U L V A C
S o l u t i o n s
■ 自動車部品に生かされるアルバックの技術
カーナビゲーション
(低温ポリシリコンTFT，
DVD）
ETC
燃料電池
光触媒、バックミラー、
リフレクター
熱交換器
●ディスプレイ製造装置技術
（成膜技術、液晶注入、解析技術）
●ディスプレイ製造技術
（コーティング技術）
●化合物半導体製造装置技術
ブレーキシステム
（成膜技術、解析技術）
●先端材料技術
（ファインケミカル）
●一般産業用真空機器
（成膜技術、解析技術、
熱処理技術）
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E x a m p l e s
f o r
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■ 注目のソリューション、超親水性ミラー用コーティング
ミラー用枚様式スパッタリング装置
SPH-1000、
2000
水膜
構造図イメージ
SiO2
水滴
TiO2
ガラス
ガラス
Cr
Cr
湿度の高い雰囲気でも曇らない→超親水性
太陽光の下で有機物を分解→自己クリーニング性
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株式会社アルバック
●超親水ミラーの生産が可能
（TiO2,SiO2成膜）
●一枚取りのCrミラーの生産が可能
●基板サイズ普通車用約 100mm×180mm
からRV車約 200mm×250mmまで処理
●均一な膜厚分布
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■ 自動車部品とULVAC Solutions
メーターパネルディスプレイ
ミラー、ヘッドランプ
フロントグリル、
ウインドウ
スパッタリング装置 SPHシリーズ
エンジン、
モーター
ミッション
有機EL素子作成装置
SATELLA
真空蒸着装置
EBAシリーズ
株式会社アルバック
大型スパッタリング装置
SPVシリーズ
株式会社アルバック
ヘッドライトエクステンション用
スパッタリング装置
SPV-1000H
ラジエーター
オイルクーラー
真空ろう付炉
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FBCシリーズ
真空イオン浸炭炉
FICシリーズ
各種機械部品
カム、
ギア、
シャフト
真空熱処理炉
FHシリーズ
Ni水素2次電池
真空誘導溶解炉
FMIシリーズ
株式会社アルバック
連続式真空焼結炉
FSCシリーズ
ピストンリング
イオンプレーティング装置
IPBシリーズ