F.S.以下
DC12∼24V
（リップル±10％以下）
M5×0.8、M6×1
（準標準）
SP
ZCUK
AMJ
注）使用圧力範囲外および使用温度範囲外での使用は故障の原因となります。
AMV
吸着確認スイッチ／仕様
ユニット品番
使用流体
使用圧力範囲
適用吸着ノズル径
応差
内部オリフィス径
吸着確認スイッチ
小型吸着ノズルに最適／ø0.3∼ø1.2
サクションフィルタ付
配線性向上／コネクタタイプ
拡散型半導体センサ使用
AEP
ZSP1-S
ZSP1-B
空気
ー20∼ー101kPa
0.3∼0.7mm
0.5∼1.2mm
0.5kPa
0.5mm
0.8mm
HEP
関連
機器
¡フィルタケースについて
注意
qケースの材質はポリカーボネートですので、
シンナ、四塩化炭素、クロロホルム、酢酸エ
ステル、アニリン、シクロヘキサン、トリク
ロールエチレン、
硫酸、
乳酸、
水溶性切削油
（ア
ルカリ性）等の化学薬品のご使用あるいは
雰囲気中でのご使用は避けてください。
w直射日光を避けてご使用ください。
¡その他
注意
適用吸着ノズル範囲外の吸着ノズルや吸着パ
ッドをご使用になりますと、吸着しないこと
がありますのでご注意ください。
907
A
ZX Series
）
（V
ート
ポ
真空
バルブユニット：K1タイプ
構成と組み合わせ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
バルブユニット
（K1）＋真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合わせ回
路図は、二点鎖線の枠の部分のみ下図のよ
うになります。）
E□
D□□□
P□□
F
型式
ZX100
ト圧
ロット
パイポー
気
排）
E
（P
給
供
圧
供給）
ト
ッ）圧 PV
ロ PS 真空ト（
イ
ポー
パート（
ポ
K1□□□□
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
吸着確認
スイッチの場合（P）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX100-K1□□□-E□
66
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
29.2
2
※※1
フィルタユニット
の場合（F）
※51
20
※41
10
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
21.6
マニュアル
（ノンロック）
8
（ニードル全開時）
9.3
圧力設定用トリマ
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
（取付穴）
VJ114
パイロット圧排気ポート（PE）
M3
真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
1
4.7
2×ø3.3
（取付穴）
10
66
5
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
17.6
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
10.2
59.5
6.5
18
PV
※15.5
PS
5.8
A
パイロット圧
供給ポート
（PS）
M3
64.6
破壊流量
調整ニードル
PD）
PE
28
※13.6
真空スイッチ
ZSE2
64.6
1（PV）（PS
PD
908
※17.6
破壊弁
VJ114
VJ114
インターフェイス
プレート
※10
※19
※
（68.6）
供給用パイロット弁
VJ114
※1
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
真空ポンプシステム
真空用圧力スイッチ（ZSE3）の場合
ZX100-K1□□□□-D□□
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX100-K1□□□□-P□□
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
スペーサ1／ZX1-S1
8
ZA
ZX
（ニードル全開時）
ZR
ZM
ZMA
供給用
パイロット弁
VJ114
ZQ
VJ114
ZH
パイロット圧
供給ポート（PS）
A
ZU
真空ポート（V）
A
パイロット圧
排気ポート（PE）
真空ポート（V）
ZL
ZY□
真空圧供給
ポート（PV）
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
の場合
フィルタユニット（F）
ZX100-K1□□□□-F
AMV
AEP
HEP
関連
機器
909
ZX Series
バルブユニット：K3タイプ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
バルブユニット
（K3）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
構成と組み合わせ
型式
ZX100
ト圧
ロット
パイポー
排気）
E
（P
給
給
供
圧
圧供 V）
ト
ッ）空（P
ロ PS 真ート
イ
ポ
パート（
ポ
回路図
E□
P□□
F
D□□□
K3□□□□
V）
ト（
ポー
空
真
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
吸着確認
スイッチの場合（P）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
ZX100-K3□□□-E□
87.6
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
29.2
22.7
フィルタユニット
の場合（F）
（マニュアル）
（ロック式の場合は押して
から回して下さい）
51
41
20
SMC SMC
10
8
（ニードル全開時）
21.6
1
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
圧力設定用トリマ
※2×R1.8
（取付穴）
※1
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
※10
※17.6
※19
※13.6
※ ø3.6
（取付穴）
破壊弁
VJ314
25
5.8
28
PS
パイロット圧
排気ポート（PE）
1
M3
PV
4.7
真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
5
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
910
10
17.6
2×ø3.3
（取付穴）
※
（82.5）
A
50
58
59.5
パイロット圧
供給ポート
（PS）
M3
PE
6.5
18
50.3
PD
61
破壊流量
調整ニードル
78.5
PD）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
10.2
SMC
3（PV）（PS
- + - +
※※18
SMC
真空スイッチ
ZSE2
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
4
+-
※15.5
+-
インターフェイス
プレート
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
