カタログ - 日本ピラー工業

ACCUMULATOR
for
CMP
SLURRY
PCスラリーポンプ_F 2016.3.29 16:47 ページ 1
1 液が滞留なくスムーズに流れる流路設計で、ポンプ内部での液溜りが殆どありません。
2 シリカ系スラリーはもちろん、沈降速度が速いメタル系スラリーにも適応します。
3 長年培ってきた経験に基づいて社内製作した耐久性・信頼性に優れたベローズを採用しています。
4 接液部は、ふっ素樹脂を使用しているため、非常にクリーンです。
5 専用アキュームレータとの組合わせで、スラリーの低脈動吐出が可能です。
原液タンクや混合槽からスラリー液をＣＭＰ装置へ移送する際のポンプとして。
スラリー沈降防止のためのスラリー液常時循環用ポンプとして。
PPLC 0037F
PUMP
&
スラリー液の移送、循環に最適です。
PCスラリーポンプ_F 2016.3.29 16:47 ページ 2
適用流体は、シリカ、アルミナ、セリウムなどＣＭＰプロセスに使用されるスラリー液です。Cu配線ＣＭＰ用のスラリー液、ＣＭＰプロセス用途以外のスラリー液については、別途ご相談ください。
Fluid : For silica, alumina, ceria slurry of CMP process.
ポンプ形式 Type
ポンプ接続口径㎜ Pump connections
ポンプ接続口 PC−10MB
PC−20MB
PC−40MB
ＩＮ φ１９ / ＯＵＴ φ１２
ＩＮ φ２５ / ＯＵＴ φ１９
ＩＮ φ１1/２" / ＯＵＴ φ２５
SUPER ３００ TYPE ピラーフィッティングまたは SUPER TYPE ピラーフィッティング
Pump connectors
１２
２４
４８
使用液温度 ℃ Operating temp.
１０∼４０
４１∼７０
７１∼１００
１０∼４０
４１∼７０
７１∼１００
１０∼４０
４１∼７０
７１∼１００
供給空気圧力 MPaG Supply air pressure
０．
２∼０．
５
０．
２∼０．
４
０．
２∼０．
３
０．
２∼０．
５
０．
２∼０．
４
０．
２∼０．
３
０．
２∼０．
５
０．
２∼０．
４
０．
２∼０．
３
最大吐出圧力 MPaG Max discharge pressure
０．
４５
０．
３５
０．
２５
０．
４５
０．
３５
０．
２５
０．
４５
０．
３５
０．
２５
ポンプベローズ許容差圧 MPa ０．
３
０．
２５
０．
２
０．
３
０．
２５
０．
２
０．
３
０．
２５
０．
２
Allowable differential Pressure of Bellows
０．
１２
０．
２４
０．
４８
２５ ∼ １１０
５５ ∼ ２５０
１００ ∼ ３５０
※1
ポンプ雰囲気温度 ℃ Temperature in atmosphere
１０ ∼ ５０
供給空気接続口径 Air source connection
２−Ｒｃ1/４"
２−Ｒｃ３/８"
約１０
約１８
約３８
１４８Ｌ ×２０２Ｗ ×２７１Ｈ
１９２Ｌ ×２４５Ｗ ×２９３Ｈ
２５５Ｌ ×３１５Ｗ ×３３８Ｈ
質量 Weight ㎏
ポンプ外形寸法（除配管）㎜ Pump size
※2
２−Ｒｃ1/２"
★このポンプの性能を得るには、上記ポンプ接続口径の配管が必要です。また、ポンプＩ
Ｎ側の液配管距離は必ず2m以内で施工してください。★Different size of pump connections may vary the above figure. The
length of the suction pipe does not exceed 2m.
★ポンプ接続口は継手の種類によって形式が異なりますので、ご注文の際には必ずご指示ください。★Specify type of end connection when ordering.
★使用流体が有機液などにより、防爆処理が必要な場合は、防爆仕様センサ付ポンプがありますので別途ご相談ください。★We have also explosionproof sensor type pumps that are suitable for pumping an explosive organic solution.
★ＰＣ-40ＭBのＩ
Ｎ側接続口は、フランジタイプもございますのでご相談ください。★Flange type is also available about the suction connection of PC-40MB pump.
