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FCL-200

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液体用フローコントローラ
FCL-200
A
電子式流量計
FCL-200は液体流量制御用に開発された接液部オー
ルテフロン製の液体流量コントローラであり、純水で
の半導体プロセス流体制御や医薬、食品関係の液体制
御に最適です。
□ 接液部オールテフロン製によりクリーンな流体を一定流量
制御可能
□ 専用の新型バルブ構造によりパーティクルがほとんど発生
しません
□ 高温タイプは80℃まで制御可能
FCL-200
□ RS232Cでのデジタル制御可能
■ 標準仕様
■ 電気仕様
使 用 流 体 水・純水・超純水
(その他液体はご相談ください)
測 定 方 式 カルマン渦式
流 量 範 囲 0.4~2.0L/min(動作差圧150kPa以上)
入 力 信 号 4-20mA
(0-2L/min)
動作可能流体温度 10~35℃(常温)
(オプション:10~80℃)
出 力 信 号 4-20mA
(0-2L/min)
測 定 精 度 ±1%FS(at25℃純水校正)
電
再
応
源 DC24V±5%
現
性 ±0.7%FS
(at25℃純水校正)
電源電圧リップル ±10%以内
消 費 電 流 約200mA
答
バルブクローズ→100%F.S.:2秒以内、
性 100%F.S.→バルブクローズ:2秒以内
(at25℃純水、差圧=150kPa条件)
接 液 部 材 質 PTFE、PFA
通信機能(オプション) RS232C
(ケーブル3m)
■ 注文方法
供 給 圧 力 0.15~0.35MPa(ポンプ脈動±50kPa以下)
耐
圧 0.6MPa(at25℃)
通信対応 0:なし
(標準)
有無
1:RS232C 通信ケーブル 3m
通信
▼
▼
▼
▼
❶
❷
❸
❹
PURE
WATER
1
0
記入例
周 囲 温 度 0~50℃(結露なきこと)
MODEL FCL-200
周 囲 湿 度 10~85%RH(結露なきこと)
取 付 方 向 自由(水平設置を推奨)
量 約1.3kg
注意 本製品はシャットオフはできません。シャットオフが必要な場合は前段にシャットオ
フ専用バルブを設置してください。
本機の前段にフィルター等を設置し、異物の混入を避けてください。
ご使用流体への気泡混入が 5% を越えますと出力流量精度に異常が出る可能性があ
りますので、ご注意ください。
本仕様は連絡なく変更する可能性があります。
044
❹
造 IP64相当(電装部)
バ ル ブ 構 造 ノーマリーオープン
重
温度
構
❸
ケーブルシース PVC
流体
❶
MODEL FCL-200
❷
3/8インチ(φ9.52×6.35)
プロセス接続
日本ピラー工業SUPER 300 Ptype継手
専用電源ケーブル長 3m
1:10 〜 35℃
(標準)
2:10 〜 80℃
温度条件
50
38
■ 外観図
■ 使用例
46
56.5
105
135.5
10.5
4-φ6(ベース板厚10mm)
(取付使用ネジM5ビス)171
3m
(50)
60.2
設定・表示器
(例)RB100
50
38
192.5
181
10.5
60.2
24.5
(12)
10
31.5
IN
OUT
(40)
(272)
10
24.5
(12)
FCL-200
31.5
OUT
電子式流量計
(40)
171
A
(50)
140
46
56.5
IN
140
105
135.5
(272)
■ 専用電源ケーブル 3m
(配線取合)
1
3
2
5
4
6
M29P1.5
M16P1.5
11
2
1
1
3
5
4
6
M29P1.5
M16P1.5
10
20
1
11
HIF6-20D-1.27R
(35~45)
10
20
HIF6-20D-1.27R
(35~45)
M16P1.5
M16P1.5
3000
3000
0D-1.27R
No.
4-φ6(ベース板厚10mm)
(取付使用ネジM5ビス)
3m
192.5
181
HIF6-20D-1.27R
信号名
NC
NC
VALVE OPEN
VALVE CLOSE
NC
NC
VALVE CONTROL
CURRENT IN
NC
NC
SIG GND3
CURRENT OUT
FG
SIG GND1
SIG GND2
POWER GND
+24V
POWER GND
+24V
NC
信号名
配線色
ピンNo.
配線色
HP-SB/20276SR
橙色
赤点
1
NC
HP-SB/20276SR
6
ケーブル
太陽ケーブルテック
橙色 赤点
14P×28AWG
6
ケーブル
太陽ケーブルテック
14P×28AWG
橙色 黒点
2
NC
橙色 黒点
PP
5
カバーキャップ
PP
5
カバーキャップ
灰色 赤点
灰色 赤点
3
VALVE OPEN
4
O-リング
4
O-リング
灰色 黒点
灰色 黒点
4
VALVE CLOSE
PP
3 コネクタカバー
白色 赤点
PP
3 コネクタカバー
5
NC 2 熱収縮チューブ 白色 赤点
8(黒)
白色 黒点
8
(
黒)
2
熱収縮チューブ
白色
黒点
6
NC
黄色 赤点
1
プラグ
HRS
HIF6-20D-1.27R
黄色 黒点
黄色
赤点
7
VALVE CONTROL
1
HRS
プラグ
HIF6-20D-1.27R
符号
名 称
備 考
規格仕様
桃色 赤点CURRENT IN
黄色 黒点
8
符号
備 考
名 称
規格仕様
桃色 黒点
桃色 赤点
9
NC
橙色 赤2点
桃色 黒点
10 橙色 黒2点 NC
橙色 赤2点
11 灰色 赤2点SIG GND3
橙色 黒2点
12 灰色 黒2点
CURRENT OUT
灰色 赤2点
13 白色 赤2点 FG
白色 黒2点
灰色 黒2点
14 黄色 赤2点SIG GND1
15 黄色 黒2点SIG GND2
白色 赤2点
白色 黒2点
16 桃色 赤2点
POWER GND
黄色 赤2点
17 桃色 黒2点 +24V
黄色 黒2点
18
POWER GND
桃色 赤2点
+24V
19
20
NC
桃色 黒2点
045
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