の場合
ZX100-K3□□□□-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
ZM
ZMA
8
（ニードル全開時）
ZQ
ZH
ZU
真空ポート（V）
ZL
A
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
フィルタユニット（F）
の場合
ZX100-K3□□□□-F
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
911
ZX Series
バルブユニット：K6タイプ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
バルブユニット
（K6）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
構成と組み合わせ
給
供
圧 PV）
空
真ート（
ポ
E□
P□
F
D□□□
型式
ZX100
V）
ト（
ポー
真空
ト圧
ロット
パイポー
排気E）
（P
K6
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
吸着確認
スイッチの場合（P）
ZX100-K6-E□
66
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
29.2
13
※※1
圧力設定用トリマ
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
（取付穴）
※10
※17.6
※19
※13.6
PD）
破壊流量
調整ニードル
PD
A
18
PV
6.5
パイロット圧
排気ポート（PE）
M3
パイロット圧
供給ポート
（PS）
M3
PS
5.8
28
25
PE
2×ø3.3
（取付穴）
1
4.7
5
10
66
真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
912
17.6
10.2
1（PV）（PS
※
（63.5）
真空スイッチ
ZSE2
破壊用
外部破壊
（ZX1A）
59.5
インターフェイス
プレート
※1
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※※18
供給用
エアオペレート
（ZX1A）
※51
20
M5
外部破壊ポート
（ニードル全開時）
フィルタユニット
の場合（F）
※15.5
8
10
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
21.6
M5
パイロットポート
※41
2
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX100-K6-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
A：ロックナット付破壊流量
調整ニードル
ZQ
8
ZH
（ニードル全開時）
ZU
ZL
真空ポート（V）
A
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
の場合
フィルタユニット（F）
ZX100-K6-F
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
913
ZX Series
バルブユニット：K8タイプ
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
構成と組み合わせ
真空用圧力スイッチ
（ZSE3）
バルブユニット
（K8）＋
吸着確認スイッチ
（ZSP1）
フィルタユニット
（F）
ト圧
ロット
パイポー
排気）
E
（P
給
供
給
圧
ト
圧供 PV）
ッ）
ロ PS 真空ト（
イト（
ー
パー
ポ
ポ
E□
P□□
F
D□□□
型式
ZX100
）
（V
ート
ポ
真空
K8
回路図
（真空用圧力スイッチ以外の組み合
わせ回路図は、二点鎖線の枠の部分
のみ下図のようになります。）
真空用圧力
スイッチの場合（E）
（D）
真空用圧力スイッチ（ZSE2）の場合
吸着確認
スイッチの場合（P）
ZX100-K8-E□
66.6
29.2
3
※51
6
20
フィルタユニット
の場合（F）
※41
M3
（供給弁用パイロットポート）
スペーサ1（ZX1-S1）
（側面取付時に使用）
M3
（破壊弁用パイロットポート）
圧力設定用トリマ
※ø3.6
（取付穴）
※2×R1.8
（取付穴）
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
※1
8
※10
※17.6
※19
※13.6
（ニードル全開時）
破壊用弁N.0
（エアオペレート
VJA324）
マニュアル
（ノンロック）
破壊流量
調整ニードル
1
4.7
5
真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
10
注）※寸法はブラケットAの取付時、※※寸法はスペーサ1の取付時の寸法です。
914
17.6
2×ø3.3
（取付穴）
※63.5
10.2
※※18
V
4.2
ブラケットA
（ZX1-OBA）
（標準装備）
※4
25
5.8
PV
※15.5
パイロット圧
供給ポート
（PS）
M3
PS
A
50
50
28
PE
6.5
インターフェイス
プレート
18
PD）
PD
56.5
3（PV）（PS
パイロット圧
排気ポート（PE）
M3
真空用圧力スイッチ
（ZSE2）
破壊用弁
（エアオペレート
VJA314）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
吸着確認スイッチ（ZSP1）の場合
ZX100-K8-P□□
スペーサ1／ZX1-S1
ZA
ZX
ZR
ZM
A：ロックナット付破壊流量
ZMA
調整ニードル
ZQ
8
ZH
（ニードル全開時）
ZU
ZL
A
ZY□
ZF□
ZP□
真空ポート（V）
SP
ZCUK
AMJ
の場合
フィルタユニット（F）
ZX100-K8-F
AMV
AEP
HEP
関連
機器
A
915
ZX Series
真空ポンプシステム／マニホールド仕様
仕様
MAX. 8連
NPTF, G）
NPTF, G）
1連：73gで1連増すごとに50g増加します
最大ユニット連数
管接続供給ポート〔PV〕
口径
排気ポート〔EXH〕
質量
18
（Rc,
18
（Rc,
（1）PDポートはすべてブランキングとなります。
（2）ZX100タイプの外部真空ポンプ吸引の6連以上ではPVポートを両側吸引としてください。
供給方法
マニホールド左右
供給ポート位置
ポート
左側
右側
PV
○
●
○
L
（左側）
R
（右側）
B
（両側）
PS
○
●
○
PV
●
○
○
PS
●
○
○
○PVポートより真空を供給します。 ○PSポートより、空気供給します。
●プラグが付いています。
注）
バルブユニットの全てのポートには、プラグが付いています。
マニホールド型式表示方法
〈マニホールドベース〉
ZZX1 06
連数
01
02
⋮
08
R
供給ポート位置
1連
2連
⋮
8連
供給方法
供給ポート
空気供給
位置※1）真空供給
右側
右側
右側
R
PVポートより PSポートより
左側
左側
L
左側
PVポートより PSポートより
両側
両側
B
両側
PVポートより PSポートより
記号
供給・排気ポートねじの種類
無記号
F
T
〈直管個別スペーサ〉
Rc
G注）
NPTF
注）Gネジについて