★配管条件によってはごく稀にポンプ吐出量が少なくなる場合があります。ご検討の際は別途ご相談ください。★PC-Pump can not be achieved the specified discharge rate rarely if you use special piping design. Contact us.
★下記アキュームレータとセットでご使用の場合はポンプ形式が異なりますので、ご注文の際はご注意ください。★At time of order, please note that the pump model is defferent if you use the pumps together with accumulators mentioned below.
※1）数値は標準ストローク時の値であり参考値です。ストロークスピードは必ず100spm以内でご使用下さい。※1）The value applies when the standard stroke is selected. Be sure to run the pump at a pumping speed of 100spm or lower.
※2）ポンプ外径寸法（鋳物寸法）はJIS規格公差内での設計であり参考値です。※2）The reference value of the pump size (cast metal size) is designed under the JIS standard tolerance.
スラリーポンプＰＣシリーズでスムーズな液の流れが必要な場合は、
このオートアキュームレータＰＡ‐Ｃシリーズと組合せてご使用ください。
スラリーポンプＰＣシリーズにオートアキュームレータＰＡ‐Ｃシリーズを接続した際の脈動圧力変動範囲
（Pulsation pressure range）
●
ポンプ吐出圧力０．
１MPaG以上の時、吐出圧力の±１２．
５％以内
●
ポンプ吐出圧力０．
１MPaG未満の時、
０．
０４MPa以内
Within ±12.5% of the pump discharge pressure when the pressure is over 0.1MPaG.
Less than 0.04MPa when pump discharge pressure is under 0.1MPaG.
オートアキュームレータ形式 Type
PA−C10MB
適用ポンプ Applicable pumps
オートアキュームレータ接続口径オートアキュームレータ接続口 Accumulator connections
PC−１０MB
PC−２０MB
PC−４０MB
ＩＮ φ２５ / ＯＵＴ φ１９
ＩＮ φ２５ / ＯＵＴ φ２５
SUPER ３００ TYPE ピラーフィッティングまたは SUPER TYPE ピラーフィッティング
Accumulator connectors
Ｒｃ1/４"
Ｒｃ1/４"
約８
約１４
約２８
１４８Ｌ ×２０２Ｗ ×２８６Ｈ
１９２Ｌ ×２４５Ｗ ×３２２Ｈ
２５５Ｌ ×３１５Ｗ ×３５０Ｈ
質量 Weight ㎏
Accumulator size
PA−C 40MB
ＩＮ φ１９ / ＯＵＴ φ１２
供給空気接続口径 Air source connection
アキュームレータ外形寸法（除配管）㎜
PA−C 20MB
※2
Ｒｃ1/４"
※2）ポンプ外径寸法（鋳物寸法）はJIS規格公差内での設計であり参考値です。※2）The reference value of the pump size (cast metal size) is designed under the JIS standard tolerance.
※このカタログは予告なく変更することがありますのでご了承ください。
※このカタログに記載している数値は参考値であり、保証値ではありません。
※本文中の「スーパー300タイプピラーフィッティング」
「スーパータイプピ
ラーフィッティング」は日本ピラー工業（株）の登録商標です。
安全に関する
ご注意
●ご使用の際には、安全に十分ご留意の上
正しくお使いください。
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三田工場〒669-1333 兵庫県三田市下内神字打場 5 4 1 番 1 号 TEL079（567）2121 FAX079（567）1624
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九州工場〒861-1116 熊本県合志市福原 1 番地 2 5 TEL096（292）4511 FAX096（292）4521
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◆関連会社◆
関東ピラーエンジニアリングサービス㈱
東京ピラー㈱
中部ピラーサービス販売㈱
北陸ピラー㈱
市原
川崎
名古屋
敦賀
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construed as constituting a warranty.
*「Super 300 Type Pillar Fitting」「Super Type Pillar Fitting」is trademark of
Nippon Piller Packing Co., Ltd.
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ピラーエンジニアリングサービス㈱倉敷 TEL086（450）0228
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11-48, Nonakaminami 2 Chome, Yodogawa-ku, Osaka, 532-0022 Japan.
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Taiwan Pillar
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CAT. No.410004F 1604(Kc)1