液体用フローコントローラ FCL-200 A 電子式流量計 FCL-200は液体流量制御用に開発された接液部オー ルテフロン製の液体流量コントローラであり、純水で の半導体プロセス流体制御や医薬、食品関係の液体制 御に最適です。 □ 接液部オールテフロン製によりクリーンな流体を一定流量 制御可能 □ 専用の新型バルブ構造によりパーティクルがほとんど発生 しません □ 高温タイプは80℃まで制御可能 FCL-200 □ RS232Cでのデジタル制御可能 ■ 標準仕様 ■ 電気仕様 使 用 流 体 水・純水・超純水 (その他液体はご相談ください) 測 定 方 式 カルマン渦式 流 量 範 囲 0.4~2.0L/min(動作差圧150kPa以上) 入 力 信 号 4-20mA (0-2L/min) 動作可能流体温度 10~35℃(常温) (オプション:10~80℃) 出 力 信 号 4-20mA (0-2L/min) 測 定 精 度 ±1%FS(at25℃純水校正) 電 再 応 源 DC24V±5% 現 性 ±0.7%FS (at25℃純水校正) 電源電圧リップル ±10%以内 消 費 電 流 約200mA 答 バルブクローズ→100%F.S.:2秒以内、 性 100%F.S.→バルブクローズ:2秒以内 (at25℃純水、差圧=150kPa条件) 接 液 部 材 質 PTFE、PFA 通信機能(オプション) RS232C (ケーブル3m) ■ 注文方法 供 給 圧 力 0.15~0.35MPa(ポンプ脈動±50kPa以下) 耐 圧 0.6MPa(at25℃) 通信対応 0:なし (標準) 有無 1:RS232C 通信ケーブル 3m 通信 ▼ ▼ ▼ ▼ ❶ ❷ ❸ ❹ PURE WATER 1 0 記入例 周 囲 温 度 0~50℃(結露なきこと) MODEL FCL-200 周 囲 湿 度 10~85%RH(結露なきこと) 取 付 方 向 自由(水平設置を推奨) 量 約1.3kg 注意 本製品はシャットオフはできません。シャットオフが必要な場合は前段にシャットオ フ専用バルブを設置してください。 本機の前段にフィルター等を設置し、異物の混入を避けてください。 ご使用流体への気泡混入が 5% を越えますと出力流量精度に異常が出る可能性があ りますので、ご注意ください。 本仕様は連絡なく変更する可能性があります。 044 ❹ 造 IP64相当(電装部) バ ル ブ 構 造 ノーマリーオープン 重 温度 構 ❸ ケーブルシース PVC 流体 ❶ MODEL FCL-200 ❷ 3/8インチ(φ9.52×6.35) プロセス接続 日本ピラー工業SUPER 300 Ptype継手 専用電源ケーブル長 3m 1:10 〜 35℃ (標準) 2:10 〜 80℃ 温度条件 50 38 ■ 外観図 ■ 使用例 46 56.5 105 135.5 10.5 4-φ6(ベース板厚10mm) (取付使用ネジM5ビス)171 3m (50) 60.2 設定・表示器 (例)RB100 50 38 192.5 181 10.5 60.2 24.5 (12) 10 31.5 IN OUT (40) (272) 10 24.5 (12) FCL-200 31.5 OUT 電子式流量計 (40) 171 A (50) 140 46 56.5 IN 140 105 135.5 (272) ■ 専用電源ケーブル 3m (配線取合) 1 3 2 5 4 6 M29P1.5 M16P1.5 11 2 1 1 3 5 4 6 M29P1.5 M16P1.5 10 20 1 11 HIF6-20D-1.27R (35~45) 10 20 HIF6-20D-1.27R (35~45) M16P1.5 M16P1.5 3000 3000 0D-1.27R No. 4-φ6(ベース板厚10mm) (取付使用ネジM5ビス) 3m 192.5 181 HIF6-20D-1.27R 信号名 NC NC VALVE OPEN VALVE CLOSE NC NC VALVE CONTROL CURRENT IN NC NC SIG GND3 CURRENT OUT FG SIG GND1 SIG GND2 POWER GND +24V POWER GND +24V NC 信号名 配線色 ピンNo. 配線色 HP-SB/20276SR 橙色 赤点 1 NC HP-SB/20276SR 6 ケーブル 太陽ケーブルテック 橙色 赤点 14P×28AWG 6 ケーブル 太陽ケーブルテック 14P×28AWG 橙色 黒点 2 NC 橙色 黒点 PP 5 カバーキャップ PP 5 カバーキャップ 灰色 赤点 灰色 赤点 3 VALVE OPEN 4 O-リング 4 O-リング 灰色 黒点 灰色 黒点 4 VALVE CLOSE PP 3 コネクタカバー 白色 赤点 PP 3 コネクタカバー 5 NC 2 熱収縮チューブ 白色 赤点 8(黒) 白色 黒点 8 ( 黒) 2 熱収縮チューブ 白色 黒点 6 NC 黄色 赤点 1 プラグ HRS HIF6-20D-1.27R 黄色 黒点 黄色 赤点 7 VALVE CONTROL 1 HRS プラグ HIF6-20D-1.27R 符号 名 称 備 考 規格仕様 桃色 赤点CURRENT IN 黄色 黒点 8 符号 備 考 名 称 規格仕様 桃色 黒点 桃色 赤点 9 NC 橙色 赤2点 桃色 黒点 10 橙色 黒2点 NC 橙色 赤2点 11 灰色 赤2点SIG GND3 橙色 黒2点 12 灰色 黒2点 CURRENT OUT 灰色 赤2点 13 白色 赤2点 FG 白色 黒2点 灰色 黒2点 14 黄色 赤2点SIG GND1 15 黄色 黒2点SIG GND2 白色 赤2点 白色 黒2点 16 桃色 赤2点 POWER GND 黄色 赤2点 17 桃色 黒2点 +24V 黄色 黒2点 18 POWER GND 桃色 赤2点 +24V 19 20 NC 桃色 黒2点 045
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