ネジ山形状はGネジの
規格
（JIS B 0202）
に準
拠しておりますが、その
他の形状については
ISO16030および
ISO1179に準拠してお
りません。
※1 バルブユニットを手前にして右、左
を判断ください。
※2 EXHポートは両側開放です。
PDポートはつねにプラグが付きます。
バルブのポートはすべてにプラグが
付きます。
（例）
ZZX106-R……1ケ
（マニホールドベース）
＊ZX100-K15LZ-EC
（-Q）
……5ヶ
（真空ユニット単体）
＊ZX1-BM1
……1ケ
（ブランキングプレート）
マニホールド型式表示上の注意
＊は組込み記号です。
搭載するエジェクタに＊印を記入してください。
＊をつけない場合、マニホールドベースとエジェクタは別々
に出荷されます。
B
916
・マニホールド化したエジェクタの供給ポートや排気ポートを個別にしたい場
合には直管個別スペーサを指示してください。
ZX1
R1
1
配列
（バルブユニットを手前にして
右からバルブ連数の1番目）
直管個別スペーサ
R1
⋮
R16
無記号
1
連数全装着
1番目のみ
※直管個別スペーサ
⋮
⋮
について参照
8番目のみ
8
（例）
1番目と3番目に装着
※スペーサを交互に装着する場合には併記し
ZZX106-R……1ケ
てご指示ください。
＊ZX100-K15LZ-EC（-Q）…6ヶ ※後付けする場合はM2.5×32（ZX用）3ヶも
＊ZX1-R1-1
必要になります。
＊ZX1-R1-3
また、直管個別スペーサを取付けない連数
＊ZX1-R16……4ケ
に対して、ダミースペーサ（ZX1-R16）を必
（ダミースペーサ）ず取付けてください。
直管個別スペーサについて
¡マニホールドからの供給、
バルブユニットからの供給がポートごとに選択可能。
下表、各品番ごとに記号のポートかマニホールドからの供給になります。そ
の他は、バルブユニットからの個別供給になります。
¡直管個別スペーサには上面に下表表示記号がプリントされております。
品番
ZX1-R1
R2
R3
R4
R5
R6
R7
R8
表示記号
R1
R2
R3
R4
R5
R6
R7
R8
PE
PD
PD PE
PS
PS
PE
PS PD
PS PD PE
品番
ZX1-R 9
R10
R11
R12
R13
R14
R15
R16
R 9
R10
R11
R12
R13
R14
R15
R16
表示記号
PV
PV
PV
PD
PV
PD
PV PS
PV PS
PV PS PD
PV PS PD
PE
PE
PE
PE
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
マニホールド構成／システム回路例
直管個別スペーサを使用しない場合
直管個別スペーサを使用した場合
（ZX1-R1を使用した場合）
ZA
ZX
ZR
ダミースペーサZX1-R16側
ZM
ZMA
ZQ
直管個別スペーサZX1-R1側
PV：真空圧供給ポート
PS：パイロット圧供給ポート
PD：破壊圧供給ポート
PE：パイロット圧排気ポート
EXH：集合排気ポート
ZH
ZU
ダミースペーサZX1-R16
ZL
直管個別スペーサZX1-R1
ZY□
〈システム回路例〉
〈システム回路例〉
ZF□
ZP□
ダミースペーサZX1-R16
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
直管個別スペーサZX1-R1
917
ZX Series
真空ポンプシステム
マニホールド
集
合
排
共
気
通
ポ
パ
ー
イ
共
ト（
ロ
通
ッ
EX
真
ト
空
H.
圧
圧
）
供
供
給
給
ポ
ポ
ー
ー
ト（
ト（
PS
PV
）
）
エンドプレート
マニホールドベース
119.3
61
17.5
10 16.4
4×ø5.5
（取付穴）
調整用ニードル
32
22.7
ピッチ＝21
10
4
マニュアル
（ロック式の場合は
そのまま回してください。）
8
（ニードル全開時）
10
10
L3
L2
マニュアル
（ロック式の場合は押して
から回してください。）
L1
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
20
10
SMC SMC
吸着確認スイッチZSP1
真空スイッチZSE2
15
圧力設定トリマ
フィルタ
ボディ（エアオペタイプ）
（ZX1A）
M5
パイロットポート
M5
外部破壊ポート
18
9.3
13
22
35
37.4
アダプタD
アダプタB
（44）
45.4
58.3
直管個別スペーサZX1-R1
破壊弁
VJ314
供給用パイロット弁（N.C.）
VJ114
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
破壊弁
VJ114
マニュアル
（ロック式の場合は
そのまま回してください。）
B
PS
PS
P
PV
PV
PV
20
EXH
PS
2.5
PV
3
37.4
44
共通パイロット圧供給ポート（PS）
2×M5
個別真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
918
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
60
50
PD
A
5
ピッチ＝21
22.5
A
0.5
PD
PE
PS
21.5
PD）
PD
PE
10
PD） 1（PV）（PS
PD
33
50.50
PD） 1（PV）（PS
PE
50.5
SMC
PD
28.5
SMC
3（PV）（PS
7.5
+-
20.5
+-
61.5
破壊流量
調整ニードル
集合排気ポート（EXH.）※1
1/8（Rc, NPTF, G）
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートとなってお
ります。大気開放にてご使用願います。
真空ユニット
真空ポンプシステム
（直管個別スペーサを使用した場合）
ZX Series
システム回路例
B矢視
（標準）
（準標準）
（直管個別スペーサを使用した場合）
ZA
121.8
63.5
直管個別スペーサZX1-R1
ZX
2.5 10
ZM
R16 PV PS PD PE
R1
SMC SMC
ZR
ZMA
R16 PV PS PD PE
ダミースペーサZX1-R16
ダミースペーサZX1-R16
R1
ZQ
直管個別スペーサZX1-R1
ZH
39.9
ZU
ZL
ZY□
A矢視
ZF□
ZP□
+-
+-
SMC
SMC
SP
PD） 1（PV）（PS
PD
6.3
25.5
22.5
PD） 1（PV）（PS
PD
ZCUK
PD）
PD
PD
PE
PE
PE
PS
PS
PS
PV
PV
PV
1
4.7
20
22.5
PV
7.5
3（PV）（PS
AMJ
個別真空圧供給
ポート（PV）
M5
（またはM6）
AMV
5
ピッチ＝21
AEP
HEP
個別真空圧供給ポート（PV）
M5
（またはM6）
関連
機器
79
10.7
8.5
65.1
-＋
V
V
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
真空ポート（V）
M5（またはM6）
V
V
4.2
22.5
ピッチ
＝21
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
919
ZX Series
V）
ト（
ポー
空
）
真
（V
ート
ポ
真空
真空ポンプシステム
マニホールド：K1タイプ
集
合
排
共
気
通
ポ
パ
ー
イ
ト（
ロ
共
EX
ッ
通
H.
