NEW 静電容量式変位センサ 形Z4KC 金属やシリコンウエハなどの変位を、非接触に計測。 渦電流式では検出できない ウエハの位置決め、厚み変化をインライン測定。 非接触のため、ワークに負荷をかけず、振動や回転に対しても影響を与えません。 平坦度 厚み ウエハの平坦度を測定。 ワークの厚みを測定。 形Z4KC 形Z4KC 形K3TS 形Z4KC 形Z4KC ウエハ ウエハ 形Z4KC 面のブレ ハードディスクの面ブレ測定。 センサヘッド ウエハ X Y1 Y2 厚み＝X− （Y1＋Y2 ） センサヘッド 形Z4KC ハードディスク 静電容量式だから、 金属またはシリコンウエハであれば、 材質の影響を受けずに変位量を検出。 用途に応じて、 センサヘッドを3種類用意。 測定原理 検 出 回 路 リ ニ ア ラ イ ザ ア ナ ロ グ 出 力 GND アンプ センサ d 測定対象物と検出面との距離（d） によって生じる静電容量を検出し、 リニア電圧を出力する。 φ40mm φ10mm Cx 測定対象物 φ3mm ■ 種類 センサの検出面形状 測定範囲 φ3mm セット形式 形 Z4KC-NR1 0.01∼0.1mm φ10mm 形 Z4KC-N1 0.1∼1mm φ40mm 形 Z4KC-N5 0.5∼5mm 注. センサとアンプはセットで調整されておりますので、 シリアルナンバーを合わせてご使用ください。 ■定格/性能 形 Z4KC-NR1 0.01∼0.1mm 形式 測定範囲 形 Z4KC-N1 0.1∼1mm 測定対象物 リニアリティ 分解能 金属及びシリコンウエハ ±0.5%F.S. 注1. 0.2%F.S.注2 注3. 応答時間 250μs 注4. リニア出力 ＋0.5∼＋5V（負荷抵抗：10kΩ以上） 0.1%F.S./℃ 温度特性 センサ 注5. アンプ 電源 0.05%F.S./℃ 0.1%F.S./℃ DC24V±10％ 許容リップル（p-p）10％以下 電源電圧 200mA以下 消費電流 振動（耐久） センサ：10∼55Hz（複振幅1.5mm）X.Y.Z各方向1h アンプ：10∼55Hz（複振幅0.7mm）X.Y.Z各方向1h 衝撃（耐久） 質量 周囲温度 周囲湿度 形 Z4KC-N5 0.5∼5mm 500m/s2 X.Y.Z各方向 3回 約110g 約120g センサ 約260g 約700g アンプ センサ 動作時：0∼＋40℃ （氷結しないこと）、保存時：−15∼＋65℃ （氷結しないこと） アンプ 動作時：0∼＋40℃ （氷結しないこと）、保存時：−15∼＋65℃ （氷結しないこと） センサ 35∼80％R.H.（結露がないこと） 35∼80％R.H.（結露がないこと） アンプ AC500V 50/60Hz 1min 充電部一括とケース間 耐電圧 材質 センサ：ステンレス、 アンプ：アルミ IEC60529規格 センサ：IP40、 アンプ：IP20 保護構造 注1. リニアリティ：リニア出力の理想直線からの誤差。アンプのGNDと同電位 にした標準検出体（SUS304 □3×φD（D：検出面の径））測定時の値です。 測定時には必ず測定対象物をアンプのGNDと同電位になるように接続して ください。 ＜形Z4KC-N1の例＞ 出 力 ＋5V 電 圧 注3. 分解能：リニア出力のノイズレベル（peak to peak）の変位換算値（測定対象物 はアンプのGNDと同電位にした 標準検出体）。 注4. 応答時間：変位量がステップ状に変化したときのリニア出力の立上がり、立下が り時間（10％∼90％） 。立上がり、立下がりの誤差を1％以下に抑えたい時は、 表示値の2∼3倍の時間を必要とします。 変位量 ±0.5%F.S以下 ＋0.5V 90% リニア出力 0.1mm 1mm 距離 10% 応答時間 注5. 温度特性は検出距離50％F.S.にて測定した場合です。 注2. Ｆ.Ｓ.は最大測定範囲上限値を示す。 （例：Z4KC-N1の場合 F.S.＝1mm） 90% 10% 応答時間 CADファイル のマークは、 この商品の外形寸法の入ったCADファイル名を表しています。 CADデータは、 オムロン インターネットホームページ（http://www.omron.co.jp/ib-info/cad/） からダウンロードできます。 ■外形寸法 ［単位：mm］ ●アンプ部 （17.8） 13.1 150 OVER % 110 PWR （62.2） 55 入出力端子盤（M3端子盤） カバー （12） 55 Z4KC GND 17 MONITOR OUT ZERO GAIN 78 100 60 80 20 40 SENSOR 20 20 45 27.6 27.5 16 118 （5.8） ゴム足 形式 CADファイル 形Z4KC-NR1 Z4KC_01 形Z4KC-N1 Z4KC_02 形Z4KC-N5 Z4KC_03 ●センサ部 コード長：3m φ8 φ5.5 φ3.4 φ3 φ14.5 20.5 40 65.5 形式 CADファイル 形Z4KC-NR1 Z4KC_01 59 コード長：3m φ5.5 φ3.4 φ10 φ14.5 20.5 25.5 形式 CADファイル 形Z4KC-N1 Z4KC_02 形式 CADファイル 形Z4KC-N5 Z4KC_03 59 φ20 φ5.5 φ3.4 コード長：3m φ40 φ14.5 59 12.5 24 28 30 47.5 形Z4KC-NR1は外国為替及び外国貿易法に定める戦略物資 （又は役務） に該当します ので、輸出する場合は同法に基づく輸出許可 （又は役務取引許可） が必要です。 本誌には主に機種のご選定に必要な内容を掲載し、 ご使用上の注意事項等は掲載しておりません。 ご使用上の注意事項等、 ご使用の際に必要な内容につきましては、 必ず現品票をお読みください。 ¡本誌に記載されているアプリケーション事例は参考用ですので、ご採用に際しては機器･ 装置の機能や安全性をご確認の上、ご使用ください。 ¡本誌に記載のない条件や環境での使用、および原子力制御･鉄道･航空･車両･燃焼 装置･医療機器･娯楽機械･安全機器、その他人命や財産に大きな影響が予測される など、特に安全性が要求される用途への使用をご検討の場合は、定格･性能に対し余 裕を持った使い方やフェールセイフ等の安全対策へのご配慮をいただくとともに、当社 営業担当者までご相談いただき仕様書等による確認をお願いします。 オムロン商品のご用命は 営業統轄事業部 東京都品川区大崎1-11-1 ゲートシティ大崎ウエストタワー14F （〒141-0032） 札幌支店／011-271-7821 東北支店／022-265-0571 東京支店／03-3779-9031 北関東営業部／048-647-7554 東京営業部／03-3779-9031 甲信支店／0263-32-6561 北陸支店／076-233-5000 名古屋支店／052-561-0167 静岡支店／054-253-6181 大阪支店／06-6282-2472 中四国支店／082-247-0228 九州支店／092-414-3211 ●制御機器についての技術的なお問い合わせは下記をご利用ください。 三 島/TEL 0559-82-5000 東 京/TEL 03-3493-7091 大 阪/TEL 06-6253-0471 〈地区別に受信いたしますが、回線状況により他地区へ転送させて頂くことがあります。〉〈電話番号をお確かめの上、正しくダイヤルしてください。〉 営業時間：9:30∼12:00／13:00∼17:00 営業日：土･日･祝祭日および年末年始･春期と夏期の休業日を除く ●FAXによるお問い合わせは下記をご利用ください。 顧客サービスセンタ お客様相談課 FAX 0559-82-5051 ●インターネットによるお問い合わせは下記をご利用ください。 http://www.omron.co.jp/ib-info/support/ ●その他のお問い合わせ先 納期・価格・修理・サンプル・承認図は貴社のお取引先、または貴社担当オムロン営業員にご相談ください。 カタログ番号 SCHA-012 写 2001年1月現在 ⑥UP ○ インターネット情報サービス オムロン制御機器の最新情報がご覧いただけます。 Industrial Webホームページ http://www.omron.co.jp/ib-info/ Ｃ OMRON Corporation 1998 All Rights Reserved. お断りなく仕様などを変更することがありますのでご了承ください
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