プ ロ グ ラ ム
６月５日（木）
開会の辞
12:30-12:40
マイクロ EM デバイス・システムと IC の融合化技術調査専門委員会について
委員長 足立 武彦（横浜国大）
12:40-13:05
空隙のある圧電ＳＨ波
尾上 守夫（東京大学名誉教授）
13:05-13:30
高精度超音波距離計測をセンサネットワークへ導入する研究
―介護環境モニター等への応用を目指して―
疋田 光孝，佐藤 健雄，金田 裕香里（工学院大）
13:30-13:55
高音速薄膜装荷による縦型漏洩弾性表面波の低損失化
松倉 史弥，垣尾 省司（山梨大）
13:55-14:20
水晶発振回路の発振周波数偏移
秋津 哲也，佐藤 富雄（山梨大）
14:20-14:45
横波型弾性表面波センサの直接メタノール燃料電池搭載実験
野澤 卓也，近藤 淳（静岡大）
14:45 休憩(15 分)
15:00-15:25 (招待講演)
ポリ乳酸フィルムの圧電性及びアクチュエータへの応用
宝田 隼（東京理科大），田實 佳郎（関西大）
15:25-15:50
超音波アシスト水熱合成法
森田 剛，太田 賀奈子，工藤 遼，大久保 康平，五十部 学（東京大学大学院）
15:50-16:50 (特別講演)
LSI と MEMS のヘテロ集積化
江刺 正喜（東北大）
17:10～ 技術懇話会（森戸記念館にて）
６月６日（金）
10:00-10:25
380MHz 帯 SH-SAW バイオセンサ
後藤 幹博，谷津田 博美（日本無線），近藤 淳（静岡大）
10:25-10:50
極性反転 ScAlN 系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
高柳 真司（同志社大），柳谷 隆彦（名古屋工業大），松川 真美（同志社大）
10:50-11:15
イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モード FBAR への応用
柳谷 隆彦，鈴木 雅視（名古屋工業大）
11:15-11:40
ビスマス層状構造強誘電体(K0.5Bi0.5)Bi4Ti4O15 セラミックスの作製と電気的諸特性
西尾 元太、永田 肇、竹中 正（東京理科大）
11:40-12:05
フッ素系高分子強誘電体材料・デバイスの新たな展開
中嶋 宇史（東北大 金属材料研究所）
12:05 昼食休憩 (70 分)
13:15-13:40
アモルファス磁性ワイヤ中の磁気弾性波と TAD ディジタル直交検波
増田純夫，足立武彦（横浜国大）
13:40-14:05
SAW フィルタを用いた次世代インバータ用周波数多重通信における
送受信機の基礎検討
五箇 繁善，和田 圭二，粂 尚成（首都大学東京）
14:05-14:30
高周波再帰型フィルタに関する検討
大森達也，瀬尾研，藤川貴宏，安昌俊，橋本研也（千葉大）
14:30-14:55
ウェハレベル水晶ドライエッチングとその応用
上條 敦、物江 滋春、村山 徳裕、齊藤 健史、木村 悟利（日本電波工業）
14:55 休憩(15 分)
15:10-15:45
水晶の圧電定数の検証
利川 興司（日本電波工業），尾上 守夫（東京大学名誉教授）
15:45-16:10
ホーンを取り付けた空中超音波センサのサイドローブ抑圧の検討
井幡光詞，木村友則，深沢徹，宮下裕章，井上悟（三菱電機）
16:10-16:35
集積回路上へのBST 薄膜可変容量とAu めっき厚膜インダクタのモノリシック集積化L
浅野 翔（東北大），R. Pokharel，A. Anand（九州大）
平野 栄樹，田中 秀治（東北大）
閉会の辞