ト
真
圧
）
空
供
圧
給
供
ポ
給
ー
ポ
ト（
ー
ト（
PS
）
PV
）
85
37.4
4×ø5.5（取付穴）
28.1
23.4
32
16.4
10
6.5
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
圧力設定用トリマ
エンドプレート
44
リード線長さ
約300
破壊弁
VJ114
L1
L2
L3
20
6
ピッチ＝10
マニホールドベース
供給用パイロット弁
VJ114
ピッチ＝21
8
（ニードル全開時）
4
11.5
6
マニュアル
真空スイッチ
ZSE2
フィルタユニット
破壊流量調整ニードル
PD
A
65
PD）
PD
60
PD） 1（PV）（PS
1（PV）（PS
PD
PE
PE
20
共通パイロット圧供給ポート（PS）
2×M5
5
PV
37.4
3
集合排気ポート（EXH.）※1
1/8（Rc, NPTF, G）
44
ピッチ＝21
22.5
PS
10
33
28.5
PV
PV
21.5
EXH
PS
PS
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
920
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートとなってお
ります。大気開放にてご使用願います。
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
回路図
ZA
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
AMJ
AMV
AEP
HEP
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
V
4.2
10.7
関連
機器
V
21
22.5
921
ZX Series
V）
ト（
ポー
空
真
V）
ト（
ポー
空
真
マニホールド：K3タイプ
真空ポンプシステム
集
合
排
共
気
通
ポ
パ
ー
イ
ト（
共
ロ
通
EX
ッ
真
H.
ト
空
）
圧
圧
供
供
給
給
ポ
ポ
ー
ー
ト（
ト（
PS
PV
）
）
106.6
61
45
4×ø5.5
（取付穴）
32
22.7
16.4
6
6.5
10
A：ロックナット付破壊流量調整ニードル
22.70
17.5
マニホールドベース
10
L1
L2
L3
ピッチ＝21
6
供給用パイロット弁（N.O.）
VJ324M
SMC SMC
マニュアル
（ロック式の場合は押して
から回してください。）
20
（ニードル全開時）
4
SMC SMC
8
圧力設定用トリマ
エンドプレート
44
破壊弁
VJ314
真空スイッチ
ZSE2
マニュアル
+-
+-
+-
+-
フィルタユニット
破壊流量調整ニードル
SMC
PD
PD
PE
PE
PD）
PD
A
60
50.8
SMC
PD） 1（PV）（PS
79
SMC
61.5
SMC
1（PV）（PS
PV
20
5
22.5
PS
10
PV
33
28.5
PS
21.5
EXH
PS
2.5
ピッチ＝21
共通パイロット圧供給ポート（PS）
2×M5
PV
3
37.4
44
※1
集合排気ポート（EXH.）
1/8（Rc, NPTF, G）
共通空気圧供給ポート（PV）
1/8（Rc, NPTF, G）
※1 集合排気（EXH.）ポートはパイロット弁の
パイロット圧排気（PE）ポートとなってお
ります。大気開放にてご使用願います。
（mm）
連数
記号
L1
L2
L3
922
1
2
3
4
5
6
7
8
33
45
50
54
66
71
75
87
92
96
108
113
117
129
134
138
150
155
159
171
176
180
192
197
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
ZA
回路図
ZX
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
ZU
ZL
ZY□
ZF□
ZP□
SP
ZCUK
- + - + - + - +
AMJ
AMV
真空ポート（V）
M5
（またはM6）
AEP
10.7
HEP
V
4.2
関連
機器
V
21
22.5
923
ZX Series
エジェクタシステム／ユニット構成（仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。）
AC00439
（M2.5×63）
単体の場合
AC00439
（M2.5×63）
AC00378（M2.5×51）
AC00649
（M2.5×39）
AC00777（M2.5×14）
eエジェクタアセンブリ
型式表示方法（組換用ユニット） ZX1 W D 05 1
qバルブユニット
5 L Z B
エジェクタシステム用
供給弁・破壊弁の
組み合わせ
（詳細はP.867を
ご参照ください。）
パイロット弁仕様
L
無記号ロックナット無
L
ロックナット付
無記号ノンロック式プッシュ式
B ロック式ドライバ操作形
ランプ・サージ
電圧保護回路
無記号
なし
ランプ・サージ
Z
電圧保護回路付
リード線取出し方法
※プラグコネクタのみ適用。
整流器付
コネクタAss’
yが、付属されていま
す。
L
L形プラグコネクタ
w吸着確認スイッチユニット
C
924
0.3∼0.7mm
0.5∼1.2mm
05
07
10
0.5mm
0.7mm
1.0mm
r真空圧力スイッチユニット
ZSE2 0X
15 C
出力仕様
15 NPNオープンコレクタ
55 PNPオープンコレクタ
手動操作
CE対応
※1 AC100V50/60Hz
―
※3 AC110V50/60Hz
―
DC24V
5
●
DC12V
6
●
DC6V
V
●
DC5V
S
●
DC3V
R
●
S
B
単体用
（PD、PSポート
にプラグが付き
ます。）
PVポート管接続口径
M5×0.8
無記号
Y M6×1（準標準）
電磁弁定格電圧
15 C
D
組換用ユニット
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
1 サイレンサ内蔵
ポート排気
2
Rc1 8
ノズル径
CE対応
―
無記号
Q CE対応品
組換用ユニット
※ 0.45WタイプはDC24、
12Vのみとなります。
適用吸着
ノズル径
D S
破壊流量調整ニードル
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W）
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
ZSP1 B 0X
エジェクタ排気方式
組換用ユニット
ZX1 V A K1
t真空用デジタル圧力スイッチユニット
ZSE3 0X
21 C
D
配管仕様
D
組換用
ユニット
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
組換用ユニット
出力仕様
21
22
23
24
2出力/アナログ出力なし
2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイ
プのみです。
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
D：組換用ユニットとは製品において、あるユニットを交換するため
のユニットです。
例. ZX1071-K15LZ-PBCにおいて、吸着確認スイッチユニットを真
空圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-Dの品番
となります。また、組付けるためのねじAC00378（M2.5×51）
（2個）
が必要となります。
ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無記号
です（バルブユニットとエジェクタアッセンブリとスイッチユニット
を組合せて使用するのではなく、バルブユニットのみ、エジェクタア
ッセンブリのみ、スイッチユニットのみとして使用する場合）
例. ZSE2-0X-15C、
ZX1-VAK15LZ、
ZX1-W051.
