Ｆ－ＬＣＤライン設備リスト
ライン名
ASK No,
1
1-1
2
3
3-1
4
4-1
5
5-1
6
7
7-1
8
8-1
9
9-1
9-2
9-3
9-4
10
10-1
11
11-1
12
12-1
12-2
12-3
12-4
12-5
12-6
12-7
12-8
13
13-1
14
15
16
17
18
19
20
20-1
21
21-1
22
22-1
23
24
24-1
25
25-1
26
26-1
27
27-1
27-2
27-3
27-4
28
28-1
29
29-1
30
30-1
31
32
32-1
33
33-1
34
35
35-1
36
パンチング
37
37-1
38
38-1
39
39-1
39-2
40
40-1
40-2
41
42
43
43-1
44
44-1
ラビング
パターニング
露光
現像
エッチング
剥離
検査
洗浄
配向膜
焼成
スリットコーター
(COM)
露光
(COM)
ライン仕様：フィルム幅２５０ｍｍ　厚み１２５μ ｍ　パスライン１１００±５０ｍｍ　品名
パンチング装置
ドライポンプ
巻き出し機
前処理洗浄機装置
洗浄システム
中間巻き出し機
クリーンブース
レジスト塗布装置
クリーンブース
ベーキング
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
クリーンブース
露光装置
露光機用温湿度制御装置
ユーティリティーＢＯＸ
クリーンブース
マスク洗浄装置
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
クリーンブース
現像装置
消泡装置
消泡装置タンク
水冷チラーＮｏ，１
冷水クッションタンクＮｏ，１
冷却装置操作盤
純水クッションタンク
水冷チラーＮｏ，２
冷水クッションタンクＮｏ，２
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
エッチング装置
巻き取り機
巻き出し機
ＵＶ照射装置
剥離装置
巻き取り機
クリーンブース
電極検査装置搬送機能（巻き出し機）
クリーンブース
電極検査装置
ドライポンプ
CO2レーザーマーカ
リペア装置RtoRハンドラー
クリーンブース
レーザリペア装置（本体）
レーザリペア装置（ＰＣ）
巻き取り機
クリーンブース
洗浄装置
制御ＢＯＸ
温調ユニット
電源ユニット
パソコンラック
配向膜ライン巻き出し機
クリーンブース
配向膜印刷装置
配向膜印刷装置（制御ＢＯＸ）
配向膜中間ローラー
クリーンブース
乾燥炉
配向膜ライン巻き取り機
クリーンブース
焼成炉ライン巻き出し機
クリーンブース
焼成装置
焼成炉ライン巻き取り機
クリーンブース
真空オーブン
チラー
ロールローダー
クリーンブース
ラビング装置
布巻き機
ロールアンローダー（ドライクリーナー付）
ドライクリーナー・ブロアーユニット
クリーンブース
巻き出し機（ドライクリーナー付）
ドライクリーナー・ブロアーユニット
クリーンブース
スリットコーター
乾燥機
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
クリーンブース
メーカー
型式
年式
Ｗ×Ｄ×Ｈ
Ｆ２５０ＤＤ－ＧＦＲ
200708 1950×1350×1350
F-LCD
F-LCD
ＤＰ-ＧＡＮ
F-LCD
200605 1100×1900×1800
200605 1950×4500×1800
200803 900×550×1080
200605 1100×3150×1600
F-LCD
2250×4450×2400
200605 1400×2330×1500
F-LCD
F-LCD
F-LCD
F-LCD
200605
200605
200605
200605
TE2538APV
PAU-A2600S-HC
200605
200605
ダイナテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
TW-300
F-LCD
F-LCD
F-LCD
200708
200605
200605
200605
F-LCD
200605
三菱
CR-J90A
三菱
CR-J90A
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東レエンジニリング
エアーテック
富士通ｵｰﾄﾒｰｼｮﾝ
オリオン
キーエンス
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ㈱
エアーテック
富士通オートメーション㈱
富士通オートメーション㈱
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
ミクロ技研
F-LCD
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式
エアーテック
ナカン株式会社
ナカン株式会社
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ株式
エアーテック
エスペック
EYELA
飯沼ゲージ製作所
ヤマハファインテック
オリオン
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
NIC
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
アピステ
700×500×550
F-LCD
F-LCD
F-LCD
F-LCD
F-LCD
F-LCD
F-LCD
Etother A10204530100
Etother A10204530100
Etother A10204530100
Stripper LineA10204530100
Stripper LineA10204530100
Stripper LineA10204530100
Stripper LineA10204530100
O/Shandler
200708
FPu3600
200701
ML-Z9500
F-LCD3 REPAER-THR250
200701
200712
Laser Repair
Laser Repair
200712
200712
200708 1100×1500×1700
RtoR洗浄装置
200903 1300×8000×2200
200903 600×1000×1480
200903 500×1200×780
200903 500×900×800
TIH 250
200802 1050×1830×1600
07J-03F,Roll toRolll Type 250
07J-03F,Roll toRolll Type 250
200802 2000×1750×2200
1950×1800×2200
1650×2200×2350
FLCD-4
VAC-300PR
UT-3000
ERF04-1
RMA4-1
飯沼ゲージ製作所
伸興
200605
200605
200701
200701
200701
200701
200701
200701
200701
ERF04-2
200811
200811
200811
200811
200811
200903
200809
200809
200809
200809
200809
200809
200809
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東レエンジニリング
東レエンジニリング
