アプリケーション アシ プス リテ ケム ー概 シ要 ョ ン 他 ■半導体製造装置（1） ATシリーズ ダイシングソーの位置決めに P.25∼ 参照 リニヤスケール ■半導体製造装置（2） ボンディングヘッドの低イナーシャ化に STシリーズ リードフレーム P.9∼ 参照 ICチップ リニヤスケール リニヤスケール ■電子顕微鏡 STシリーズ マスクの観察、パターン回路の測長、欠陥検査等に 電子ビーム シリコンウェハ CCDカメラ XYテーブル （リニヤスケールはXYテーブルに内蔵） ワークチャンパ モニタ 真空ポンプ 5 P.9 参照 ■各種工作機械 P.25∼ 参照 高精度フルクローズドループ制御用に 移動テーブル ワーク 切削刃 アシ プス リテ ケム ー概 シ要 ョ ン 他 ベット リニヤスケール ■電子部品挿入機 P.9∼ 参照 電子部品の高速、高精度実装に リニヤスケール ■FPD検査装置 欠陥検査・リペアの位置決めに P.9∼ 参照 リニヤスケール 6 工作機械の軸名称 41 横中ぐりフライス盤 ベッド形フライス盤 ひざ形立てフライス盤、ボール盤、 ジグ中ぐり盤 研削盤 円筒研削盤 横中ぐり盤 立てタレット旋盤、立て旋盤 普通旋盤 放電加工機 門形プラノミラー 工具研削盤 片持形平削り盤
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