真空ユニット
エジェクタシステム
ZX Series
AC00439
（M2.5×63）
マニホールドの場合
AC00439
（M2.5×63）
ZA
AC00777
（M2.5×14）
AC00378（M2.5×51）
ZX
AC00649
（M2.5×39）
ZR
ZM
AC00778（M2.5×20）
ZMA
AC00347
（M2.5×28）
ZQ
ZH
AC00238
（M2.5×8）
ZU
ZL
AC00347
（M2.5×28）
ZY□
注1）集合排気用は、集合排気ポートが開いています。
個別排気用は閉じています。集合排気用はエジェ
クタシステムの集合排気形式のみ適用します。
注2）
ポートがM5の場合、
品番末尾は-4、
M6は-1です。
注3）
ポートがM5の場合、
品番末尾は-1、
M6は-2です。
AC00347
（M2.5×28）
AC00106（M2.5×12）
AC00106（M2.5×12）
ZX1 V A K1
5 L Z B
L
D M
ZSP1 B 0X
エジェクタシステム用
CE対応
供給弁・破壊弁の
組み合わせ
パイロット弁仕様
マニホールド用
すべてのポートにプラ
グが付いています。
電磁弁定格電圧
リード線取出し方法
手動操作
破壊流量調整ニードル
無記号ロックナット無
L
ロックナット付
wマニホールドベース
ZZX1 05
R
1連
⋮
8連
ポートねじの種類
無記号
F
T
Rc 1 8
G
NPTF
R
L
B
eエジェクタアセンブリ
右側
左側
両側
ZX1 W D 05 1
組換用ユニット
ノズル径
05
07
10
0.5mm
0.7mm
1.0mm
S 0.3∼0.7mm
B 0.5∼1.2mm
t真空用圧力スイッチユニット
ZSE2 0X
15 C
エジェクタ排気方式
2
3
サイレンサ内蔵
ポート排気
Rc 1 8
マニホ−ルド
集合排気
AMJ
AMV
AEP
HEP
関連
機器
D
組換用ユニット
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
y真空用デジタル圧力スイッチユニット
ZSE3 0X
21 C
出力仕様
1
組換用
ユニット
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
出力仕様
15 NPNオープンコレクタ
55 PNPオープンコレクタ
A C
D
配管仕様
排気形式対応
システム対応エジェクタ用無記号個別排気用
（PD、
PSポートにプラグ
C 集合排気用
がつきます）
供給ポート位置
連数
01
⋮
08
15 C
適用吸着
ノズル径
組換用ユニット
ランプ・サージ電圧保護回路
ZCUK
r吸着確認スイッチユニット
※型式の詳細は→P.872をご参照ください。
ZP□
SP
型式表示方法（組換用ユニット）
qバルブユニット
ZF□
21
2出力/アナログ出力なし
22
2出力/アナログ出力付
23 1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
24 1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタ
イプのみです。
D
組換用ユニット
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
C
コネクタ（0.6m）
CL コネクタ（3m）
コネクタなし
CN
925
D
ZX Series
真空ポンプシステム／ユニット構成（仕様変更、メンテナンス等でユニットの交換をする場合、下記型式表示方法を参照ください。）
AC00378（M2.5×51）
単体の場合
AC00378（M2.5×51）
AC00649
（M2.5×39）
AC00347
（M2.5×28）
精密機器用
十字穴付皿小ねじ
AD00014（M2.5×5）
型式表示方法（組換用ユニット）
qバルブユニット
w吸着確認スイッチユニット
ZX1 V B K1
5 L Z B
真空ポンプ
システム用
供給弁・破壊弁の組み合わせ
（詳細はP.903を
ご参照ください。）
パイロット弁仕様
破壊流量調整ニードル
無記号ロックナット無
L
ロックナット付
PVポート管接続口径
M5×0.8
無記号
Y M6×1（準標準）
※ 0.45WタイプはDC24、
12Vのみとなります。
電磁弁定格電圧
※3
5
6
V
S
R
AC100V50/60Hz
AC110V50/60Hz
DC24V
DC12V
DC6V
DC5V
DC3V
CE対応
―
―
●
●
●
●
●
※ プラグコネクタのみ適用。整流器
付コネクタAss’yが、付属されて
います。
926
CE対応
―
無記号
Q CE対応品
ランプ・サージ電圧保護回路
15 C
出力仕様
15 NPNオープンコレクタ
55 PNPオープンコレクタ
D
組換用ユニット
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
r真空用デジタル圧力スイッチユニット
ZSE3 0X
21 C
D
組換用ユニット
リード線取出し方法
L
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
e真空圧力スイッチユニット
ZSE2 0X
D
組換用
ユニット
配管仕様
0.3∼0.7mm
0.5∼1.2mm
S
B
手動操作
無記号
なし
Z ランプ・サージ電圧保護回路付
15 C
適用吸着
ノズル径
無記号ノンロック式プッシュ形
B
ロック式ドライバ操作形
配管仕様
L形プラグコネクタ
D：組換ユニットとは、製品において、あるユニットを交換するた
めのユニットです。
例. ZX100-K15LZ-PBCにおいて、
吸着確認スイッチユニットを
真空用圧力スイッチユニットに交換する場合、ZSE2-0X-15C-D
の品番となります。また組付けるためのねじ、AC00649（M2.5
×39）
（2個使い）が必要となります。
ユニットの組合せをしないで、ユニット単体で使用する場合は無
記号です。
例. ZSE2-0X-15C、ZX1-VBK15LZ
C
ZSP1 B0X
D S
組換用ユニット
単体用
（PDポートのみプラグ
が付きます。）
DC：1Wタイプ
無記号（ランプ付：1.05W）
ACタイプ
DC：0.45Wタイプ
※Y
（ランプ付：0.5W）
※1
L
無記号
L
C
CL
CN
グロメット（0.6m）
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
コネクタ（3m）
コネクタなし
出力仕様
21
22
23
24
2出力/アナログ出力なし
2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイ
プのみです。
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
AC00378
（M2.5×51）
マニホールドの場合
プラマイナベ小ねじ
AC00378