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
950×3400×2100
1050×1500×1600
2000×2000×2350
1100×1900×1600
1700×2000×2350
2000×2150×2150
800×1100×1800
800×700×1850
1000×1300×2200
900×1200×2100
1150×2400×2050
1850×2600×2350
1100×1900×1730
2000×2000×2200
1850×5300×2100
800×800×1700
720×720×490
600×900×900
800×600×1500
270×700×1700
700×600×1900
900×700×900
800×600×1500
1100×1500×1700
1100×1800×2250
1100×1800×1600
1700×4400×2200
1100×1500×1700
1100×1790×1600
1000×1300×2050
1900×4800×2200
1100×1500×1700
1500×1700×2200
1100×1900×1730
1200×1800×2200
1400×1250×1300
400×900×560
300×900×1200
1000×750×1300
1000×1600×2200
1400×1200×1950
F-LCD SLIT COATER
200712
500×1400×1800
760×1050×1320
900×1750×2030
900×1700×2000
1100×1600×1800
1700×1800×2300
1050×1600×1470
1850×1700×2350
1200×5200×2050
1050×1700×1470
1800×1700×2350
1200×1050×1800
350×300×1050
1950×1050×1830
2550×1550×2250
1760×1650×2300
1100×700×1300
1050×2020×1850
1050×950×1400
2500×1570×2200
1100×1900×1800
1500×670×1680
2500×4050×2300
1900×2100×2050
1150×3100×2000
1050×1500×1700
1800×1700×2300
1050×1500×1600
1500×1800×2500
Ｆ－ＬＣＤライン設備リスト
ライン名
ASK No,
45
45-1
45-2
45-3
45-4
46
46-1
47
47-1
48
48-1
48-2
49
49-1
50
50-1
51
51-1
52
52-1
52-2
53
54
54-1
55
55-1
56
56-1
56-2
57
57-1
58
58-1
58-2
59
59-1
59-2
59-3
60
61
62
63
64
65
現像
(COM)
散布
(COM)
シール
(COM)
ローダー
(SEG)
貼合
真空梱包
ＵＶ硬化
キャリアテープ
ライン仕様：フィルム幅２５０ｍｍ　厚み１２５μ ｍ　パスライン１１００±５０ｍｍ　品名
露光装置
露光機用温湿度制御装置
ユーティリティーＢＯＸ
クリーンブース
マスク洗浄装置
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
クリーンブース
現像装置
現像用チラーＮｏ，１
現像用チラーＮｏ，２
ＵＶ装置
クリーンブース
巻き取り機
クリーンブース
巻き出し機
クリーンブース
スペーサ散布装置
散布ヘッド・容器（デシケーター）
散布剤保管庫（デシケーター）
スペーサカウンター
クリーンオーブン
ＦＡＮユニット（温調機能付）
中間巻き出し機
クリーンブース
シール塗布装置
シール塗布シリンジ保管庫（デシケーター）
ファンユニット
中間巻き送り機（ドライクリーナー付）
クリーンブース
巻き出し機（ドライクリーナー付）
ドライクリーナー・ブロアーユニット
クリーンブース
貼り合せ装置
フィルム切断装置(COM)
フィルム切断機(SEG)
排気ＢＯＸ
真空パック機
UV照射装置ＵＶ－１
UV照射装置ＵＶ－２
UV照射装置ＵＶ－３
UV照射装置ＵＶ－４
キャリアテープ巻取機
メーカー
東レエンジニリング
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
ダイナテック株式会社
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東レエンジニリング
型式
TE2538AP
PAU-A2600S-HC
年式
200708 2000×2150×2150
200910 1200×700×1830
TW-300
200911
F-LCD developer line A10240820200
200708
東レエンジニリング
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
富士通マイクロデバイス
δ 1-250A　（ＸＥＶＩＯＳ製）
200903
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
エアーテック
東レエンジニリング
F-LCD dispenser line
200709
東レエンジニリング
エアーテック
東ﾚｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
Ｗ×Ｄ×Ｈ
201010
201103
エアーテック
ミヤチシステムズ㈱
ミヤチシステムズ㈱
ミヤチシステムズ㈱
FJEP-MP1
CUT250mm(COM Cutter)
SEG Cutter　A10384900100
200809
200809
201003
ﾀﾈﾊｼｷｶｲﾃﾝ
日本電計㈱
日本電計㈱
日本電計㈱
日本電計㈱
信越富士通
FVCⅡ
HCT2B28HEX-3
ＨＥ2000ＣＳ
HECS-TM2
HCT2B28HEX-3
ＨＥ2000ＣＳ
HECS-TM2
HCT3B28HEX-1
HCT3B28HEX-1
ZJ030-5080-T001
200301
200909
200909
201002
201002
200910
800×850×1850
2450×1270×2330
1140×1000×2080
1100×1650×1650
1680×1850×2400
1050×1800×1650
1750×1800×2350
1800×6150×2200
1100×750×1500
800×900×1350
1300×1300×2200
2000×2200×2500
1100×1750×1950
1900×1950×2250
1100×1800×1620
1500×1500×2350
1000×700×2100
600×550×1800
600×550×1100
1250×2850×2200
1350×750×2000
900×800×1500
800×1100×1550
1500×1500×2350
2100×1400×1900
580×550×1080
700×700×680
1600×1150×2100
1600×1500×2300
1050×1840×1850
2000×1000×1900
1800×1500×2280
1300×5400×1950
800×750×750
900×700×1050
1800×600×1750
600×1000×1900
600×1000×1900
800×1500×1400