半導体、FPD製造装置等に組込み、 クリーン度確保に貢献します。

薄形クリーンモジュールユニット
半導体、FPD製造装置等に組込み、
クリーン度確保に貢献します。
写真は
BV-R10TH1Lです。
低騒音で低入力化を実現。より薄形になって登場。
低騒音化を実現
メンテナンス性向上
更なる本体薄形化
騒音を4dB低減
上下2方向からファンモーター
の交換可能
上面(吸込側)と下面(フィル
ター側)の両面から容易にメン
テナンスできます。
ファンガード標準装備で厚み
150mm
(従来機種比※12mm減)
(54/54dB)従来機種比※
低入力化を実現
約9%の省エネ化
ファンガード無の特注品で厚み
140mm
(従来機種比※10mm減)
(100/115W)従来機種比※
異常検出用端子付
豊富な品揃え
ステンレス対応
異常時の素早い対応が可能
(生産工程での品質向上に寄与)
モーターの異常検出端子を標準装備。
単相100V・200Vを
ラインナップ
外装材質のステンレス化が可能
特注仕様にて受注可能。
※従来機種比は、BV-R10TH1Lと従来品BV-100CRF-Tを比較したものです。
■外形寸法図(単位:mm)
(BV-R03TH1L, BV-R03TU1Lは単相
100V仕様のみです。)
●専用プレフィルター(別売品)BV-RB10TPZ 本体希望小売価格7,770円(税抜 7,400 円)
適用機種BV-R04TH(U)1L(K)〜R15TH(U)1L(K)用
■外形寸法図(単位:mm)BV-R07,10,11,13,15TH1L(K)、 BV-R07,10,11,13,15TU1L(K)
BV-R04TH1L、BV-R04TH1K、BV-R04TU1L、BV-R04TU1K
422
400
360
A
B
C
A
C
D
BV-R10TH(U)1L(K) 632 610 570
固定金具
BV-R11TH(U)1L(K) 782 760 720
BV-R13TH(U)1L(K) 937 915 875
E
D
230
400
固定金具
B
BV-R07TH(U)1L(K) 522 500 460 500
E
460
610 555
BV-R15TH(U)1L(K) 1242 1220 1180
コードクリップ
150
50 70 30
■仕様 ( )内の数値は、ULPAフィルター仕様の場合に変更となる数値を示します。
品番
本体希望小売価格
ファンガード チャンハ゛ー フィルター
端子台カバー
16
20
コードクリップ
フィルター
16
20
ファンガード チャンハ゛ー
150
50 70 30
端子台カバー
200V仕様は受注生産となります。
HEPAフィルター100V仕様 ( )はULPAフィルター仕様
■外形寸法図(単位:mm)
BV-R03TH1L、BV-R03TU1L
350
310
BV-R03TH1L BV-R04TH1L BV-R07TH1L BV-R10TH1L BV-R11TH1L BV-R13TH1L BV-R15TH1L
122,850円 132,300円 171,150円 220,500円 260,400円 294,000円 334,950円
チャンバー
(税抜117,000円)(税抜126,000円)(税抜163,000円)(税抜210,000円)(税抜248,000円)(税抜280,000円)(税抜319,000円)
(税抜133,000円)(税抜147,000円)(税抜195,000円)(税抜252,000円)(税抜297,000円)(税抜336,000円)(税抜383,000円)
風量
弱
m3/min
3.4/3.4(3.1/3.1) 4.2(3.2) 6.2(4.8) 11.0(8.1)12.5(9.4)13.6(10.5) 15.2(12.4)
3.0(2.4) 4.3(3.4) 7.2(5.5) 8.2(6.2) 8.8(6.9) 10.0(8.1)
−
単相
電源
強
消費
電力
弱
強
騒音
弱
W
dB
外形 高さ
mm
寸法 幅×奥行
製品質量
㎏
51/55(50/54) 53/56(52/55)
−
55/55(56/56) 52(50)
−
48(47)
6.5
10
100/115
79/84
79/84
79/84
79/84
52(50)
54(52)
55(53)
56(54)
57(55)
48(47)
49(47)
49(47)
49(47)
50(48)
12
13
15
18
20
0.3μm 99.99%以上(0.1μm 99.999%以上)無水シリカ試験品
ろ材:グラス紙・外枠:アルミ
mm 350×350×50 400×400×50 500×500×50 610×610×50 610×760×50 610×915×50 610×1220×50
1
個数
送風機
コードクリップ 端子台カバー
100/115
エ
ア
ー
カ
ー
テ
ン
・
ク
リ
ー
ン
機
器
350×350 400×400 500×500 610×610 760×610 915×610 1220×610
材質
寸法
100/115
ろ材折目方向
超高性能HEPA(ULPA)形
%
捕集効率
50/60Hz
150
形式
メイン
フィルター
100V
84/89(80/88)61/71(60/70) 61/71(60/70) 100/115
30
強
150
50 100
項目
350
310
(BV-R03TU1L)(BV-R04TU1L)(BV-R07TU1L)(BV-R10TU1L)(BV-R11TU1L)(BV-R13TU1L)(BV-R15TU1L)
139,650円 154,350円 204,750円 264,600円 311,850円 352,800円 402,150円
フィルター
ファン
モーター
シロッコファン
ターボファン
単相コンデンサー誘導電動機
吹出口
アルミラス網
外装
鋼板製・ポリエステル樹脂焼付塗装 色:アイボリーホワイト半ツヤ(9YR 8.4/0.5)
騒音値は商品下方中央1mの位置で無響室にて測定した値を示します。
S-7
659