（M2.5×51）
AC00649
（M2.5×39）
ZA
ZX
AC00347
（M2.5×28）
ZR
AC00347
（M2.5×28）
ZM
AC00238（M2.5×8）
ZMA
AC00238（M2.5×8）
ZQ
ZH
ZU
AC00347
（M2.5×28）
ZL
ZY□
AC00347
（M2.5×28）
AC00106
（M2.5×12）
注1）ポートがM5の場合には品番末尾は4、
M6は-1になります。
注2）
ポートM5の場合、
品番末尾は-1、
M6
は-2になります。
AC00106（M2.5×12）
ZX1 V B K1
5 L Z B
L
ZSE2 0X
D M
組換用ユニット
電磁弁定格電圧
手動操作
wマニホールドベース
すべてのポートに
プラグが付きます。
AMJ
組換用
ユニット
無記号ロックナット無
ロックナット付
L
※型式の詳細はP.916をご参照ください。
AMV
AEP
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
破壊流量調整ニードル
リード線取出し方法
ランプ・サージ
電圧保護回路
D
15 NPNオープンコレクタ
55 PNPオープンコレクタ
マニホールド用
供給弁・破壊弁の
組み合わせ
パイロット弁仕様
15 C
出力仕様
CE対応
真空ポンプシステム用
ZCUK
r真空用圧力スイッチユニット
※型式の詳細はP.906をご参照ください。
ZP□
SP
型式表示方法（組換用ユニット）
qバルブユニット
ZF□
HEP
関連
機器
t真空用デジタル圧力スイッチユニット
ZZX1 06
R
ZSE3 0X
B
1連
⋮
8連
供給ポート位置
ポートねじの種類
無記号
F
T
R
L
B
Rc 1 8
G
NPTF
適用吸着
ノズル径
S
B
0.3∼0.7mm
0.5∼1.2mm
15 C
配管仕様
右側
左側
両側
システム対応
真空ポンプ用
e吸着確認スイッチユニット
ZSP1 B0X
D
組換用ユニット
連数
01
⋮
08
21 C
D
PDポートにプラグ
がついています。
組換用ユニット
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
出力仕様
21
22
23
24
配管仕様
無記号グロメット（0.6m）
L
グロメット（3m）
コネクタ（0.6m）
C
コネクタ（3m）
CL
コネクタなし
CN
2出力/アナログ出力なし
2出力/アナログ出力付
1出力、故障予知出力付/アナログ出力なし
1出力、故障予知出力付/アナログ出力付
注）アナログ出力付のタイプはグロメットタイ
プのみです。
927
D
ZX Series
真空ポンプシステム／単体からマニホールドの組換
単体からマニホ−ルドの組換
真空スイッチ
1．プラマイナベ小ねじを外す。
2．精密機器用十字穴付皿小ねじを外す。
3．バルブユニットにプラグを取付る。
4．バルブユニットをプラマイナベ小ねじ
AC00347
（M2.5×2.8)3本にてマニホ−ルドに
取付る。
5．真空スイッチをプラマイナベ小ねじ2本にて
マニホ−ルドに取付る。
締付けトルクは表．1に従ってください。
1(P
V)(
PD
PS
PD
)
PE
プラマイナベ小ねじ
注）．1
PS
PV
バルブユニット
q
注）．1
組合わせにより使用ビス（表．2）
は異なりますが
単体とマニホ−ルドは共通のビスとなります。
1(P
V)(
PD
PS
PD
)
PE
PS
PV
表．2
組合わせ
真空スイッチZSE3,ZSP1場合
真空スイッチZSE2の場合
フィルタユニットZX1-Fの場合
品番
AC00378
（M2.5×51）
AC00649
（M2.5×39）
AC00347
(M2.5×28)
プレートA
P3200150
w
精密機器用
1(P
十字穴付皿小ねじ
AD00014
（M2.5×5）
V)(
PS
PD
PD
)
PE
PS
PV
PD
H
EX
e
V)(
M-3P
t
PS
1(P
PD
PS
PV
PD
)
PE
プラグ
PS
AC00347(M2.5×28)
マニホールドベース
PV
プラマイナベ小ねじ
r
ZX1-MP1
プラグ
表．1
品番
注）．1
P3200150
AD00014
(M2.5×5)
M-3P
ZX1-MP1
※AC00347
(M2.5×28)
名称
プラマイナベ小ねじ
プレートA
個数
2
1
適正締付トルク値
0.28±0.1(N･m)
マニホ−ルドの場合
使用する
使用しない
単体の場合
使用する
使用する
精密機器用十字穴付皿小ねじ
1
0.28±0.1(N･m)
使用しない
使用する
プラグ
プラグ
2
1
0.46±0.05(N･m)
1.6±0.15(N･m)
使用する
使用する
使用しない
使用しない
プラマイナベ小ねじ
3
0.28±0.1(N･m)
使用する
使用しない
※直管個別スペーサを用いる場合はAC00018（M2.5×32）
を使用してください。
C
928
真空ユニット
真空ポンプシステム
ZX Series
エジェクタシステム／単体からマニホールドの組換
単体からマニホ−ルドの組換
プラマイナベ小ねじ
注）．1
1．プラマイナベ小ねじを外す。
2．プラマイナベ小ねじを外し,
エジェクタアッセンブリを
バルブユニットから外す。
3．バルブユニットにプラグを取付る。
4．バルブユニットをプラマイナベ小ねじ
AC00347
（M2.5×28）3本にて
マニホ−ルドに取付る。
5．エジェクタアッセンブリを
プラマイナベ小ねじAC00777（M2.5×14）
1本にてマニホ−ルドに取付ける。
6．真空スイッチをプラマイナベ小ねじ2本にて
マニホ−ルドに取付る。
真空スイッチ
1(P
V
PD
ZA
PS
PD
)
PE
ZX
PS
ZR
PV
ZM
バルブユニット
ZMA
ZQ
q
注）．1
組合わせにより使用ビス（表．2）
は異なりますが
単体とマニホ−ルドは共通のビスとなります。
締付けトルクは表．1に従ってください。
1(P
V
PD
ZH
PS
PD
)
PE
ZU
プラマイナベ小ねじ
AC00777
（M2.5×14）
PS
表．2
組合わせ
品番
AC00439
真空スイッチZSE3,ZSP1場合
（M2.5×63）
AC00378
真空スイッチZSE2の場合
（M2.5×51）
AC00649
フィルタユニットZX1-Fの場合
（M2.5×39）
ZL
PV
ZY□
プレートA
P3200150
ZF□
ZP□
エジェクタアッセンブリ
w
1(P
V
PD
SP
PS
PD
)
PE
ZCUK
PS
AMJ
PV
AMV
y
AEP
PD
e
1(P
V)(
PS
P
M-3P
D
HEP
H
EX
関連
機器
t
PS
PV
PD
)
PE
プラグ
r
PS
AC00347(M2.5×28)
マニホールドベース
PV
プラマイナベ小ねじ
ZX1-MP1
プラグ
表．1
品番
注）．1
P3200150
AC00777
（M2.5×14）
M-3P
ZX1-MP1
※AC00347
(M2.5×28)
名称
適正締付トルク値
0.28±0.1(N･m)
マニホ−ルドの場合
使用する
使用しない
単体の場合
使用する
使用する
1
0.28±0.1(N･m)
使用する
使用する
プラグ
プラグ
1
1
0.46±0.05(N･m)
1.6±0.15(N･m)
使用する
使用する
使用しない
使用しない
プラマイナベ小ねじ
3
0.28±0.1(N･m)
使用する
使用しない
プラマイナベ小ねじ
プレートA
個数
2
1
プラマイナベ小ねじ
※直管個別スペーサを用いる場合はAC00018（M2.5×32）
を使用してください。
929
C
ZX Series
オーダーメイド仕様
Ordeer
Mad
詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。
1 バルブユニット／供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ（エジェクタユニットの場合）
エジェクタユニット
バルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ（P.867をご参照ください。）以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み
合わせの中より選定ください。
（型式表示方法はP.866をご参照ください。）
組み合わせ記号
K2
組み合わせ記号
K7
用途：供給の制御は電気信号で行い、破
壊は外部からのエアにて行います。
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
供給用弁がN.O.タイプですので、停電
時に、エジェクタヘの供給圧力は停止
することがなく、
吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止の場合に使
用します。
操作方法
操作方法
操作
供給用弁破壊用弁
状態
電磁弁外部2ポート弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
組み合わせ記号
K4
操作供給用弁破壊用弁
状態
エアオペレート弁電磁弁
1.ワーク吸着
OFF
OFF
2.破壊
ON
ON
3.作動停止
ON
OFF
組み合わせ記号
J1
用途：供給の制限は電気信号で行い、破
壊はエア信号にて行います。供給用弁
がN.O.タイプですので、停電時に、エジ
ェクタヘの供給圧力は停止することが
なく、吸着状態を維持します。停電時の
ワークの落下防止の場合に使用します。
用途：電気信号により、制御する場合に
使用します。破壊はサイレンサとパッ
ドとワーク間の大気の回り込みとなり
ます。破壊の速度を速くする必要のな
い場合に使用します。
操作方法
操作方法
操作
供給用弁破壊用弁
状態
電磁弁エアオペレート弁
1.ワーク吸着
OFF
OFF
2.破壊
ON
ON
3.作動停止
ON
OFF
組み合わせ記号
K5
組み合わせ記号
破壊用弁
J2
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
用途：電気信号により、制御する場合に
使用します。供給用弁がN.O.タイプで
すので、停電時に、エジェクタヘの供給
圧力は停止することがなく、吸着状態
を維持します。停電時のワークの落下
防止の場合に使用します。破壊はサイ
レンサとパッドとワーク間の大気の回
り込みとなります。破壊の速度を速く
する必要のない場合に使用します。
操作方法
操作方法
操作
供給用弁破壊用弁
状態
外部3ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
930
操作供給用弁
状態
電磁弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
操作供給用弁
状態
電磁弁
1.ワーク吸着
OFF
2.破壊
ON
3.作動停止
ON
破壊用弁
オーダーメイド仕様
ZA
組み合わせ記号
J3
組み合わせ記号
ZX
D2
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号により行います。破壊はサイレンサ
とパッドとワーク間の大気の回り込み
となります。破壊の速度を速くする必
要のない場合に使用します。
用途：供給の制御は、
外部の弁にて行い、
破壊は電磁弁で行います。
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
組み合わせ記号
操作方法
操作方法
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部3ポート弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
操作供給用弁
状態
外部弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
J4
組み合わせ記号
D3
用途：供給の制御は、外部にて行い、破
壊は外部2ポート弁（真空用弁）にて行
います。
操作方法
操作方法
操作
操作
D1
供給用弁
状態
外部弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
ZP□
SP
AMV
破壊用弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
D4
用途：供給の制御は、
外部の弁にて行い、
破壊は外部からのエア信号にて行いま
す。
操作方法
操作方法
破壊用弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
ZY□
AMJ
組み合わせ記号
供給用弁
状態
外部弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
ZL
ZCUK
用途：供給の制御は、
外部の弁にて行い、
破壊は電磁弁で行います。
操作
ZU
ZF□
用途：供給の制御は、外部のエア信号に
より行います。供給用弁がN.O.タイプ
ですので、停電時に、エジェクタヘの供
給圧力は停止することがなく、吸着状
態を維持します。停電時のワークの落
下防止の場合に使用します。破壊はサ
イレンサとパッドとワーク間の大気の
回り込みとなります。破壊の速度を速
くする必要のない場合に使用します。
供給用弁破壊用弁
状態
エアオペレート弁
1.ワーク吸着
OFF
2.破壊
ON
3.作動停止
OFF
組み合わせ記号
破壊用弁
電磁弁
OFF
ON
OFF
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部弁エアオペレート弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
931
AEP
HEP
関連
機器
ZX Series
オーダーメイド仕様
Ordeer
Mad
詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。
2 バルブユニット／供給弁・破壊弁の標準外組み合わせ（真空ポンプシステムの場合）
真空ポンプシステム
バルブユニットの供給弁・破壊弁の標準組み合わせ（P.903をご参照ください。）以外の組み合わせについては、用途に合わせて下記の組み
合わせの中よりご選定ください。
（型式表示方法はP.902をご参照ください。）
組み合わせ記号
K2
組み合わせ記号
K7
用途：供給の制御は電気信号で行い、破
壊は外部からのエアにて行います。
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
供給用弁がN.O.タイプですので、停電
時に、真空供給は停止することがなく、
吸着状態を維持します。停電時のワー
クの落下防止の場合に使用します。
操作方法
操作方法
操作
供給用弁破壊用弁
状態
電磁弁外部2ポート弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
組み合わせ記号
K4
組み合わせ記号
J1
用途：供給の制御は電気信号で行い、破
壊はエア信号にて行います。供給用弁
がN.O.タイプですので、停電時に、真空
供給は停止することがなく、吸着状態
を維持します。停電時のワークの落下
防止の場合に使用します。
用途：電気信号により、制御する場合に
使用します。パッドとワーク間のエア
の漏により、ワークは離脱しますが漏
の無い場合は、供給用弁をOFFしても
真空保持状態となりワークは離脱しま
せん。破壊を行う場合は、外部に2ポー
ト弁
（真空用弁）を設けてください。
操作方法
操作方法
操作
供給用弁
状態
電磁弁
1.ワーク吸着
OFF
2.破壊
ON
3.作動停止
ON
組み合わせ記号
操作供給用弁破壊用弁
状態
エアオペレート弁電磁弁
1.ワーク吸着
OFF
OFF
2.破壊
ON
ON
3.作動停止
ON
OFF
操作供給用弁
状態
電磁弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
破壊用弁
電磁弁
OFF
ON
ON
K5
組み合わせ記号
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号にて行い、破壊は電磁弁で行います。
破壊用弁
J2
用途：電気信号により、制御する場合に
使用します。供給用弁がN.O.タイプで
すので、停電時に、真空の供給は停止す
ることがなく、吸着状態を維持します。
停電時のワークの落下防止の場合に使
用します。パッドとワーク間のエアの
漏により、ワークは離脱しますが漏の
無い場合は、供給用弁をONしても真空
保持状態となりワークは離脱しません。
破壊を行う場合は、
外部に2ポート弁
（真
空用弁）を設けてください。
操作方法
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部3ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
932
操作方法
操作供給用弁
状態
電磁弁
1.ワーク吸着
OFF
2.破壊
ON
3.作動停止
ON
破壊用弁
オーダーメイド仕様
ZA
組み合わせ記号
J3
組み合わせ記号
ZX
D2
用途：供給の制御は、外部からのエア信
号により行います。パッドとワーク間
のエアの漏により、ワークは離脱しま
すが、漏の無い場合は、供給用弁をOFF
しても真空保持状態となりワークは離
脱しません。破壊を行う場合は、外部に
2ポート弁を設けてください。
用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真
空用弁）にて行い、破壊は電磁弁で行い
ます。
操作方法
操作方法
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部3ポート弁
1.ワーク吸着
ON
2.破壊
OFF
3.作動停止
OFF
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部2ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
ZR
ZM
ZMA
ZQ
ZH
組み合わせ記号
組み合わせ記号
J4
組み合わせ記号
D3
用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真
空用弁）にて行い、破壊も外部2ポート
弁にて行います。
操作方法
操作方法
操作供給用弁破壊用弁
状態
エアオペレート弁
1.ワーク吸着
OFF
2.破壊
ON
3.作動停止
ON
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部2ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
ZP□
SP
AMJ
AMV
AEP
D4
用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真
空用弁）にて行い、破壊は電磁弁で行い
ます。
用途：供給の制御は、外部2ポート弁（真
空用弁）にて行い破壊は外部からのエ
ア信号にて行います。
操作方法
操作方法
供給用弁破壊用弁
状態
外部2ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
ZY□
ZCUK
組み合わせ記号
操作
ZL
ZF□
用途：供給の制御は、外部のエア信号に
より行います。供給用弁がN.O.タイプ
ですので、停電時に、エジェクタヘの供
給圧力は停止することがなく、吸着状
態を維持します。停電時のワークの落
下防止の場合に使用します。供給の制
御は、外部からのエア信号により行い
ます。パッドとワーク間のエアの漏に
より、ワークは離脱しますが、漏の無い
場合は、供給用弁をONしても真空保持
状態となりワークは離脱しません。破
壊を行う場合は、外部に2ポート弁を設
けてください。
D1
ZU
操作供給用弁破壊用弁
状態
外部2ポート弁電磁弁
1.ワーク吸着
ON
OFF
2.破壊
OFF
ON
3.作動停止
OFF
OFF
933
HEP
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機器
ZX Series
オーダーメイド仕様
Ordeer
Mad
詳しい寸法・仕様および納期については、当社にご確認ください。
［オプション］
3 高消音タイプサイレンサアッシ
ZX1 ノズル径排気形式
バルブ電圧リード線取り出し
X121
CE対応
高消音タイプサイレンサアッシ
エジェクタの排気音の低下（消音効果8dB（A）標準サイレンサアッシ比較）
A
934

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